KR102506296B1 - Assembling jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer - Google Patents

Assembling jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer Download PDF

Info

Publication number
KR102506296B1
KR102506296B1 KR1020220135485A KR20220135485A KR102506296B1 KR 102506296 B1 KR102506296 B1 KR 102506296B1 KR 1020220135485 A KR1020220135485 A KR 1020220135485A KR 20220135485 A KR20220135485 A KR 20220135485A KR 102506296 B1 KR102506296 B1 KR 102506296B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gas pipe
assembly
nozzle
side track
track buffer
Prior art date
Application number
KR1020220135485A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
백찬호
Original Assignee
백찬호
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 백찬호 filed Critical 백찬호
Priority to KR1020220135485A priority Critical patent/KR102506296B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102506296B1 publication Critical patent/KR102506296B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

The present invention relates to an assembling jig for gas pipe-nozzle assembly of a side track buffer, which can secure precise assembly measurements, prevent defect occurrences caused by erroneous assembly work, and improve uniformity of a final product and productivity by promoting precise assembly of a gas pipe, including a linear pipe portion and a curved pipe portion, and a plurality of nozzles coupled and fixed thereto in the side track buffer. According to the present invention, the assembling jig for gas pipe-nozzle assembly of a side track buffer comprises: a jig base plate; a gas pipe arrangement means which is provided in a plurality of places of the jig base plate so that the gas pipe is seated on the jig base plate; a nozzle array means which is provided in a plurality of places of the jig base plate to allow the nozzle to be assembled while being aligned in a nozzle coupling end of the gas pipe; and a component temporary-fixing means which is configured to temporarily fix the assembly.

Description

사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그 {ASSEMBLING JIG FOR GAS PIPE-NOZZLE ASSEMBLY OF SIDE TRACK BUFFER}Assembly jig for side track buffer gas pipe-nozzle assembly {ASSEMBLING JIG FOR GAS PIPE-NOZZLE ASSEMBLY OF SIDE TRACK BUFFER}

본 발명은 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 사이드 트랙 버퍼에서 선형관부과 곡관부를 포함하는 가스배관 및 이에 결합 고정되는 복수의 노즐의 정밀 조립을 도모할 수 있어 정밀한 조립 치수 확보 및 오조립 작업으로 인한 불량 발생을 방지하며, 최종 제품의 균질성과 생산성을 향상시킬 수 있는, 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그에 관한 것이다.The present invention relates to an assembly jig for a side track buffer gas pipe-nozzle assembly, and more particularly, to promote precise assembly of a gas pipe including a linear pipe portion and a curved pipe portion in a side track buffer and a plurality of nozzles coupled and fixed thereto. It relates to an assembly jig for gas pipe-nozzle assembly of a side track buffer, which can secure precise assembly dimensions and prevent defects due to incorrect assembly work, and improve the homogeneity and productivity of the final product.

반도체 웨이퍼의 가공공정을 수행하기 위한 장치는 가공 모듈과 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 모듈로 구성되며, 이송 모듈은 스토커(Stocker), Over Head Shuttle(OHS), Overhead Hoist Transport(OHT), Automated Guided Vehicle(AGV), Rail Guided Vehicle(RGV) 등이 있다.The device for performing the semiconductor wafer processing process consists of a processing module and a transfer module for transferring the wafer. The transfer module is a stocker, an Over Head Shuttle (OHS), an Overhead Hoist Transport (OHT), and an Automated Guided Vehicle (AGV) and Rail Guided Vehicle (RGV).

이러한 이송 모듈들은 모두 사용자들의 초기 투자비에 대한 부담을 줄여주고 가격 경쟁력 향상을 위한 운전비(Running cost)의 절감, 웨이퍼 이송 중의 오염 방지, 제품 수율 향상 등이 목적이다.All of these transfer modules are aimed at reducing the burden of users' initial investment costs, reducing running costs to improve price competitiveness, preventing contamination during wafer transfer, and improving product yield.

천장 물류 이송 시스템인 OHT는 클린룸 상부에 설치된 레일을 따라 이동하면서 웨이퍼 및 패키지를 저장하는 개구 통합형 포드(Front Opening Unified POD, FOUP, 이하, '풉')들을 이재, 적재하고 이송시키는 역할을 수행하는 장비이다.OHT, an overhead logistics transport system, moves along the rails installed at the top of the clean room and serves to transfer, load, and transfer Front Opening Unified POD (FOUP, hereinafter referred to as 'FOUP') that stores wafers and packages. It is a device that

사이드 트랙 버퍼(STB, Side Track Buffer)는 OHT 주행레일 측면에 위치한 저장공간으로 공정을 마친 풉을 저장하는 공간이다.The Side Track Buffer (STB) is a storage space located on the side of the OHT running rail, and is a space to store the FOUP that has completed the process.

이러한 풉과 사이드 트랙 버퍼는 웨이퍼를 이송 및 저장(임시 저장의 의미 포함)하는 구성부로 외부와의 공기 접촉을 차단하여 웨이퍼의 수율을 향상시키는 역할도 수행한다.These foups and side track buffers are components for transporting and storing wafers (including temporary storage), and also play a role in improving wafer yield by blocking air contact with the outside.

그러나 웨이퍼 가공공정 중에 사용되는 공정가스가 웨이퍼의 표면에 잔류한 상태로 풉 내부에 적재되면 정밀가공이 어렵게 되고, 웨이퍼 간의 이차적 오염을 초래하게 되며, 웨이퍼 이송 모듈이 풉 내부에 잔류된 공정가스의 흄(Fume)에 의해 오염되어 장비의 성능저하를 초래하는 문제점이 있다.However, if the process gas used during the wafer processing process remains on the surface of the wafer and is loaded inside the foop, precision processing becomes difficult, secondary contamination between wafers occurs, and the wafer transfer module removes the process gas remaining inside the foop. There is a problem of being contaminated by fumes and causing deterioration of equipment performance.

이에 따라 풉 내부의 공정가스를 제거하기 위한 퍼지장치가 개발되어 있는데, 이는 풉 내부의 공정가스를 제거하기 위해 가동 모듈과 이송 모듈 사이에 별도로 추가된 구성으로서 공정이 추가되는 문제점이 있다. 특히, 다수회의 웨이퍼 가공 공정 중에 공정가스가 풉 내부에 잔류한다면 공정가스를 계속적으로 제거하여야 하는 불편함이 따르게 된다. 더욱이 공정가스의 제거를 위한 공정이 추가됨에 따라 반도체 디바이스를 생성하기 위한 생산 시간은 증가된다.Accordingly, a purge device for removing the process gas inside the foop has been developed, which has a problem in that a process is added as a configuration separately added between the operation module and the transfer module to remove the process gas inside the foop. In particular, if the process gas remains in the foo during multiple wafer processing processes, the inconvenience of continuously removing the process gas is followed. Moreover, as a process for removing a process gas is added, the production time for producing a semiconductor device increases.

이러한 문제점을 개선하기 위해 사이드 트랙 버퍼에 장착된 풉으로 불활성 가스(질소 가스)를 공급하는 반도체 웨이퍼 제조 시스템이 제안되었다.In order to improve this problem, a semiconductor wafer manufacturing system for supplying an inert gas (nitrogen gas) to a FOUP mounted on a side track buffer has been proposed.

도 1은 종래 사이드 트랙의 배관-노즐 어셈블리를 촬영한 사진이다.1 is a photograph of a pipe-nozzle assembly of a conventional side track.

풉의 내부로 불활성 가스를 공급하기 위한 사이드 트랙 버퍼는 불활성 가스 공급 배관을 통해 공급되는 복수의 노즐을 통해 공급하게 되는데 이러한 사이드 트랙 버퍼에서 풉에 필요한 양의 불활성 가스를 공급하기 위해서는 풉의 분사노즐 결합부에 대한 분사 노즐의 정밀한 조립이 매우 중요한 사안이나, 종래에는 사이드 트랙 버퍼 어셈블리를 개별 조립 후, 복수의 분사 노즐의 정렬 상태를 수정하는 과정을 거치게 된다.The side track buffer for supplying inert gas to the inside of the FOUP is supplied through a plurality of nozzles supplied through the inert gas supply pipe. Precise assembly of the spray nozzle to the joint is a very important issue, but conventionally, after individually assembling the side track buffer assembly, a process of correcting the alignment of the plurality of spray nozzles is performed.

