JPS62111837A - 板状体取出し装置 - Google Patents
板状体取出し装置Info
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- JPS62111837A JPS62111837A JP24828685A JP24828685A JPS62111837A JP S62111837 A JPS62111837 A JP S62111837A JP 24828685 A JP24828685 A JP 24828685A JP 24828685 A JP24828685 A JP 24828685A JP S62111837 A JPS62111837 A JP S62111837A
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- wafers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は、板状体取出し装置に関し、例えばウェハカー
トリッジに収容されている半導体ウェハをウェハカート
リッジから取出すに好適な板状体取出し装置に関する。
トリッジに収容されている半導体ウェハをウェハカート
リッジから取出すに好適な板状体取出し装置に関する。
口、従来技術
半導体ウェハ表面に酸化珪素膜等の堆積膜を形成するた
めにCVD装置が汎用されているが、近時、多数の半導
体ウェハを−L下に積み重ねる如くに配した状態で処理
する縦型炉と称される装置が注目されてきている。この
縦型炉は旧来の横型の炉とは異なって、半導体ウェハの
装入及び取出しが容易であり、作業に必要な内存面積も
少なくて済むという利点がある。
めにCVD装置が汎用されているが、近時、多数の半導
体ウェハを−L下に積み重ねる如くに配した状態で処理
する縦型炉と称される装置が注目されてきている。この
縦型炉は旧来の横型の炉とは異なって、半導体ウェハの
装入及び取出しが容易であり、作業に必要な内存面積も
少なくて済むという利点がある。
こうしたCVD装置を含む種々の処理装置において、多
数の半導体ウェハを円筒形のカートリッジ内に収納し、
カートリッジ毎に一括して処理することは有利である。
数の半導体ウェハを円筒形のカートリッジ内に収納し、
カートリッジ毎に一括して処理することは有利である。
半導体ウェハ(以下、単にウェハと呼ぶ。)は、珪素又
はゲルマニウム等の半解体結晶のインゴットを薄く切っ
たもので、例えば厚さ0.6n程度、直径1501程度
の円板状を呈しており、通常、ハスケソトと呼ばれる容
器内に互いに間隔をおいて多数枚が収容されている。
はゲルマニウム等の半解体結晶のインゴットを薄く切っ
たもので、例えば厚さ0.6n程度、直径1501程度
の円板状を呈しており、通常、ハスケソトと呼ばれる容
器内に互いに間隔をおいて多数枚が収容されている。
旧来の横型炉にあっては、ウェハは縦にして横方向に並
んでバスケットに収容されていて、これらを一括して半
径方向から2個のレバーで挟み込んでバスケットから抜
き出し、向きを変えることなくカートリッジに移換えて
いた。
んでバスケットに収容されていて、これらを一括して半
径方向から2個のレバーで挟み込んでバスケットから抜
き出し、向きを変えることなくカートリッジに移換えて
いた。
縦型炉にあっては、カートリッジ中にウェハを水平にし
て上下方向に互いに間隔をおいて多数枚収容し、一括し
て炉に装入するので、バスケットもカートリッジと同様
の状態でウェハを収容するようにするのが好都合である
。
て上下方向に互いに間隔をおいて多数枚収容し、一括し
て炉に装入するので、バスケットもカートリッジと同様
の状態でウェハを収容するようにするのが好都合である
。
炉内でウェハを処理するに当たり、カートリッジとウェ
ハとの接触面積は、雰囲気ガスの流通を良好にするため
に、できるだけ小さいことが望ましい。その上、縦型炉
用カー1〜リツジでは、ウェハをバスケットとの間で移
換えるために、横方向の少なくとも一方にウェハがi]
Ii過できる開口部(空間部)を設ける必要があり、カ
ートリッジはこの空間部を避けた位置でウェハを支持す
ることになる。そのため、カートリッジ1は、第7図に
示すように、図示しないウェハを水平に支持する2木の
主柱1aとこの水平支持を安定にする補助柱1bとを有
し、主柱1a及び補助柱1bにばつはウェハ出し入れの
ための空間部である。また、カートリッジは、炉内でウ
ェハと共に加熱されるので、その材料には石英ガラスが
好ましく使用される。
ハとの接触面積は、雰囲気ガスの流通を良好にするため
に、できるだけ小さいことが望ましい。その上、縦型炉
用カー1〜リツジでは、ウェハをバスケットとの間で移
換えるために、横方向の少なくとも一方にウェハがi]
Ii過できる開口部(空間部)を設ける必要があり、カ
ートリッジはこの空間部を避けた位置でウェハを支持す
ることになる。そのため、カートリッジ1は、第7図に
示すように、図示しないウェハを水平に支持する2木の
主柱1aとこの水平支持を安定にする補助柱1bとを有
し、主柱1a及び補助柱1bにばつはウェハ出し入れの
ための空間部である。また、カートリッジは、炉内でウ
