JPWO2018117047A1 - 2層感光層ロール - Google Patents
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Abstract
Description
[1]
支持体フィルムと、
前記支持体フィルム上に設けられた、感光性樹脂組成物を含む感光層と、
を有する感光層ロールであって、
前記感光性樹脂組成物がフェノール樹脂、ポリイミド前駆体、ポリベンズオキサゾール前駆体、及び可溶性ポリイミドから成る群から選択される少なくとも1つの樹脂を含み、かつ前記感光層は、溶融粘度が500Pa・s以下となる温度点を有する層である、感光層ロール。
[2]
前記感光層は、溶融粘度が350Pa・s以下となる温度点を有する層である、[1]に記載の感光層ロール。
[3]
前記感光層は、100℃における溶融粘度が500Pa・s以下である、[1]又は[2]に記載の感光層ロール。
[4]
前記感光層は、100℃における溶融粘度が350Pa・s以下である、[3]に記載の感光層ロール。
[5]
前記感光層の前記支持体フィルムが設けられた側とは反対側にカバーフィルムを有し、かつ前記カバーフィルムの軟化温度が90℃以上である、[1]〜[4]のいずれか1項に記載の感光層ロール。
[6]
前記カバーフィルムの軟化温度が、110℃以上である、[5]に記載の感光層ロール。
[7]
前記感光層中に含まれる有機溶媒の量が、前記感光層の総量に対して0.1質量%以上15質量%以下である、[1]〜[6]のいずれか1項に記載の感光層ロール。
[8]
前記感光層中に含まれる有機溶媒の量が、前記感光層の総量に対して1質量%以上15質量%以下である、[7]に記載の感光層ロール。
[9]
前記有機溶媒が、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、プロピレングリコールモノメチルエーテル、tert−ブチルアルコール及びテトラヒドロフルフリルアルコールから成る群から選択される少なくとも一つを含む、[7]又は[8]に記載の感光層ロール。
[10]
前記有機溶媒が、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、N−メチル−2−ピロリドン及びジメチルスルホキシドから成る群から選択される少なくとも一つを含む、[9]に記載の感光層ロール。
[11]
前記感光性樹脂組成物が前記ポリイミド前駆体を含む、[1]〜[10]のいずれか1項に記載の感光層ロール。
[12]
前記感光性樹脂組成物が前記ポリベンズオキサゾール前駆体を含む、[1]〜[10]のいずれか1項に記載の感光層ロール。
[13]
前記感光性樹脂組成物が前記可溶性ポリイミドを含む、[1]〜[10]のいずれか1項に記載の感光層ロール。
[14]
前記感光性樹脂組成物が前記フェノール樹脂を含む、[1]〜[10]のいずれか1項に記載の感光層ロール。
[15]
前記フェノール樹脂が、下記一般式(1):
で表される構造を繰り返し単位として有する、[14]に記載の感光層ロール。
[16]
前記一般式(1)中のXが、下記一般式(3):
で表される2価の基、及び下記一般式(4):
で表される2価の基から成る群から選ばれる2価の有機基である、[15]に記載の感光層ロール。
[17]
前記一般式(1)中のXが、下記式(6):
[18]
前記一般式(1)中のXが、下記式(7):
[19]
前記フェノール樹脂が、下記一般式(8):
で表される繰り返し単位の両方を同一樹脂骨格内に有する、[15]〜[18]のいずれか1項に記載の感光層ロール。
[20]
支持体フィルムと、
前記支持体フィルム上に設けられた、感光性樹脂組成物を含む感光層と、
を有する感光層ロールであって、
前記感光性樹脂組成物がフェノール樹脂、ポリイミド前駆体、ポリベンズオキサゾール前駆体、及び可溶性ポリイミドから成る群から選択される少なくとも1つの樹脂を含み、かつ前記支持体フィルムの両面は、前記感光層と接している、感光層ロール。
[21]
前記感光層中に含まれる有機溶媒の量が、前記感光層の総量に対して0.1質量%以上15質量%以下である、[20]に記載の感光層ロール。
[22]
前記感光層中に含まれる有機溶媒の量が、前記感光層の総量に対して1質量%以上15質量%以下である、[21]に記載の感光層ロール。
[23]
前記感光性樹脂組成物が前記フェノール樹脂を含む、[21]又は[22]に記載の感光層ロール。
[24]
前記有機溶媒が、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、プロピレングリコールモノメチルエーテル、tert−ブチルアルコール及びテトラヒドロフルフリルアルコールから成る群から選択される少なくとも一つを含む、[21]〜[23]のいずれか1項に記載の感光層ロール。
[25]
前記有機溶媒が、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、N−メチル−2−ピロリドン及びジメチルスルホキシドからなる群から選択される少なくとも一つを含む、[24]に記載の感光層ロール。
[26]
前記感光性樹脂組成物が前記ポリイミド前駆体を含む、[20]〜[25]のいずれか1項に記載の感光層ロール。
[27]
前記感光性樹脂組成物が前記ポリベンズオキサゾール前駆体を含む、[20]〜[25]のいずれか1項に記載の感光層ロール。
[28]
前記感光性樹脂組成物が前記可溶性ポリイミドを含む、[20]〜[25]のいずれか1項に記載の感光層ロール。
[29]
前記感光性樹脂組成物がフェノール樹脂を含む、[20]〜[25]のいずれか1項に記載の感光層ロール。
[30]
前記フェノール樹脂が、下記一般式(1):
で表される構造を繰り返し単位として有する、[29]に記載の感光層ロール。
[31]
前記一般式(1)中のXが、下記一般式(3):
で表される2価の基、及び下記一般式(4):
で表される2価のアルキレンオキシド基、及び下記式(5):
で表される2価の基から成る群から選ばれる2価の有機基である、[30]に記載の感光層ロール。
[32]
前記一般式(1)中のXが、下記式(6):
[33]
前記一般式(1)中のXが、下記式(7):
[34]
前記フェノール樹脂が、下記一般式(8):
で表される繰り返し単位、及び下記一般式(9):
[35]
[1]〜[34]のいずれか1項に記載の感光層ロールをスリッターでスリットしてスリット感光層ロールを製造するスリット感光層ロールの製造方法。
[36]
前記スリッターの歯が加熱されている、[35]に記載のスリット感光層ロールの製造方法。
[37]
前記スリッターの歯が100℃以上に加熱されている、[36]に記載のスリット感光層ロールの製造方法。
[38]
以下の工程:
[1]〜[34]のいずれか1項に記載の感光層ロールが、前記感光層の前記支持体フィルムが設けられた側とは反対側にカバーフィルムを有する場合には、前記カバーフィルムを剥離する工程と、
前記カバーフィルムを有さない前記感光層ロールをスリッターでスリットする工程と、
スリットされた前記感光層ロールに、前記剥離したカバーフィルム又は前記剥離したカバーフィルムとは別のカバーフィルムを貼る工程と、
を含むスリット感光層ロールの製造方法。
[39]
前記スリッターの歯が加熱されている、[38]に記載のスリット感光層ロールの製造方法。
[40]
前記スリッターの歯が100℃以上に加熱されている、[39]に記載のスリット感光層ロールの製造方法。
以下、カバーフィルムを含まず、支持体フィルムの両面が感光層と接する感光層ロールを2層感光層ロールとして説明する。
上記課題を解決するために、第1の実施形態に係る2層感光層ロールはカバーフィルムを含まない点を特徴としている。
本実施形態に係る支持体フィルムとしては、表面が平滑であれば特に限定されないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の重合体フィルムを用いることができ、中でも、ポリエチレンテレフタレートフィルム(以下、「PETフィルム」という)が好ましい。
支持体フィルムに離型剤をコートする場合は、離型の効果が得られる限度で薄くコートすることが好ましい。コート後は、熱又はUV処理により離型剤を支持体フィルムに定着させてもよい。離型剤をコートする前に、支持体フィルムに下塗り層を施すことがより好ましい。
感光層は、支持体フィルムに、好ましくは支持体フィルムの離型処理された面に、フェノール樹脂、ポリイミド前駆体、ポリベンズオキサゾール前駆体、及び可溶性ポリイミドから成る群から選択される少なくとも1つの樹脂を含む感光性樹脂組成物を塗布することにより形成される。
以下、感光性樹脂組成物に含まれる成分について説明する。
一般に、フェノール樹脂は、フェノール化合物とアルデヒド化合物から形成される熱硬化性樹脂である。
本実施形態では、感光層の熱溶融性の観点から、フェノール樹脂(A)は、下記一般式(1):
式(1)で表される構造の繰り返し単位を有するフェノール樹脂(A)は、例えばポリイミド樹脂及びポリベンズオキサゾール樹脂と比べて、低温での硬化が可能であり、かつ良好な伸度を有する硬化膜の形成を可能し、ひいては感光層の熱溶融性に寄与する。
熱溶融性に優れた感光層は、スリット時、特にスリッターの歯を加熱してスリットした際に、切断面にクラックが発生し難く、断面が平滑になるようにスリットできるため好ましい。
さらに、本実施形態では、上記一般式(1)において、a及びbは、1≦(a+b)≦4の関係を満たす。
式(4)中のWとしては、硬化膜の伸度及び熱溶融性の観点から、単結合、上記一般式(2)で表されるアルキレンオキシド基、並びに上記式(5)のうちエステル基、アミド基及びスルホニル基から成る群から選ばれる2価の有機基、が好ましい。
上記割合は、アルカリ可溶性の観点から、好ましくは80質量%以下、より好ましくは70質量%以下である。また、感光層の熱溶融性及びアルカリ可溶性の観点から、フェノール樹脂(A)は、下記一般式(8):
で表される繰り返し単位、及び下記一般式(9):
で表される繰り返し単位の両方を同一樹脂骨格内に有することが特に好ましい。
重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定し、標準ポリスチレンを用いて作成した検量線により算出することができる。
酸性の触媒としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、亜リン酸、メタンスルホン酸、p−トルエンスルホン酸、ジメチル硫酸、ジエチル硫酸、酢酸、シュウ酸、1−ヒドロキシエチリデン−1,1’−ジホスホン酸、酢酸亜鉛、三フッ化ホウ素、三フッ化ホウ素・フェノール錯体、三フッ化ホウ素・エーテル錯体等が挙げられる。
アルカリ性の触媒としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水酸化バリウム、炭酸ナトリウム、トリエチルアミン、ピリジン、4−N,N−ジメチルアミノピリジン、ピペリジン、ピペラジン、1,4−ジアザビシクロ[2.2.2]オクタン、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ[4.3.0]−5−ノネン、アンモニア、ヘキサメチレンテトラミン等が挙げられる。
本実施形態では、フェノール樹脂(A)を得るために使用される触媒の量は、共重合成分の合計モル数、好ましくは、アルデヒド化合物、ケトン化合物、メチロール化合物、アルコキシメチル化合物、ジエン化合物及びハロアルキル化合物の合計モル数100モル%に対して、0.01モル%〜100モル%の範囲であることが好ましい。
フェノール樹脂(A)とフェノール樹脂(A’)との混合比は、質量比で(A)/(A’)=10/90〜90/10の範囲であることが好ましい。この混合比は、アルカリ水溶液中での溶解性、及び硬化膜の伸度の観点から、(A)/(A’)=10/90〜90/10であることが好ましく、(A)/(A’)=20/80〜80/20であることがより好ましく、(A)/(A’)=30/70〜70/30であることがさらに好ましい。
尚、ノボラック樹脂及びポリヒドロキシスチレン樹脂から成る群から選択されるフェノール樹脂は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。
本実施形態では、感光性樹脂組成物は、紫外線、電子線、X線等に代表される活性光線(すなわち放射線)に感応して樹脂パターンを形成できる組成物である。感光性樹脂組成物は、ネガ型(すなわち未照射部が現像により溶出するもの)又はポジ型(すなわち照射部が現像により溶出するもの)のいずれであってもよい。
