KR101104571B1 - 유도 결합 플라즈마 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 선행기술의 유도 결합 플라즈마 구조의 개략도;
도 3은 본 발명의 유도 결합 코일의 구체적 실시예의 평면구조의 개략도;
도 4는 본 발명의 유도 결합 코일의 구체적 실시예의 정면구조의 개략도;
도 5는 본 발명의 유도 결합 코일의 구체적 실시예의 입체구조의 개략도;
도 6은 본 발명의 유도 결합 코일의 구체적 실시예의 입체구조의 개략도;
도 7은 본 발명의 유도 결합 플라즈마 장치의 구체적 실시예의 제1구조의 개략도;
도 8은 본 발명의 유도 결합 플라즈마 장치의 구체적 실시예의 제2구조의 개략도;
도 9은 본 발명의 유도 결합 플라즈마 장치의 구체적 실시예의 제3구조의 개략도.
Claims (7)
- 반응 챔버, 상기 반응 챔버의 상부에 구비되는 유전 윈도우, 상기 유전 윈도우 상에 구비되는 유도 결합 코일, 및 상기 유도 결합 코일과 RF원을 연결하는 정합기를 포함하는 유도 결합 플라즈마 장치로서,
상기 유도 결합 코일은 서로 독립적이며 서로 동축선으로 배열되는 내부 코일과 외부 코일을 포함하고; 상기 내부 코일은 서로 동일한 구조를 가지는 다수의 내부 독립 서브 코일이 함유되어 이루어지고, 상기 다수의 내부 독립 서브 코일은 상기 유도 결합 코일의 축선에 대해 대칭으로 배치되며; 상기 외부 코일은 서로 동일한 구조를 가지는 다수의 외부 독립 서브 코일이 함유되어 이루어지고, 상기 다수의 외부 독립 서브 코일은 상기 유도 결합 코일의 축선에 대해 대칭으로 배치되며; 상기 내부 코일 및 상기 외부 코일 중 어느 하나는 평면 구조, 입체 구조, 평면 구조 부분과 입체 구조 부분이 결합된 구조 중 어느 하나이고, 다른 하나는 평면 구조 또는 평면 구조 부분과 입체 구조 부분이 결합된 구조이며;
상기 내부 코일의 다수의 내부 독립 서브 코일은 병렬 연결되고, 병렬 연결된 다수의 내부 독립 서브 코일의 입력단은 가변정전용량과 직렬 연결되거나; 또는
상기 외부 코일의 다수의 외부 독립 서브 코일은 병렬 연결되고, 병렬 연결된 다수의 외부 독립 서브 코일의 입력단은 가변정전용량과 직렬 연결되는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 장치. - 제1항에 있어서,
상기 내부 코일이 평면 구조일 때 상기 내부 독립 서브 코일의 형상은 나선이고, 상기 내부 독립 서브 코일에 대응하는 상기 나선은 아르키메데스 나선 또는 인벌루트 나선 또는 볼텍스 나선을 포함하며;
상기 외부 코일이 평면 구조일 때 상기 외부 독립 서브 코일의 형상은 나선이고, 상기 외부 독립 서브 코일에 대응하는 상기 나선은 아르키메데스 나선 또는 인벌루트 나선 또는 볼텍스 나선을 포함하는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 장치. - 제1항에 있어서,
상기 내부 코일이 입체 구조일 때 상기 내부 독립 서브 코일의 형상은 축선을 따라 나선으로 상승하고;
상기 외부 코일이 입체 구조일 때 상기 외부 독립 서브 코일의 형상은 축선을 따라 나선으로 상승하는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 장치. - 제3항에 있어서,
상기 내부 독립 서브 코일에 대응하는 나선으로 상승하는 나선의 직경은 그 축선을 따라 동일하거나 감소하거나 또는 증가하고; 상기 내부 독립 서브 코일에 대응하는 나선으로 상승하는 나선은 등간격으로 상승하거나 또는 부등간격으로 상승하고,
상기 외부 독립 서브 코일에 대응하는 나선으로 상승하는 나선의 직경은 그 축선을 따라 동일하거나 감소하거나 또는 증가하고; 상기 외부 독립 서브 코일에 대응하는 나선으로 상승하는 나선은 등간격으로 상승하거나 또는 부등간격으로 상승하는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 장치. - 제1항에 있어서,
상기 유도 결합 코일의 내부 코일과 외부 코일은 서로 병렬 연결된 다음 상기 정합기와 연결되는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 장치. - 제1항에 있어서,
상기 유도 결합 코일의 내부 코일과 외부 코일은 각각 상기 정합기와 연결되는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 장치. - 제1항에 있어서,
상기 내부 코일 또는 상기 외부 코일의 출력단은 접지된 정전용량을 통해 접지되는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 장치.
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