KR101906868B1 - 유기전계 발광소자 제조용 증착장비 및 이를 이용한 유기전계 발광소자 제조방법 - Google Patents

유기전계 발광소자 제조용 증착장비 및 이를 이용한 유기전계 발광소자 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 기판 상의 제 1 전극과; 상기 제 1 전극 상부의 정공수송층과; 상기 정공수송층 상부에 제 1 및 제 2 호스트 물질이 혼합된 발광물질층과; 상기 발광물질층 상부의 전자수송층과; 상기 전자수송층 상부의 전자주입층과; 상기 전자주입층 상부의 제 2 전극을 포함하고, 상기 발광물질층 제 1 호스트층, 호스트 혼합층, 제 2 호스트층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 및 리니어 소스 타입 증착장비를 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법을 제공한다.

Description

유기전계 발광소자 제조용 증착장비 및 이를 이용한 유기전계 발광소자 제조방법{Apparatus for deposition for organic electroluminescent device and method of fabricating the organic electroluminescent device using the same}
본 발명은 유기전계 발광소자에 관한 것으로, 특히 리니어 소스 타입 증착장치를 이용하여 스캔방식으로 진행되는 증착을 포함하는 유기전계 발광소자의 제조 방법 및 이를 통해 제조된 유기전계 발광소자에 관한 것이다.
최근, 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판표시장치(flat panel display)가 널리 개발되어 다양한 분야에 적용되고 있다.
이중, 유기발광 다이오드(organic light emitting diode: OLED)라고도 불리는 유기전계 발광소자 또는 유기전기 발광소자(organic electroluminescent display)는, 전자 주입 전극인 음극과 정공 주입 전극인 양극 사이에 형성된 발광층에 전하를 주입하여 전자와 정공이 쌍을 이루어 엑시톤을 형성한 후, 상기 엑시톤이 소멸하면서 빛을 내는 소자이다.
이러한 유기전계 발광소자는 플라스틱과 같은 유연한 기판(flexible substrate) 위에도 형성할 수 있을 뿐 아니라, 자체 발광에 의해 색감이 뛰어나며, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel)이나 무기 전기발광(EL) 디스플레이에 비해 낮은 전압에서 (10V이하) 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 적다는 장점이 있다.
일반적으로, 유기전계 발광소자는 기판 상에 양극인 애노드(anode) 전극과 음극인 캐소드(cathode) 전극 사이에 위치하는 발광 물질층(emitting material layer: EML)을 포함한다.
애노드 전극으로부터의 정공과 캐소드 전극으로부터의 전자를 발광물질층으로 주입하기 위해, 애노드 전극과 발광 물질층 사이에는 정공수송층(hole transporting layer: HTL)이, 캐소드 전극과 발광물질층 사이에는 전자수송층(electron transporting layer: ETL)이 위치한다.
이때, 정공과 전자를 좀 더 효율적으로 주입하기 위해 애노드 전극과 정공수송층 사이에는 정공주입층(hole injecting layer: HIL)을, 전자수송층과 캐소드 전극 사이에는 전자주입층(electron injecting layer: EIL)을 더 포함한다.
이러한 구조를 가지는 유기전계 발광소자에서, 애노드 전극으로부터 정공주입층과 정공수송층을 통해 발광 물질층으로 주입된 정공과, 캐소드 전극으로부터 전자주입층 및 전자수송층을 통해 발광 물질층으로 주입된 전자는 재결합(recombination)을 통해 엑시톤(exciton)을 형성하게 되고, 이 엑시톤으로부터 발광물질층의 밴드 갭에 해당하는 색상의 빛을 발하게 된다.
유기전계 발광소자에서 소자 효율을 증가시키기 위해서는 주입되는 정공과 전자의 밀도가 높아야 한다.
따라서, 전극과 발광 물질층 사이의 일함수 값의 차이는 작아야 하며 그렇지 않을 경우 발광 물질층을 다층구조로 형성하여야 한다.
