JPS62183980A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
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- JPS62183980A JPS62183980A JP61027612A JP2761286A JPS62183980A JP S62183980 A JPS62183980 A JP S62183980A JP 61027612 A JP61027612 A JP 61027612A JP 2761286 A JP2761286 A JP 2761286A JP S62183980 A JPS62183980 A JP S62183980A
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Landscapes
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- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(1)技術分野
この発明は赤外レーザを用いたレーザ加工装置に関する
。
。
赤外レーザ光によって、被加工物を切断し、加熱するレ
ーザ加工装置は既に広く用いられている。
ーザ加工装置は既に広く用いられている。
使用する赤外レーザは、YAGレーザ又はCO2し−ザ
が一般的である。どちらも強い赤外光が得られる。YA
Gレーザ光は1.067zm、 Co□レーザ光は10
.6μmの波長を持つ。
が一般的である。どちらも強い赤外光が得られる。YA
Gレーザ光は1.067zm、 Co□レーザ光は10
.6μmの波長を持つ。
YAGレーザ光は、石英ガラスファイバによって導くこ
とができるが、発振効率が低い。
とができるが、発振効率が低い。
Co2レーザは、発振効率が高い。このため、切断、穴
あけ、溶接、熱処理などのような工業分野、あるいは生
体組織の切開、蒸散などを行なう医療分野で実用化が図
られている。
あけ、溶接、熱処理などのような工業分野、あるいは生
体組織の切開、蒸散などを行なう医療分野で実用化が図
られている。
従来、CO2レーザ光は、これを効率良く通すファイバ
がなく、CO2レーザ光自体のパワーが大きいので、ミ
ラー導波路が用いられていた。ミラーを多数用いた、関
節を多用する多関節ミラー型導波路である。
がなく、CO2レーザ光自体のパワーが大きいので、ミ
ラー導波路が用いられていた。ミラーを多数用いた、関
節を多用する多関節ミラー型導波路である。
関節に於て、曲げ、回転などができるようになっている
が、自由度が小さく、ミラーの角度調整も困難であって
使いにくい、という欠点があった。
が、自由度が小さく、ミラーの角度調整も困難であって
使いにくい、という欠点があった。
柔軟性、可撓性を求めて、近年、赤外ファイバが開発さ
れつつある。
れつつある。
アルカリハライド系、タリウムハライド系、銀ハライド
系の結晶ファイバ、カルコゲナイドガラス系ファイバ、
フッ化物系ガラスファイバなどがCO2レーザ光を伝送
するためのファイバとして開発されてきた。
系の結晶ファイバ、カルコゲナイドガラス系ファイバ、
フッ化物系ガラスファイバなどがCO2レーザ光を伝送
するためのファイバとして開発されてきた。
(イ)従来技術
内視鏡として使用されている物は、照明光を導くファイ
バと、物体からの物体光を導く光ファイバと、対象物へ
液体又は気体を送給し、或はこれら流体を除去するよう
にしたものがある。
バと、物体からの物体光を導く光ファイバと、対象物へ
液体又は気体を送給し、或はこれら流体を除去するよう
にしたものがある。
たとえば、プラスチックの外被の中に、導管を1本或は
2本設け、さらに、照明光伝送用ファイバ、物体光伝送
用ファイバをこの外被の中へ埋め込んだような構造にな
っている。
2本設け、さらに、照明光伝送用ファイバ、物体光伝送
用ファイバをこの外被の中へ埋め込んだような構造にな
っている。
