KR101069371B1 - Dispenser with head-units arranged as mirror type - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 도포 헤드가 미러형 구조로 배치된 디스펜서는, 나란히 배치된 한 쌍의 헤드 지지대에 다수의 도포 헤드유닛들이 각각 설치되되, 한 쌍의 헤드 지지대에 설치된 도포 헤드유닛들은, 한 쌍의 헤드 지지대 사이를 중심으로 서로 미러형 구조를 갖도록 대칭적 배치됨으로써, 양쪽 도포 헤드유닛 이동시에 불필요한 스트로크 발생을 방지할 수 있고, 이에 따라 페이스트 패턴 형성시 기판의 유효 단면적을 크게 할 수 있으며, 또한 양쪽 도포 헤드유닛의 제어가 용이하게 이루어질 수 있는 효과를 제공하게 된다.In the dispenser in which the dispensing head according to the present invention is disposed in a mirror-type structure, a plurality of dispensing head units are respectively installed in a pair of head supports arranged side by side, and the dispensing head units installed in the pair of head supports are a pair of By symmetrically arranged to have a mirror-like structure with respect to each other between the head supports, it is possible to prevent unnecessary strokes during movement of both coating head units, thereby increasing the effective cross-sectional area of the substrate when forming the paste pattern, and The control of the application head unit is to provide an effect that can be easily made.

도포 헤드, 지지대, 노즐, 카메라, 레이저 변위센서, 단면적 센서 Coating head, support, nozzle, camera, laser displacement sensor, cross section sensor

Description

도포 헤드가 미러형 구조로 배치된 디스펜서{Dispenser with head-units arranged as mirror type}Dispenser with head-units arranged as mirror type

본 발명은 평판표시소자를 구성하는 기판에 액정이나 페이스트 등을 도포하는 디스펜서에 관한 것으로서, 특히 기판과 상대 운동하면서 페이스트 패턴을 형성하거나 액정을 적하하는 도포 헤드유닛의 배치 구조에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dispenser for applying liquid crystal or paste to a substrate constituting a flat panel display element, and more particularly, to a disposition structure of an application head unit for forming a paste pattern or dropping liquid crystal while moving relative to the substrate.

디스펜서는 통상 평판표시소자나 반도체 제조 공정에서 기판에 페이스트(실런트) 또는 액정을 도포(또는 적하)하는데 이용되고 있는 장비로서, 기판을 스테이지의 상부에 위치시킨 상태에서 도포 헤드유닛을 이용하여 기판 상에 페이스트를 도포하거나 액정을 적하할 수 있도록 구성된다.Dispensers are equipment used to apply (or drip) a paste (silant) or liquid crystal to a substrate in a flat panel display device or a semiconductor manufacturing process. It is comprised so that a paste may be apply | coated or liquid crystal may be dripped.

이러한 디스펜서의 주요 구성을 간단히 살펴본다.Let's take a brief look at the main components of these dispensers.

스테이지는 통상 프레임의 상부에 설치되고, 프레임에는 상기 도포 헤드유닛을 지지하기 위한 헤드 지지대가 설치된다. 이때, 도포 헤드유닛은 기판의 상부에서 기판에 대하여 X, Y, Z 축 방향으로 상대 이동을 하면서 페이스트 또는 액정을 도포하게 된다. 이를 위해 스테이지, 헤드 지지대, 도포 헤드유닛이 자신을 지지하는 구조물에 대하여 적어도 어느 일방향으로 상대 운동이 가능하도록 구성된다.The stage is usually installed on an upper portion of the frame, and a head support for supporting the application head unit is provided on the frame. At this time, the coating head unit is applied to the paste or the liquid crystal while moving relative to the substrate in the X, Y, Z axis direction on the substrate. To this end, the stage, the head support, the application head unit is configured to allow relative movement in at least one direction with respect to the structure supporting it.

이와 같은 디스펜서는 기판이 대형화됨에 따라, 대면적의 기판에 다수의 페이스트 패턴을 동시에 형성하여 생산성을 향상시킬 수 있도록 다수 개의 도포 헤드유닛이 구비된다.Such a dispenser is provided with a plurality of coating head units so as to increase productivity by forming a plurality of paste patterns on a large area substrate at the same time as the substrate is enlarged.

또한, 도포 헤드유닛을 더욱 많이 설치할 수 있도록 헤드 지지대를 복수개 설치하여 구성하는 경우도 있다.In addition, there may be a case in which a plurality of head supports are provided so as to install more coating head units.

