JPWO2011087018A1 - 弾性波装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(SAW装置の構成)
図1は、本発明の第1の実施形態に係るSAW装置1の外観斜視図である。
図5(a)〜図7(c)は、SAW装置1の製造方法を説明する、図4に相当する断面図である。製造工程は、図5(a)から図7(c)まで順に進んでいく。
図8は、本発明の第2の実施形態に係るSAW装置101の配線構造を示す模式的な平面図(図3に相当する図)である。なお、SAW装置101の枠部115の平面形状は、基板3の外縁、ならびに振動空間および配線空間の外縁(2点鎖線)で表わされる形状と概ね同じである。そこで、図8では、枠部115の符号も付している。
図9は、本発明の第3の実施形態に係るSAW装置201の配線構造を示す模式的な平面図(図3に相当する図)である。なお、図9では、図8と同様に、枠部215の符号も付している。
また、振動空間と配線空間とが近接する部分が少なくなるため、両者の間の主仕切壁の剥がれによって振動空間と配線空間とが連通する可能性が低くなるという利点もある。
図10は、本発明の第4の実施形態に係るSAW装置301の断面図(図4に相当する図)である。
Claims (8)
- 基板と、
前記基板の主面に位置する弾性波素子と、
前記主面に位置し、前記弾性波素子に接続された第1配線と、
前記第1配線上に位置する絶縁体と、
前記絶縁体上に位置し、前記第1配線と前記絶縁体を介して立体的に交差する立体配線部を少なくとも1つ有する第2配線と、
前記主面との間に前記弾性波素子および前記立体配線部を封止するカバーと、
を有し、
前記主面と前記カバーとの間には、前記立体配線部を収容する配線空間が位置している
弾性波装置。 - 前記主面と前記カバーとの間には、前記弾性波素子を収容する振動空間がさらに位置している
請求項1に記載の弾性波装置。 - 前記振動空間と前記配線空間とは隔離されている
請求項2に記載の弾性波装置。 - 前記振動空間は、弾性波の伝搬方向を長手方向とする長方形状であり、
前記立体配線部および前記配線空間は、前記振動空間に対して前記弾性波の伝搬路の側方に位置している
請求項2または3に記載の弾性波装置。 - 前記立体配線部は、前記弾性波素子に対して弾性波の伝搬路の側方に位置し、前記伝搬路に沿って複数設けられ、
前記配線空間は、前記複数の立体配線部毎に設けられており、
前記振動空間と前記複数の配線空間とを仕切るようにして両空間の間に介在している、前記伝搬方向に延びる主仕切壁と、前記複数の配線空間を仕切るようにして配線空間同士の間に介在している、前記伝搬方向に交差する方向に延びる副仕切壁と、をさらに有する
請求項2〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記立体配線部において、前記第1配線および前記第2配線は、弾性波の伝搬方向に対して傾斜する方向に延びており、
前記配線空間を構成する内壁は、前記傾斜する方向に沿って形成されている
請求項2〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記カバー上に位置し、平面視において前記振動空間に重なり、前記配線空間に重ならない範囲に設けられた金属層をさらに有する
請求項2〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記配線空間の端部は、前記主面の平面視において外方に向かって凸状に湾曲している
請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性波装置。
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