導管によって、ガスを抜いたり、或は生理食塩水を導入
したりできる。照明光によって、対象物を明るく照らす
ことができる。反射光は、他の光ファイバによって伝送
され、これはTVカメラ、又は肉眼で対象物を観察でき
るようになっている。
したりできる。照明光によって、対象物を明るく照らす
ことができる。反射光は、他の光ファイバによって伝送
され、これはTVカメラ、又は肉眼で対象物を観察でき
るようになっている。
物体光を伝送する光ファイバは、多数の独立な光ファイ
バの集合であって、イメージファイバと呼ぶこともある
。
バの集合であって、イメージファイバと呼ぶこともある
。
照明光伝送用ファイバは、プラスチックファイバ或は石
英ガラスファイバである。
英ガラスファイバである。
このようなものは、可視光を伝送するものである。
YAGレーザを用いた医療用機器、成るいはArレーザ
を用いた医療用機器に於ては、これらに加えて、レーザ
光伝送用のファイバも備える。これらは石英ガラスファ
イバによって、伝送できる。
を用いた医療用機器に於ては、これらに加えて、レーザ
光伝送用のファイバも備える。これらは石英ガラスファ
イバによって、伝送できる。
従って、導光路の構成は、照明光伝送用ファイバ、イメ
ージファイバ、流体注入用導管又は流゛体排除用導管、
加工用レーザ光伝送用ファイバよりなっている。こうし
て、対象物を照らし、観察しながら、レーザ光を照射で
きるようになっている。
ージファイバ、流体注入用導管又は流゛体排除用導管、
加工用レーザ光伝送用ファイバよりなっている。こうし
て、対象物を照らし、観察しながら、レーザ光を照射で
きるようになっている。
CO2レーザの場合も、必要に応じて、ライトガイドな
どの照明系と組合わせ、可視域の画像伝送用ファイバ(
イメージファイバ)を用いて、被加工部分を視覚的に検
査する事のできるようになったレーザ加工機が作製され
ている。
どの照明系と組合わせ、可視域の画像伝送用ファイバ(
イメージファイバ)を用いて、被加工部分を視覚的に検
査する事のできるようになったレーザ加工機が作製され
ている。
視覚による観察は、加工前、加工中、加工後の全てにわ
たって実行することができる。このようにして、対象物
が、狭隘な場所にあっても、これを視覚観察しながら、
レーザ光を照射することができるのである。
たって実行することができる。このようにして、対象物
が、狭隘な場所にあっても、これを視覚観察しながら、
レーザ光を照射することができるのである。
ところが、これでは、被加工部分の温度異常や、可視的
には不明な被加工部分の変質などを、検知することがで
きない。
には不明な被加工部分の変質などを、検知することがで
きない。
被加工物の温度測定も必要なことがある。
赤外光ファイバと、放射温度計とを組合わせて、放射温
度計を構成したものは既に存在する。放射温度計は、物
体から温度に応じた赤外光が放射されることに基づいて
、物体の温度を求めるものである。温度によりスペクト
ルのピークの位置が変動し、又、放射光の全体の強度も
変動する。従って、放射光スペクトル、或は放射光強度
を測定することにより、物体の温度を検出できる。
度計を構成したものは既に存在する。放射温度計は、物
体から温度に応じた赤外光が放射されることに基づいて
、物体の温度を求めるものである。温度によりスペクト
ルのピークの位置が変動し、又、放射光の全体の強度も
変動する。従って、放射光スペクトル、或は放射光強度
を測定することにより、物体の温度を検出できる。
物体のすぐ近くに検出器を位置させることが難しいので
、物体の反射光を、光ファイバによって検出器まで伝送
する。
、物体の反射光を、光ファイバによって検出器まで伝送
する。
通常の温度範囲にある物体の放射スペクトルの大部分は
赤外域にある。そこで、赤外光ファイ、(が、放射温度
計の光ファイバとして用(1られる。
赤外域にある。そこで、赤外光ファイ、(が、放射温度
計の光ファイバとして用(1られる。
このように、CO2レーザ加工機で、赤外光ファイバを
、光の伝送に用いるものは存在する。さらに、赤外光フ