ェハと共に加熱されるので、その材料には石英ガラスが
好ましく使用される。
ハ0発明に至る経過
本発明者は、検討を重ねた結果、上記の縦型CVD装置
用のカートリッジには、次のような問題があることを見
出した。
用のカートリッジには、次のような問題があることを見
出した。
」1記の主柱及び補助柱の溝は、ウェハが等間隔をおい
て互いに平行に支持されるよう、所定のピンチを以て設
けられているが、繰返し使用するうちに、炉内での処理
による加熱と炉外での放冷との繰返しによって、主柱及
び/又は補助柱が変形し、やがて溝のピッチが僅か乍ら
狂うようになる。
て互いに平行に支持されるよう、所定のピンチを以て設
けられているが、繰返し使用するうちに、炉内での処理
による加熱と炉外での放冷との繰返しによって、主柱及
び/又は補助柱が変形し、やがて溝のピッチが僅か乍ら
狂うようになる。
このようになると、第16図又は第17図に示すように
、主柱1a及び補助柱1bによって支持されているウェ
ハ66は、主柱1a外に突出た部分の先端では間隔が不
同になり、カートリッジ1がらウェハ66を取出すため
に前後からアーム54.53を近付け、アーム53.5
4の先端に設けられた凸部53b、54bによってウェ
ハ66の周辺部下側に位置させようとすると、一方のア
ーム54の凸部54bがウェハ66に当るようになった
り、ウェハ66を2枚重ねて支持しようとするようにな
ったりする。このような状態でウェハ取出し具54を前
進させると、ウェハ66が破損し、また、この破損の結
果、好ましくない塵が発生するようになる。
、主柱1a及び補助柱1bによって支持されているウェ
ハ66は、主柱1a外に突出た部分の先端では間隔が不
同になり、カートリッジ1がらウェハ66を取出すため
に前後からアーム54.53を近付け、アーム53.5
4の先端に設けられた凸部53b、54bによってウェ
ハ66の周辺部下側に位置させようとすると、一方のア
ーム54の凸部54bがウェハ66に当るようになった
り、ウェハ66を2枚重ねて支持しようとするようにな
ったりする。このような状態でウェハ取出し具54を前
進させると、ウェハ66が破損し、また、この破損の結
果、好ましくない塵が発生するようになる。
そのほか、他の部分の寸法誤差やウェハ取出し具の運動
の誤差によっても、上記のような問題が起こり得る。
の誤差によっても、上記のような問題が起こり得る。
このような問題を解消したウェハ取出し装置は、現在迄
のところ、未だ提案されておらず、知られてもいない。
のところ、未だ提案されておらず、知られてもいない。
本発明者は、鋭意研究の結果、上記の問題を解決して本
発明をなすに至った。
発明をなすに至った。
ニ0発明の目的
本発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって
、板状体(例えばウェハ)の水平が保たれていない状態
でも、板状体を破損することなく、安全に板状体支持装
置(例えばカートリッジ)から板状体を取出す板状体取
出し装置を提供することを目的としている。
、板状体(例えばウェハ)の水平が保たれていない状態
でも、板状体を破損することなく、安全に板状体支持装
置(例えばカートリッジ)から板状体を取出す板状体取
出し装置を提供することを目的としている。
ホ1発明の構成
本発明は、板状体を挿入又は取出すための空間部から挿
入された前記板状体をその周辺部で支持する板状体支持
装置から、互に対向する第一及び第二の板状体取出し具
間に前記板状体をその周辺部で支持して取出す板状体取
出し装置であって、前記第一及び第二の板状体取出し具
の少なくとも1つに於ける板状体支持部の所定箇所が、
前記板状体支持装置のうち前記空間部に臨む板状体支持
位置の近傍で前記板状体周辺部に近接若しくは接触して
から、この板状体の支持位置に移動するように構成され
た板状体取出し装置に係る。
入された前記板状体をその周辺部で支持する板状体支持
装置から、互に対向する第一及び第二の板状体取出し具
間に前記板状体をその周辺部で支持して取出す板状体取
出し装置であって、前記第一及び第二の板状体取出し具
の少なくとも1つに於ける板状体支持部の所定箇所が、
前記板状体支持装置のうち前記空間部に臨む板状体支持
位置の近傍で前記板状体周辺部に近接若しくは接触して
から、この板状体の支持位置に移動するように構成され
た板状体取出し装置に係る。
へ、実施例
以下、カーI・リッジ中に収容されているウェハを取出
してこれをバスケットに移換えるのに本発明を適用した
例について説明する。
してこれをバスケットに移換えるのに本発明を適用した
例について説明する。
バスケット2はプラスチック製で、第8図に示すように
、両側壁内側にはウェハが嵌入する溝2a及びウェハを
支持するつば2bが多数段けられ、少なくとも一方の他
の側にはウェハを出入させるように開口部2dを設けで
ある。
、両側壁内側にはウェハが嵌入する溝2a及びウェハを
支持するつば2bが多数段けられ、少なくとも一方の他
の側にはウェハを出入させるように開口部2dを設けで
ある。
第14図は、ウェハ16を収納したカーI・リッジ1を
示し、同図fa)は平面図、同図fblは同図(a)の
Xll!ilA −Xl’J b線に沿う矢視断面図で
ある。
