KR101430101B1 - 소자검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 로딩부로부터 전달된 소자를 테스트부 쪽으로 이송하고 테스트부로부터 전달된 소자를 언로딩부 쪽으로 이송하는 셔틀플레이트가 플레이트착탈부의 간단한 작동에 의하여 플레이트고정부에 착탈이 가능하게 구성되므로, 검사대상인 소자의 종류, 특히, 소자의 크기가 달라지는 경우 소자가 안착되는 셔틀플레이트가 용이하게 교체될 수 있는 효과가 있다.

Description

소자검사장치 {SEMICONDUCTOR DEVICE INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 소자검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 소자에 대한 전기적 특성을 검사하는 소자검사장치에 관한 것이다.

반도체소자(이하, '소자'라 한다)는 패키지공정을 마친 후 반도체소자 검사장치에 의하여 전기특성, 열이나 압력에 대한 신뢰성 검사 등 다양한 검사를 거친다.

소자에 대한 검사는 메모리소자 또는 CPU (Central Processing Unit), GPU (Graphic Processing Unit) 등과 같은 비메모리소자, LED소자, 태양광소자 등 소자의 종류에 따라서 실온환경에서 수행하는 실온검사, 고온환경에서 수행되는 가열검사 등 다양한 검사들이 있다.

한편, 스마트폰, 스마트패드, 스마트TV 등 IT기기의 종류가 다양해지며 대중화됨에 따라 CPU 등과 같은 비메모리소자, 즉, LSI (Large Scale Integration)의 수요가 급증하고 있다.

그런데, LSI는 소량다품종의 특성으로 인하여 규격화된 메모리소자의 검사장치에 비하여 검사수량이 작아 고가의 검사장비의 사용이 어려운 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 소량다품종의 LSI소자에 대한 검사를 빠르게 수행하면서 다양한 종류의 LSI소자를 검사할 수 있는 소자검사장치를 제공하는 데에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 부품의 유지보수가 용이하게 구성함으로써 유지보수비용을 절감하여 소자의 생산비용을 현저하게 절감할 수 있는 소자검사장치를 제공하는 데에 있다.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은, 소자를 픽업하여 테스트소켓으로 가압하는 소자가압툴의 수평방향으로의 이동 및 수직방향으로의 이동을 정확하게 수행할 수 있는 소자검사장치를 제공하는 데에 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 복수의 소자가 로딩되는 로딩부와, 상기 로딩부로부터 이송된 소자에 테스트를 수행하기 위한 복수의 테스트소켓이 마련되는 테스트부와, 상기 테스트부에서 테스트가 완료된 소자를 테스트결과에 따라 분류하는 언로딩부와, 상기 로딩부로부터 전달된 소자를 상기 테스트부 쪽으로 이송하고 상기 테스트부로부터 전달된 소자를 상기 언로딩부 쪽으로 이송하는 하나 이상의 셔틀부를 포함하고, 상기 셔틀부는, 상기 소자가 탑재되는 셔틀플레이트와, 상기 셔틀플레이트가 탈착이 가능하게 결합되는 플레이트고정부와, 상기 플레이트고정부에 설치되어 상기 셔틀플레이트를 상기 플레이트고정부에 고정시키는 플레이트탈착부를 포함할 수 있다.

여기에서, 상기 플레이트탈착부는, 상기 플레이트고정부에 고정되는 지지체와, 상기 지지체에 마련된 제1힌지축을 통하여 회동이 가능하게 연결되어 상기 셔틀플레이트를 선택적으로 고정하는 고정체와, 상기 고정체를 상기 제1힌지축에 탄성적으로 연결하는 탄성체와, 상기 고정체와 접촉되는 가압면이 곡면으로 형성되어 상기 고정체를 가압하는 가압체와, 상기 가압체와 연결되고 상하방향으로 이동이 가능하게 설치되는 이동체와, 상기 이동체에 마련된 설치된 제2힌지축에 회동이 가능하게 연결되는 핸들과, 상기 지지체에 설치되어 상기 핸들의 단부가 걸려 고정되는 고정걸이를 포함할 수 있다.

또한, 상기 셔틀부에는 상기 플레이트고정부가 수평으로 이동이 가능하게 연결되는 가이드레일이 구비될 수 있다.

그리고, 상기 플레이트고정부에는 상기 소자를 가열하기 위한 히터가 마련될 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 상기 셔틀부의 셔틀플레이트에서 소자를 픽업하여 상기 테스트소켓으로 가압하고, 상기 테스트소켓에 가압되면서 테스트가 완료된 소자를 상기 셔틀부의 셔틀플레이트로 전달하는 하나 이상의 소자가압툴을 포함할 수 있다.

여기에서, 상기 셔틀부는, 상기 테스트부의 테스트소켓의 양측에 배치되는 제1셔틀부 및 제2셔틀부를 포함할 수 있다.

이와 같은 경우, 상기 소자가압툴은, 상기 제1셔틀부의 셔틀플레이트에서 소자를 픽업하여 상기 테스트소켓으로 가압하고 상기 테스트소켓에 가압되면서 테스트가 완료된 소자를 상기 제1셔틀부의 셔틀플레이트로 전달하는 제1소자가압툴과, 상기 제2셔틀부 셔틀플레이트에서 소자를 픽업하여 상기 테스트소켓으로 가압하고 상기 테스트소켓에 가압되면서 테스트가 완료된 소자를 상기 제2셔틀부의 셔틀플레이트로 전달하는 제2소자가압툴을 포함할 수 있다.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 상기 테스트부의 일측에 설치되어 이동에 의하여 상기 테스트소켓을 복개한 상태에서 공기를 분사하여 상기 테스트소켓에서 이물질을 제거하기 위한 크리닝부를 더 포함할 수 있다.

상기 크리닝부는, 상기 테스트소켓을 복개하며 상기 테스트소켓의 상부에 크리닝공간을 형성하는 본체와, 상기 테스트부의 일측 및 상기 테스트소켓의 상부 사이에서 상기 본체를 이동시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다.

여기에서, 상기 본체에는, 상기 각 테스트소켓에 공기를 분사할 수 있도록 공기공급장치와 연결되는 공기유로 및 상기 공기유로로부터 공기를 전달받아 상기 테스트소켓에 공기를 분사하는 하나 이상의 노즐이 설치될 수 있다.

