KR101892000B1

KR101892000B1 - 핸들러 장치

Info

Publication number: KR101892000B1
Application number: KR1020170044632A
Authority: KR
Inventors: 김석진; 박문철; 이영걸; 이선영
Original assignee: (주) 티피씨 메카트로닉스
Priority date: 2017-04-06
Filing date: 2017-04-06
Publication date: 2018-08-27

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러 장치는, 진공압이 공급되는 진공라인; 충진에어가 공급되는 에어공급라인; 진공압이 제공될 때 흡착물이 흡착되는 진공노즐; 진공노즐에 연결된 노즐라인과, 진공흡착시 충진에어가 충진되는 충진탱크가 마련된 몸체; 노즐라인에서 분기되게 몸체에 마련되어, 외부와 연통되는 대기라인; 진공흡착시 노즐라인과 진공라인을 연결하고, 진공파괴시 노즐라인과 충진탱크를 연결하는 진공밸브; 진공흡착시 에어공급라인과 충진탱크를 연결하고, 진공파괴시 에어공급라인과 충진탱크의 연결을 차단하는 파괴밸브; 및 대기라인에 설치되어, 진공파괴 시에만 대기라인과 노즐라인을 연결하게 작동되는 에어체적조절밸브를 포함하고, 진공파괴시, 에어체적조절밸브는 노즐라인을 유동하는 충진에어의 파괴압력에 의해 노즐라인에서 대기라인 방향으로 이동되면서 대기라인과 노즐라인을 연결하여, 충진에어의 일부가 대기라인을 통해 외부로 배출되고, 외부공기가 노즐라인으로 유입되게 작동되어, 진공노즐로 토출되는 충진에어의 파괴압력이 충진에어의 체적변화에 따라 저감되는 것이 바람직하다.

Description

핸들러 장치{A HANDLER APPARATUS}

본 발명은 핸들러 장치에 관한 것이며, 상세하게는 충진에어의 체적변화를 통해 진공노즐로 토출되는 파괴압력을 조절하여, 흡착물의 크기 및 무게에 영향을 받지 않고 흡착물을 안정적으로 블로잉할 수 있는 핸들러 장치에 관한 것이다.

일반적으로 제조가 완료된 반도체 흡착물는 불량상태를 검사하는 테스트 공정을 진행하게 되며, 이렇게 테스트 공정을 수행하기 위한 테스트 장치에는 반도체 흡착물을 이송하여 공급시켜 주는 장치인 핸들러를 구비하고 있다. 이러한 핸들러는 테스트할 흡착물(예를 들어, 반도체칩)을 테스터 장치의 테스팅 부분으로 이송시키고, 테스트가 완료된 흡착물을 테스터로부터 꺼내는 역할을 한다.

종래의 핸들러는 이송되는 흡착물의 크기와 무게에 따라서 작업자가 흡착물을 블로잉하기 위한 압축공기압력을 조절해야하는 번거로움이 있었다. 아울러, 크기가 작은 흡착물 경우, 압축공기압력에 의해 비산 또는 기존위치와 변동현상이 발생하여 생산성 저하가 발생할 가능성이 높다.

종래의 핸들러는 정압방식으로 흡착물을 블로잉하기 때문에, 크기가 작은 흡착물의 경우, 흡착물의 비산을 방지하는 동시에 흡착물을 정확한 위치에 블로잉하기 위해서는 저압으로 흡착물을 블로잉하고 있다. 다만, 저압으로 흡착물을 블로잉하는 경우에, 흡착물을 테스트하는 시간이 길어지게 됨에 따라 생산성 저하가 발생한다.

한국등록특허 제KR0560730B1에는 반도체 소자 테스트용 핸들러가 개시되어 있다.