示し、同図fa)は平面図、同図fblは同図(a)の
Xll!ilA −Xl’J b線に沿う矢視断面図で
ある。
底板1dとからなっている。各支柱1aにはウェハ16
を支持するための溝1bが例えば25個設&−1られて
いて、ウェハ16はその縁部を溝1bに係止して水平に
互いに間隔をおいてカーI・リッジ1中に載置されてい
る。支柱1aば、ウェハ16の出入を可能にするよう、
第14図に於いて右側半分にのみ設けられている。
を支持するための溝1bが例えば25個設&−1られて
いて、ウェハ16はその縁部を溝1bに係止して水平に
互いに間隔をおいてカーI・リッジ1中に載置されてい
る。支柱1aば、ウェハ16の出入を可能にするよう、
第14図に於いて右側半分にのみ設けられている。
第15図は、ウェハ16を収容したバスケット2を示し
、同図(a)は平面図、同図(b)は同図(a)のXV
−1−XV−線に沿う矢視断面図である。
、同図(a)は平面図、同図(b)は同図(a)のXV
−1−XV−線に沿う矢視断面図である。
プラスチック製バスケソl−2の側壁2aには内方へ突
出する多数のつば2bが設けられ、っば2b上に例えば
25枚のウェハ16が一枚ずつその周縁が係止して」−
下方向に載置されている。ハスゲット2は、ウェハ16
の出入を可能にするよう、前面及び背面には壁を設けて
いない。
出する多数のつば2bが設けられ、っば2b上に例えば
25枚のウェハ16が一枚ずつその周縁が係止して」−
下方向に載置されている。ハスゲット2は、ウェハ16
の出入を可能にするよう、前面及び背面には壁を設けて
いない。
第12図は、カートリッジ1中のウェハ16を、互いに
対向するアーム3.4を使用してバスケット2に移換え
る手順を示すフローチャートである。
対向するアーム3.4を使用してバスケット2に移換え
る手順を示すフローチャートである。
第12図(alに示すように、対向する一対のアーム3
.4の間に軸を一致させてウェハ16を収容したカート
リッジ1と空のバスヶソl−2とを位置させ、同図(b
)に示すように、アーム3.4を前進させてこれらの先
端縁部でウェハ16を支持するようにし、同図(c)に
示すように、その侭アーム3.4を図に於いて左方に移
動させてウェハ16をカートリッジ1中に収容し、最後
に同図(dlに示すように、アーム3.4を後退させる
。
.4の間に軸を一致させてウェハ16を収容したカート
リッジ1と空のバスヶソl−2とを位置させ、同図(b
)に示すように、アーム3.4を前進させてこれらの先
端縁部でウェハ16を支持するようにし、同図(c)に
示すように、その侭アーム3.4を図に於いて左方に移
動させてウェハ16をカートリッジ1中に収容し、最後
に同図(dlに示すように、アーム3.4を後退させる
。
第12図(alの状態におけるバスケット2、カートリ
ッジ1並びにアーム3及び4の位置関係は、第13図に
斜視図で示す通りである。
ッジ1並びにアーム3及び4の位置関係は、第13図に
斜視図で示す通りである。
バスケット2の前面及び背面には、前述したように壁が
設けられておらず、アーム3.4が貫通ム3.4が通過
できるに充分な間隔をおいて設けられ、開口部1e、1
fが形成されている。従って、アーム3.4は、バスケ
ット2及びカートリッジ1に対して、開口部2c、2d
、1e、1fを経由して挿入、離脱が可能になっていて
、第1図(alの状態から同図(b)、(c)、(dl
の状態へと往復動が可能である。
設けられておらず、アーム3.4が貫通ム3.4が通過
できるに充分な間隔をおいて設けられ、開口部1e、1
fが形成されている。従って、アーム3.4は、バスケ
ット2及びカートリッジ1に対して、開口部2c、2d
、1e、1fを経由して挿入、離脱が可能になっていて
、第1図(alの状態から同図(b)、(c)、(dl
の状態へと往復動が可能である。
第12図(blの状態に於けるウェハ移換え装置を第9
図に平面図で、第10図に正面図(一部は断面)で示す
。
図に平面図で、第10図に正面図(一部は断面)で示す
。
雌ねじが螺設されたスライダ5にはアーム3が、雌ねじ
が螺設されたスライダ6にはアーム4が夫々水平に固着
され、アーム3.4は互いに向合って位置している。
が螺設されたスライダ6にはアーム4が夫々水平に固着
され、アーム3.4は互いに向合って位置している。
フレーム11の側壁11a、Ilbには親ねじ9.10
が平行に貫通していて、親ねじ9にはスライダ5が、親
ねじ10にはスライダ6が夫々螺合し、親ねじ9はスラ
イダ6に、親ねじ1oばスライダ5に夫々接触すること
なく貫通していて、親ねじ9.10の回動によってスラ
イダ5.6が別個に親ねじ9.10に沿って往復動でき
るようにしである。7及び8はスライダ5.6の案内軸
である。
が平行に貫通していて、親ねじ9にはスライダ5が、親
ねじ10にはスライダ6が夫々螺合し、親ねじ9はスラ
イダ6に、親ねじ1oばスライダ5に夫々接触すること
なく貫通していて、親ねじ9.10の回動によってスラ
イダ5.6が別個に親ねじ9.10に沿って往復動でき
るようにしである。7及び8はスライダ5.6の案内軸
である。
第9図及び第10図は、第12図(alの状態から親ね
じ9.10を回転させてスライダ5.6をウェハ16に