그리고, 상기 본체는 상기 크리닝공간이 밀폐된 상태를 유지하도록 형성되며, 상기 본체에는 상기 노즐을 통하여 분사된 공기와 함께 이물질이 상기 크리닝공간으로부터 외부로 배출되도록 배출관과 연결될 수 있다.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 상기 로딩부로부터 전달된 소자가 임시로 적재되는 로딩버퍼부와, 상기 테스트부에서 테스트가 완료된 소자들이 임시로 적재되는 언로딩버퍼부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 소량다품종의 LSI소자에 대한 검사를 빠르게 수행하면서 다양한 종류의 LSI소자를 검사할 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 장치의 유지보수를 용이하게 구성함으로써 장치의 유비보수비용을 절감하여 소자의 생산비용을 현저하게 절감할 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 소자를 픽업하여 테스트소켓으로 가압하는 소자가압툴을 수직방향으로 이동시키기 위한 수직이동장치가 캠부재를 포함하고, 캠부재의 회전에 의하여 소자가압툴이 수직방향으로 이동되도록 구성됨으로써, 소자가압툴의 수직방향으로의 이동위치가 정확하게 설정될 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 소자를 픽업하여 테스트소켓으로 가압하는 소자가압툴이, 이동이 가능하게 설치되는 지지부와, 상기 지지부에 탈착이 가능하게 결합되며 하나 이상의 픽커들이 결합되는 하나 이상의 픽커모듈을 구비함으로써 소자가압툴의 유지보수가 용이한 이점이 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 히터 및 상기 온도센서에 대한 전원공급 및 신호전달을 위한 하나 이상의 제1커넥터가 설치됨으로써 소자가압툴을 구성하는 지지부 및 픽커모듈의 결합 시 지지부에 설치된 제2커넥터와 자동으로 연결됨으로써 전원공급 및 신호전달을 위한 별도의 연결작업이 불필요하여 장치의 제조, 유지보수가 용이한 이점이 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 테스트부와 로딩버퍼부 사이의 소자교환 또는 테스트부와 언로딩버퍼부 사이의 소자교환을 위한 셔틀플레이트가 플레이트착탈부의 간단한 작동에 의하여 플레이트고정부에 착탈이 가능하게 구성되므로, 검사대상인 소자의 종류, 특히, 소자의 크기가 달라지는 경우 소자가 안착되는 셔틀플레이트가 용이하게 교체될 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 흡착패드의 교체를 위하여 장치의 작동을 멈추고 수작업에 의한 교체 후 장치가 재가동되는 종래기술에 비하여, 픽커로부터 흡착패드를 자동으로 교체할 수 있는 흡착패드교환부를 추가로 구비함으로써 장비의 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치는, 테스트부의 일측에 설치되어 이동에 의하여 상기 테스트소켓을 복개한 상태에서 공기를 분사하여 상기 테스트소켓에서 이물질을 제거하기 위한 크리닝부를 추가로 포함함으로써 테스트소켓에 이물질이 존재하여 테스트의 오류 또는 테스트 작업이 불가능하게 되는 것을 방지하여 장치의 성능을 크게 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 도 1의 소자검사장치에서, 로딩버퍼부 및 언로딩버퍼부의 플레이트부재의 일 예가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 3은 도 1의 소자검사장치에서, 제1셔틀부 및 제2셔틀부가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 4는 도 3의 제1셔틀부 및 제2셔틀부에서, 셔틀플레이트를 플레이트고정부에 고정시키는 플레이트탈착부가 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 5 및 도 6은 도 4의 플레이트탈착부의 작동을 설명하기 위한 개략도이다.
도 7은 도 1의 소자검사장치에서, 크리닝부가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 8은 도 1의 소자검사장치에서, 크리닝부가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 9는 도 1의 소자검사장치에서, 소자가압툴이 도시된 단면도이다.
도 10은 도 9의 소자가압툴의 지지부가 도시된 사시도이다.
도 11은 도 9의 소자가압툴의 픽커모듈이 도시된 사시도이다.
도 12는 도 1의 소자가압툴에서, 지지부에 픽커모듈이 결합되는 작동을 설명하기 위한 단면도이다.
도 13 및 도 14는 도 1의 소자검사장치에서, 소자가압툴을 수평방향 및 수직방향으로 이동시키기 위한 수평이동장치 및 수직이동장치가 도시된 개략도이다.
도 15는 도 1의 소자검사장치에서, 소자가압툴을 수평방향으로 이동시키기 위한 수평이동장치가 개략적으로 도시된 횡단면도이다.
도 16은 도 1의 소자검사장치에서, 소자가압툴을 수직방향으로 이동시키기 위한 수직이동장치가 개략적으로 도시된 종단면도이다.
도 17은 도 1의 수직이동장치에서, 소자를 이송시키는 로딩이송툴, 언로딩이송툴 또는 소자가압툴에 마련된 픽커의 일부 및 흡착패드를 보여주는 사시도이다.
도 18은 도 17의 픽커에서 흡착패드의 자동교환을 위한 흡착패드교환부의 구성이 도시된 사시도이다.
도 19 내지 도 21은 도 17의 픽커로부터 흡착패드를 교환하는 과정이 도시된 흡착패드교환부의 일부 단면도이다.
도 22 및 도 23은 도 17의 픽커로부터 흡착패드를 교환하는 과정이 도시된 흡착패드교환부의 일부 평면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 소자검사장치에 대하여 설명한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 실시예에 따른 소자검사장치는, 다수의 소자들(1)이 로딩되는 로딩부(100)와; 로딩부(100)로부터 전달된 소자들(1)을 테스트하는 테스트부(300)와; 테스트부(300)의 테스트결과에 따라 소자들(1)을 분류하여 적재하는 언로딩부(500)를 포함할 수 있다.

테스트의 대상이 되는 소자(1)는 메모리반도체나, CPU (Central Processing Unit), GPU (Graphics Processing Unit), 시스템 LSI (Large Scale Integration)와 같은 비메모리소자가 될 수 있다. 소자(1)는 비메모리소자, 특히, 저면에 볼형상의 접속단자들이 형성되는 소자가 될 수 있다.

로딩부(100), 테스트부(300) 및 언로딩부(500) 사이에서 소자들(1)을 이송하는 방법은 다양한 방법에 의하여 수행될 수 있다.

로딩부(100) 및 언로딩부(500)는 복수의 소자들(1)이 적재된 하나 이상의 트레이(2)가 로딩되는 구성으로서, 설계에 따라 다양한 구성이 가능하다. 로딩부(100) 및 언로딩부(500)에는 복수의 트레이들(2)이 적재될 수 있는 트레이적재부(미도시)가 설치될 수 있다.

예를 들면, 로딩부(100)에는 소자들(1)이 연속적으로 픽업되어 이송될 수 있도록 복수의 트레이들(2)이 적절하게 배치된다. 소자들(1)이 비워진 트레이(2)는 소자들(1)이 채워진 트레이(2)와 교체될 수 있다. 예를 들면, 일정 묶음의 트레이들(2)이 자동 또는 수동으로 트레이적재부로 로딩될 수 있다.

로딩부(100) 내에서 소자들(1)이 인출된 후의 빈 트레이(2)는 트레이전달부(미도시)에 의하여 언로딩부(500)로 이송될 수 있다. 또한, 빈 트레이(2)가 언로딩부(500)로 이송되기 전에 트레이(2)로부터 미처 인출되지 않은 소자(1)가 제거될 수 있도록, 트레이(2)가 트레이반전부(미도시)에서 회전(반전)될 수 있다.

한편, 언로딩부(500)는 로딩부(100)와 유사하게 구성될 수 있다. 예를 들면, 언로딩부(500)에는, 소자들(1)이 테스트결과에 따라 연속적으로 분류되어 적재될 수 있도록, 복수의 빈 트레이들(2)이 분류등급에 따라 적절하게 배치될 수 있다. 언로딩부(500)에서, 테스트가 완료된 소자들(1)이 채워진 트레이(2)는 빈 트레이(2)와 교체될 수 있다.

또한, 로딩부(100)와 언로딩부(500) 사이에는, 빈 트레이(2)가 임시로 적재될 수 있도록, 빈 트레이(2)가 임시로 적재되는 트레이버퍼부(미도시)가 추가로 설치될 수 있다.

트레이(2)에는 복수의 소자들(1)이 적재될 수 있도록 복수의 수용홈(2a)이 형성될 수 있다. 예를 들면, 복수의 수용홈(2a)은 트레이(2)에 8×16 등의 행렬로 형성될 수 있다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 소자(1)가 이송되는 속도가 증가될 수 있도록, 또는 복수의 소자들(1)이 충분히 가열될 수 있도록, 로딩부(100)와 테스트부(300)의 사이에는 로딩부(100)의 트레이(2)로부터 전달된 소자들(1)이 임시로 적재되는 로딩버퍼부(200)가 설치될 수 있다. 그리고, 소자(1)가 이송되는 속도가 증가될 수 있도록, 테스트부(300)를 중심으로 로딩버퍼부(200)를 대향하는 위치에는, 테스트부(300)에 의하여 테스트가 완료된 소자들(1)이 임시로 적재되는 언로딩버퍼부(400)가 마련될 수 있다. 따라서, 테스트의 대상이 되는 소자(1)는 로딩부(100)로부터 이송되어 로딩버퍼부(200)에 임시로 적재된 후 테스트부(300)으로 이송될 수 있고, 테스트가 완료된 소자(1)는 테스트부(300)로부터 이송되어 언로딩버퍼부(400)에 임시로 적재된 후 언로딩부(500)로 이송될 수 있다.

특히, 로딩버퍼부(200) 및 언로딩버퍼부(500)에는 상대적으로 적은 수의 소자들(1)이 적재된 트레이(2)에 비하여 상대적으로 많은 수의 소자들(1)이 적재될 수 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 로딩버퍼부(200) 및 언로딩버퍼부(400)은, 복수의 소자들(1)이 적재될 수 있도록 상면에 다수의 적재홈들(211, 411)이 형성되는 판형상의 플레이트부재(210, 410)를 포함할 수 있다.

로딩버퍼부(200) 및 언로딩버퍼부(400)의 플레이트부재(210, 410)는 서로 거의 동일하게 구성될 수 있다. 다만, 소자(1)를 테스트하기 위하여 소자(1)를 가열(예열)할 필요가 있는 경우, 로딩버퍼부(200)의 플레이트부재(210)에는 히터와 같은 가열수단이 부가될 수 있다.

로딩버퍼부(200) 및 언로딩버퍼부(400)의 플레이트부재(210, 410)의 적재홈들(211, 411)은, 테스트부(300)의 테스트소켓들(310)의 간격에 맞게 배열될 수 있거나, 트레이(2)의 수용홈들(2a)의 간격에 맞게 배열될 수 있다.

예를 들면, 트레이(2)의 수용홈(2a)들의 간격과 로딩버퍼부(200) 및 언로딩버퍼부(400)의 플레이트부재(210, 410)의 적재홈(211, 411)들의 간격은 동일하게 하고, 테스트부(300)의 테스트소켓(310)들의 간격은 트레이(2)의 수용홈들(2a)의 간격보다 n배, 예를 들면, 2배로 형성될 수 있다.

플레이트부재들(210, 410)은 소자들(1)을 임시로 적재하여 테스트부(300)와의 소자교환을 위한 구성으로서, 소자검사장치의 내부에서 고정된 상태로 설치되거나, 이동이 가능하게 설치되는 등 다양한 구성이 가능하다.

도 1에 도시된 바와 같이, 테스트부(300)는 로딩버퍼부(200)로부터 전달된 소자(1)를 테스트하기 위한 것으로, 테스트의 종류에 따라 다양한 구성이 가능하다. 테스트부(300)에는 소자(1)가 로딩버퍼부(200)로부터 전달되어 적재되는 복수의 테스트소켓들(310)이 설치된다. 예를 들면, 복수의 테스트소켓들(310)에는 전원과 연결되는 단자가 마련되어 소자(1)에 대한 통전테스트가 수행될 수 있다.

