JPS63205581A - 集積回路の診断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 集積回路の診断装置であって、テストパターン発生手段
から集積回路に入力するテストパターンに対応したテス
ト結果パターンによる判定と並行して、電源手段から集
積回路への出力電流値による判定を並行して行なうこと
により、診断に要する時間を低減し、且つ、診断の信顛
性を上げることができる。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、集積回路の診断装置に関し、例えば大規模集
積回路（ＬＳＩ）のスタック故障の診断を行ないながら
、並行してショート故障の診断も行なえるように構成し
た集積回路の診断装置に関　　−するものである。

〔従来の技術〕

ＬＳＩ等の集積回路は製造過程で密閉され、外部には電
源端子及び入出力端子のみが出ている。

そのため、内部の状態が正常であるかどうかを調べるた
めに、一般的にスタック故障診断が行なわれる。

スタック故障診断は、ＬＳＩ内部の論理ロジックに異常
がないかどうかを調べるために、ＬＳＩ内の各端子のＨ
／Ｌスタック故障が診断できる様なテストパターンをＬ
ＳＩの入力端子から入力し、それに応じて出力端子から
得られる結果パターンを判定する。異常を想定した多く
のパターンについて連続的にこの判定を行なう。

ショート故障診断は、ＬＳＩ内部の回路が物理的に短絡
していないかどうかを調べるものである。

短絡を想定する箇所は、ゲート規模に応じて増大するた
め、全ての点を診断しようとすると、長大なパターンと
なってしまう。このため、実際にはスタック故障診断用
パターン等を利用して、これをＬＳＩに印加し、そのと
きの電源電流値を調べることにより、短絡による過大電
流を検出して、異常の判定を行なう等の方法が利用され
ている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、上述した従来方式にあっては、スタック故障
診断と同時にそのパターンを利用してショート故障診断
を行なおうとするものであり、スタック故障診断を行な
った後に、この同じパターンをＬＳＩに印加し、あるパ
ターンで止めて電源電流値を測定するという操作を繰り
返すこととなる。この測定点数は、多ければ多い一程診
断率が向上する。しかしながら、現行のテスタを利用し
た場合、測定時間の増大を招くため、測定点数をしぼら
ざるを得ない。

また、ＬＳＩが大規模になるにしたがって診断パターン
数は増大するため、診断に費やす時間も多くなるという
問題点があった。更に、上述したように、ショート故障
診断のためパターンを途中で止める方法をとっているた
めに、診断に時間がかかるという問題点があった。

本発明は、このような点にかんがみて創作されたもので
あり、診断に要する時間を低減し、且つ、診断の信転性
を上げるようにした集積回路の診断装置を提供すること
を目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

第１図は、本発明の集積回路の診断装置の原理ブロック
図である。

図において、テストパターン発生手段１２１は、診断用
のテストパターンを集積回路１９９に入力する。

電源手段１３１は、集積回路１９９に電圧を供給し、そ
の際の電流値を出力する。

第１判定手段１４１は、電源手段１３１の出力電流値が
所望範囲内にあるか否かを判定する。

第２判定手段１５１は、テストパターンに対応する集積
回路１９９からのテスト結果パターンが所望状態にある
か否かを判定する。

従って、全体として、テスト結果パターンの判定と電流
値の判定を並行して行なうように構成されている。

〔作　用〕

テストパターン発生手段１２１は、診断用のテストパタ
ーンを集積回路１９９に入力する。第２判定手段１５１
は、それに応じて集積回路１９９から出力されるテスト
結果パターンによって判定を行なう。

電源手段１３１は、集積回路に電圧を供給し、第１判定
手段１４１は、そのときの“電流値によって判定を行な
う。

本発明にあっては、テスト結果パターンの判定に並行し
て、電流値の判定を行なうことにより、。

診断に要する時間を低減し、診断の信頼性を上げること
ができる。

〔実施例〕

以下、図面に基づいて本発明の実施例について詳細に説
明する。

第２図は、本発明の一実施例における集積回路の診断装
置の構成を示す。

■、　　乍　と第１′との・心　− ここで、本発明の実施例と第１図との対応関係を示して
おく。

テストパターン発生手段１２１は、制御部２１１．テス
トパターン発生部２２１に相当する。

電源手段１３１は、制御部２１１．電源供給部２３１、
電流測定部２３３に相当する。

第１判定手段１４１は、制御部２１１．電流値判定部２
４１．電流テーブル格納部２４３に相当する。

第２判定手段１５１は、制御部２１１．論理判定部２５
１．論理テーブル格納部２５３に相当する。

集積回路１９９は、被測定素子２９９に相当する。

Ｕシλｌ戊 以上のような対応関係があるものとして、以下本発明の
実施例について説明する。

第２図において、ＬＳＩテスタシＯＯは、全体を制御す
る制御部２１１．テストパターンを作成して外部の被測
定素子２９９に入力するテストパターン発生部２２１．
被測定素子２９９に電源を供給する電源供給部２３１．
電源供給部２３１から被測定素子２９９への電流の値を
検出する電流測定部２・３３．電流値判定を行なう電流
値判定部２４１、電流値判定部２４１で判定を行なうた
めの比較値を格納する電流テーブル格納部２４３゜被測
定素子２９９から得られた結果パターンにより論理判定
を行なう論理判定部２５１．論理判定部２５１で論理判
定を行なうための比較値を格納する論理テーブル格納部
２５３から成っている。