본 발명은 종래의 정압파괴방식과 달리, 충진에어의 체적변화를 통해 진공노즐로 토출되는 파괴압력을 조절하여, 흡착물의 크기 및 무게에 영향을 받지 않고 흡착물을 안정적으로 블로잉할 수 있는 핸들러 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 흡착물을 진공노즐에 흡착할 때, 에어체적조절밸브를 통해 외부공기의 유입을 차단하여, 진공흡착효율을 향상시킬 수 있는 핸들러 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 에어체적조절밸브는, 진공흡착시 노즐라인을 유동하는 진공압에 의해 대기라인에서 노즐라인 방향으로 이동되면서 대기라인과 노즐라인의 연결을 차단하게 작동되어, 노즐라인으로의 외부공기의 유입을 차단하는 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 몸체에는 충진탱크와 파괴밸브를 연결하는 탱크유입라인과, 충진탱크와 진공밸브를 연결하는 탱크토출라인이 마련된 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 진공밸브는, 탱크토출라인, 진공라인에서 분기된 진공분기라인과, 노즐라인과 연결되게 몸체에 설치되어, 진공흡착시 탱크토출라인을 패쇄하고, 진공분기라인과 노즐라인을 연결하여, 진공압이 진공분기라인과 노즐라인을 경유하여 진공노즐로 제공되도록 하고, 진공파괴시, 진공분기라인을 패쇄하고, 탱크토출라인과 노즐라인을 연결하여, 충진탱크 내의 충진에어가 탱크토출라인과 노즐라인을 경유하여 진공노즐로 제공되도록 하는 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 파괴밸브는, 탱크유입라인과, 에어공급라인에서 분기된 에어분기라인에 연결되게 몸체에 설치되어, 진공흡착시, 탱크유입라인과 에어분기라인을 연결하여, 충진에어가 에어공급라인에서 충진탱크로 충진되도록 하고, 진공파괴시, 탱크유입라인과 에어분기라인의 연결을 차단하여, 충진에어가 충진탱크로 공급되는 것을 차단하는 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 노즐라인에는 진공흡착시 진공노즐을 통해 유입되는 이물질을 필터링하는 진공필터가 마련된 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 노즐라인에는 진공흡착시 진공압을 센싱하는 진공센서가 설치된 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 대기라인에는 소음기가 더 설치되고, 소음기는 에어체적조절밸브에 연결되어, 진공파괴시 에어체적조절밸브를 통해 충진에어가 배출될 때 발생되는 소음을 억제하는 것이 바람직하다.

본 발명은 충진에어의 체적변화를 통해 진공노즐로 토출되는 파괴압력을 조절하여, 흡착물의 크기 및 무게에 영향을 받지 않고 흡착물을 안정적으로 블로잉할 수 있다. 이로 인해, 본 발명은 진공파괴시 흡착물의 비산을 방지하여, 흡착물을 테스트하는 효율을 향상시킬 수 있다.

본 발명은 흡착물을 진공노즐에 흡착할 때, 에어체적조절밸브를 통해 외부공기의 유입을 차단하여, 진공흡착효율을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러 장치의 사시도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 도 1의 A-A에 따른 단면도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 3은 본 발명이 일 실시예에서, 진공흡착시 핸들러 장치의 작동상태도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 4는 본 발명이 일 실시예에서, 진공파괴시 핸들러 장치의 작동상태도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 5는 도 4의 B를 확대한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러 장치의 구성요소간의 연결상태도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 7은 본 발명이 일 실시예에서, 진공흡착시 진공압 및 충진에어의 흐름도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 8은 본 발명이 일 실시예에서, 진공파괴시 충진에어의 흐름도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 9는 본 발명의 다른 예에 따른 핸들러 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 핸들러 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 것이다.

이하에서는 첨부도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 핸들러 장치에 대해 설명하기로 한다.

제 1 실시예

도 1에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러 장치(100)는, 진공흡착 및 진공파괴에 의해 흡착물(10a)을 운반하는 장치이다.

도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 핸들러 장치(100)는 본체부(110), 파괴밸브(120), 진공밸브(130), 에어체적조절밸브(140), 진공센서(150), 진공필터(160) 및 진공노즐(170)로 이루어진다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본체부(110)는 충진탱크(115)가 마련된 몸체(114), 진공주입부(113) 및 에어주입부(112)가 마련된다. 진공주입부(113)는 진공수단(30)에 연결된다. 그리고, 에어주입부(112)에는 에어공급수단(20)이 연결된다. 몸체(114)의 일측에는 진공노즐(170)이 설치된다.

진공노즐(170)은 각각의 몸체(114)마다 개별적으로 마련된다. 진공노즐(170)은 진공흡착시 흡착물(10a)로 진공압(P)을 제공하고, 진공파괴시 흡착물(10a)로 충진에어가 토출되는 노즐이다.

