KR102007611B1 - Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 프로브 핀이 탄성부, 제1 접촉부 및 제2 접촉부를 구비한다. 탄성부가 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고, 각 띠 형상 탄성편이 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부와, 제1 직선부의 타단부 및 제2 직선부의 타단부에 접속된 만곡부를 갖는다.In the present invention, the probe pin has an elastic portion, a first contact portion and a second contact portion. The elastic portion has a plurality of strip-shaped elastic pieces, and each strip-shaped elastic piece has a first straight portion connected to the first contact portion from a direction in which one end in the extending direction intersects the longitudinal direction of the probe pin, and one end in the extension direction. It has a 2nd linear part connected to the 2nd contact part from the direction which cross | intersects the longitudinal direction of a probe pin, and the curved part connected to the other end part of a 1st linear part, and the other end part of a 2nd linear part.

Description

프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치 {PROBE PIN, INSPECTION JIG, INSPECTION UNIT AND INSPECTION APPARATUS}Probe Pins, Inspection Jigs, Inspection Units and Inspection Devices {PROBE PIN, INSPECTION JIG, INSPECTION UNIT AND INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to a probe pin, an inspection jig provided with this probe pin, an inspection unit provided with this inspection jig, and the inspection apparatus provided with this inspection unit.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로 그 제조 공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉 전극, 혹은 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속함으로써 행해진다.In electronic component modules, such as a camera or a liquid crystal panel, conduction test, operation characteristic test, etc. are generally performed in the manufacturing process. These inspections are performed by connecting the inspection apparatus with an electrode portion such as an FPC contact electrode for connecting to a main body substrate installed in the electronic component module or a mounted board-to-board connector using a probe pin.

이러한 프로브 핀으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재하여 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다. 상기 프로브 핀에서는, 사행부에 의해 각 콘택트와 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자의 사이의 접압을 확보하여, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대한 접촉 신뢰성을 높이고 있다.As such a probe pin, there exist some which were described in patent document 1, for example. This probe pin is provided with a pair of contacts which can respectively contact the electrode terminal of an electronic component, and the electrode terminal of a to-be-connected electronic component, and the meandering part which connects a pair of contacts through a pair of contacts. In the probe pin, a meandering part ensures contact pressure between each contact, the electrode terminal of the electronic component, and the electrode terminal of the connected electronic component, and the contact reliability of the electrode terminal of the electronic component and the electrode terminal of the connected electronic component. Is raising.

일본 특허 공개 제2002-134202호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2002-134202

근년, 전자 부품 모듈의 전력 절약화에 따라 검사에 사용하는 프로브 핀의 저저항화가 요구되고 있다.In recent years, with the power saving of an electronic component module, the resistance of the probe pin used for test | inspection is calculated | required.

특허문헌 1의 프로브 핀에 있어서, 높은 접촉 신뢰성을 확보하기 위해 사행부의 절첩의 수를 증가시키면 한 쌍의 콘택트 사이를 흐르는 전류의 경로가 길어진다. 이 경우 프로브 핀의 전기 저항이 증대되어, 저저항화를 도모하는 것이 곤란한 경우가 있다.In the probe pin of patent document 1, in order to ensure the high contact reliability, when the number of folding of a meander part is increased, the path | route of the electric current which flows between a pair of contacts becomes long. In this case, the electrical resistance of the probe pin is increased, which may make it difficult to reduce the resistance.

본 발명은, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 도통 경로의 전기 저항을 저감할 수 있는 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention provides a probe pin capable of reducing the electrical resistance of the conduction path while ensuring contact reliability between the inspection object and the inspection apparatus, an inspection jig having the probe pin, an inspection unit having the inspection jig, and the inspection An object of the present invention is to provide an inspection apparatus having a unit.

본 발명의 일례의 프로브 핀은,The probe pin of an example of the present invention,

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,An elastic portion that stretches along the longitudinal direction,

상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제1 단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와, 상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제2 단부에 접속된 판상의 제2 접촉부A plate-shaped first contact portion connected to the first end portion in the longitudinal direction of the elastic portion, and a plate-shaped second contact portion disposed in series with the first contact portion and connected to the second end portion in the longitudinal direction of the elastic portion.

를 구비하고,And,

상기 탄성부가,The elastic portion,

서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고,It has a plurality of strip-shaped elastic pieces arranged with a gap between each other,

상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,Each of the plurality of strip-shaped elastic pieces,

상기 제1 접촉부에 대하여 상기 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 단부를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와,It is arrange | positioned on the one side of the width direction of the said 1st contact part with respect to the said 1st contact part, extends along the direction which cross | intersects the said longitudinal direction, and the one end part of the extension direction comprises the said 1st end part, and A first straight portion connected to the first contact portion from a direction crossing the longitudinal direction,

상기 제2 접촉부에 대하여 상기 제1 접촉부의 상기 폭 방향의 상기 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 단부를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부와,It is disposed on the one side in the width direction of the first contact portion with respect to the second contact portion, extends along a direction crossing the longitudinal direction, and one end in the extension direction constitutes the second end portion. A second straight portion connected to the second contact portion from a direction crossing the longitudinal direction;

상기 제1 직선부의 타단부 및 상기 제2 직선부의 타단부에 접속된 만곡부Curved portion connected to the other end of the first straight portion and the other end of the second straight portion

를 갖는다.Has

또한, 본 발명의 일례의 검사 지그는,In addition, the inspection jig of an example of this invention,

상기 프로브 핀과,The probe pin,

상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 소켓A socket having a receptacle for accommodating the probe pin

을 구비한다.It is provided.

또한, 본 발명의 일례의 검사 유닛은,In addition, the inspection unit of an example of the present invention,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.At least one said inspection jig was provided.

또한, 본 발명의 일례의 검사 장치는,In addition, the inspection apparatus of an example of the present invention,

상기 검사 유닛을 적어도 하나 구비했다.At least one said inspection unit was provided.

상기 프로브 핀에 의하면, 탄성부가 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고, 각 띠 형상 탄성편이 제1 접촉부에 대하여 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와, 제2 접촉부에 대하여 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부와, 제1 직선부의 타단부 및 제2 직선부의 타단부에 접속된 만곡부를 갖고 있다. 이 탄성부에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 제1 접촉부 및 제2 접촉부간의 도통 경로에 있어서의 전기 저항을 저감할 수 있다.According to the said probe pin, an elastic part has a some strip | belt-shaped elastic piece, each strip | belt-shaped elastic piece is arrange | positioned to the one side of the width direction of a 1st contact part with respect to a 1st contact part, and the one end of the extension direction is the length of a probe pin The first straight portion connected to the first contact portion from the direction crossing the direction and the second contact portion are disposed on one side in the width direction of the first contact portion, and one end of the extension direction crosses the longitudinal direction of the probe pin. It has the 2nd linear part connected to the 2nd contact part from the direction, and the curved part connected to the other end part of a 1st linear part, and the other end part of a 2nd linear part. By this elastic part, the electrical resistance in the conduction path between a 1st contact part and a 2nd contact part can be reduced, ensuring the contact reliability with respect to a test object and a test | inspection apparatus.

