JPWO2009031654A1 - 駆動制御方法、駆動制御装置、ステージ制御方法、ステージ制御装置、露光方法、露光装置及び計測装置 - Google Patents
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Abstract
少なくとも第1方向と該第1方向とは異なる第2方向に移動可能な物体を制御する駆動制御方法であって、前記物体を前記第1方向に移動させるための第1アクチュエータを駆動する駆動信号と、前記物体の出力端における前記第2方向の外乱信号に基づいて生成される外乱補正信号と、に基づいて前記物体に加わる力を制御する。
Description
本発明は、駆動制御方法、駆動制御装置、ステージ制御方法、ステージ制御装置、露光方法、露光装置及び計測装置に関する。
本願は、2007年9月7日に出願された特願2007−233325号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
本願は、2007年9月7日に出願された特願2007−233325号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
従来、例えば液晶ディスプレイ(総称としてフラットパネルディスプレイ)を製造する工程においては、基板(ガラス基板)にトランジスタやダイオード等の素子を形成するために露光装置が多く使用されている。この露光装置は、レジストを塗布した基板をステージ装置のホルダに載置し、マスクに描かれた微細な回路パターンを投影レンズ等の光学系を介して基板に転写するものである。近年では、例えばステップ・アンド・スキャン方式の露光装置が用いられることが多くなっている(例えば、特開2000−077313号公報参照)。
ステップ・アンド・スキャン方式の露光装置は、スリット状の露光光をマスクに照射している状態で、マスクと基板とを投影光学系に対して互いに同期移動させつつマスクに形成されたパターンの一部を基板のショット領域に逐次転写し、1つのショット領域に対するパターンの転写が終了する度に基板をステップ移動させて他のショット領域へのパターン転写を行う露光装置である。
基板表面に設定された複数の区画領域(ショット領域)の各々に対して露光処理を行う場合には、基板とマスクとの位置関係を同期させつつ、露光すべきエネルギー量に見合った速度で、ほぼ定速で移動させる必要がある。このため、基板が搭載された基板ステージとマスクを載置したマスクステージとを助走(加速)させ、この助走中にステージ間の同期をとり、その後基板上の露光対象となっているショット領域が露光領域(露光位置)に差し掛かった時点で、露光光を露光領域に照射して露光が行われるという手順が踏まれる。
露光光を露光領域に照射する際には、例えば投影光学系に基づくジャストフォーカスの状態(投影光学系PLの結像点と基板の露光領域のZ方向位置が一致する)を保持するように、例えばセンサなどによって前記投影光学系に含まれるレンズと基板との間の距離を測定し、フィードバック制御によってオートフォーカスを行う機構(焦点位置検出系等)が設けられている。
近年においては露光領域の大面積化が進んでおり、ステージ自体も大型化している。しかしながら、大型のステージを加速させる場合にステージが加振されやすく、加速させたステージが一定速度になった直後にも振動が残ってしまう場合がある。そのため、オートフォーカスが不十分になり、ジャストフォーカスの状態を維持することが困難になってしまうおそれがある。上記ステージの振動の問題は露光装置に限られたものではなく、ステージなど移動する物体を有する他の装置等においても同様の問題が考えられる。
本発明の目的は、駆動させる物体の振動を確実に抑制することが可能な駆動制御方法、駆動制御装置、ステージ制御方法、ステージ制御装置、露光方法、露光装置及び計測装置を提供することにある。
本発明に係るいくつかの態様は、実施の形態に示す各図に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。
本発明の第1態様に従えば、少なくとも第1方向と該第1方向とは異なる第2方向に移動可能な物体(PST)を制御する駆動制御方法であって、前記物体を前記第1方向に移動させるための第1アクチュエータ(16)を駆動する駆動信号と、前記物体の出力端における前記第2方向の外乱信号に基づいて生成された外乱補正信号(27)と、に基づいて前記物体に加わる力を制御する駆動制御方法が提供される。
第1態様によれば、物体(PST)を第1方向に移動させるための第1アクチュエータ(16)を駆動する駆動信号に加えて、物体の第2方向の外乱に基づいて生成された外乱補正信号(27)に基づいて物体に加わる力が制御されるので、物体を第1方向に加速させた後に生じる出力端での外乱の悪影響を防ぐことが可能となる。
本発明の第2態様に従えば、少なくとも第1方向と該第1方向とは異なる第2方向に移動可能な物体(PST)を制御する駆動制御装置であって、前記物体を前記第1方向に移動させるための第1アクチュエータ(16)を駆動する駆動信号を生成すると共に、前記物体の前記第2方向の外乱に基づいて外乱補正信号(27)を生成する信号生成装置(11)と、前記駆動信号及び前記外乱補正信号に基づいて前記物体に加わる力を制御する制御装置(11a)とを備える駆動制御装置(11)が提供される。
第2態様によれば、物体(PST)を第1方向に移動させるための第1アクチュエータ(16)を駆動する駆動信号に加えて、物体の第2方向の外乱に基づいて生成された外乱補正信号(27)に基づいて物体に加わる力が制御されるので、物体を第1方向に加速させた後に生じる出力端での外乱の悪影響を防ぐことが可能となる。
本発明の第3態様に従えば、少なくとも第1方向と該第1方向とは異なる第2方向に移動可能なステージ(PST)を制御するステージ制御方法であって、前記ステージを前記第1方向に移動させるための第1アクチュエータ(16)を駆動する駆動信号と、前記ステージの前記第2方向の振動に関する伝達関数に基づいて生成された外乱補正信号(27)と、に基づいて前記ステージに加わる力を制御するステージ制御方法が提供される。
