KR100530397B1 - 적외선 검출 소자, 이 적외선 검출 소자를 이용한 적외선 센서 유닛 및 적외선 검출 장치 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 119
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 26
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 16
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 16
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 15
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 7
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims description 5
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 5
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 claims description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 2
- 238000007872 degassing Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 50
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N chloro(fluoro)methane Chemical compound F[C]Cl KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 2
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 125000004773 chlorofluoromethyl group Chemical group [H]C(F)(Cl)* 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/0228—Control of working procedures; Failure detection; Spectral bandwidth calculation
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/04—Casings
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/0295—Constructional arrangements for removing other types of optical noise or for performing calibration
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/0022—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiation of moving bodies
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/0022—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiation of moving bodies
- G01J5/0025—Living bodies
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
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- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
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- G01J5/046—Materials; Selection of thermal materials
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
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- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
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- G01J5/0806—Focusing or collimating elements, e.g. lenses or concave mirrors
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- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
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- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
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- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
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Abstract
본 발명은, 초전체에 의해 적외선을 검출하는 적외선 검출 소자, 이 적외선 검출 소자를 이용하여 적외선 센서 유닛 및 적외선 검출 장치에 관한 것으로, 어느 방향의 검지 대상의 움직임에 대해서도 출력을 얻을 수 있는 무지향성 적외선 검출 소자를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.
이 목적을 달성하기 위해서, 초전체(11)에 마련된 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속한 대략 사다리꼴의 적외선을 흡수하는 기능을 갖는 제 1 전극(12, 13)과, 초전체(11)의 다른쪽 면에 마련된 전기적으로 접속된 한 쌍의 제 2 전극(14, 15)으로 이루어지고, 한쪽의 제 1 전극(12, 13)의 대략 사다리꼴의 하측 바닥부와 다른쪽의 제 2 전극(14, 15)의 대략 사다리꼴의 하측 바닥부를 동일한 방향으로 배치하여 이루어지는 것으로, 어느 방향으로부터의 검지 대상의 움직임에 대해서도 출력을 얻을 수 있다고 하는 효과를 나타내는 것이다.
Description
본 발명은 초전체(焦電體:pyroelectric member)에 의해 적외선을 검출하는 적외선 검출 소자, 이 적외선 검출 소자를 이용한 적외선 센서 유닛 및 적외선 검출 장치에 관한 것이다.
최근, 초전형 적외선 센서는 비접촉으로 물체의 검지나 온도 검출이 가능하다는 점을 살려, 전자 레인지의 조리물의 온도 측정, 에어 컨디셔너의 실내 온도 제어, 혹은 자동문, 경보 장치에서의 인체 검지 등에 이용되고 있으며, 앞으로 그 이용 범위는 확대되어 갈 것으로 보인다.
일반적으로, 적외선 센서는, LiTaO3 결정 등으로 이루어지는 초전체의 초전 효과를 이용한 것으로, 이 초전체의 자발 분극에 의해, 항상 표면 전하가 발생하고 있다. 대기중에 있어서의 정상(定常) 상태에서는, 대기중의 전하와 결부되어 전기적으로 중성을 유지하고 있다. 이것에 적외선이 입사되면 초전체의 온도가 변화하고, 이에 따라 초전체 표면의 전하 상태도 중성 상태가 깨져서 변화한다. 이 때, 초전체의 표면에 발생하는 전하를 검출하여, 적외선 입사량을 측정하는 것이 적외선 센서이다. 일반적으로 물체는, 그 온도에 따른 적외선을 방출하고 있으며, 이 적외선 센서를 이용함으로써 물체의 존재나 온도를 검지할 수 있다.
이하, 본 발명의 배경 기술로서의 적외선 검출 소자에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.
도 11a는 본 발명의 배경 기술을 설명하는 적외선 검출 소자의 평면도, 도 11b는 동 단면도이다.
동 도면에 있어서, (1)은 초전체로서, 그 상면에 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속된 장방형의 적외선 흡수막으로서의 기능을 갖는 한 쌍의 제 1 전극(2, 3)을 가짐과 동시에, 그 하면에 제 1 전극(2, 3)과 동일 형상의 제 2 전극(4, 5)을 구비하고 있다.
이 제 2 전극(4, 5)과 제 1 전극(2, 3)에 의해 적외선 검지부가 구성된다. 적외선 검지부의 2개의 제 2 전극(4, 5)은 역 극성으로 직렬 또는 병렬로 접속되고, 제 2 전극(4, 5) 사이의 갭은 통상 수광 전극과 동등하거나 또는 0.8mm 이상 간격을 두어, 누화의 영향이 없는 듀얼 소자 타입의 적외선 검출 소자를 구성하고 있다.
이 적외선 소자는, 적외선 검지부를 단열시키면서 초전체(1)와 초전체 지지대(6)에 의해 배선 기판(7)을 접속하고 있다.
이상과 같이 구성된 적외선 검출 소자를 사용할 때에는, 프레넬 렌즈 등의 광학계를 사용하여, 검지 에리어내에 복수의 소자 형상을 투영시킨 검지 영역을 구성한다. 이 때, 예를 들어 인체 등의 검지 대상이 적외선 검지부에 대하여 가로지르는 방향(X 방향)으로 이동한 경우, 「+ 출력」 바로 다음에 「- 출력」이 발생하기 때문에, 「피크 대 피크」에서 최대 출력을 얻을 수 있다. 한편, 적외선 검지부에 대하여 검지 대상이 평행하게 이동하는(Y 방향) 경우에는, 「+ 출력」과 「- 출력」이 동시에 발생하기 때문에, 취소 효과에 의해 출력하지 않는다.
또한, 일본 특허 공개 평성 제 2-201228 호 공보에는, 적외선 검지부의 형상을 직각 삼각형 형상으로 한 것이 개시되어 있다.
이 경우에는 X 방향, Y 방향 모두 출력은 얻어지지만, 45° 방향으로 검지 대상이 이동한 경우, 전술한 장방형 모양의 적외선 검지부를 갖는 적외선 소자와 마찬가지로, 「+ 출력」과 「- 출력」이 동시에 발생하기 때문에, 취소 효과에 의해 출력하지 않는다.
상술한 바와 같이 적외선 검출 소자에 있어서는, 조명이나 공기 조절 기기 등의 가정 상품에 이용되기 때문에, 검지 대상의 움직임에 대하여, 무지향성일 것이 요구되고 있다.
본 발명은, 어떠한 방향의 검지 대상의 움직임에 대해서도 출력이 얻어지는 무지향성의 적외선 검출 소자를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.
발명의 개시
상술한 목적을 달성하기 위해서 본 발명은, 초전체와, 이 초전체에 마련된 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속한 대략 사다리꼴 형상의 한 쌍의 적외선 검지부로 이루어지고, 한쪽 상기 적외선 검지부의 대략 사다리꼴 형상의 상측 바닥부와 다른쪽 상기 적외선 검지부의 대략 사다리꼴 형상 하측 바닥부를 동일한 방향으로 배치하여 이루어지는 것이다.