또한, 상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 지그를 실현할 수 있다.Moreover, according to the said test jig, the said test pin can implement | achieve the test jig with high contact reliability with respect to a test | inspection object and a test apparatus, and a low contact resistance at the time of connecting to a test object and a test apparatus.

또한, 상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 유닛을 실현할 수 있다.Moreover, according to the said inspection unit, the said inspection jig can implement | achieve the inspection unit with high contact reliability with respect to an inspection object and an inspection apparatus, and low contact resistance at the time of connecting to an inspection object and an inspection apparatus.

또한, 상기 검사 장치에 의하면, 상기 검사 유닛에 의해, 검사 대상물에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 장치를 실현할 수 있다.Moreover, according to the said inspection apparatus, the said inspection unit can implement | achieve the inspection apparatus with high contact reliability with respect to an inspection object, and low contact resistance at the time of connecting to an inspection object.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 검사 유닛을 도시하는 사시도이다.
도 2는 도 1의 II-II선을 따른 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 3의 프로브 핀의 평면도이다.
도 5는 도 3의 프로브 핀의 탄성부 주변의 확대 평면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows the inspection unit of one Embodiment of this invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1.
It is a perspective view which shows the probe pin of one Embodiment of this invention.
4 is a plan view of the probe pin of FIG. 3.
FIG. 5 is an enlarged plan view around an elastic part of the probe pin of FIG. 3.

이하, 본 발명의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, "상", "하", "우", "좌"를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위함이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 발명, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하지는 않는다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, an example of this invention is demonstrated according to attached drawing. In addition, in the following description, although the term which shows a specific direction or position (for example, the term containing "up", "bottom", "right", "left") is used as needed, use of these terms Is to facilitate understanding of the present invention with reference to the drawings, and the technical scope of the present invention is not limited by the meaning of these terms. In addition, the following description is merely exemplary in nature and is not intended to limit the present invention, its application, or its use. In addition, drawing is typical, and the ratio of each dimension etc. does not necessarily correspond with a real thing.

본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀(10)은 도전성을 갖고, 예를 들어 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)에 수용된 상태에서 사용되어, 소켓(3)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 이 검사 지그(2)에는, 일례로서 복수의 가늘고 긴 박판 상의 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.The probe pin 10 of one embodiment of the present invention is conductive and used in a state accommodated in the socket 3, for example, as shown in Figs. Configure 2). In this inspection jig 2, a plurality of thin thin plate-like probe pins 10 are housed as an example.

또한, 검사 지그(2)는 검사 유닛(1)의 일부를 구성하고 있다. 검사 유닛(1)은, 도 1에 도시한 바와 같이 적어도 하나의 검사 지그(2)가 내장된 대략 직육면체상의 베이스 하우징(4)을 구비하고 있다. 이 베이스 하우징(4)은 대략 직사각형 판상의 제1 하우징(5)과, 이 제1 하우징(5)의 판 두께 방향으로 적층된 제2 하우징(6)으로 구성되어 있다.In addition, the inspection jig 2 constitutes a part of the inspection unit 1. As shown in FIG. 1, the inspection unit 1 includes a substantially rectangular parallelepiped base housing 4 in which at least one inspection jig 2 is incorporated. This base housing 4 is comprised from the substantially rectangular plate-shaped 1st housing 5 and the 2nd housing 6 laminated | stacked in the plate | board thickness direction of this 1st housing 5. As shown in FIG.

소켓(3)은, 도 2에 도시한 바와 같이 각 프로브 핀(10)을 수용 가능한 복수의 수용부(7)를 갖고, 제1 하우징(5) 및 제2 하우징(6)으로 유지되어 있다. 각 수용부(7)는 소켓(3)과 베이스 하우징(4)의 제2 하우징(6)으로 둘러싸여 있고, 후술하는 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)의 외부로 각각 노출된 상태에서 각 프로브 핀(10)을 수용 가능하게 구성되어 있다.As shown in FIG. 2, the socket 3 has a plurality of housing portions 7 that can accommodate each probe pin 10, and is held by the first housing 5 and the second housing 6. Each receiving portion 7 is surrounded by the second housing 6 of the socket 3 and the base housing 4, and the first contact portion 121 and the second contact portion 131 described later are connected to the socket 3. And each probe pin 10 in a state of being exposed to the outside of the base housing 4, respectively.

각 프로브 핀(10)은, 도 3에 도시한 바와 같이 그 길이 방향(즉, 도 3의 상하 방향)을 따라 신축하는 탄성부(11)와, 탄성부(11)의 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 한쪽의 단부인 제1 단부(111)에 접속된 판상의 제1 접촉부(12)와, 제1 접촉부(12)에 대하여 직렬적으로 배치되어 탄성부(11)의 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 타단부인 제2 단부(112)에 접속된 판상의 제2 접촉부(13)를 구비하고 있다.As illustrated in FIG. 3, each of the probe pins 10 includes an elastic part 11 that stretches along its length direction (ie, an up-down direction in FIG. 3) and a probe pin 10 of the elastic part 11. The probe pin of the elastic part 11 arranged in series with the plate-shaped 1st contact part 12 connected to the 1st end part 111 which is one end part in the longitudinal direction, and the 1st contact part 12 ( The plate-shaped 2nd contact part 13 connected to the 2nd end part 112 which is the other end part in the longitudinal direction of 10) is provided.

탄성부(11)는, 도 4에 도시한 바와 같이 서로 간극(61, 62, 63)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는 4개의 띠 형상 탄성편)(21, 22, 23, 24)을 갖고 있다. 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 도 5에 도시한 바와 같이 가늘고 긴 띠 형상이며, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와, 제2 직선부(41, 42, 43, 44)와, 만곡부(51, 52, 53, 54)를 갖고 있다. 또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 일례로서 대략 동일한 단면 형상을 갖고 있다.As shown in Fig. 4, the elastic portion 11 includes a plurality of strip-shaped elastic pieces (four strip-shaped elastic pieces in this embodiment) arranged with the gaps 61, 62, and 63 interposed therebetween. 23, 24). Each strip-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24 has a long strip shape as shown in FIG. 5, The 1st linear part 31, 32, 33, 34, and the 2nd linear part 41 are shown. , 42, 43, 44, and curved portions 51, 52, 53, 54. In addition, each strip | belt-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24 has substantially the same cross-sectional shape as an example.

