JPWO2010047311A1 - 静電チャックの検査方法及び静電チャック装置 - Google Patents
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Abstract
Description
誘電体内に当該誘電体の表面に沿って配置された正吸着電極及び負吸着電極を有して静電気により被吸着物を吸着する双極型の静電チャックと、接地電位部を基準にして、前記静電チャックの正吸着電極及び負吸着電極に正の直流電圧及び負の直流電圧をそれぞれ供給するチャック電源とを備えている静電チャック装置において、
前記静電チャックの誘電体内であって、前記正吸着電極及び負吸着電極の背面側には、これら吸着電極との間に所定の間隔をあけてそれぞれ対向するように、正補助電極及び負補助電極を設けると共に、これら補助電極を前記接地電位部に接続し、
前記静電チャック上に被吸着物を載せていない状態で前記チャック電源から前記静電チャックへの前記正及び負の直流電圧を印加し又は切った時の、(a)前記静電チャックの正吸着電極と前記チャック電源との間を流れる第1の過渡電流、(b)前記静電チャックの正補助電極と前記接地電位部との間を流れる第2の過渡電流、(c)前記静電チャックの負吸着電極と前記チャック電源との間を流れる第3の過渡電流、及び(d)前記静電チャックの負補助電極と前記接地電位部との間を流れる第4の過渡電流の内の少なくとも三つの過渡電流をそれぞれ測定すると共に、前記第1の過渡電流と第2の過渡電流との差又は前記第3の過渡電流と第4の過渡電流との差である第5の過渡電流を算出し、得られた各過渡電流を正常な静電チャックから得られた各過渡電流の基準値とそれぞれ比較し、前記静電チャック内の各吸着電極の周辺における静電容量の異常を判定する判定工程を行うことを特徴としている。
誘電体内に当該誘電体の表面に沿って配置された正吸着電極及び負吸着電極を有して静電気により被吸着物を吸着する双極型の静電チャックと、接地電位部を基準にして、前記静電チャックの正吸着電極及び負吸着電極に正の直流電圧及び負の直流電圧をそれぞれ供給するチャック電源とを備えている静電チャック装置において、
前記静電チャックの誘電体内であって、前記正吸着電極及び負吸着電極の背面側に、これら吸着電極との間に所定の間隔をあけてそれぞれ対向するように配置された正補助電極及び負補助電極と、前記静電チャックの正吸着電極と前記チャック電源との間に接続されてこれらの間を流れる第1の過渡電流を測定する第1の電流計と、前記静電チャックの正補助電極と前記接地電位部との間に接続されてこれらの間を流れる第2の過渡電流を測定する第2の電流計と、前記静電チャックの負吸着電極と前記チャック電源との間に接続されてこれらの間を流れる第3の過渡電流を測定する第3の電流計と、前記静電チャックの負補助電極と前記接地電位部との間に接続されてこれらの間を流れる第4の過渡電流を測定する第4の電流計と、前記第1の過渡電流と第2の過渡電流との差又は前記第3の過渡電流と第4の過渡電流との差として求められる第5の過渡電流を算出する演算手段と、
前記静電チャック上に被吸着物を載せていない状態で前記チャック電源から前記静電チャックへの前記正及び負の直流電圧を印加し又は切った際に、前記第1乃至第4の電流計の内の少なくとも三つの電流計で測定される前記第1乃至第4の過渡電流の内の少なくとも三つの過渡電流を測定すると共に、前記演算手段で算出される前記第5の過渡電流を算出し、得られた各過渡電流を正常な静電チャックから得られた各過渡電流の基準値とそれぞれ比較し、前記静電チャック内の静電容量の異常を判定する機能を備えた判定装置とを備えていることを特徴としている。
なお、以下の実施例においては、チャック電源から静電チャックへの正及び負の直流電圧を印加した時の過渡電流を用いて静電チャックの検査を行う場合について説明するが、チャック電源から静電チャックへの正及び負の直流電圧を切った時の過渡電流を用いて静電チャックの検査を行う場合も、同様に実施することができる。
この静電チャック装置は、静電気によって被吸着物(例えばウェーハ等の基板)2を吸着する双極型の静電チャック4と、この静電チャック4の正吸着電極8及び負吸着電極10に、接地電位部GNDを基準にして、正の直流電圧+V及び負の直流電圧−Vをそれぞれ供給するチャック電源26とを備えている。
Claims (6)
- 誘電体内に当該誘電体の表面に沿って配置された正吸着電極及び負吸着電極を有して静電気により被吸着物を吸着する双極型の静電チャックと、接地電位部を基準にして、前記静電チャックの正吸着電極及び負吸着電極に正の直流電圧及び負の直流電圧をそれぞれ供給するチャック電源とを備えている静電チャック装置において、
前記静電チャックの誘電体内であって、前記正吸着電極及び負吸着電極の背面側には、これら吸着電極との間に所定の間隔をあけてそれぞれ対向するように、正補助電極及び負補助電極を設けると共に、これら補助電極を前記接地電位部に接続し、