ァイバを信号光の伝送に用いた放射温度計も既に存在す
る。
、光の伝送に用いるものは存在する。さらに、赤外光フ
ァイバを信号光の伝送に用いた放射温度計も既に存在す
る。
しかし、両者を兼ねそなえたものは、未だ存在しない。
さらに、CO2レーザ加工機に於て、視覚観察可能であ
って、CO□レーザ光照射のできるものもあるが、既に
述べたように、CO,レーザ伝送ファイバと、観察用の
ファイバは別々の導光路になっているから、嵩ぼって、
可撓性を欠くという難点があった。
って、CO□レーザ光照射のできるものもあるが、既に
述べたように、CO,レーザ伝送ファイバと、観察用の
ファイバは別々の導光路になっているから、嵩ぼって、
可撓性を欠くという難点があった。
(つ) 目 的
(1) 視覚的な検査では検出できないような、被加
工部分の温度異常や変質を赤外光を利用して検出するこ
とのできるレーザ加工装置を与えることが本発明の第1
の目的である。
工部分の温度異常や変質を赤外光を利用して検出するこ
とのできるレーザ加工装置を与えることが本発明の第1
の目的である。
(2)可撓性を損うことなく細径の導光路を有する取扱
い容易なレーザ加工装置を提供することが本発明の第2
の目的である。
い容易なレーザ加工装置を提供することが本発明の第2
の目的である。
に)構 成
本発明のレーザ加工機は、CO□レーザ光を伝送するこ
とができ、可視光による観察が可能で、しかも温度測定
も可能であるようにしたものである。
とができ、可視光による観察が可能で、しかも温度測定
も可能であるようにしたものである。
このため、CO2レーザ光伝送用ファイバ、照明用光フ
ァイバ、画像伝送用ファイバ(イメージファイバ)、ガ
イド光伝送用ファイバ、吸引用導管を、本発明のレーザ
加工機の導光路が備えている。
ァイバ、画像伝送用ファイバ(イメージファイバ)、ガ
イド光伝送用ファイバ、吸引用導管を、本発明のレーザ
加工機の導光路が備えている。
第1図は、本発明のレーザ加工面直斤の概略側面図であ
る。
る。
このレーザ加工装置は、筐体1と、集光光学系2、導光
路3、及びマニピュレータ部4とよりなっている。
路3、及びマニピュレータ部4とよりなっている。
筐体1は、レーザ発振器、温度計測器、を組込んである
。視覚観察に必要な光源や、イメージファイバを伝わっ
てきた画像を撮像するTV右カメラどを筐体1に含めて
もよい。また光源や受像装置は、筐体の外に設けてもよ
い。
。視覚観察に必要な光源や、イメージファイバを伝わっ
てきた画像を撮像するTV右カメラどを筐体1に含めて
もよい。また光源や受像装置は、筐体の外に設けてもよ
い。
筐体1の出入射端に設けた集光光学系2&よ、CO2レ
ーザ光の集光光学系である。レンズで構成する場合は、
Zn5e 、 ZnS 、 NtsClなど赤外光を通
すレンズを用いることとする。
ーザ光の集光光学系である。レンズで構成する場合は、
Zn5e 、 ZnS 、 NtsClなど赤外光を通
すレンズを用いることとする。
集光光学系4を組込んだマニピュレータ部4は、導光路
3の終端にあって、それぞれのファイバの終端部を金属
などのスリーブによって、固定したものである。集光光
学系というのは、CO2レーザに対するものであるが、
この他に、イメージファイバの面上に、物体像を結ぶた
めの結像レンズをも備えなければならない。
3の終端にあって、それぞれのファイバの終端部を金属
などのスリーブによって、固定したものである。集光光
学系というのは、CO2レーザに対するものであるが、
この他に、イメージファイバの面上に、物体像を結ぶた
めの結像レンズをも備えなければならない。
第3図によって導光路3の構造を説明する。
CO□レーザ光伝送用赤外ファイバ7が中心に設けられ
ている。これは、第2図に示す赤外ファイバである。
ている。これは、第2図に示す赤外ファイバである。
補強保護層17は、樹脂によって例えば形成されるもの
であって、可撓性があり、化学的に安定な材料である。
であって、可撓性があり、化学的に安定な材料である。
赤外ファイバ7の他に、画像伝送用光ファイバ(イメー