다시 말해서, 종래에는 복수(도 1에서는 3개)의 노즐이 동시에 베이스 플레이트에 조립되는 과정에서 노즐 간 얼라인 미스(Align Miss)가 발생하게 되고, 이에 따라 조립 시간의 손실이 발생하며, 사이드 트랙 버퍼를 다시 재조립(Rework) 해야 하는 문제점이 있다.In other words, in the prior art, in the process of assembling a plurality of (three in FIG. 1) nozzles on the base plate at the same time, an alignment miss between the nozzles occurs, resulting in loss of assembly time and side track There is a problem of having to rework the buffer again.

대한민국 등록특허공보 10-1674454(2016.11.09. 공고)Republic of Korea Registered Patent Publication No. 10-1674454 (2016.11.09. Notice) 대한민국 등록특허공보 10-2098970(2020.04.08. 공고)Republic of Korea Registered Patent Publication No. 10-2098970 (2020.04.08. Notice) 대한민국 등록특허공보 10-1608832(2016.04.05. 공고)Republic of Korea Registered Patent Publication No. 10-1608832 (2016.04.05. Notice)

따라서, 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은, 사이드 트랙 버퍼에서 선형관부과 곡관부를 포함하는 가스배관 및 이에 결합 고정되는 복수의 노즐의 정밀 조립을 도모할 수 있어 정밀한 조립 치수 확보 및 오조립 작업으로 인한 불량 발생을 방지하며, 최종 제품의 균질성과 생산성을 향상시킬 수 있는, 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그를 제공하는데 그 목적이 있다.Therefore, the present invention for solving the above conventional problems, it is possible to promote precision assembly of a gas pipe including a linear pipe part and a curved pipe part and a plurality of nozzles coupled and fixed thereto in a side track buffer, thereby ensuring precise assembly dimensions and error An object of the present invention is to provide an assembly jig for gas pipe-nozzle assembly of a side track buffer that can prevent defects due to assembly work and improve the homogeneity and productivity of the final product.

본 발명의 해결과제는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to those mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

상기 본 발명의 목적들 및 다른 특징들을 달성하기 위한 본 발명의 일 관점에 따르면, 반도체 웨이퍼 이송설비의 사이드 트랙 버퍼에 포함되는 가스배관 및 서로 다른 배치관계를 갖고 상기 가스배관의 복수의 노즐 결합단부 각각에 구비되는 복수의 노즐을 포함하는 어셈블리를 조립하기 위한 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그로서, 지그 베이스 플레이트; 상기 가스배관이 상기 지그 베이스 플레이트에 안착되도록 상기 지그 베이스 플레이트의 복수 개소에 구비되는 가스배관 배치 수단; 상기 지그 베이스 플레이트의 복수 개소에 구비되어, 상기 가스배관의 노즐 결합단부에 얼라인(align)되면서 노즐이 조립되도록 하는 노즐 정렬 수단; 및 상기 어셈블리를 가고정시키도록 구성되는 부품 가고정 수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그가 제공된다.According to one aspect of the present invention for achieving the objects and other features of the present invention, a gas pipe included in a side track buffer of a semiconductor wafer transfer facility and a plurality of nozzle coupling ends of the gas pipe having a different arrangement relationship An assembly jig for a gas pipe-nozzle assembly of a side track buffer for assembling an assembly including a plurality of nozzles provided thereto, comprising: a jig base plate; gas pipe arranging means provided at a plurality of locations of the jig base plate so that the gas pipe is seated on the jig base plate; nozzle aligning means provided at a plurality of locations of the jig base plate to allow nozzles to be assembled while being aligned with the nozzle coupling end of the gas pipe; and a component temporarily fixing means configured to temporarily fix the assembly; an assembly jig for a side track buffer gas pipe-nozzle assembly is provided.

본 발명에 있어서, 상기 가스배관 배치 수단은 상기 가스배관의 선형부의 일부가 안착되게 구성되는 가스배관 선형부 가이드 부재; 및 상기 가스배관의 곡관부가 안착되게 구성되는 가스배관 곡관부 가이드 부재;를 포함할 수 있다.In the present invention, the gas pipe arranging means includes a gas pipe linear portion guide member configured to seat a portion of the linear portion of the gas pipe; and a gas pipe bend portion guide member configured to seat the gas pipe bend portion.

본 발명에 있어서, 상기 가스배관 선형부 가이드 부재는 상기 가스배관의 선형부의 일부가 안착되는 선형 안착홈이 형성된 블록체로 이루어지며, 상기 가스배관 곡관부 가이드 부재는 블록 바디와, 상기 블록 바디의 상면에서 이웃하는 두 가장자리에서 돌출하는 돌출턱, 및 상기 돌출턱에 형성되는 안착홈을 포함할 수 있다.In the present invention, the gas pipe linear portion guide member is made of a block body having a linear seating groove in which a part of the linear portion of the gas pipe is seated, and the gas pipe curved portion guide member includes a block body and an upper surface of the block body. It may include a protruding jaw protruding from two neighboring edges, and a seating groove formed on the protruding jaw.

본 발명에 있어서, 상기 이웃하는 두 돌출턱 각각에 형성되는 안착홈은 서로 직교하는 관계로 형성될 수 있다.In the present invention, the seating grooves formed on each of the two neighboring protruding jaws may be formed in a relationship orthogonal to each other.

본 발명에 있어서, 상기 이웃하는 두 돌출턱 각각에 형성되는 안착홈에 있어서 일측의 돌출턱에 형성되는 안착홈과 타측에 형성되는 돌출턱에 형성되는 안착홈은 가스배관의 곡관부의 절곡 각도에 상응하는 각도에 대응하여 형성될 수 있다.In the present invention, in the seating groove formed on each of the two neighboring protruding jaws, the seating groove formed on one protruding jaw and the seating groove formed on the protruding jaw formed on the other side correspond to the bending angle of the bend of the gas pipe. It can be formed in correspondence with the angle to do.

본 발명에 있어서, 상기 노즐 정렬 수단은 상기 지그 베이스 플레이트에 형성되는 정렬홈; 상기 정렬홈에 형성되어 노즐의 전방부가 삽입되는 관통공; 상기 노즐의 장착 플레이트에 형성된 결합구멍과 동일 선상으로 상기 정렬홈에 형성되는 조립구멍; 및 상기 장착 플레이트의 결합구멍과 정렬홈의 조립구멍에 나사산 결합되는 결합구;를 포함할 수 있다.In the present invention, the nozzle aligning means includes an aligning groove formed on the jig base plate; a through hole formed in the alignment groove and into which the front portion of the nozzle is inserted; an assembly hole formed in the alignment groove on the same line as the coupling hole formed in the mounting plate of the nozzle; and a coupler threadedly coupled to the coupling hole of the mounting plate and the assembly hole of the alignment groove.

본 발명에 있어서, 상기 정렬홈은 상하 두 변은 평행하게 형성되고 좌우 두 변은 라운드지게 형성되되, 일측 모서리부가 모따기된 형태로 형성되며, 상기 정렬홈의 모따기된 부분 이외의 모서리부에는 외측으로 연장된 돔 형상의 위치결정홈부가 형성될 수 있다.In the present invention, two upper and lower sides of the alignment groove are formed in parallel and two left and right sides are rounded, and one corner portion is formed in a chamfered form, and corners other than the chamfered portion of the alignment groove are formed outwardly. An extended dome-shaped positioning groove may be formed.