테스트소켓들(310)은 8×2, 8×4 등 다양한 행렬로 배치될 수 있다. 테스트소켓(310)은, 소자(1)의 테스트를 위하여 소자(1)의 단자와 연결을 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다. 이러한 테스트소켓(310)은 소자의 종류, 테스트 종류 등에 따라서 교체가 가능하게 설치될 수 있다.

한편, 테스트부(300)는 나머지 구성과 모듈화된 독립적 구성이 가능하며, 간단한 구성인 테스트소켓(310)이 설치된 PCB보드로서도 구성이 가능하다. 특히, 테스트부(300)가 테스트소켓(310)이 설치된 PCB보드로 구현되는 경우에는 각 테스트 별로 특성화함으로써 상대적으로 고가인 테스트부(300)의 구성비용을 현저하게 절감할 수 있다.

한편, 테스트부(300)는 다양한 테스트가 가능하며, 보다 바람직하게는 실온 또는 실온이상의 온도에서 테스트가 가능하게 구성될 수 있다.

또한, 테스트부(300)는 고온테스트 등 온도에 연관된 테스트의 경우, 온도변화를 최소화하기 위하여, 테스트소켓(310)를 포함하여 일부 영역을 둘러싸는 챔버부재가 그 주변에 설치될 수 있다.

한편, 테스트부(300)와 로딩버퍼부(200)의 사이 또는 테스트부(300)와 언로딩버퍼부(400) 사이의 소자교환은 직접 이루어지기보다는 로딩버퍼부(200)로부터 전달된 소자(1)를 테스트부(300) 쪽으로 이송하고 테스트부(300)로부터 전달된 소자(1)를 언로딩버퍼부(400) 쪽으로 이송하는 셔틀부(610, 620)에 의하여 이루어질 수 있다. 셔틀부(610, 620)는, 테스트부(300)와 로딩버퍼부(200) 사이의 소자교환 또는 테스트부(300)와 언로딩버퍼부(400) 사이의 소자교환을 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 셔틀부(610, 620)는 로딩부(100)로부터 소자(1)를 전달받기 위한 제1소자전달위치, 테스트부(300)와 소자(1)를 교환하기 위한 소자교환위치 및 언로딩부(500)로 소자(1)를 전달하기 위한 제2소자전달위치 사이에서 이동되는 제1셔틀부(610)와, 로딩부(100)로부터 소자(1)를 전달받기 위한 제1소자전달위치, 테스트부(300)와 소자(1)를 교환하기 위한 소자교환위치 및 언로딩부(500)로 소자(1)를 전달하기 위한 제2소자전달위치의 사이에서 이동되는 제2셔틀부(620)를 포함할 수 있다. 여기에서, 제1소자전달위치, 소자교환위치 및 제2소자전달위치는 장치의 구성에 따라서 다양하게 배치될 수 있으며, 직선으로 순차적으로 배치될 수 있다.

제1셔틀부(610) 및 제2셔틀부(620)는 테스트부(300)의 테스트소켓(310)을 사이에 두고 테스트소켓(310)의 양측에 배치될 수 있다. 제1셔틀부(610) 및 제2셔틀부(620)는, 테스트부(300)를 중심으로 서로 대향되게 설치되는 가이드레일(611, 621)과, 가이드레일(611, 621)을 따라 수평으로 이동되면서, 로딩버퍼부(200)로부터 소자를 전달받기 위한 제1소자전달위치, 테스트부(300)와의 소자교환위치, 언로딩버퍼부(400)로 소자를 전달하기 위한 제2소자전달위치를 번갈아 가면서 이동되며 소자들(1)이 적재되는 하나 이상의 셔틀플레이트(612, 622)와, 셔틀플레이트(612, 622)가 탈착이 가능하게 결합되며 가이드레일(611, 621)을 따라 이동되도록 설치된 플레이트고정부(613, 623)를 포함할 수 있다.

가이드레일(611, 621)은 셔틀플레이트(612, 622)의 이동을 안내하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

셔틀플레이트(612, 622)에는, 테스트부(300)와 로딩버퍼부(200) 사이의 소자교환 또는 테스트부(300)와 언로딩버퍼부(400) 사이의 소자교환을 위하여, 소자(1)가 안착되는 하나 이상의 소자안착홈이 형성된다.

플레이트고정부(613, 623)는 셔틀플레이트(612, 622)의 교체 편의를 위하여 설치된 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 소자(1)를 가열하기 위한 히터 등이 구비될 수 있다. 셔틀플레이트(612, 622)가 플레이트고정부(613, 623)에 탈착이 가능하게 설치되므로, 검사대상인 소자(1)의 종류, 특히, 소자(1)의 크기가 달라지는 경우 소자(1)가 안착되는 셔틀플레이트(612, 622)가 교체될 수 있다.

플레이트고정부(613, 623)에는 셔틀플레이트(612, 622)를 플레이트고정부(613, 623)에 탈착이 가능하게 고정시키는 플레이트탈착부(614, 624)가 마련될 수 있다. 플레이트탈착부(614, 624)는 플레이트고정부(613, 623)에서 셔틀플레이트(612, 622)의 탈착을 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 간단한 수작업에 의하여 셔틀플레이트(612, 622)의 탈착이 가능하도록 구성될 수 있다.

예를 들면, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 플레이트탈착부(614, 624)는, 플레이트고정부(613, 623)에 고정되는 지지체(614a, 624a)와, 지지체(614a, 624a)에 마련된 제1힌지축(614c, 624c)을 통하여 회동이 가능하게 연결되고 회동에 의하여 셔틀플레이트(612, 622)를 선택적으로 고정하는 고정체(614b, 624b)와, 고정체(614b, 624b)를 제1힌지축(614c, 624c)에 탄성적으로 연결하는 탄성체(614d, 624d)와, 고정체(614b, 624b)와 접촉되며 고정체(614b, 624b)와 접촉되는 가압면이 곡면으로 형성되어 고정체(614b, 624b)를 가압하는 가압체(614i, 624i)와, 가압체(614i, 624i)와 연결되고 지지체(614a, 624a)의 내부에서 상하방향(Z축방향)으로 이동이 가능하게 설치되는 이동체(614e, 624e)와, 이동체(614e, 624e)에 마련된 제2힌지축(614f, 624f)에 회동이 가능하게 연결되는 핸들(614g, 624g)과, 지지체(614a, 624a)에 설치되어 핸들(614g, 624g)의 단부가 걸려 고정되는 고정걸이(614h, 624h)를 포함할 수 있다.

고정체(614b, 624b)는 대략 알파벳 'L'자 형으로 절곡된 형상으로 형성될 수 있으며, 절곡된 부분이 셔틀플레이트(612, 622)의 모서리에 접촉되는 것에 의하여 셔틀플레이트(612, 622)가 플레이트고정부(613, 623)에 고정될 수 있다.

고정걸이(614h, 624h)는 작업자가 핸들(614g, 624g)을 회동시키는 것에 의하여 핸들(614g, 624g)의 단부가 걸려 고정되거나 핸들(614g, 624g)의 단부의 걸림이 해제될 수 있을 정도로 형성되는 것이 바람직하다.

이러한 구성에 따르면, 핸들(614g, 624g)의 변위에 따라 이동체(614e, 624e)가 상하방향으로 이동하는 것에 의하여 가압체(614i, 624i)가 상하방향으로 이동하며, 이에 따라, 고정체(614b, 624b)와 접촉되는 가압체(614i, 624i)의 가압면의 곡면의 형상에 따라 고정체(614b, 624b)의 자세가 변경될 수 있다. 고정체(614b, 624b)의 자세가 변경되는 경우에는 탄성체(614d, 624d)의 탄성력에 의하여 고정체(614b, 624b)의 자세가 일정하게 유지될 수 있다.

그리고, 이동체(614e, 624e)가 상하방향으로의 이동은 제2힌지축(614f, 624f)을 중심으로 하는 핸들(614g, 624g)의 회동에 의하여 수행될 수 있다. 한편, 핸들(614g, 624g)이 고정걸이(614h, 624h)에 걸리는 경우에는 핸들(614g, 624g)의 회동이 제한되고, 이에 따라, 이동체(614e, 624e) 및 가압체(614i, 624i)의 상하방향으로의 이동이 제한되므로, 고정체(614b, 624b)의 자세가 임의대로 변경되는 것이 방지될 수 있다.

도 5에 도시된 바와 같이, 셔틀플레이트(612, 622)가 고정체(614b, 624b)에 의하여 고정된 상태에서, 핸들(614g, 624g)을 제2힌지축(614f, 624f)을 중심으로 고정걸이(614h, 624h)로부터 이탈되는 방향(도 5에서의 시계방향)으로 회동시키면, 탄성체(614d, 624d)의 탄성력이 가압체(614i, 624i) 및 이동체(614e, 624e)에 작용되면서, 가압체(614i, 624i) 및 이동체(614e, 624e)가 하측방향으로 이동하며, 고정체(614b, 624b)에 접촉되는 가압체(614i, 624i)의 가압면의 위치가 변경되면서, 고정체(614b, 624b)가 탄성체(614d, 624d)의 탄성력에 의하여 제1힌지축(614c, 624c)을 중심으로 셔틀플레이트(612, 622)로부터 이탈되는 방향(도 5에서의 시계방향)으로 회전되며, 이에 따라, 도 6에 도시된 바와 같이, 셔틀플레이트(612, 622)의 고정이 해제될 수 있다.

