JPWO2006104127A1 - 露光装置、露光装置の製造方法及びマイクロデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (31)
- 投影光学系を介してマスクに形成されるパターンを感光性基板上に露光する露光装置であって、
前記マスクを保持するマスクステージ及び前記投影光学系の少なくとも一方が搭載される上架台部と、
前記上架台部から分離可能に設けられ、所定の方向に長手方向を有するとともに、前記上架台部を支持する複数の下架台部と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記上架台部と前記下架台部とを連結するとともに、前記所定の方向と交差する方向に長手方向を有する複数の中架台部を備えることを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記上架台部は、前記所定の方向に長手方向を有し、前記複数の中架台部の長手方向と交差して連結されることを特徴とする請求項2記載の露光装置。
- 前記上架台部は、前記複数の中架台部のうちの少なくとも2つと連結されることを特徴とする請求項2または請求項3記載の露光装置。
- 前記複数の中架台部は、前記複数の下架台部のうち少なくとも2つと連結されることを特徴とする請求項2乃至請求項4の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記上架台部及び前記下架台部と前記中架台部とを連結する連結部に、位置調整用の補正部材を備えることを特徴とする請求項2乃至請求項5の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記上架台部及び前記下架台部と前記中架台部とを連結する連結部は、それぞれ押し当て基準面を有することを特徴とする請求項2乃至請求項6の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記下架台部には、前記感光性基板を保持する基板ステージが搭載されることを特徴とする請求項1乃至請求項7の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記下架台部は、少なくとも4つの支持部材で支持されることを特徴とする請求項1乃至請求項8の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記上架台部と前記複数の下架台部とで囲まれた空間の幅は、500mmを超える大きさであることを特徴とする請求項1乃至請求項9の何れか一項に記載の露光装置。
- 投影光学系を介してパターンを感光性基板上に露光する露光装置であって、
前記投影光学系を含む露光本体部の少なくとも一部が設けられる第1架台部と、
前記第1架台部から分離可能に設けられ、それぞれ第1方向を長手方向として延び、かつ前記投影光学系を挟んで前記第1方向と交差する第2方向に離れて配置される一対の支持部で前記第1架台部を支持する第2架台部と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記第1架台部は、前記露光本体部のうち少なくとも前記投影光学系が設けられることを特徴とする請求項11記載の露光装置。
- 前記露光本体部は、マスクを保持するマスクステージを含み、前記第1架台部は、前記マスクステージ及び前記投影光学系の少なくとも一方が設けられることを特徴とする請求項11記載の露光装置。
- 前記投影光学系と前記感光性基板とを走査方向に相対移動して、前記パターンを前記感光性基板に露光し、前記第1方向は、前記走査方向ほぼ平行であることを特徴とする請求項11乃至請求項13の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記第1架台部は、前記第2方向を長手方向とすることを特徴とする請求項11乃至請求項14の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記第2架台部は、前記一対の支持部から分離可能に設けられ、前記第2方向を長手方向として延び、かつ前記感光性基板を保持する基板ステージが載置される下架台部を含むことを特徴とする請求項11乃至請求項15の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記第2架台部は、前記第1方向に離れて配置される一対の前記下架台部で前記一対の支持部を支持することを特徴とする請求項16記載の露光装置。
- 前記第2架台部は、前記一対の支持部から分離可能に設けられ、前記第2方向を長手方向として延び、かつ前記第1方向に離れて配置される複数の下架台部を含むことを特徴とする請求項11乃至請求項15の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記第2架台部は、前記下架台部上に長手方向が前記第1方向と一致して配置される定盤を含み、前記感光性基板を保持する基板ステージが前記定盤上に載置されることを特徴とする請求項17または請求項18記載の露光装置。
- 前記第2架台部は、前記一対の支持部によって前記投影光学系が配置される空間を規定することを特徴とする請求項11乃至請求項19の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記感光性基板は、外径が500mmを超える大きさであることを特徴とする請求項1乃至請求項20の何れか一項に記載の露光装置。
- 投影光学系を介してパターンを感光性基板上に露光する露光装置の製造方法であって、
前記感光性基板を保持する基板ステージが搭載される下架台部を設置する下架台部設置工程と、
前記下架台部設置工程により設置された前記下架台部上に複数の中架台部を設置する中架台部設置工程と、
前記中架台部設置工程により設置された前記複数の中架台部上に、前記投影光学系を含む露光本体部の少なくとも一部が搭載される上架台部を設置する上架台部設置工程と、
を含むことを特徴とする露光装置の製造方法。 - 前記複数の中架台部は、前記下架台部上でそれぞれ長手方向が第1方向と一致し、かつ前記投影光学系を挟んで前記第1方向と交差する第2方向に離れて配置されることを特徴とする請求項22記載の露光装置の製造方法。
- 前記上架台部は、前記複数の中架台部上でその長手方向が前記第2方向と一致して配置されることを特徴とする請求項22または請求項23記載の露光装置の製造方法。
- 前記下架台部は、前記第2方向と長手方向が一致し、かつ前記第1方向に離れて複数配置されることを特徴とする請求項22乃至請求項24の何れか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 前記基板ステージは、前記下架台部上に長手方向が前記第1方向と一致して配置される定盤上に載置されることを特徴とする請求項25記載の露光装置の製造方法。
- 前記露光本体部のうちマスクを保持するマスクステージ及び前記投影光学系の少なくとも一方が前記上架台部に設けられることを特徴とする請求項22乃至請求項26の何れか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 前記感光性基板は、外径が500mmを超える大きさであることを特徴とする請求項22乃至請求項27の何れか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 請求項1乃至請求項21の何れか一項に記載の露光装置を用いて所定のパターンを感光性基板上に露光する露光工程と、
前記露光工程により露光された前記感光性基板を現像する現像工程と、
を含むことを特徴とするマイクロデバイスの製造方法。 - 請求項22乃至請求項28の何れか一項に記載の露光装置の製造方法により製造された露光装置を用いて所定のパターンを感光性基板上に露光する露光工程と、
前記露光工程により露光された前記感光性基板を現像する現像工程と、
を含むことを特徴とするマイクロデバイスの製造方法。 - 前記感光性基板上に複数のフラットパネルディスプレイデバイスが形成されることを特徴とする請求項29または請求項30記載のマイクロデバイスの製造方法。
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