KR100806379B1 - 프로브 및 이를 포함하는 프로브 카드 - Google Patents
프로브 및 이를 포함하는 프로브 카드 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100806379B1 KR100806379B1 KR1020060132375A KR20060132375A KR100806379B1 KR 100806379 B1 KR100806379 B1 KR 100806379B1 KR 1020060132375 A KR1020060132375 A KR 1020060132375A KR 20060132375 A KR20060132375 A KR 20060132375A KR 100806379 B1 KR100806379 B1 KR 100806379B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- probe
- stopper
- hole
- probe card
- substrate
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06733—Geometry aspects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Geometry (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Description
Claims (16)
- 상부 기판과 하부 기판을 포함하는 프로브 카드에 삽입되는 프로브에 있어서,상기 상부 기판의 관통홀 내부에 형성된 요철 형상의 고정부에 대응하는 요철 형상으로 구비되어 있는 걸림부가 일측에 형성된 것을 특징으로 하는 프로브.
- 제1항에 있어서,상기 걸림부의 요철 형상 내부에 빈 공간이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 프로브.
- 제1항에 있어서,상기 하부 기판의 관통홀의 직경 보다 직경이 더 크게 형성되어 있는 제1스톱퍼; 및상기 상부 기판의 상기 관통홀의 직경 보다 직경이 더 크게 형성되어 있는 제2 스톱퍼를 더 포함하고,상기 걸림부가 상기 제2 스톱퍼 보다 말단 방향에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 프로브.
- 제3항에 있어서,상기 제1스톱퍼와 상기 제2스톱퍼 사이에 탄성력을 갖는 모양으로 형성되어 있는 탄성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브.
- 제3항에 있어서,상기 제1스톱퍼와 상기 제2스톱퍼의 중심축들이 서로 상이한 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 프로브.
- 복수의 프로브;상기 복수의 프로브의 일측의 관통을 위한 복수의 하부 관통홀이 구비되어 있는 하부 기판; 및상기 복수의 프로브의 타측의 관통을 위한 복수의 상부 관통홀이 구비되며, 상기 상부 관통홀은 내부의 배선부와 연통되어 있는 상부 기판; 을 포함하되,상기 프로브가 상기 상부 관통홀에 도입될 때, 상기 프로브와 상기 배선부가 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
- 제6항에 있어서,빛이 상기 상부 기판 및 하부 기판을 관통할 있도록 복수의 광경로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 카드.
- 제7항에 있어서,상기 광경로는 테스트 대상인 반도체 소자의 광인식 영역에 대응되는 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 카드.
- 제6항에 있어서,상기 상부 관통홀에는 상기 프로브의 요철 형상의 걸림부에 대응하는 요철 형상의 고정부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 카드.
- 제9항에 있어서,상기 프로브의 걸림부의 요철 형상 내부에 빈 공간이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 카드.
- 제9항에 있어서,상기 배선부는 상기 고정부와 연통하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 카드.
- 제6항에 있어서,상기 상부 관통홀과 상기 하부 관통홀의 중심축들이 서로 상이한 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 카드.
- 제12항에 있어서,상기 프로브는 상기 하부 관통홀에 대응하는 제1스톱퍼, 및 상기 상부 관통홀에 대응하는 제2 스톱퍼를 가지는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 카드.
- 제13항에 있어서,상기 프로브는 상기 제1스톱퍼와 상기 제2스톱퍼 사이에 탄성력을 갖는 모양으로 형성되어 있는 탄성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 카드.
- 제6항에 있어서,상기 배선부와 전기적으로 연결되는 인쇄회로 기판을 상기 상부 기판 상부에 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 카드.