ジファイバ)14、ガイド光伝送用ファイバ15、吸引
用導管16、照明用光ファイバ13を備えている。
ジファイバ)14、ガイド光伝送用ファイバ15、吸引
用導管16、照明用光ファイバ13を備えている。
照明用光ファイバ13は、光源(図示せず)からの可視
光を被加工物に照射するためのものである。プラスチッ
ク、或は石英ガラスファイバを用いることができる。ラ
イトガイドと呼ぶこともある。
光を被加工物に照射するためのものである。プラスチッ
ク、或は石英ガラスファイバを用いることができる。ラ
イトガイドと呼ぶこともある。
画像伝送用光ファイバ14は、被加工物5の像を直接伝
送するイメージファイバである。これは筐体1の方で他
のファイバと分かれ、適当なアダプタを介し、TV右カ
メラ或は肉眼によって被加工物像を観察できるように配
置しである。
送するイメージファイバである。これは筐体1の方で他
のファイバと分かれ、適当なアダプタを介し、TV右カ
メラ或は肉眼によって被加工物像を観察できるように配
置しである。
CO2レーザの光は目視できないので、被加工物5のど
の部分に当っているのか分らないので、可視のガイド光
を、CO2レーザの光)て合致させて出射する。ガイド
光伝送用光ファイバ15は、このようなガイド光を伝送
するものである。ガイド光はHe −Noレーザ光や、
ハロゲンランプの光を使用することができる。これは、
照明光と区別できるものでなければならない。
の部分に当っているのか分らないので、可視のガイド光
を、CO2レーザの光)て合致させて出射する。ガイド
光伝送用光ファイバ15は、このようなガイド光を伝送
するものである。ガイド光はHe −Noレーザ光や、
ハロゲンランプの光を使用することができる。これは、
照明光と区別できるものでなければならない。
ガイド光伝送用光ファイバ15は、PMMAなどのプラ
スチックファイバ、石英ガラスファイバなどを用いる事
ができる。
スチックファイバ、石英ガラスファイバなどを用いる事
ができる。
吸引用導管16は、作業光であるCO2レーザ光の照射
によって生じた被加工物からの粉塵、煙などの排気或い
は吸引のための導管である。
によって生じた被加工物からの粉塵、煙などの排気或い
は吸引のための導管である。
第3図の例に於ては、赤外ファイバ7を中心にし、他の
ファイバを、互に90°をなす4方向の内の3方に設け
ている。しかし、各々のファイバや導管の位置は任意で
ある。
ファイバを、互に90°をなす4方向の内の3方に設け
ている。しかし、各々のファイバや導管の位置は任意で
ある。
第2図は第1図の部分図であって、本発明の主要な溝成
を示す。
を示す。
CO2レーザ発振器6と、放射温度計12がミラー11
0面に対し、いずれも45°の角度をなす位置に設けら
れている。ミラー11はA位置と、B位置を択一的に取
る事ができる。
0面に対し、いずれも45°の角度をなす位置に設けら
れている。ミラー11はA位置と、B位置を択一的に取
る事ができる。
CO2レーザ発振器6の前方には、ミラー11、集光光
学系8、赤外ファイバ7、集光光学系9があり、これら
によってCO□レーザの光が被加工物5へ伝送される。
学系8、赤外ファイバ7、集光光学系9があり、これら
によってCO□レーザの光が被加工物5へ伝送される。
集光光学系8は、CO□レーザの幅のある平行光を、赤
外ファイバ7の入射端へ効率良く入射させるものである
。集光光学系9は、赤外ファイバから出射された拡散光
を、被加工物5の面」二の、狭い地点に集中させるため
のものである。
外ファイバ7の入射端へ効率良く入射させるものである
。集光光学系9は、赤外ファイバから出射された拡散光
を、被加工物5の面」二の、狭い地点に集中させるため
のものである。
集光光学系は、赤外光に対するものであるから、例えば
Zn5eなどを用いることができる。
Zn5eなどを用いることができる。
ミラー11が、破線て示されるB位置にある時、CO2
レーザの光が、赤外ファイバ7を通って、被加工物5へ
照射される。
レーザの光が、赤外ファイバ7を通って、被加工物5へ
照射される。
工業用レーザ加工機である場合、照射の目的は、切断、