이와 같이 스테이지의 상부에 헤드 지지대를 복수개 설치한 경우에, 복수의 헤드 지지대에 설치된 도포 헤드유닛들이 이동할 때, 불필요한 스트로크가 발생하지 않도록 도포 헤드유닛들을 보다 효율적으로 배치할 필요성이 요구되고 있다.As described above, when a plurality of head supports are provided on the top of the stage, when the coating head units installed on the plurality of head supports are moved, the necessity of disposing the coating head units more efficiently is required so that unnecessary strokes do not occur.

본 발명은 상기한 요구를 해결하기 위하여 것으로서, 양쪽 헤드 지지대에 배치된 도포 헤드유닛이 미러 구조를 갖도록 배치함으로써 도포 헤드유닛 이동시에 불필요한 스트로크 발생을 방지하여, 패턴 형성의 편의성이 향상되고, 헤드유닛을 보다 용이하게 제어할 수 있으며, 기판의 페이스트 패턴의 유효 면적도 확대할 수 있도록 하는 도포 헤드가 미러형 구조로 배치된 디스펜서를 제공하는 데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned demands, and by disposing the coating head units disposed on both head supports so as to have a mirror structure, it is possible to prevent unnecessary strokes during movement of the coating head unit, thereby improving the convenience of pattern formation, and the head unit. It is an object of the present invention to provide a dispenser in which a coating head is arranged in a mirror-like structure, which can more easily control the size, and also enlarge the effective area of a paste pattern of a substrate.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 도포 헤드가 미러형 구조로 배치된 디스펜서는, 기판이 탑재되는 스테이지의 상부에 한 쌍의 헤드 지지대가 나란히 배치되고, 상기 각 헤드 지지대에는 다수의 도포 헤드유닛들이 설치되되, 한 쌍의 헤드 지지대에 설치된 도포 헤드유닛들은, 한 쌍의 헤드 지지대 사이를 중심으로 서로 미러형 구조를 갖도록 대칭적 배치되어 구성된다.In the dispenser in which the coating head according to the present invention has a mirror-like structure for realizing the above object, a pair of head supports are arranged side by side on the stage on which the substrate is mounted, and each of the head supports has a plurality of coating heads. The units are installed, but the application head units installed on the pair of head supports are symmetrically arranged to have mirror structures with respect to each other between the pair of head supports.

여기서 상기 도포 헤드유닛에는 페이스트가 토출되는 노즐과, 이 노즐의 양쪽에 위치되어 노즐의 토출구와 기판 사이의 간격을 측정하는 레이저 변위센서와, 상기 레이저 변위센서의 일측에 구비된 위치 측정용 카메라를 포함하여 구성된다.Here, the coating head unit includes a nozzle for discharging paste, a laser displacement sensor positioned at both sides of the nozzle to measure a distance between the discharge port of the nozzle and the substrate, and a position measuring camera provided at one side of the laser displacement sensor. It is configured to include.

이때 상기 도포헤드유닛들 중에서 일부 도포헤드유닛에는 상기 레이저 변위센서의 타측에 구비되어 기판에 도포된 페이스트 패턴을 측정하는 단면적 센서가 더 구비될 수 있다.In this case, some of the coating head units may further include a cross-sectional sensor provided on the other side of the laser displacement sensor to measure a paste pattern applied to the substrate.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 도포 헤드가 미러형 구조로 배치된 디스펜서는, 기판이 탑재되는 스테이지의 상부에 한 쌍의 헤드 지지대가 나란히 배치되고, 상기 각 헤드 지지대에는 다수의 도포 헤드유닛들이 설치되며, 상기 각 도포 헤드유닛에는 페이스트가 토출되는 노즐과, 이 노즐의 양쪽에 위치되어 노즐의 토출구와 기판 사이의 간격을 측정하는 레이저 변위센서와, 상기 레이저 변위센서의 일측에 구비된 위치 측정용 카메라를 포함하여 구성되고, 상기 노즐, 레이저 변위센서, 위치 측정용 카메라 중 적어도 어느 하나가 양쪽 헤드 지지대 사이를 중심으로 서로 미러형 구조를 갖도록 배치되어 구성된다.In the dispenser in which the coating head according to the present invention has a mirror-like structure for realizing the above object, a pair of head supports are arranged side by side on the stage on which the substrate is mounted, and each of the head supports has a plurality of coating heads. Units are provided, each of the coating head unit is provided with a nozzle for discharging the paste, a laser displacement sensor which is located at both sides of the nozzle to measure the distance between the discharge port of the nozzle and the substrate, and one side of the laser displacement sensor The camera is configured to include a position measuring camera, and at least one of the nozzle, the laser displacement sensor, and the position measuring camera is disposed to have a mirror-like structure with respect to each other between the two head supports.