第3態様によれば、ステージ(PST)を第1方向に移動させるための第1アクチュエータ(16)を駆動する駆動信号に加えて、ステージの第2方向の振動に関する伝達関数に基づいて生成された外乱補正信号(27)に基づいてステージに加わる力が制御されるので、ステージを第1方向に加速させた後に生じるステージの振動による悪影響を防ぐことが可能となる。
前記ステージに加える力は、例えば、前記ステージを前記第2方向に移動させるための第2アクチュエータを駆動することで得られるものであってもよい。
前記ステージに加える力は、例えば、前記ステージを前記第2方向に移動させるための第2アクチュエータを駆動することで得られるものであってもよい。
本発明の第4態様に従えば、少なくとも第1方向と該第1方向とは異なる第2方向に移動可能なステージ(PST)を制御するステージ制御装置であって、前記ステージを前記第1方向に移動させるための第1アクチュエータを駆動する駆動信号を生成すると共に、前記ステージの前記第2方向の振動に関する伝達関数に基づいて外乱補正信号(27)を生成する信号生成装置(11)と、前記駆動信号及び前記外乱補正信号に基づいて前記ステージに加わる力を制御する制御装置(11a)とを備えるステージ制御装置(11)が提供される。
第4態様によれば、ステージ(PST)を第1方向に移動させるための第1アクチュエータ(16)を駆動する駆動信号に加えて、ステージの第2方向の振動に関する伝達関数に基づいて生成された外乱補正信号(27)に基づいてステージに加わる力が制御されるので、ステージを第1方向に加速させた後に生じるステージの振動による悪影響を防ぐことが可能となる。
前記ステージに加わる力は、前記外乱補正信号に基づいて、前記ステージを前記第2方向に移動させるための第2アクチュエータを駆動することで得られるものであってもよい。
前記ステージに加わる力は、前記外乱補正信号に基づいて、前記ステージを前記第2方向に移動させるための第2アクチュエータを駆動することで得られるものであってもよい。
本発明の第5態様に従えば、基板(P)を保持するステージ(PST)を用いて露光を行う露光方法であって、上記の駆動制御方法又はステージ制御方法によって前記ステージを駆動する露光方法が提供される。
第5態様によれば、ステージ(PST)を第1方向に加速させた後に生じるステージの振動の悪影響を防ぐことが可能なステージ制御方法によってステージを駆動するので、露光精度が低下するのを防ぐことができる。
第5態様によれば、ステージ(PST)を第1方向に加速させた後に生じるステージの振動の悪影響を防ぐことが可能なステージ制御方法によってステージを駆動するので、露光精度が低下するのを防ぐことができる。
本発明の第6態様に従えば、基板(P)を保持するステージ(PST)を用いて露光を行う露光装置であって、上記の駆動制御装置(11)又はステージ制御装置(11)を備える露光装置(10)が提供される。
第6態様によれば、物体又はステージ(PST)を第1方向に加速させた後に生じるステージの振動の悪影響を防ぐことが可能な駆動制御装置又はステージ制御装置(11)によってステージを駆動するので、露光の精度が低下するのを防ぐことができる。
第6態様によれば、物体又はステージ(PST)を第1方向に加速させた後に生じるステージの振動の悪影響を防ぐことが可能な駆動制御装置又はステージ制御装置(11)によってステージを駆動するので、露光の精度が低下するのを防ぐことができる。
本発明の第7態様に従えば、被検物を載置するステージと、上記のステージ制御装置とを備える計測装置が提供される。
第7態様によれば、ステージを第1方向に加速させた後に生じるステージの振動の悪影響を防ぐことが可能なステージ制御装置によってステージを駆動するので、信頼性の高い計測結果を得ることができる。
第7態様によれば、ステージを第1方向に加速させた後に生じるステージの振動の悪影響を防ぐことが可能なステージ制御装置によってステージを駆動するので、信頼性の高い計測結果を得ることができる。
本発明によれば、駆動させる物体の振動による悪影響を防ぐことができる。
PST…プレートステージ(物体、ステージ)、10…露光装置、11…主制御装置(駆動信号生成装置)、11a…制御装置(駆動制御装置、ステージ制御装置)、16…リニアモータ(第1アクチュエータ)、27…外乱モデル信号(外乱補正信号)、29…完全追従FF制御器、30…FB制御器、28、31、35…演算部、32、33、34…制御対象、56…サーボモータ(第2アクチュエータ)
以下、本発明の一実施形態を図面を参照して説明する。図1は、一実施形態の露光装置10の構成を示す概略図である。この露光装置10は、液晶表示素子パターンが形成されたマスクMと、第1ステージとしてのプレートステージPSTに保持された基板(及び物体)としてのガラスプレート(以下、「プレート」という)Pとを、投影光学系PLに対して第1方向、すなわち所定の走査方向(ここでは、図1のX軸方向(紙面内左右方向)とする)に沿って同一速度で同一方向に相対走査し、マスクMに形成されたパターンをプレートP上に転写する等倍一括転写型の液晶用走査型露光装置である。
この露光装置10は、露光用照明光ILによりマスクM上の所定のスリット状照明領域(図1のY軸方向(紙面直交方向)に細長く延びる長方形の領域または円弧状の領域)を照明する照明系IOP、パターンが形成されたマスクMを保持してX軸方向に移動する第2ステージとしてのマスクステージMST、マスクMの上記照明領域部分を透過した露光用照明光ILをプレートPに投射する投影光学系PL、本体コラム12、前記本体コラム12への床からの振動を除去するための除振台(図示せず)、及び前記両ステージMST、PSTを制御する制御装置(ステージ制御装置)11等を備えている。
前記照明系IOPは、例えば特開平9−320956号公報に開示されたように、光源ユニット、シャッタ、2次光一形成光学系、ビームスプリッタ、集光レンズ系、視野絞り(ブラインド)、及び結像レンズ系等(いずれも図示省略)から構成され、次に述べるマスクステージMST上に載置され保持されたマスクM上の上記スリット状照明領域を均一な照度で照明する。
マスクステージMSTは、不図示のエアパッドによって、本体コラム12を構成する上部定盤12aの上面の上方に数μm程度のクリアランスを介して浮上支持されており、駆動機構14によってX軸方向に駆動される。