또한, 초전체에 한쪽의 대략 사다리꼴의 상측 바닥부와 다른쪽의 대략 사다리꼴의 하측 바닥부를 동일한 방향으로 배치하여 이루어지는 적외선 검지부와, 이 적외선 검지부에 초전체 지지체를 거쳐 전기적으로 접속된 배선 기판으로 이루어지는 것이다.
또한, 인출 전극을 갖는 고정대와, 이 고정대에 탑재된 초전체에 한쪽의 대략 사다리꼴의 상측 바닥부와 다른쪽의 대략 사다리꼴의 하측 바닥부를 동일한 방향으로 되도록 배치하든가 또는 한쪽의 대략 삼각형의 긴 변과 다른쪽의 대략 삼각형의 긴 변을 마주 보도록 배치하여 이루어지고, 또한, 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속한 한 쌍의 적외선 검지부로 이루어지는 적외선 검출 소자와, 적어도 이 적외선 검출 소자를 둘러싸도록 마련된 원통 형상의 봉지체와, 이 봉지체의 개방(開放)을 덮도록 마련된 적외선 입사창과, 이 적외선 입사창의 윗쪽으로 이간(離間)되어 마련되고, 상점(像点) 거리 부근에 상기 적외선 검출 소자를 갖는 복수의 회절형 광학 소자로 구성된 렌즈 어레이로 이루어지는 것이다.
또한, 인출 전극을 갖는 고정대와, 이 고정대에 탑재된 초전체에 한쪽의 대략 사다리꼴의 상측 바닥부와 다른쪽의 대략 사다리꼴의 하측 바닥부를 동일한 방향으로 되도록 배치하든가 또는 한쪽의 대략 삼각형의 긴 변과 다른쪽의 대략 삼각형의 긴 변을 마주 보도록 배치하여 이루어지며, 또한, 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속한 한 쌍의 적외선 검지부로 이루어지는 적외선 검출 소자와, 적어도 이 적외선 검출 소자를 둘러싸도록 마련된 원통 형상의 봉지체와, 이 봉지체의 개방을 덮도록 상점 거리 부근에 상기 적외선 소자를 갖는 복수의 회절형 광학 소자로 구성된 적외선 입사창 렌즈 어레이로 이루어지는 것이다.
이상의 구성을 갖는 것에 의해, 어떤 방향으로부터의 검지 대상이 침입하더라도, 각각 적외선 검지부를 가로지르는 면적이 동일하게 되지 않기 때문에, 역 극성의 출력이 동시에 발생하더라도 취소하는 일 없이 출력할 수 있다.
도 1a는 본 발명의 실시예 1에 있어서의 적외선 검출 소자의 평면도,
도 1b는 동 A-A 단면도,
도 2는 본 발명의 실시예 2에 있어서의 적외선 검출 소자의 평면도,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 있어서의 적외선 검출 소자의 평면도,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 있어서의 적외선 검출 소자의 평면도,
도 5a는 본 발명의 실시예 3에 있어서의 적외선 센서 유닛의 평면도,
도 5b는 동 B-B 단면도,
도 6a는 본 발명의 다른 실시예에 있어서의 적외선 센서 유닛의 평면도,
도 6b는 동 B-B 단면도,
도 7a는 본 발명의 실시예 4에 있어서의 적외선 센서 유닛의 평면도,
도 7b는 동 측면도,
도 8은 본 발명의 실시예 5에 있어서의 적외선 센서 장치의 측면도,
도 9는 본 발명의 실시예 5에 있어서의 적외선 센서 장치의 주요부인 회절 광학 소자의 단면도,
도 10은 본 발명의 실시예 6에 있어서의 적외선 센서 장치의 측면도,
도 11a는 본 발명의 배경 기술을 설명하는 적외선 검출 소자의 평면도,
도 11b는 동 단면도이다.
발명을 실시하기 위한 최선의 형태
(실시예 1)
이하, 본 발명의 실시예 1에 있어서의 적외선 검출 소자에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1a는 본 발명의 실시예 1에 있어서의 적외선 검출 소자의 평면도, 도 1b는 동 A-A 단면도이다.
도면에 있어서, (11)은 LiTaO3 결정 등으로 이루어지는 초전체이다. 이 초전체(11)의 상면에 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속한 Ti, Cr, Pt, Au 등을 스퍼터링하여 이루어지는 대략 사다리꼴의 한 쌍의 제 1 전극(12, 13)으로, 한쪽의 제 1 전극(12)의 대략 사다리꼴의 상측 바닥부와 다른쪽의 제 1 전극(13)의 대략 사다리꼴의 하측 바닥부를 동일한 방향으로 배치하여 이루어지는 것으로, 적외선의 흡수막으로서의 기능을 갖는 것이다. 이 제 1 전극(12, 13)의 초전체(11)를 거친 하면에 Ti, Cr, Pt, Au 등을 스퍼터링하여 이루어지는 제 2 전극(14, 15)을 구비하고, 이 제 2 전극(14, 15)과 제 1 전극(12, 13)에 의해 적외선 검지부를 구성하고 있다. 또한 바람직하게는, 적외선 검지부의 제 2 전극(14, 15)의 형상은, 초전체(11)를 거쳐서 상면에 마련한 제 1 전극(12, 13)과 동일하게 하면, 부유 용량이 없어져서 좋다.
적외선 검지부인 제 1 전극(12, 13) 및 제 2 전극(14, 15)은, 역 극성으로 직렬 또는 병렬로 접속되고, 제 1 전극(12, 13) 사이의 갭은 통상 제 1 전극(12, 13)과 동등 또는 0.8 mm 이상 간격을 두어, 누화의 영향이 없는 듀얼 소자 타입의 적외선 검출 소자를 구성하고 있다.
이 적외선 검출 소자는, 적외선 검지부를 단열시키면서 초전체(11)와 초전체 지지대(16)에 의해 배선 기판(17)을 접속하고 있다.
이상과 같이 구성된 적외선 검출 소자에 대하여, 이하에 그 동작을 설명한다.
인체 등의 검지 대상이 적외선 검지부에 대하여 가로지르는 방향(X 방향)으로 이동한 경우, 제 1 전극(12, 13)과 제 2 전극(14, 15)은 출력 극성이 반대이고, 검지 대상이 우선 제 1 전극(12, 13)이 만들어내는 검지 영역에 침입했을 때에 「+ 방향으로 출력」하고, 계속해서 제 2 전극(14, 15)이 만들어내는 검지 영역에 침입했을 때에「- 방향으로 출력」한다. 센서 출력은, 「+ 출력 피크」와 「- 출력 피크」의 폭으로서의 출력이 얻어진다.