한편, 유기전계 발광소자은 유기 발광층 전영역에서 발광하는 것이 아니고, 정공과 전자가 만나는 지점에서 재결합에 의해 강하게 발광하므로 재결합 영역을 설계에 반영하여 소자특성을 향상시킬 수 있다.
한편, 유기전계 발광소자에 있어서 발광 물질층은 통상 포인트 소스 타입 증착장치를 이용하여 단일 호스트 물질을 증착원으로 하여 증착시킴으로써 단일층을 이루도록 형성하고 있다.
하지만, 발광 물질층이 단일 유기물질로 이루어지는 경우 발광 효율이 높이 않으므로 2개 이상의 호스트 물질을 두 개의 포인트 소스 타입 증착장치를 이용하여 이들 두 개의 증착장치 상부에서 기판을 일정속도로 회전시키며 형성함으로써 단일 호스트로 발광 물질층이 이루어진 것 대비 수명 향상 및 발광 효율 향상의 효과를 얻고 있다.
하지만, 이러한 소스 포인트 타입 증착장비는 10인치 이상의 대면적 기판에 적용시키는 것이 불가능하다.
따라서, 10인치 이상의 크기를 갖는 대면적 기판의 경우 리니어 소스 타입 증착장비를 이용하여 스캔 방식으로 발광 물질층을 형성하고 있다.
하지만, 이러한 리니어 소스 타입 증착장비를 이용하여 스캔타입으로 증착하여 2가지 이상의 호스트 물질로 발광 물질층을 형성하게 되면 발광 물질층 내부에 에너지 우물이 발생되어 정공과 전자의 이동을 방해하며, 정공과 전자가 발광 물질층 내에서 국지화됨으로써 소자 스트레스가 증가하여 내구성을 감소시키고 소자 수명을 단축시키는 문제가 발생하고 있는 실정이다.
본 발명은 리니어 소스 타입 증착장비를 이용하여 서로 다른 2가지 종류의 호스트 물질을 증착하여 다층 구조의 발광 물질층을 형성하는 경우에도 발광 물질층 내부에 에너지 우물이 존재하지 않도록 하는 스캔타입의 증착방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
나아가 리니어 소스 타입 증착장비를 이용하여 스캔타입으로 발광 물질층을 증착하더라도 발광 물질층 내부에서 정공과 전자의 이동이 원활하여 소자 내구성이 향상되며 장수명을 갖는 유기전계 발광소자를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
위와 같은 과제의 해결을 위해, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자는, 기판 상의 제 1 전극과; 상기 제 1 전극 상부의 정공수송층과; 상기 정공수송층 상부에 제 1 및 제 2 호스트 물질이 혼합된 발광물질층과; 상기 발광물질층 상부의 전자수송층과; 상기 전자수송층 상부의 전자주입층과; 상기 전자주입층 상부의 제 2 전극을 포함하고, 상기 발광물질층 제 1 호스트층, 호스트 혼합층, 제 2 호스트층으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 제 1 호스트 물질은 정공 수송 성능을 향상시킬 수 있는 유기물질이며, 상기 제 2 호스트 물질은 전자 수송 성능을 향상시킬 수 있는 유기물질이며, 상기 제 1 및 제 2 호스트 물질은 각각 호모(HOMO)와 루모(LUMO) 밴드의 갭 차이가 루모(LUMO) 레벨에서 0.4eV 이하, 호모(HOMO) 레벨에서 0.2eV 이하의 값은 갖는 것이 특징이다.
본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조용 리니어 소스 타입 증착 장비는, 진공 챔버와; 상기 진공챔버 내부에 위치하며 레일이 구비된 이동로와; 상기 이동로 상에서 상기 레일을 따라 직선 왕복 운동을 하는 스테이지와; 상기 스테이지 상부에 서로 마주하도록 위치하며 각각 제 1 호스트 물질과 제 2 호스트 물질을 증착원으로 하여 제 1 호스트 기체와 제 2 호스트 기체를 발생시키는 제 1 및 제 2 증발로와; 상기 이동로 양 끝단에서 각각 상기 스테이지를 180도 회전시키는 제 1 및 제 2 회전수단을 포함한다.
