KR102007611B1 - Probe pin, inspection jig, inspection unit and inspection apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 프로브 핀이 탄성부, 제1 접촉부 및 제2 접촉부를 구비한다. 탄성부가 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고, 각 띠 형상 탄성편이 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부와, 제1 직선부의 타단부 및 제2 직선부의 타단부에 접속된 만곡부를 갖는다.In the present invention, the probe pin has an elastic portion, a first contact portion and a second contact portion. The elastic portion has a plurality of strip-shaped elastic pieces, and each strip-shaped elastic piece has a first straight portion connected to the first contact portion from a direction in which one end in the extending direction intersects the longitudinal direction of the probe pin, and one end in the extension direction. It has a 2nd linear part connected to the 2nd contact part from the direction which cross | intersects the longitudinal direction of a probe pin, and the curved part connected to the other end part of a 1st linear part, and the other end part of a 2nd linear part.
Description
본 발명은 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to a probe pin, an inspection jig provided with this probe pin, an inspection unit provided with this inspection jig, and the inspection apparatus provided with this inspection unit.
카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로 그 제조 공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉 전극, 혹은 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속함으로써 행해진다.In electronic component modules, such as a camera or a liquid crystal panel, conduction test, operation characteristic test, etc. are generally performed in the manufacturing process. These inspections are performed by connecting the inspection apparatus with an electrode portion such as an FPC contact electrode for connecting to a main body substrate installed in the electronic component module or a mounted board-to-board connector using a probe pin.
이러한 프로브 핀으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재하여 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다. 상기 프로브 핀에서는, 사행부에 의해 각 콘택트와 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자의 사이의 접압을 확보하여, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대한 접촉 신뢰성을 높이고 있다.As such a probe pin, there exist some which were described in
근년, 전자 부품 모듈의 전력 절약화에 따라 검사에 사용하는 프로브 핀의 저저항화가 요구되고 있다.In recent years, with the power saving of an electronic component module, the resistance of the probe pin used for test | inspection is calculated | required.
특허문헌 1의 프로브 핀에 있어서, 높은 접촉 신뢰성을 확보하기 위해 사행부의 절첩의 수를 증가시키면 한 쌍의 콘택트 사이를 흐르는 전류의 경로가 길어진다. 이 경우 프로브 핀의 전기 저항이 증대되어, 저저항화를 도모하는 것이 곤란한 경우가 있다.In the probe pin of
본 발명은, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 도통 경로의 전기 저항을 저감할 수 있는 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention provides a probe pin capable of reducing the electrical resistance of the conduction path while ensuring contact reliability between the inspection object and the inspection apparatus, an inspection jig having the probe pin, an inspection unit having the inspection jig, and the inspection An object of the present invention is to provide an inspection apparatus having a unit.
본 발명의 일례의 프로브 핀은,The probe pin of an example of the present invention,
길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,An elastic portion that stretches along the longitudinal direction,
상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제1 단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와, 상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제2 단부에 접속된 판상의 제2 접촉부A plate-shaped first contact portion connected to the first end portion in the longitudinal direction of the elastic portion, and a plate-shaped second contact portion disposed in series with the first contact portion and connected to the second end portion in the longitudinal direction of the elastic portion.
를 구비하고,And,
상기 탄성부가,The elastic portion,
서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고,It has a plurality of strip-shaped elastic pieces arranged with a gap between each other,
상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,Each of the plurality of strip-shaped elastic pieces,
상기 제1 접촉부에 대하여 상기 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 단부를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와,It is arrange | positioned on the one side of the width direction of the said 1st contact part with respect to the said 1st contact part, extends along the direction which cross | intersects the said longitudinal direction, and the one end part of the extension direction comprises the said 1st end part, and A first straight portion connected to the first contact portion from a direction crossing the longitudinal direction,
상기 제2 접촉부에 대하여 상기 제1 접촉부의 상기 폭 방향의 상기 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 단부를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부와,It is disposed on the one side in the width direction of the first contact portion with respect to the second contact portion, extends along a direction crossing the longitudinal direction, and one end in the extension direction constitutes the second end portion. A second straight portion connected to the second contact portion from a direction crossing the longitudinal direction;
상기 제1 직선부의 타단부 및 상기 제2 직선부의 타단부에 접속된 만곡부Curved portion connected to the other end of the first straight portion and the other end of the second straight portion
를 갖는다.Has
또한, 본 발명의 일례의 검사 지그는,In addition, the inspection jig of an example of this invention,
상기 프로브 핀과,The probe pin,
상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 소켓A socket having a receptacle for accommodating the probe pin
을 구비한다.It is provided.