한편, 적외선 검지부에 대하여 검지 대상이 평행하게 이동하는(Y 방향) 경우에는, 검지 대상은 제 1, 제 2 전극(12, 13, 14, 15)이 만들어내는 검지 영역에 동시에 침입하지만, 제 1 전극(12, 13)이 만들어내는 검지 영역과 제 2 전극(14, 15)이 만들어내는 검지 영역에서는 그 크기에 차이가 있기 때문에, 전반은 「+측으로 출력」한다. 또한, 연속적으로 각 검지 영역의 크기가 변화하여 후반에서는 「-측으로 출력」한다. 센서 출력은 「+ 출력 피크」와 「- 출력 피크」의 폭으로서의 출력을 얻을 수 있다.
또한, 45°방향으로 검지 대상이 이동한 경우, 검지 대상은 처음에 제 1 전극(12, 13)이 만들어내는 검지 영역에 침입하여 「+측으로 출력」한다. 다음에 제 1, 제 2 전극(12, 13, 14, 15)이 만들어내는 검지 영역에 침입하는데, 처음에 제 1 전극(12, 13)이 만들어내는 영역이 커서 「+측으로 출력」하지만 서서히 제 2 전극(14, 15)의 영역이 커져 「-측으로 출력」한다. 그 후, 제 2 전극(14, 15)이 만들어내는 검지 영역에만 침입하여 「-측으로 출력」한다. 센서 출력은 「+ 출력 피크」와 「- 출력 피크」의 폭으로서의 출력이 얻어진다.
이상과 같이, 검지 대상이 어느 방향으로부터 침입하더라도, 적외선 검지부를 가로지르는 면적이 동일하게 되지 않기 때문에, 「+ 출력」과 「- 출력」이 동시에 발생하더라도 취소하는 일 없이 출력할 수 있다. 이에 따라, 어느 방향으로부터의 검지 대상의 움직임에 대해서도 출력을 얻을 수 있는 것이다.
(실시예 2)
이하, 본 발명의 실시예 2에 있어서의 적외선 검출 소자에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예 2에 있어서의 적외선 검출 소자의 평면도이다. 도 2에 나타내는 본 실시예는, 기본적으로는 도 1에 나타낸 실시예 1과 동일한 구성이기 때문에, 동일 구성 부분에는 동일 부호를 부여하고 설명을 생략한다. 본 실시예와 실시예 1의 서로 다른 점은, 적외선 검지부의 대향하는 대략 사다리꼴의 사변(斜邊)에 절결부(21)를 마련한 점이다.
도면에 있어서, (11)은 초전체이다. 이 초전체(11)의 상면에, 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속한 대략 사다리꼴의 한 쌍의 제 1 전극(12, 13)으로, 한쪽의 제 1 전극(12)의 대략 사다리꼴의 상측 바닥부와 다른쪽의 제 1 전극(13)의 대략 사다리꼴의 하측 바닥부를 동일한 방향으로 배치한 적외선의 흡수막으로서의 기능을 갖는 것이다. 이 제 1 전극(12, 13)의 초전체(11)를 거친 하면에 바람직하게는 제 1 전극(12, 13)과 대략 동일 형상인 제 2 전극(14, 15)(본 도면에서는 도시하지 않음)을 갖고, 제 1 전극(12, 13)과 제 2 전극(14, 15)에 의해 적외선 검지부를 구성하고 있다. 이 적외선 검지부인 적어도 제 1 전극(12, 13)의 대향하는 대략 사다리꼴의 사변(22)에 절결부(21)를 구비하고 있다.
이상과 같이, 적어도 적외선 검지부의 제 1 전극(12, 13)에 절결부(21)를 마련하는 것에 의해, 적외선 검지부의 적외선의 흡수막으로서 기능하는 제 1 전극(12, 13)의 피치 사이에 인체 등의 검지 대상이 미동하더라도, 제 1 전극(12, 13)에 의해서 만들어지는 검지 출력을 검지 대상이 동시에 동일 면적을 이동하는 것이 없기 때문에, 동시에 각 제 1 전극(12, 13)에 출력하는 일이 없어지고, 이에 따라 검지 대상이 미동하더라도 출력을 얻을 수 있는 것이다.
또, 본 실시예에서 설명한 절결부(21)를 도 3에 도시하는 바와 같이 사다리꼴의 사변(22)과 수직하게 대략 장방형의 절결부(23)로 함으로써, 제 1 전극(12, 13)에 의해서 만들어지는 검지 출력을 검지 대상이 동시에 동일 면적을 이동하는 것이 없기 때문에, 절결부(23)에 의한 변화량의 차에 따른 취소분이 없이 출력을 확보할 수 있는 것이다.
또한, 본 실시예에서 설명한 절결부(21)를 도 4에 도시하는 바와 같이 사다리꼴의 사변(22)에 대략 원호형의 절결부(23)를 마련하더라도, 대략 장방형의 절결부(23)와 마찬가지의 효과를 나타내는 것이다.
(실시예 3)
이하, 본 발명의 실시예 3에 있어서의 적외선 센서 유닛에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.
도 5a는 본 발명의 실시예 3에 있어서의 적외선 센서 유닛의 평면도, 도 5b는 동 B-B 단면도이다.
도면에 있어서, (31)은 적어도 단결정(單結晶)의 산화마그네슘으로 이루어지는 기판이며, 기판(31)의 표층부의 하부에 오목형의 공동(32)을 구비하고 있다. 이 기판(31)의 공동(空洞)의 윗쪽에, 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속한 Pt 등으로 이루어지는 대략 사다리꼴의 한 쌍의 제 2 전극(33, 34)을 구비하고 있다. 이 제 2 전극(33, 34)의 상면에, 전기적으로 접속한 LiTaO2, PbTiO3, PzT 단결정 등으로 이루어지는 초전 박막(35)을 구비하고 있다. 이 초전 박막(35)의 상면에, 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속한 적외선의 흡수막으로서의 기능을 갖는 NiCr 등으로 이루어지는 제 1 전극(36, 37)을, 한쪽의 제 1 전극(36)의 대략 사다리꼴의 상측 바닥부와 다른쪽의 제 1 전극(37)의 대략 사다리꼴의 하측 바닥부를 동일한 방향으로 배치하여 구비하고 있다. 이 제 1 전극(36, 37), 초전 박막(35) 및 제 2 전극(33, 34)으로 적외선 검지부를 구성하고 있으며, 외란 광, 센서 자체의 온도 변화에 대하여 취소 효과를 갖게 하기 위해서 바람직하게는 모두 동일한 형상으로 한 것이다.