向かって前進させ、第12図Fb)の状態とした時点を
示している。
じ9.10を回転させてスライダ5.6をウェハ16に
向かって前進させ、第12図Fb)の状態とした時点を
示している。
フレーム11は、2対のカム14.15上に載置され、
カム14.15の回転によってガイド12.13の間で
上下動するようにしである。
カム14.15の回転によってガイド12.13の間で
上下動するようにしである。
カー1〜リツジ中に収容されているウェハをバスケット
に移換えるに至るアームの運動は、部分断面図で第11
図に示す通りである。
に移換えるに至るアームの運動は、部分断面図で第11
図に示す通りである。
第11図(alはカートリッジ1中にウェハ16が収容
されている状態を示し、ウェハ16はカートリッジ1の
支柱1a及び補助柱1bの溝1eに支持され、図示しな
い搬送手段によって対向する一対のアーム3.4の間に
搬送されるl(第12図(a)の状B)。
されている状態を示し、ウェハ16はカートリッジ1の
支柱1a及び補助柱1bの溝1eに支持され、図示しな
い搬送手段によって対向する一対のアーム3.4の間に
搬送されるl(第12図(a)の状B)。
この状態から、第11図(b)に示すように、アーム3
.4をカートリッジ1に向って移動させ、アーム3.4
の端縁の支持部3a、4aがウェハ痔、 16の縁部間府に位置するようにする(第12図(1)
)の状態)。アーム3.4の移動は第10図の親ねじ9
.1oの回動によってなされる。このときのアーム4の
支持部4aの運動については後に詳述する。
.4をカートリッジ1に向って移動させ、アーム3.4
の端縁の支持部3a、4aがウェハ痔、 16の縁部間府に位置するようにする(第12図(1)
)の状態)。アーム3.4の移動は第10図の親ねじ9
.1oの回動によってなされる。このときのアーム4の
支持部4aの運動については後に詳述する。
次に、第10図のカム14.15を90°回転させてフ
レーム11と共にアーム3.4を上昇させ、第11図(
C)に示すように、ウェハ16をアーム3.4の支持部
3a、4aに載置する。このとき、カー 1−リッジ1
の支柱1a、補助柱1bのaleは(1]) ウェハ16から離れる。
レーム11と共にアーム3.4を上昇させ、第11図(
C)に示すように、ウェハ16をアーム3.4の支持部
3a、4aに載置する。このとき、カー 1−リッジ1
の支柱1a、補助柱1bのaleは(1]) ウェハ16から離れる。
次に、アーム3.4をウェハ16を支承した侭バスケッ
ト2へ向かって移動させ、第11図(dlに帥、 示すように、バスケット2のつば2bの間附にウェハ1
6の縁部を侵入させる(第12図FC+の状態)。
ト2へ向かって移動させ、第11図(dlに帥、 示すように、バスケット2のつば2bの間附にウェハ1
6の縁部を侵入させる(第12図FC+の状態)。
次に、第10図のカム14.15を90°回転させてフ
レーム11と共にアーム3.4を下降させ、第11図(
e)に示すように、ウェハ16をバスケット2のつば2
bに載置させる。このとき、アーム3.4の支持部3a
、4aばウェハ16から離れる。
レーム11と共にアーム3.4を下降させ、第11図(
e)に示すように、ウェハ16をバスケット2のつば2
bに載置させる。このとき、アーム3.4の支持部3a
、4aばウェハ16から離れる。
次に、アーム3.4を後退させ、第11図(flに示す
よ・うに、これらをカートリッジ1及びバスケット2か
ら外す(第12図(11+の状態)。
よ・うに、これらをカートリッジ1及びバスケット2か
ら外す(第12図(11+の状態)。
かくして、ウェハ16はカートリッジ1からバスケット
2へ一括して移換えられ、カートリッジ1に収容された
ウェハ16は、バスケット2と共に図示しない移送装置
によって移送される。
2へ一括して移換えられ、カートリッジ1に収容された
ウェハ16は、バスケット2と共に図示しない移送装置
によって移送される。
未処理のウェハをカートリッジに移換えるには、第11
図(a)〜(f)の手順の逆の手順に従えば良い。
図(a)〜(f)の手順の逆の手順に従えば良い。
なお、第10図で、フレーム11を昇降させるためのカ
ム14.15に替えて、ねじジヤツキや油圧シリンダ等
適宜の機構を採用することができる。
ム14.15に替えて、ねじジヤツキや油圧シリンダ等
適宜の機構を採用することができる。
第11図(alの状態から同図(blの状態に移行する
とき、単純にアーム4を前進させると、カートリッジ1
の主柱1a、補助柱1bの溝1eにピンチの狂いがある
場合には、前述したようなトラブルが起る。従って、本
発明では、アーム3.4のうちの少なくともカートリッ
ジの空間部1d側のアーム4は、その支持部4aの凸部
4bが確実にウェハ16の周辺部下側に位置してからこ
れを支持するようにする。
とき、単純にアーム4を前進させると、カートリッジ1
の主柱1a、補助柱1bの溝1eにピンチの狂いがある
場合には、前述したようなトラブルが起る。従って、本
発明では、アーム3.4のうちの少なくともカートリッ
ジの空間部1d側のアーム4は、その支持部4aの凸部
4bが確実にウェハ16の周辺部下側に位置してからこ
れを支持するようにする。