또한, 본 발명의 일례의 검사 유닛은,In addition, the inspection unit of an example of the present invention,
상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.At least one said inspection jig was provided.
또한, 본 발명의 일례의 검사 장치는,In addition, the inspection apparatus of an example of the present invention,
상기 검사 유닛을 적어도 하나 구비했다.At least one said inspection unit was provided.
상기 프로브 핀에 의하면, 탄성부가 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고, 각 띠 형상 탄성편이 제1 접촉부에 대하여 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와, 제2 접촉부에 대하여 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부와, 제1 직선부의 타단부 및 제2 직선부의 타단부에 접속된 만곡부를 갖고 있다. 이 탄성부에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 제1 접촉부 및 제2 접촉부간의 도통 경로에 있어서의 전기 저항을 저감할 수 있다.According to the said probe pin, an elastic part has a some strip | belt-shaped elastic piece, each strip | belt-shaped elastic piece is arrange | positioned to the one side of the width direction of a 1st contact part with respect to a 1st contact part, and the one end of the extension direction is the length of a probe pin The first straight portion connected to the first contact portion from the direction crossing the direction and the second contact portion are disposed on one side in the width direction of the first contact portion, and one end of the extension direction crosses the longitudinal direction of the probe pin. It has the 2nd linear part connected to the 2nd contact part from the direction, and the curved part connected to the other end part of a 1st linear part, and the other end part of a 2nd linear part. By this elastic part, the electrical resistance in the conduction path between a 1st contact part and a 2nd contact part can be reduced, ensuring the contact reliability with respect to a test object and a test | inspection apparatus.
또한, 상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 지그를 실현할 수 있다.Moreover, according to the said test jig, the said test pin can implement | achieve the test jig with high contact reliability with respect to a test | inspection object and a test apparatus, and a low contact resistance at the time of connecting to a test object and a test apparatus.
또한, 상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 유닛을 실현할 수 있다.Moreover, according to the said inspection unit, the said inspection jig can implement | achieve the inspection unit with high contact reliability with respect to an inspection object and an inspection apparatus, and low contact resistance at the time of connecting to an inspection object and an inspection apparatus.
또한, 상기 검사 장치에 의하면, 상기 검사 유닛에 의해, 검사 대상물에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 장치를 실현할 수 있다.Moreover, according to the said inspection apparatus, the said inspection unit can implement | achieve the inspection apparatus with high contact reliability with respect to an inspection object, and low contact resistance at the time of connecting to an inspection object.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 검사 유닛을 도시하는 사시도이다.
도 2는 도 1의 II-II선을 따른 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 3의 프로브 핀의 평면도이다.
도 5는 도 3의 프로브 핀의 탄성부 주변의 확대 평면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows the inspection unit of one Embodiment of this invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1.
It is a perspective view which shows the probe pin of one Embodiment of this invention.
4 is a plan view of the probe pin of FIG. 3.
FIG. 5 is an enlarged plan view around an elastic part of the probe pin of FIG. 3.
이하, 본 발명의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, "상", "하", "우", "좌"를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위함이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 발명, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하지는 않는다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, an example of this invention is demonstrated according to attached drawing. In addition, in the following description, although the term which shows a specific direction or position (for example, the term containing "up", "bottom", "right", "left") is used as needed, use of these terms Is to facilitate understanding of the present invention with reference to the drawings, and the technical scope of the present invention is not limited by the meaning of these terms. In addition, the following description is merely exemplary in nature and is not intended to limit the present invention, its application, or its use. In addition, drawing is typical, and the ratio of each dimension etc. does not necessarily correspond with a real thing.