穴穿け、溶接、熱処理などである。被加工物は、金属、
プラスチック、セラミックなどである。
穴穿け、溶接、熱処理などである。被加工物は、金属、
プラスチック、セラミックなどである。
医療用レーザ治療機である場合、照射の目的は、生体組
織の切開、蒸散、凝固などである。
織の切開、蒸散、凝固などである。
赤外ファイバ7は、
(1) タリウムハライド TlBr 、IT
II(2)アルカリハライF −CsBr 、 C5I
(3)Itハラ4 F Ag(J l
AgBrを基材とした結晶質ファイバである。
II(2)アルカリハライF −CsBr 、 C5I
(3)Itハラ4 F Ag(J l
AgBrを基材とした結晶質ファイバである。
ミラー11がA位置にある時、CO2レーザの発振を停
止する。被加工物5は、温度に応じた赤外光を放射する
。放射赤外光は集光光学系9によって集光されて、赤外
ファイバ7へ入り、この中を伝送される。放射赤外光の
スペクトルは多様であるが、通常の温度域にあれば、上
記の赤外ファイバによって、効率よく通すことができる
。
止する。被加工物5は、温度に応じた赤外光を放射する
。放射赤外光は集光光学系9によって集光されて、赤外
ファイバ7へ入り、この中を伝送される。放射赤外光の
スペクトルは多様であるが、通常の温度域にあれば、上
記の赤外ファイバによって、効率よく通すことができる
。
赤外7アイパ7を出射した赤外光は、集光光学系8で平
行光となり、ミラー11によって反射されて、放射温度
計12に入射する。放射温度計12は、赤外光の全パワ
ーを検出するか、或はスペクトルに分けて検出し、物体
温度を求める。
行光となり、ミラー11によって反射されて、放射温度
計12に入射する。放射温度計12は、赤外光の全パワ
ーを検出するか、或はスペクトルに分けて検出し、物体
温度を求める。
これによって、物体の温度を知ることができるので極め
て有用である。
て有用である。
例えば、生体組織に於て、正常部と温度差があるような
異常部(患部)を検出できる。
異常部(患部)を検出できる。
なお、放射温度計12は、赤外分光器によって置き換え
る事もできる。
る事もできる。
赤外分光器の場合は、赤外分光器内に赤外光源が内蔵さ
れている。光源から発した赤外光を、ミラー11、赤外
ファイバ7により、被加工物7に照射し、反射光が戻っ
てくるようにする。被加工物の温度やその他の性質によ
って反射特性が変わる。そこで、赤外ファイバを伝わり
ミラー11で反射されて、赤外分光器へ戻ってきた反射
光のスペクトルを調べる。スペクトルによって、温度情
報を得ることができる。
れている。光源から発した赤外光を、ミラー11、赤外
ファイバ7により、被加工物7に照射し、反射光が戻っ
てくるようにする。被加工物の温度やその他の性質によ
って反射特性が変わる。そこで、赤外ファイバを伝わり
ミラー11で反射されて、赤外分光器へ戻ってきた反射
光のスペクトルを調べる。スペクトルによって、温度情
報を得ることができる。
ミラー11は、A位置とB位置に切替わるミラーとして
もよい。これは光スィッチという事ができる。この場合
は、CO2レーザ光を通すか、又は物体からの放射光を
通すか、いずれかであって、同時にレーザ照射、温度測
定ができない。
もよい。これは光スィッチという事ができる。この場合
は、CO2レーザ光を通すか、又は物体からの放射光を
通すか、いずれかであって、同時にレーザ照射、温度測
定ができない。
レーザ照射、温度測定を同時に行なうようにすることも
できる。この場合ミラー11をハーフミラ−とする。ハ
ーフミラ−は、例えばセレン化亜鉛などの平板に、反射
率を制御するコーティングを施したものでよい。
できる。この場合ミラー11をハーフミラ−とする。ハ
ーフミラ−は、例えばセレン化亜鉛などの平板に、反射
率を制御するコーティングを施したものでよい。
CO□レーザ光と、温度検出用の赤外光を同時に通すこ
とができるようになる。コーティングによって、レーザ
光と、検出用赤外光の透過、反射の比率を変えることが
できる。
