JPS61236025A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS61236025A JPS61236025A JP60077303A JP7730385A JPS61236025A JP S61236025 A JPS61236025 A JP S61236025A JP 60077303 A JP60077303 A JP 60077303A JP 7730385 A JP7730385 A JP 7730385A JP S61236025 A JPS61236025 A JP S61236025A
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- thin film
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- magnetic recording
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は非磁性基体上に磁気記録層として蒸着法による
強磁性薄膜を設けてなる磁気記録媒体の製造方法に関し
、とくに耐錆性および表面摩擦係数が改良された磁気記
録媒体の製造方法に関する。
強磁性薄膜を設けてなる磁気記録媒体の製造方法に関し
、とくに耐錆性および表面摩擦係数が改良された磁気記
録媒体の製造方法に関する。
従来より磁気記録媒体としては、非磁性基体上にr−F
ezes、Coをドープしたr−Fe203、Fe3O
4、COをドープしたFe3O4、r−Fe203とF
e3O4のベルトライド化合物、COをドープしたベル
トライド化合物、CrO2等の酸化物磁性粉末あるいは
Fe、CoXNi等を主成分とする合金磁性粉末等の粉
末磁性材料を塩化ビニル−酢酸゛ビニル共重合体、スチ
レン−ブタジェン共重合体、エポキシ樹脂、ポリウレタ
ン樹脂等の有機バインダー中に分散せしめ、塗布、乾燥
させる塗布型のものが広く使用されてきている。
ezes、Coをドープしたr−Fe203、Fe3O
4、COをドープしたFe3O4、r−Fe203とF
e3O4のベルトライド化合物、COをドープしたベル
トライド化合物、CrO2等の酸化物磁性粉末あるいは
Fe、CoXNi等を主成分とする合金磁性粉末等の粉
末磁性材料を塩化ビニル−酢酸゛ビニル共重合体、スチ
レン−ブタジェン共重合体、エポキシ樹脂、ポリウレタ
ン樹脂等の有機バインダー中に分散せしめ、塗布、乾燥
させる塗布型のものが広く使用されてきている。
近年高密度磁気記録への要求の高まりと共に、真空蒸着
、ス/ぐツタリング、イオンブレーティング等の方法に
より形成される強磁性金属薄膜はバインダーを使用しな
い、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体として注目を浴
びており実用化への努力がなされてきている。
、ス/ぐツタリング、イオンブレーティング等の方法に
より形成される強磁性金属薄膜はバインダーを使用しな
い、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体として注目を浴
びており実用化への努力がなされてきている。
従来の塗布型の磁気記録媒体では主として飽和磁化の小
さい金属酸化物を磁性材料として使用していると共に、
磁性層中の磁性材料の体積含有率が30〜J′θ優にす
ぎないため高出力高密度記録媒体としては不適当なもの
である。さらにその製造工程も複雑で溶剤回収あるいは
公害防止のための大きな付帯設備を必要とするという欠
点を有している。金属薄膜型磁気記録媒体では酸化物磁
性材料より大きな飽和磁化を有する強磁性金属を有機バ
インダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で極めて薄
い膜として形成できるという利点を有する。高密度記録
化につれて記録再生磁気ヘッドのギャップ長も/ 、O
pm以下のものを使用するようになってきているが、そ
れに伴って磁気記録層への記録深さも浅くなる傾向があ
り、磁性膜の厚み全部が磁気信号の記録に利用され得る
金属薄膜型磁気記録媒体は高出力高密度記録媒体として
極めてすぐれている。金属薄膜型磁気記録媒体のうちで
も膜の形成を真空蒸着により行なう方法は膜の形成速度
の速いこと、製造工程が簡単であることあるいは排液処
理を必要としないドライプロセスであること等の利点を