이때, 상기 스테이지는 상기 제 1 증발로가 상기 제 2 증발로보다 선행하여 상기 이동로 상에서 이동하는 것이 특징이다.
본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법은, 진공 챔버와; 상기 진공챔버 내부에 위치하며 레일이 구비된 이동로와; 상기 이동로 상에서 상기 레일을 따라 직선 왕복 운동을 하는 스테이지와; 상기 스테이지 상부에 서로 마주하도록 위치하며 각각 제 1 호스트 물질과 제 2 호스트 물질을 증착원으로 하여 제 1 호스트 기체와 제 2 호스트 기체를 발생시키는 제 1 및 제 2 증발로와; 상기 이동로 양 끝단에서 각각 상기 스테이지를 180도 회전시키는 제 1 및 제 2 회전수단을 포함하는 유기전계 발광소자 제조용 리니어 소스 타입 증착 장비를 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법에 있어서, 상기 진공챔버 내부에 기판을 투입하는 단계와; 상기 제 1, 2 호스트 기체를 발생시키는 상기 제 1 증발원을 선행하여 상기 스테이지를 상기 이동로의 일끝단에서 타끝단으로 일정속도를 가지고 이동시킴으로써 상기 기판 표면에 순차적으로 상기 제 1 호스트 물질로 이루어진 제 1 호스트층과 상기 제 1 및 2 호스트 물질이 혼합된 호스트 혼합층과 상기 제 2 호스트 물질로 이루어진 제 2 호스트층으로 이루어진 발광 물질층을 형성하는 단계를 포함한다.
이때, 상기 제 1 호스트 물질은 정공 수송 성능을 향상시킬 수 있는 유기물질이며, 상기 제 2 호스트 물질은 전자 수송 성능을 향상시킬 수 있는 유기물질이며, 상기 제 1 및 제 2 호스트 물질은 각각 호모(HOMO)와 루모(LUMO) 밴드의 갭 차이가 루모(LUMO) 레벨에서 0.4eV 이하, 호모(HOMO) 레벨에서 0.2eV 이하의 값은 갖는 것이 특징이다.
또한, 상기 기판 상에 제 1 전극과 정공주입층과 정공수송층을 순차적으로 형성하는 단계와; 상기 발광물질층 상부에 전자수송층과 전자주입층을 순차적으로 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 리니어 소스 타입 증착 장치를 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법은 스테이지의 왕복없이 1회의 스캔을 통해 서로 다른 두 종류의 호스트 물질을 증착하여 발광 물질층을 형성하여도 상기 발광 물질층 내부에 에너지 우물이 존재하지 않으므로 발광 물질층 내부에서 정공과 전자의 이동이 원활히 진행되어 소자 내구성이 증대하고 스트레스가 저감되는 장점이 있다.
나아가 소자 내구성 증대 및 스트레스 저감에 의해 소자 수명이 연장되는 장점이 있다.
하나의 기판에 대해 일방향으로 1회의 스캔만이 진행되므로 왕복진행에 의해 2회 이상 스캔 진행되는 증착방법 대비 증착시간을 단축시키는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 단면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어 발광 물질층과 이의 양측에 구비된 정공수송층 및 전자수송층만을 확대 도시한 도면.
도 3은 비교예로서 종래의 발광 물질층의 단면 구조를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조에 이용되는 리니어 소스 타입 증착 장비를 간략히 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 수명과 비교예에 따른 유기전계 발광소자의 수명을 비교한 그래프.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 리니어 소스 타입 증착장치 및 이를 통한 유기전계 발광소자의 제조 방법에 대해 설명한다.