진공흡착시, 흡착물(10a)은 진공압(P)에 의해 진공노즐(170)에 흡착된다. 진공파괴시, 흡착물(10a)은 진공노즐(170)에서 토출된 충진에어에 의해 진공노즐(170)에서 분리된다.

본체부(110)에는 일괄배선용 커넥터(180)가 설치된다. 일괄배선용 커넥터(180)는 진공밸브(130), 파괴밸브(120), 진공센서(150)에 전기적으로 연결된다. 외부기기는 일괄배선용 커넥터(180)에 의해 진공밸브(130), 파괴밸브(120), 진공센서(150)에 연결되어, 진공밸브(130), 파괴밸브(120) 및 진공센서(150)와 제어신호를 주고 받을 수 있다.

복수의 몸체(114)는 진공라인(113a) 및 에어공급라인(112a)이 형성되게, 병렬배치된다. 각각의 몸체(114)에는 충진탱크(115)가 마련된다. 그리고, 몸체(114)에는 진공분기라인(114a2), 에어분기라인(114b2), 탱크토출라인(114a1), 노즐라인(114a3), 탱크유입라인(114b1) 및 대기라인(117)이 마련된다.

도 2에 도시된 바와 같이, 충진탱크(115)는 탱크토출라인(114a1)에 의해 진공밸브(130)에 연결된다. 그리고, 충진탱크(115)는 탱크유입라인(114b1)에 의해 파괴밸브(120)에 연결된다. 충진탱크(115)로 충진에어가 유입되는 과정 및 충진에어가 토출되는 과정은 후술하기로 한다.

진공라인(113a)은 진공수단(30)에서 제공된 진공압(P)이 유동하는 통로이다. 진공분기라인(114a2)은 진공라인(113a)에서 분기되어, 진공라인(113a)의 진공압(P)이 유동하는 통로이다. 하나의 진공분기라인(114a2)은 하나의 진공밸브(130)에 연결된다.

에어공급라인(112a)은 에어공급수단(20)에서 제공된 충진에어가 유동하는 통로이다. 에어분기라인(114b2)은 에어공급라인(112a)에서 분기된다. 에어분기라인(114b2)은 에어공급수단(20)에서 공급된 충진에어가 유동하는 통로이다. 하나의 에어분기라인(114b2)은 하나의 파괴밸브(120)에 연결된다.

노즐라인(114a3)은 진공노즐(170)과 진공밸브(130)를 연결되게 몸체(114)에 마련된 통로이다. 노즐라인(114a3)에는 에어체적조절밸브(140), 진공센서(150) 및 진공필터(160)가 설치된다. 노즐라인(114a3)은 진공흡착시 진공압(P)이 형성되고, 진공파괴시 충진에어가 유동하는 통로이다. 진공필터(160)는 진공흡착시 진공노즐(170)을 통해 유입되는 이물질을 필터링한다. 진공센서(150)는 진공흡착시, 노즐라인(114a3)에 걸린 진공압(P)을 센싱한다.

도 5에 도시된 바와 같이, 대기라인(117)은 외부와 연통되게 몸체(114)에 마련된 통로이다. 대기라인(117)은 에어체적조절밸브(140)의 작동에 의해 개폐된다. 에어체적조절밸브(140)에 대해서는 후술하기로 한다.

파괴밸브(120)는 진공흡착 또는 진공파괴에 따라, 에어공급라인(112a)을 통해 충진에어가 충진탱크(115)로의 공급 또는 공급차단되도록 작동된다.

파괴밸브(120)는 에어분기라인(114b2) 및 탱크유입라인(114b1)에 연통가능하게 몸체(114)에 연결된다. 탱크유입라인(114b1)은 충진탱크(115)에 연결된 통로이다.

파괴밸브(120)는 진공흡착시 에어분기라인(114b2)과 탱크유입라인(114b1)이 연결되게 작동된다. 파괴밸브(120)는 진공파괴시 에어분기라인(114b2)과 탱크유입라인(114b1)과의 연결이 차단되도록 작동된다.

본 실시예에서, 진공밸브(130)는 탱크토출라인(114a1)에 의해 충진탱크(115)에 연결된다. 진공밸브(130)는 진공분기라인(114a2)에 의해 진공라인(113a)에 연결된다. 그리고, 진공밸브(130)는 노즐라인(114a3)에 의해 진공노즐(170)에 연결된다.