이 적외선 검지부의 한쪽의 제 1 전극(36), 초전 박막(35) 및 제 2 전극(33)과, 서로 이웃하는 적외선 검지부의 다른쪽의 제 1 전극(37), 초전 박막(35) 및 제 2 전극(34)을 전기적으로 절연시킴과 동시에, 기판(31)의 공동(32) 윗쪽에 유지하도록, 폴리이미드 등으로 이루어지는 층간 절연막(38)을 구비하고 있다. 또한, 적어도 기판(31)과 반대측의 적외선 검지부를 덮도록, 폴리이미드 등으로 이루어지는 보호막(39)을 구비하고 있다. 여기서, 서로 이웃하는 적외선 검지부 사이는, 층간 절연막(38) 및 보호막(39)뿐이며, 열 전도는 대단히 작다. 또한, 적외선 검지부는 약 750㎛각(角) 내에 모여 있고, 그 두께는 약 3㎛로 소형으로 구성되어 있다. 이에 따라, 적외선 검지부 사이에 의해 열적으로 절연되어 있기 때문에, 특히 제 1 전극(36, 37) 사이의 열적인 스토로크를 일으키는 일 없이, 초전 박막(35)의 열 응답성을 향상시킴과 동시에, 소형·박형화할 수 있다. 또한, 기판(31)을 산화마그네슘을 주성분으로 한 단결정으로 함으로써, 초전 박막(35)을 자연 배광(配光)하기 위한 강제 배향 공정이 불필요하게 된다.
또, 본 실시예에서는 적외선 검지부의 제 1 전극(36, 37)의 형상을 대략 사다리꼴로 하였지만, 도 6a, 도 6b에 도시한 바와 같이, 한쪽의 대략 삼각형의 긴 변을 마주 보도록 배치하더라도 마찬가지의 효과를 나타내는 것이다.
(실시예 4)
이하, 본 발명의 실시예 4에 있어서의 적외선 센서 유닛에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.
도 7a는 본 발명의 실시예 4에 있어서의 적외선 센서 유닛의 평면도, 도 7b는 동 측면도이다.
도 7에 나타내는 본 발명의 실시예 4는, 기본적으로는 도 5에 나타낸 실시예 3과 동일한 구성이기 때문에, 동일 구성 부분에는 동일 부호를 부여하고 상세한 설명은 생략한다.
실시예 3과 상이한 점은, 기판(31)의 대향하는 한 쌍의 측면까지 삽입 관통한 공동(41)을 구비한 점이다.
(31)은 단결정의 산화마그네슘 등으로 이루어지는 기판으로서, 기판(31)의 표층부의 하부에, 대향하는 한 쌍의 측면까지 삽입 관통한 공동(41)을 구비하고 있다. 다른 구성은, 도 5에 나타낸 실시예 3과 동일한 구성이기 때문에, 설명은 생략한다.
이상과 같이, 대향하는 한 쌍의 측면까지 삽입 관통한 공동(41)을 구비함으로써, 적외선 센서 유닛의 전면적이 작을수록 다수개의 시트 기판으로부터 제작할 수 있기 때문에, 저비용화할 수 있다고 하는 효과를 나타내는 것이다.
(실시예 5)
이하, 본 발명의 실시예 5에 있어서의 적외선 센서 장치에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.
도 8은 본 발명의 실시예 5에 있어서의 적외선 센서 장치의 측면도이다.
도면에 있어서, (61)은 인출 전극(본 도면에서는 도시하지 않음)을 갖는 고정대이다. 이 고정대(61)의 상면에 인출 전극과 전기적으로 접속하도록, 실시예 1 또는 실시예 2에서 설명한 적외선 검출 소자(62)를 탑재한다. 이 적외선 검출 소자(62)는, 초전체(본 도면에서는 도시하지 않음)에 한쪽의 대략 사다리꼴의 상측 바닥부와 다른쪽의 대략 사다리꼴의 하측 바닥부를 동일한 방향으로 되도록 배치하든가 또는 한쪽의 대략 삼각형의 긴 변과 다른쪽의 대략 삼각형의 긴 변을 마주 보도록 배치하여 이루어지고, 또한, 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속한 한 쌍의 적외선 검지부(본 도면에서는 도시하지 않음)로 이루어지는 구성을 적어도 구비한 것이다. 적어도 이 적외선 검출 소자(62)를 둘러싸는 원통 형상의 봉지체(64)를, 고정대(61)의 측면에 구비하고 있다. 이 봉지체(63)는, 철, 코발트 또는 실리콘 등으로 이루어지며, 외란 광이나 전자 노이즈를 차단하는 것이다. 또한, 봉지체(64)의 상면의 개방을 덮도록 적외선 입사창(65)을, 실리콘 또는 표면에 게르마늄 및 황화아연으로 제작된 필터가 마련된 실리콘에 의해 마련한 것이다. 이 적외선 입사창(65), 봉지체(64) 및 고정대(61)에 의해 둘러싸인 공간(66)은 적외선(67)을 적외선 검출 소자(62)에 도입하는 것이다.
이 공간(66)내에는, Xe, Kr 또는 프레온 각각 단체(單體) 또는 이들 혼합체를 주성분으로 하는 저열 전도 가스와 산소를 혼합하는 분위기로 하고, 저열 전도 가스는 대기압 이하에서 공간(66)내에 봉입하는 것이다. 저열 전도 가스의 프레온 가스로서 CHClF2, CHCl2CF3, CH3CClF, CH3CClF3, C3HCl3F3 등으로 이루어지는 HCFC계를 주성분으로 하면, 프레온계 가스 중에서도 저 열전도율이 0.012 W/mk 이하이고, 프레온계 가스 중에서도 저 열전도 가스이기 때문에, 센서의 고감도화가 가능하다고 하는 효과를 나타내는 것이다. 마찬가지로 저 열전도 가스의 프레온 가스로서, CF3I를 주성분으로 하는 CF3I계로 하면, 프레온계 가스 중에서도 저 열전도율이 0.0069 W/mk이고, 프레온계 가스 중에서도 가장 저 열전도 가스이기 때문에, 더욱 센서의 고감도화가 가능하다고 하는 효과를 나타내는 것이다.
또한, 공간(66)내에, 공간(66)내에서 방출되는 탈(脫) 가스를 흡착하기 위한 겔(gel) 상태의 SiO2 등으로 이루어지는 흡착제(본 도면에서는 도시하지 않음)를 구비하고, 탈 가스를 억제함으로써, 안정된 센서 검지 동작을 실현할 수 있다고 하는 효과를 나타내는 것이다.