각 제1 직선부(31, 32, 33, 34)는, 도 5에 도시한 바와 같이 띠 형상을 갖고, 제1 접촉부(12)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측(즉, 도 5의 우측)에 배치되고, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있다. 또한, 각 제1 직선부(31, 32, 33, 34)는, 그 연장 방향의 일단부가 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 단부(211, 221, 231, 241)(즉, 탄성부(11)의 제1 단부(111))를 구성하며 또한 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 제1 방향(A)으로부터 제1 접촉부(12)에 접속되어 있다.Each of the first straight portions 31, 32, 33, 34 has a band shape as shown in FIG. 5, and one side in the width direction of the first contact portion 12 with respect to the first contact portion 12 (that is, 5, and extends along a direction crossing the longitudinal direction of the probe pin 10. Further, each of the first straight portions 31, 32, 33, 34 has one end portion in the extending direction of the first end portions 211, 221, 231, 241 of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24. (That is, the first end 111 of the elastic portion 11) and is connected to the first contact portion 12 from the first direction A intersecting the longitudinal direction of the probe pin 10.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 단부(211, 221, 231, 241)와 제1 접촉부(12)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되는 제1 직선(L1) 상에서 접속되어 있다. 즉, 제1 직선(L1)은, 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향(즉, 제1 방향(A))에 직교하는 방향으로 연장되어 있다.In addition, as shown in Fig. 5, one end portion (ie, each of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24) in the extending direction of each of the first straight portions 31, 32, 33, 34 is formed. The first ends 211, 221, 231, and 241 and the first contact portion 12 are connected on a first straight line L1 extending in a direction (eg, an orthogonal direction) intersecting the longitudinal direction of the probe pin 10. That is, the first straight line L1 is a direction orthogonal to the connection direction (ie, the first direction A) with respect to the first contact portion 12 of the first ends 211, 221, 231, and 241. Extends.

각 제2 직선부(41, 42, 43, 44)는 도 5에 도시한 바와 같이 띠 형상을 갖고, 제2 접촉부(13)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측(즉, 도 5의 우측)에 배치되고, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있다. 또한, 각 제2 직선부(41, 42, 43, 44)는, 그 연장 방향의 일단부가 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제2 단부(212, 222, 232, 242)(즉, 탄성부(11)의 제2 단부(112))를 구성하며 또한 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 제2 방향(B)으로부터 제2 접촉부(13)에 접속되어 있다.Each of the second straight portions 41, 42, 43, 44 has a band shape as shown in FIG. 5, and one side of the first contact portion 12 in the width direction with respect to the second contact portion 13 (that is, It is arrange | positioned at the right side of FIG. 5, and is extended along the direction which cross | intersects the longitudinal direction of the probe pin 10. FIG. Further, each of the second straight portions 41, 42, 43, 44 has one end portion in the extending direction of the second end portions 212, 222, 232, 242 of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24. (That is, the second end 112 of the elastic portion 11) and is connected to the second contact portion 13 from the second direction B intersecting the longitudinal direction of the probe pin 10.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제2 단부(212, 222, 232, 242)와 제2 접촉부(13)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되는 제2 직선(L2) 상에서 접속되어 있다. 즉, 제2 직선(L2)은, 제2 단부(212, 222, 232, 242)의 제2 접촉부(13)에 대한 접속 방향(즉, 제2 방향(B))에 직교하는 방향으로 연장되어 있다.In addition, as shown in Fig. 5, one end portion (ie, each of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24) in the extending direction of each second straight portion 41, 42, 43, 44 is formed. The second ends 212, 222, 232, 242 and the second contact portion 13 are connected on a second straight line L2 extending in a direction (eg, an orthogonal direction) intersecting the longitudinal direction of the probe pin 10. That is, the second straight line L2 is a direction orthogonal to the connection direction (ie, the second direction B) with respect to the second contact portion 13 of the second ends 212, 222, 232, and 242. Extends.

또한, 제1 접촉부(12)의 폭 방향은, 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향(즉, 도 4 및 도 5의 지면 관통 방향)으로부터 보아 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 방향(즉, 도 4 및 도 5의 좌우 방향)이다.In addition, the width direction of the first contact portion 12 is a direction orthogonal to the longitudinal direction of the probe pin 10 as viewed from the plate thickness direction of the first contact portion 12 (that is, the paper penetrating direction in FIGS. 4 and 5). (That is, the left and right directions in Figs. 4 and 5).

각 만곡부(51, 52, 53, 54)는 도 5에 도시한 바와 같이 띠 형상이며, 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향으로부터 보아 대략 S자상을 갖고, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 그 연장 방향의 타단부 및 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다. 각 만곡부(51, 52, 53, 54)는, 제1 만곡부(511, 521, 531, 541)와, 제2 만곡부(512, 522, 532, 542)와, 제1 만곡부(511, 521, 531, 541) 및 제2 만곡부(512, 522, 532, 542)를 접속하는 접속부(513, 523, 533, 543)를 갖고 있다.Each of the curved portions 51, 52, 53, 54 has a band shape as shown in Fig. 5, has an approximately S-shape when viewed from the plate thickness direction of the first contact portion 12, and the first straight portions 31, 32, It is connected to the other end of the extending direction of the 33 and 34, and the other end of the 2nd linear part 41, 42, 43, 44 in the extension direction. Each curved portion 51, 52, 53, 54 has a first curved portion 511, 521, 531, 541, a second curved portion 512, 522, 532, 542, and a first curved portion 511, 521, 531. , 541 and connecting portions 513, 523, 533, 543 for connecting the second curved portions 512, 522, 532, 542.

제1 만곡부(511, 521, 531, 541)는, 그 곡률 중심(CP1)이 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 사이에 배치되며, 180도보다도 크고 360도보다도 작은 중심각 θ1에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 제2 만곡부(512, 522, 532, 542)는, 그 곡률 중심(CP2)이 탄성부(11)에 대하여 상이한 측(즉, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)보다도 제2 직선부(41, 42, 43, 44)로부터 이격된 위치)에 배치되며, 제로보다도 크고 180도보다도 작은 중심각 θ2에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 접속부(513, 523, 533, 543)는 대략 직선상으로 연장되어 있다.The first curved portions 511, 521, 531, and 541 have a center of curvature CP1 of the first straight portions 31, 32, 33, and 34 and the second straight portion (in the longitudinal direction of the probe pin 10). It is arrange | positioned between 41, 42, 43, 44, and extends along the arc about the center angle (theta) 1 larger than 180 degree | times and smaller than 360 degree | times. Further, the second curved portions 512, 522, 532, 542 have a first straight portion in the longitudinal direction of the probe pin 10 whose side of curvature CP2 is different from the elastic portion 11 (ie, the probe pin 10). (31, 32, 33, 34) from the second straight portion (41, 42, 43, 44) spaced apart from the position), and extends along the arc of the center angle [theta] 2 larger than zero and smaller than 180 degrees. In addition, the connection parts 513, 523, 533, 543 extend substantially linearly.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 단부(211, 221, 231, 241) 및 제2 단부(212, 222, 232, 242) 사이의 경로의 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이)(W1, W2, W3, W4)은 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작아지도록 구성되어 있다.5, the width | variety of each strip | belt-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24 (namely, the 1st end part 211 of each strip | belt-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24). 221, 231, 241 and the widthwise length perpendicular to the extending direction of the path between the second ends 212, 222, 232, and 242 (W1, W2, W3, W4) are adjacent strip-shaped elastic pieces ( It is comprised so that it may become smaller than the shortest distance W5 between 21, 22, 23, and 24.