トリス(2,4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3−クロロフェニル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−クロロフェニル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3−メトキシフェニル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−メトキシフェニル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メチルチオフェニル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3−メチルチオフェニル)ビス(4,6−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(2−メチルチオフェニル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシナフチル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3−メトキシナフチル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−メトキシナフチル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3,4,5−トリメトキシ−β−スチリル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メチルチオ−β―スチリル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3−メチルチオ−β―スチリル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2−メチルチオ−β−スチリル)−ビス(4,6−トリクロロメチル)−s−トリアジン等;
ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロホスフェート、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロアルセネート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、ジフェニルヨードニウム−p−トルエンスルホナート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスホネート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスホナート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウム−p−トルエンスルホナート、ビス(4−ter−ブチルフェニル)ヨードニウムテトラフルオロボレート、ビス(4−ter−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロアルセネート、ビス(4−ter−ブチルフェニル)ヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、ビス(4−ter−ブチルフェニル)ヨードニウムトリフルオロアセテート、ビス(4−ter−ブチルフェニル)ヨードニウム−p−トルエンスルホナート等;
トリフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスホネート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、トリフェニルスルホニウムメタンスルホナート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、トリフェニルスルホニウム−p−トルエンスルホナート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムテトラフルオロボレート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスホネート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムヘキサフルオロアルセネート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムメタンスルホナート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウム−p−トルエンスルホナート、4−フェニルチオフェニルジフェニルテトラフルオロボレート、4−フェニルチオフェニルジフェニルヘキサフルオロホスホネート、4−フェニルチオフェニルジフェニルヘキサフルオロアルセネート、4−フェニルチオフェニルジフェニルトリフルオロメタンスルホナート、4−フェニルチオフェニルジフェニルトリフルオロアセテート、4−フェニルチオフェニルジフェニルーp−トルエンスルホナート等。
ジアリールヨードニウム塩類としては、ジフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホナート、4−メトキシフェニルフェニルヨードニウムトリフルオロアセテート等が好ましい。
トリアリールスルホニウム塩類としては、トリフェニルスルホニウムメタンスルホナート、トリフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムメタンスルホナート、4−メトキシフェニルジフェニルスルホニウムトリフルオロアセテート、4−フェニルチオフェニルジフェニルトリフルオロメタンスルホナート、4−フェニルチオフェニルジフェニルトリフルオロアセテート等が好ましい。
この他にも、光酸発生剤(B)として、以下に示す化合物を用いることもできる。
ジアゾケトン化合物として、例えば、1,3−ジケト−2−ジアゾ化合物、ジアゾベンゾキノン化合物、ジアゾナフトキノン化合物等を挙げることができる。具体例としてはフェノール類の1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル化合物を挙げることができる。
スルホン化合物として、例えば、β−ケトスルホン化合物、β−スルホニルスルホン化合物及びこれらの化合物のα−ジアゾ化合物を挙げることができる。具体例として、4−トリスフェナシルスルホン、メシチルフェナシルスルホン、ビス(フェナシルスルホニル)メタン等を挙げることができる。
スルホン酸化合物として、例えば、アルキルスルホン酸エステル類、ハロアルキルスルホン酸エステル類、アリールスルホン酸エステル類、イミノスルホネート類等を挙げることができる。スルホン酸化合物の好ましい具体例としては、ベンゾイントシレート、ピロガロールトリストリフルオロメタンスルホネート、o−ニトロベンジルトリフルオロメタンスルホネート、o−ニトロベンジル−p−トルエンスルホネート等を挙げることができる。
スルホンイミド化合物として、例えば、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)フタルイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ジフェニルマレイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ナフチルイミド等を挙げることができる。