또한, 적외선 입사창(65)의 상측으로 이간된 상점(像点) 거리 부근에, 상술한 적외선 검출 소자(62)와 동일한 광학 소자(본 도면에서는 도시하지 않음)를 갖는 복수개의 회절형 광학 소자(68)로 구성된 렌즈 어레이(69)를 구비하고 있다. 이 렌즈 어레이(69)의 회절형 광학 소자(68)는, 렌즈의 위상 변조량에 따른 요철(凹凸)을 갖고, 예를 들어 요철의 패턴은 외주(外周)로 가면서 주기가 작아지며, 회절 현상에 의해 한 점으로 집광하도록 되어 있다. 이 때, 요철의 홈의 깊이는 회절형 광학 소자(68) 전역에 있어서 균일하여, 이 요철의 홈의 깊이와 표면 형상은 입사 적외선의 파장에 의존하여 마련되어 있다. 그 피치는, 수백 내지 수 미크론이고, 깊이는 2∼4미크론으로 박형(薄型)이며, 드라이 에칭에 의해 용이하게 제작이 가능하다.
이 회절형 광학 소자(68)는, 도 9에 도시하는 바와 같이 요철 형상(70)을 구비하고, 단면이 m단의 계단상으로 되어 있고, 여기서는 m = 8로 하고 있다. 이 요철 형상(70)의 홈의 최대 깊이 t는 입사 적외선의 파장을 λ, 회절형 광학 소자(68)의 굴절율을 n으로 하면, (m-1)/m×λ/(n-1)이다. 또한, 계단수 m을 크게 하여 감에 따라서 집광 효율이 커지고, m이 16일 때, 집광 효율이 최대 99% 정도까지 향상된다. 이 때, 요철 형상(70)의 홈의 최적의 최대 깊이 t는 거의 λ/(n-1)로 된다. 이에 따라, 드라이 에칭에 의해 용이하게 제작 가능하다고 하는 효과를 나타내는 것이다.
또, 본 실시예에 있어서, 렌즈 어레이의 재료로서, 굴절율이 3 이상으로 적어도 Si 또는 Ge를 포함하는 물질, 혹은 Ge 또는 In의 적어도 한쪽과 As 또는 P의 적어도 한쪽을 포함하는 물질을 이용함으로써, 홈 깊이가 얕게 되어 가공이 용이하게 된다. 이 굴절율 3 이상은, 홈 깊이가 파장/(굴절율-1)에 따르기 때문이다.
(실시예 6)
이하, 본 발명의 실시예 6에 있어서의 적외선 센서 장치에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.
도 10은 본 발명의 실시예 6에 있어서의 적외선 센서 장치의 측면도이다. 도 10에 나타내는 본 실시예는, 기본적으로는 도 8에 나타낸 실시예 6과 동일한 구성이기 때문에, 동일 구성 부분에는 동일 부호를 부여하고 설명을 생략한다. 본 실시예와 실시예 6의 서로 다른 점은, 실시예 6에서 설명한 적외선 입사창을, 본 실시예에서는 직접 복수개의 회절형 광학 소자로 구성된 렌즈 어레이로 이루어지는 적외선 입사창 렌즈 어레이로 하는 점이다.
도면에 있어서, (64)는 적어도 이 적외선 검출 소자(62)를 둘러싸는 원통 형상의 봉지체로, 고정대(61)의 측면에 구비되어 있다. 이 봉지체(64)의 상면의 개방을 덮도록, 적외선 입사창 렌즈 어레이(71)를 마련하고 있다. 이 적외선 입사창 렌즈 어레이(71)는, 복수개의 회절형 광학 소자(68)로 구성된 렌즈 어레이(69)를, 실리콘 또는 표면에 게르마늄 및 황화아연으로 제작된 필터가 마련된 실리콘에 구성한 것이다.
이상의 구성에 의해, 렌즈 어레이와 적외선 입사창을 일체화한 적외선 입사창 렌즈 어레이(71)를 구비하기 때문에, 저비용화가 가능하고, 더욱 소형화한 적외선 센서 장치를 제공할 수 있다고 하는 효과를 나타내는 것이다.
또, 실시예 5 및 실시예 6에 있어서, 회절 광학 소자(68)의 요철 패턴 형상은 타원형으로 하고, 이 타원형의 중심 위치는 외부로 갈수록 이 타원형의 한쪽의 장축 방향으로 서서히 어긋나게 함으로써, 광학 수차(收差)를 보정하였다. 이에 따라, 평면상에 회절형 광학 소자를 제작하더라도 수차가 없어진다고 하는 효과를 나타내는 것이다.
이상과 같이 본 발명은, 극성이 역 극성으로 되도록 접속한 대략 사다리꼴로 하고, 그 적외선 검지부의 대략 사다리꼴의 상측 바닥부와 다른쪽의 상기 적외선 검지부의 대략 사다리꼴의 하측 바닥부를 동일한 방향으로 배치하여 이루어지든가, 또는 대략 삼각형의 긴 변과 다른쪽의 대략 삼각형의 긴 변을 마주 보도록 배치하여 이루어지는 어느 하나의 적외선 검지부를 구비하는 것에 의해, 어느 방향으로부터의 검지 대상의 움직임에 대해서도 출력을 얻을 수 있다고 하는 효과를 나타내는 것이다.
도면의 참조 부호의 일람표
11 : 초전체 12, 13, 36, 37 : 제 1 전극
14, 15, 33, 34 : 제 2 전극 16 : 초전체 지지체
17 : 배선 기판 21, 23 : 절결부
22 : 사다리꼴의 사변 31 : 기판
32, 41 : 공동 38 : 층간 절연층
39 : 보호막 61 : 고정대
62 : 적외선 검출 소자 64 : 봉지체
65 : 적외선 입사창 66 : 공간
67 : 적외선 68 : 회절형 광학 소자
69 : 렌즈 어레이 70 : 요철 형상
Claims (57)
- 초전체와,상기 초전체의 한 측면에 배치되는 한 쌍의 제 1 전극 및 상기 초전체의 다른 측면에 배치되는 한 쌍의 제 2 전극을 포함하는 한 쌍의 적외선 검지부로서, 각 쌍의 적외선 검지부는 상기 한 쌍의 제 1 전극 중 하나 및 상기 한 쌍의 제 2 전극 중 하나를 포함하며, 상기 한 쌍의 제 1 전극의 각각은 대략 사다리꼴 형상이고, 상기 한 쌍의 제 1 전극은 서로 극성이 역 극성으로 되도록 상기 초전체에 전기적으로 접속되어 배치되는 상기 한 쌍의 적외선 검지부를 구비하며,상기 제 1 전극 중 하나의 대략 사다리꼴 형상의 상측면은 상기 제 1 전극 중 다른 하나의 대략 사다리꼴 형상의 하측면과 동일한 방향으로 정렬되고, 상기 한 쌍의 제 2 전극은 상기 한 쌍의 제 1 전극과 동일한 형상을 갖는적외선 검출 소자.
- 제 1 항에 있어서,상기 한 쌍의 전극의 각각은 서로 극성이 역 극성으로 되는 적외선 검출 소자.
- 제 1 항에 있어서,각각의 제 1 전극의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 절결부(notch)가 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 검출 소자.