또한, 도 5에는, 일례로서 제1 만곡부(511, 521, 531, 541)의 곡률 원의 반경 방향에 있어서의 곡률 중심(CP1)에 가장 가까운 띠 형상 탄성편(24)의 만곡부(54)와, 이 띠 형상 탄성편(24)에 인접하는 띠 형상 탄성편(23)의 만곡부(53)의 사이의 직선 거리를 최단 거리(W5)로서 나타내고 있다.5, the curved part 54 of the strip | belt-shaped elastic piece 24 closest to the center of curvature CP1 in the radial direction of the curvature circle of the 1st curved part 511, 521, 531, 541 is shown in FIG. The straight line distance between the curved portions 53 of the strip-shaped elastic pieces 23 adjacent to the strip-shaped elastic pieces 24 is shown as the shortest distance W5.

제1 접촉부(12)는, 도 4에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되고, 그 연장 방향의 일단부가 탄성부(11)의 제1 단부(111)에 접속되어 있다. 제1 접촉부(12)의 연장 방향의 타단부에는 제1 접점부(121)가 마련되어 있다. 또한, 제2 접촉부(13)는, 도 4에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되고, 그 연장 방향의 일단부가 탄성부(11)의 제2 단부(112)에 접속되어 있다. 제2 접촉부(13)의 연장 방향의 타단부에는 제2 접점부(131)가 마련되어 있다.As shown in FIG. 4, the first contact portion 12 extends along the longitudinal direction of the probe pin 10, and one end in the extension direction thereof is connected to the first end 111 of the elastic portion 11. . The first contact portion 121 is provided at the other end portion in the extending direction of the first contact portion 12. In addition, as shown in FIG. 4, the second contact portion 13 extends along the longitudinal direction of the probe pin 10, and one end in the extension direction thereof is connected to the second end 112 of the elastic portion 11. It is. The second contact portion 131 is provided at the other end in the extending direction of the second contact portion 13.

제1 접점부(121)는, 일례로서 검사 대상물(예를 들어, 기판 대 기판(BtoB) 커넥터)의 단자에 접촉 가능하게 구성되어 있다. 또한, 제2 접점부(131)는, 일례로서 검사 장치의 기판(예를 들어, PCB 패드)에 설치된 단자에 접촉 가능하게 구성되어 있다.As an example, the first contact portion 121 is configured to be in contact with a terminal of an inspection object (for example, a board-to-board (BtoB) connector). In addition, the 2nd contact part 131 is comprised so that a contact is possible with the terminal provided in the board | substrate (for example, PCB pad) of an inspection apparatus as an example.

제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각은, 프로브 핀(10)의 길이 방향 가장자리로 연장되는 가상 직선(L3)을 따라 직렬적으로 배치되어 있다. 즉, 탄성부(11)의 제1 단부(111) 및 제2 단부(112)는, 가상 직선(L3)에 대한 동일한 측(즉, 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측)으로부터 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)에 각각 접속되어 있다.Each of the first contact portion 12 and the second contact portion 13 is disposed in series along an imaginary straight line L3 extending to the longitudinal edge of the probe pin 10. That is, the 1st end part 111 and the 2nd end part 112 of the elastic part 11 are made from the same side with respect to the virtual straight line L3 (that is, one side of the width direction of the 1st contact part 12). It is connected to the 1st contact part 12 and the 2nd contact part 13, respectively.

제1 접촉부(12)의 그 연장 방향의 중간부에 있어서의 탄성부(11)측에는 제1 지지부(122)가 마련되고, 제2 접촉부(13)의 그 연장 방향의 중간부에 있어서의 탄성부(11)측에는 제2 지지부(132)가 마련되어 있다. 제1 및 제2 지지부(122, 132)는 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향으로부터 보아, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)로부터 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)이며 또한 가상 직선(L3)에 대한 탄성부(11)측을 향해 돌출되어 있다.The 1st support part 122 is provided in the elastic part 11 side in the middle part of the extension direction of the 1st contact part 12, The elastic part in the middle part of the extension direction of the 2nd contact part 13 is provided. The second support part 132 is provided on the (11) side. The first and second support portions 122, 132 intersect the longitudinal direction of the probe pin 10 from the first contact portion 12 and the second contact portion 13, as viewed from the plate thickness direction of the first contact portion 12. It is a direction (for example, orthogonal direction), and protrudes toward the elastic part 11 side with respect to the virtual straight line L3.

도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)의 수용부(7)에 프로브 핀(10)을 수용했을 때, 제1 접촉부(12)의 제1 지지부(122)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제1 접점부(121)측의 면이 수용부(7)를 구성하는 소켓(3)의 내면에 맞닿도록 구성되고, 제2 접촉부(13)의 제2 지지부(132)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제2 접점부(131)측의 면이 수용부(7)를 구성하는 제1 하우징(5)에 맞닿도록 구성되어 있다. 즉, 제1 및 제2 지지부(122, 132)에 의해 프로브 핀(10)이 수용부(7)의 내부에서 지지되도록 구성되어 있다.When the probe pin 10 is accommodated in the receiving portion 7 of the socket 3 as shown in FIG. 2, the first support portion 122 of the first contact portion 12 is in the longitudinal direction of the probe pin 10. The surface of the side of the 1st contact part 121 side in contact with the inner surface of the socket 3 which comprises the accommodating part 7 is comprised, and the 2nd support part 132 of the 2nd contact part 13 is a probe pin. It is comprised so that the surface by the side of the 2nd contact part 131 in the longitudinal direction of the 10 may contact the 1st housing 5 which comprises the accommodating part 7. As shown in FIG. That is, the probe pin 10 is comprised by the 1st and 2nd support part 122 and 132 so that the inside of the accommodating part 7 may be supported.

또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)는 제1 접촉부(12)의 폭(W6) 및 제2 접촉부(13)의 폭(W7)이 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 커지도록 각각 구성되어 있다. 여기서, 제1 접촉부(12)의 폭(W6)은 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 폭 방향에 있어서의 제1 접촉부(12)의 최단 거리로 하고, 제2 접촉부(13)의 폭(W7)은 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 폭 방향에 있어서의 제2 접촉부(13)의 최단 거리로 한다. 또한, 탄성부(11)의 폭(W8)은, 탄성부(11)의 경로의 연장 방향에 직교하는 폭 방향에 있어서의 양측의 띠 형상 탄성편(21, 24)의 외면(즉, 인접하는 띠 형상 탄성편(22, 23)에 대향하는 내면의 탄성부(11)의 폭 방향에 있어서의 반대측의 면) 사이의 최단 거리로 한다.In addition, as illustrated in FIG. 4, the width W6 of the first contact part 12 and the width W7 of the second contact part 13 are elastic parts of the first contact part 12 and the second contact part 13. It is comprised so that it may become larger than the width W8 of (11). Here, the width W6 of the first contact portion 12 is the shortest distance of the first contact portion 12 in the width direction orthogonal to the longitudinal direction of the probe pin 10, and the width of the second contact portion 13 is used. W7 is taken as the shortest distance of the 2nd contact part 13 in the width direction orthogonal to the longitudinal direction of the probe pin 10. As shown in FIG. In addition, the width W8 of the elastic part 11 is the outer surface (that is, adjacent to the strip | belt-shaped elastic pieces 21 and 24 in the width direction orthogonal to the extension direction of the path | route of the elastic part 11). It is set as the shortest distance between the surfaces of the elastic part 11 of the inner surface which opposes the strip | belt-shaped elastic pieces 22 and 23 on the opposite side in the width direction.