진공밸브(130)는 노즐라인(114a3)이 탱크토출라인(114a1) 또는 진공분기라인(114a2)에 선택적으로 연결된다.

진공밸브(130)는 진공흡착시 탱크토출라인(114a1)을 폐쇄하고, 진공분기라인(114a2)과 노즐라인(114a3)을 연결한다. 이로 인해, 진공흡착시, 노즐라인(114a3)에는 진공수단(30)으로부터 진공압(P)이 공급된다.

진공밸브(130)는 진공파괴시 충진탱크(115)와 노즐라인(114a3)이 연결되고, 진공분기라인(114a2)이 폐쇄되게 작동된다. 진공파괴시, 노즐라인(114a3)에는 충진탱크(115)로부터 충진에어가 공급된다.

도 2에 도시된 바와 같이, 에어체적조절밸브(140)는 노즐라인(114a3)에 연결된다. 에어체적조절밸브(140)는 노즐라인(114a3)을 유동하는 충진에어의 일부를 외부로 배출하여, 노즐라인(114a3)을 유동하는 충진에어의 체적을 조절하기 위한 것이다. 에어체적조절밸브(140)는 도 2에 도시된 바와 같이 몸체(114)에 내장될 수도 있고, 도 9에 도시된 바와 같이 몸체(114)의 외부에서 몸체(114)에 탈부착 가능하게 설치될 수도 있다.

에어체적조절밸브(140)는 노즐라인(114a3)에 진공압(P)이 형성될 때 진공압(P)에 의해 노즐라인(114a3)쪽으로 이동되어, 대기라인(117)과 노즐라인(114a3)의 연결이 차단되게 작동된다. 즉, 에어체적조절밸브(140)는 흡착물(10a)에 대한 진공흡착시, 노즐라인(114a3)으로의 대기의 유입을 차단할 수 있다.

그리고, 에어체적조절밸브(140)는 노즐라인(114a3)으로 충진에어가 공급될 때, 충진에어의 파괴압력(P2)에 의해 대기라인(117)쪽으로 이동되면서, 대기라인(117)과 노즐라인(114a3)을 연결한다. 흡착물(10a)에 대한 진공파괴시, 충진에어의 일부는 에어체적조절밸브(140) 및 대기라인(117)을 통해 외부로 방출된다. 이로 인해, 본 발명은 진공파괴시 충진에어의 체적변화에 의해 진공노즐(170)에서 토출되는 파괴압력(P2)을 저감시킬 수 있다.

이하에서는, 도 7 및 도 8을 참조하여, 진공흡착 및 진공파괴시 핸들러 장치(100)의 작동상태에 대해 설명하기로 한다.

우선, 도 7을 참조하여, 흡착물(10a)을 진공흡착하는 경우에, 핸들러 장치(100)의 작동상태에 대해 설명하기로 한다. 흡착물(10a)을 진공흡착하는 경우, 진공밸브(130)와 파괴밸브(120)에는 전원이 인가되지 않는다. 진공밸브(130) 및 파괴밸브(120)에 전원이 인가되지 않을 때, 진공밸브(130)는 진공수단(30)과 진공노즐(170)을 연결한다. 그리고, 파괴밸브(120)는 에어공급수단(20)과 충진탱크(115)를 연결한다.

도 7에 도시된 바와 같이, 진공압(P)은 진공밸브(130)를 통과하여 진공수단(30)에서 진공노즐(170)로 제공된다. 진공압(P)은 흡착물(10a)을 진공노즐(170)에 흡착되도록 주변공기를 흡인한다. 진공수단(30)에서 공급된 진공압(P)은 흡착물(10a)이 진공노즐(170)에 흡착되면, 대기와의 접촉이 차단되면서, 흡착물(10a)이 진공노즐(170)에 흡착된 부분에서 진공수단(30)까지 진공도가 상승한다.

노즐라인(114a3)에 진공압(P)이 걸릴 때, 에어체적조절밸브(140)는 진공압(P)이 공기를 흡인하는 힘에 의해, 대기라인(117) 측에서 노즐라인(114a3)측으로 이동되면서 대기라인(117)을 폐쇄토록 작동된다. 본 발명은 노즐라인(114a3)에 진공압(P)이 걸릴 때, 에어체적조절밸브(140)를 통해 외부공기가 노즐라인(114a3)으로 유입되는 것을 차단하여, 진공효율을 증대시킬 수 있다.