マスクステージMSTを駆動する駆動機構14としては、ここではリニアモータが用いられているので、以下、この駆動機構をリニアモータ14と呼ぶ。このリニアモータ14の固定子14aは、上部定盤12aの上部に固定され、X軸方向に沿って延設されている。また、リニアモータ14の可動子14bはマスクステージMSTに固定されている。また、マスクステージMSTのX軸方向の位置は、本体コラム12に固定されたマスクステージ位置計測用レーザ干渉計(以下、「マスク用干渉計」という)18によって投影光学系PLを基準として所定の分解能、例えば数nm程度の分解能で常時計測されている。このマスク用干渉計18で計測されるマスクステージMSTのX軸位置情報S3は、主制御装置(駆動制御装置、ステージ制御装置)11に供給されるようになっている。
投影光学系PLは、本体コラム12の上部定盤12aの下方に配置され、本体コラム12を構成する保持部材12cによって保持されている。投影光学系PLとしては、ここでは等倍の正立正像を投影するものが用いられている。従って、照明系IOPからの露光用照明光ILによってマスクM上の上記スリット状照明領域が照明されると、その照明領域部分の回路パターンの等倍像(部分正立像)がプレートP上の前記照明領域に共役な被露光領域に投影されるようになっている。なお、例えば、特開平7−57986号公報に開示されるように、投影光学系PLを、複数組の等倍正立の投影光学系ユニットで構成しても良い。
さらに、本実施形態では、プレートPのZ方向位置を計測する不図示の焦点位置検出系、例えばCCDなどから構成されるオートフォーカスセンサ(図示せず)が投影光学系PLを保持する保持部材12cに固定されている。この焦点位置検出系からのプレートPのZ位置情報が主制御装置11に供給されており、主制御装置11では例えば、走査露光中にこのZ位置情報に基づいてプレートPのZ位置を投影光学系PLの結像面に一致させるオートフォーカス動作を実行するようになっている。
プレートステージPSTは、投影光学系PLの下方に配置され、不図示のエアパッドによって、本体コラム12を構成する下部定盤12bの上面の上方に数μm程度のクリアランスを介して浮上支持されている。このプレートステージPSTは、駆動機構としてのリニアモータ16によってX軸方向に駆動される。
このリニアモータ16の固定子16aは、下部定盤12bに固定され、X軸方向に沿って延設されている。また、リニアモータ16の可動部としての可動子16bはプレートステージPSTの底部に固定されている。プレートステージPSTは、前記リニアモータ16の可動子16bが固定された移動テーブル22と、この移動テーブル22上に搭載されたY駆動機構20と、このY駆動機構20の上部に設けられたY可動子20a(図2参照)とを備えている。
前記プレートテーブル19のX軸方向の位置は、本体コラム12に固定されたプレート用干渉計25によって投影光学系PLを基準としての所定の分解能、例えば数nm程度の分解能で常時計測されている。このプレート用干渉計25としては、ここでは、X軸方向に直交するY軸方向(図1における紙面直交方向)に所定距離Lだけ離れた2本のX軸方向の測長ビームをプレートテーブル19に対して照射する2軸干渉計が用いられており、各測長軸の計測値が主制御装置11に供給されている。
このプレート用干渉計25の各測長軸の計測値をX1、X2とすると、X=(X1+X2)/2によりプレートテーブル19のX軸方向の位置を求め、θ=(X1−X2)/Lによりプレートテーブル19のZ軸回りの回転量を求めることができるが、以下の説明においては、特に必要な場合以外は、プレート用干渉計25から上記のXがプレートテーブル19のX位置情報S1として出力されるものとする。
本実施形態においては、リニアモータ16とY駆動機構20とによって第1アクチュエータを構成するものとするが、X方向に駆動するための構成だけを前記第1アクチュエータとしてもよいし、Y方向に駆動するための構成だけを前記第1アクチュエータとしてもよい。
図2は、プレートステージPSTの詳細な構成を示す断面図である。
同図に示すように、プレートテーブル19の下面(−Z方向側の面)19aとY可動子20aとの間には、第2アクチュエータとしてのレベリングユニット50が設けられている。レベリングユニット50は、複数、例えば3つが配置されており、3箇所でプレートテーブル19のZ方向の位置を微調整することにより、プレートテーブル19の姿勢(Z方向の位置、θX方向の位置、及びθY方向)を制御するユニットである。つまり、これら3つのレベリングユニット50(第2アクチュエータ)によってプレートテーブル19に所定の力を加えることでプレートテーブル19のZ方向の位置、θX方向の位置及びθY方向の位置を調節できるようになっている。
同図に示すように、プレートテーブル19の下面(−Z方向側の面)19aとY可動子20aとの間には、第2アクチュエータとしてのレベリングユニット50が設けられている。レベリングユニット50は、複数、例えば3つが配置されており、3箇所でプレートテーブル19のZ方向の位置を微調整することにより、プレートテーブル19の姿勢(Z方向の位置、θX方向の位置、及びθY方向)を制御するユニットである。つまり、これら3つのレベリングユニット50(第2アクチュエータ)によってプレートテーブル19に所定の力を加えることでプレートテーブル19のZ方向の位置、θX方向の位置及びθY方向の位置を調節できるようになっている。
図3は、レベリングユニット50の構成を示す図である。各レベリングユニット50はそれぞれ同一の構成となっているので、そのうちの1つを例に挙げてその構成を説明する。
レベリングユニット50は、Y可動子20a上に設けられたカム部材51、ガイド部材52、カム移動機構53及び支持部材54と、プレートテーブル19側に設けられたベアリング部材55とを含んで構成されている。
レベリングユニット50は、Y可動子20a上に設けられたカム部材51、ガイド部材52、カム移動機構53及び支持部材54と、プレートテーブル19側に設けられたベアリング部材55とを含んで構成されている。