이상과 같이, 상기 프로브 핀(10)에 의하면 탄성부(11)가 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)을 갖고, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 제1 접촉부(12)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 제1 방향(A)으로부터 제1 접촉부(12)에 접속된 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와, 제2 접촉부(13)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 제2 방향(B)으로부터 제2 접촉부(13)에 접속된 제2 직선부(41, 42, 43, 44)와, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 타단부 및 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 타단부에 접속된 만곡부(51, 52, 53, 54)를 갖고 있다. 이 탄성부(11)에 있어서, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보 가능한 탄성력을 유지하면서, 탄성부(11)의 경로의 길이를 삭감하며 또한 탄성부(11)의 경로의 단면적을 크게 할 수 있으므로, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13) 사이의 도통 경로에 있어서의 전기 저항을 저감할 수 있다.As described above, according to the probe pin 10, the elastic portion 11 has a plurality of strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24, and each strip-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24. The first contact portion (1) is disposed on one side in the width direction of the first contact portion 12 with respect to the first contact portion 12, and the first contact portion (from the first direction A in which one end portion in the extending direction intersects the longitudinal direction of the probe pin) 1st linear part 31, 32, 33, 34 connected to 12, and 2nd contact part 13 are arrange | positioned at the one side of the width direction of the 1st contact part 12, and one end part in the extension direction is Second straight portions 41, 42, 43, 44 and first straight portions 31, 32 connected to the second contact portion 13 from the second direction B intersecting the longitudinal direction of the probe pin 10. And curved portions 51, 52, 53, and 54 connected to the other ends of the first and second straight portions 41, 42, 43, and 44, and the other ends of the second and third straight lines 41, 42, 43, and 44, respectively. In this elastic part 11, while reducing the length of the path of the elastic part 11 and maintaining the elastic force which can ensure the contact reliability with respect to a test subject and a test apparatus, the cross-sectional area of the path of the elastic part 11 is enlarged large. Therefore, the electrical resistance in the conduction path between the 1st contact part 12 and the 2nd contact part 13 can be reduced.

또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 제1 접촉부(12)가, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제1 직선(L1) 상에서 접속되어 있고, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 일단부와 제2 접촉부(13)가, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제2 직선(L2) 상에서 접속되어 있다. 이에 의해 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 예를 들어 대략 동일한 단면 형상의 부재가 서로 간극을 두고 병렬로 배치되게 되므로, 그 휨량이 대략 균일해진다. 이로 인해, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때여도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.In addition, one end portion and the first contact portion 12 of the first straight portion 31, 32, 33, 34 of each strip-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24 are in the longitudinal direction of the probe pin 10. It is connected on the 1st straight line L1 extended in the direction which cross | intersects, and one end part of the 2nd straight part 41, 42, 43, 44 of each strip | belt-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24 is carried out. The second contact portion 13 is connected on the second straight line L2 extending in the direction crossing the longitudinal direction of the probe pin 10. Thereby, since each strip | belt-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24 is arrange | positioned in parallel with the clearance gap between members of substantially the same cross-sectional shape, the curvature amount becomes substantially uniform, for example. For this reason, for example, each of the first contact portion 121 and the second contact portion 131 is in contact with the inspection object and the inspection apparatus so that each of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24 is a probe pin. Even when compressed in the longitudinal direction of (10), the contact between the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 can be prevented, and the probe pin 10 which can ensure high contact reliability can be realized. have.

또한, 제1 직선(L1)이 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되고, 제2 직선(L2)이 제2 단부(212, 222, 232, 242)의 제2 접촉부(13)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 이에 의해, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 휨량을 보다 균일하게 할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 보다 확실하게 실현할 수 있다.Further, the first straight line L1 extends in the direction orthogonal to the connecting direction of the first end portions 211, 221, 231, and 241 to the first contact portion 12, and the second straight line L2 extends the second end portion. It extends in the direction orthogonal to the connection direction with respect to the 2nd contact part 13 of (212, 222, 232, 242). Thereby, the curvature amount of each strip | belt-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24 can be made more uniform, and the probe pin 10 which can ensure high contact reliability can be realized more reliably.

또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(W1, W2, W3, W4)이 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때에도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.Moreover, the shortest distance W5 between the strip | belt-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 where the width | variety W1, W2, W3, and W4 of each strip | belt-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24 are adjacent. It is comprised so that it may become smaller. Thereby, for example, each of the first contact portion 121 and the second contact portion 131 is in contact with the inspection object and the inspection apparatus so that each of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24 is a probe pin. Even when compressed in the longitudinal direction of (10), contact between the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 can be prevented, and the probe pin 10 which can ensure high contact reliability can be realized. .

또한, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각의 폭(W6, W7)이 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 커지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 전기 저항을 저감할 수 있다.In addition, the widths W6 and W7 of the first contact portion 12 and the second contact portion 13 are configured to be larger than the width W8 of the elastic portion 11. Thereby, the electrical resistance of the 1st contact part 12 and the 2nd contact part 13 can be reduced.

또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 만곡부(51, 52, 53, 54)가 중심각 θ1, θ2가 상이한 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)를 갖고, 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)의 곡률 중심(CP1, CP2)이 탄성부(11)에 대하여 상이한 측에 각각 배치되어 있다. 이에 의해, 탄성부(11)에 발생하는 응력을 분산할 수 있다.Further, the curved portions 51, 52, 53, and 54 of the band-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 have two curved portions 511, 521, 531, 541, 512, 522, having different center angles θ1, θ2. 532, 542, and the centers of curvature CP1, CP2 of the two curved portions 511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542 are disposed on different sides with respect to the elastic portion 11, respectively. . Thereby, the stress which generate | occur | produces in the elastic part 11 can be disperse | distributed.

또한, 상기 검사 지그(2)에 의하면, 상기 프로브 핀(10)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.Moreover, according to the said test jig 2, the test pin 2 has high contact reliability with respect to a test object and a test | inspection apparatus, and a test jig 2 with low contact resistance at the time of connecting to a test object and a test apparatus. Can be realized.

또한, 상기 검사 유닛(1)에 의하면, 상기 검사 지그(2)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.In addition, according to the inspection unit 1, the inspection jig 2 has a high contact reliability with respect to the inspection object and the inspection device and a low contact resistance when connected to the inspection object and the inspection device. Can be realized.

또한, 상기 검사 유닛(1)은 검사 장치의 일부를 구성할 수 있다. 이러한 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 장치를 실현할 수 있다.In addition, the inspection unit 1 may constitute a part of the inspection apparatus. According to such a test apparatus, the test | inspection unit 1 can implement | achieve the test | inspection apparatus with high contact reliability with respect to a test | inspection object and a test apparatus, and a low contact resistance at the time of connecting to a test object and a test apparatus.