한편, 도 6에 도시된 바와 같이, 셔틀플레이트(612, 622)의 고정이 해제된 상태에서, 핸들(614g, 624g)을 제2힌지축(614f, 624f)을 중심으로 고정걸이(614h, 624h)로부터 걸리는 방향(도 6에서의 반시계방향)으로 회동시켜 고정걸이(614h, 624h)에 고정시키는 과정에서, 가압체(614i, 624i) 및 이동체(614e, 624e)가 상측방향으로 이동하며, 고정체(614b, 624b)에 접촉되는 가압체(614i, 624i)의 가압면의 위치가 변경되면서, 고정체(614b, 624b)가 제1힌지축(614c, 624c)을 중심으로 셔틀플레이트(612, 622)로 접촉되는 방향(도 6에서의 반시계방향)으로 회전되며, 이에 따라, 도 5에 도시된 바와 같이, 셔틀플레이트(612, 622)가 고정체(614b, 624b)에 의하여 고정될 수 있다. 그리고, 셔틀플레이트(612, 622)가 고정체(614b, 624b)에 의하여 고정된 상태에서는 탄성체(614d, 624d)의 탄성력이 고정체(614b, 624b)에 작용하므로, 고정체(614b, 624b)가 임의대로 회전되는 것이 방지될 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 셔틀플레이트(612, 622)를 플레이트고정부(613, 623)에 탈착이 가능하게 고정시키는 플레이트탈착부(614, 624)가 핸들(614g, 624g)을 회동시키는 간단한 작동에 의하여 셔틀플레이트(612, 622)의 고정 및 고정을 해제하는 작동을 수행할 수 있도록 구성됨으로써, 셔틀플레이트(612, 622)의 고정 및 고정을 해제하는 작동을 매우 간단하고 용이하게 수행할 수 있는 효과가 있다.

한편, 테스트부(300)는 테스트소켓(310)에 이물질이 유입되는 등 테스트가 불가한 상황이 발생될 수 있는데, 이러한 경우에는, 소자검사장치의 가동을 멈추고 수작업에 의하여 이물질을 제거한 후 소자검사장치를 재가동하여야 하는 번거로움이 있었다.

따라서, 테스트부(300)의 일측에 설치되어 이동에 의하여 테스트소켓(310)를 복개한 상태에서 공기를 분사하여 테스트소켓(310)에서 이물질 등을 제거하기 위한 크리닝부(700)가 구비되는 것이 바람직하다.

크리닝부(700)로는 다양한 구성이 가능하다. 예를 들면, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 크리닝부(700)는, 테스트소켓(310)을 복개하며 테스트소켓(310)의 상부에 크리닝공간을 형성하는 본체(710)와, 테스트부(300)의 일측 및 테스트소켓(310)의 상부 사이에서 본체(710)를 이동시키기 위한 구동부(720)를 포함할 수 있다.

본체(710)는 테스트소켓(310)을 복개하며 테스트소켓(310)의 상부에 크리닝공간을 형성하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 밀폐된 크리닝공간을 형성하도록 그릇형상 등 다양한 형상을 가질 수 있으며, 각 테스트소켓(310)에 공기를 분사할 수 있도록 공기공급장치(미도시)와 연결되는 공기유로(711) 및 공기유로(711)로부터 공기를 전달받아 테스트소켓(310)에 공기를 분사하는 하나 이상의 노즐(712)이 설치될 수 있다.

아울러, 본체(710)는 노즐(712)을 통하여 분사된 공기와 함께 이물질이 크리닝공간으로부터 외부로 배출되도록 배출관(713)과 연결될 수 있다.

구동부(720)는 테스트부(300)의 일측 및 테스트소켓(310) 사이에서 본체(710)를 이동시키기 위한 구성으로서 유압실린더, 공압실린더 등 다양한 구성이 가능하다.

여기에서, 제1셔틀부(610) 및 제2셔틀부(620)에 가이드레일(611, 621)이 구비되는 경우에는, 크리닝부(700)는 제1셔틀부(610) 및 제2셔틀부(620)에 설치되어 구동부(720)는 본체(710)를 가이드레일(611, 621)과 평행한 방향으로 선형으로 이동시키도록 구성될 수 있다.

한편, 로딩부(100)와 셔틀부(610, 620)의 사이에서 이동되면서 로딩부(100)에서 소자(1)를 픽업하여 셔틀부(610, 620)로 전달하는 하나 이상의 로딩이송툴(810, 814)이 설치될 수 있다. 이와 같은 경우, 하나의 로딩이송툴(810, 814)이 로딩부(100)와 셔틀부(610, 620) 사이에서 이동하면서 로딩부(100)에서 소자(1)를 픽업하여 셔틀부(610, 620)로 전달하도록 구성될 수 있다. 그리고, 전술한 바와 같이, 로딩버퍼부(200)가 설치되는 경우, 로딩이송툴(810, 814)은 로딩부(100)에서 소자(1)를 픽업하여 로딩버퍼부(200)로 전달하는 제1로딩이송툴(810)과, 로딩버퍼부(200)에서 소자(1)를 픽업하여 셔틀부(610, 620)로 전달하는 제2로딩이송툴(814)을 포함할 수 있다.

또한, 셔틀부(610, 620)와 언로딩부(500) 사이에서 이동되면서 셔틀부(610, 620)에서 소자(1)를 픽업하여 언로딩부(500)로 전달하는 하나 이상의 언로딩이송툴(820, 824)이 설치될 수 있다. 이와 같은 경우, 하나의 언로딩이송툴(820, 824)이 셔틀부(610, 620)와 언로딩부(500) 사이에서 이동하면서 셔틀부(610, 620)에서 소자(1)를 픽업하여 언로딩부(500)로 전달하도록 구성될 수 있다. 그리고, 전술한 바와 같이, 언로딩버퍼부(400)가 설치되는 경우, 언로딩이송툴(820, 824)은 언로딩버퍼부(400)에서 소자(1)를 픽업하여 언로딩부(500)으로 전달하는 제1언로딩이송툴(820)과, 셔틀부(610, 620)에서 소자(1)를 픽업하여 언로딩버퍼부(400)로 전달하는 제2언로딩이송툴(824)을 포함할 수 있다.

로딩이송툴(810, 814) 및 언로딩이송툴(820, 824)은 서로 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다. 로딩이송툴(810, 814) 및 언로딩이송툴(820, 824)에는 각각 소자(1)를 이송하기 위한 구성으로서, 소자(1)를 픽업하는 복수의 픽커들 및 상하방향(Z방향) 및 수평방향(X-Y방향) 등으로 복수의 픽커들의 이동을 구동하기 위한 구동장치를 포함할 수 있다.

픽커는 소자(1)를 픽업하여 소정의 위치로 이송하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며 소자(1)의 상면에 진공압을 형성하는 흡착패드 및 흡착패드에 공압을 전달하는 공압실린더로 구성될 수 있다.

픽커들은 로딩부(100) 및 언로딩부(500)의 트레이(2)의 수용홈들(2a)의 간격 및 로딩버퍼부(200)와 언로딩버퍼부(400)의 플레이트부재(210, 410)들의 적재홈(211, 411)들의 간격이 서로 다른 경우를 고려하여 가로 및 세로 간격의 조절이 가능하도록 구성될 수 있으나, 보다 많은 수의 반도체소자(10)들의 이송이 가능하도록 가로 및 세로 간격이 고정될 수 있다.

구동장치는 픽커들의 구동태양에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 픽커들을 상하로 이동시키기 위한 상하이동장치 및 좌우방향으로 이동하기 위한 좌우이동장치를 포함하여 구성될 수 있다. 상하이동장치는 픽커들 전체를 한꺼번에 상하로 이동시키도록 구성되거나, 각 픽커들이 독립적으로 상하로 이동되도록 각 픽커들과 개별적으로 연결될 수 있다. 좌우이동장치는 픽커들의 이동태양에 따라서 다양한 구성이 가능하며, X방향 또는 Y방향으로의 단일방향의 이동, 또는 X-Y방향 이동이 가능하도록 구성될 수 있다.