본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀(10)은 도전성을 갖고, 예를 들어 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)에 수용된 상태에서 사용되어, 소켓(3)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 이 검사 지그(2)에는, 일례로서 복수의 가늘고 긴 박판 상의 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.The
또한, 검사 지그(2)는 검사 유닛(1)의 일부를 구성하고 있다. 검사 유닛(1)은, 도 1에 도시한 바와 같이 적어도 하나의 검사 지그(2)가 내장된 대략 직육면체상의 베이스 하우징(4)을 구비하고 있다. 이 베이스 하우징(4)은 대략 직사각형 판상의 제1 하우징(5)과, 이 제1 하우징(5)의 판 두께 방향으로 적층된 제2 하우징(6)으로 구성되어 있다.In addition, the
소켓(3)은, 도 2에 도시한 바와 같이 각 프로브 핀(10)을 수용 가능한 복수의 수용부(7)를 갖고, 제1 하우징(5) 및 제2 하우징(6)으로 유지되어 있다. 각 수용부(7)는 소켓(3)과 베이스 하우징(4)의 제2 하우징(6)으로 둘러싸여 있고, 후술하는 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)의 외부로 각각 노출된 상태에서 각 프로브 핀(10)을 수용 가능하게 구성되어 있다.As shown in FIG. 2, the
각 프로브 핀(10)은, 도 3에 도시한 바와 같이 그 길이 방향(즉, 도 3의 상하 방향)을 따라 신축하는 탄성부(11)와, 탄성부(11)의 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 한쪽의 단부인 제1 단부(111)에 접속된 판상의 제1 접촉부(12)와, 제1 접촉부(12)에 대하여 직렬적으로 배치되어 탄성부(11)의 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 타단부인 제2 단부(112)에 접속된 판상의 제2 접촉부(13)를 구비하고 있다.As illustrated in FIG. 3, each of the
탄성부(11)는, 도 4에 도시한 바와 같이 서로 간극(61, 62, 63)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는 4개의 띠 형상 탄성편)(21, 22, 23, 24)을 갖고 있다. 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 도 5에 도시한 바와 같이 가늘고 긴 띠 형상이며, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와, 제2 직선부(41, 42, 43, 44)와, 만곡부(51, 52, 53, 54)를 갖고 있다. 또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 일례로서 대략 동일한 단면 형상을 갖고 있다.As shown in Fig. 4, the
각 제1 직선부(31, 32, 33, 34)는, 도 5에 도시한 바와 같이 띠 형상을 갖고, 제1 접촉부(12)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측(즉, 도 5의 우측)에 배치되고, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있다. 또한, 각 제1 직선부(31, 32, 33, 34)는, 그 연장 방향의 일단부가 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 단부(211, 221, 231, 241)(즉, 탄성부(11)의 제1 단부(111))를 구성하며 또한 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 제1 방향(A)으로부터 제1 접촉부(12)에 접속되어 있다.Each of the first
또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 단부(211, 221, 231, 241)와 제1 접촉부(12)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되는 제1 직선(L1) 상에서 접속되어 있다. 즉, 제1 직선(L1)은, 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향(즉, 제1 방향(A))에 직교하는 방향으로 연장되어 있다.In addition, as shown in Fig. 5, one end portion (ie, each of the strip-shaped
각 제2 직선부(41, 42, 43, 44)는 도 5에 도시한 바와 같이 띠 형상을 갖고, 제2 접촉부(13)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측(즉, 도 5의 우측)에 배치되고, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있다. 또한, 각 제2 직선부(41, 42, 43, 44)는, 그 연장 방향의 일단부가 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제2 단부(212, 222, 232, 242)(즉, 탄성부(11)의 제2 단부(112))를 구성하며 또한 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 제2 방향(B)으로부터 제2 접촉부(13)에 접속되어 있다.Each of the second
또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제2 단부(212, 222, 232, 242)와 제2 접촉부(13)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되는 제2 직선(L2) 상에서 접속되어 있다. 즉, 제2 직선(L2)은, 제2 단부(212, 222, 232, 242)의 제2 접촉부(13)에 대한 접속 방향(즉, 제2 방향(B))에 직교하는 방향으로 연장되어 있다.In addition, as shown in Fig. 5, one end portion (ie, each of the strip-shaped
또한, 제1 접촉부(12)의 폭 방향은, 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향(즉, 도 4 및 도 5의 지면 관통 방향)으로부터 보아 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 방향(즉, 도 4 및 도 5의 좌우 방향)이다.In addition, the width direction of the
각 만곡부(51, 52, 53, 54)는 도 5에 도시한 바와 같이 띠 형상이며, 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향으로부터 보아 대략 S자상을 갖고, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 그 연장 방향의 타단부 및 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다. 각 만곡부(51, 52, 53, 54)는, 제1 만곡부(511, 521, 531, 541)와, 제2 만곡부(512, 522, 532, 542)와, 제1 만곡부(511, 521, 531, 541) 및 제2 만곡부(512, 522, 532, 542)를 접속하는 접속부(513, 523, 533, 543)를 갖고 있다.Each of the