또한, 상기 각 헤드 지지대에 구비된 다수의 도포 헤드유닛 중 적어도 어느 하나는 상기 레이저 변위센서의 타측에 기판에 도포된 페이스트 패턴을 측정하는 단면적 센서가 구비되고, 이 단면적 센서도 양쪽 헤드 지지대 사이를 중심으로 서로 미러형 구조를 갖도록 배치될 수 있다.In addition, at least one of the plurality of coating head units provided in each of the head supports is provided with a cross-sectional sensor for measuring a paste pattern applied to the substrate on the other side of the laser displacement sensor, this cross-sectional sensor also between the two head support It may be arranged to have a mirror structure with each other as a center.

상기에서, 상기 도포 헤드유닛들은 한 쌍의 헤드 지지대 사이를 중심으로 서로 마주보는 위치에 배치되거나, 한 쌍의 헤드 지지대 사이를 중심으로 서로 반대쪽에 위치되게 배치될 수 있다.In the above, the coating head unit may be disposed in a position facing each other with respect to the center between the pair of head support, or may be disposed to be opposite to each other with respect to the center between the pair of head support.

본 발명에 따른 도포 헤드가 미러형 구조로 배치된 디스펜서는, 한 쌍의 헤드 지지대에 배치된 도포 헤드유닛들이 서로 미러 구조를 갖도록 배치되기 때문에 한 쌍의 지지대에 설치된 도포 헤드유닛 사이의 불필요한 스트로크 발생을 방지할 수 있고, 이에 따라 페이스트 패턴 형성시 기판의 유효 단면적을 크게 할 수 있으며, 또한 양쪽 도포 헤드유닛의 제어가 용이하게 이루어질 수 있는 효과를 갖는다.The dispenser in which the dispensing head according to the present invention is arranged in a mirror type structure generates unnecessary strokes between the dispensing head units installed in the pair of supports because the dispensing head units disposed in the pair of head supports are arranged to have mirror structures with each other. Can be prevented, thereby increasing the effective cross-sectional area of the substrate when forming the paste pattern , and also has the effect that the control of both the coating head units can be easily performed.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서가 도시된 도면들로서, 도 1은 전체 디스펜서의 사시도, 도 2는 도포 헤드유닛의 사시도, 도 3은 도포 헤드유닛의 정면도, 도 4는 도포 헤드유닛들이 미러 구조로 배치된 상태를 보인 평면도이다.1 to 4 is a view showing a dispenser according to an embodiment of the present invention, Figure 1 is a perspective view of the entire dispenser, Figure 2 is a perspective view of the coating head unit, Figure 3 is a front view of the coating head unit, Figure 4 Is a plan view showing a state where the coating head units are arranged in a mirror structure.

그리고, 도 5는 도포 헤드유닛들이 미러 구조로 배치되지 않을 경우의 상태를 보인 평면도이다.5 is a plan view showing a state where the application head units are not arranged in a mirror structure.

본 발명의 일 실시예에 따른 도포 헤드가 미러형 구조로 배치된 디스펜서는, 프레임(10)의 상부에 기판에 탑재되는 스테이지(15)가 구비된다. 이때, 상기 스테이지(15)는 상기 프레임(10)에 대하여 X, Y, θ 축 방향으로 이동이 가능하도록 구성될 수 있다.The dispenser having the application head according to one embodiment of the present invention arranged in a mirror-like structure includes a stage 15 mounted on a substrate on an upper portion of the frame 10. At this time, the stage 15 may be configured to be movable in the X, Y, θ axis direction with respect to the frame 10.

상기 스테이지(15)의 상부에는 한 쌍의 헤드 지지대(20; 20A, 20B)가 구성되는데, 이는 아래에서 설명할 다수의 도포 헤드유닛(30; 30A, 30B)을 설치하여 대면적의 기판에 페이스트 패턴을 동시에 형성하기 위한 것이다. 도면에서는 두 개의 헤드 지지대(20A, 20B)가 설치된 구성을 예시하였으나, 이에 한정되지 않고 3개 이상의 헤드 지지대(20A, 20B)가 설치되는 구성도 가능하다.On the upper part of the stage 15, a pair of head supports 20 (20A, 20B) is formed, which is pasted to a large-area substrate by installing a plurality of coating head units 30 (30A, 30B) to be described below. It is for forming a pattern simultaneously. In the figure, but illustrated a configuration in which two head support (20A, 20B) is installed, not limited to this, it is also possible to have a configuration in which three or more head support (20A, 20B) is installed.