한편, 테스트부(300)와 셔틀부(610, 620) 사이에서 이동되면서 셔틀부(610, 620)에서 소자(1)를 픽업하여 테스트소켓(310)으로 가압하고, 테스트소켓(310)에 가압되어 테스트가 완료된 소자를 셔틀부(610, 620)으로 전달하는 소자가압툴(830, 840)이 설치될 수 있다. 소자가압툴(830, 840)은 테스트부(300)과 제1셔틀부(610) 사이 및 테스트부(300)와 제2셔틀부(620) 사이에서 소자(1)를 이송하기 위한 구성으로서, 소자(1)의 이송태양에 따라서 다양한 구성이 가능하다. 소자가압툴(830, 840)은, 제1셔틀부(610)와 테스트부(300) 사이에서 이동하면서 제1셔틀부(610)에서 소자(1)를 픽업하여 테스트소켓(310)으로 가압하고 테스트소켓(310)에 가압되어 테스트가 완료된 소자를 제1셔틀부(610)로 전달하는 제1소자가압툴(830)과, 제2셔틀부(620)와 테스트부(300) 사이에서 이동하면서 제2셔틀부(620)에서 소자(1)를 픽업하여 테스트소켓(310)으로 가압하고 테스트소켓(310)에 가압되어 테스트가 완료된 소자를 제2셔틀부(620)로 전달하는 제2소자가압툴(840)을 포함할 수 있다. 이와 같이, 소자가압툴(830, 840)이 한 쌍으로 구성되는 경우에는, 소자교환의 편의를 위하여, 한 쌍의 소자가압툴(830, 840)이 서로 연동하여 이동될 수 있다.

예를 들면, 도 9 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 소자가압툴(830, 840)은 로딩이송툴(810, 814) 및 언로딩이송툴(820, 824)과 동일하거나 유사한 구조를 가질 수 있다. 소자가압툴(830, 840)은, 소자(1)를 픽업하는 복수의 픽커들(831, 841)을 포함할 수 있다.

한편, 플레이트부재(210, 410)와 테스트부(300) 사이의 소자교환이 용이하게 수행될 수 있도록, 플레이트부재(210, 410)의 적재홈들(211, 411) 사이의 간격은 소자가압툴(830, 840)의 픽커(831, 841)들의 간격의 1/n, 예를 들면, 1/2로 형성될 수 있다. 여기서 n은 2 이상의 자연수이다.

특히, 언로딩버퍼부(400)의 플레이트부재(210, 410)의 적재홈(211, 411)들이 16×8로 배치되고, 테스트부(300)의 테스트소켓(310)들이 8×4로 배치된 경우, 소자가압툴(830, 840)은 테스트부(300)의 테스트소켓(310)들에 대응되는 간격으로 8×4로 배치된 픽커(831, 841)들을 포함함으로써 한번에 8×4의 소자들(1)을 이송할 수 있게 된다. 특히, 보다 많은 수의 반도체소자(10)들의 이송이 가능하도록, 제1로딩이송툴(810)의 픽커들이 8×4(8×2)로 배치된 경우 소자가압툴(830, 840)의 픽커(831, 841)들은 8×4(8×2)로 배치될 수 있다.

또한, 소자가압툴(830, 840)은 로딩버퍼부(200) 및 언로딩버퍼부(400)의 플레이트부재(210, 410)의 적재홈(211, 411)들에 소자(1)를 한 칸씩 건너뛰어 인출하거나 적재함으로써 픽커(831, 841)들 간의 간격조절이 불필요하여 소자이송을 빠르게 할 수 있다.

한편, 소자가압툴(830, 840)은 소자(1)의 종류, 크기 등에 따라서 픽커(831, 841)의 교체가 필요하다.

따라서, 도 9 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 소자가압툴(830, 840)은, 소자검사장치의 내부에서 이동이 가능하게 설치되는 지지부(833, 843)와, 지지부(833, 843)에 탈착이 가능하게 결합되며 하나 이상의 픽커(831, 841)가 결합되는 하나 이상의 픽커모듈(834, 844)을 포함할 수 있다.

지지부(833, 843)는 픽커모듈(834, 844)을 지지할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

예를 들면, 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)의 일측에는 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)를 체결하는 체결유닛(850)이 마련될 수 있으며, 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)의 타측에는 지지부(833, 843)에 픽커모듈(834, 844)을 지지시키는 제1지지유닛(860)이 마련될 수 있다. 이와 같은 구성에 따르면, 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)이 제1지지유닛(860)에 의하여 서로 지지된 상태에서, 체결유닛(850)에 의하여 서로 체결될 수 있다.

체결유닛(850)은, 픽커모듈(834, 844)의 일측에 설치되는 고리(851) 및 고리(851)를 상하방향으로 이동시키는 고리이동부재(852)와, 지지부(833, 843)의 일측에 설치되어 고리(851)가 걸리는 고리걸림부재(853)를 포함할 수 있다. 이와 같은 구성에 따르면, 고리(861)를 고리걸림부재(853)에 걸고, 고리이동부재(852)를 이용하여 고리(851)를 하측으로 당기는 것에 의하여, 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)이 서로 체결될 수 있다.

제1지지유닛(860)은, 픽커모듈(834, 844)의 타측에서 소정의 길이로 돌출되는 돌출편(861)과, 지지부(833, 843)의 타측에 설치되어 돌출편(861)이 삽입되어 고정되는 돌출편고정부(862)를 포함할 수 있다. 돌출편고정부(862)는, 돌출편(861)이 삽입되는 공간을 제공하도록, 지지부(833, 843)의 하측면으로부터 소정의 길이로 돌출되는 제1지지부재(863)와, 제1지지부재(863)에 지지되며 지지부(833, 843)의 하측면으로부터 소정의 간격으로 이격되게 배치되는 제2지지부재(864)로 구성될 수 있다. 돌출편(861)이 지지부(833, 843)의 하측면과 제2지지부재(864) 사이의 공간에 용이하게 삽입될 수 있도록, 제2지지부재(864)는 돌출편(861)과 접촉되는 면이 곡면으로 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 돌출편고정부(862)는, 제2지지부재(864)를 탄성적으로 지지하는 탄성부재(865)와, 탄성부재(865)를 지지부(833, 843)에 고정시키는 고정부재(866)를 포함할 수 있다. 제2지지부재(864)가 탄성부재(865)에 의하여 탄성적으로 지지되므로, 돌출편(861)이 지지부(833, 843)의 하측면과 제2지지부재(864) 사이의 공간으로 용이하게 삽입될 수 있다. 또한, 돌출편(861)이 지지부(833, 843)의 하측면과 및 제2지지부재(864) 사이의 공간으로 삽입된 후에는, 탄성부재(865)가 제2지지부재(864)를 가압하므로, 돌출편(861)이 지지부(833, 843)의 하측면과 제2지지부재(864) 사이의 공간으로부터 이탈되지 않게 견고하게 고정될 수 있다.

이와 같은 구성에 따르면, 돌출편(861)을 지지부(833, 843)의 하측면과 제2지지부재(864) 사이의 공간으로 삽입하여 고정시킨 상태에서, 고리(851)를 고리걸림부재(853)에 걸고, 고리이동부재(862)를 이용하여 고리(851)를 하측으로 당기는 간단한 작동에 의하여, 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)이 서로 결합될 수 있다.

한편, 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)이 서로 결합되는 작동을 보다 용이하게 수행할 수 있도록, 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)에는 지지부(833, 843)의 하측면과 픽커모듈(834, 844)의 상측면이 서로 밀착되도록 안내하는 제2지지유닛(870)이 구비되는 것이 바람직하다.

제2지지유닛(870)은, 픽커모듈(834, 844)의 상측면으로부터 돌출되며 단턱부를 가지는 헤드(875)가 상부에 형성되는 돌출바(871)와, 지지부(833, 843)의 하측면에서 내입되어 돌출바(871)의 헤드(875)가 수용되는 헤드수용부(872) 및 헤드(875)가 삽입되는 헤드삽입공(874)이 형성되는 걸림판(873)을 포함할 수 있다. 이와 같은 구성에 따르면, 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)이 서로 결합되는 과정에서, 헤드(875)가 헤드삽입공(874)을 통하여 헤드수용부(872)의 내부에 수용되고, 지지부(833, 843)에 대한 픽커모듈(834, 844)의 상대적인 수평이동에 의하여 헤드(875)의 단턱부가 걸림판(873)에 걸리는 것에 의하여, 지지부(833, 843)에 픽커모듈(834, 844)이 지지될 수 있다.

이와 같은 제2지지유닛(870)은 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)을 서로 고정시키는 역할을 함께 수행하므로, 제1지지유닛(860)과 제2지지유닛(870) 중 어느 하나만이 마련되는 구성도 가능하다.

한편, 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)의 사이에는, 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844) 사이의 결합위치를 결정하는 위치결정유닛(880)이 마련되는 것이 바람직하다.

예를 들면, 위치결정유닛(880)은, 픽커모듈(834, 844)의 상측면으로부터 돌출되는 돌출봉(881)과, 지지부(833, 843)의 하측면으로부터 내입되어 돌출봉(881)이 삽입되는 돌출봉삽입홈(882)을 포함할 수 있다. 이와 같은 구성에 따르면, 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)이 서로 결합되는 과정에서, 돌출봉(881)이 돌출봉삽입홈(882)에 삽입되면서, 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)의 결합위치가 결정될 수 있다.