제1 만곡부(511, 521, 531, 541)는, 그 곡률 중심(CP1)이 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 사이에 배치되며, 180도보다도 크고 360도보다도 작은 중심각 θ1에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 제2 만곡부(512, 522, 532, 542)는, 그 곡률 중심(CP2)이 탄성부(11)에 대하여 상이한 측(즉, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)보다도 제2 직선부(41, 42, 43, 44)로부터 이격된 위치)에 배치되며, 제로보다도 크고 180도보다도 작은 중심각 θ2에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 접속부(513, 523, 533, 543)는 대략 직선상으로 연장되어 있다.The first
또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 단부(211, 221, 231, 241) 및 제2 단부(212, 222, 232, 242) 사이의 경로의 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이)(W1, W2, W3, W4)은 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작아지도록 구성되어 있다.5, the width | variety of each strip | belt-shaped
또한, 도 5에는, 일례로서 제1 만곡부(511, 521, 531, 541)의 곡률 원의 반경 방향에 있어서의 곡률 중심(CP1)에 가장 가까운 띠 형상 탄성편(24)의 만곡부(54)와, 이 띠 형상 탄성편(24)에 인접하는 띠 형상 탄성편(23)의 만곡부(53)의 사이의 직선 거리를 최단 거리(W5)로서 나타내고 있다.5, the
제1 접촉부(12)는, 도 4에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되고, 그 연장 방향의 일단부가 탄성부(11)의 제1 단부(111)에 접속되어 있다. 제1 접촉부(12)의 연장 방향의 타단부에는 제1 접점부(121)가 마련되어 있다. 또한, 제2 접촉부(13)는, 도 4에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되고, 그 연장 방향의 일단부가 탄성부(11)의 제2 단부(112)에 접속되어 있다. 제2 접촉부(13)의 연장 방향의 타단부에는 제2 접점부(131)가 마련되어 있다.As shown in FIG. 4, the
제1 접점부(121)는, 일례로서 검사 대상물(예를 들어, 기판 대 기판(BtoB) 커넥터)의 단자에 접촉 가능하게 구성되어 있다. 또한, 제2 접점부(131)는, 일례로서 검사 장치의 기판(예를 들어, PCB 패드)에 설치된 단자에 접촉 가능하게 구성되어 있다.As an example, the
제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각은, 프로브 핀(10)의 길이 방향 가장자리로 연장되는 가상 직선(L3)을 따라 직렬적으로 배치되어 있다. 즉, 탄성부(11)의 제1 단부(111) 및 제2 단부(112)는, 가상 직선(L3)에 대한 동일한 측(즉, 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측)으로부터 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)에 각각 접속되어 있다.Each of the
제1 접촉부(12)의 그 연장 방향의 중간부에 있어서의 탄성부(11)측에는 제1 지지부(122)가 마련되고, 제2 접촉부(13)의 그 연장 방향의 중간부에 있어서의 탄성부(11)측에는 제2 지지부(132)가 마련되어 있다. 제1 및 제2 지지부(122, 132)는 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향으로부터 보아, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)로부터 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)이며 또한 가상 직선(L3)에 대한 탄성부(11)측을 향해 돌출되어 있다.The
도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)의 수용부(7)에 프로브 핀(10)을 수용했을 때, 제1 접촉부(12)의 제1 지지부(122)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제1 접점부(121)측의 면이 수용부(7)를 구성하는 소켓(3)의 내면에 맞닿도록 구성되고, 제2 접촉부(13)의 제2 지지부(132)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제2 접점부(131)측의 면이 수용부(7)를 구성하는 제1 하우징(5)에 맞닿도록 구성되어 있다. 즉, 제1 및 제2 지지부(122, 132)에 의해 프로브 핀(10)이 수용부(7)의 내부에서 지지되도록 구성되어 있다.When the
또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)는 제1 접촉부(12)의 폭(W6) 및 제2 접촉부(13)의 폭(W7)이 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 커지도록 각각 구성되어 있다. 여기서, 제1 접촉부(12)의 폭(W6)은 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 폭 방향에 있어서의 제1 접촉부(12)의 최단 거리로 하고, 제2 접촉부(13)의 폭(W7)은 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 폭 방향에 있어서의 제2 접촉부(13)의 최단 거리로 한다. 또한, 탄성부(11)의 폭(W8)은, 탄성부(11)의 경로의 연장 방향에 직교하는 폭 방향에 있어서의 양측의 띠 형상 탄성편(21, 24)의 외면(즉, 인접하는 띠 형상 탄성편(22, 23)에 대향하는 내면의 탄성부(11)의 폭 방향에 있어서의 반대측의 면) 사이의 최단 거리로 한다.In addition, as illustrated in FIG. 4, the width W6 of the
이상과 같이, 상기 프로브 핀(10)에 의하면 탄성부(11)가 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)을 갖고, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 제1 접촉부(12)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 제1 방향(A)으로부터 제1 접촉부(12)에 접속된 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와, 제2 접촉부(13)에 대하여 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 그 연장 방향의 일단부가 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 제2 방향(B)으로부터 제2 접촉부(13)에 접속된 제2 직선부(41, 42, 43, 44)와, 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 타단부 및 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 타단부에 접속된 만곡부(51, 52, 53, 54)를 갖고 있다. 이 탄성부(11)에 있어서, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보 가능한 탄성력을 유지하면서, 탄성부(11)의 경로의 길이를 삭감하며 또한 탄성부(11)의 경로의 단면적을 크게 할 수 있으므로, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13) 사이의 도통 경로에 있어서의 전기 저항을 저감할 수 있다.As described above, according to the