オキシムエステル化合物として、具体的には、2−[2−(4−メチルフェニルスルホニルオキシイミノ)]−2,3−ジヒドロチオフェン−3−イリデン]−2−(2−メチルフェニル)アセトニトリル(チバスペシャルティケミカルズ社商品名「イルガキュアPAG121」)、[2−(プロピルスルホニルオキシイミノ)−2,3−ジヒドロチオフェン−3−イリデン]−2−(2−メチルフェニル)アセトニトリル(チバスペシャルティケミカルズ社商品名「イルガキュアPAG103」)、[2−(n−オクタンスルホニルオキシイミノ)−2,3−ジヒドロチオフェン−3−イリデン]−2−(2−メチルフェニル)アセトニトリル(チバスペシャルティケミカルズ社商品名「イルガキュアPAG108」)、α−(n−オクタンスルホニルオキシイミノ)−4−メトキシベンジルシアニド(チバスペシャルティケミカルズ社商品名「CGI725」)等を挙げることができる。
ジアゾメタン化合物として、具体的には、ビス(トリフルオロメチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタン等を挙げることができる。
本実施形態では、感光性樹脂組成物がネガ型である場合には、フェノール樹脂(A)100質量部に対する光酸発生剤(B)の配合量は、0.1〜50質量部であることが好ましく、1〜40質量部であることがより好ましい。該配合量が0.1質量部以上であれば感度の向上効果を良好に得ることができ、該配合量が50質量部以下であれば硬化膜の機械物性が良好である。
で表されるものが挙げられる。
上記NQD化合物は、単独で使用しても2種類以上混合して使用してもよい。
本実施形態では、感光性樹脂組成物がポジ型である場合の光酸発生剤(B)の使用量は、本組成物のフェノール樹脂(A)100質量部に対して、好ましくは0.1〜70質量部、より好ましくは1〜40質量部、さらに好ましくは5〜30質量部である。この使用量が0.1質量部以上であれば良好な感度が得られ、70質量部以下であれば硬化膜の機械物性が良好である。
溶剤(C)としては、アミド類、スルホキシド類、ウレア類、ケトン類、エステル類、ラクトン類、エーテル類、ハロゲン化炭化水素類、炭化水素類等が挙げられ、例えば、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、テトラメチル尿素、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、シュウ酸ジエチル、乳酸エチル、乳酸メチル、乳酸ブチル、γ−ブチロラクトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ベンジルアルコール、フェニルグリコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、tert−ブチルアルコール、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、モルフォリン、ジクロロメタン、1,2−ジクロロエタン、1,4−ジクロロブタン、クロロベンゼン、o−ジクロロベンゼン、アニソール、ヘキサン、ヘプタン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン等を使用することができる。中でも、樹脂の溶解性、樹脂組成物の安定性、基板への接着性、熱溶融性、保存安定性、及びブロッキング性の観点から、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、プロピレングリコールモノメチルエーテル、tert−ブチルアルコール及びテトラヒドロフルフリルアルコールが好ましく、この中でも、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、N−メチル−2−ピロリドン、及びジメチルスルホキシドが特に好ましい。
シリコーン型界面活性剤とは、シロキサン結合及びケイ素−炭素結合を分子内に有している界面活性剤である。例えばジメチルシロキサンエチレンオキシグラフト化合物、ジメチルシロキサンプロピレンオキシグラフト化合物、(ヒドロキシエチレンオキシプロピル)メチルシロキサン−ジメチルシロキサン化合物等が挙げられる。
本実施形態に係る感光性樹脂組成物には、必要に応じて、架橋剤(E)、熱酸発生剤、シランカップリング剤、染料、溶解促進剤等を含有させることが可能である。
架橋剤(E)は、本実施形態に係る感光性樹脂組成物を用いて形成されたレリーフパターンを加熱硬化する際に、フェノール樹脂(A)と架橋し得るか、又は架橋剤自身が架橋ネットワークを形成するような化合物である。架橋剤(E)は、熱架橋可能な化合物であれば限定されない。一般に、架橋剤は、分子内に架橋基を2個以上有し、かつ感光性樹脂組成物から形成された硬化膜の熱特性、機械特性、及び耐薬品性をさらに向上させることができる。
熱酸発生剤としては、熱により酸が発生する化合物であれば限定されないが、例えば、クロロ酢酸アリル、クロロ酢酸n−ブチル、クロロ酢酸t−ブチル、クロロ酢酸エチル、クロロ酢酸メチル、クロロ酢酸ベンジル、クロロ酢酸イソプロピル、クロロ酢酸2−メトキシエチル、ジクロロ酢酸メチル、トリクロロ酢酸メチル、トリクロロ酢酸エチル、トリクロロ酢酸2−エトキシエチル、シアノ酢酸t−ブチル、メタクリル酸t−ブチル、トリフルオロ酢酸エチル、トリフルオロ酢酸メチル、トリフルオロ酢酸フェニル、トリフルオロ酢酸ビニル、トリフルオロ酢酸イソプロピル、トリフルオロ酢酸アリル、安息香酸エチル、安息香酸メチル、安息香酸t−ブチル、2−クロロ安息香酸メチル、2−クロロ安息香酸エチル、4−クロロ安息香酸エチル、2,5−ジクロロ安息香酸エチル、2,4−ジクロロ安息香酸メチル、p−フルオロ安息香酸エチル、p−フルオロ安息香酸メチル、ペンタクロロフェニルカルボン酸t−ブチル、ペンタフルオロプロピオン酸メチル、ペンタフルオロプロピオン酸エチル、クロトン酸t−ブチル等のカルボン酸エステル類;フェノールフタレイン、チモールフタレイン等の環状カルボン酸エステル類;メタンスルホン酸エチル、メタンスルホン酸メチル、メタンスルホン酸2−メトキシエチル、メタンスルホン酸2−イソプロポキシエチル、p−トルエンスルホン酸フェニル、p−トルエンスルホン酸エチル、p−トルエンスルホン酸メチル、p−トルエンスルホン酸2−フェニルエチル、p−トルエンスルホン酸n−プロピル、p−トルエンスルホン酸n−ブチル、p−トルエンスルホン酸t−ブチル、p−トルエンスルホン酸n−ヘキシル、p−トルエンスルホン酸n−ヘプチル、p−トルエンスルホン酸n−オクチル、p−トルエンスルホン酸2−メトキシエチル、p−トルエンスルホン酸プロパルギル、p−トルエンスルホン酸3−ブチニル、トリフルオロメタンスルホン酸エチル、トリフルオロメタンスルホン酸n−ブチル、パーフルオロブタンスルホン酸エチル、パーフルオロブタンスルホン酸メチル、ベンジル(4−ヒドロキシフェニル)メチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ベンジル(4−ヒドロキシフェニル)メチルスルホニウムヘキサフルオロホスフェート、トリメチルスルホニウムメチルスルファート、トリ−p−スルホニウムトリフルオロメタンスルホネート、トリメチルスルホニウムトリフルオロメタンスルホナート、ピリジニウム−p−トルエンスルホナート、パーフルオロオクタンスルホン酸エチル等のスルホン酸エステル類;1,4−ブタンスルトン、2,4−ブタンスルトン、1,3−プロパンスルトン、フェノールレッド、ブロモクレゾールグリーン、ブロモクレゾールパープル等の環状スルホン酸エステル類;2−スルホ安息香酸無水物、p−トルエンスルホン酸無水物、フタル酸無水物等の芳香族カルボン酸無水物、等が挙げられる。