この例では、アーム4の支持部4aを2木のリンクの先
端に取付け、カートリッジ1中のウェハ16のピッチの
誤差が最も少ない主柱1aに近い位置で支持部4aの凸
部4b(第2図参照)がウェハ16の周辺部の下側に位
置するようにアーム4を前進させ、その後、2本のリン
クの動作によって支持部4aを所定の支持位置に移動さ
せるようにしている。
端に取付け、カートリッジ1中のウェハ16のピッチの
誤差が最も少ない主柱1aに近い位置で支持部4aの凸
部4b(第2図参照)がウェハ16の周辺部の下側に位
置するようにアーム4を前進させ、その後、2本のリン
クの動作によって支持部4aを所定の支持位置に移動さ
せるようにしている。
第1図(a)及び中)は、ウェハを支持する位置に至る
迄の支持部の運動を説明するための要部概略平面図であ
る。支持部4aはリンク26の先端に回動可能に取付け
られている。実際には、リンクは前記のように2木を使
用するのであるが、図面を簡単にするために他の1本は
図示省略しである。
迄の支持部の運動を説明するための要部概略平面図であ
る。支持部4aはリンク26の先端に回動可能に取付け
られている。実際には、リンクは前記のように2木を使
用するのであるが、図面を簡単にするために他の1本は
図示省略しである。
支持部4aは、第2図に斜視図で示すように、コの字形
を呈していて、両側先端部には前述したカートリッジの
溝と同一ピッチで凹凸が設けられ、凸部4bによってウ
ェハを支持するようにしである。
を呈していて、両側先端部には前述したカートリッジの
溝と同一ピッチで凹凸が設けられ、凸部4bによってウ
ェハを支持するようにしである。
カートリッジ1からウェハ16を取出してバスケット2
に移換えるには、第1図(δ)に示すように、支持部4
aを■の位置から進退させ、バスケット2中を通抜けて
■の位置に位置させる。次に、リンク26の作用によっ
て支持部4aを■、■、■、■の位置を経て■の位置に
位置させる。その機構については後に詳述する。
に移換えるには、第1図(δ)に示すように、支持部4
aを■の位置から進退させ、バスケット2中を通抜けて
■の位置に位置させる。次に、リンク26の作用によっ
て支持部4aを■、■、■、■の位置を経て■の位置に
位置させる。その機構については後に詳述する。
次に、図示しないアーム(第9図及び第10図のアーム
4)を前進させて支持部4aを第1図(b)の■の位置
に位置させる。このとき、第2図に示した凸部4bは、
主柱1aの近くで各ウェハ16の周辺部の下側に位置す
る。カートリッジ1中のウェハ16の位置は、各ウェハ
の間で僅かのずれがあるが、総べてのウェハの周辺部下
側に支持部4aの凸部4bが位置するところでアームを
停止させる必要がある。それには、光センサ(図示せず
)等の適宜の検知手段によって各ウェハ16と凸部4b
との関係位置を検知し、これによってアームの前進を停
止させれば良い。
4)を前進させて支持部4aを第1図(b)の■の位置
に位置させる。このとき、第2図に示した凸部4bは、
主柱1aの近くで各ウェハ16の周辺部の下側に位置す
る。カートリッジ1中のウェハ16の位置は、各ウェハ
の間で僅かのずれがあるが、総べてのウェハの周辺部下
側に支持部4aの凸部4bが位置するところでアームを
停止させる必要がある。それには、光センサ(図示せず
)等の適宜の検知手段によって各ウェハ16と凸部4b
との関係位置を検知し、これによってアームの前進を停
止させれば良い。
続いて、支持部4aを第1図(blの■の位置からリン
ク26の作用によって■、■、[相]の位置を経由して
0の位置に位置させる。
ク26の作用によって■、■、[相]の位置を経由して
0の位置に位置させる。
上記■の状態と0の状態は、第3図、第4図に夫々示す
通りである。第3図及び第4図では、支1a、補助柱1
bの溝1eにピンチの狂いがあってウェハ16が互に平
行でないとしても、主柱1aの近くではウェハ16の間
隔の狂いは微少であるので、支持部の凸部4bは、第1
図(b)■の位置ではウェハ16に衝突することなく、
その周辺部下側に位置するようになる。
通りである。第3図及び第4図では、支1a、補助柱1
bの溝1eにピンチの狂いがあってウェハ16が互に平
行でないとしても、主柱1aの近くではウェハ16の間
隔の狂いは微少であるので、支持部の凸部4bは、第1
図(b)■の位置ではウェハ16に衝突することなく、
その周辺部下側に位置するようになる。
第り図(blの■の状態では、第4図に示すように、支
持部の凸部4bは、ウェハ16の周辺部に沿って移動し
ながらウェハ16を互に平行になるようにそれらの位置
を矯正し、ウェハ16を支持可能な状態とする。この状
態から、第10図のカム14.15によって支持部を上
昇させれば、ウェハ16はカートリッジ1から離れ、取
出し可能な状態となる。
持部の凸部4bは、ウェハ16の周辺部に沿って移動し
ながらウェハ16を互に平行になるようにそれらの位置
を矯正し、ウェハ16を支持可能な状態とする。この状
態から、第10図のカム14.15によって支持部を上
昇させれば、ウェハ16はカートリッジ1から離れ、取
出し可能な状態となる。
第9図及び第10図のアーム3は、カートリッジ1の補