とができるようになる。コーティングによって、レーザ
光と、検出用赤外光の透過、反射の比率を変えることが
できる。
(イ)効 果
(1)002レーザを伝送するための赤外ファイバと、
被加工物の検査のための赤外光を伝送する赤外ファイバ
を同一にしている。このため導光路内部の構造が簡便に
なる。また導光路を細径にすることができる。取扱いに
便利であって、可撓性を損なわない。
被加工物の検査のための赤外光を伝送する赤外ファイバ
を同一にしている。このため導光路内部の構造が簡便に
なる。また導光路を細径にすることができる。取扱いに
便利であって、可撓性を損なわない。
(2)視覚的な検査では不明な、被加工部分の温度異常
や変質を赤外光を利用して検出できる。
や変質を赤外光を利用して検出できる。
(6)実施例
赤外ファイバとして、0.7ffφ、長さ2mのAgB
r・AgC1!混晶フアイバを用いて本発明のレーザ加
工装置を作製した。集光光学系は反射防止膜付きのZn
5eレンズを用いた。
r・AgC1!混晶フアイバを用いて本発明のレーザ加
工装置を作製した。集光光学系は反射防止膜付きのZn
5eレンズを用いた。
35Wの出力のCO2レーザ光を、被加工物に照射する
ことができた。
ことができた。
第2図の構成で、黒体炉を対象として、約1〜2℃の温
度差を検出することができた。
度差を検出することができた。
(1) 用 途
(1) 工業用レーザ加工機
金属、プラスチックなどの切断、穿孔、溶接、熱処理
(11)医療用レーザ治療機
生体組織の切開、蒸散、凝固
第1図は本発明のレーザ加工装置の全体図。
第2図は赤外ファイバとco2レーザ放射温度計の部分
のみの構成図。 第3図は導光路の断面図。 1 ・・・・・・ レーザ発振器、温度計測器を組込ん
だ筐体 2・・・・・・集光光学系 3・・・・・・導 光路 4 ・・・・・・ 集光光学系を組込んだマニピュレー
タ部 5・・・・・・被加工物 6 ・・・・・・ CO2レーザ発振器γ ・・・・・
・赤外ファイバ 8.9・・・・集光光学系 11 ・・・・ ミ ラ −
12・・・・放射温度計 13 ・・・・ 照明用光ファイバ 14 ・・・・ 画像伝送用光ファイバ15 ・・・・
ガイド光伝送用光ファイバ16・・・・吸引用導管 17・・・・補強保護層 発 明 者 高 橋 謙 −
葭 川 典 之
のみの構成図。 第3図は導光路の断面図。 1 ・・・・・・ レーザ発振器、温度計測器を組込ん
だ筐体 2・・・・・・集光光学系 3・・・・・・導 光路 4 ・・・・・・ 集光光学系を組込んだマニピュレー
タ部 5・・・・・・被加工物 6 ・・・・・・ CO2レーザ発振器γ ・・・・・
・赤外ファイバ 8.9・・・・集光光学系 11 ・・・・ ミ ラ −
12・・・・放射温度計 13 ・・・・ 照明用光ファイバ 14 ・・・・ 画像伝送用光ファイバ15 ・・・・
ガイド光伝送用光ファイバ16・・・・吸引用導管 17・・・・補強保護層 発 明 者 高 橋 謙 −
葭 川 典 之
Claims (5)
- (1)CO_2レーザ発振器と、放射温度計又は赤外分
光器とを内蔵する筐体と、赤外ファイバを含む導光路と
、CO_2レーザ発振器から出射されたレーザ光を赤外
ファイバに入射させる集光光学系と、導光路の先端に設
けられレーザ光を外部へ出射するための集光光学系を含
んだマニピュレータ部とを有し、CO_2レーザ光を赤
外ファイバによつて目的部位に導き被加工物の切断或は
加熱を行なうレーザ加工装置であつて、光シャターの移
動或はハーフミラーにより、CO_2レーザ光と赤外フ
ァイバあるいは、放射温度計又は赤外分光器と赤外ファ
イバを光学的に結合する事により、作業光用の赤外レー
ザ光と検査光用の赤外光を同一の赤外ファイバで伝送す
るようにした事を特徴とするレーザ加工装置。 - (2)赤外ファイバがTlBr又はTlIの結晶を基材
とするものである特許請求の範囲第(1)項記載のレー
ザ加工装置。 - (3)赤外ファイバが、AgCl、AgBrの結晶を基
材とするものである特許請求の範囲第(1)項記載のレ
ーザ加工装置。 - (4)赤外ファイバがCsBr、CsIの結晶を基材と