有する。中でも特に磁性金属の蒸発ビームを非磁性基体
表面に斜めに入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は
工程および装置機構が比較的簡単であると同時に良好な
磁気特性を有する膜が得られるため実用上すぐれている
。
さい金属酸化物を磁性材料として使用していると共に、
磁性層中の磁性材料の体積含有率が30〜J′θ優にす
ぎないため高出力高密度記録媒体としては不適当なもの
である。さらにその製造工程も複雑で溶剤回収あるいは
公害防止のための大きな付帯設備を必要とするという欠
点を有している。金属薄膜型磁気記録媒体では酸化物磁
性材料より大きな飽和磁化を有する強磁性金属を有機バ
インダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で極めて薄
い膜として形成できるという利点を有する。高密度記録
化につれて記録再生磁気ヘッドのギャップ長も/ 、O
pm以下のものを使用するようになってきているが、そ
れに伴って磁気記録層への記録深さも浅くなる傾向があ
り、磁性膜の厚み全部が磁気信号の記録に利用され得る
金属薄膜型磁気記録媒体は高出力高密度記録媒体として
極めてすぐれている。金属薄膜型磁気記録媒体のうちで
も膜の形成を真空蒸着により行なう方法は膜の形成速度
の速いこと、製造工程が簡単であることあるいは排液処
理を必要としないドライプロセスであること等の利点を
有する。中でも特に磁性金属の蒸発ビームを非磁性基体
表面に斜めに入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は
工程および装置機構が比較的簡単であると同時に良好な
磁気特性を有する膜が得られるため実用上すぐれている
。
しかしながら蒸着法(二よる強磁性薄膜から成る磁気記
録媒体(=かかわる問題として耐錆性および表面摩擦係
数がある。磁気記録媒体はその保存中に腐蝕等による経
時変化から記録された信号の減少あるいは消失があって
はならないことが要求される。さらに磁気記録媒体はヘ
ッドあるいはガイド等との接触運動が円滑になされるべ
くその表面摩擦係数の小さいことが要求される。
録媒体(=かかわる問題として耐錆性および表面摩擦係
数がある。磁気記録媒体はその保存中に腐蝕等による経
時変化から記録された信号の減少あるいは消失があって
はならないことが要求される。さらに磁気記録媒体はヘ
ッドあるいはガイド等との接触運動が円滑になされるべ
くその表面摩擦係数の小さいことが要求される。
蒸着による磁気記録媒体の耐錆性を改良する方法として
種々提案されているが、その7つに特開昭!7−/り♂
!4t3号、特開昭jr−/7j4tグー/7jされて
いるような方法がある。すなわち回転キャンの周側面(
:沿って移動する非磁性基板上に強磁性蒸着薄膜を形成
後、基板を同一キャン面に沿わせた状態で該強磁性薄膜
表面を酸化性ガスを用いたグロー放電雰囲気にさらす方
法である。この方法(二より高温高湿中保存での残留磁
束の減少は改善されるが、他の環境テストにおける耐候
性の改良が常に得られるとは限らず、蒸着膜の表面摩擦
係数にも問題があった。
種々提案されているが、その7つに特開昭!7−/り♂
!4t3号、特開昭jr−/7j4tグー/7jされて
いるような方法がある。すなわち回転キャンの周側面(
:沿って移動する非磁性基板上に強磁性蒸着薄膜を形成
後、基板を同一キャン面に沿わせた状態で該強磁性薄膜
表面を酸化性ガスを用いたグロー放電雰囲気にさらす方
法である。この方法(二より高温高湿中保存での残留磁
束の減少は改善されるが、他の環境テストにおける耐候
性の改良が常に得られるとは限らず、蒸着膜の表面摩擦
係数にも問題があった。
本発明の目的は、耐錆性および表面摩擦係数においてす
ぐれる、蒸着法(二よる磁気記録媒体の製造方法を提供
することにある。
ぐれる、蒸着法(二よる磁気記録媒体の製造方法を提供
することにある。
本発明は、回転キャンに沿って移動する非磁性基体上に
蒸着法により強磁性薄膜を形成後、該基体を同一キャン
に沿わせた状態で該強磁性薄膜表面近傍(−酸化性ガス
を導入し且つ該酸化性ガスをグロー放電せしめて磁気記
録媒体を製造する方法において、該強磁性薄膜表面への
単位面積あたりのグロー放電印加エネルギー(G)を7
.0W−3ec/Cm2以上とすることを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法、に関する。さらに回転キャンに