カム部材51は、断面視台形に形成された部材であり、下面51aが水平方向に平坦な面になっている。カム部材51の当該下面51aは、ガイド部材52に支持されている。カム部材51の上面51bは、水平面に対して傾斜して設けられた平坦面である。カム部材51の一方の側面51cには、ネジ穴51dが形成されている。ガイド部材52は、支持部材54上にカム部材51に沿って設けられており、図中左右方向に延在している。
カム移動機構53は、サーボモータ56と、ボールネジ57と、連結部材58とを含んで構成されている。サーボモータ56は、制御装置11aからの信号に基づいて軸部材56aを回転させるようになっている。この軸部材56aは、ここでは例えば図中左右方向に延在している。ボールネジ57は、連結部材58を介してサーボモータ56の軸部材56aに連結されており、軸部材56aの回転が伝達されるようになっている。このボールネジ57は、図中左右方向(サーボモータ56の回転軸の軸方向と同一方向)にネジ部が設けられており、当該ネジ部がカム部材51の側面51cに形成されたネジ穴51dに螺合されている。軸部材56a及びボールネジ57は、支持部材54の突出部54a及び54bによってそれぞれ支持されている。
このカム移動機構53は、サーボモータ56の回転によってボールネジ57が回転し、ボールネジ57の回転によって当該ボールネジ57に螺合されたカム部材51がガイド部材52に沿って図中左右方向に移動するようになっている。
ベアリング部材55は、図中下側に半球状に形成された部分55aを有し、当該半球状の部分55aの下面55bがカム部材51の上面51bに当接するように設けられている。カム部材51が移動することで、ベアリング部材55の下面55bとカム部材51の上面51bとの当接位置が変化するようになっており、当該上面51bとの当接位置が変化することによって下面55bのZ方向上の位置が変化するようになっている。この位置の変化によってプレートテーブル19のZ方向の位置が微調節されるようになっている。
プレートテーブル19のZ方向上の位置に関しては、検出装置59によって検出可能になっている。この検出装置59についても、プレートテーブル19に対して複数、例えば3つ設けられている。各検出装置59は、例えば光センサ59aと、被検出部材59bとを含んで構成されており、光センサ59aによって被検出部材59bの位置を検出することで、被検出部材59bのZ方向の位置を検出するようになっている。また、光センサ59aは、Y可動子20a上に設けられた突出部20bに固定されている。したがって、当該検出装置59は、Y可動子20aの上面20cを基準としたときのプレートテーブル19の位置や姿勢等を検出可能となっている。この検出装置59によって検出された位置情報は、主制御装置11に送信されるようになっている。
また、プレートテーブル19の一端は、弾性部材60によってY可動子20a上の突出部20dに接続されている。弾性部材60は、一端が固定部材60aによってプレートテーブル19の端部19bに固定されており、他端が固定部材60bによって突出部20dに固定されている。この弾性部材60によって、プレートテーブル19がX方向及びY方向へ移動するのを抑えつつ、Z方向に対しての移動を許容できるようになっている。
以上のような構成により、プレートステージPSTは、プレートテーブル19に保持されているプレートPの所定の露光すべき領域が投影光学系PLによる露光領域に位置するように、移動テーブル22(リニアモータ16の可動子)をX方向に移動(X位置の位置決め)させ、さらに移動テーブル22に対してY可動子20をY方向に移動(Y位置の位置決め)させることができる。このとき、プレートPのθz方向の位置を調整できるようにしてもよい。さらに、レベリングユニット50(第2アクチュエータ)により、前記オートフォーカスセンサの検出結果を基に、プレートPのZ位置がジャストフォーカス(投影光学系PLの結像点と一致)となるように、プレートテーブル19をY可動子20aに対してZ方向、θx方向、およびθy方向に移動させる(Z位置、θx方向、およびθy方向の位置決め)ことができる。
次に、図4を参照して、主制御装置11のうちプレートステージPSTの駆動に関する制御装置11aの構成を説明する。図4は、制御装置11a及びその制御対象を示すブロック図である。
制御装置11aは、伝達関数GPで表される制御対象32を制御する装置であり、演算部28と、完全追従FF(フィードフォワード)制御器29と、FB(フィードバック)制御器30と、演算部31とを有している。演算部28に入力される外乱モデル信号(外乱補正信号)27は、主制御装置11によって作成されるようになっているが、別の装置で作成した外乱モデル信号を主制御装置11で記憶しておくようにしてもよい。
制御装置11aは、伝達関数GPで表される制御対象32を制御する装置であり、演算部28と、完全追従FF(フィードフォワード)制御器29と、FB(フィードバック)制御器30と、演算部31とを有している。演算部28に入力される外乱モデル信号(外乱補正信号)27は、主制御装置11によって作成されるようになっているが、別の装置で作成した外乱モデル信号を主制御装置11で記憶しておくようにしてもよい。
本実施形態の制御対象32は、伝達関数GLVで表される制御対象33及び伝達関数GAFで表される制御対象34である。制御対象33はレベリングユニット50及びその制御系(フィードバック制御系)であり、検出装置59によって検出される光センサ59aと被検出部材59bとの間の相対的な位置に基づいてプレートテーブル19の位置が制御される。制御対象34は、プレートステージPST全体の位置(Z方向の振動も含む)を示している。
制御対象32の出力端は、外乱36の影響を受けることになる(演算部35として示している)。この外乱36は、ジャストフォーカス状態のプレートステージPSTを前記第1アクチュエータによって加速させて移動させたときに、当該プレートステージPSTに加わる推力によって生じるものである。なお、制御装置11aは、プレートステージPSTの制御系の他、マスクステージMSTの制御系(不図示)も有している。