助柱1b近くでウェハ16を支持するので、本例のよう
な構造のカートリッジにあっては、上記のような機構を
設ける必要は必ずしもない。
助柱1b近くでウェハ16を支持するので、本例のよう
な構造のカートリッジにあっては、上記のような機構を
設ける必要は必ずしもない。
第5図はリンク作動部の構造を示す斜視図である。
アーム4の先端には切込a、 24−4が設けられ、切
込み24−4の底面にはスライド軸35が水平に固着さ
れていて、スライド軸35には、リンク26.28を前
後進可能に支持するスライドヘアリング27.29が嵌
合している。
込み24−4の底面にはスライド軸35が水平に固着さ
れていて、スライド軸35には、リンク26.28を前
後進可能に支持するスライドヘアリング27.29が嵌
合している。
スライドベアリング27.29にば、リンク26.28
を回動可能に支持するために、夫々軸39.42が固着
していて、リンク26.28の後端は軸39.42に回
動可能に嵌合するベアリング40.41に夫々固着して
いる。
を回動可能に支持するために、夫々軸39.42が固着
していて、リンク26.28の後端は軸39.42に回
動可能に嵌合するベアリング40.41に夫々固着して
いる。
リンク26.28にはガイドピン30.32が夫々設け
られ、ガイドビン30.32は、切込み24−4によっ
て形成される上側板状部24−1に設けられたガイド溝
31、同じく下側板状部24−2に設けられたガイド溝
33に夫々嵌入している。
られ、ガイドビン30.32は、切込み24−4によっ
て形成される上側板状部24−1に設けられたガイド溝
31、同じく下側板状部24−2に設けられたガイド溝
33に夫々嵌入している。
上側板状部24−1の孔24−3には充分な余裕を以っ
てモータ38が位置していて、モータ38はアーム4の
軸方向に移動可能に図示しないガイドに取付けられてい
る。軸39は、モータ38に取付は板40aを介して固
定されていて、モータ38によって平歯車37.43を
介してべアリング30が回動するようにしである。
てモータ38が位置していて、モータ38はアーム4の
軸方向に移動可能に図示しないガイドに取付けられてい
る。軸39は、モータ38に取付は板40aを介して固
定されていて、モータ38によって平歯車37.43を
介してべアリング30が回動するようにしである。
第6図はリンク26.28の動作を説明するだめの上側
板状部241(第5図参照)の下方の主要部分の関係を
示す平面図である。
板状部241(第5図参照)の下方の主要部分の関係を
示す平面図である。
リンク26.28の先端には支持部4aが回動可能に取
付けられていて、モータ38(第5図参照)によってヘ
アリング40(第5図参照)を時計方向に回転させると
、リンク26は、ガイドピン30が上側板状部のガイド
溝31 (一点鎖線で示す)に案内されて時計方向に揺
動すると共に、スライドベアリング27はスライド軸3
5に沿って少し前進し、リンク26は一点鎖線で示す位
置に位置する。
付けられていて、モータ38(第5図参照)によってヘ
アリング40(第5図参照)を時計方向に回転させると
、リンク26は、ガイドピン30が上側板状部のガイド
溝31 (一点鎖線で示す)に案内されて時計方向に揺
動すると共に、スライドベアリング27はスライド軸3
5に沿って少し前進し、リンク26は一点鎖線で示す位
置に位置する。
リンク26の上記の動きによってリンク28は支持部4
aを介して時計方向に揺動し、リンク28は、ガイドビ
ン32がガイド溝33に案内されることによってスライ
ドベアリング29がスラ得 イド軸35に沿って前進ながら一点鎖線で示す位置に位
置する。
aを介して時計方向に揺動し、リンク28は、ガイドビ
ン32がガイド溝33に案内されることによってスライ
ドベアリング29がスラ得 イド軸35に沿って前進ながら一点鎖線で示す位置に位
置する。
その結果、支持部4aは実線で示す位置から−点鎖線で
示す位置に移動する。
示す位置に移動する。
第5図のモータ38によって軸39を反時計方向に回転
させると、支持部4a、リンク26.28は第6図の一
点鎖線で示す位置から実線で示す位置に戻る。
させると、支持部4a、リンク26.28は第6図の一
点鎖線で示す位置から実線で示す位置に戻る。
以上のように、リンク26の揺動と前後進との合成運動
及びリンク28の揺動と前後進との合成運動の連動によ
って、支持部4aは第1図(a)、(blに示したよう
に運動する。
及びリンク28の揺動と前後進との合成運動の連動によ
って、支持部4aは第1図(a)、(blに示したよう
に運動する。
以上説明したようにして、支持部4a、3aによってカ
ートリッジ1中のウェハ16を支持し、第11図に示し
た手順に従ってウェハ16をバスケット2に一括して移
換える。この間にウェハを破損したり好ましくない塵が
発生ずることはない。
ートリッジ1中のウェハ16を支持し、第11図に示し
た手順に従ってウェハ16をバスケット2に一括して移
換える。この間にウェハを破損したり好ましくない塵が
発生ずることはない。
バスケット中に収容されている未処理のウェハをカート
リッジに移換えるには、上記の例とは逆の手順に従えば
良い。
リッジに移換えるには、上記の例とは逆の手順に従えば