본 발명에 있어서, 상기 부품 가고정수단은 상기 지그 베이스 플레이트에 구비되는 고정 블록; 상기 고정 블록의 상단에 결합되는 고정 브라켓; 일단부가 상기 고정 브라켓의 일단부에 회전가능하게 결합되는 회동 조작 부재; 상기 고정 브라켓의 중앙부에 회전가능하게 결합되는 회동 링크 부재; 일단부는 상기 회동 조작 부재의 중앙부에 회전가능하게 결합되고, 타단부는 상기 회동 링크 부재의 하단부에 회전가능하게 결합되는 연동 링크 부재; 및 상기 회동 링크 부재의 타단부에 구비되어 상기 회동 조작 부재와 회동 링크 부재 및 연동 링크 부재의 연동으로 어셈블리의 상부를 가압 고정시키도록 구성되는 가압 고정 부재;를 포함할 수 있다.In the present invention, the component temporary fixing means is a fixing block provided on the jig base plate; a fixing bracket coupled to an upper end of the fixing block; a rotation control member having one end rotatably coupled to one end of the fixing bracket; a pivoting link member rotatably coupled to the central portion of the fixing bracket; an interlocking link member having one end rotatably coupled to the central portion of the rotation control member and the other end rotatably coupled to the lower end of the rotation link member; and a pressing and fixing member provided at the other end of the pivoting link member and configured to press and fix the upper portion of the assembly by interlocking the pivoting control member, the pivoting link member, and the interlocking link member.

본 발명에 있어서, 상기 고정 브라켓은 상단부의 일부가 상방으로 돌출된 형태 凸 형태의 브라켓으로 구성되고, 상기 회동 조작 부재는 역 "U"자형으로 형성되는 브라켓 결합부, 및 상기 브라켓 결합부에서 외측으로 연장되는 손잡이부로 이루어지며, 상기 가압 고정 부재는 상기 회동 링크 부재의 단부에서 회동 링크 부재와 직교되거나 교차되게 구비되는 결합 로드; 및 상기 결합 로드의 하단부에 구비되는 탄성 블록;을 포함할 수 있다.In the present invention, the fixing bracket is composed of a bracket in the form of a convex shape in which a part of the upper end protrudes upward, and the rotation operation member is a bracket coupling part formed in an inverted "U" shape, and the outer side of the bracket coupling portion Consisting of a handle portion extending to, the pressing fixing member is coupled rod provided to be orthogonal or crossed with the pivot link member at the end of the pivot link member; and an elastic block provided at the lower end of the coupling rod.

본 발명에 있어서, 상기 부품 가고정수단에 구비되어, 상기 가압 고정 부재가 상기 회동 링크 부재의 길이방향에서 위치 변경되고, 상기 지그 베이스 플레이트에 대한 상기 가압 고정 부재의 높이가 변경할 수 있게 구성되는 가압고정부재 변위 수단을 더 포함할 수 있다.In the present invention, the pressure fixing member provided in the part temporary fixing means is configured so that the position of the pressure fixing member is changed in the longitudinal direction of the pivot link member and the height of the pressure fixing member relative to the jig base plate is changeable. A fixing member displacement unit may be further included.

본 발명에 있어서, 상기 가압고정부재 변위 수단은 상기 회동 링크 부재에 길이방향으로 형성되는 장공; 상기 가압 고정 부재의 결합 로드의 외연에 형성되는 나사산부; 및 상기 회동 링크 부재의 상부와 하부에서 상기 결합 로드에 결합되는 볼트 부재;를 포함할 수 있다.In the present invention, the pressure fixing member displacement means includes a long hole formed in the pivot link member in the longitudinal direction; a threaded portion formed on an outer periphery of the coupling rod of the pressure fixing member; and bolt members coupled to the coupling rod at upper and lower portions of the pivot link member.

본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그에 의하면 다음과 같은 효과를 제공한다.According to the assembly jig for the gas pipe-nozzle assembly of the side track buffer according to the present invention, the following effects are provided.

첫째, 본 발명은 사이드 트랙 버퍼에서 선형관부과 곡관부를 포함하는 가스배관과 이에 결합되는 복수의 노즐을 정밀하게 조립할 수 있도록 하는 효과가 있다.First, the present invention has an effect of enabling precise assembly of a gas pipe including a linear pipe part and a curved pipe part and a plurality of nozzles coupled thereto in a side track buffer.

둘째, 본 발명은 사이드 트랙 버퍼의 어셈블리의 조립 중 발생하는 어셈블리 간의 응력에 의한 노즐 정렬 변형을 최소화하거나 방지할 수 있는 효과가 있다.Second, the present invention has an effect of minimizing or preventing nozzle alignment deformation due to stress between assemblies generated during assembly of side track buffer assemblies.

셋째, 본 발명은 사이드 트랙 버퍼의 균질성을 확보할 수 있고, 불량 손실을 줄일 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Third, the present invention has the effect of ensuring homogeneity of the side track buffer, reducing defect loss, and improving productivity.

본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

도 1은 종래 사이드 트랙의 배관-노즐 어셈블리를 촬영한 사진이다.
도 2는 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그에 가스배관과 노즐이 장착된 상태를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그에 포함되는 노즐정렬 조립수단을 나타내는 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그에 포함되는 노즐정렬 조립수단에 노즐 받침대가 고정된 상태를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그에 포함되는 부품 가고정 수단을 나타내는 도면이다.1 is a photograph of a pipe-nozzle assembly of a conventional side track.
2 is a view showing an assembly jig for a gas pipe-nozzle assembly of a side track buffer according to the present invention.
3 is a view showing a state in which a gas pipe and a nozzle are mounted in an assembly jig for a gas pipe-nozzle assembly of a side track buffer according to the present invention.
4 is a plan view showing a nozzle alignment assembly means included in an assembly jig for a gas pipe-nozzle assembly of a side track buffer according to the present invention.
5 is a view showing a state in which a nozzle support is fixed to a nozzle aligning and assembling means included in an assembly jig for a gas pipe-nozzle assembly of a side track buffer according to the present invention.
6 is a view showing a means for temporarily fixing parts included in an assembly jig for a gas pipe-nozzle assembly of a side track buffer according to the present invention.

본 발명의 추가적인 목적들, 특징들 및 장점들은 다음의 상세한 설명 및 첨부도면으로부터 보다 명료하게 이해될 수 있다. Additional objects, features and advantages of the present invention may be more clearly understood from the following detailed description and accompanying drawings.

본 발명의 상세한 설명에 앞서, 본 발명은 다양한 변경을 도모할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 아래에서 설명되고 도면에 도시된 예시들은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Prior to the detailed description of the present invention, the present invention may make various changes and may have various embodiments, and the examples described below and shown in the drawings are not intended to limit the present invention to specific embodiments. No, it should be understood to include all changes, equivalents or substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.It is understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, but other elements may exist in the middle. It should be. On the other hand, when an element is referred to as “directly connected” or “directly connected” to another element, it should be understood that no other element exists in the middle.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in this specification are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, terms such as "include" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof is not precluded.

또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In addition, in the description with reference to the accompanying drawings, the same reference numerals are given to the same components regardless of reference numerals, and overlapping descriptions thereof will be omitted. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of related known technologies may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description will be omitted.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그에 대하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an assembly jig for a gas pipe-nozzle assembly of a side track buffer according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그를 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그에 가스배관과 노즐이 장착된 상태를 나타내는 도면이며, 도 4는 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그에 포함되는 노즐정렬 조립수단을 나타내는 평면도이다. 도 5는 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그에 포함되는 노즐정렬 조립수단에 노즐 받침대가 고정된 상태를 나타내는 도면이며, 도 6은 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그에 포함되는 부품 가고정 수단을 나타내는 도면이다.2 is a view showing an assembly jig for a side track buffer gas pipe-nozzle assembly according to the present invention, and FIG. 3 is a gas pipe and a nozzle mounted on the assembly jig for a side track buffer gas pipe-nozzle assembly according to the present invention. Figure 4 is a plan view showing the nozzle alignment assembly means included in the assembly jig for the gas pipe-nozzle assembly of the side track buffer according to the present invention. 5 is a view showing a state in which the nozzle support is fixed to the nozzle aligning and assembling means included in the assembly jig for the gas pipe-nozzle assembly of the side track buffer according to the present invention, and FIG. 6 is the gas pipe of the side track buffer according to the present invention. It is a drawing showing the part temporary fixing means included in the assembly jig for the pipe-nozzle assembly.