우선, 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 구성에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 단면도이다.
도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자는 양극인 애노드(anode) 전극(110) 위에 정공주입층(120)과 정공수송층(130) 및 발광물질층(140)이 차례로 형성되고 있다.
발광물질층(140) 상부에는 전자수송층(150)과 전자주입층(160)이 차례로 형성되고 있으며, 상기 전자주입층(160) 상부에 캐소드(cathode) 전극(170)이 형성되고 있다.
본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자에 있어서, 조금 더 구체적으로 가장 특징적인 구성인 발광 물질층의 단면 구조에 대해 도 2를 참조하여 설명한다. 도면에서는 정공수송층(130)과 전자수송층(150)이 좌측 및 우측에 위치하며 이들 두 물질층(130, 150) 사이에 발광 물질층(140)이 형성된 것처럼 도시되었지만, 이러한 정공수송층(130)과 발광 물질층(140) 및 전자수송층(150)은 모두 기판(미도시) 상에 적층 형성되는 것이므로 실질적으로 기판(미도시) 상에 상기 정공수송층(130)/발광물질층(140)/전자수송층(160)의 순으로 수직 구조를 이루게 된다.
상기 정공 수송층(130) 상부에는 상기 정공수송층(130)과 접촉하며 제 1 호스트 물질만으로 이루어진 제 1 호스트층(141)이 형성되고 있으며, 상기 제 1 호스트층(141) 상부에는 제 1 호스트 물질과 제 2 호스트 물질이 섞인 호스트 혼합층(143) 형성되어 있으며, 상기 호스트 혼합층(143) 상부에는 제 2 호스트 물질만으로 이루어진 제 2 호스트층(145)이 형성되어 있다. 그리고 제 2 호스트층(145) 상부에는 전자수송층(150)이 형성되어 있다.
따라서, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자(100)에 있어서 발광 물질층(140)은 제 1 호스트층(141), 호스트 혼합층(143), 제 2 호스트층(145)의 3중층 구조를 갖는 것이 특징이다.
이때, 상기 제 1 호스트 물질은 정공 수송 성능을 향상시킬 수 있는 유기물질이며, 상기 제 2 호스트 물질은 전자 수송 성능을 향상시킬 수 있는 유기물질이다. 그리고 상기 제 1 및 제 2 호스트 물질은 각각 호모와 루모 밴드의 갭 차이가 루모 레벨에서 0.4eV 이하, 호모레벨에서 0.2eV 이하의 값은 갖는 것이 특징이다.
이렇게 2개의 호스트 물질이 혼합되며 다중층 구조를 갖는 발광 물질층(140)이 형성되는 경우, 상기 정공 수송층과 호스트 혼합층(143) 사이에 구비된 제 1 호스트층(141)은 정공 수송 능력을 향상시키는 역할을 하므로 정공 수송층과 더불어 정공을 상기 발광 물질층(140) 내부로 빠르게 수송시키는 능력을 크게 한다.
또한, 상기 전자 수송층(150)과 호스트 혼합층(143) 사이에 구비된 제 2 호스트층(145)은 전자 수송 능력을 향상시키는 역할을 하므로 전자 수송층(150)과 더불어 전자를 상기 발광 물질층(140) 내부로 빠르게 수송시키는 능력을 크게 한다.
즉, 상기 제 1 및 제 2 호스트 층(141, 145)은 호스트 혼합층(143) 내부에 위치하지 않고 각각 호스트 혼합층(143)의 시작점과 끝단에 위치하므로 각각 정공수송층(130)과 전자수송층(150) 등과 더불어 상기 호스트 혼합층(143)으로의 정공 및 전자 수송 능력을 향상시키는 기능층의 역할을 함으로써 그 자체로 정공과 전자의 이동을 방해하는 요소가 되지 않는 것이 특징이다.
도 3은 비교예로서 종래의 발광 물질층의 단면 구조를 나타낸 도면이다.