良い。
上記の例はウェハ取出し装置を使用してカートリッジと
バスケットとの間でウェハを移換える例であるが、ウェ
ハ取出し装置は、上記のように使用されるtg限られる
ものではなく、例えば、カートリッジから処理済みのウ
ェハを取出し、これを次の処理工程に直接搬送するのに
使用することもできる。
バスケットとの間でウェハを移換える例であるが、ウェ
ハ取出し装置は、上記のように使用されるtg限られる
ものではなく、例えば、カートリッジから処理済みのウ
ェハを取出し、これを次の処理工程に直接搬送するのに
使用することもできる。
また、本発明に暴づく板状体取出し装置は、半導体ウェ
ハのほか、他の板状体、例えば板状ガラス製晶其他の板
状物品の取出しにも同様に適用可能である。
ハのほか、他の板状体、例えば板状ガラス製晶其他の板
状物品の取出しにも同様に適用可能である。
また、板状体は、必ずしも水平又は略水平に支持されて
いる必要はなく、垂直、或いは傾斜した状態で支持され
ていても良い。また、板状体取出し具は、上記の例のよ
うに板状体を支承してこれを支持する以外に、吸着其他
の方法でこれを支持するようにしても良い。
いる必要はなく、垂直、或いは傾斜した状態で支持され
ていても良い。また、板状体取出し具は、上記の例のよ
うに板状体を支承してこれを支持する以外に、吸着其他
の方法でこれを支持するようにしても良い。
1−、発明の効果
以上説明したように、本発明に基づく板状体取出し装置
は、互に対向する第一及び第二の板状体取出し具の少な
くとも一つに於ける板状体支持部の所定箇所が、板状体
支持装置の空間部(板状体を挿入又は取出すための空間
部で、充分な広さを有する。)に臨む板状体支持位置の
近傍で板状体の周辺部に近接若しくは接触してから、板
状体支持位置へ移動するように構成しているので、次の
ような効果が奏せられる。
は、互に対向する第一及び第二の板状体取出し具の少な
くとも一つに於ける板状体支持部の所定箇所が、板状体
支持装置の空間部(板状体を挿入又は取出すための空間
部で、充分な広さを有する。)に臨む板状体支持位置の
近傍で板状体の周辺部に近接若しくは接触してから、板
状体支持位置へ移動するように構成しているので、次の
ような効果が奏せられる。
板状体支持装置の変形によってこれに支持されている板
状体の位置に狂いが生じていても、この狂いの最も少な
い支持位置近傍に先ず板状体取出し装置の板状体支持部
の所定箇所が近接若しくは接触させるようにしているの
で、この板状体支持部が板状体に衝突することがなく、
この板状体支持部が所定の支持位置に移動する間に上記
板状体の位置の狂いが矯正される。その結果、板状体を
ら安全に取出すことができる。
状体の位置に狂いが生じていても、この狂いの最も少な
い支持位置近傍に先ず板状体取出し装置の板状体支持部
の所定箇所が近接若しくは接触させるようにしているの
で、この板状体支持部が板状体に衝突することがなく、
この板状体支持部が所定の支持位置に移動する間に上記
板状体の位置の狂いが矯正される。その結果、板状体を
ら安全に取出すことができる。
第1図〜第15図は本発明の実施例を示すものであって
、 第1図(al及び(b)は板状体取出し具の支持部の運
動を説明するための概略平面図、 第2図は支持部の斜視図、 第3図はカートリッジ中の半導体ウェハに支持部が近接
した状態を示す立面図、 第、4図はカートリッジ中の半導体ウェハの支持位置に
支持部が移動した状態を示す立面図、第5図はリンク機
構の概略斜視図、 第6図はリンク機構の運動を説明するための概略平面図
、 第7図はカートリッジの斜視図、 第8図はバスケットの斜視図、 第9図は半導体ウェハ移換え装置の要部平面図、第10
図は半導体ウェハ移換え装置の要部正面図、 第11図(a)、(bl、(C1、(dl、(el及び
(flは半導体ウェハ移換えの手順を示す断面図、 第12図(al、(b)、(C)及び(d)は半導体ウ
ェハ移換えの手順の概要を示す概略平面図、 第13図は第12図(a)の概略部分斜視図、第14図
(a)はカートリッジの平面図、同図(b)は同図(a
)ノXIv′b−XIVbvA矢視1tJ?WE、第1
5図(a)はバスケットの平面図、同図(b)は同図(
a) (D XV b −4’V b L’l 矢視断
面図である。 第16図及び第17図は本発明に基く板状体取出し装置
以外の装置を使用してカートリッジ中の半導体ウェハを
支持しようとするときの半導体ウェハと取出し具との位
置関係を示す立面図である。 なお、図面に示された符号に於いて、 1 ・・・・カートリッジ 1a ・・・・主柱 1b ・・・・補助柱 1e ・・・・溝 1f ・・・・空間部 2 ・・・・バスケット 2a ・・・・溝 2b ・・・・つば 2d ・・・・開口部 3.4.53.54 ・・・・板状体取出し具(アーム) 3a、4a・・・・支持部 3b、4b、53b、54b ・・・・凸部 16.66・・・・半導体ウェハ 26.28・・・・リンク 27.29・・・・スライドベアリング30.32・・
・・ガイドピン 31.33・ ・ ・ ・ガイド溝 35 ・・・・スライド軸 である。 代理人 弁理士 逢 坂 宏 第1 (a) 図 (b) 第6図 第7図 第8図 区 OJ 沫 第16図