이러한 각 헤드 지지대(20A, 20B)는 프레임(10)의 상부에 양단부가 지지된 상태에서 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성된다.Each of the head supports 20A and 20B is configured to be movable in the Y-axis direction while both ends are supported on the upper portion of the frame 10.

특히 상기 각 헤드 지지대(20A, 20B)에는 다수의 도포 헤드유닛(30A, 30B)들이 설치되는데, 도포 헤드유닛(30A, 30B)들의 배치 구조를 설명하기에 앞서, 각 도포 헤드유닛(30A, 30B)의 구성을 설명한다. 참고로, 설명의 편의를 위해 한 쪽 헤드 지지대(20A)에 설치되는 도포 헤드유닛(30A)을 중심으로 도 2와 도 3을 참고하여 설명한다.In particular, each of the head support 20A, 20B is provided with a plurality of coating head units 30A, 30B, prior to explaining the arrangement of the coating head units 30A, 30B, each coating head unit 30A, 30B Will be explained. For reference, for convenience of description, the description will be made with reference to FIGS. 2 and 3 with reference to the application head unit 30A installed on one head support 20A.

도포 헤드유닛(30; 30A)은 기본적으로 헤드 지지대(20; 20A)의 길이 방향인 X축 방향으로 이동 가능하도록 설치됨과 아울러 Z축 구동유닛(32)에 의해 Z축 방향으로도 이동할 수 있도록 구성된다.The coating head unit (30; 30A) is basically installed to be movable in the X-axis direction, which is the longitudinal direction of the head support (20; 20A), and also configured to be moved in the Z-axis direction by the Z-axis drive unit (32). do.

이러한 도포 헤드유닛(30A)에는 헤드 지지대(20A)에 지지되는 몸체를 이루는 바디부(31)가 구성되고, 이 바디부(31)의 앞쪽에 수직 방향으로 헤드 플레이트(33)가 설치된다. The coating head unit 30A is provided with a body portion 31 constituting a body supported by the head support 20A, and the head plate 33 is provided in the vertical direction in front of the body portion 31.

상기 바디부(31)는 Z축 구동유닛(32)이 설치되어 상기 도포 헤드유닛(30A)이 헤드 지지대(20A)에 대하여 Z축 방향으로 이동할 수 있도록 구성된다.The body portion 31 is configured so that the Z-axis drive unit 32 is installed so that the coating head unit 30A can move in the Z-axis direction with respect to the head support 20A.

상기 헤드 플레이트(33)에는, 페이스트가 토출되는 노즐(34)과, 이 노즐(34)의 양쪽에 위치되어 노즐(34)의 토출구와 기판 사이의 간격을 측정하는 레이저 변위센서(36)와, 상기 레이저 변위센서(36)의 일측에 구비된 위치 측정용 카메라(37) 와, 상기 레이저 변위센서(36)의 타측에 구비되어 기판에 도포된 페이스트 패턴을 측정하는 단면적 센서(38) 등이 설치된다.The head plate 33 includes a nozzle 34 through which paste is discharged, a laser displacement sensor 36 positioned at both sides of the nozzle 34 to measure a distance between the discharge port of the nozzle 34 and the substrate; A position measuring camera 37 provided at one side of the laser displacement sensor 36 and a cross-sectional area sensor 38 provided at the other side of the laser displacement sensor 36 to measure a paste pattern applied to a substrate are installed. do.

여기서 상기 노즐(34)은 페이스트가 저장되는 시린지(35)의 끝단에 구성되고, 시린지(35)는 상기 헤드 플레이트(33)의 앞쪽에 수직 방향으로 장착된다. Here, the nozzle 34 is configured at the end of the syringe 35 in which the paste is stored, and the syringe 35 is mounted in the vertical direction in front of the head plate 33.

상기 레이저 변위센서(36)는, 노즐(34)의 토출구와 기판 사이의 거리를 측정하여 토출구와 기판 사이의 간격을 일정하게 유지한 상태에서 페이스트의 도포가 이루어지도록 설치되는데, 상기 노즐(34)을 중심으로 기판을 향해 레이저를 발사하는 발광부(36a)와, 기판에서 반사된 레이저를 수광하여 기판과의 거리를 측정하는 수광부(36b)로 이루어진다.The laser displacement sensor 36 is installed to measure the distance between the discharge port of the nozzle 34 and the substrate so that the paste is applied in a state in which the distance between the discharge port and the substrate is kept constant. The light emitting part 36a which emits a laser toward a board | substrate, and the light receiving part 36b which receives the laser beam reflected from the board | substrate, and measures the distance with a board | substrate.