본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그는, 웨이퍼 이송설비(구체적으로는, 개구 통합형 포드(Front Opening Unified POD, FOUP, '풉')가 이재 및 적재되는 사이드 트랙 버퍼에 포함되는 가스배관(P)과 복수의 노즐(N)을 조립하기 위한 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그로서, 도 2 내지 도 6에 나타낸 바와 같이, 크게 지그 베이스 플레이트(100)와, 가스배관 배치 수단(200)과, 노즐 정렬 수단(300), 및 부품 가고정 수단(400)을 포함한다.The assembly jig for the gas pipe-nozzle assembly of the side track buffer according to the present invention is a wafer transfer facility (specifically, Front Opening Unified POD, FOUP, 'Pup') is transferred and loaded to the side track buffer As an assembly jig for a gas pipe-nozzle assembly of a side track buffer for assembling a gas pipe (P) and a plurality of nozzles (N), as shown in FIGS. 2 to 6, the jig base plate 100 and , a gas pipe arranging means 200, a nozzle aligning means 300, and a component temporary fixing means 400.

구체적으로, 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그는, 반도체 웨이퍼 이송설비의 사이드 트랙 버퍼에 포함되는 가스배관(P)과, 서로 다른 배치관계를 갖고 구비되는 복수의 노즐(N)을 포함하는 사이드 트랙 버퍼의 어셈블리를 조립하기 위한 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그로서, 도 2 내지 도 6에 나타낸 바와 같이, 지그 베이스 플레이트(100); 상기 지그 베이스 플레이트(100)의 복수 개소에 구비되어 선형 관부와 곡관부를 갖는 하나 이상의 가스배관이 제 위치에 배치되도록 구성되는 가스배관 배치 수단(200); 상기 사이드 트랙 버퍼에 장착될 복수의 노즐 장착 위치에 상응하여 상기 지그 베이스 플레이트(100)의 복수 개소에 구비되며, 상기 복수의 가스배관의 가스 하류단 각각에 얼라인(align)되면서 노즐이 조립되도록 하는 노즐 정렬 수단(300); 및 상기 지그 베이스 플레이트(100)에 구비되어 그 지그 베이스 플레이트(100)에서 조립되는 어셈블리(또는 구성부품)를 가고정시키도록 구성되는 부품 가고정 수단(400);을 포함한다.Specifically, the assembly jig for the gas pipe-nozzle assembly of the side track buffer according to the present invention has a plurality of nozzles provided in a different arrangement relationship with the gas pipe (P) included in the side track buffer of the semiconductor wafer transfer facility. As an assembly jig for the gas pipe-nozzle assembly of the side track buffer for assembling the assembly of the side track buffer including (N), as shown in FIGS. 2 to 6, the jig base plate 100; Gas pipe arranging means 200 provided at a plurality of locations of the jig base plate 100 and configured to arrange one or more gas pipes having a linear pipe part and a curved pipe part in place; It is provided at a plurality of locations of the jig base plate 100 corresponding to a plurality of nozzle mounting positions to be mounted on the side track buffer, and the nozzles are assembled while being aligned with each of the gas downstream ends of the plurality of gas pipes. Nozzle aligning means 300; and a component temporary fixing means 400 provided on the jig base plate 100 and configured to temporarily fix an assembly (or component) assembled on the jig base plate 100 .

상기 지그 베이스 플레이트(100)는 사이드 트랙 버퍼에 포함되는 구성부품(구체적으로는, 노즐, 가스배관, 유량기, 필터 등)을 조립하기 위한 베이스 플레이트이다.The jig base plate 100 is a base plate for assembling components included in the side track buffer (specifically, a nozzle, a gas pipe, a flow controller, a filter, etc.).

상기 지그 베이스 플레이트(100)는 강성 재질(예를 들면, 철)의 사각 판형으로 형성될 수 있다.The jig base plate 100 may be formed in a rectangular plate shape made of a rigid material (eg, iron).

계속해서, 상기 가스배관 배치 수단(200)은 상기 지그 베이스 플레이트(100)의 복수 개소에 구비되어 선형부와 곡관부를 갖는 복수의 가스배관을 정렬시키도록 구성되는 구성부이다.Subsequently, the gas pipe arranging unit 200 is a component provided at a plurality of locations of the jig base plate 100 and configured to align a plurality of gas pipes having a linear portion and a curved portion.

구체적으로, 상기 가스배관 배치 수단(200)은 상기 지그 베이스 플레이트(100)의 상면에 구비되며, 가스배관의 선형부(선형부의 일부)가 안착되면서 가이드되도록 구성되는 하나 이상의 가스배관 선형부 가이드 부재(210), 및 상기 지그 베이스 플레이트(100)의 상면에 구비되며, 가스배관의 곡관부가 안착되면서 가이드되도록 구성되는 하나 이상의 가스배관 곡관부 가이드 부재(220)를 포함한다.Specifically, the gas pipe arranging means 200 is provided on the upper surface of the jig base plate 100, and is configured to guide the linear part (part of the linear part) of the gas pipe while being seated at one or more gas pipe linear part guide members. 210, and one or more gas pipe bend guide members 220 provided on the upper surface of the jig base plate 100 and configured to guide the gas pipe bend while being seated thereon.

상기 가스배관 선형부 가이드 부재(210)는 상면에 가스배관의 선형부의 형상에 상응하게 형성되어 가스배관의 선형부의 일부가 안착되는 선형 안착홈(211)이 형성된 블록체로 이루어진다.The gas pipe linear part guide member 210 is made of a block body having a linear seating groove 211 formed on the upper surface corresponding to the shape of the linear part of the gas pipe and in which a part of the linear part of the gas pipe is seated.

여기에서, 상기 가스배관 선형부 가이드 부재(210)의 상면 일측에는 가스배관의 배치에서 선형부에 대한 선형적 배치를 작업자가 육안으로 용이하게 확인하고 배치할 수 있도록 수평계가 구비될 수 있다.Here, a level may be provided on one side of the upper surface of the linear part guide member 210 of the gas pipe so that the operator can easily visually check and arrange the linear arrangement of the linear part in the arrangement of the gas pipe.

또한, 본 발명의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그의 가스배관 배치 수단(200)은 단일의 가스배관 선형부 가이드 부재(210)에서 직경(외경)이 다른 가스배관의 선형부가 적용될 수 있게 블록체의 상면 또는 선형 안착홈(211)에 착탈가능하게 결합되고, 내경이 각기 다른 선형 안착홈이 상면에 형성된 복수의 어댑터(또는 선형부 장착 키트)를 더 포함할 수 있다.In addition, the gas pipe arranging means 200 of the gas pipe-nozzle assembly assembly jig of the present invention is a block body so that linear parts of gas pipes having different diameters (outer diameters) can be applied in a single gas pipe linear part guide member 210. It may further include a plurality of adapters (or linear part mounting kits) that are detachably coupled to the upper surface or the linear seating groove 211 and have linear seating grooves having different inner diameters formed on the upper surface.

상기 가스배관 곡관부 가이드 부재(220)는 일 실시 예로 사각형의 블록 바디(221)와, 상기 블록 바디(221)의 상면에서 이웃하는 두 가장자리에서 돌출하는 돌출턱(222), 및 상기 돌출턱(222)에 형성되는 안착홈(223)을 포함한다.The gas pipe bend guide member 220 includes, in an embodiment, a rectangular block body 221, a protruding jaw 222 protruding from two neighboring edges on an upper surface of the block body 221, and the protruding jaw ( 222) and a seating groove 223 formed therein.

여기에서, 상기 이웃하는 두 돌출턱(222) 각각에 형성되는 안착홈(223)은 서로 직교하는 관계로 형성된다.Here, the seating grooves 223 formed on each of the two neighboring protruding jaws 222 are formed in a relationship orthogonal to each other.

또한, 상기 이웃하는 두 돌출턱(222) 각각에 형성되는 안착홈(223)에 있어서 일측의 돌출턱(222)에 형성되는 안착홈(223)과 타측의 돌출턱(222)에 형성되는 안착홈(223)은 가스배관의 곡관부의 절곡 각도에 상응하는 각도에 대응하여 형성될 수 있다.In addition, in the seating groove 223 formed on each of the two adjacent protruding jaws 222, the seating groove 223 formed on one protruding jaw 222 and the seating groove formed on the other protruding jaw 222 223 may be formed corresponding to an angle corresponding to the bending angle of the curved portion of the gas pipe.