또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 제1 접촉부(12)가, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제1 직선(L1) 상에서 접속되어 있고, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 일단부와 제2 접촉부(13)가, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제2 직선(L2) 상에서 접속되어 있다. 이에 의해 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 예를 들어 대략 동일한 단면 형상의 부재가 서로 간극을 두고 병렬로 배치되게 되므로, 그 휨량이 대략 균일해진다. 이로 인해, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때여도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.In addition, one end portion and the
또한, 제1 직선(L1)이 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되고, 제2 직선(L2)이 제2 단부(212, 222, 232, 242)의 제2 접촉부(13)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 이에 의해, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 휨량을 보다 균일하게 할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 보다 확실하게 실현할 수 있다.Further, the first straight line L1 extends in the direction orthogonal to the connecting direction of the
또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(W1, W2, W3, W4)이 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때에도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.Moreover, the shortest distance W5 between the strip | belt-shaped
또한, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각의 폭(W6, W7)이 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 커지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 전기 저항을 저감할 수 있다.In addition, the widths W6 and W7 of the
또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 만곡부(51, 52, 53, 54)가 중심각 θ1, θ2가 상이한 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)를 갖고, 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)의 곡률 중심(CP1, CP2)이 탄성부(11)에 대하여 상이한 측에 각각 배치되어 있다. 이에 의해, 탄성부(11)에 발생하는 응력을 분산할 수 있다.Further, the
또한, 상기 검사 지그(2)에 의하면, 상기 프로브 핀(10)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.Moreover, according to the said
또한, 상기 검사 유닛(1)에 의하면, 상기 검사 지그(2)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.In addition, according to the
또한, 상기 검사 유닛(1)은 검사 장치의 일부를 구성할 수 있다. 이러한 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 장치를 실현할 수 있다.In addition, the
제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)는, 프로브 핀(10)의 설계 등에 따라 그 형상 등을 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각은 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 형상 및 위치 등을 적절히 변경할 수 있다.The shape of the
탄성부(11)는 서로 간극을 두고 배치되며, 제1 직선부(31, 32, 33, 34), 제2 직선부(41, 42, 43, 44) 및 만곡부(51, 52, 53, 54)를 갖는 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)을 구비하고 있으면 된다.The
예를 들어, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 제1 접촉부(12)는, 제1 직선(L1) 이외의 직선 상에서 접속되어도 되고, 모든 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 제1 접촉부(12)가 동일 직선상에서 접속되지 않아도 된다. 제2 직선부(41, 42, 43, 44)에 대해서도 마찬가지이다.For example, one end of the first
제1 직선(L1)은, 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있는 경우로 제한되지 않는다. 제2 직선(L2)에 대해서도 마찬가지이다.The first straight line L1 is not limited to the case where it extends in the direction orthogonal to the connection direction with respect to the
각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(W1, W2, W3, W4)은, 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작은 경우로 한정되지 않으며, 커도 된다.The widths W1, W2, W3, and W4 of the band-shaped
제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각의 폭(W6, W7)은, 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 큰 경우로 한정되지 않으며, 작아도 된다.The widths W6 and W7 of the
만곡부(51, 52, 53, 54)는 중심각 θ1, θ2가 상이한 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)를 갖는 경우로 제한되지 않는다. 예를 들어, 만곡부(51, 52, 53, 54)는 1개의 만곡부로 구성해도 된다.The
검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)은, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 그 구성을 적절히 변경할 수 있다. 즉, 검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)을 범용화하여, 검사 유닛(1)(나아가서는 검사 장치)의 생산성을 향상시킬 수 있다.The
이상, 도면을 참조하여 본 발명에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로 본 발명의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 일례로서 참조 부호도 덧붙여 기재한다.As mentioned above, although various embodiment in this invention was described in detail with reference to drawings, various form of this invention is demonstrated at last. In the following description, reference numerals are also added as an example.