상기 위치 측정용 카메라(37)는 기판에 페이스트를 도포하는 위치를 측정하기 위한 카메라이고, 상기 단면적 센서(38)는 기판에 도포된 패턴의 단면적 등 도포 상태를 감지하기 위한 센서이다. 이때, 상기 단면적 센서(38)는 도포 헤드유닛(30)에 모두 설치되지 않고, 일부 도포 헤드유닛에만 설치되어 구성될 수 있다.The position measuring camera 37 is a camera for measuring a position at which the paste is applied to the substrate, and the cross-sectional area sensor 38 is a sensor for detecting an application state such as the cross-sectional area of the pattern applied to the substrate. In this case, the cross-sectional area sensor 38 may not be installed at all of the application head unit 30, but may be installed only at a part of the application head unit.

위와 같이, 노즐(34)을 포함한 시린지(35), 레이저 변위센서(36), 위치 측정용 카메라(37), 단면적 센서(38)가 구비된 도포 헤드유닛(30A)은 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이 각 헤드 지지대(20A, 20B)에 다수개씩 설치되는데, 이때 한 쌍의 헤드 지지대(20A, 20B)에 설치된 도포 헤드유닛(30A, 30B)들은, 한 쌍의 헤드 지지대(20A, 20B)에 서로 마주보도록 배치되어 구성된다.As described above, the coating head unit 30A equipped with the syringe 35 including the nozzle 34, the laser displacement sensor 36, the position measuring camera 37, and the cross-sectional area sensor 38 is illustrated in FIGS. 1 and 4. As shown, a plurality of head support 20A, 20B is installed in each, wherein the application head units 30A, 30B installed on the pair of head support 20A, 20B are a pair of head support 20A, 20B. Are arranged to face each other.

특히, 한 쌍의 헤드 지지대(20A, 20B)에 설치된 상기 도포 헤드유닛(30A, 30B)들은 한 쌍의 헤드 지지대(20A, 20B) 사이를 중심(C)으로 서로 미러형 구조를 갖도록 대칭적 배치된다.In particular, the coating head units 30A and 30B installed on the pair of head supports 20A and 20B are symmetrically arranged to have a mirror-like structure with each other as a center C between the pair of head supports 20A and 20B. do.

즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 노즐(34), 레이저 변위센서(36), 위치 측정용 카메라(37), 단면적 센서(38)가 양쪽 헤드 지지대(20A, 20B) 사이를 중심(C)으로 서로 미러형 구조를 갖도록 배치되는 것이다.That is, as shown in FIG. 4, the nozzle 34, the laser displacement sensor 36, the position measuring camera 37, and the cross-sectional sensor 38 are centered between the two head supports 20A and 20B. ) Are arranged to have mirror structures with each other.

이와 같이 미러형 구조로 배치하는 이유는, 한 쌍의 헤드 지지대(20A, 20B)에 구비된 도포 헤드유닛(30A, 30B)의 불필요한 스트로크를 줄여서, 페이스트 도포 작업의 효율성을 높이기 위해서이다.The reason for the arrangement in the mirror structure is to reduce unnecessary strokes of the coating head units 30A and 30B provided in the pair of head supporters 20A and 20B, thereby increasing the efficiency of the paste coating operation.

한 쌍의 헤드 지지대(20A, 20B)에 도포 헤드유닛(30A, 30B)이 미러형 대칭 구조로 배치되지 않고, 도 5에 도시된 바와 같이 서로 반대 방향으로 배치될 경우에, 한쪽 헤드 지지대(20A, 20B)에 설치된 도포 헤드유닛(30A, 30B)과 다른 쪽 헤드 지지대(20A, 20B)에 설치된 도포 헤드유닛(30A, 30B)의 유효 이동 스트로크가 달라지게 된다.When the application head units 30A and 30B are not arranged in a mirror symmetrical structure on the pair of head supports 20A and 20B, and are arranged in opposite directions as shown in FIG. 5, one head support 20A is provided. , The effective movement strokes of the coating head units 30A, 30B provided at 20B and the coating head units 30A, 30B provided at the other head supports 20A, 20B are different.