한편, 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)이 서로 결합된 상태에서는, 지지부(833, 843)의 하측면 및 픽커모듈(834, 844)의 상측면이 서로 밀착된다. 따라서, 지지부(833, 843) 또는 픽커모듈(834, 844)에는 지지부(833, 843)의 하측면 및 픽커모듈(834, 844)의 상측면이 서로 밀착되는 것을 감지하는 감지센서(889)가 마련되는 것이 바람직하다. 도면에서는 감지센서(889)가 지지부(833, 843)의 하측면에 배치되는 구성에 대하여 제시하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 감지센서(889)가 픽커모듈(834, 844)의 상측면에 마련될 수 있다. 감지센서(889)는 면접촉을 감지하는 압력센서로 이루어질 수 있다. 이러한 감지센서(889)를 이용하여 지지부(833, 843)의 하측면 및 픽커모듈(834, 844)의 상측면이 서로 밀착되었는지 여부를 감지할 수 있고, 그 감지결과에 의하여 지지부(833, 843) 및 픽커모듈(834, 844)이 서로 결합되었는지 여부를 판단할 수 있다.

한편, 테스트부(300)가 일정한 온도 하에서 테스트 수행이 필요한바, 테스트부(300) 상에서 소자(1)를 픽업하는 소자가압툴(830, 840) 또한 소자(1)를 가열하도록 구성되는 것이 바람직하다. 따라서, 픽커모듈(834, 844)에는 히터(838, 848)가 마련될 수 있다.

이와 같은 경우, 픽커모듈(834, 844)에는 히터(838, 848)와 연결되어 히터(838, 848)의 온도를 직접적으로 감지하거나 또는 히터(838, 848)와 연결된 다른 물체와 연결되어 히터(838, 848)의 온도를 간접적으로 감지하는 온도센서(832, 842)가 더 마련될 수 있다.

이때, 픽커모듈(834, 844)은 히터(838, 848) 또는 온도센서(832, 842)가 설치됨을 고려하여 지지부(833, 843)와 단열을 위한 단열부재(835, 845)들이 설치될 수 있으며, 히터(838, 848) 또는 온도센서(832, 842)에 대한 전원공급 및 신호전달을 위한 하나 이상의 제1커넥터(836, 846)가 설치될 수 있다.

또한, 상기 지지부(833, 843)에는, 픽커모듈(834, 844)과의 결합 시 제1커넥터(836, 846)와 결합되어 히터(838, 848), 온도센서(832, 842)에 대하여 전원을 공급하고, 신호를 전달하는 제2커넥터(837, 847)가 설치될 수 있다.

제1커넥터(836, 846)의 단자들과 제2커넥터(837, 847)의 단자들은, 서로 삽입되는 방식 등에 의하여 서로 전기적으로 연결될 수 있는 등 다양한 구성이 가능하다.

상기와 같은 제1커넥터(836, 846) 및 제2커넥터(837, 847)의 구성에 의하여 별도의 연결작업 없이 픽커모듈(834, 844) 및 지지부(833, 843)의 결합에 의하여 히터(838, 848), 온도센서(832, 842)에 대한 전원공급 및 신호전달이 가능할 수 있다. 즉, 제1커넥터(836, 846) 및 제2커넥터(837, 847)는 픽커모듈(834, 844) 및 지지부(833, 843)의 결합 시 서로 접촉되는 부분에 설치되어 픽커모듈(834, 844) 및 지지부(833, 843)의 상호 결합 시 자동으로 연결될 수 있다.

한편, 전술한 바와 같이, 소자가압툴(830, 840)은 소자(1)를 테스트소켓(310)에 견고하게 결합시키기 위하여 소자(1)를 테스트소켓(310)으로 가압하는데, 이와 같은 과정에서 픽커(831, 841)에 픽업된 소자(1)에 가해지는 힘을 완충하기 위하여, 픽업모듈(834, 844)에는 댐퍼(839, 849)가 마련될 수 있다. 예를 들면, 댐퍼(839, 849)에는, 탄성막(839a, 849a) 및 소자(1)를 가압할 때 탄성막(839a, 849a)을 가압하는 가압부재(839b, 849b)가 마련될 수 있으며, 탄성막(839a, 849a)의 탄성에 의하여 소자(1)에 가해지는 힘을 완충할 수 있다. 이러한 댐퍼(839, 849)에 의하여 소자(1)에 가해지는 힘이 완충되므로, 소자가압툴(830, 840)이 소자(1)를 테스트소켓(310)으로 가압하는 과정에서 소자(1)가 손상되는 것이 방지될 수 있다.

소자가압툴(830, 840)은, 수평방향(Y축방향) 및 수직방향(X축방향)으로 이동되면서, 제1셔틀부(610) 및 제2셔틀부(620)에 적재된 소자(1)를 테스트부의 테스트소켓(310)으로 이동시키고, 테스트가 완료된 소자(1)를 테스트소켓(310)으로부터 제1셔틀부(610) 및 제2셔틀부(620)로 이동시키는 작동을 한다.

예를 들면, 도 13 내지 도 16에 도시된 바와 같이, 소자가압툴(830, 840)을 각각 수평방향(Y축방향)으로 이동시키기 위하여 소자가압툴(830, 840)과 각각 연결되는 수평이동장치(801)가 마련되고, 소자가압툴(830, 840)을 수직방향(Z축방향)으로 이동시키기 위하여 소자가압툴(830, 840)과 각각 연결되는 수직이동장치(802)가 마련된다.

수평이동장치(801)는 소자가압툴(830, 840)로부터 수직방향으로 연장되는 지지축(830a, 840a)이 수평방향으로의 이동이 구속되되 수직방향으로 이동이 가능하게 연결되는 연결부재(830b, 840b)와, 연결부재(830b, 840b)를 수평방향으로 이동시키는 수평구동부(803)를 포함할 수 있다.

연결부재(830b, 840b)에 지지축(830a, 840a)이 수평방향으로의 이동이 구속되되 수직방향으로 이동이 가능하게 연결될 수 있도록, 연결부재(830b, 840b)에는 수직방향으로 관통되게 형성되어 지지축(830a, 840a)이 삽입되는 관통공(830c, 840c)이 형성될 수 있다. 지지축(830a, 840a)이 연결부재(830b, 840b)의 관통공(830c, 840c)에 삽입됨에 따라, 지지축(830a, 840a)의 수평방향으로의 이동은 연결부재(830b, 840b)에 의하여 구속되지만, 지지축(830a, 840a)의 수직방향으로의 이동은 구속되지 않는다. 관통공(830c, 840c)은 지지축(830a, 840a)의 수직방향으로의 이동을 안내하는 역할을 함께 수행할 수 있다.

수평구동부(803)는, 예를 들면, 연결부재(830b, 840b)와 연결되는 벨트(803a)와, 벨트(803a)가 감기는 풀리(803b)와, 풀리(803b)와 연결되는 회전모터(미도시)를 포함할 수 있다. 이와 같은 구성에 따르면, 회전모터(미도시)의 회전력에 의하여 풀리(803b)가 회전되고, 풀리(803b)의 회전에 의하여 벨트(803a) 및 벨트(803a)와 연결된 연결부재(830b, 840b)가 수평방향으로 이동되며, 이에 따라, 연결부재(830b, 840b)에 연결된 지지축(830a, 840a) 및 소자가압툴(830, 840)이 수평방향으로 이동될 수 있다. 한편, 본 발명의 실시예에서는 수평구동부(803)로 벨트(803a)와 풀리(803b)가 마련된 구성에 대하여 제시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 수평구동부(803)로 유압 또는 공압으로 작동되는 액추에이터, 리니어모터 또는 볼스크류장치 등 다양한 수평이송기구가 사용될 수 있다.

수직이동장치(802)는, 소자가압툴(830, 840)로부터 수직방향으로 연장되는 지지축(830a, 840a)이 수직방향으로의 이동은 구속되고 수평방향으로의 이동이 가능하게 각각 연결되는 이동블록(830d, 840d)과, 이동블록(830d, 840d)에 연결되는 캠종동절(830e, 840e)과, 캠종동절(830e, 840e)이 삽입되는 캠홈(830f, 840f)이 형성되는 캠부재(830g, 840g)와, 이동블록(830d, 840d)과 연결되어 이동블록(830d, 840d)의 수직방향으로의 이동을 안내하는 승강가이드(830h, 840h)를 포함할 수 있다.

이동블록(830d, 840d)에는 지지축(830a, 840a)의 단부와 연결되며 수평방향으로 연장되어 지지축(830a, 840a)의 수평방향으로의 이동을 안내하는 안내레일(830i, 840i)이 설치될 수 있다. 따라서, 지지축(830a, 840a)이 안내레일(830i, 840i)을 따라 수평방향으로 이동될 수 있다.

캠부재(830g, 840g)에는 각각 구동모터(830j, 840j)가 연결되며, 이에 따라, 구동모터(830j, 840j)의 구동에 의하여 캠부재(830g, 840g)가 회전될 수 있다. 이러한 캠부재(830g, 840g)는 한 쌍의 소자가압툴(830, 840)과 각각 연결되도록 한 쌍으로 마련될 수 있다.