한편, 진공압(P)이 진공노즐(170)로 제공될 때, 충진에어는 파괴밸브(120)를 통과하여 에어공급수단(20)에서 충진탱크(115)로 충진된다.

다음으로, 도 8을 참조하여, 진공노즐(170)에 흡착된 흡착물(10a)을 블로잉(blowing) 하는 경우, 핸들러 장치(100)의 작동상태에 대해 설명하기로 한다.

진공노즐(170)에 걸린 진공압(P)을 파괴할 때, 진공밸브(130)와 파괴밸브(120)에는 전원이 인가된다. 진공밸브(130)에 전원이 인가될 때, 진공밸브(130)는 충진탱크(115)와 진공노즐(170)을 연결하고, 진공수단(30)과 진공노즐(170)의 연결을 차단한다. 그리고, 파괴밸브(120)에 전원이 인가될 때, 파괴밸브(120)는 충진탱크(115)와 에어공급수단 간의 연결을 차단한다.

진공밸브(130)와 파괴밸브(120)의 전원인가시, 충진탱크(115) 내의 충진에어는 진공밸브(130)를 거쳐 노즐라인(114a3)으로 유동된다.

충진에어는 노즐라인(114a3)을 따라 유동하다 충진에어의 일부가 에어체적조절밸브(140)로 유입되어 에어체적조절밸브(140)를 개방하면서 대기라인(117)을 통해 외부로 방출된다. 그리고, 충진에어의 나머지 일부가 진공노즐(170)을 통해 외부로 방출되면서 진공노즐(170)에 흡착된 흡착물(10a)을 블로잉한다. 이때, 흡착물(10a)이 진공노즐(170)에서 분리된다.

본 발명은 충진탱크(115) 내의 충진에어만을 이용하여 진공노즐(170)에 걸린 진공압(P)을 파괴토록 작동된다. 식 (1)에 따라, 충진탱크(115)에서 나온 충진에어는 노즐라인(114a3)의 체적만큼 체적이 증가하고, 압력은 저감된다.

P1V1=P2V2 ...........................................식 (1)

식 (1)에서, P1은 진공흡착시 충진탱크(115) 내의 충진에어의 압력이고, V1은 충진탱크(115)의 체적이다. 그리고, V2는 진공파괴시 충진탱크(115)에서 토출되면서 팽창된 체적로서 충진탱크(115)의 체적과 노즐라인(114a3)의 체적의 합이다. P2는 진공파괴시 진공노즐(170)을 통해 토출되는 충진에어의 파괴압력(P2)이다.

본 발명은 진공파괴시, 충진탱크(115) 내의 충진에어만을 이용하여, 진공노즐(170)에 걸린 진공압(P)을 파괴한다. 이에 의해, 본 발명은 충진에어가 충진탱크(115)에서 토출되면서 노즐라인(114a3)의 체적만큼 충진에어의 체적이 팽창되면서 충진에어의 압력을 저감시킬 수 있다.

이와 동시에, 충진에어는 노즐라인(114a3)을 따라 유동되면서, 대기라인(117)과 노즐라인(114a3)의 연결을 차단하던 에어체적조절밸브(140)를 밀어내면서, 충진에어의 일부가 노즐라인(114a3)에서 대기라인(117)으로 유동되면서 외부로 방출되면서, 충진에어의 파괴압력(P2)을 저감시킬 수 있다. 그리고, 에어체적조절밸브(140)의 개방시 대기라인(117)을 통해 외부공기가 노즐라인(114a3)으로 유입되어, 외부로 빠져나간 충진에어의 부족량을 보충하면서 파괴압력(P2)을 저감시킬 수 있다.

이와 같은 작동구조에 의해, 본 발명은 파괴압력(P2)을 대기압(P0)에 근접하게 저감시켜, 진공노즐(170)에 흡착된 흡착물(10a)을 안정적으로 블로잉할 수 있다.