제 1 및 제 2 호스트 물질이 혼합된 호스트 혼합층(43a, 43b)이 다수개로 분리되어 형성되고 있음을 알 수 있다. 즉, 정공수송층(30)과 접촉하며 제 1 호스트층(41)이 형성되고 있으며, 이와 접촉하며 호스트 혼합층(43)이 형성되고 있다.
또한, 상기 호스트 혼합층(43)과 접촉하며 제 2 호스트층(45)이 형성되고 있으며, 상기 제 2 호스트층(45)과 접촉하며 또 다른 호스트 혼합층(43)이 형성되고 있으며, 이와 접촉하며 또 다른 제 1 호스트층(41)이 형성되고 있다.
전술한 발광 물질층의 적층 구성을 갖는 종래의 유기전계 발광소자(10)의 경우, 실질적으로 호스트 혼합층(43) 사이에 상기 제 2 호스트층(45)이 개재됨으로써 발광 물질층(40) 내부에서 정공과 전자의 이동을 방해하는 요소가 됨을 알 수 있다.
하지만, 도 2에 도시한 바와같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자(110)의 경우, 2종류의 호스트 물질이 혼합된 호스트 혼합층(143) 내부에는 제 1 및 제 2 호스트층(141, 145)이 존재하지 않으므로 정공과 전자의 이동을 방해하는 요소가 없다.
따라서, 소자 스트레스를 줄임으로써 내구성을 향상시키며, 동시에 소자의 수명을 증가시키는 효과가 있다.
이후에는 전술한 구조를 갖는 유기 발광층을 형성하기 위한 증착장비의 구성에 대해 설명한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조에 이용되는 리니어 소스 타입 증착 장비를 간략히 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조에 이용되는 리니어 소스 타입 증착 장비(200)는 진공 챔버(210)와, 직선 왕복 운동을 하는 스테이지(220)와, 상기 스테이지 상부에 서로 마주하도록 위치하며 각각 제 1 호스트 물질과 제 2 호스트 물질을 증착원으로 하여 제 1 호스트 기체와 제 2 호스트 기체를 발생시키는 제 1 및 제 2 증발로(230a, 230b), 상기 스테이지(220)가 이동하며 레일(245)을 포함하는 이동로(240)와, 상기 이동로 양 끝단에서 각각 상기 스테이지(220)를 180도 회전시키는 제 1 및 제 2 회전수단(250a, 250b)을 포함하여 구성되고 있다.
본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조용 리니어 소스 타입 증착 장비(200)는 전술한 구성에 의해 상기 진공챔버(210) 내에 제 1 증발로(230a)를 통해 제 1 호스트 물질의 기체(이하 제 1 호스트 기체라 함)가 배출되어 제 1 호스트 물질만이 증착되는 제 1 구간과, 상기 제 2 증발로(230b)를 통해 제 2 호스트 물질의 기체(이하 제 2 호스트 기체)가 배출되어 제 2 호스트 물질만이 증착되는 제 2 구간 및 상기 제 1 증발로(230a)를 통해 배출되는 제 1 호스트 기체와 상기 제 2 증발로(230b)를 통해 배출되는 제 2 호스트 기체가 적정 농도 비율을 가지며 혼합된 혼합기체 분위기를 이룸으로써 제 1 호스트 물질과 제 2 호스트 물질이 동시에 증착되는 제 3 구간이 존재하는 것이 특징이다.
이때, 상기 제 1 및 제 2 증발로(230a, 230b)의 기체 배출구의 각도를 조절함으로써 상기 제 1, 2, 3 구간(미도시)의 폭을 조절할 수 있다.
이러한 구성을 갖는 리니어 소스 타입 증착장비(200)를 이용하여 상기 진공챔버(210) 내부로 그 저면에 발광 물질층이 형성되어야 할 부분에 대응하여 개구를 갖는 쉐도우 마스크(미도시) 상에 안착시킨 상태에서 상기 진공챔버(210) 내부에 위치하도록 한다.