본 발명의 제1 형태의 프로브 핀(10)은,The
길이 방향을 따라 신축하는 탄성부(11)와,An
상기 탄성부(11)의 상기 길이 방향의 제1 단부(111)에 접속된 판상의 제1 접촉부(12)와,A plate-shaped
상기 제1 접촉부(12)에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부(11)의 상기 길이 방향의 제2 단부(112)에 접속된 판상의 제2 접촉부(13)A plate-shaped
를 구비하고,And,
상기 탄성부(11)가,The
서로 간극(61, 62, 63)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)을 갖고,It has a plurality of strip-shaped
상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각이,Each of the plurality of strip-shaped
상기 제1 접촉부(12)에 대하여 상기 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 단부(111)를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제1 접촉부(12)에 접속된 제1 직선부(31, 32, 33, 34)와,The
상기 제2 접촉부(13)에 대하여 상기 제1 접촉부(12)의 상기 폭 방향의 상기 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 단부(112)를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제2 접촉부(13)에 접속된 제2 직선부(41, 42, 43, 44)와,The
상기 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 타단부 및 상기 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 타단부에 접속된 만곡부(51, 52, 53, 54)
를 갖는다.Has
제1 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 탄성부(11)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13) 사이의 도통 경로에 있어서의 전기 저항을 저감하여, 프로브 핀(10)의 저저항화를 도모할 수 있다.According to the
본 발명의 제2 형태의 프로브 핀(10)은,The
상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각의 상기 제1 직선부(31, 32, 33, 34)의 일단부와 상기 제1 접촉부(12)가 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제1 직선(L1) 상에서 접속되어 있고,One end of each of the first
상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각의 상기 제2 직선부(41, 42, 43, 44)의 일단부와 상기 제2 접촉부(13)가 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 제2 직선(L2) 상에서 접속되어 있다.One end of each of the second
제2 형태의 프로브 핀(10)에 의하면 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 휨량을 균일하게 하여, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때여도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the
본 발명의 제3 형태의 프로브 핀(10)은,The
상기 제1 직선(L1)이 상기 제1 단부(211, 221, 231, 241)의 상기 제1 접촉부(12)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되고,The first straight line L1 extends in a direction orthogonal to the connection direction of the
상기 제2 직선(L2)이 상기 제2 단부(212, 222, 232, 242)의 상기 제2 접촉부(13)에 대한 접속 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있다.The second straight line L2 extends in a direction orthogonal to the connection direction of the
제3 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 휨량을 보다 균일하게 할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 보다 확실하게 실현할 수 있다.According to the
본 발명의 제4 형태의 프로브 핀(10)은,The
상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 폭(W1, W2, W3, W4)이 인접 하는 상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24) 사이의 최단 거리(W5)보다도 작아지도록 구성되어 있다.Shortest distance between the plurality of strip-shaped
제4 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때에도 각 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.According to the
본 발명의 제5 형태의 프로브 핀(10)은,The
상기 제1 접촉부(12) 및 상기 제2 접촉부(13)의 각각의 폭(W6, W7)이 상기 탄성부(11)의 폭(W8)보다도 커지도록 구성되어 있다.The widths W6 and W7 of the
제5 형태의 프로브 핀(10)에 의하면 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 전기 저항을 저감할 수 있으므로, 프로브 핀(10)의 저저항화를 도모할 수 있다.According to the
본 발명의 제6 형태의 프로브 핀(10)은,Probe
상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22, 23, 24)의 각각의 상기 만곡부(51, 52, 53, 54)가 중심각 θ1, θ2이 상이한 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)를 갖고,Two
상기 2개의 만곡부(511, 521, 531, 541, 512, 522, 532, 542)의 곡률 중심(CP1, CP2)이 상기 탄성부(11)에 대하여 상이한 측에 각각 배치되어 있다.The centers of curvature CP1, CP2 of the two
제6 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 탄성부(11)에 발생하는 응력을 분산할 수 있다.According to the
본 발명의 제7 형태의 검사 지그(2)는,
상기 프로브 핀(10)과,The
상기 프로브 핀(10)을 수용 가능한 수용부(7)를 갖는 소켓(3)Socket (3) having a receiving portion (7) for receiving the probe pin (10)
을 구비했다.Equipped.
제7 형태의 검사 지그(2)에 의하면, 상기 프로브 핀(10)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.According to the
본 발명의 제8 형태의 검사 유닛(1)은,The
상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.At least one said inspection jig was provided.