이러한 일 실시 예의 가스배관 곡관부 가이드 부재(220)는 돌출턱(222) 각각에 형성되는 안착홈(223)이 서로 다른 각도 관계를 갖는 복수의 것으로 구성될 수 있다.The gas pipe bend guide member 220 of this embodiment may be composed of a plurality of seating grooves 223 formed on each of the protruding jaws 222 having different angular relationships.

한편, 상기 가스배관 곡관부 가이드 부재(220)는 다른 실시 예로, 상면에 가스배관의 곡관부의 형상에 상응하게 형성되어 가스배관의 곡관부가 안착되는 굴곡 안착홈이 형성된 블록체로 이루어진다.On the other hand, the gas pipe bend guide member 220, in another embodiment, is formed to correspond to the shape of the bend of the gas pipe on the upper surface is made of a block body formed with a curved seating groove in which the bend of the gas pipe is seated.

여기에서, 본 발명의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그의 가스배관 배치 수단(200)은, 단일의 가스배관 곡관부 가이드 부재(220)를 베이스 기재로 하고, 직경(외경) 및/또는 곡률이 다른 곡관부를 갖는 가스배관이 적용될 수 있는 구성부를 더 포함할 수 있다.Here, the gas pipe arranging means 200 of the assembly jig for gas pipe-nozzle assembly of the present invention uses a single gas pipe bend guide member 220 as a base substrate, and has a diameter (outer diameter) and/or curvature. It may further include a component to which a gas pipe having another bend can be applied.

일 실시 예로, 상기 가스배관 배치 수단(200)은 블록체의 상면에 착탈가능하게 결합되고, 곡률 및 직경(외경)이 다른 가스배관의 곡관부가 각각 적용되는 굴곡 안착홈이 상면에 형성된 복수의 어댑터(또는 곡관부 장착 키트)를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the gas pipe arranging unit 200 is detachably coupled to the upper surface of the block body, and a plurality of adapters formed on the upper surface of the curved seating grooves to which curved portions of gas pipes having different curvatures and diameters (outer diameters) are applied. (or a bend mounting kit) may be further included.

다음으로, 상기 노즐 정렬 수단(300)은 상기 사이드 트랙 버퍼에 장착될 복수의 노즐 장착 위치에 상응하여 상기 지그 베이스 플레이트(100)의 복수 개소에 구비되며, 상기 가스배관의 복수의 노즐 결합단부 각각에 얼라인(align)되면서 노즐이 조립되도록 하는 구성부이다.Next, the nozzle aligning means 300 is provided at a plurality of locations of the jig base plate 100 corresponding to a plurality of nozzle mounting positions to be mounted on the side track buffer, and is provided at each of a plurality of nozzle coupling ends of the gas pipe. It is a component that allows the nozzle to be assembled while being aligned.

구체적으로, 상기 노즐 정렬 수단(300)은 상기 지그 베이스 플레이트(100)에 형성되는 정렬홈(310)과, 상기 정렬홈(310)에 형성되어 노즐의 전방부(분출부)가 삽입되는 관통공(320)과, 상기 노즐(N)의 장착 플레이트(10)에 형성된 결합구멍(11)과 동일 선상으로 상기 정렬홈(310)에 형성되는 조립구멍(330), 및 상기 장착 플레이트(10)의 결합구멍(11)과 정렬홈(310)의 조립구멍(330)에 나사산 결합되는 결합구(340)를 포함한다.Specifically, the nozzle aligning means 300 includes an aligning groove 310 formed in the jig base plate 100 and a through hole formed in the aligning groove 310 into which the front part (jet part) of the nozzle is inserted. 320, an assembly hole 330 formed in the alignment groove 310 on the same line as the coupling hole 11 formed in the mounting plate 10 of the nozzle N, and the mounting plate 10 It includes a coupler 340 screwed into the assembly hole 330 of the coupling hole 11 and the alignment groove 310.

상기 정렬홈(310)은 바람직하게 비대칭되게 형성된다. 구체적으로, 상기 정렬홈(310)은 도 4에 나타낸 바와 같이, 상하 두 변은 평행하게 형성되고 좌우 두 변은 라운드지게 형성되되, 일측 모서리부가 모따기된 형태로 형성된다.The alignment groove 310 is preferably formed asymmetrically. Specifically, as shown in FIG. 4 , the alignment groove 310 has two upper and lower sides formed in parallel, two left and right sides rounded, and one corner portion chamfered.

여기에서, 상기 정렬홈(310)의 모따기된 부분 이외의 모서리부에는 외측으로 연장된 돔 형상의 위치결정홈부(311)가 형성될 수 있다.Here, a dome-shaped positioning groove 311 extending outwardly may be formed at a corner portion of the alignment groove 310 other than the chamfered portion.

이러한 정렬홈(310)과 관련하여 노즐(N)에 형성되는 장착 플레이트(10)는 상기 정렬홈에 상응하는 형상으로 형성된다.In relation to these alignment grooves 310, the mounting plate 10 formed on the nozzle N is formed in a shape corresponding to the alignment grooves.

다음으로, 상기 부품 가고정수단(400)은 상기 지그 베이스 플레이트(100)에 구비되어 그 지그 베이스 플레이트(100)에서 조립되는 어셈블리(또는 구성부품), 예를 들면 노즐(N), 가스배관(P), 유량계(FM) 및 필터(F) 등을 제 위치에 가고정시켜서 조립될 수 있도록 구성되는 구성부이다.Next, the part temporary fixing means 400 is provided on the jig base plate 100 and is assembled on the jig base plate 100 (or component), for example, a nozzle (N), a gas pipe ( P), flow meter (FM) and filter (F), etc. are configured to be assembled by temporarily fixing them in place.

구체적으로, 부품 가고정 수단(400)은 지그 베이스 플레이트(100)의 상면에서 가 고정하고자 할 구성부품인 가고정부품의 주변에 구비되는 고정 블록(410)과, 상기 고정 블록(410)의 상단에 결합되는 고정 브라켓(420)과, 상기 고정 브라켓(420)의 일단부에 일단부가 회전가능하게 결합되어 그 일단부로부터 연장되는 회동 조작 부재(430)와, 상기 고정 브라켓(420)의 중앙 상단부에 회전 가능하게 결합되는 회동 링크 부재(440)와, 일단부는 상기 회동 조작 부재(430)의 중앙부에 회전 가능하게 결합되고, 타단부는 상기 회동 링크 부재(440)의 하단부에 회전 가능하게 결합되는 연동 링크 부재(450), 및 상기 회동 링크 부재(440)의 타단부에 구비되어 상기 회동 조작 부재(430)의 회동으로 상기 가고정부품의 상부를 가압 고정시키도록 구성되는 가압 고정 부재(460)를 포함한다.Specifically, the component temporarily fixing means 400 includes a fixing block 410 provided around a temporary component, which is a component to be temporarily fixed, on the upper surface of the jig base plate 100, and an upper end of the fixing block 410. A fixed bracket 420 coupled to the fixed bracket 420, one end rotatably coupled to one end of the fixed bracket 420 and a pivoting operation member 430 extending from the one end, and the central upper end of the fixed bracket 420 A pivoting link member 440 rotatably coupled to, one end rotatably coupled to the central portion of the pivoting operation member 430, and the other end rotatably coupled to the lower end of the pivoting link member 440 An interlocking link member 450 and a pressing fixing member 460 provided at the other end of the pivoting link member 440 and configured to press and fix the upper part of the temporary part by the rotation of the pivoting operation member 430 includes

상기 고정 블록(410)은 지그 베이스 플레이트(100)의 상면에 볼팅 결합으로 착탈 가능하게 결합되는 사각형의 블록으로 형성될 수 있다.The fixing block 410 may be formed as a rectangular block detachably coupled to the upper surface of the jig base plate 100 by bolting.

상기 고정 브라켓(420)은 일 실시 형태로서 다른 구성부와의 결합관계를 고려하여 상단부의 일부가 상방으로 돌출된 형태(상단에 돌출부를 갖는 형태), 예를 들면 凸 형태의 브라켓으로 구성될 수 있다.As an embodiment, the fixing bracket 420 may be configured in a form in which a part of the upper end protrudes upward (a form having a protrusion at the top), for example, a convex form, in consideration of a coupling relationship with other components. there is.