즉, 노즐(34), 레이저 변위센서(36), 위치 측정용 카메라(37) 등이 서로 반대 방향으로 배치되면, -X 방향, 또는 +X 방향으로 이동 스트로크를 달리할 수밖에 없다. 이는 한 쪽 헤드 지지대(20A)에 설치된 도포 헤드유닛(30A)의 위치 측정용 카메라(37)는 오른쪽에 위치되고, 다른 쪽 헤드 지지대(20B)에 설치된 도포 헤드유닛(30B)의 위치 측정용 카메라(37)는 왼쪽에 위치되므로, 양측 도포 헤드유닛(30A)(30B)이 기판의 끝까지 이동할 때, 양쪽 도포 헤드유닛(30A, 30B)의 위치 측정용 카메라(37)의 위치 차이(St) 만큼, 이동 스트로크 차이가 발생하게 된다.That is, when the nozzle 34, the laser displacement sensor 36, the position measuring camera 37, and the like are disposed in opposite directions, the movement stroke may be different in the -X direction or the + X direction. This is because the camera 37 for measuring the position of the coating head unit 30A installed on one head support 20A is located on the right side, and the camera for measuring the position of the application head unit 30B installed on the other head support 20B. Since 37 is located on the left side, when both the coating head units 30A and 30B move to the end of the substrate, the position difference St of the position measuring camera 37 of both the coating head units 30A and 30B is increased. , Movement stroke difference occurs.

이와 같이 이동 스트로크가 달라지게 되면, 어느 한쪽은 그만큼 많은 이동 스트로크를 가지면서 양측 양측 도포 헤드유닛(30A)(30B) 사이의 이동 스트로크에 차이가 발생하게 되므로, 기판의 가장자리 부분에 형성할 수 있는 페이스트 패턴의 형성 면적도 축소될 수밖에 없는 문제가 발생하는 것이다.When the movement stroke is changed in this way, either side has a lot of movement strokes, and thus a difference occurs in the movement strokes between the two application head units 30A, 30B on both sides, which can be formed at the edge of the substrate. The problem arises that the formation area of the paste pattern is also reduced.

하지만, 본 발명에서와 같이 양쪽 도포 헤드유닛(30A, 30B)을 서로 미러형 구조로 대칭되게 설치하게 되면, 양쪽 도포 헤드유닛(30A, 30B)의 이동 스트로크가 동일해 짐에 따라 도포 헤드유닛(30A, 30B)의 제어가 용이해짐은 물론 스트로크 축소로 기판의 유효 페이스트 패턴 면적도 최대화시킬 수 있는 장점을 갖게 되는 것이다.However, when both the coating head units 30A and 30B are symmetrically installed in a mirror-like structure as in the present invention, as the moving strokes of both the coating head units 30A and 30B become the same, the coating head unit ( 30A, 30B) is not only easy to control, but also has the advantage of maximizing the effective paste pattern area of the substrate by reducing the stroke.

도 6 내지 도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스펜서가 도시된 사시도 및 도포 헤드유닛(30A, 30B)들이 미러 구조로 배치된 상태를 보인 평면도이다.6 to 7 are perspective views showing a dispenser according to another embodiment of the present invention and a plan view showing a state in which the application head units 30A and 30B are arranged in a mirror structure.

전술한 본 발명의 일 실시예에서는 한 쌍의 헤드 지지대(20A, 20B)에 도포 헤드유닛(30A, 30B)들이 서로 마주보는 위치에 배치되었으나, 본 발명의 다른 실시예에서는 각 헤드 지지대(20A, 20B)에 설치된 도포 헤드유닛(30A, 30B)들이 한 쌍의 헤드 지지대(20A, 20B) 사이를 중심으로 서로 반대쪽에 위치되게 배치된다.In the above-described embodiment of the present invention, the application head units 30A and 30B are disposed at positions facing each other on the pair of head supports 20A and 20B, but in another embodiment of the present invention, each head support 20A, The application head units 30A and 30B provided in 20B are disposed so as to be located opposite to each other with a center between the pair of head supports 20A and 20B.

이와 같이 서로 반대쪽에 배치된 도포 헤드유닛(30A, 30B)들도 한 쌍의 헤드 지지대(20A, 20B) 사이를 중심(C)으로 서로 미러형 구조를 갖도록 대칭적으로 설치된다.In this way, the coating head units 30A and 30B disposed opposite to each other are also symmetrically installed so as to have a mirror structure with each other as a center C between the pair of head supports 20A and 20B.

한편, 본 발명의 실시예에서는 노즐(34)이 구비된 시린지(35), 레이저 변위 센서(36), 위치 측정용 카메라(37), 단면적 센서(38) 모두가 양쪽 헤드 지지대(20A, 20B)에 서로 미러형 구조를 갖도록 배치된 구조를 설명하였으나, 실시 조건에 따라서는 상기 구성 요소 중 어느 하나 이상만 미러형 구조를 갖도록 배치되는 것도 가능하다.On the other hand, in the embodiment of the present invention, both the syringe 35 equipped with the nozzle 34, the laser displacement sensor 36, the position measuring camera 37, and the cross-sectional area sensor 38 are both head supports 20A and 20B. Although the structures arranged to have mirror structures with each other have been described, depending on the implementation conditions, only one or more of the above components may be arranged to have mirror structures.