제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)는, 프로브 핀(10)의 설계 등에 따라 그 형상 등을 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각은 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 형상 및 위치 등을 적절히 변경할 수 있다.The shape of the 1st contact part 12 and the 2nd contact part 13 can change suitably according to the design of the probe pin 10, etc. For example, each of the first contact portion 121 and the second contact portion 131 may be appropriately changed in shape and position according to various forms of the inspection device or the inspection object.

탄성부(11)는 서로 간극을 두고 배치되며, 제1 직선부(31, 32, 33, 34), 제2 직선부(41, 42, 43, 44) 및 만곡부(51, 52, 53, 54)를 갖는 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)을 구비하고 있으면 된다.The elastic portions 11 are disposed with a gap therebetween, and the first straight portions 31, 32, 33, 34, the second straight portions 41, 42, 43, 44 and the curved portions 51, 52, 53, 54 What is necessary is just to provide the some strip | belt-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24 which has ().

예를 들어, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 제1 접촉부(12)는, 제1 직선(L1) 이외의 직선 상에서 접속되어도 되고, 모든 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 제1 접촉부(12)가 동일 직선상에서 접속되지 않아도 된다. 제2 직선부(41, 42, 43, 44)에 대해서도 마찬가지이다.For example, one end of the first straight portion 31, 32, 33, 34 and the first contact portion 12 of each strip-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24 is the first straight line L1. One end of each of the first straight portions 31, 32, 33, 34 of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 and the first contact portion 12 may be connected on the same straight line. You do not need to be connected. The same applies to the second straight portions 41, 42, 43, and 44.

제1 직선(L1)은, 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있는 경우로 제한되지 않는다. 제2 직선(L2)에 대해서도 마찬가지이다.The first straight line L1 is not limited to the case where it extends in the direction orthogonal to the connection direction with respect to the 1st contact part 12 of the 1st edge part 211,221,231,241. The same applies to the second straight line L2.

각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(W1, W2, W3, W4)은, 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작은 경우로 한정되지 않으며, 커도 된다.The widths W1, W2, W3, and W4 of the band-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 are smaller than the shortest distance W5 between adjacent band-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24. It is not limited to a small case and may be large.

제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각의 폭(W6, W7)은, 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 큰 경우로 한정되지 않으며, 작아도 된다.The widths W6 and W7 of the first contact portion 12 and the second contact portion 13 are not limited to the case larger than the width W8 of the elastic portion 11, but may be small.

만곡부(51, 52, 53, 54)는 중심각 θ1, θ2가 상이한 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)를 갖는 경우로 제한되지 않는다. 예를 들어, 만곡부(51, 52, 53, 54)는 1개의 만곡부로 구성해도 된다.The curved portions 51, 52, 53, and 54 are not limited to the case where the curved portions 51, 52, 53, 54 have two curved portions 511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, and 542 having different center angles θ1 and θ2. For example, the curved portions 51, 52, 53, and 54 may be composed of one curved portion.

검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)은, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 그 구성을 적절히 변경할 수 있다. 즉, 검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)을 범용화하여, 검사 유닛(1)(나아가서는 검사 장치)의 생산성을 향상시킬 수 있다.The inspection jig 2 and the base housing 4 can change the structure suitably according to the various forms of a test | inspection apparatus or a test object. That is, the inspection jig 2 and the base housing 4 can be generalized, and the productivity of the inspection unit 1 (the inspection apparatus which goes forward) can be improved.

이상, 도면을 참조하여 본 발명에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로 본 발명의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 일례로서 참조 부호도 덧붙여 기재한다.As mentioned above, although various embodiment in this invention was described in detail with reference to drawings, various form of this invention is demonstrated at last. In the following description, reference numerals are also added as an example.

본 발명의 제1 형태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the first aspect of the present invention,

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부(11)와,An elastic portion 11 that stretches along the longitudinal direction,

상기 탄성부(11)의 상기 길이 방향의 제1 단부(111)에 접속된 판상의 제1 접촉부(12)와,A plate-shaped first contact portion 12 connected to the first end portion 111 in the longitudinal direction of the elastic portion 11,

상기 제1 접촉부(12)에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부(11)의 상기 길이 방향의 제2 단부(112)에 접속된 판상의 제2 접촉부(13)A plate-shaped second contact portion 13 disposed in series with the first contact portion 12 and connected to the second end portion 112 in the longitudinal direction of the elastic portion 11.

를 구비하고,And,

상기 탄성부(11)가,The elastic portion 11,

서로 간극(61, 62, 63)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)을 갖고,It has a plurality of strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24 disposed with a gap 61, 62, 63 with each other,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각이,Each of the plurality of strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24,

상기 제1 접촉부(12)에 대하여 상기 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 단부(111)를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제1 접촉부(12)에 접속된 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와,The first contact portion 12 is disposed on one side in the width direction of the first contact portion 12, extends along a direction crossing the longitudinal direction, and one end in the extension direction of the first contact portion 12. First straight portions 31, 32, 33, 34 constituting an end portion 111 and connected to the first contact portion 12 from a direction crossing the longitudinal direction;

상기 제2 접촉부(13)에 대하여 상기 제1 접촉부(12)의 상기 폭 방향의 상기 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 단부(112)를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제2 접촉부(13)에 접속된 제2 직선부(41, 42, 43, 44)와,The second contact portion 13 is disposed on the one side in the width direction of the first contact portion 12, extends along a direction crossing the length direction, and one end in the extension direction is provided. Second straight portions 41, 42, 43, 44 constituting a second end 112 and connected to the second contact portion 13 from a direction crossing the longitudinal direction;

상기 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 타단부 및 상기 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 타단부에 접속된 만곡부(51, 52, 53, 54)Curved parts 51, 52, 53, 54 connected to the other end of the first straight part 31, 32, 33, 34 and the other end of the second straight part 41, 42, 43, 44.

를 갖는다.Has

제1 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 탄성부(11)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13) 사이의 도통 경로에 있어서의 전기 저항을 저감하여, 프로브 핀(10)의 저저항화를 도모할 수 있다.According to the probe pin 10 of the first aspect, the elastic portion 11 ensures contact reliability with respect to the inspection object and the inspection device, while being connected to the conductive path between the first contact portion 12 and the second contact portion 13. The electrical resistance in this case can be reduced, and the resistance of the probe pin 10 can be reduced.

본 발명의 제2 형태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the 2nd aspect of this invention,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각의 상기 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 상기 제1 접촉부(12)가 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제1 직선(L1) 상에서 접속되어 있고,One end of each of the first straight portions 31, 32, 33, and 34 of the plurality of strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24 and the first contact portion 12 intersect the longitudinal direction. Is connected on the first straight line L1 extending in the direction to

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각의 상기 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 일단부와 상기 제2 접촉부(13)가 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제2 직선(L2) 상에서 접속되어 있다.One end of each of the second straight portions 41, 42, 43, 44 of the plurality of strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24 and the second contact portion 13 intersect the longitudinal direction. It is connected on the 2nd straight line L2 extended in the direction to make.