表される化合物が好ましい。
シランカップリング剤を使用する場合の配合量としては、フェノール樹脂(A)100質量部に対して、0.01〜20質量部が好ましい。
溶解促進剤を使用する場合の配合量としては、(A)フェノール樹脂100質量部に対して、0.1〜30質量部が好ましい。
(A)ポリイミド前駆体
ポリイミド前駆体組成物に用いる感光性樹脂としては、ポリアミド、ポリアミド酸エステル等を挙げることができる。例えば、ポリアミド酸エステルとしては、下記一般式(11):
{式(11)中、R1及びR2は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜30の飽和脂肪族基、芳香族基、炭素−炭素不飽和二重結合を有する一価の有機基、又は、炭素−炭素不飽和二重結合を有する一価のイオンであり、X1は4価の有機基であり、Y1は2価の有機基であり、mは1以上の整数であり、そしてmは2以上が好ましく、5以上がより好ましい。}
で表される繰り返し単位を含むポリアミド酸エステルを用いることができる。
で表される1価の有機基、又は下記一般式(13):
で表される1価の有機基の末端にアンモニウムイオンを有する構造である。
で表される少なくとも1つの構造を含む4価の有機基であることが好ましい。
で表される少なくとも1つの構造を含む2価の有機基であることが好ましい。
ネガ型の感光性樹脂の場合、樹脂組成物に光開始剤を添加する。光開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルケトン、ジベンジルケトン、及びフルオレノン等のベンゾフェノン誘導体;2,2’−ジエトキシアセトフェノン、及び2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン等のアセトフェノン誘導体;1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、及びジエチルチオキサントン等のチオキサントン誘導体;ベンジル、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール等のベンジル誘導体;ベンゾインメチルエーテル等のベンゾイン誘導体;2,6−ジ(4’−ジアジドベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、及び2,6’−ジ(4’−ジアジドベンザル)シクロヘキサノン等のアジド類;1−フェニル−1,2−ブタンジオン−2−(O−メトキシカルボニル)オキシム、1−フェニルプロパンジオン−2−(O−メトキシカルボニル)オキシム、1−フェニルプロパンジオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェニルプロパンジオン−2−(O−ベンゾイル)オキシム、1,3−ジフェニルプロパントリオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−3−エトキシプロパントリオン−2−(O−ベンゾイル)オキシム等のオキシム類;N−フェニルグリシン等のN−アリールグリシン類;ベンゾイルパーオキシド等の過酸化物類;芳香族ビイミダゾール類;並びにチタノセン類などが用いられる。これらのうち、光感度の点で上記オキシム類が好ましい。
ポジ型の感光性樹脂の場合、樹脂組成物に光酸発生剤を添加する。樹脂組成物が光酸発生剤を含有することにより、紫外線露光部に酸が発生し、露光部のアルカリ水溶液に対する溶解性が増大する。これにより、樹脂をポジ型感光性樹脂組成物として用いることができる。
(C)溶剤は、上記項目[フェノール樹脂を含む感光性樹脂組成物]で説明された溶剤と同じである。好ましい溶媒の種類及び量についても、上記項目[フェノール樹脂を含む感光性樹脂組成物]で説明された種類及び量と同じである。
上記ポリイミド前駆体組成物から形成される硬化レリーフパターンの構造は、下記一般式(1):
{式(1)中、X1、Y1、及びmは、上記一般式(11)中で定義されたX1、Y1、及びmと同じでよく、例えば、X1は4価の有機基であり、Y1は2価の有機基であり、mは1以上の整数である。}
で表される。
一般式(11)中の好ましいX1、Y1、及びmは、一般式(11)について説明された理由と同じ理由により、一般式(1)で表されるポリイミドにおいても好ましい。
(A)ポリベンズオキサゾール前駆体
ポリベンズオキサゾール前駆体組成物に用いる感光性樹脂としては、下記一般式(14):
で表される繰り返し単位を含むポリ(o−ヒドロキシアミド)を用いることができる。
で表される少なくとも1つの構造を含む2価の有機基である。
光酸発生剤は、光照射部のアルカリ水溶液可溶性を増大させる機能を有するものである。光酸発生剤としては、例えば、ジアゾナフトキノン化合物、アリールジアゾニウム塩、ジアリールヨードニウム塩、トリアリールスルホニウム塩等が挙げられる。このうち、ジアゾナフトキノン化合物は、感度が高く好ましい。
(C)溶剤は、上記項目[フェノール樹脂を含む感光性樹脂組成物]で説明された溶剤と同じである。好ましい溶媒の種類及び量についても、上記項目[フェノール樹脂を含む感光性樹脂組成物]で説明された種類及び量と同じである。
上記ポリベンズオキサゾール前駆体組成物から形成される硬化レリーフパターンの構造は、下記一般式(10):
{式(10)中、U及びVは、上記一般式(14)中で定義されたU及びVと同じである。}
で表される。一般式(14)中の好ましいU及びVは、一般式(14)について説明されら理由と同じ理由により、一般式(10)のポリベンズオキサゾールにおいても好ましい。
本発明の第2の実施形態に係る感光層ロールは、
支持体フィルムと、
前記支持体フィルム上に設けられた感光性樹脂組成物を含む感光層と、
を有し、前記感光性樹脂組成物がフェノール樹脂、ポリイミド前駆体、ポリベンズオキサゾール前駆体、及び可溶性ポリイミドから成る群から選択される少なくとも1つの樹脂を含み、かつ前記感光層は溶融粘度が500Pa・s以下となる温度点を有する層である。