본 발명은 상기와 같은 구조를 통해, 진공흡착시 노즐라인(114a3)에 걸린 진공압(P)의 진공효율을 향상시킬 수 있고, 진공파괴시 진공노즐(170)로 토출되는 파괴압력(P2)을 대기압(P0)수준으로 저감시켜 흡착물(10a)의 비산을 방지할 수 있다.

본 발명은 진공파괴시, 파괴압력(P2)이 충진에어의 체적변화에 따라 조절됨에 따라, 기존의 정압에 의한 진공파괴와 달리 흡착물(10a)의 크기가 작거나 무게가 가벼운 경우라도, 흡착물(10a)이 비산되지 않고, 안착트레이(10)로 블로잉할 수 있다.

제 2 실시예

이하에서는 도 10을 참조하여, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 핸들러 장치에 대해 설명하기로 한다.

도 10에 도시된 바와 같이, 핸들러 장치(200)는 본체부(210), 파괴밸브(220), 진공밸브(230), 에어체적조절밸브(240), 진공센서(250), 진공필터(260) 및 진공노즐(270)로 이루어진다.

본 실시예에 따른 본체부(210), 파괴밸브(220), 진공밸브(230), 진공센서(250), 진공필터(260) 및 진공노즐(270)는 상술한 제 1 실시예의 본체부(110), 파괴밸브(120), 진공밸브(130), 진공센서(150), 진공필터(160) 및 진공노즐(170)와 실질적으로 동일한 기능을 수행하는 바, 본 실시예에서는 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.

에어체적조절밸브(240)는 노즐라인(214a3)에 연결된다. 에어체적조절밸브(240)는 노즐라인(214a3)을 유동하는 충진에어의 일부를 외부로 배출하여, 노즐라인(214a3)을 유동하는 충진에어의 체적을 조절하기 위한 것이다.

에어체적조절밸브(240)는 대기라인(217)과 노즐라인(214a3)에 연결되는 밸브하우징(241), 밸브하우징(241)에 설치된 밸브본체(242) 및 탄성스프링(243)으로 이루어진다. 탄성스프링(243)은 밸브본체(242)와 밸브하우징(241)에 연결된다.

그리고, 밸브본체(242)는 진공흡착시의 진공압에 의해 노즐라인을 향해 이동되면서 노즐라인(214a3)과 밸브하우징(241)의 연결을 차단할 수 있는 구조를 가진다. 밸브본체(242)는 진공파괴시 공기압에 의해 노즐라인(214a3)과 멀어지게 이동되면서 노즐라인(214a3)을 개방한다. 이때, 노즐라인(214a3)을 통해 유입된 충진에어는 밸브하우징(241)을 경유하여 대기라인(217)을 통해 외부로 배출된다.

본 실시예에서, 탄성스프링(243)은 밸브본체(242)로의 진공압 제공시 또는 공기압 제공시, 밸브본체(242)를 탄성지지하여 밸브본체(242)가 서서히 이동되도록 한다. 이로 인해, 본 발명은 진공흡착시 진공형성시간을 안정적으로 확보할 수 있다. 아울러, 본 발명은 진공파괴시 노즐라인(214a3)으로 유입된 충진에어가 에어체적조절밸브(240)를 통해 한꺼번에 빠져나가는 현상을 방지할 수 있다.

한편, 에어체적조절밸브(240)에는 소음기(290)가 연결된다. 소음기(290)는 에어체적조절밸브(240)에서 충진에어가 배출될 때 발생되는 소음을 억제하는 것이다.

소음기(290)는 대기라인(217)에 설치된다. 소음기(290)는 대기라인(217)을 통해 이물질이 에어체적조절밸브(240)로 유입되는 것을 방지할 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.

100: 핸들러 장치 110: 본체부
112a: 에어공급라인 113a: 진공라인
114: 몸체 114a1: 탱크토출라인
114a2: 진공분기라인 114a3: 노즐라인
114b1: 탱크유입라인 114b2: 에어분기라인
115: 충진탱크 117: 대기라인
120: 파괴밸브 130: 진공밸브
140: 에어체적조절밸브 150: 진공센서
160: 진공필터 170: 진공노즐
180: 일괄배선용 커넥터