상기 회동 조작 부재(430)는 하부가 역 "U"자형으로 형성되어 그 단부가 고정 브라켓(420)의 일단부(지그 베이스 플레이트(100)의 내측을 향하는 단부)에 회전가능하게 결합되는 브라켓 결합부(431), 및 상기 브라켓 결합부(431)의 타단에서 외측으로 연장되는 손잡이부(432)로 이루어질 수 있다.The pivoting control member 430 is formed in an inverted "U" shape at the bottom, and its end is rotatably coupled to one end of the fixing bracket 420 (the end facing the inside of the jig base plate 100). portion 431, and a handle portion 432 extending outward from the other end of the bracket coupling portion 431.

상기 회동 링크 부재(440)는 상기 고정 브르켓(420)의 돌출부에 일단부(도면에서 하단부)가 회전가능하게 결합되고. 그로부터 연장되는 타단부(도면에서 상단부)는 자유단부가 되는 링크로 형성된다.The rotational link member 440 has one end (lower end in the drawing) rotatably coupled to the protruding portion of the fixing bracket 420. The other end (upper end in the drawing) extending therefrom is formed as a link to be a free end.

상기 연동 링크 부재(450)는 일단부는 상기 회동 조작 부재(430)의 중앙부에 회전 가능하게 결합되고, 타단부는 상기 회동 링크 부재(440)의 하단부에 회전 가능하게 결합되는 단일 또는 좌우 한 쌍의 링크로 이루어진다.The interlocking link member 450 has one end rotatably coupled to the central portion of the pivoting operation member 430 and the other end rotatably coupled to the lower end of the pivoting link member 440. made up of links

상기 가압 고정 부재(460)는 상기 회동 링크 부재(440)의 단부에서 그 회동 링크 부재(440)와 직교되게 또는 교차되게 구비되는 결합 로드(461), 및 상기 결합 로드(561)의 하단부에 구비되어 회동 조작 부재(430)의 회동 완료 시 가고정부품의 상면을 가압하면서 접촉하는 탄성 블록(462)을 포함한다.The pressing and fixing member 460 is provided with a coupling rod 461 provided orthogonally or intersecting with the rotation link member 440 at an end of the rotation link member 440, and a lower end of the coupling rod 561. It includes an elastic block 462 in contact while pressing the upper surface of the temporary component when the rotation of the rotation control member 430 is completed.

상기와 같이 구성되는 부품 가고정수단(400)은 회동 조작 부재(430)와 회동 링크 부재(440) 및 연동 링크 부재(450) 간의 결합 관계(결합 지점)에서의 힘벡터 원리를 통해 상기 회동 조작 부재(430)를 가고정 방향으로 회동 조작할 시 연동 링크 부재(450)가 회동 링크 부재(440)에 결합된 측에서 하방향(지그 베이스 플레이트(100) 방향)으로 가압력(회동 링크 부재(440) 누르는 힘을 작용)을 작용시키게 되고, 이에 따라 회동 조작 부재(430)는 회동 완료 위치에서 고정되면서 상기 회동 링크 부재(450)의 단부에 구비되는 가압 고정 부재(460)는 가고정부품을 고정시키게 된다.The part temporary fixing means 400 configured as above is the rotation operation through the force vector principle in the coupling relationship (coupling point) between the rotation operation member 430, the rotation link member 440, and the interlocking link member 450. When the member 430 is pivotally manipulated in the temporarily fixing direction, the interlocking link member 450 has a pressing force (rotating link member 440 ) Pressing force) is applied, and accordingly, the rotation control member 430 is fixed at the rotation completion position while the pressing fixing member 460 provided at the end of the rotation link member 450 fixes the temporary part. will make

또한, 상기 부품 가고정수단(400)은 연동 링크 부재(450)의 상면과 상기 회동 조작 부재(430)의 대향 면 중 적어도 하나에 캠(cam) 돌기가 형성되어 회동 방향으로 회동 조작 부재(430)의 일방향(부품 고정 방향) 회동 시 캠 동작 원리에 의해 부품 고정 방향으로 상기 연동 링크 부재(450)를 고정시키고, 회동 조작 부재(430)의 타방향 회동 시 부품에 대한 상기 연동 링크 부재(450)의 고정력을 해제하도록 구성될 수 있다. 이러한 실시 예는 상기한 힘벡터 원리를 이용한 가고정 구성과 함께 구성될 수 있다.In addition, the part temporarily fixing means 400 has a cam protrusion formed on at least one of the upper surface of the interlocking link member 450 and the opposite surface of the rotation control member 430 to rotate the rotation operation member 430 in the rotation direction. ) The interlocking link member 450 is fixed in the part fixing direction by the cam operation principle when rotating in one direction (part fixing direction), and the interlocking link member 450 for the part when the rotation operation member 430 rotates in the other direction ) can be configured to release the fixing force. This embodiment may be configured with a temporarily fixed configuration using the force vector principle described above.

한편, 상기 부품 가고정수단(400)은 상기 회동 링크 부재(450)와 가압 고정 부재(460) 간에 구비되어, 상기 회동 링크 부재(450)에 구비되는 상기 가압 고정 부재(460)를 그 회동 링크 부재(450)의 길이방향으로 위치 변경하고, 상기 가압 고정 부재(460)를 지그 베이스 플레이트(100)에 대하여 높이를 변경할 수 있게 구성되는 가압고정부재 변위 수단(470)을 더 포함할 수 있다.On the other hand, the component temporary fixing means 400 is provided between the pivot link member 450 and the pressure fixing member 460, and the pressure fixing member 460 provided on the pivot link member 450 is attached to the pivot link. It may further include a pressure fixing member displacement means 470 configured to change the position of the member 450 in the longitudinal direction and to change the height of the press fixing member 460 with respect to the jig base plate 100.

상기 가압고정부재 변위 수단(470)은 상기 회동 링크 부재(450)에 길이방향으로 형성되는 장공(471)과, 상기 가압 고정 부재(460)의 결합 로드(461)의 외연에 형성되는 나사산부(472), 및 상기 회동 링크 부재(450)의 상부와 하부에서 상기 결합 로드(461)에 결합되는 볼트 부재(473)를 포함한다.The pressure fixing member displacement means 470 includes a long hole 471 formed in the longitudinal direction of the pivot link member 450 and a threaded portion formed on the outer periphery of the coupling rod 461 of the pressure fixing member 460 ( 472), and a bolt member 473 coupled to the coupling rod 461 at the top and bottom of the pivot link member 450.

상기와 같이 구성되는 가압고정부재 변위 수단(470)은 지그 베이스 플레이트(100)에 위치되는 가고정부품의 위치에 대하여 수평 방향(지그 베이스 플레이트(100)의 상면과 평행한 방향)으로 가압 고정 부재(460)를 장공(471)을 따라 위치 이동시키고, 위치 이동이 완료된 지점에서 상기 가압 고정 부재(460)를 높이를 조절한 다음 상기 볼트 부재(473)를 조여 고정시킴으로써, 지그 베이스 플레이트(100)에서의 가고정부품(예를 들면, 노즐(N)이나 가스배관(P)의 일부분)의 위치 및 높이에 맞게 효과적으로 가고정할 수 있다.The pressure fixing member displacement means 470 configured as described above is a pressure fixing member in a horizontal direction (parallel to the upper surface of the jig base plate 100) with respect to the position of the temporary part located on the jig base plate 100. The jig base plate 100 is formed by moving the position of the 460 along the long hole 471, adjusting the height of the pressure fixing member 460 at the point where the positioning is completed, and then tightening and fixing the bolt member 473. It can be effectively temporarily fixed according to the position and height of the temporary part (for example, a part of the nozzle (N) or gas pipe (P)) in the.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그에 의하면, 사이드 트랙 버퍼에서 선형관부과 곡관부를 포함하는 가스배관과 이에 결합되는 복수의 노즐을 정밀하게 조립할 수 있고, 사이드 트랙 버퍼의 어셈블리의 조립 중 발생하는 어셈블리 간의 응력에 의한 노즐 정렬 변형을 최소화하거나 방지할 수 있으며, 사이드 트랙 버퍼의 균질성을 확보할 수 있고, 불량 손실을 줄일 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.As described above, according to the side track buffer gas pipe-nozzle assembly assembly jig according to the present invention, a gas pipe including a linear pipe part and a curved pipe part and a plurality of nozzles coupled thereto can be precisely assembled in the side track buffer, , It is possible to minimize or prevent nozzle alignment deformation due to stress between assemblies generated during assembly of the side track buffer assembly, to ensure the homogeneity of the side track buffer, to reduce defect loss, and to improve productivity. There is an advantage to being

본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

본 명세서에서 설명되는 실시 예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The embodiments described in this specification and the accompanying drawings merely illustrate some of the technical ideas included in the present invention by way of example. Therefore, since the embodiments disclosed in this specification are not intended to limit the technical idea of the present invention but to explain it, it is obvious that the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. All modified examples and specific examples that can be easily inferred by those skilled in the art within the scope of the technical idea included in the specification and drawings of the present invention should be construed as being included in the scope of the present invention.

