JPS649351U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS649351U JPS649351U JP10304887U JP10304887U JPS649351U JP S649351 U JPS649351 U JP S649351U JP 10304887 U JP10304887 U JP 10304887U JP 10304887 U JP10304887 U JP 10304887U JP S649351 U JPS649351 U JP S649351U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- door
- ion processing
- roller
- main body
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係る扉ガイド
機構を有するイオン注入装置の一例を部分的に示
す正面図である。第２図は、第１図のＢ部を拡大
して示す正面図である。第３図は、第２図の線
−に沿う断面図である。第４図は従来の扉ガイ
ド機構を有するイオン注入装置の一例を部分的に
示す正面図であり、第５図はその右側面図である
。 ６……予備室（真空容器）、６ａ……本体、６
ｂ……扉、２２ａ，２２ｂ……フランジ、２４…
…ガイド、２８……ローラ、３０……偏心内輪、
３２……ボルト。
機構を有するイオン注入装置の一例を部分的に示
す正面図である。第２図は、第１図のＢ部を拡大
して示す正面図である。第３図は、第２図の線
−に沿う断面図である。第４図は従来の扉ガイ
ド機構を有するイオン注入装置の一例を部分的に
示す正面図であり、第５図はその右側面図である
。 ６……予備室（真空容器）、６ａ……本体、６
ｂ……扉、２２ａ，２２ｂ……フランジ、２４…
…ガイド、２８……ローラ、３０……偏心内輪、
３２……ボルト。
Claims (1)
- イオン処理装置の真空容器の扉に、偏心内輪を
用いて高さ調整可能なようにローラを取付け、同
真空容器の本体にＬ字形のガイドを取付け、扉を
閉じたときにそのローラが本体側のガイド上に乗
り上げるよう構成したことを特徴とするイオン処
理装置用の扉ガイド機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10304887U JPS649351U (ja) | 1987-07-04 | 1987-07-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10304887U JPS649351U (ja) | 1987-07-04 | 1987-07-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS649351U true JPS649351U (ja) | 1989-01-19 |
Family
ID=31333512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10304887U Pending JPS649351U (ja) | 1987-07-04 | 1987-07-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS649351U (ja) |
-
1987
- 1987-07-04 JP JP10304887U patent/JPS649351U/ja active Pending