外乱モデル信号27は、上記外乱36をもとに予め生成されたモデル信号である。外乱36としては、例えばZ方向の力、加速度、速度若しくは変位などが挙げられる。これらの各値を測定し、測定結果をもとにモデル信号を生成する。例えば物理モデルに基づく代数的外乱モデルを作成し、一括最小二乗法でパラメータ推定して評価したものを用いるようにする。また、伝達関数形式あるいは状態方程式形式の物理モデルやブラックボックスモデリングによって作成した外乱モデル信号を用いても構わない。なお、力、加速度、速度若しくは変位のうち2種類以上を組み合わせて外乱モデル信号を生成しても構わない。
具体的な一例として、外乱モデル信号27は、伝達関数GD(本実施形態では以下の[数1]に示される伝達関数GXY)で表される回路に基づいて作成されるようになっている。但し、数1においてωpは共振周波数、ζpは共振の減衰係数、ωzは***振周波数、ζzは***振の減衰係数、kfはゲイン係数をそれぞれ示している。
また、図2に示すプレートステージPSTは、図5に示すような力学系モデルでも表すことができるので、外乱モデルを次の[数2]ように表すことも可能である。
そして、Mは、第1ステージの質量、mは第2ステージの質量、Iyは第2ステージの重心回りの慣性モーメント、Lは第2ステージの回転移動の回転中心から第2ステージ重心までの距離、μは第1ステージと第2ステージ間の減衰係数、kは第1ステージと第2ステージ間のねじり剛性、gは重力加速度、である。またこの場合、第1ステージはXステージに相当し、リニアモータ固定子16a、可動子16b、Y駆動機構20のうちのY固定子(図示せず)等によって主に構成されている。また、第2ステージはYステージに相当し、Y可動子20a、プレートテーブル19、レベリングユニット50、検出装置59等によって主に構成されている。
外乱モデル信号27は、前記第1アクチュエータの駆動によるプレートステージPSTの駆動時に加わる外乱(主に振動によるプレートPのZ位置の変動)の影響を予め予見し、その逆位相(位置の符号を反転させたもの)でプレートテーブル19をZ方向に移動させることができるようにする。つまり、プレートテーブル19上のプレートPにZ方向の振動が発生しても、その振動分を予め見込んで第2アクチュエータを駆動させることで、プレートPの露光領域(フォーカシング領域)が投影光学系PLの結像点に追従できるようにしている。また、逆位相を求めるに際し、元の成分からゲインを変えることで、例えば、追従の度合いを調整できるようにしてもよい。
演算部28は、上記のように生成された外乱モデル信号27を減算し、その結果を出力する。
完全追従FF制御器29及びFB制御器30は、外乱モデル信号を含む低周波数の信号を完全追従制御によって高周波数の信号に切り替える回路である。完全追従制御としては、例えば公知のシングルレート制御やマルチレート制御などが挙げられる(例えば、特開2001−325005号公報や論文「マルチレートフィードフォワード制御を用いた完全追従法」(藤本博志他、計測自動制御学会論文集36巻、9号、pp766−772、2000年)を参照)。演算部28からの出力は、完全追従FF制御器29を介して演算部31に送られる。また、制御対象32の出力(例えば、プレート用干渉計25や光センサ59aや前記オートフォーカスセンサ等で検出されるプレートステージPSTの動き)は、FB制御器30を介して演算部31に送られる。演算部31は、完全追従FF制御器29の出力とFB制御器30の出力とを加算して制御対象32に出力する。本実施形態の構成では、完全追従FF制御器29によって除去しきれない目標値からのズレ分をFB制御器30によってフィードバックさせて除去する構成になっている。
完全追従FF制御器29及びFB制御器30は、外乱モデル信号を含む低周波数の信号を完全追従制御によって高周波数の信号に切り替える回路である。完全追従制御としては、例えば公知のシングルレート制御やマルチレート制御などが挙げられる(例えば、特開2001−325005号公報や論文「マルチレートフィードフォワード制御を用いた完全追従法」(藤本博志他、計測自動制御学会論文集36巻、9号、pp766−772、2000年)を参照)。演算部28からの出力は、完全追従FF制御器29を介して演算部31に送られる。また、制御対象32の出力(例えば、プレート用干渉計25や光センサ59aや前記オートフォーカスセンサ等で検出されるプレートステージPSTの動き)は、FB制御器30を介して演算部31に送られる。演算部31は、完全追従FF制御器29の出力とFB制御器30の出力とを加算して制御対象32に出力する。本実施形態の構成では、完全追従FF制御器29によって除去しきれない目標値からのズレ分をFB制御器30によってフィードバックさせて除去する構成になっている。
次に、プレートステージPSTの動作を中心に露光装置10による露光動作を説明する。
露光動作が開始されると、主制御装置11は不図示の基板搬送装置に制御信号を出力してプレートPをプレートテーブル19上に搬送させて保持させるとともに、不図示のマスク搬送装置に制御信号を出力してマスクMを搬送させて保持させる。次に、主制御装置11は、プレートステージPSTの移動に同期させるようにマスクステージMSTを移動させ、このプレートステージPST及びマスクステージMSTの移動に合わせてマスクMに形成されたパターンの一部をプレートPのショット領域に逐次転写する。このとき、1つのショット領域に対するパターンの転写が終了する度にプレートステージPST及びマスクステージMSTをステップ移動させて他のショット領域へのパターン転写を行う。全ショット領域へのパターン転写が終了したら、露光動作が完了する。ここで、ズレ分とは、外乱モデルが外乱36を正確に反映していない場合や、外乱モデルでは考慮されていない、例えば、地震等のイレギュラーな外乱が生じた場合等を起因とするものである。
露光動作が開始されると、主制御装置11は不図示の基板搬送装置に制御信号を出力してプレートPをプレートテーブル19上に搬送させて保持させるとともに、不図示のマスク搬送装置に制御信号を出力してマスクMを搬送させて保持させる。次に、主制御装置11は、プレートステージPSTの移動に同期させるようにマスクステージMSTを移動させ、このプレートステージPST及びマスクステージMSTの移動に合わせてマスクMに形成されたパターンの一部をプレートPのショット領域に逐次転写する。このとき、1つのショット領域に対するパターンの転写が終了する度にプレートステージPST及びマスクステージMSTをステップ移動させて他のショット領域へのパターン転写を行う。全ショット領域へのパターン転写が終了したら、露光動作が完了する。ここで、ズレ分とは、外乱モデルが外乱36を正確に反映していない場合や、外乱モデルでは考慮されていない、例えば、地震等のイレギュラーな外乱が生じた場合等を起因とするものである。