캠홈(830f, 840f)은, 반경이 일정한 제1반경구간 및 제2반경구간과, 제1반경구간 및 제2반경구간을 연결하는 가변구간을 포함하여 형성된다. 캠홈(830f, 840f)이 상기와 같이 구성되는 경우에는, 캠종동절(830e, 840e)이 반경이 작은 제1반경구간에 있을 때에는 소자가압툴(830, 840)이 상측에 위치된 상태에 있으며, 캠종동절(830e, 840e)이 가변구간에 있는 경우 소자가압툴(830, 840)이 상측으로 이동되거나 하측으로 이동되며, 캠종동절(830e, 840e)이 제1반경구간보다 반경이 더 큰 제2반경구간에 있는 경우 소자가압툴(830, 840)이 하측에 위치된 상태를 유지한다.

이동블록(830d, 840d)은 캠종동절(830e, 840e)이 캠홈(830f, 840f)에 삽입되는 것을 통하여 캠부재(830g, 840g)와 연결될 수 있다. 그리고, 이동블록(830d, 840d)은 승강가이드(830h, 840h)에 연결되어 상하방향으로 승강할 수 있다. 따라서, 캠부재(830g, 840g)가 회전될 때, 캠종동절(830e, 840e)이 캠홈(830f, 840f)의 형상에 따라 수직방향으로 이동하며, 이에 따라, 캠종동절(830e, 840e)과 연결된 이동블록(830d, 840d)이 수직방향으로 이동될 수 있고, 이동블록(830d, 840d)과 지지축(830a, 840a)을 통하여 연결된 소자가압툴(830, 840)이 수직방향으로 이동될 수 있다.

승강가이드(830h, 840h)는 이동블록(830d, 840d)의 상부에 마련된 고정물(804)에 고정될 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 이동블록(830d, 840d)의 승강을 안내할 수 있다면 승강가이드(830h, 840h)로 다양한 구성이 사용될 수 있다.

이와 같은 구성에 따르면, 소자가압툴(830, 840)은 수평이동장치(801)에 의하여 수평방향으로 이동되며, 이에 따라, 제1셔틀부(610)와 테스트소켓(310)의 사이 및 제2셔틀부(620)와 테스트소켓(310)의 사이에서 소자가압툴(830, 840)이 수평방향으로 이동될 수 있다. 또한, 소자가압툴(830, 840)은 수직이동장치(802)에 의하여 제1셔틀부(610)의 상부, 제2셔틀부(620)의 상부 및 테스트소켓(310)의 상부에서 수직방향으로 이동되면서 소자(1)를 픽업하거나 소자(1)를 적재할 수 있다. 이러한 소자가압툴(830, 840)은 테스트소켓(310)의 상부에서 수직방향으로 이동되면서 소자(1)를 테스트소켓(310)에 견고하게 결합시키기 위하여 소자(1)를 테스트소켓(310)으로 일정한 힘으로 가압하는 역할을 함께 수행할 수 있다.

이와 같이, 소자가압툴(830, 840)은 캠부재(830g, 840g)의 회전에 따라서 수직방향으로 이동되므로, 소자가압툴(830, 840)의 수직방향으로의 이동위치가 정확하게 설정될 수 있다.

한편, 소자(1) 이송을 위한 로딩이송툴(810, 814), 언로딩이송툴(820, 824) 또는 소자가압툴(830, 840)의 픽커(891)들은 도 17에 도시된 바와 같이, 소자(1)의 흡착이 용이하도록 그 끝단에 고무 등의 재질을 가지는 흡착패드(892)가 결합되는데, 소자(1)의 변경이 있는 경우, 마모에 따라서 흡착에 불량이 있는 경우, 유지보수 경과 등의 경우 흡착패드(892)를 교체하여야 한다.

그런데, 흡착패드(892)의 교환은 종래의 경우 수작업에 의하여 이루어져 픽커(891)들을 분리하여 일일이 하나씩 교체하는 등 매우 불편한 문제점이 있다.

이에 본 발명은 로딩이송툴(810, 814), 언로딩이송툴(820, 824) 또는 소자가압툴(830, 840)들 중 적어도 어느 하나의 픽커(891)들에 각각 결합된 흡착패드(892)를 자동으로 교환할 수 있는 흡착패드교환부(900)를 추가로 포함할 수 있다. 여기에서, 픽커(891)는, 로딩이송툴(810, 814) 및 언로딩이송툴(820, 824)에 마련되는 픽커 및 소자가압툴(830, 840)에 마련되는 픽커(831, 841)가 될 수 있다.

도 18 내지 도 23에 도시된 바와 같이, 흡착패드교환부(900)는 로딩이송툴(810, 814), 언로딩이송툴(820, 824) 또는 소자가압툴(830, 840)의 동선을 고려하여 적절한 위치에 배치되며, 픽커(891)의 흡착패드(892)가 삽입되는 복수의 흡착패드수용공간(911)들이 형성된 흡착패드수용부(910)들과, 흡착패드수용부(911)들 중 적어도 일부에 설치되어 흡착패드수용공간(911)에 수용된 흡착패드를 픽업하는 흡착패드픽업부(920)를 포함할 수 있다.

여기에서, 흡착패드픽업부(920)가 설치된 흡착패드수용부(910)들 중 적어도 일부는 픽커(891)들로부터 패드픽업부(920)에 의하여 흡착패드(892)를 분리하여 수용할 수 있도록 흡착패드수용공간(911)이 비워져 있으며, 흡착패드픽업부(920)들 중 적어도 일부의 흡착패드수용부(910)는 흡착패드(892)가 제거된 픽커(891)에 교체될 새로운 흡착패드(892)가 삽입되어 있다.

흡착패드수용부(910)는 복수의 흡착패드(892)들이 형성됨으로써 픽커(891)들로부터 패드픽업부(920)에 의하여 흡착패드(892)를 분리하여 수용하거나, 흡착패드(892)가 제거된 픽커(891)에 교체될 새로운 흡착패드(892)가 삽입되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

일 예로서, 흡착패드수용부(910)는 복수의 흡착패드수용공간(911)들이 형성된 수용부본체(912)를 포함할 수 있다.

수용부본체(912)는 흡착패드수용공간(911)들이 형성되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

흡착패드수용공간(911)는 픽커(891)로부터 분리된 흡착패드(892)를 수납하거나, 흡착패드(892)가 분리된 픽커(891)에 결합될 새로운 흡착패드(892)가 수납되는 구성으로서 흡착패드(892)가 수용될 수 있으면 홈 등 다양한 구성이 가능하다.

흡착패드픽업부(920)는 픽커(891)들로부터 패드픽업부(920)에 의하여 흡착패드(892)를 분리하기 위한 구성으로서, 수용부본체(912)에 설치되어 흡착패드(892)가 픽커(891)에 결합된 상태로 흡착패드수용공간(911)에 삽입된 후 흡착패드(892)를 픽업하도록 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면 상기 흡착패드픽업부(920)는 걸림 및 걸림해제를 통한 픽업/픽업해제, 링형태의 클램퍼 등을 이용한 클램핑 및 클램핑해제를 통한 픽업/픽업해제 등 그 픽업방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

또 다른 예로서, 흡착패드픽업부(920)는 수용부본체(912)의 상면을 복개함과 아울러 상면과 평행한 방향, 즉 수평방향으로 이동이 가능하도록 설치되는 이동부재(921)를 포함할 수 있다.

이때, 이동부재(921)는 수평이동에 의하여 걸림 및 걸림해제를 통한 픽업/픽업해제를 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 예로서, 도 18 내지 도 23에 도시된 바와 같이, 흡착패드(892)가 픽커(891)에 결합된 상태로 관통하여 흡착패드수용공간(911)으로 이동이 가능하도록 형성된 복수의 관통부분(922)들과, 관통부분(922)들 각각과 연결되어 흡착패드(892)가 픽커(891)에 결합된 상태에서 흡착패드수용공간(911)으로부터 이동될 때 흡착패드(892)가 걸림되고 픽커(891)만이 이동이 가능하도록 형성된 복수의 걸림부분(923)들을 포함할 수 있다.

특히, 이동부재(921)에 의한 걸림효과를 높이기 위하여, 흡착패드(892)는 픽커(891)의 외주면보다 더 돌출된 돌출부(892a)가 형성될 수 있으며, 이때 걸림부분(923)은 픽커(891)의 외주면보다는 크고 돌출부(892a)의 외주면보다 작게 형성되어 픽커(891)의 상측방향 이동시 흡착패드(892)가 걸림될 수 있다.

흡착패드픽업부(920)의 이동부재(921)는 흡착패드(892) 및 흡착패드(892)가 결합되는 픽커(891)에서 반경의 크기가 다름을 고려하여, 흡착패드(892)의 최대반경보다 큰 관통부분(922)과, 흡착패드(892)의 적어도 일부에서 반경이 작은 걸림부분(923)을 구비함으로써, 흡착패드수용공간(911)에 흡착패드(892)가 삽입될 때 흡착패드수용공간(911) 상에 관통부분(922)을 위치시키고 픽커(891)에서 흡착패드(892)를 분리할 때 걸림부분(923)을 위치시키도록 구성될 수 있다.

한편, 흡착패드픽업부(920)의 이동부재(921)는 흡착패드(892)의 걸림 및 걸림해제 위치로 이동됨을 특징으로 하는바 도시되지는 않았지만 선형이동장치에 의하여 선형이동되는 등 다양한 구동원에 의하여 그 이동이 구동될 수 있다.