Claims

진공압이 공급되는 진공라인;
충진에어가 공급되는 에어공급라인;
상기 진공압이 제공될 때 흡착물이 흡착되는 진공노즐;
상기 진공노즐에 연결된 노즐라인과, 진공흡착시 상기 충진에어가 충진되는 충진탱크가 마련된 몸체;
상기 노즐라인에서 분기되게 상기 몸체에 마련되어, 외부와 연통되는 대기라인;
상기 진공흡착시 상기 노즐라인과 상기 진공라인을 연결하고, 진공파괴시 상기 노즐라인과 상기 충진탱크를 연결하는 진공밸브;
상기 진공흡착시 상기 에어공급라인과 상기 충진탱크를 연결하고, 상기 진공파괴시 상기 에어공급라인과 상기 충진탱크의 연결을 차단하는 파괴밸브; 및
상기 대기라인에 설치되어, 상기 진공파괴 시에만 상기 대기라인과 상기 노즐라인을 연결하게 작동되는 에어체적조절밸브를 포함하고,
상기 진공파괴시, 상기 에어체적조절밸브는 상기 노즐라인을 유동하는 상기 충진에어의 파괴압력에 의해 상기 노즐라인에서 상기 대기라인 방향으로 이동되면서 상기 대기라인과 상기 노즐라인을 연결하여, 상기 충진에어의 일부가 상기 대기라인을 통해 상기 외부로 배출되고, 외부공기가 상기 노즐라인으로 유입되게 작동되어, 상기 진공노즐로 토출되는 상기 충진에어의 파괴압력이 상기 충진에어의 체적변화에 따라 저감되는 것을 특징으로 하는 핸들러 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 에어체적조절밸브는, 상기 진공흡착시 상기 노즐라인을 유동하는 상기 진공압에 의해 상기 대기라인에서 상기 노즐라인 방향으로 이동되면서 상기 대기라인과 상기 노즐라인의 연결을 차단하게 작동되어, 상기 노즐라인으로의 상기 외부공기의 유입을 차단하는 것을 특징으로 하는 핸들러 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 몸체에는 상기 충진탱크와 상기 파괴밸브를 연결하는 탱크유입라인과, 상기 충진탱크와 상기 진공밸브를 연결하는 탱크토출라인이 마련된 것을 특징으로 하는 핸들러 장치.
제 3 항에 있어서, 상기 진공밸브는,
상기 탱크토출라인, 상기 진공라인에서 분기된 진공분기라인과, 상기 노즐라인과 연결되게 상기 몸체에 설치되어,
상기 진공흡착시 상기 탱크토출라인을 패쇄하고, 상기 진공분기라인과 상기 노즐라인을 연결하여, 상기 진공압이 상기 진공분기라인과 상기 노즐라인을 경유하여 상기 진공노즐로 제공되도록 하고,
상기 진공파괴시, 상기 진공분기라인을 패쇄하고, 상기 탱크토출라인과 상기 노즐라인을 연결하여, 상기 충진탱크 내의 상기 충진에어가 상기 탱크토출라인과 상기 노즐라인을 경유하여 상기 진공노즐로 제공되도록 하는 것을 특징으로 하는 핸들러 장치.
제 3 항에 있어서, 상기 파괴밸브는,
상기 탱크유입라인과, 상기 에어공급라인에서 분기된 에어분기라인에 연결되게 상기 몸체에 설치되어,
상기 진공흡착시, 상기 탱크유입라인과 상기 에어분기라인을 연결하여, 상기 충진에어가 상기 에어공급라인에서 상기 충진탱크로 충진되도록 하고,
상기 진공파괴시, 상기 탱크유입라인과 상기 에어분기라인의 연결을 차단하여, 상기 충진에어가 상기 충진탱크로 공급되는 것을 차단하는 것을 특징으로 하는 핸들러 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 노즐라인에는 상기 진공흡착시 상기 진공노즐을 통해 유입되는 이물질을 필터링하는 진공필터가 마련된 것을 특징으로 하는 핸들러 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 노즐라인에는 상기 진공흡착시 상기 진공압을 센싱하는 진공센서가 설치된 것을 특징으로 하는 핸들러 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 대기라인에는 소음기가 더 설치되고,
상기 소음기는 상기 에어체적조절밸브에 연결되어, 상기 진공파괴시 상기 에어체적조절밸브를 통해 상기 충진에어가 배출될 때 발생되는 소음을 억제하는 것을 특징으로 하는 핸들러 장치.