被測定素子２９９は診断を行なう測定素子で、例えば０
ＭＯ３のＬＳＩとする。

テストパターン発生部２２１．電源供給部２３１、電流
値判定部２４１．電流テーブル格納部２４３、論理判定
部２５１．論理テーブル格納部２５３は制御部２１１に
接続されている。また、テストパターン発生部２２１は
外部の被測定素子２９９の入力端に接続され、電源供給
部２３１は、電流測定部２３３を介して被測定素子２９
９の入力端（電源端子）に接続されている。電流値判定
部２４１は、電流測定部２３３及び電流テーブル格納部
２４３に接続され、論理判定部２５１は、被測定素子２
９９の出力端及び論理テーブル格納部２５３に接続され
ている。

−１−実！（社）１作 論理テーブル格納部２５３には、予め良品（同タイプの
０ＭＯ３−ＬＳＩ）についてスタック故障診断を行ない
、そこで得られた結果パターンを格納しておく。また、
電流テーブル格納部２４３には、スタック故障診断の各
パターンに対応した電源の電流値を良品について測定し
ておき、その値を格納しておく。

以下、第２図を参照する。

最初に、制御部２１１は、電源供給部２３１に指示を送
り、被測定素子２９９が動作するための電圧の供給を行
なう。電源供給部２３１の出力電圧は電流測定部２３３
を介して被測定素子２９９に供給され、電流測定部２３
３では、そのときの電流値を測定して電流値判定部２４
１に入力する。

次に、制御部２１１は、テストパターン発生部２２１、
論理テーブル格納部２５３．電流テーブル格納部２４３
に指示を送る。テストパターン発生部２２１では、１番
目のテストパターンを作成して、被測定素子２９９に入
力する。被測定素子２９９は、テストパターンが入力さ
れると、それに対応した結果パターンを出力し、論理判
定部２５１ではその結果パターンを受は取る。論理テー
ブル格納部２５３は、１番目のテストパターンに、対応
する良品の結果パターンを論理判定部２５１に入力する
。

論理判定部２５１は、論理テーブル格納部２５３からの
良品の結果パターンと被測定素子２９９から入力された
結果パターンを比較して、それらが同じであれば１番目
のテストパターンについては正常であると判断する。

また、電流テーブル格納部２４３は、１番目のテストパ
ターンに対応する良品の電源電流値を電流値判定部２４
１に入力する。電流値判定部２４１では、電流測定部２
３３から入力される被測定素子２９９の１番目のテスト
パターンに対する電法案測値と電流テーブル格納部２４
３から入力される良品の電流値を比較して、ばらつきを
考慮して正常な値かどうかを判断する。

以上で、１番目のテストパターンに対する電流値判定部
２４１と論理判定部２５１での判定が終了する。

次に、制御部２１１は、２番目のテスト指示をテストパ
ターン発生部２２１．論理テーブル格納部２５３．電流
テーブル格納部２４３に入力して、１番目のテストパタ
ーンと同様の判定を行なう。

以下、同様にして、全てのテストパターンについて、判
定を行なう。

尚、電流測定部２３３で検出される電流値は、テストパ
ターンを変化させた直後は安定しないので、テストパタ
ーンを変化させる直前の値を検出するように、制御部２
１１によって制御を行なう。

また、電流値判定部２４１．論理判定部２５１での判定
の後に、被測定素子２９９の良否を外部に知らせるため
の手段（例えば、ディスプレイやブザー）については省
略した。

■、　　　　のまとめ このように、通常のスタック故障診断の各テストパター
ン毎に、電流測定部２３３で電源の電流値を測定する。

そして、その値が正常であるかどうかを電流値判定部２
４１ヤ判定して、ショート故障診断を行なう。

従って、スタック故障診断とショート故障診断を並行し
て行ない、診断に要する時間を低減し、しかも診断の信
頼性を上げることができる。

■、　の゛ なお、上述した本発明の実施例にあっては、被測定素子
２９９を０ＭＯ５のＬＳＩとしたが、他の素子であって
も、電源電流値を測定することでショート故障診断を行
なうことができるものならば、本発明は適用できる。

また、「１．実施例と第１図との対応関係」において、
第１図と本発明との対応関係を説明しておいたが、これ
に限られることはなく、各種の変形態様があることは当
業者であれば容易に推考できるであろう。

〔発明の効果〕

上述したように、本発明によれば、テストパターン発生
手段から集積回路比入力するテストパターンに対応した
テスト結果パターンによる判定と、電源手段からの出力
電流値による判定を並行して行なうことができるので、
実用的には極めて有用である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の集積回路の診断装置の原理ブロック図
、 第２図は本発明の一実施例による集積回路の診断装置の
構成ブロック図である。 図において、 １２１はテストパターン発生手段、 １３１は電源手段、 １４１は第１判定手段、 １５１は第２判定手段、 １９９は集積回路、 ２００はＬＳＩテスタ、 ２１１は制御部、 ２２１はテストパターン発生部、 ２３１は電源供給部、 ２３３は電流測定部、 ２４１は電流値判定部、 ２４−３は電流テーブル格納部、 ２５１は論理判定部、 ２５３は論理テーブル格納部、 ２９９は被測定素子である。 本発日弓０原閏Ｐフ゛ロッヮ図 第１図 促患例Ｑ鴇阪口 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 診断用のテストパターンを集積回路（１９９）に入力す
   るテストパターン発生手段（１２１）と、集積回路（１
   ９９）に電圧を供給し、その際の電流値を出力する電源
   手段（１３１）と、 電源手段（１３１）の出力電流値が所望範囲内にあるか
   否かを判定する第１判定手段（１４１）と、 前記テストパターンに対応する集積回路（１９９）から
   のテスト結果パターンが所望状態にあるか否かを判定す
   る第２判定手段（１５１）と、を備え、前記テスト結果
   パターンの判定と前記電流値の判定を並行して行なうよ
   うに構成したことを特徴とする集積回路の診断装置。