제2 형태의 프로브 핀(10)에 의하면 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 휨량을 균일하게 하여, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때여도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the 2nd aspect, the curvature amount of each strip | belt-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24 is made uniform, for example, the 1st contact part 121 and the 2nd contact part 131 are shown. Of the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24 are compressed even in the longitudinal direction of the probe pin 10, respectively, in contact with the test object and the inspection apparatus. The contact pins 23 and 24 can be prevented, and the probe pin 10 which can ensure high contact reliability can be realized.

본 발명의 제3 형태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the 3rd aspect of this invention,

상기 제1 직선(L1)이 상기 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 상기 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되고,The first straight line L1 extends in a direction orthogonal to the connection direction of the first end portions 211, 221, 231, and 241 to the first contact portion 12,

상기 제2 직선(L2)이 상기 제2 단부(212, 222, 232, 242)의 상기 제2 접촉부(13)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있다.The second straight line L2 extends in a direction orthogonal to the connection direction of the second end portions 212, 222, 232, and 242 with respect to the second contact portion 13.

제3 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 휨량을 보다 균일하게 할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 보다 확실하게 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the 3rd aspect, the probe pin 10 which can make the curvature amount of each strip | belt-shaped elastic piece 21, 22, 23, 24 more uniform, and ensures high contact reliability is provided. It can be realized more reliably.

본 발명의 제4 형태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the 4th aspect of this invention,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(W1, W2, W3, W4)이 인접 하는 상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작아지도록 구성되어 있다.Shortest distance between the plurality of strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 adjacent to the widths W1, W2, W3, and W4 of the plurality of strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24. It is comprised so that it may become smaller than (W5).

제4 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때에도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the probe pin 10 of the fourth aspect, for example, each of the first contact portion 121 and the second contact portion 131 is brought into contact with the inspection object and the inspection apparatus so that each of the strip-shaped elastic pieces 21, Even when 22, 23, and 24 are compressed in the longitudinal direction of the probe pin 10, the contact between the strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, and 24 can be prevented, and high contact reliability can be ensured. The probe pin 10 can be realized.

본 발명의 제5 형태의 프로브 핀(10)은,The probe pin 10 of the 5th aspect of this invention,

상기 제1 접촉부(12) 및 상기 제2 접촉부(13)의 각각의 폭(W6, W7)이 상기 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 커지도록 구성되어 있다.The widths W6 and W7 of the first contact portion 12 and the second contact portion 13 are configured to be larger than the width W8 of the elastic portion 11.

제5 형태의 프로브 핀(10)에 의하면 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 전기 저항을 저감할 수 있으므로, 프로브 핀(10)의 저저항화를 도모할 수 있다.According to the probe pin 10 of the fifth aspect, since the electrical resistance of the first contact portion 12 and the second contact portion 13 can be reduced, the resistance of the probe pin 10 can be reduced.

본 발명의 제6 형태의 프로브 핀(10)은,Probe pin 10 of the sixth aspect of the present invention,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각의 상기 만곡부(51, 52, 53, 54)가 중심각 θ1, θ2이 상이한 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)를 갖고,Two curved portions 511, 521, 531, 541, 512 in which the curved portions 51, 52, 53, 54 of the plurality of strip-shaped elastic pieces 21, 22, 23, 24 differ from each other in the center angles θ1 and θ2. , 522, 532, 542,

상기 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)의 곡률 중심(CP1, CP2)이 상기 탄성부(11)에 대하여 상이한 측에 각각 배치되어 있다.The centers of curvature CP1, CP2 of the two curved portions 511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542 are arranged on different sides with respect to the elastic portion 11, respectively.

제6 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 탄성부(11)에 발생하는 응력을 분산할 수 있다.According to the probe pin 10 of a 6th aspect, the stress which arises in the elastic part 11 can be disperse | distributed.

본 발명의 제7 형태의 검사 지그(2)는,Inspection jig 2 of the seventh aspect of the present invention,

상기 프로브 핀(10)과,The probe pin 10,

상기 프로브 핀(10)을 수용 가능한 수용부(7)를 갖는 소켓(3)Socket (3) having a receiving portion (7) for receiving the probe pin (10)

을 구비했다.Equipped.

제7 형태의 검사 지그(2)에 의하면, 상기 프로브 핀(10)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.According to the inspection jig 2 of the seventh aspect, the probe jig 2 has a high contact reliability with respect to the inspection object and the inspection device and a low contact resistance when connected to the inspection object and the inspection device. ) Can be realized.

본 발명의 제8 형태의 검사 유닛(1)은,The inspection unit 1 of the eighth aspect of the present invention,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.At least one said inspection jig was provided.

제8 형태의 검사 유닛(1)에 의하면, 상기 검사 지그(2)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.According to the inspection unit 1 of the eighth aspect, the inspection jig 2 has a high contact reliability with respect to the inspection object and the inspection device and low contact resistance when connected to the inspection object and the inspection device. ) Can be realized.

본 발명의 제9 형태의 검사 장치는,An inspection device of a ninth aspect of the present invention,

상기 검사 유닛(1)을 적어도 하나 구비했다.At least one said inspection unit 1 was provided.

제9 형태의 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 장치를 실현할 수 있다.According to the inspection apparatus of the ninth aspect, the inspection unit 1 can realize an inspection apparatus having high contact reliability with respect to the inspection object and the inspection apparatus and having low contact resistance when connected to the inspection object and the inspection apparatus.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예와의 조합이 가능함과 함께, 상이한 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.Moreover, by combining suitably any embodiment or modification of the said various embodiment or modification, it can be made to exhibit the effect which each has. In addition, a combination of embodiments or a combination of examples or a combination of an embodiment and an embodiment is possible, and a combination of features in different embodiments or examples is also possible.

본 발명의 프로브 핀은, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.The probe pin of this invention can be applied to the test jig used for the test of a liquid crystal panel, for example.

본 발명의 검사 지그는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.The inspection jig of this invention can be applied to the inspection unit used for the inspection of a liquid crystal panel, for example.

본 발명의 검사 유닛은, 예를 들어 액정 패널의 검사 장치에 적용할 수 있다.The inspection unit of the present invention can be applied to, for example, an inspection apparatus for a liquid crystal panel.

본 발명의 검사 장치는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용할 수 있다. The inspection apparatus of the present invention can be used, for example, for inspection of a liquid crystal panel.