上記課題を解決するために、第2の実施形態に係る感光層ロールは、感光層が、溶融粘度500Pa・s以下となる温度点を有する層であることを特徴とする。
本実施形態に係る感光性フィルムの作製方法について説明する。
感光層は、上記感光性樹脂組成物を液状感光性樹脂組成物として支持体フィルム上に塗布することで形成することができる。
塗布の方法としては、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の方法が挙げられる。また、溶剤(C)の除去は、例えば、加熱により行うことができる。感光層中の有機溶媒の残量の観点から、有機溶媒を除去するときに、加熱温度が、好ましくは約70〜150℃、より好ましくは100〜140℃であり、かつ/又は加熱時間が、好ましくは約1分間〜30分間、より好ましくは約3分間〜20分間、さらに好ましくは約4分間〜10分間である。
感光性フィルムは、例えば、円筒状等の形態を有する巻芯に巻き取り、感光層ロールとして、ロール状の形態で貯蔵することができる。巻芯としては、従来用いられているものであれば特に限定されず、その材料としては、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ABS樹脂(アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体)等のプラスチック等が挙げられる。貯蔵時には、支持体フィルムが最も外側になるように巻き取られることが好ましい。また、ロール状に巻き取られた感光性フィルム(感光性フィルムロール)の端面には、端面保護の観点から端面セパレータを設置することが好ましく、加えて耐エッジフュージョンの観点から、防湿端面セパレータを設置することが好ましい。また、感光性フィルム又は感光層ロールを梱包する際には、透湿性の小さいブラックシートに包んで包装することが好ましい。
作製した感光層ロールをスリッターで所望の幅にスリットすることでスリット感光層ロールを製造することができる。
スリッターの切断面でシワ又はクラックを抑制するという観点から、スリッターの歯は加熱されていることが好ましい。スリッターの歯の加熱温度は、80℃以上であってもよく、90℃以上であってもよく、100℃以上であってもよく、110℃以上であってもよく、120℃以上であってもよく、130℃以上であってもよい。
前記感光層ロールが前記感光層の前記支持体フィルムが設けられた側とは反対側にカバーフィルムを有する場合には、前記カバーフィルムを剥離する工程と、
前記カバーフィルムを有さない前記感光層ロールをスリッターでスリットする工程と、
前記スリットされた前記感光層ロールに、前記剥離したカバーフィルム又は前記剥離したカバーフィルムとは別のカバーフィルムを貼る工程と、
を含むことが好ましい。
スリット感光層ロールの感光層を基材上へ積層する方法としては、感光層を70〜130℃程度に加熱しながら基材に0.1〜1MPa程度(すなわち、1〜10kgf/cm2程度)の圧力でラミネータ等を用いて圧着する方法等が挙げられる。積層工程は減圧下で行ってもよい。感光層が積層される基材の表面は、特に制限されない。
現像液としては、例えば、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ類、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の有機アミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド等の4級アンモニウム塩類等の水溶液、及び必要に応じて、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒、又は界面活性剤を適当量添加した水溶液を使用することができる。これらの中で、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液が好ましい。テトラメチルアンモニウムヒドロキシドの濃度は、好ましくは、0.5〜10質量%であり、より好ましくは、1〜5質量%である。
最後に、このようにして得られたレリーフパターンを加熱することで硬化レリーフパターンを得ることができる。加熱温度は、150℃以上300℃以下が好ましく、250℃以下がより好ましい。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。
<フェノール樹脂(A−1)の合成>
容量0.5リットルのディーン・スターク装置付きセパラブルフラスコ中で、フロログルシノール100.9g(0.8mol)、4,4’−ビス(メトキシメチル)ビフェニル(以下「BMMB」ともいう。)121.2g(0.5mol)、ジエチル硫酸3.9g(0.025mol)、及びジエチレングリコールジメチルエーテル140gを70℃で混合攪拌し、固形物を溶解させた。
次に反応容器を大気中で冷却し、これに別途100gのテトラヒドロフランを加えて攪拌した。反応希釈液を4Lの水に高速攪拌下で滴下し、樹脂を分散析出させ、これを回収し、適宜水洗、脱水の後に、真空乾燥を施し、フロログルシノール/BMMBから成る共重合体(フェノール樹脂(A−1))を収率70%で得た。
<フェノール樹脂(A−2)の合成>
合成例1のフロログルシノールの代わりに、3,5−ジヒドロキシ安息香酸メチル128.3g(0.76mol)を用いたこと以外は合成例1と同様に合成を行い、3,5−ジヒドロキシ安息香酸メチル/BMMBから成る共重合体(フェノール樹脂(A−2))を収率65%で得た。
<フェノール樹脂(A−3)の合成>
容量1.0Lのディーン・スターク装置付きセパラブルフラスコを窒素置換し、その後、セパラブルフラスコ中で、レゾルシノール81.3g(0.738mol)、BMMB84.8g(0.35mol)、p−トルエンスルホン酸3.81g(0.02mol)、及びプロピレングリコールモノメチルエーテル(以下「PGME」ともいう。)116gを50℃で混合攪拌し、固形物を溶解させた。
次に、別の容器で2,6−ビス(ヒドロキシメチル)−p−クレゾール24.9g(0.150mol)、及びPGME249gを混合撹拌し、均一に溶解させた溶液を、滴下漏斗を用いて、上記セパラブルフラスコに1時間に亘って滴下し、滴下後、更に2時間撹拌した。
反応終了後は合成例1と同様の処理を行い、レゾルシノール/BMMB/2,6−ビス(ヒドロキシメチル)−p−クレゾールから成る共重合体(フェノール樹脂(A−3))を収率77%で得た。
<ポリイミド前駆体(A−5)の合成>