、 第1図(al及び(b)は板状体取出し具の支持部の運
動を説明するための概略平面図、 第2図は支持部の斜視図、 第3図はカートリッジ中の半導体ウェハに支持部が近接
した状態を示す立面図、 第、4図はカートリッジ中の半導体ウェハの支持位置に
支持部が移動した状態を示す立面図、第5図はリンク機
構の概略斜視図、 第6図はリンク機構の運動を説明するための概略平面図
、 第7図はカートリッジの斜視図、 第8図はバスケットの斜視図、 第9図は半導体ウェハ移換え装置の要部平面図、第10
図は半導体ウェハ移換え装置の要部正面図、 第11図(a)、(bl、(C1、(dl、(el及び
(flは半導体ウェハ移換えの手順を示す断面図、 第12図(al、(b)、(C)及び(d)は半導体ウ
ェハ移換えの手順の概要を示す概略平面図、 第13図は第12図(a)の概略部分斜視図、第14図
(a)はカートリッジの平面図、同図(b)は同図(a
)ノXIv′b−XIVbvA矢視1tJ?WE、第1
5図(a)はバスケットの平面図、同図(b)は同図(
a) (D XV b −4’V b L’l 矢視断
面図である。 第16図及び第17図は本発明に基く板状体取出し装置
以外の装置を使用してカートリッジ中の半導体ウェハを
支持しようとするときの半導体ウェハと取出し具との位
置関係を示す立面図である。 なお、図面に示された符号に於いて、 1 ・・・・カートリッジ 1a ・・・・主柱 1b ・・・・補助柱 1e ・・・・溝 1f ・・・・空間部 2 ・・・・バスケット 2a ・・・・溝 2b ・・・・つば 2d ・・・・開口部 3.4.53.54 ・・・・板状体取出し具(アーム) 3a、4a・・・・支持部 3b、4b、53b、54b ・・・・凸部 16.66・・・・半導体ウェハ 26.28・・・・リンク 27.29・・・・スライドベアリング30.32・・
・・ガイドピン 31.33・ ・ ・ ・ガイド溝 35 ・・・・スライド軸 である。 代理人 弁理士 逢 坂 宏 第1 (a) 図 (b) 第6図 第7図 第8図 区 OJ 沫 第16図
Claims (1)
- 1、板状体を挿入又は取出すための空間部から挿入され
た前記板状体をその周辺部で支持する板状体支持装置か
ら、互に対向する第一及び第二の板状体取出し具間に前
記板状体をその周辺部で支持して取出す板状体取出し装
置であって、前記第一及び第二の板状体取出し具の少な
くとも一つに於ける板状体支持部の所定箇所が、前記板
状体支持装置のうち前記空間部に臨む板状体支持位置の
近傍で前記板状体周辺部に近接若しくは接触してから、
この板状体の支持位置に移動するように構成された板状
体取出し装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24828685A JPS62111837A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | 板状体取出し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24828685A JPS62111837A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | 板状体取出し装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62111837A true JPS62111837A (ja) | 1987-05-22 |
JPH0573641B2 JPH0573641B2 (ja) | 1993-10-14 |
Family
ID=17175833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24828685A Granted JPS62111837A (ja) | 1985-11-06 | 1985-11-06 | 板状体取出し装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62111837A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5619784A (en) * | 1991-05-10 | 1997-04-15 | Mazda Motor Corporation | Vehicle assembling method |
-
1985
- 1985-11-06 JP JP24828685A patent/JPS62111837A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5619784A (en) * | 1991-05-10 | 1997-04-15 | Mazda Motor Corporation | Vehicle assembling method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0573641B2 (ja) | 1993-10-14 |
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