1 : 검사 유닛
2 : 검사 지그
3 : 소켓
4 : 베이스 하우징
5 : 제1 하우징
6 : 제2 하우징
7 : 수용부
10 : 프로브 핀
11 : 탄성부
111 : 제1 단부
112 : 제2 단부
12 : 제1 접촉부
121 : 제1 접점부
122 : 제1 지지부
13 : 제2 접촉부
131 : 제2 접점부
132 : 제2 지지부
21, 22, 23, 24 : 띠 형상 탄성편
211, 221, 231, 241 : 제1 단부
212, 222, 232, 242 : 제2 단부
31, 32, 33, 34 : 제1 직선부
41, 42, 43, 44 : 제2 직선부
51, 52, 53, 54 : 만곡부
511, 521, 531, 541 : 제1 만곡부
512, 522, 532, 542 : 제2 만곡부
513, 523, 533, 543 : 접속부
61, 62, 63 : 간극
A : 제1 방향
B : 제2 방향
L1 : 제1 직선
L2 : 제2 직선
θ1, θ2 : 중심각
W1 내지 W4, W6 내지 W8 : 폭
W5 : 최단 거리
CP1, CP2 : 곡률 중심1: inspection unit
2: inspection jig
3: socket
4 base housing
5: first housing
6: second housing
7: receiving part
10: probe pin
11: elastic portion
111: first end
112: second end
12: first contact portion
121: first contact portion
122: first support part
13: second contact portion
131: second contact portion
132: second support
21, 22, 23, 24: strip-shaped elastic piece
211, 221, 231, 241: first end
212, 222, 232, 242: second end
31, 32, 33, 34: first straight portion
41, 42, 43, 44: second straight portion
51, 52, 53, 54: bend
511, 521, 531, 541: first curved portion
512, 522, 532, 542: second curved portion
513, 523, 533, 543: connection part
61, 62, 63: gap
A: first direction
B: second direction
L1: first straight line
L2: second straight line
θ1, θ2: Center angle
W1 to W4, W6 to W8: width
W5: shortest distance
CP1, CP2: Center of Curvature

Claims (9)

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 길이 방향의 일단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와,
상기 제1 접촉부와 직렬적으로 배치되고, 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 타단부에 접속된 판상의 제2 접촉부
를 포함하고,
상기 탄성부가 상기 길이 방향으로 신축 가능한 상태로 소켓에 수용 가능한 프로브 핀이며,
상기 탄성부가,
서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 포함하고,
상기 복수의 띠 형상 탄성편 각각이,
상기 제1 접촉부에 대하여 상기 제1 접촉부의 폭방향의 일방측에 배치되고,
상기 제1 접촉부가,
제1 접점부와, 상기 제1 접점부에 대하여 상기 복수의 띠 형상 탄성편 각각과 같은 쪽에 배치되고 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 제1 지지부를 포함하고,
상기 제2 접촉부가,
제2 접점부와, 상기 제2 접점부에 대하여 상기 제1 지지부와 같은 쪽에 배치되고 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 제2 지지부를 포함하고,
상기 제1 지지부 및 상기 제2 지지부 각각이, 상기 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성되는, 프로브 핀.An elastic portion that stretches along the longitudinal direction,
A plate-shaped first contact portion connected to one end portion in the longitudinal direction of the elastic portion,
A plate-shaped second contact portion disposed in series with the first contact portion and connected to the other end portion in the longitudinal direction of the elastic portion.
Including,
The elastic portion is a probe pin that can be accommodated in the socket in a state that can be stretched in the longitudinal direction,
The elastic portion,
It includes a plurality of strip-shaped elastic pieces disposed with a gap between each other,
Each of the plurality of strip-shaped elastic pieces,
It is arrange | positioned at the one side of the width direction of the said 1st contact part with respect to the said 1st contact part,
The first contact portion,
A first support portion and a first support portion disposed on the same side as each of the plurality of strip-shaped elastic pieces relative to the first contact portion and protruding in a direction crossing the longitudinal direction,
The second contact portion,
A second contact portion and a second support portion disposed on the same side as the first support portion with respect to the second contact portion and protruding in a direction intersecting the longitudinal direction,
And each of the first support and the second support is configured to be in contact with the inside of the socket in the longitudinal direction when received in the socket. 길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제1 단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와,
상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제2 단부에 접속된 판상의 제2 접촉부
를 포함하고,
상기 탄성부가 상기 길이 방향으로 신축 가능한 상태로 소켓에 수용 가능한 프로브 핀이며,
상기 탄성부가,
서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 포함하고,
상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,
상기 제1 접촉부에 대하여 상기 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 단부를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와,
상기 제2 접촉부에 대하여 상기 폭 방향의 상기 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 단부를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부와,
상기 제1 직선부의 타단부 및 상기 제2 직선부의 타단부에 접속된 만곡부
를 포함하고,
상기 제1 접촉부가,
제1 접점부와, 상기 제1 접점부에 대하여 상기 복수의 띠 형상 탄성편 각각과 같은 쪽에 배치되고 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 제1 지지부를 포함하고,
상기 제2 접촉부가,
제2 접점부와, 상기 제2 접점부에 대하여 상기 제1 지지부와 같은 쪽에 배치되고 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 제2 지지부를 포함하고,
상기 제1 지지부 및 상기 제2 지지부 각각이, 상기 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성되는, 프로브 핀.An elastic portion that stretches along the longitudinal direction,
A plate-shaped first contact portion connected to the first end portion in the longitudinal direction of the elastic portion,
A plate-shaped second contact portion disposed in series with the first contact portion and connected to the second end portion in the longitudinal direction of the elastic portion.
Including,
The elastic portion is a probe pin that can be accommodated in the socket in a state that can be stretched in the longitudinal direction,
The elastic portion,
It includes a plurality of strip-shaped elastic pieces disposed with a gap between each other,
Each of the plurality of strip-shaped elastic pieces,
It is arrange | positioned on the one side of the width direction of the said 1st contact part with respect to the said 1st contact part, extends along the direction which cross | intersects the said longitudinal direction, and the one end part of the extension direction comprises the said 1st end part, and the said longitudinal direction A first straight portion connected to the first contact portion from a direction crossing the
It is arrange | positioned at the said one side of the said width direction with respect to the said 2nd contact part, and extends along the direction which cross | intersects the said longitudinal direction, and the one end of the extension direction comprises the said 2nd end part, and crosses the said longitudinal direction A second straight portion connected to the second contact portion from a direction;
Curved portion connected to the other end of the first straight portion and the other end of the second straight portion
Including,
The first contact portion,
A first support portion and a first support portion disposed on the same side as each of the plurality of strip-shaped elastic pieces relative to the first contact portion and protruding in a direction crossing the longitudinal direction,
The second contact portion,
A second contact portion and a second support portion disposed on the same side as the first support portion with respect to the second contact portion and protruding in a direction intersecting the longitudinal direction,
And each of the first support and the second support is configured to be in contact with the inside of the socket in the longitudinal direction when received in the socket. 제1항 또는 제2항의 프로브 핀과,
상기 프로브 핀을 수용할 수 있는 상기 소켓
을 구비하고,
상기 소켓에 상기 프로브 핀이 수용될 때, 상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부 각각은 상기 길이 방향에 있어서 상기 소켓의 내면에 접촉하도록 구성되는, 검사 지그.The probe pin of claim 1 or 2,
The socket capable of receiving the probe pin
And
And when the probe pin is received in the socket, each of the first support and the second support is configured to contact an inner surface of the socket in the longitudinal direction. 제3항의 검사 지그를 적어도 1개 구비하는, 검사 유닛.An inspection unit comprising at least one inspection jig according to claim 3. 제4항의 검사 유닛을 적어도 1개 구비하는, 검사 장치.An inspection apparatus comprising at least one inspection unit of claim 4. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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