容量2Lのセパラブルフラスコ中で、ピロメリット酸二無水物87.2g(0.4mol)、イソブチルアルコール59.3g(0.8mol)、及びγ―ブチロラクトン(以下「GBL」ともいう。)320gを室温(25℃)で混合攪拌し、溶解させ、氷冷下で攪拌しながらピリジン63.3g(0.8mol)を加え、発熱終了後、室温まで法冷し、16時間放置した。
<ポリベンズオキサゾール前駆体(A−6)の合成>
容量2Lのセパラブルフラスコ中で、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)−ヘキサフルオロプロパン197.8g(0.54mol)、ピリジン75.9g(0.96mol)、及びDMAc692gを室温(25℃)で混合攪拌し溶解させた。
滴下終了後、反応液を湯浴により50℃に加温し、18時間撹拌した後、反応液のIRスペクトルの測定を行い、1385cm−1及び1772cm−1のイミド基の特性吸収が現れたことを確認した。
滴下終了から3時間後、上記反応液を12Lの水に高速攪拌下で滴下し、重合体を分散析出させ、これを回収し、適宜水洗、脱水の後に、真空乾燥を施し、ポリベンズオキサゾール前駆体(A−6)を得た。
A−1:フロログルシノール/BMMBから成る共重合体、ポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)=15,000
A−2:3,5−ジヒドロキシ安息香酸メチル/BMMBから成る共重合体、ポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)=21,000
A−3:レゾルシノール/BMMB/2,6−ビス(ヒドロキシメチル)−p−クレゾールから成る共重合体、ポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)=9,900
A−4:ノボラック樹脂、ポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)=10,600(旭有機材社製、製品名EP−4080G)
A−5:ポリイミド前駆体
A−6:ポリベンズオキサゾール前駆体
C−1:γ−ブチロラクトン(GBL)
C−2:メチルエチルケトン
C−3:アセトン
C−4:N,N−ジメチルホルムアミド
D−1:シリコーン型界面活性剤 DBE821(商品名、Gelest社製)
D−2:シリコーン型界面活性剤 DBE224(商品名、Gelest社製)
E−1:1,3,4,6−テトラキス(メトキシメチル)グリコールウリル(三和ケミカル製、商品名;ニカラックMX−270)
下記表1に示される組成のとおり、樹脂(A)、光酸発生剤(B)、界面活性剤(D)、及び架橋剤(E)を、溶剤(C)に溶解させ、0.1μmのフィルターで濾過して、ポジ型感光性樹脂組成物を調製した。
支持体フィルムとして、シリコーン系化合物で離型処理されたPETフィルム「PET25X」(リンテック株式会社製、幅290mm、厚さ25μm)を準備した。
(実施例1)
支持体フィルムとして、離型処理PETフィルムである「PET25X」を用い、離型処理面の上に、上記表1に示される組成を有する感光性樹脂組成物の溶液を塗布した。次いで、感光性樹脂組成物の溶液を塗布したPETフィルムを120℃の熱風で5分間に亘って乾燥させ、感光層を形成させた。その際、加熱後の感光層の厚さが10μmとなるようにした。上記組成の幅300mmの感光性フィルムを、外径3.5インチの円筒状プラスチック管に、巻き軸幅方向に対して平行に配置された加圧ロールを用いて、プラスチック管に対し線状に圧力を掛け、7kgの張力で1000m巻き取って、感光性フィルムロールを得た。
上記表1に示す成分、組成物及び乾燥条件を用いたこと以外は実施例1と同じ手順に従って、各感光性フィルムロールを作製した。
上記表1に示す成分、組成物及び乾燥条件を用いたこと、並びに感光性フィルムロールを得る際に感光層の上に軟化温度が90℃のカバーフィルムを設けたこと以外は実施例1と同じ手順に従って、各感光性フィルムロールを作製した。
実施例及び比較例でそれぞれ作製した感光性フィルムロールから感光性フィルムを巻き出し、感光層を支持体フィルムから剥離し、剥離した感光層をガスクロマトグラフィー(アジレント・テクノロジー株式会社製、商品名「6890N」)で分析して、フェノール樹脂100質量部に対する残溶媒量(質量部)を測定した。
<溶融粘度>
実施例及び比較例でそれぞれ作製した感光性フィルムロールから感光性フィルムを巻き出し、感光層を支持体フィルムから剥離し、剥離した感光層を溶融粘度測定装置(ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン株式会社製、製品名「DHR−2」)を用いて、以下の条件で測定した。温度100℃における溶融粘度を表1に示す。
・サンプル形状
膜厚:0.5mmt
直径:25mm円板
・測定条件
開始温度:50℃
昇温速度:5℃/min
終了温度:220℃
歪 :0.1%
周波数 :1Hz
荷重 :0.5N(±0.1N)
実施例及び比較例でそれぞれ作製した感光性フィルムロールを室温(25℃)で1か月以上保管した後に、ロールの巻出しを目視で観察して、下記基準により評価した。
S(著しく良好):ロール形態で、1ヶ月以上室温で保存しても、支持体フィルム裏面に感光層が付着しない。
A(良好):ロール形態で、1ヶ月室温で保存すると、支持体フィルム裏面に感光層の一部が付着する。
実施例及び比較例でそれぞれ作製した感光性フィルムロールから感光性フィルムを巻き出し、感光層を130℃に加熱しながらガラス板上に積層し、感光層を転写した特性評価用サンプルを作製した。次いで、特性評価用サンプルから支持体フィルムを剥離除去し、感光層の転写の状態を目視により評価した。
S(著しく良好):支持体フィルムに感光層が付着することなく、剥離除去が可能。
A(良好):感光層の一部で、支持体フィルムに感光層が付着した状態で剥離。
B(不良):感光層の全面で、支持体フィルムに感光層が付着した状態で剥離。
実施例及び比較例でそれぞれ作製した感光性フィルムロールを、歯を100℃に加熱したスリッターでスリットした。スリットした際のクラックの発生及び切断面の美観を目視により評価した。
S(著しく良好):クラックは発生せず、切断面も平滑である。
A(良好):クラックは発生していないが、切断面に少し凹凸がある。
B(不良):クラックは発生した。
比較例で作製した感光性フィルムロールを、100℃に加熱した歯を有するスリッターでスリットし、カバーフィルムに発生したしわを目視で評価した。
A(良好):カバーフィルムにしわが発生しない。
B(不良):カバーフィルムにしわが発生した。
各実施例および比較例について、各特性評価結果を上記表1に示した。
Claims (40)
- 支持体フィルムと、
前記支持体フィルム上に設けられた、感光性樹脂組成物を含む感光層と、
を有する感光層ロールであって、