- 제6항에 있어서,상기 프로브가 상기 상부 기판과 상기 하부 기판을 수직으로 관통하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 카드.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060132375A KR100806379B1 (ko) | 2006-12-22 | 2006-12-22 | 프로브 및 이를 포함하는 프로브 카드 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060132375A KR100806379B1 (ko) | 2006-12-22 | 2006-12-22 | 프로브 및 이를 포함하는 프로브 카드 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100806379B1 true KR100806379B1 (ko) | 2008-02-27 |
Family
ID=39383015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060132375A KR100806379B1 (ko) | 2006-12-22 | 2006-12-22 | 프로브 및 이를 포함하는 프로브 카드 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100806379B1 (ko) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100959599B1 (ko) | 2007-01-08 | 2010-05-27 | 엠피아이 코포레이션 | 고주파 프로브 및 이를 이용한 고주파 프로브 카드 |
KR100998762B1 (ko) | 2008-08-25 | 2010-12-07 | 주식회사 코리아 인스트루먼트 | 프로브 카드 |
KR20160074271A (ko) * | 2014-12-18 | 2016-06-28 | 이채갑 | 프로브 장치 |
KR101769355B1 (ko) | 2017-05-31 | 2017-08-18 | 주식회사 새한마이크로텍 | 수직형 프로브핀 및 이를 구비한 프로브핀 조립체 |
KR101869044B1 (ko) * | 2016-11-10 | 2018-07-19 | 윌테크놀러지(주) | 스크럽 현상이 저감된 수직형 프로브 카드용 니들유닛 및 이를 이용한 프로브 카드 |
CN109283366A (zh) * | 2018-10-17 | 2019-01-29 | 杭州兆华电子有限公司 | 一种线材测试治具 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000062366A (ko) * | 1996-12-27 | 2000-10-25 | 마에다 츠구요시 | 접촉 탐침 장치 |
JP2002365310A (ja) | 2001-06-05 | 2002-12-18 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | 垂直型プローブカード |
KR20040070199A (ko) * | 2001-12-03 | 2004-08-06 | 가부시키가이샤 어드밴티스트 | 접속 구조물 및 그의 제조 방법과 그를 사용하는 탐침접속 조립체 |
KR20040079006A (ko) * | 2003-03-06 | 2004-09-14 | 김상록 | 탐침 조립체 |
-
2006
- 2006-12-22 KR KR1020060132375A patent/KR100806379B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20000062366A (ko) * | 1996-12-27 | 2000-10-25 | 마에다 츠구요시 | 접촉 탐침 장치 |
JP2002365310A (ja) | 2001-06-05 | 2002-12-18 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | 垂直型プローブカード |
KR20040070199A (ko) * | 2001-12-03 | 2004-08-06 | 가부시키가이샤 어드밴티스트 | 접속 구조물 및 그의 제조 방법과 그를 사용하는 탐침접속 조립체 |
KR20040079006A (ko) * | 2003-03-06 | 2004-09-14 | 김상록 | 탐침 조립체 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100959599B1 (ko) | 2007-01-08 | 2010-05-27 | 엠피아이 코포레이션 | 고주파 프로브 및 이를 이용한 고주파 프로브 카드 |
KR100998762B1 (ko) | 2008-08-25 | 2010-12-07 | 주식회사 코리아 인스트루먼트 | 프로브 카드 |
KR20160074271A (ko) * | 2014-12-18 | 2016-06-28 | 이채갑 | 프로브 장치 |
KR101716803B1 (ko) * | 2014-12-18 | 2017-03-15 | 이채갑 | 프로브 장치 |
KR101869044B1 (ko) * | 2016-11-10 | 2018-07-19 | 윌테크놀러지(주) | 스크럽 현상이 저감된 수직형 프로브 카드용 니들유닛 및 이를 이용한 프로브 카드 |
KR101769355B1 (ko) | 2017-05-31 | 2017-08-18 | 주식회사 새한마이크로텍 | 수직형 프로브핀 및 이를 구비한 프로브핀 조립체 |
WO2018221886A1 (ko) * | 2017-05-31 | 2018-12-06 | 주식회사 새한마이크로텍 | 수직형 프로브핀 및 이를 구비한 프로브핀 조립체 |
CN109283366A (zh) * | 2018-10-17 | 2019-01-29 | 杭州兆华电子有限公司 | 一种线材测试治具 |
CN109283366B (zh) * | 2018-10-17 | 2024-03-26 | 杭州兆华电子股份有限公司 | 一种线材测试治具 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7345492B2 (en) | Probe cards employing probes having retaining portions for potting in a retention arrangement | |
US8901949B2 (en) | Probe card for testing a semiconductor chip | |
CN1762050B (zh) | 探头及其制造方法 | |
US8146245B2 (en) | Method for assembling a wafer level test probe card | |
KR100806379B1 (ko) | 프로브 및 이를 포함하는 프로브 카드 | |
KR100661254B1 (ko) | 반도체 검사용 프로브 카드 | |
US20070007984A1 (en) | Socket for inspection apparatus | |
US20080007280A1 (en) | Probe card | |
KR20060082074A (ko) | 소켓 및 시험 장치 | |
KR100353788B1 (ko) | 프로브 카드 | |
KR100911661B1 (ko) | 평탄화 수단을 구비한 프로브 카드 | |
KR20100018181A (ko) | 프로브와 이를 포함하는 프로브 카드 | |
JP2004053409A (ja) | プローブカード | |
KR101391794B1 (ko) | 프로브 유닛 및 프로브 카드 | |
KR20090079271A (ko) | 프로브 카드 | |
KR20080109556A (ko) | 프로브 기판 조립체 | |
KR100583794B1 (ko) | 도전성 접촉자 및 전기 프로브 유닛 | |
KR20020093380A (ko) | 반도체 검사용 프로브 카드 | |
KR200394134Y1 (ko) | 반도체 검사용 프로브 카드 | |
KR101108479B1 (ko) | 웨이퍼 솔더 범프용 프로브 장치 | |
KR101689515B1 (ko) | 프로브 카드 | |
KR101317251B1 (ko) | 프로브 카드 | |
JP2005019343A (ja) | 接続端子配列部材及びそれを用いたicソケット | |
KR100794629B1 (ko) | 전기 검사 장치와 그 제조 방법 | |
KR200446425Y1 (ko) | 프로브 카드 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130212 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140203 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150126 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160205 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170202 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180130 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190207 Year of fee payment: 12 |