N: 노즐
P: 가스배관
FM: 유량계
F: 필터
100: 지그 베이스 플레이트
200: 가스배관 배치 수단
210: 가스배관 선형부 가이드 부재
211: 선형 안착홈
220: 가스배관 곡관부 가이드 부재
221: 블록 바디
222: 돌출턱
223: 안착홈
300: 노즐 정렬 수단
310: 정렬홈
311: 위치결정홈부
320: 관통공
330: 조립구멍
340: 결합구
400: 부품 가고정 수단
410: 고정 블록
420: 고정 브라켓
430: 회동 조작 부재
431: 브라켓 결합부
432: 손잡이부
440: 회동 링크 부재
450: 연동 링크 부재
460: 가압 고정 부재
461: 결합 로드
462: 탄성 블록
470: 가압고정부재 변위 수단
471: 장공
472: 나사산부
473: 볼트 부재N: Nozzle
P: gas pipe
FM: flow meter
F: filter
100: jig base plate
200: gas piping arrangement means
210: Gas pipe linear part guide member
211: linear seating groove
220: Gas pipe bend guide member
221: block body
222: protruding jaw
223: seating groove
300: nozzle alignment means
310: alignment groove
311: positioning groove
320: through hole
330: assembly hole
340: coupler
400: part temporary fixing means
410: fixed block
420: fixed bracket
430: rotation control member
431: bracket coupling part
432: handle part
440: rotation link member
450: interlocking link member
460: pressing fixing member
461: combined rod
462: elastic block
470: pressure fixing member displacement means
471: long hole
472: screw thread
473: bolt member

Claims (11)

반도체 웨이퍼 이송설비의 사이드 트랙 버퍼에 포함되는 가스배관 및 서로 다른 배치관계를 갖고 상기 가스배관의 복수의 노즐 결합단부 각각에 구비되는 복수의 노즐을 포함하는 어셈블리를 조립하기 위한 사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그로서,
지그 베이스 플레이트; 상기 가스배관이 상기 지그 베이스 플레이트에 안착되도록 상기 지그 베이스 플레이트의 복수 개소에 구비되는 가스배관 배치 수단; 상기 지그 베이스 플레이트의 복수 개소에 구비되어, 상기 가스배관의 노즐 결합단부에 얼라인(align)되면서 노즐이 조립되도록 하는 노즐 정렬 수단; 및 상기 어셈블리를 가고정시키도록 구성되는 부품 가고정 수단을 포함하고,
상기 가스배관 배치 수단은, 상기 가스배관의 선형부의 일부가 안착되게 구성되는 가스배관 선형부 가이드 부재; 및 상기 가스배관의 곡관부가 안착되게 구성되는 가스배관 곡관부 가이드 부재;를 포함하고,
상기 가스배관 선형부 가이드 부재는 상기 가스배관의 선형부의 일부가 안착되는 선형 안착홈이 형성된 블록체로 이루어지며,
상기 가스배관 곡관부 가이드 부재는 블록 바디와, 상기 블록 바디의 상면에서 이웃하는 두 가장자리에서 돌출하는 돌출턱, 및 상기 돌출턱에 형성되는 안착홈을 포함하는 것을 특징으로 하는
사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그.
A gas pipe of a side track buffer for assembling an assembly including a gas pipe included in a side track buffer of a semiconductor wafer transfer facility and a plurality of nozzles having different arrangement relationships and provided at respective nozzle coupling ends of the gas pipe - As an assembly jig for nozzle assembly,
jig base plate; gas pipe arranging means provided at a plurality of locations of the jig base plate so that the gas pipe is seated on the jig base plate; nozzle aligning means provided at a plurality of locations of the jig base plate to allow nozzles to be assembled while being aligned with the nozzle coupling end of the gas pipe; and part temporarily fixing means configured to temporarily fix the assembly;
The gas pipe arranging unit may include a gas pipe linear portion guide member configured to seat a part of the linear portion of the gas pipe; And a gas pipe bend portion guide member configured to seat the gas pipe bend portion; includes,
The gas pipe linear part guide member is made of a block body having a linear seating groove in which a part of the linear part of the gas pipe is seated.
Characterized in that the gas pipe bend guide member includes a block body, a protruding jaw protruding from two neighboring edges on an upper surface of the block body, and a seating groove formed on the protruding jaw.
Assembly jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer.
 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 이웃하는 두 돌출턱 각각에 형성되는 안착홈은 서로 직교하는 관계로 형성되는 것을 특징으로 하는
사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그.
According to claim 1,
Characterized in that the seating grooves formed on each of the two neighboring protruding jaws are formed in a relationship orthogonal to each other
Assembly jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer.
 제1항에 있어서,
상기 이웃하는 두 돌출턱 각각에 형성되는 안착홈에 있어서 일측의 돌출턱에 형성되는 안착홈과 타측에 형성되는 돌출턱에 형성되는 안착홈은 가스배관의 곡관부의 절곡 각도에 상응하는 각도에 대응하여 형성되는 것을 특징으로 하는
사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그.
According to claim 1,
In the seating groove formed on each of the two neighboring protruding jaws, the seating groove formed on one protruding jaw and the seating groove formed on the protruding jaw formed on the other side correspond to an angle corresponding to the bending angle of the bend of the gas pipe. characterized by the formation of
Assembly jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer.
 제1항에 있어서,
상기 노즐 정렬 수단은
상기 지그 베이스 플레이트에 형성되는 정렬홈;
상기 정렬홈에 형성되어 노즐의 전방부가 삽입되는 관통공;
상기 노즐의 장착 플레이트에 형성된 결합구멍과 동일 선상으로 상기 정렬홈에 형성되는 조립구멍; 및
상기 장착 플레이트의 결합구멍과 정렬홈의 조립구멍에 나사산 결합되는 결합구;를 포함하는 것을 특징으로 하는
사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그.
According to claim 1,
The nozzle aligning means
Alignment grooves formed in the jig base plate;
a through hole formed in the alignment groove and into which the front portion of the nozzle is inserted;
an assembly hole formed in the alignment groove on the same line as the coupling hole formed in the mounting plate of the nozzle; and
characterized in that it comprises a; coupling hole screwed to the coupling hole of the mounting plate and the assembly hole of the alignment groove
Assembly jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer.
 제6항에 있어서,
상기 정렬홈은 상하 두 변은 평행하게 형성되고 좌우 두 변은 라운드지게 형성되되, 일측 모서리부가 모따기된 형태로 형성되며,
상기 정렬홈의 모따기된 부분 이외의 모서리부에는 외측으로 연장된 돔 형상의 위치결정홈부가 형성되는 것을 특징으로 하는
사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그.
According to claim 6,
The alignment groove has two upper and lower sides formed in parallel and two left and right sides rounded, and one corner portion is formed in a chamfered form,
Characterized in that a dome-shaped positioning groove portion extending outward is formed at a corner portion other than the chamfered portion of the alignment groove
Assembly jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer.
 제1항에 있어서,
상기 부품 가고정수단은
상기 지그 베이스 플레이트에 구비되는 고정 블록;
상기 고정 블록의 상단에 결합되는 고정 브라켓;
일단부가 상기 고정 브라켓의 일단부에 회전가능하게 결합되는 회동 조작 부재;
상기 고정 브라켓의 중앙부에 회전가능하게 결합되는 회동 링크 부재;
일단부는 상기 회동 조작 부재의 중앙부에 회전가능하게 결합되고, 타단부는 상기 회동 링크 부재의 하단부에 회전가능하게 결합되는 연동 링크 부재; 및
상기 회동 링크 부재의 타단부에 구비되어 상기 회동 조작 부재와 회동 링크 부재 및 연동 링크 부재의 연동으로 어셈블리의 상부를 가압 고정시키도록 구성되는 가압 고정 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는
사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그.
According to claim 1,
The part temporarily fixing means
a fixing block provided on the jig base plate;
a fixing bracket coupled to an upper end of the fixing block;
a rotation control member having one end rotatably coupled to one end of the fixing bracket;
a pivoting link member rotatably coupled to the central portion of the fixing bracket;
an interlocking link member having one end rotatably coupled to the central portion of the pivoting operation member and the other end rotatably coupled to the lower end of the pivoting link member; and
A press fixing member provided at the other end of the pivot link member and configured to press and fix the upper part of the assembly by interlocking the pivot manipulation member, the pivot link member, and the interlock link member.
Assembly jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer.
 제8항에 있어서,
상기 고정 브라켓은 상단부의 일부가 상방으로 돌출된 형태 凸 형태의 브라켓으로 구성되고,
상기 회동 조작 부재는 역 "U"자형으로 형성되는 브라켓 결합부, 및 상기 브라켓 결합부에서 외측으로 연장되는 손잡이부로 이루어지며,
상기 가압 고정 부재는 상기 회동 링크 부재의 단부에서 회동 링크 부재와 직교되거나 교차되게 구비되는 결합 로드; 및
상기 결합 로드의 하단부에 구비되는 탄성 블록;을 포함하는 것을 특징으로 하는
사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그.
According to claim 8,
The fixing bracket is composed of a convex bracket in which a part of the upper end protrudes upward,
The rotation control member includes a bracket coupling portion formed in an inverted "U" shape, and a handle portion extending outward from the bracket coupling portion,
The pressing and fixing member includes a coupling rod provided to cross or orthogonal to the pivot link member at an end of the pivot link member; and
Characterized in that it comprises a; elastic block provided at the lower end of the coupling rod
Assembly jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer.
 제9항에 있어서,
상기 부품 가고정수단에 구비되어, 상기 가압 고정 부재가 상기 회동 링크 부재의 길이방향에서 위치 변경되고, 상기 지그 베이스 플레이트에 대한 상기 가압 고정 부재의 높이가 변경할 수 있게 구성되는 가압고정부재 변위 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는
사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그.
According to claim 9,
A pressure fixing member displacement means provided in the component temporary fixing means so that the pressure fixing member can be changed in position in the longitudinal direction of the pivot link member and the height of the pressure fixing member relative to the jig base plate can be changed. characterized in that it further comprises
Assembly jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer.
 제10항에 있어서,
상기 가압고정부재 변위 수단은
상기 회동 링크 부재에 길이방향으로 형성되는 장공;
상기 가압 고정 부재의 결합 로드의 외연에 형성되는 나사산부; 및
상기 회동 링크 부재의 상부와 하부에서 상기 결합 로드에 결합되는 볼트 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는
사이드 트랙 버퍼의 가스배관-노즐 어셈블리용 조립 지그.According to claim 10,
The pressure fixing member displacement means
a long hole formed in the longitudinal direction of the rotational link member;
a threaded portion formed on an outer periphery of the coupling rod of the pressure fixing member; and
A bolt member coupled to the coupling rod at the upper and lower portions of the pivot link member; characterized in that it comprises a
Assembly jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer.
KR1020220135485A 2022-10-20 2022-10-20 Assembling jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer KR102506296B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220135485A KR102506296B1 (en) 2022-10-20 2022-10-20 Assembling jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220135485A KR102506296B1 (en) 2022-10-20 2022-10-20 Assembling jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102506296B1 true KR102506296B1 (en) 2023-03-03