제8 형태의 검사 유닛(1)에 의하면, 상기 검사 지그(2)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.According to the
본 발명의 제9 형태의 검사 장치는,An inspection device of a ninth aspect of the present invention,
상기 검사 유닛(1)을 적어도 하나 구비했다.At least one said
제9 형태의 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 접촉 저항이 낮은 검사 장치를 실현할 수 있다.According to the inspection apparatus of the ninth aspect, the
또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예와의 조합이 가능함과 함께, 상이한 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.Moreover, by combining suitably any embodiment or modification of the said various embodiment or modification, it can be made to exhibit the effect which each has. In addition, a combination of embodiments or a combination of examples or a combination of an embodiment and an embodiment is possible, and a combination of features in different embodiments or examples is also possible.
본 발명의 프로브 핀은, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.The probe pin of this invention can be applied to the test jig used for the test of a liquid crystal panel, for example.
본 발명의 검사 지그는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.The inspection jig of this invention can be applied to the inspection unit used for the inspection of a liquid crystal panel, for example.
본 발명의 검사 유닛은, 예를 들어 액정 패널의 검사 장치에 적용할 수 있다.The inspection unit of the present invention can be applied to, for example, an inspection apparatus for a liquid crystal panel.
본 발명의 검사 장치는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용할 수 있다. The inspection apparatus of the present invention can be used, for example, for inspection of a liquid crystal panel.
1 : 검사 유닛
2 : 검사 지그
3 : 소켓
4 : 베이스 하우징
5 : 제1 하우징
6 : 제2 하우징
7 : 수용부
10 : 프로브 핀
11 : 탄성부
111 : 제1 단부
112 : 제2 단부
12 : 제1 접촉부
121 : 제1 접점부
122 : 제1 지지부
13 : 제2 접촉부
131 : 제2 접점부
132 : 제2 지지부
21, 22, 23, 24 : 띠 형상 탄성편
211, 221, 231, 241 : 제1 단부
212, 222, 232, 242 : 제2 단부
31, 32, 33, 34 : 제1 직선부
41, 42, 43, 44 : 제2 직선부
51, 52, 53, 54 : 만곡부
511, 521, 531, 541 : 제1 만곡부
512, 522, 532, 542 : 제2 만곡부
513, 523, 533, 543 : 접속부
61, 62, 63 : 간극
A : 제1 방향
B : 제2 방향
L1 : 제1 직선
L2 : 제2 직선
θ1, θ2 : 중심각
W1 내지 W4, W6 내지 W8 : 폭
W5 : 최단 거리
CP1, CP2 : 곡률 중심1: inspection unit
2: inspection jig
3: socket
4 base housing
5: first housing
6: second housing
7: receiving part
10: probe pin
11: elastic portion
111: first end
112: second end
12: first contact portion
121: first contact portion
122: first support part
13: second contact portion
131: second contact portion
132: second support
21, 22, 23, 24: strip-shaped elastic piece
211, 221, 231, 241: first end
212, 222, 232, 242: second end
31, 32, 33, 34: first straight portion
41, 42, 43, 44: second straight portion
51, 52, 53, 54: bend
511, 521, 531, 541: first curved portion
512, 522, 532, 542: second curved portion
513, 523, 533, 543: connection part
61, 62, 63: gap
A: first direction
B: second direction
L1: first straight line
L2: second straight line
θ1, θ2: Center angle
W1 to W4, W6 to W8: width
W5: shortest distance
CP1, CP2: Center of Curvature
Claims (9)
상기 탄성부의 상기 길이 방향의 일단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와,
상기 제1 접촉부와 직렬적으로 배치되고, 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 타단부에 접속된 판상의 제2 접촉부
를 포함하고,
상기 탄성부가 상기 길이 방향으로 신축 가능한 상태로 소켓에 수용 가능한 프로브 핀이며,
상기 탄성부가,
서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 포함하고,
상기 복수의 띠 형상 탄성편 각각이,
상기 제1 접촉부에 대하여 상기 제1 접촉부의 폭방향의 일방측에 배치되고,
상기 제1 접촉부가,
제1 접점부와, 상기 제1 접점부에 대하여 상기 복수의 띠 형상 탄성편 각각과 같은 쪽에 배치되고 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 제1 지지부를 포함하고,
상기 제2 접촉부가,
제2 접점부와, 상기 제2 접점부에 대하여 상기 제1 지지부와 같은 쪽에 배치되고 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 제2 지지부를 포함하고,
상기 제1 지지부 및 상기 제2 지지부 각각이, 상기 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성되는, 프로브 핀.An elastic portion that stretches along the longitudinal direction,
A plate-shaped first contact portion connected to one end portion in the longitudinal direction of the elastic portion,
A plate-shaped second contact portion disposed in series with the first contact portion and connected to the other end portion in the longitudinal direction of the elastic portion.