- 제 1 항에 있어서,대략 장방형 형상의 절결부가, 그 수직 방향으로 각각의 제 1 전극의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 검출 소자.
- 제 1 항에 있어서,대략 원호형 형상의 절결부가, 각각의 제 1 전극의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 검출 소자.
- 제 3 항에 있어서,상기 적외선 검지부는, 적어도 제 1 전극인 적외선 검출 소자.
- 제 2 항에 있어서,각각의 제 1 전극의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 절결부가 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 검출 소자.
- 제 2 항에 있어서,대략 장방형 형상의 절결부가, 그 수직 방향으로 각각의 제 1 전극의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 검출 소자.
- 제 2 항에 있어서,대략 원호형 형상의 절결부가, 각각의 제 1 전극의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 검출 소자.
- 제 8 항에 있어서,상기 적외선 검지부는, 적어도 제 1 전극인 적외선 검출 소자.
- 제 9 항에 있어서,상기 적외선 검지부는, 제 1 전극인 적외선 검출 소자.
- 초전체와,상기 초전체의 한 측면에 배치되는 한 쌍의 제 1 전극 및 상기 초전체의 다른 측면에 배치되는 한 쌍의 제 2 전극을 갖는 적외선 검지부로서, 상기 한 쌍의 제 1 전극의 각각은 대략 사다리꼴 형상이고, 각각의 제 1 전극은, 상기 한 쌍의 제 1 전극 중 하나의 대략 사다리꼴 형상의 상측면이 제 1 전극 중 다른 하나의 대략 사다리꼴 형상의 하측면과 동일한 방향으로 정렬되도록 상기 초전체에 배치되는 상기 적외선 검지부와,상기 적외선 검지부에 초전체 지지체를 거쳐 전기적으로 접속된 배선 기판을 구비하는 적외선 센서 유닛.
- 제 12 항에 있어서,상기 한 쌍의 제 1 전극은, 각 전극의 극성이 역 극성으로 되도록 적외선을 흡수하는 기능을 갖고,상기 한 쌍의 제 2 전극은, 상기 한 쌍의 제 1 전극과 동일한 형상을 갖는 적외선 센서 유닛.
- 제 12 항에 있어서,상기 제 1 전극의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 절결부가 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 센서 유닛.
- 제 12 항에 있어서,대략 장방형 형상의 절결부가, 그 수직 방향으로 각각의 제 1 전극의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 센서 유닛.
- 제 12 항에 있어서,대략 원호형 형상의 절결부가, 각각의 제 1 전극의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 센서 유닛.
- 제 13 항에 있어서,제 1 전극, 초전 박막, 제 2 전극은 동일 형상인 적외선 센서 유닛.
- 표층부 밑에 공동(空洞)을 갖는 기판과,초전체와,각각이 대략 사다리꼴 형상이고, 상기 기판의 윗쪽에 마련된 한측의 대략 사다리꼴 형상의 상측과 다른 측의 대략 사다리꼴 형상의 하측을 동일한 방향으로 정렬되도록 배치하여 이루어지는 한 쌍의 적외선 검지부와,서로 이웃하는 상기 한 쌍의 적외선 검지부를 각각 전기적으로 절연시키고, 상기 기판 표층부의 상기 공동의 윗쪽에 상기 적외선 검지부를 유지하도록 마련된 층간 절연막과,적어도 상기 층간 절연막의 반대측에 위치하는 상기 한 쌍의 적외선 검지부의 표층부를 덮도록 마련된 보호막을 구비하는 적외선 센서 유닛.
- 제 18 항에 있어서,상기 한 쌍의 적외선 검지부는,초전 박막과,상기 초전 박막의 상면에 마련되어 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속한 대략 사다리꼴 형상의 적외선을 흡수하는 기능을 갖는 한 쌍의 제 1 전극과,상기 초전 박막의 다른 측면에 마련되어 전기적으로 접속된 한 쌍의 제 2 전극을 구비하는 적외선 센서 유닛.
- 제 18 항에 있어서,상기 공동은, 상기 기판의 대향하는 한 쌍의 측면까지 삽입 관통하여 마련되는 적외선 센서 유닛.
- 제 18 항에 있어서,상기 기판은, 적어도 산화마그네슘을 주성분으로서 갖는 단결정으로 형성되는 적외선 센서 유닛.
- 제 18 항에 있어서,상기 한 쌍의 적외선 검지부의 각각의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 절결부가 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 센서 유닛.
- 제 18 항에 있어서,대략 장방형 형상의 절결부가, 그 수직 방향으로 상기 한 쌍의 적외선 검지부의 각각의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 센서 유닛.
- 제 18 항에 있어서,대략 원호형 형상의 절결부가, 상기 한 쌍의 적외선 검지부의 각각의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 센서 유닛.
- 제 18 항에 있어서,상기 적외선 검지부는, 적어도 제 1 전극인 적외선 센서 유닛.
- 제 18 항에 있어서,제 1 전극, 초전 박막, 제 2 전극은 동일 형상인 적외선 센서 유닛.
- 제 18 항에 있어서,상기 각각의 적외선 검지부는 제 1 전극 및 제 2 전극을 포함하고, 상기 제 1 전극은 상기 초전체의 표층부에 배치되며, 상기 제 2 전극은 상기 초전체의 다른 표층부에 배치되고, 상기 제 2 전극은 상기 제 1 전극과 평면적으로 동일한 형상이며, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극은 상기 초전체를 거쳐 대향하는 위치에 배치되는 적외선 센서 유닛.
- 표층부 밑에 공동을 갖는 기판과,각각이 대략 사다리꼴 형상이고, 상기 기판의 윗쪽에 마련된 한측의 대략 사다리꼴 형상의 긴 변과 다른 측의 대략 사다리꼴 형상의 긴 변이 대향하도록 배치하여 이루어지는 한 쌍의 적외선 검지부와,서로 이웃하는 상기 한 쌍의 적외선 검지부를 각각 전기적으로 절연시키고, 상기 기판 표층부의 상기 공동의 윗쪽에 상기 한 쌍의 적외선 검지부를 유지하도록 마련된 층간 절연막과,적어도 상기 층간 절연막과 반대측에 위치하는 상기 한 쌍의 적외선 검지부의 표층부를 덮도록 마련된 보호막을 구비하는 적외선 센서 유닛.
- 제 28 항에 있어서,상기 한 쌍의 적외선 검지부는,초전 박막과,상기 초전 박막의 상면에 마련되어 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속한 대략 사다리꼴 형상의 적외선을 흡수하는 기능을 갖는 한 쌍의 제 1 전극과,상기 초전 박막의 다른 측면에 마련되어 전기적으로 접속된 한 쌍의 제 2 전극을 구비하는 적외선 센서 유닛.