즉, 위치 측정용 카메라(37) 및 단면적 센서(38)는 서로 반대쪽에 설치되고, 레이저 변위센서(36)(발광부와 수광부)만 서로 미러형 구조로 설치하는 것도 가능하고, 또한 레이저 변위 센서는 서로 반대 방향으로 설치하고, 위치 측정용 카메라(37) 및 단면적 센서(38)만 서로 미러형 구조를 갖도록 설치하는 것도 가능하다.That is, the position measuring camera 37 and the cross-sectional sensor 38 are provided opposite to each other, and only the laser displacement sensor 36 (light emitting portion and light receiving portion) can be provided in a mirror structure with each other, and the laser displacement sensor It is also possible to install in the opposite direction, so that only the position measuring camera 37 and the cross-sectional sensor 38 has a mirror structure with each other.

한편, 상기 위치 측정용 카메라(37), 단면적 센서(38), 레이저 변위센서(36)는 도포 헤드유닛(30A, 30B)에 필요한 구성요소이나, 반드시 모두 포함되어야 하는 것은 아니며, 필요에 따라 하나 또는 그 이상 생략하여 구성하는 것도 가능하다. 이와 같이 일부 구성이 생략된 경우에도 한 쌍의 헤드 지지대(20A, 20B)에 도포 헤드유닛(30A, 30B)의 일부 구성요소 또는 전체 구성 요소를 미러형 구조로 배치할 수 있다.On the other hand, the position measuring camera 37, the cross-sectional sensor 38, the laser displacement sensor 36 is a component necessary for the application head unit (30A, 30B), but not necessarily all included, one if necessary Alternatively, the configuration may be omitted. Even if some components are omitted in this manner, some components or the entire components of the coating head units 30A, 30B may be arranged in a mirror structure on the pair of head supports 20A, 20B.

본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.The technical idea described in each embodiment of the present invention may be implemented independently, or may be implemented in combination with each other. In addition, the present invention has been described through the embodiments described in the drawings and detailed description of the invention, which is merely exemplary, and those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications and equivalent other embodiments from this It is possible. Accordingly, the technical scope of the present invention should be determined by the appended claims.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서가 도시된 사시도,1 is a perspective view showing a dispenser according to an embodiment of the present invention;

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서에 적용되는 도포 헤드유닛의 사시도,2 is a perspective view of an application head unit applied to a dispenser according to an embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서에 적용되는 도포 헤드유닛의 정면도,3 is a front view of an application head unit applied to a dispenser according to an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스펜서에 도포 헤드유닛들이 미러 구조로 배치된 상태를 보인 평면도,4 is a plan view showing a state in which the coating head units are arranged in a mirror structure in the dispenser according to an embodiment of the present invention;

도 5는 도포 헤드유닛들이 미러 구조로 배치되지 않을 경우의 상태를 보인 평면도,5 is a plan view showing a state when the coating head units are not arranged in a mirror structure,

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스펜서가 도시된 사시도,6 is a perspective view showing a dispenser according to another embodiment of the present invention;

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 디스펜서에 도포 헤드유닛들이 미러 구조로 배치된 상태를 보인 평면도,7 is a plan view showing a state in which the coating head units are arranged in a mirror structure in the dispenser according to another embodiment of the present invention;

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 프레임 15 : 스테이지 10: frame 15: stage

20, 20A, 20B : 헤드 지지대 30, 30A, 30B : 도포 헤드유닛 20, 20A, 20B: Head support 30, 30A, 30B: Coating head unit

31 : 바디부 32 : Z축 구동유닛 31: body 32: Z axis drive unit

33 : 헤드 플레이트 34 : 노즐 33: head plate 34: nozzle

35 : 시린지 36 : 레이저 변위센서 35 syringe 36 laser displacement sensor

37 : 위치 측정용 카메라 38 : 단면적 센서37: position measuring camera 38: cross-sectional sensor

Claims (6)