前記静電チャック上に被吸着物を載せていない状態で前記チャック電源から前記静電チャックへの前記正及び負の直流電圧を印加し又は切った時の、(a)前記静電チャックの正吸着電極と前記チャック電源との間を流れる第1の過渡電流、(b)前記静電チャックの正補助電極と前記接地電位部との間を流れる第2の過渡電流、(c)前記静電チャックの負吸着電極と前記チャック電源との間を流れる第3の過渡電流、及び(d)前記静電チャックの負補助電極と前記接地電位部との間を流れる第4の過渡電流の内の少なくとも三つの過渡電流をそれぞれ測定すると共に、前記第1の過渡電流と第2の過渡電流との差又は前記第3の過渡電流と第4の過渡電流との差である第5の過渡電流を算出し、得られた各過渡電流を正常な静電チャックから得られた各過渡電流の基準値とそれぞれ比較し、前記静電チャック内の各吸着電極の周辺における静電容量の異常を判定する判定工程を行うことを特徴とする静電チャックの検査方法。 - 前記判定工程は、前記チャック電源から前記静電チャックへの前記正及び負の直流電圧を印加した時の、
(a)前記第1及び第2の過渡電流の少なくとも一方の過渡電流を測定し、当該過渡電流がそのピーク値の所定割合に下がるまでの時間を、それに対応する正常な静電チャックの時間と比較し、前記静電チャックの正吸着電極と正補助電極との間の静電容量の異常を判定する第1の工程と、
(b)前記第3及び第4の過渡電流の少なくとも一方の過渡電流を測定し、当該過渡電流がそのピーク値の所定割合に下がるまでの時間を、それに対応する正常な静電チャックの時間と比較し、前記静電チャックの負吸着電極と負補助電極との間の静電容量の異常を判定する第2の工程と、
(c)前記第1の過渡電流と第2の過渡電流との差又は第3の過渡電流と第4の過渡電流との差として求められた第5の過渡電流のピーク値を、それに対応する正常な静電チャックのピーク値と比較し、前記静電チャックの正吸着電極と負吸着電極との間の静電容量の異常を判定する第3の工程とを含む請求項1に記載の静電チャックの検査方法。 - 前記静電チャックの正補助電極は正吸着電極に対応した形状をしており、負補助電極は負吸着電極に対応した形状をしている請求項1又は2に記載の静電チャックの検査方法。
- 誘電体内に当該誘電体の表面に沿って配置された正吸着電極及び負吸着電極を有して静電気により被吸着物を吸着する双極型の静電チャックと、接地電位部を基準にして、前記静電チャックの正吸着電極及び負吸着電極に正の直流電圧及び負の直流電圧をそれぞれ供給するチャック電源とを備えている静電チャック装置において、
前記静電チャックの誘電体内であって、前記正吸着電極及び負吸着電極の背面側に、これら吸着電極との間に所定の間隔をあけてそれぞれ対向するように配置された正補助電極及び負補助電極と、
前記静電チャックの正吸着電極と前記チャック電源との間に接続されてこれらの間を流れる第1の過渡電流を測定する第1の電流計と、
前記静電チャックの正補助電極と前記接地電位部との間に接続されてこれらの間を流れる第2の過渡電流を測定する第2の電流計と、
前記静電チャックの負吸着電極と前記チャック電源との間に接続されてこれらの間を流れる第3の過渡電流を測定する第3の電流計と、
前記静電チャックの負補助電極と前記接地電位部との間に接続されてこれらの間を流れる第4の過渡電流を測定する第4の電流計と、
前記第1の過渡電流と第2の過渡電流との差又は前記第3の過渡電流と第4の過渡電流との差として求められる第5の過渡電流を算出する演算手段と、
前記静電チャック上に被吸着物を載せていない状態で前記チャック電源から前記静電チャックへの前記正及び負の直流電圧を印加し又は切った際に、前記第1乃至第4の電流計の内の少なくとも三つの電流計で測定される前記第1乃至第4の過渡電流の内の少なくとも三つの過渡電流を測定すると共に、前記演算手段で算出される前記第5の過渡電流を算出し、得られた各過渡電流を正常な静電チャックから得られた各過渡電流の基準値とそれぞれ比較し、前記静電チャック内の静電容量の異常を判定する機能を備えた判定装置とを備えていることを特徴とする静電チャック装置。 - 前記判定装置は、前記チャック電源から前記静電チャックへの前記正及び負の直流電圧を印加した時の、
(a)前記第1及び第2の過渡電流の少なくとも一方の過渡電流を測定し、当該過渡電流がそのピーク値の所定割合に下がるまでの時間を、それに対応する正常な静電チャックの時間と比較し、前記静電チャックの正吸着電極と正補助電極との間の静電容量の異常を判定する第1の機能と、
(b)前記第3及び第4の過渡電流の少なくとも一方の過渡電流を測定し、当該過渡電流がそのピーク値の所定割合に下がるまでの時間を、それに対応する正常な静電チャックの時間と比較し、前記静電チャックの負吸着電極と負補助電極との間の静電容量の異常を判定する第2の機能と、
(c)前記第1の過渡電流と第2の過渡電流との差又は第3の過渡電流と第4の過渡電流との差として求められた第5の過渡電流のピーク値を、それに対応する正常な静電チャックのピーク値と比較し、前記静電チャックの正吸着電極と負吸着電極との間の静電容量の異常を判定する第3の機能とを含む請求項4に記載の静電チャック装置。 - 前記静電チャックの正補助電極は正吸着電極に対応した形状をしており、負補助電極は負吸着電極に対応した形状をしている請求項4又は5に記載の静電チャック装置。
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