この露光動作のうち、プレートステージPSTを駆動する際には、プレートテーブル19のZ方向の位置制御が行われる。この制御においては、まず制御装置11aの演算部28において外乱モデル信号27が減算される。演算部28からの出力信号は、完全追従FF制御器29によって例えば3kHz程度の高周波数の信号に切り替えられて演算部31に入力される。演算部31では、完全追従FF制御器29の出力信号にFB制御器30によって高周波数の信号に切り替えられた出力信号が加算されて出力される。
制御装置11aからの制御信号は制御対象32に入力され、制御対象33及び制御対象34が制御される。制御対象32では検出装置59の光センサ59aと被検出部材59bとの間の位置関係に基づく制御のみが行われるが、制御対象34の制御を加えることにより、プレートステージPSTのX方向(及び、又はY方向)の位置制御やプレートテーブル19のZ方向の位置制御(例えば、前記焦点位置検出系による投影光学系PLの結像点に対するオートフォーカス動作)が行われることとなる。
プレートステージPSTをX方向(又はY方向)に加速させる場合、プレートステージPST全体には加速によってZ方向の振動が発生する。その一方で、プレートPが載置されるプレートテーブル19については、制御装置11aの上記制御によってプレートステージPSTのZ方向の振動とは逆位相の動きの成分が加えられていることになる。したがって、プレートPの露光領域が投影光学系PLの結像点に常に追従するようにレベリングユニット50(第2アクチュエータ)を駆動できる。このとき、前記焦点位置検出系からは、プレートステージPSTがあたかもZ方向上については静止しているかのごとく検出されることになる。
このとき、制御対象32の出力端の値をモニタしておき、目標値との間にズレがあるか否かを確認するようにしても構わない。制御値と目標値との間にズレが認められる場合には、例えば主制御装置11において、伝達関数GXYの共振周波数、共振の減衰係数、***振周波数、***振の減衰係数及びゲイン係数の各係数を適宜補正しながら駆動を行うようにすることが好ましい。また、このように各係数を適宜補正することにより駆動に最適な伝達関数を得ることができた場合、例えば次回以降には当該得られた係数を初期値として設定した上で露光動作を行っても構わない。
このように、本実施形態によれば、プレートステージPSTのZ方向の振動に関する伝達関数に基づいて生成された外乱モデル信号27に基づいて当該プレートステージPSTに加わる力が制御されるので、プレートステージPSTを加速させた後に生じる当該プレートステージPSTの振動による悪影響を防ぐことが可能となる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に制限されず、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。
例えば、プレートテーブル19に力を加える第2アクチュエータ(レベリングユニット)としては、上記の構成に限定されるものではない。例えば、ボイスコイルモータや電磁石等、可動部と固定部が非接触のタイプのものを用いてもよいし、本実施例のような可動部と固定部とが接触するタイプのものを用いてもよい。また、第2アクチュエータ以外のものによって、プレートテーブル19に力を加えるようにしてもよい。
例えば、プレートテーブル19に力を加える第2アクチュエータ(レベリングユニット)としては、上記の構成に限定されるものではない。例えば、ボイスコイルモータや電磁石等、可動部と固定部が非接触のタイプのものを用いてもよいし、本実施例のような可動部と固定部とが接触するタイプのものを用いてもよい。また、第2アクチュエータ以外のものによって、プレートテーブル19に力を加えるようにしてもよい。
また、上記実施形態では、本発明が等倍一括転写型の液晶用走査型露光装置に適用された場合について説明したが、これに限らず、ステップ・アンドーリピート方式の液晶用ステッパやステップ・アンド・スキャン方式の波晶用スキャニング・ステッパは勿論、半導体製造用のステッパや、スキャニング・ステッパ等の露光装置にも好適に適用することができる。また、マスクMとプレートPとを鉛直方向に沿って保持する縦型露光装置にも適用することができる。
上記の他、電子ビーム露光装置や、X線露光装置等の露光装置の他、基板を保持して移動する基板ステージを備えた装置、例えばレーザリペア装置等にも、本発明に係るステージ装置は適用可能である。
上記の他、電子ビーム露光装置や、X線露光装置等の露光装置の他、基板を保持して移動する基板ステージを備えた装置、例えばレーザリペア装置等にも、本発明に係るステージ装置は適用可能である。
また、露光装置のみならず、移動式のステージを有する他の装置の駆動においても、本発明の適用が可能である。このような装置として、例えば、被検物を載置するステージを有し当該被検物の形状を計測する計測装置などが挙げられる。当該計測装置に本発明を適用することによって、信頼性の高い計測を行うことができる。また、光ディスクや磁気ディスクなどの情報機器の駆動、工作機械などのアーム部分の駆動、ロボットの駆動、自動車の駆動など、他の機器や装置等を駆動する場合においても本発明を適用することができる。
例えば、これらの装置においても、考慮すべき外乱を想定してその外乱をもとに予め外乱モデル信号を生成しておく。そして、駆動時に加わる外乱の逆位相で装置を移動させるようにしておくことで、この外乱の影響を抑えることができる。
例えば、これらの装置においても、考慮すべき外乱を想定してその外乱をもとに予め外乱モデル信号を生成しておく。そして、駆動時に加わる外乱の逆位相で装置を移動させるようにしておくことで、この外乱の影響を抑えることができる。