Including,
The elastic portion is a probe pin that can be accommodated in the socket in a state that can be stretched in the longitudinal direction,
The elastic portion,
It includes a plurality of strip-shaped elastic pieces disposed with a gap between each other,
Each of the plurality of strip-shaped elastic pieces,
It is arrange | positioned at the one side of the width direction of the said 1st contact part with respect to the said 1st contact part,
The first contact portion,
A first support portion and a first support portion disposed on the same side as each of the plurality of strip-shaped elastic pieces relative to the first contact portion and protruding in a direction crossing the longitudinal direction,
The second contact portion,
A second contact portion and a second support portion disposed on the same side as the first support portion with respect to the second contact portion and protruding in a direction intersecting the longitudinal direction,
And each of the first support and the second support is configured to be in contact with the inside of the socket in the longitudinal direction when received in the socket.
상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제1 단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와,
상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제2 단부에 접속된 판상의 제2 접촉부
를 포함하고,
상기 탄성부가 상기 길이 방향으로 신축 가능한 상태로 소켓에 수용 가능한 프로브 핀이며,
상기 탄성부가,
서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 포함하고,
상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,
상기 제1 접촉부에 대하여 상기 제1 접촉부의 폭 방향의 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 단부를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와,
상기 제2 접촉부에 대하여 상기 폭 방향의 상기 일방측에 배치되고, 상기 길이 방향에 교차하는 방향을 따라 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 단부를 구성하며 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로부터 상기 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부와,
상기 제1 직선부의 타단부 및 상기 제2 직선부의 타단부에 접속된 만곡부
를 포함하고,
상기 제1 접촉부가,
제1 접점부와, 상기 제1 접점부에 대하여 상기 복수의 띠 형상 탄성편 각각과 같은 쪽에 배치되고 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 제1 지지부를 포함하고,
상기 제2 접촉부가,
제2 접점부와, 상기 제2 접점부에 대하여 상기 제1 지지부와 같은 쪽에 배치되고 또한 상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 돌출되는 제2 지지부를 포함하고,
상기 제1 지지부 및 상기 제2 지지부 각각이, 상기 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성되는, 프로브 핀.An elastic portion that stretches along the longitudinal direction,
A plate-shaped first contact portion connected to the first end portion in the longitudinal direction of the elastic portion,
A plate-shaped second contact portion disposed in series with the first contact portion and connected to the second end portion in the longitudinal direction of the elastic portion.
Including,
The elastic portion is a probe pin that can be accommodated in the socket in a state that can be stretched in the longitudinal direction,
The elastic portion,
It includes a plurality of strip-shaped elastic pieces disposed with a gap between each other,
Each of the plurality of strip-shaped elastic pieces,
It is arrange | positioned on the one side of the width direction of the said 1st contact part with respect to the said 1st contact part, extends along the direction which cross | intersects the said longitudinal direction, and the one end part of the extension direction comprises the said 1st end part, and the said longitudinal direction A first straight portion connected to the first contact portion from a direction crossing the
It is arrange | positioned at the said one side of the said width direction with respect to the said 2nd contact part, and extends along the direction which cross | intersects the said longitudinal direction, and the one end of the extension direction comprises the said 2nd end part, and crosses the said longitudinal direction A second straight portion connected to the second contact portion from a direction;
Curved portion connected to the other end of the first straight portion and the other end of the second straight portion
Including,
The first contact portion,
A first support portion and a first support portion disposed on the same side as each of the plurality of strip-shaped elastic pieces relative to the first contact portion and protruding in a direction crossing the longitudinal direction,
The second contact portion,
A second contact portion and a second support portion disposed on the same side as the first support portion with respect to the second contact portion and protruding in a direction intersecting the longitudinal direction,
And each of the first support and the second support is configured to be in contact with the inside of the socket in the longitudinal direction when received in the socket.
상기 프로브 핀을 수용할 수 있는 상기 소켓
을 구비하고,
상기 소켓에 상기 프로브 핀이 수용될 때, 상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부 각각은 상기 길이 방향에 있어서 상기 소켓의 내면에 접촉하도록 구성되는, 검사 지그.The probe pin of claim 1 or 2,
The socket capable of receiving the probe pin
And
And when the probe pin is received in the socket, each of the first support and the second support is configured to contact an inner surface of the socket in the longitudinal direction.
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