- 제 28 항에 있어서,상기 한 쌍의 적외선 검지부의 각각의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 절결부가 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 센서 유닛.
- 제 28 항에 있어서,대략 장방형 형상의 절결부가, 그 수직 방향으로 상기 한 쌍의 적외선 검지부의 각각의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 센서 유닛.
- 제 28 항에 있어서,대략 원호형 형상의 절결부가, 상기 한 쌍의 적외선 검지부의 각각의 대략 사다리꼴 형상의 사변에 마련되고, 해당 사변은 대향하는 사다리꼴 형상의 사변의 바로 반대측에 위치하는 적외선 센서 유닛.
- 제 28 항에 있어서,상기 적외선 검지부는, 적어도 제 1 전극인 적외선 센서 유닛.
- 제 28 항에 있어서,제 1 전극, 초전 박막, 제 2 전극은 동일 형상인 적외선 센서 유닛.
- 제 28 항에 있어서,상기 공동은, 상기 기판의 대향하는 한 쌍의 측면까지 삽입 관통하여 마련되는 적외선 센서 유닛.
- 제 28 항에 있어서,상기 기판은, 적어도 산화마그네슘을 주성분으로서 갖는 단결정으로 형성되는 적외선 센서 유닛.
- 제 28 항에 있어서,상기 각각의 적외선 검지부는 제 1 전극 및 제 2 전극을 포함하고, 상기 제 1 전극은 상기 초전체의 표층부에 배치되며, 상기 제 2 전극은 상기 초전체의 다른 표층부에 배치되고, 상기 제 2 전극은 상기 제 1 전극과 평면적으로 동일한 형상이며, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극은 상기 초전체를 거쳐 대향하는 위치에 배치되는 적외선 센서 유닛.
- 인출(lead) 전극을 갖는 고정대와,초전체와, 한 쌍의 적외선 검지부를 갖는 적외선 검출 소자로서, 상기 한 쌍의 적외선 검지부의 각각은 대략 사리리꼴 또는 삼각형 형상이고, 제각기 상기 고정대에 탑재된 초전체에, ⅰ) 한측의 대략 사다리꼴 형상의 상측과 다른 측의 대략 사다리꼴 형상의 하측을 동일한 방향으로 정렬되도록 배치하든가, 또는 ⅱ) 한측의 대략 삼각형 형상의 긴 변과 다른 측의 대략 삼각형 형상의 긴 변이 대향하도록 배치하여 이루어지며, 또한 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속한 상기 적외선 검출 소자와,적어도 상기 적외선 검출 소자를 둘러싸도록 마련된 원통 형상의 봉지체와,상기 봉지체의 개구(opening)를 덮도록 마련된 적외선 입사창과,상기 적외선 입사창으로부터 윗쪽으로 이간되어 마련되며, 상점 거리 부근에 상기 적외선 소자를 갖는 복수의 회절형 광학 소자로 구성된 렌즈 어레이를 구비하는 적외선 검출 장치.
- 제 38 항에 있어서,각각의 회절형 광학 소자는, 대략 타원형의 요철 패턴을 갖고, 회절형 광학 소자가 외측으로 어긋남에 따라, 각각의 타원의 중심은 그 타원형의 긴 축에 따른 방향 중 한 방향으로 서서히 어긋나서 이루어지는 적외선 검출 장치.
- 제 38 항에 있어서,각각의 회절형 광학 소자의 요철 패턴은, 단면이 m단의 계단 형상이며, 상기 요철 패턴의 홈의 최대 깊이는 입사 적외선의 파장을 "λ", 상기 회절 광학 소자의 굴절율을 "n"으로 하면, [(m-1)/m]×[λ/(n-1)]인 적외선 검출 장치.
- 제 38 항에 있어서,상기 렌즈 어레이는 굴절율이 3 이상이며, 적어도 Si 또는 Ge를 포함하는 제 1 물질과, 적어도 Ga 또는 In를 포함하는 제 2 물질과, 적어도 As 또는 P를 포함하는 제 3 물질로 형성되는 적외선 검출 장치.
- 제 38 항에 있어서,고정대, 봉지체 및 적외선 입사창에 의해 둘러싸이는 공간을, 저 열전도 가스와 산소를 혼합하는 분위기로 한 적외선 검출 장치.
- 제 42 항에 있어서,저 열전도 가스는, Xe, Kr 또는 프레온 각각의 단체, 또는 이들 가스의 혼합체를 주성분으로 하는 가스인 적외선 검출 장치.
- 제 43 항에 있어서,상기 프레온 가스는, HCFC계 가스를 주성분으로 하는 적외선 검출 장치.
- 제 43 항에 있어서,상기 프레온 가스는, CF3I계 가스를 주성분으로 하는 적외선 검출 장치.
- 제 42 항에 있어서,저 열전도 가스는, 대기압 미만의 가스 분위기를 갖는 상기 공간 내에 포함되어 있는 적외선 검출 장치.
- 제 42 항에 있어서,상기 공간 내에서 방출되는 탈 가스를 흡착하기 위한 흡착제를 포함한 적외선 검출 장치.
- 제 38 항에 있어서,상기 각각의 적외선 검지부는 제 1 전극 및 제 2 전극을 포함하고, 상기 제 1 전극은 상기 초전체의 표층부에 배치되며, 상기 제 2 전극은 상기 초전체의 다른 표층부에 배치되고, 상기 제 2 전극은 상기 제 1 전극과 평면적으로 동일한 형상이며, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극은 상기 초전체를 거쳐서 대향하는 위치에 배치되는 적외선 검출 장치.
- 인출 전극을 갖는 고정대와,초전체와 한 쌍의 적외선 검지부를 갖는 적외선 검출 소자로서, 상기 한 쌍의 적외선 검지부의 각각은 대략 사리리꼴 또는 삼각형 형상이고, 제각기 상기 고정대에 탑재된 초전체에, ⅰ) 한측의 대략 사다리꼴 형상의 상측과 다른 측의 대략 사다리꼴 형상의 하측을 동일한 방향으로 정렬되도록 배치하든가, 또는 ⅱ) 한측의 대략 삼각형 형상의 긴 변과 다른 측의 대략 삼각형 형상의 긴 변이 대향하도록 배치하여 이루어지며, 또한 극성이 역 극성으로 되도록 전기적으로 접속한 상기 적외선 검출 소자와,적어도 상기 적외선 검출 소자를 둘러싸도록 마련된 원통 형상의 봉지체와,상기 적외선 검출 소자를 갖는 복수의 회절형 광학 소자를 포함하는 적외선 입사창 렌즈 어레이를 구비하며,상기 적외선 검출 소자는 상점 거리 부근에 상기 봉지체의 개구를 덮도록 마련되는 적외선 검출 장치.