前記感光性樹脂組成物がフェノール樹脂、ポリイミド前駆体、ポリベンズオキサゾール前駆体、及び可溶性ポリイミドから成る群から選択される少なくとも1つの樹脂を含み、かつ前記感光層は、溶融粘度が500Pa・s以下となる温度点を有する層である、感光層ロール。 - 前記感光層は、溶融粘度が350Pa・s以下となる温度点を有する層である、請求項1に記載の感光層ロール。
- 前記感光層は、100℃における溶融粘度が500Pa・s以下である、請求項1又は2に記載の感光層ロール。
- 前記感光層は、100℃における溶融粘度が350Pa・s以下である、請求項3に記載の感光層ロール。
- 前記感光層の前記支持体フィルムが設けられた側とは反対側にカバーフィルムを有し、かつ前記カバーフィルムの軟化温度が90℃以上である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光層ロール。
- 前記カバーフィルムの軟化温度が、110℃以上である、請求項5に記載の感光層ロール。
- 前記感光層中に含まれる有機溶媒の量が、前記感光層の総量に対して0.1質量%以上15質量%以下である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の感光層ロール。
- 前記感光層中に含まれる有機溶媒の量が、前記感光層の総量に対して1質量%以上15質量%以下である、請求項7に記載の感光層ロール。
- 前記有機溶媒が、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、プロピレングリコールモノメチルエーテル、tert−ブチルアルコール及びテトラヒドロフルフリルアルコールから成る群から選択される少なくとも一つを含む、請求項7又は8に記載の感光層ロール。
- 前記有機溶媒が、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、N−メチル−2−ピロリドン及びジメチルスルホキシドから成る群から選択される少なくとも一つを含む、請求項9に記載の感光層ロール。
- 前記感光性樹脂組成物が前記ポリイミド前駆体を含む、請求項1〜10のいずれか1項に記載の感光層ロール。
- 前記感光性樹脂組成物が前記ポリベンズオキサゾール前駆体を含む、請求項1〜10のいずれか1項に記載の感光層ロール。
- 前記感光性樹脂組成物が前記可溶性ポリイミドを含む、請求項1〜10のいずれか1項に記載の感光層ロール。
- 前記感光性樹脂組成物が前記フェノール樹脂を含む、請求項1〜10のいずれか1項に記載の感光層ロール。
- 前記フェノール樹脂が、下記一般式(1):
で表される構造を繰り返し単位として有する、請求項14に記載の感光層ロール。 - 前記一般式(1)中のXが、下記一般式(3):
で表される2価の基、及び下記一般式(4):
で表される2価の基から成る群から選ばれる2価の有機基である、請求項15に記載の感光層ロール。 - 前記フェノール樹脂が、下記一般式(8):
で表される繰り返し単位の両方を同一樹脂骨格内に有する、請求項15〜18のいずれか1項に記載の感光層ロール。 - 支持体フィルムと、
前記支持体フィルム上に設けられた、感光性樹脂組成物を含む感光層と、
を有する感光層ロールであって、
前記感光性樹脂組成物がフェノール樹脂、ポリイミド前駆体、ポリベンズオキサゾール前駆体、及び可溶性ポリイミドから成る群から選択される少なくとも1つの樹脂を含み、かつ前記支持体フィルムの両面は、前記感光層と接している、感光層ロール。 - 前記感光層中に含まれる有機溶媒の量が、前記感光層の総量に対して0.1質量%以上15質量%以下である、請求項20に記載の感光層ロール。
- 前記感光層中に含まれる有機溶媒の量が、前記感光層の総量に対して1質量%以上15質量%以下である、請求項21に記載の感光層ロール。
- 前記感光性樹脂組成物が前記フェノール樹脂を含む、請求項21又は22に記載の感光層ロール。
- 前記有機溶媒が、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、プロピレングリコールモノメチルエーテル、tert−ブチルアルコール及びテトラヒドロフルフリルアルコールから成る群から選択される少なくとも一つを含む、請求項21〜23のいずれか1項に記載の感光層ロール。
- 前記有機溶媒が、γ−ブチロラクトン、アセトン、メチルエチルケトン、N−メチル−2−ピロリドン及びジメチルスルホキシドからなる群から選択される少なくとも一つを含む、請求項24に記載の感光層ロール。
- 前記感光性樹脂組成物が前記ポリイミド前駆体を含む、請求項20〜25のいずれか1項に記載の感光層ロール。
- 前記感光性樹脂組成物が前記ポリベンズオキサゾール前駆体を含む、請求項20〜25のいずれか1項に記載の感光層ロール。
- 前記感光性樹脂組成物が前記可溶性ポリイミドを含む、請求項20〜25のいずれか1項に記載の感光層ロール。
- 前記感光性樹脂組成物がフェノール樹脂を含む、請求項20〜25のいずれか1項に記載の感光層ロール。
- 前記フェノール樹脂が、下記一般式(1):
で表される構造を繰り返し単位として有する、請求項29に記載の感光層ロール。 - 前記一般式(1)中のXが、下記一般式(3):
で表される2価の基、及び下記一般式(4):
で表される2価のアルキレンオキシド基、及び下記式(5):
で表される2価の基から成る群から選ばれる2価の有機基である、請求項30に記載の感光層ロール。 - 前記フェノール樹脂が、下記一般式(8):
で表される繰り返し単位、及び下記一般式(9):
- 請求項1〜34のいずれか1項に記載の感光層ロールをスリッターでスリットしてスリット感光層ロールを製造するスリット感光層ロールの製造方法。
- 前記スリッターの歯が加熱されている、請求項35に記載のスリット感光層ロールの製造方法。
- 前記スリッターの歯が100℃以上に加熱されている、請求項36に記載のスリット感光層ロールの製造方法。
- 以下の工程:
請求項1〜34のいずれか1項に記載の感光層ロールが、前記感光層の前記支持体フィルムが設けられた側とは反対側にカバーフィルムを有する場合には、前記カバーフィルムを剥離する工程と、
前記カバーフィルムを有さない前記感光層ロールをスリッターでスリットする工程と、
スリットされた前記感光層ロールに、前記剥離したカバーフィルム又は前記剥離したカバーフィルムとは別のカバーフィルムを貼る工程と、
を含むスリット感光層ロールの製造方法。 - 前記スリッターの歯が加熱されている、請求項38に記載のスリット感光層ロールの製造方法。
- 前記スリッターの歯が100℃以上に加熱されている、請求項39に記載のスリット感光層ロールの製造方法。
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