이후, 상기 스테이지(220)를 상기 이동로(240)를 따라 1회 직선 운동시킴으로써 전술한 구성을 갖는 발광 물질층(미도시)을 형성할 수 있다. 이때, 상기 1회 직선 운동이란 상기 이동로(240)의 일끝단에서 타끝단 또는 타끝단에서 일끝단까지의 이동을 의미하며 1/2 스캔을 의미한다.
한편, 전술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 리니어 소스 타입 증착장비(200)는 그 양끝단에 제 1 및 제 2 회전수단(250a, 250b)이 구비되고 있으므로 A방향으로 직선운동을 한 후에는 상기 제 2 회전수단(250b)에 의해 상기 스테이지(220)가 180도 회전한다. 이렇게 상기 스테이지(220)가 제 2 회전수단(250b)에 의해 회전 시 상기 진공챔버(210) 내부에는 새로운 기판이 유입되며, 이후 상기 스테이지(220)는 B방향으로 직선 운동을 함으로써 상기 새로운 기판상의 정공수송층 위로 제 1 호스트층/호스트 혼합층/제 2 호스트층으로 이루어진 발광 물질층을 형성할 수 있다.
따라서, 상기 제 1 및 제 2 회전수단(250a, 250b)에 의해 스테이지(220)가 직선 운동을 실시한 후 180도 회전하게 됨으로써 상기 스테이지(220) 상에 제 1 호스트 물질을 증착원으로 하는 제 1 증발로(230a)가 항상 기판(101)의 일끝단과 항상 우선적으로 중첩하고 이후 제 2 증발로(230b)가 상기 기판(101)과 중첩하며 스캔이 이루어질 수 있다.
그러므로 상기 기판(101)에 구비된 정공수송층(미도시) 상부에는 항상 제 1 호스트층(미도시)이 형성됨으로써 상기 제 1 호스트층(미도시)이 상기 정공수송층(미도시)과 더불어 정공의 수송을 활발히 하는 기능층으로서의 역할을 하게 되는 것이다.
한편, 전술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 리니어 소스 타입 증착장비(200)는 A방향으로 직선운동과 B방향으로의 직선운동이 모두 가능하며, 항상 제 1 호스트 물질을 증착원으로 하는 제 1 증발로(230a)가 제 2 증발로(230b)보다 선행하게 되므로 A방향으로 이동시에도 기판(101) 상에 제 1 호스트층/호스트 혼합층/제 2 호스트층의 순으로 적층시킬 수 있으며, B방향으로 이동시에도 기판(101)상에 제 1 호스트층/호스트 혼합층/제 2 호스트층의 순으로 적층시킬 수 있다.
따라서, A방향 또는 B방향 중 어느 하나의 방향으로만이 스캔이 이루어지거나 또는 직선 왕복운동만이 가능한 종래의 리니어 소스 타입 증착장비 대비 단위 시간당 생상성이 향상됨을 알 수 있으며, 나아가 호스트 혼합층 내부에 제 1 및 제 2 호스트층이 형성되지 않으므로 발광 물질층 내부에 에너지 레벨상의 우물을 형성하지 않으므로 소자 스트레스를 낮춤으로써 소자 수명을 연장시키는데 일조하는 것이 특징이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 수명과 비교예에 따른 유기전계 발광소자의 수명을 비교한 그래프이다. 이때, 본 발명의 실시예는 1/2scan으로 나타내었으며, 제 1 비교예는 포인트 소스 타입 증착장비를 이용하여 혼합 호스트층을 포함하는 발광 물질층을 형성한 것으로point source로 표시하였으며, 제 2,3,4 비교예의 경우 각각 2,3,4스캔 의해 혼합 호스트층을 포함하는 발광 물질층을 형성한 것으로, 각각 scan 1,2,3으로 나타내었다.