기판이 탑재되는 스테이지의 상부에 배치되는 한 쌍의 헤드지지대; 및A pair of head supports disposed on an upper portion of the stage on which the substrate is mounted; And 상기 한 쌍의 헤드지지대에 설치되며, 상기 기판에 도포된 페이스트의 단면적을 측정하는 단면적 센서가 구비되는 다수의 도포 헤드유닛을 포함하고,A plurality of coating head units installed on the pair of head supports and provided with a cross-sectional sensor for measuring a cross-sectional area of the paste applied to the substrate; 상기 한 쌍의 헤드지지대 중 어느 하나의 헤드지지대에 설치되는 도포 헤드유닛에 장착되는 단면적 센서의 위치와 상기 한 쌍의 헤드지지대 중 다른 하나의 헤드지지대에 설치되는 도포 헤드유닛에 장착되는 단면적 센서의 위치는 상기 한 쌍의 헤드지지대 사이를 중심으로 서로 대칭되는 것을 특징으로 하는 디스펜서.The position of the cross-sectional sensor mounted on the coating head unit installed on any one of the head support of the pair of head support and the cross-sectional sensor mounted on the coating head unit installed on the other head support of the pair of head support And the positions are symmetrical with respect to each other between the pair of head supports. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도포 헤드유닛에는 상기 기판과 노즐의 토출구 사이의 간격을 측정하는 레이저 변위센서가 구비되고,The coating head unit is provided with a laser displacement sensor for measuring the distance between the substrate and the discharge port of the nozzle, 상기 한 쌍의 헤드지지대 중 어느 하나의 헤드지지대에 설치되는 도포 헤드유닛에 장착되는 레이저 변위센서의 위치와 상기 한 쌍의 헤드지지대 중 다른 하나의 헤드지지대에 설치되는 도포 헤드유닛에 장착되는 레이저 변위센서의 위치는 상기 한 쌍의 헤드지지대 사이를 중심으로 서로 대칭되는 것을 특징으로 하는 디스펜서.Position of the laser displacement sensor mounted on the application head unit installed on any one head support of the pair of head support and laser displacement mounted on the application head unit installed on the other head support of the pair of head support The position of the sensor is characterized in that the symmetric with respect to each other between the pair of the head support. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도포 헤드유닛에는 상기 기판에 대한 상기 도포 헤드의 위치를 측정하는 위치 측정용 카메라가 구비되고,The application head unit is provided with a position measuring camera for measuring the position of the application head relative to the substrate, 상기 한 쌍의 헤드지지대 중 어느 하나의 헤드지지대에 설치되는 도포 헤드유닛에 장착되는 위치 측정용 카메라의 위치와 상기 한 쌍의 헤드지지대 중 다른 하나의 헤드지지대에 설치되는 도포 헤드유닛에 장착되는 위치 측정용 카메라의 위치는 상기 한 쌍의 헤드지지대 사이를 중심으로 서로 대칭되는 것을 특징으로 하는 디스펜서.Position of the position measuring camera mounted on the application head unit installed on any one of the head support of the pair of head support and position mounted on the application head unit installed on the other head support of the pair of head support The position of the measuring camera is symmetrical with each other about a center of the pair of head support. 기판이 탑재되는 스테이지의 상부에 배치되는 한 쌍의 헤드지지대; 및A pair of head supports disposed on an upper portion of the stage on which the substrate is mounted; And 상기 한 쌍의 헤드지지대에 설치되며, 상기 기판과 노즐의 토출구 사이의 간격을 측정하는 레이저 변위센서가 구비되는 다수의 도포 헤드유닛을 포함하고,It is installed on the pair of head support, and includes a plurality of coating head unit is provided with a laser displacement sensor for measuring the distance between the discharge port of the substrate and the nozzle, 상기 한 쌍의 헤드지지대 중 어느 하나의 헤드지지대에 설치되는 도포 헤드유닛에 장착되는 레이저 변위센서의 위치와 상기 한 쌍의 헤드지지대 중 다른 하나의 헤드지지대에 설치되는 도포 헤드유닛에 장착되는 레이저 변위센서의 위치는 상기 한 쌍의 헤드지지대 사이를 중심으로 서로 대칭되는 것을 특징으로 하는 디스펜서.Position of the laser displacement sensor mounted on the application head unit installed on any one head support of the pair of head support and laser displacement mounted on the application head unit installed on the other head support of the pair of head support The position of the sensor is characterized in that the symmetric with respect to each other between the pair of the head support. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 도포 헤드유닛들은 한 쌍의 헤드 지지대 사이를 중심으로 서로 마주보는 위치에 배치된 것을 특징으로 하는 디스펜서.The dispensing head unit is disposed in a position facing each other centered between a pair of head support. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 도포 헤드유닛들은 한 쌍의 헤드 지지대 사이를 중심으로 서로 반대쪽에 위치되게 배치된 것을 특징으로 하는 디스펜서.The dispenser, characterized in that the dispensing head unit is disposed to be located opposite to each other centered between a pair of head support.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100649962B1 (en) * 2006-06-28 2006-11-29 주식회사 탑 엔지니어링 Head unit of paste dispenser

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006346593A (en) * 2005-06-16 2006-12-28 Shibaura Mechatronics Corp Paste applying apparatus

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