한편, 로딩이송툴(810, 814), 언로딩이송툴(820, 824) 또는 소자가압툴(830, 840)의 픽커(891)에서 흡착패드(892)를 교체하고자 하는 경우 흡착패드교환부(900)의 위치, 먼저 흡착패드픽업부(920)가 결합된 흡착패드수용부(910)로 이동하여 흡착패드(892)를 분리한 다음(도 19 내지 도 21), 새로운 흡착패드(892)가 수용된 흡착패드수용부(910)로 이동하여 새로운 흡착패드(892)가 결합되어(도 20 및 도 21), 흡착패드(892) 교체를 마친 후 소자(1) 이송작업을 수행한다.

한편 상기와 같은 소자(1) 이송을 위한 로딩이송툴(810, 814), 언로딩이송툴(820, 824) 또는 소자가압툴(830, 840)에 관한 구성은 소자검사장치 이외에, 미리 수행된 검사결과에 따라서 소자의 분류를 수행하는 분류공정을 수행하거나, 소자를 검사하고 및 그 검사에 따라서 소자를 분류하는 검사 및 분류공정을 수행하는 소자핸들러로서, 소자들을 트레이에 적재하여 로딩하고 하나 이상의 이송툴에 의하여 복수의 소자들을 이송하는 소자핸들러에 적용될 수 있음은 물론이다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.

1: 소자 310: 테스트소켓
610: 제1셔틀부 620: 제2셔틀부
611, 621: 가이드레일 612, 622: 셔틀플레이트
613, 623: 플레이트고정부 614, 624: 플레이트탈착부

Claims (12)

1. 복수의 소자가 로딩되는 로딩부;
   상기 로딩부로부터 이송된 소자에 대한 테스트를 수행하기 위한 복수의 테스트소켓이 마련되는 테스트부;
   상기 테스트부에서 테스트가 완료된 소자를 테스트결과에 따라 분류하는 언로딩부; 및
   상기 로딩부로부터 전달된 소자를 상기 테스트부 쪽으로 이송하고, 상기 테스트부로부터 전달된 소자를 상기 언로딩부 쪽으로 이송하는 하나 이상의 셔틀부를 포함하고,
   상기 셔틀부는, 상기 소자가 탑재되는 셔틀플레이트와, 상기 셔틀플레이트가 탈착이 가능하게 결합되는 플레이트고정부와, 상기 플레이트고정부에 설치되어 상기 셔틀플레이트를 상기 플레이트고정부에 고정시키는 플레이트탈착부를 포함하며,
   상기 플레이트탈착부는,
   상기 플레이트고정부에 고정되는 지지체;
   상기 지지체에 마련된 제1힌지축을 통하여 회동이 가능하게 연결되어 상기 셔틀플레이트를 선택적으로 고정하는 고정체;
   상기 고정체를 상기 제1힌지축에 탄성적으로 연결하는 탄성체;
   상기 고정체와 접촉되는 가압면이 곡면으로 형성되어 상기 고정체를 가압하는 가압체;
   상기 가압체와 연결되고 상하방향으로 이동이 가능하게 설치되는 이동체;
   상기 이동체에 마련된 설치된 제2힌지축에 회동이 가능하게 연결되는 핸들; 및
   상기 지지체에 설치되어 상기 핸들의 단부가 걸려 고정되는 고정걸이를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
2. 복수의 소자가 로딩되는 로딩부;
   상기 로딩부로부터 이송된 소자에 대한 테스트를 수행하기 위한 복수의 테스트소켓이 마련되는 테스트부;
   상기 테스트부에서 테스트가 완료된 소자를 테스트결과에 따라 분류하는 언로딩부; 및
   상기 로딩부로부터 전달된 소자를 상기 테스트부 쪽으로 이송하고, 상기 테스트부로부터 전달된 소자를 상기 언로딩부 쪽으로 이송하는 하나 이상의 셔틀부를 포함하고,
   상기 셔틀부는, 상기 소자가 탑재되는 셔틀플레이트와, 상기 셔틀플레이트가 탈착이 가능하게 결합되는 플레이트고정부와, 상기 플레이트고정부에 설치되어 상기 셔틀플레이트를 상기 플레이트고정부에 고정시키는 플레이트탈착부를 포함하며,
   상기 셔틀부의 셔틀플레이트에서 소자를 픽업하여 상기 테스트소켓으로 가압하고, 상기 테스트소켓에 가압되면서 테스트가 완료된 소자를 상기 셔틀부의 셔틀플레이트로 전달하는 하나 이상의 소자가압툴을 포함하며,
   상기 셔틀부는, 상기 테스트부의 테스트소켓의 양측에 배치되는 제1셔틀부 및 제2셔틀부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
3. 청구항 1 내지 청구항 2 중 어느 하나의 항에 있어서,
   상기 셔틀부에는 상기 플레이트고정부가 수평으로 이동이 가능하게 연결되는 가이드레일이 구비되는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
4. 청구항 1 내지 청구항 2 중 어느 하나의 항에 있어서,
   상기 플레이트고정부에는 상기 소자를 가열하기 위한 히터가 마련되는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 셔틀부의 셔틀플레이트에서 소자를 픽업하여 상기 테스트소켓으로 가압하고, 상기 테스트소켓에 가압되면서 테스트가 완료된 소자를 상기 셔틀부의 셔틀플레이트로 전달하는 하나 이상의 소자가압툴을 포함하는 소자검사장치.
6. 청구항 1에 있어서,
   상기 셔틀부는, 상기 테스트부의 테스트소켓의 양측에 배치되는 제1셔틀부 및 제2셔틀부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
7. 청구항 2 또는 청구항 6에 있어서,
   상기 소자가압툴은,
   상기 제1셔틀부의 셔틀플레이트에서 소자를 픽업하여 상기 테스트소켓으로 가압하고 상기 테스트소켓에 가압되면서 테스트가 완료된 소자를 상기 제1셔틀부의 셔틀플레이트로 전달하는 제1소자가압툴; 및
   상기 제2셔틀부 셔틀플레이트에서 소자를 픽업하여 상기 테스트소켓으로 가압하고 상기 테스트소켓에 가압되면서 테스트가 완료된 소자를 상기 제2셔틀부의 셔틀플레이트로 전달하는 제2소자가압툴을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
8. 청구항 1, 청구항 2, 청구항 5 내지 청구항 6 중 어느 하나의 항에 있어서,
   상기 테스트부의 일측에 설치되어 이동에 의하여 상기 테스트소켓를 복개한 상태에서 공기를 분사하여 상기 테스트소켓에서 이물질을 제거하기 위한 크리닝부를 더 포함하는 소자검사장치.
9. 복수의 소자가 로딩되는 로딩부;
   상기 로딩부로부터 이송된 소자에 대한 테스트를 수행하기 위한 복수의 테스트소켓이 마련되는 테스트부;
   상기 테스트부에서 테스트가 완료된 소자를 테스트결과에 따라 분류하는 언로딩부; 및
   상기 로딩부로부터 전달된 소자를 상기 테스트부 쪽으로 이송하고, 상기 테스트부로부터 전달된 소자를 상기 언로딩부 쪽으로 이송하는 하나 이상의 셔틀부를 포함하고,
   상기 셔틀부는, 상기 소자가 탑재되는 셔틀플레이트와, 상기 셔틀플레이트가 탈착이 가능하게 결합되는 플레이트고정부와, 상기 플레이트고정부에 설치되어 상기 셔틀플레이트를 상기 플레이트고정부에 고정시키는 플레이트탈착부를 포함하며,
   상기 테스트부의 일측에 설치되어 이동에 의하여 상기 테스트소켓를 복개한 상태에서 공기를 분사하여 상기 테스트소켓에서 이물질을 제거하기 위한 크리닝부를 더 포함하며,
   상기 크리닝부는,
   상기 테스트소켓을 복개하며 상기 테스트소켓의 상부에 크리닝공간을 형성하는 본체와,
   상기 테스트부의 일측 및 상기 테스트소켓의 상부 사이에서 상기 본체를 이동시키기 위한 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 본체에는, 상기 각 테스트소켓에 공기를 분사할 수 있도록 공기공급장치와 연결되는 공기유로 및 상기 공기유로로부터 공기를 전달받아 상기 테스트소켓에 공기를 분사하는 하나 이상의 노즐이 설치된 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
11. 청구항 10에 있어서,
    상기 본체는 상기 크리닝공간이 밀폐된 상태를 유지하도록 형성되며,
    상기 본체에는 상기 노즐을 통하여 분사된 공기와 함께 이물질이 상기 크리닝공간으로부터 외부로 배출되도록 배출관과 연결된 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
12. 청구항 1, 청구항 2, 청구항 5 내지 청구항 6, 청구항 9 내지 청구항 11 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 로딩부로부터 전달된 소자가 임시로 적재되는 로딩버퍼부; 및
    상기 테스트부에서 테스트가 완료된 소자들이 임시로 적재되는 언로딩버퍼부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.

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