- 제 49 항에 있어서,각각의 회절형 광학 소자는, 대략 타원형의 요철 패턴을 갖고, 회절형 광학 소자가 외측으로 어긋남에 따라, 각각의 타원의 중심은 그 타원형의 긴 축에 따른 방향 중 한 방향으로 서서히 어긋나서 이루어지는 적외선 검출 장치.
- 제 49 항에 있어서,각각의 회절형 광학 소자의 요철 패턴은, 단면이 m단의 계단 형상이며, 상기 요철 패턴의 홈의 최대 깊이는 입사 적외선의 파장을 "λ", 상기 회절 광학 소자의 굴절율을 "n"으로 하면, [(m-1)/m]×[λ/(n-1)]인 적외선 검출 장치.
- 제 49 항에 있어서,상기 렌즈 어레이는 굴절율이 3 이상이며, 적어도 Si 또는 Ge를 포함하는 제 1 물질과, 적어도 Ga 또는 In를 포함하는 제 2 물질과, 적어도 As 또는 P를 포함하는 제 3 물질로 형성되는 적외선 검출 장치.
- 제 49 항에 있어서,고정대, 봉지체 및 적외선 입사창에 의해 둘러싸이는 공간을, 저 열전도 가스와 산소를 혼합하는 분위기로 한 적외선 검출 장치.
- 제 49 항에 있어서,상기 각각의 적외선 검지부는 제 1 전극 및 제 2 전극을 포함하고, 상기 제 1 전극은 상기 초전체의 표층부에 배치되며, 상기 제 2 전극은 상기 초전체의 다른 표층부에 배치되고, 상기 제 2 전극은 상기 제 1 전극과 평면적으로 동일한 형상이며, 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극은 상기 초전체를 거쳐서 대향하는 위치에 배치되는 적외선 검출 장치.
- (a) 초전체와,(b) 상기 초전체의 상측에 배치되고, 서로 전기적으로 접속되는 제 1 정극성 영역 및 제 1 부극성 영역을 각각 갖는 한 쌍의 제 1 전극과,(c) 상기 초전체의 하측에 배치되고, 서로 전기적으로 접속되는 제 2 정극성 영역 및 제 2 부극성 영역을 각각 갖는 한 쌍의 제 2 전극을 구비하며,상기 한 쌍의 제 1 전극과, 상기 한 쌍의 제 2 전극은, 적외선 흡수막으로서 작용하는 기능을 제공하고, 평면적으로 동일한 형상이며, 상기 초전체를 거쳐 대향하는 위치에 배치되는 적외선 검출 소자.
- 제 55 항에 있어서,상기 한 쌍의 제 1 전극과, 상기 한 쌍의 제 2 전극의 각각은, 평면적으로 대략 사다리꼴 형상을 갖는 적외선 검출 소자.
- 제 55 항에 있어서,상기 한 쌍의 제 1 전극의 각각은, 평면적으로 대략 사다리꼴 형상을 갖고, 상기 사다리꼴 형상의 각각은 긴 변과 짧은 변을 가지며, 상기 한 쌍의 제 1 전극 중 제 1 전극의 긴 변과 또 다른 제 1 전극의 짧은 변은 상기 초전체의 동일한 측면에 배치되는 적외선 검출 소자.
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3096598 | 1998-02-13 | ||
JP3096498 | 1998-02-13 | ||
JP98-030964 | 1998-02-13 | ||
JP98-030965 | 1998-02-13 | ||
PCT/JP1999/000615 WO1999041575A1 (fr) | 1998-02-13 | 1999-02-12 | Element detecteur a infrarouge, et unite capteur a infrarouge et detecteur a infrarouge utilisant ledit element detecteur |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20010006151A KR20010006151A (ko) | 2001-01-26 |
KR100530397B1 true KR100530397B1 (ko) | 2005-11-22 |
Family
ID=26369413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-1999-7009230A KR100530397B1 (ko) | 1998-02-13 | 1999-02-12 | 적외선 검출 소자, 이 적외선 검출 소자를 이용한 적외선 센서 유닛 및 적외선 검출 장치 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6403959B1 (ko) |
EP (1) | EP0977023B1 (ko) |
KR (1) | KR100530397B1 (ko) |
CN (1) | CN1318827C (ko) |
DE (1) | DE69932897T2 (ko) |
WO (1) | WO1999041575A1 (ko) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4876304B2 (ja) * | 2000-09-08 | 2012-02-15 | パナソニック電工株式会社 | 焦電型赤外線センサ |
EP2677288A4 (en) * | 2011-02-18 | 2017-12-13 | Nec Corporation | Infrared detection sensor array and infrared detection device |
US8436306B2 (en) * | 2011-02-24 | 2013-05-07 | Ngk Insulators, Ltd. | Pyroelectric element |
US20130325256A1 (en) * | 2012-05-29 | 2013-12-05 | Delphi Technologies, Inc. | Non-contact gesture recognition system and method |
JP5531062B2 (ja) | 2012-07-31 | 2014-06-25 | Eizo株式会社 | マスクの構造 |
US9939323B2 (en) * | 2012-12-28 | 2018-04-10 | Illinois Tool Works Inc. | IR sensor with increased surface area |
NL2010323C2 (en) | 2013-02-18 | 2014-08-21 | Tvilight B V | Motion detector system, lighting system with such system and method for detecting moving vehicles and/or pedestrians. |
JP5866585B1 (ja) * | 2015-05-20 | 2016-02-17 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 受光センサ、それを用いた空気調和機および電子調理器 |
TWI646672B (zh) | 2017-12-01 | 2019-01-01 | 財團法人工業技術研究院 | 紅外線感測元件及其製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH02201228A (ja) | 1989-01-31 | 1990-08-09 | Nippon Ceramic Co Ltd | 焦電型赤外線検出器 |
JPH04158583A (ja) | 1990-10-22 | 1992-06-01 | Matsushita Electric Works Ltd | 赤外線検出素子 |
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- 1999-02-12 CN CNB998001228A patent/CN1318827C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1999-02-12 US US09/402,969 patent/US6403959B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-02-12 KR KR10-1999-7009230A patent/KR100530397B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-02-12 WO PCT/JP1999/000615 patent/WO1999041575A1/ja active IP Right Grant
- 1999-02-12 DE DE69932897T patent/DE69932897T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1999-02-12 EP EP99902891A patent/EP0977023B1/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20010006151A (ko) | 2001-01-26 |
DE69932897T2 (de) | 2007-03-08 |
US6403959B1 (en) | 2002-06-11 |
CN1318827C (zh) | 2007-05-30 |
DE69932897D1 (de) | 2006-10-05 |
CN1255970A (zh) | 2000-06-07 |
WO1999041575A1 (fr) | 1999-08-19 |
EP0977023A4 (en) | 2004-11-03 |
EP0977023A1 (en) | 2000-02-02 |
EP0977023B1 (en) | 2006-08-23 |
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Legal Events
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
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