するものである特許請求の範囲第(1)項記載のレーザ
加工装置。 - (5)導光路には、赤外ファイバ、照明用光ファイバ、
画像伝送用光ファイバ、ガイド光伝送用光ファイバ、吸
引用導管などが一体に設けられている特許請求の範囲第
(1)項記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61027612A JPS62183980A (ja) | 1986-02-10 | 1986-02-10 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61027612A JPS62183980A (ja) | 1986-02-10 | 1986-02-10 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62183980A true JPS62183980A (ja) | 1987-08-12 |
Family
ID=12225756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61027612A Pending JPS62183980A (ja) | 1986-02-10 | 1986-02-10 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62183980A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01250271A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-10-05 | Olympus Optical Co Ltd | 医用レーザ照射装置 |
US5728992A (en) * | 1996-02-29 | 1998-03-17 | Westinghouse Electric Corporation | Apparatus and method for real time evaluation of laser welds especially in confined spaces such as within heat exchanger tubing |
JP2012009160A (ja) * | 2010-06-22 | 2012-01-12 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 面光源装置、それに用いる導光体及びその製造方法 |
WO2016017349A1 (ja) * | 2014-07-28 | 2016-02-04 | 国立大学法人名古屋大学 | レーザー治療器 |
JP2019089120A (ja) * | 2017-11-17 | 2019-06-13 | 三菱電線工業株式会社 | レーザ光伝送用光ファイバ及び溶接方法 |
JP2022161023A (ja) * | 2021-04-07 | 2022-10-20 | ジャイラス エーシーエムアイ インク ディー/ビー/エー オリンパス サージカル テクノロジーズ アメリカ | 過熱保護を有するレーザ手術システムのための光学スプリッタ |
-
1986
- 1986-02-10 JP JP61027612A patent/JPS62183980A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016030009A (ja) * | 2014-07-28 | 2016-03-07 | 飛鳥メディカル株式会社 | レーザー治療器 |
US10617471B2 (en) | 2014-07-28 | 2020-04-14 | National University Corporation Nagoya University | Laser therapeutic device |
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