도시한 바와같이, 본 발명의 실시예에 따른 혼합 호스트층을 구비한 발광 물질층을 갖는 유기전계 발광소자가 제 1,2,3,4비교예 대비 20% 이상 향상된 장수명을 가짐을 알 수 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 이상 다양한 변화와 변형이 가능하다.
101 : 기판
200 : 리니어 소스 타입 증착장비
210 : 진공챔버
220 : 스테이지
230a, 230b : 제 1, 2 증발로
240 : 이동로
245 : 레일
250a, 250b : 제 1, 2 회전수단

Claims (7)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 진공 챔버와;
    상기 진공챔버 내부에 위치하며 레일이 구비된 이동로와;
    상기 이동로 상에서 상기 레일을 따라 직선 왕복 운동을 하는 스테이지와;
    상기 스테이지 상부에 위치하여 상기 스테이지와 함께 이동하고 서로 마주하도록 위치하며, 각각 제 1 호스트 물질과 제 2 호스트 물질을 증착원으로 하여 제 1 호스트 기체와 제 2 호스트 기체를 발생시키는 제 1 및 제 2 증발로와;
    상기 이동로 양 끝단에서 각각 상기 스테이지를 180도 회전시키는 제 1 및 제 2 회전수단
    을 포함하는 유기전계 발광소자 제조용 리니어 소스 타입 증착 장비.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 스테이지는 상기 제 1 증발로가 상기 제 2 증발로보다 선행하여 상기 이동로 상에서 이동하는 것이 특징인 유기전계 발광소자 제조용 리니어 소스 타입 증착 장비.
  5. 진공 챔버와; 상기 진공챔버 내부에 위치하며 레일이 구비된 이동로와; 상기 이동로 상에서 상기 레일을 따라 직선 왕복 운동을 하는 스테이지와; 상기 스테이지 상부에 위치하여 상기 스테이지와 함께 이동하고 서로 마주하도록 위치하며, 각각 제 1 호스트 물질과 제 2 호스트 물질을 증착원으로 하여 제 1 호스트 기체와 제 2 호스트 기체를 발생시키는 제 1 및 제 2 증발로와; 상기 이동로 양 끝단에서 각각 상기 스테이지를 180도 회전시키는 제 1 및 제 2 회전수단을 포함하는 유기전계 발광소자 제조용 리니어 소스 타입 증착 장비를 이용한 유기전계 발광소자의 제조 방법에 있어서,
    상기 진공챔버 내부에 기판을 투입하는 단계와;
    상기 제 1 호스트 기체를 발생시키는 상기 제 1 증발로를 선행하여 상기 스테이지를 상기 이동로의 일끝단에서 타끝단으로 일정속도를 가지고 이동시킴으로써 상기 기판 표면에 순차적으로 상기 제 1 호스트 물질로 이루어진 제 1 호스트층과 상기 제 1 및 2 호스트 물질이 혼합된 호스트 혼합층과 상기 제 2 호스트 물질로 이루어진 제 2 호스트층으로 이루어진 발광 물질층을 형성하는 단계
    를 포함하는 유기전계 발광소자의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 호스트 물질은 정공 수송 성능을 향상시킬 수 있는 유기물질이며, 상기 제 2 호스트 물질은 전자 수송 성능을 향상시킬 수 있는 유기물질이며,
    상기 제 1 및 제 2 호스트 물질은 각각 호모(HOMO)와 루모(LUMO) 밴드의 갭 차이가 루모(LUMO) 레벨에서 0.4eV 이하, 호모(HOMO) 레벨에서 0.2eV 이하의 값은 갖는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 기판 상에 제 1 전극과 정공주입층과 정공수송층을 순차적으로 형성하는 단계와;
    상기 발광물질층 상부에 전자수송층과 전자주입층을 순차적으로 형성하는 단계
    를 포함하는 유기전계 발광소자의 제조 방법.
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