なお、プレートPとしては、ディスプレイデバイス用のガラス基板のみならず、半導体デバイス製造用の半導体ウエハ、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスク又はレチクルの原版(合成石英、シリコンウエハ)、又はフィルム部材等が適用される。また、基板はその形状が矩形に限られるものでなく、円形など他の形状でもよい。
露光装置10としては、マスクMとプレートPとを同期移動してマスクMのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置(スキャニングステッパ)、マスクMとプレートPとを静止した状態でマスクMのパターンを一括露光し、プレートPを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置(ステッパ)にも適用することができる。
さらに、ステップ・アンド・リピート方式の露光において、第1パターンとプレートPとをほぼ静止した状態で、投影光学系を用いて第1パターンの縮小像をプレートP上に転写した後、第2パターンとプレートPとをほぼ静止した状態で、投影光学系を用いて第2パターンの縮小像を第1パターンと部分的に重ねてプレートP上に一括露光してもよい(スティッチ方式の一括露光装置)。また、スティッチ方式の露光装置としては、プレートP上で少なくとも2つのパターンを部分的に重ねて転写し、プレートPを順次移動させるステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。
また、例えば米国特許第6,611,316号に開示されているように、2つのマスクのパターンを、投影光学系を介して基板上で合成し、1回の走査露光によって基板上の1つのショット領域をほぼ同時に二重露光する露光装置などにも本発明を適用することができる。
また、本発明は、米国特許6,341,007号、米国特許6,400,441号、米国特許6,549,269号、米国特許6,590,634号、米国特許6,208,407号、米国特許6,262,796号などに開示されているような複数の基板ステージを備えたツインステージ型の露光装置にも適用できる。
また、例えば特開平11−135400号公報(対応国際公開第1999/23692号パンフレット)、米国特許第6,897,963号等に開示されているように、基板を保持する基板ステージと基準マークが形成された基準部材及び/又は各種の光電センサを搭載した計測ステージとを備えた露光装置にも、本発明を適用することができる。また、複数の基板ステージと計測ステージとを備えた露光装置にも適用することができる。
露光装置10の種類としては、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置に限られず、基板に半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置、薄膜磁気ヘッド、撮像素子(CCD)、マイクロマシン、MEMS、DNAチップ、あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。
上述の実施形態においては、投影光学系PLを備えた露光装置を例に挙げて説明してきたが、投影光学系PLを用いない露光装置及び露光方法に本発明を適用することができる。このように投影光学系PLを用いない場合であっても、露光光ELはレンズ等の光学部材を介して基板に照射される。
上述の実施形態において、露光装置10は、各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ、デバイスの基材である基板を製造するステップ、前述した実施形態に従って、マスクのパターンの像で基板に露光し、露光した基板を現像する基板処理(露光処理)を含む基板処理ステップ、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程などの加工プロセスを含む)、検査ステップ等を経て製造される。
なお、法令で許容される限りにおいて、上述の各実施形態及び変形例で引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
なお、上述のように本発明の実施形態を説明したが、本発明は上述した全ての構成要素を適宜組み合わせて用いる事が可能であり、また、一部の構成要素を用いない場合もある。
Claims (38)
- 少なくとも第1方向と該第1方向とは異なる第2方向に移動可能な物体を制御する駆動制御方法であって、
前記物体を前記第1方向に移動させるための第1アクチュエータを駆動する駆動信号と、
前記物体の前記第2方向の外乱に基づいて生成される外乱補正信号と、に基づいて前記物体に加わる力を制御する駆動制御方法。 - 前記外乱は前記物体が前記第1アクチュエータによって駆動される際に生じる前記第2方向に関わる位置変動成分を含み、前記外乱補正信号は前記位置変動成分の逆位相で前記物体を前記第2方向に移動させることができるものである請求項1に記載の駆動制御方法。
- 前記外乱補正信号に対して完全追従制御を行う請求項1又は2に記載の駆動制御方法。
- 前記完全追従制御は、シングルレート制御である請求項3に記載の駆動制御方法。
- 前記完全追従制御は、マルチレート制御である請求項3に記載の駆動制御方法。
- 少なくとも第1方向と該第1方向とは異なる第2方向に移動可能な物体を制御する駆動制御装置であって、
前記物体を前記第1方向に移動させるための第1アクチュエータを駆動する駆動信号を生成すると共に、前記物体の前記第2方向の外乱に基づいて外乱補正信号を生成する信号生成装置と、
前記駆動信号及び前記外乱補正信号に基づいて前記物体に加わる力を制御する制御装置と
を備えた駆動制御装置。 - 前記外乱は前記物体が前記第1アクチュエータによって駆動される際に生じる前記第2方向に関わる位置変動成分を含み、前記外乱補正信号は前記位置変動成分の逆位相で前記物体を前記第2方向に移動させることができるものである請求項6に記載の駆動制御装置。
- 前記外乱補正信号に対して完全追従制御を行う請求項6又は7に記載の駆動制御装置。