Family

ID=85510127

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220135485A KR102506296B1 (en) 2022-10-20 2022-10-20 Assembling jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102506296B1 (en)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102152264A (en) * 2011-03-16 2011-08-17 重庆长安汽车股份有限公司 Split assembly clamp of six-way valve and braking oil pipe for passenger car
CN102848236A (en) * 2012-09-29 2013-01-02 南车戚墅堰机车有限公司 Bend processing device
CN103639944A (en) * 2013-11-30 2014-03-19 芜湖通和汽车管路***有限公司 Clamping device for assembly of automobile pipeline support
CN204772241U (en) * 2015-06-30 2015-11-18 重庆长安汽车股份有限公司 Cross before automobile on wallboard and braking oil pipe's partial shipment frock
KR101608832B1 (en) 2014-07-28 2016-04-05 우범제 Foup stage nozzle unit and load port having therof
KR101674454B1 (en) 2015-06-22 2016-11-09 주식회사 신성에프에이 Side track buffer for foup purging
KR102098970B1 (en) 2012-06-11 2020-04-08 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 Purge nozzle unit, mounting table, load port and stocker
KR20220131610A (en) * 2021-03-22 2022-09-29 주식회사 아셀 Assembling apparatus for guide pin of purge gas circulation device

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102152264A (en) * 2011-03-16 2011-08-17 重庆长安汽车股份有限公司 Split assembly clamp of six-way valve and braking oil pipe for passenger car
KR102098970B1 (en) 2012-06-11 2020-04-08 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 Purge nozzle unit, mounting table, load port and stocker
CN102848236A (en) * 2012-09-29 2013-01-02 南车戚墅堰机车有限公司 Bend processing device
CN103639944A (en) * 2013-11-30 2014-03-19 芜湖通和汽车管路***有限公司 Clamping device for assembly of automobile pipeline support
KR101608832B1 (en) 2014-07-28 2016-04-05 우범제 Foup stage nozzle unit and load port having therof
KR101674454B1 (en) 2015-06-22 2016-11-09 주식회사 신성에프에이 Side track buffer for foup purging
CN204772241U (en) * 2015-06-30 2015-11-18 重庆长安汽车股份有限公司 Cross before automobile on wallboard and braking oil pipe's partial shipment frock
KR20220131610A (en) * 2021-03-22 2022-09-29 주식회사 아셀 Assembling apparatus for guide pin of purge gas circulation device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101850214B1 (en) Transfer system and transfer method
US20080022881A1 (en) Traveling rails for carriage
JP2008173744A (en) Conveying position alignment method for conveying system
KR102506296B1 (en) Assembling jig for gas pipe-nozzle assembly of side track buffer
KR20210143942A (en) foreline assembly for quad station process module
US10133266B2 (en) Conveyance robot replacement apparatus and conveyance robot replacement method
US6709225B1 (en) System for installation, maintenance and removal of minienvironment components
CN206311307U (en) A kind of fixture of vehicle gearbox valve body
US20210028037A1 (en) Base frame of substrate carrier, substrate carrier and substrate transfer mechanism
KR102360920B1 (en) Foup storage device used in semiconductor production line
TW202306013A (en) Compound fork device and system including the same
JP2006319005A (en) Sheet transfer tray for crystal liquid glass board
KR102195523B1 (en) In-line function testing method of STB
KR102125037B1 (en) An Automatic Pipe Bending Apparatus
KR101002875B1 (en) Device for pre-alignment of reticle and method thereof
KR20220040602A (en) Carrier storage apparatus
JP6775432B2 (en) Vacuum transfer module and substrate processing equipment
JP4674745B2 (en) Manufacturing process layout with backup system
CN117921585B (en) Manifold assembly mounting jig and mounting method
KR20060120892A (en) Semiconductor fabricating apparatus
US20230061872A1 (en) Wafer storage system
KR102361173B1 (en) Foup storage device used in semiconductor manufacturing
US20240178045A1 (en) Robot for handling flat substrates as well as alignment facility
KR20070069591A (en) Robot position teaching device and treating apparatus with the same
KR20230099237A (en) Adaptor assembly