- 前記完全追従制御は、シングルレート制御である請求項8に記載の駆動制御装置。
- 前記完全追従制御は、マルチレート制御である請求項8に記載の駆動制御装置。
- 少なくとも第1方向と該第1方向とは異なる第2方向に移動可能なステージを制御するステージ制御方法であって、
前記ステージを前記第1方向に移動させるための第1アクチュエータを駆動する駆動信号と、
前記ステージの前記第2方向の振動に関する伝達関数に基づいて生成された外乱補正信号と、に基づいて前記ステージに加わる力を制御するステージ制御方法。 - 前記伝達関数は前記ステージが前記第1アクチュエータによって駆動される際に生じる前記第2方向に関わる位置変動成分を含み、前記外乱補正信号は前記位置変動成分の逆位相で前記ステージを前記第2方向に移動させることができるものである請求項11に記載のステージ制御方法。
- 前記ステージを前記第2方向に移動させるための第2アクチュエータを駆動して前記力を制御する請求項11から請求項13のうちいずれか一項に記載のステージ制御方法。
- 前記第2アクチュエータは複数設けられており、該第2アクチュエータによって前記ステージが前記第2方向に関して所定の姿勢となるように制御する請求項14に記載のステージ制御方法。
- 前記駆動信号は前記ステージの前記第1方向における加速度情報を含み、前記ステージの所定の位置が目標位置となるように前記ステージを制御する請求項11から請求項15のうちいずれか一項に記載のステージの制御方法。
- 前記外乱補正信号のうち、前記共振周波数、前記共振の減衰係数、前記***振周波数、前記***振の減衰係数及び前記ゲイン係数の少なくとも一つを補正しながら前記ステージを制御する請求項13から請求項16のうちいずれか一項に記載のステージ制御方法。
- 前記外乱補正信号は、前記共振周波数、前記共振の減衰係数、前記***振周波数、前記***振の減衰係数及び前記ゲイン係数の少なくとも一つを補正しながら前記ステージを制御することで予め設定される請求項13から請求項17のうちいずれか一項に記載のステージ制御方法。
- 前記外乱補正信号に対して完全追従制御を行う請求項11から請求項18のうちいずれか一項に記載のステージ制御方法。
- 前記完全追従制御は、シングルレート制御である請求項19に記載のステージ制御方法。
- 前記完全追従制御は、マルチレート制御である請求項19に記載のステージ制御方法。
- 少なくとも第1方向と該第1方向とは異なる第2方向に移動可能なステージを制御するステージ制御装置であって、
前記ステージを前記第1方向に移動させるための第1アクチュエータを駆動する駆動信号を生成すると共に、前記ステージの前記第2方向の振動に関する伝達関数に基づいて外乱補正信号を生成する信号生成装置と、
前記駆動信号及び前記外乱補正信号に基づいて前記ステージに加わる力を制御する制御装置と
を備えたステージ制御装置。 - 前記伝達係数は前記ステージが前記第1アクチュエータによって駆動される際に生じる前記第2方向に関わる位置変動成分を含み、前記外乱補正振動は前記位置変動成分の逆位相で前記ステージを前記第2方向に移動させることができるものである請求項22に記載のステージ制御装置。
- 前記外乱補正信号を記憶するメモリを有している請求項22又は請求項23に記載のステージ制御装置。
- 前記制御装置は、前記外乱補正信号に基づいて、前記ステージを前記第2方向に移動させるための第2アクチュエータを駆動する請求項22から請求項25のうちいずれ一項に記載のステージ制御装置。
- 前記第2アクチュエータは複数設けられており、前記制御装置は、前記第2アクチュエータによって前記ステージが前記第2方向に関して所定の姿勢となるように制御する請求項26に記載のステージ制御装置。
- 前記駆動信号は前記ステージの前記第1方向における加速度情報を含み、前記制御装置は前記ステージの所定の位置が目標位置となるように前記ステージを制御する請求項22から請求項27のうちいずれか一項に記載のステージ制御装置。
- 前記制御装置は、前記外乱補正信号のうち、前記共振周波数、前記共振の減衰係数、前記***振周波数、前記***振の減衰係数及び前記ゲイン係数の少なくとも一つを補正しながら前記ステージを駆動する請求項23から請求項28のうちいずれか一項に記載のステージ制御装置。
- 前記外乱補正信号は、前記共振周波数、前記共振の減衰係数、前記***振周波数、前記***振の減衰係数及び前記ゲイン係数の少なくとも一つを補正しながら前記ステージを制御することで予め設定される請求項23から請求項28のうちいずれか一項に記載のステージ制御装置。
- 前記制御装置は、前記外乱補正信号に対して完全追従制御を行う請求項22から請求項30のうちいずれか一項に記載のステージ制御装置。
- 前記完全追従制御は、シングルレート制御である請求項31に記載のステージ制御装置。
- 前記完全追従制御は、マルチレート制御である請求項31に記載のステージ制御装置。
- 基板を保持するステージを用いて露光を行う露光方法であって、
請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載の駆動制御方法又は請求項11から請求項21に記載のステージ制御方法によって前記ステージを駆動して露光を行う露光方法。 - リソグラフィ工程を含むデバイス製造方法において、
前記リソグラフィ工程で請求項34に記載の露光方法を用いるデバイス製造方法。 - 基板を保持するステージを用いて露光を行う露光装置であって、
請求項6から請求項10のうちいずれか一項に記載の駆動制御装置又は請求項22から請求項33のうちいずれか一項に記載のステージ制御装置を備えることを特徴とする露光装置。 - リソグラフィ工程を含むデバイス製造方法において、
前記リソグラフィ工程で請求項36に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。 - 被検物を載置するステージと、請求項6から請求項10のうちいずれか一項に記載の駆動制御装置又は請求項22から請求項33のうちいずれか一項に記載のステージ制御装置とを備えることを特徴とする計測装置。
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