沿って移動する非磁性基体上に、最小入射角近傍に酸化
性ガスを導入しつつ斜方入射蒸着法により強磁性薄膜を
形成することを特徴とする上記の磁気記録媒体の製造方
法である。さらにまた、最小入射角近傍への酸化性ガス
導入(二よる圧力上昇をΔp1.蒸着後の強磁性薄膜表
面近傍への酸化性ガス導入による圧力上昇なΔp2とす
る時する上記の磁気記録媒体の製造方法である。
蒸着法により強磁性薄膜を形成後、該基体を同一キャン
に沿わせた状態で該強磁性薄膜表面近傍(−酸化性ガス
を導入し且つ該酸化性ガスをグロー放電せしめて磁気記
録媒体を製造する方法において、該強磁性薄膜表面への
単位面積あたりのグロー放電印加エネルギー(G)を7
.0W−3ec/Cm2以上とすることを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法、に関する。さらに回転キャンに
沿って移動する非磁性基体上に、最小入射角近傍に酸化
性ガスを導入しつつ斜方入射蒸着法により強磁性薄膜を
形成することを特徴とする上記の磁気記録媒体の製造方
法である。さらにまた、最小入射角近傍への酸化性ガス
導入(二よる圧力上昇をΔp1.蒸着後の強磁性薄膜表
面近傍への酸化性ガス導入による圧力上昇なΔp2とす
る時する上記の磁気記録媒体の製造方法である。
以下図面を用い本発明の説明を行なう。
第1図は本発明による磁気記録媒体の製造方法を実施す
るための装置の一例を概略的に示す。真空槽//は隔壁
/2(二より上部の送出し巻取り室/3と蒸着室/4t
に区分されており、それぞれ真空排気口/J、/lによ
り独立(二真空排気されるようになっている。テープ状
非磁性基体/7は送出しロール/?から回転キャン/9
に沿って搬送され巻取りロール20;:巻取られるよう
;:なっている。回転キャン/?の下方には蒸発源ルツ
ボ2/が配設されており、磁性材料2.2が電子銃λ3
からの電子ビーム、24tの照射により加熱され蒸発さ
れる。磁性材料の蒸気流2!は回転キャン/りに沿って
移動するテープ状非磁性基体/7の表面に到達し強磁性
蒸着膜として析出する。回転キャン/りの近傍;:はマ
スク26.27が設置されておりそれぞれ蒸気流2!の
テープ状非磁性基体/7の表面への入射角θmaxおよ
び0m i nを設定するようになっている。最低入射
角θ ・ の近1 n 傍にはノズル、2/が設けられており酸化性ガスが導入
される。回転キャン/りの近傍にはフードコタが配設さ
れていてガス導入パイプ30より酸化性ガスがテープ状
非磁性基体12上の強磁性蒸着膜表面に導入される。フ
ード29内にはRF放電コイル3/があってRF電源3
.2と接続されている。蒸着室/4tの圧力は真空計3
3により測定される。本発明において強磁性薄膜表面へ
の単位面積あたりのグロー放電印加エネルギー(G)と
は、RF放電コイルに印加されるノセワー火E (W)
とし、グロー放電の印加されるテープ状非磁性基体/7
の幅をw(cm)とし、テープ状非磁性基体/2の回転
キャン/りに沿っての搬送速度なり(cmのである。本
発明者等はグロー放電印加エネルギ性(:てグロー放電
処理を施した場合に耐錆性および表面摩擦係数において
顕著な改良が得られることを見出したものである。
るための装置の一例を概略的に示す。真空槽//は隔壁
/2(二より上部の送出し巻取り室/3と蒸着室/4t
に区分されており、それぞれ真空排気口/J、/lによ
り独立(二真空排気されるようになっている。テープ状
非磁性基体/7は送出しロール/?から回転キャン/9
に沿って搬送され巻取りロール20;:巻取られるよう
;:なっている。回転キャン/?の下方には蒸発源ルツ
ボ2/が配設されており、磁性材料2.2が電子銃λ3
からの電子ビーム、24tの照射により加熱され蒸発さ
れる。磁性材料の蒸気流2!は回転キャン/りに沿って
移動するテープ状非磁性基体/7の表面に到達し強磁性
蒸着膜として析出する。回転キャン/りの近傍;:はマ
スク26.27が設置されておりそれぞれ蒸気流2!の
テープ状非磁性基体/7の表面への入射角θmaxおよ
び0m i nを設定するようになっている。最低入射
角θ ・ の近1 n 傍にはノズル、2/が設けられており酸化性ガスが導入
される。回転キャン/りの近傍にはフードコタが配設さ
れていてガス導入パイプ30より酸化性ガスがテープ状
非磁性基体12上の強磁性蒸着膜表面に導入される。フ
ード29内にはRF放電コイル3/があってRF電源3
.2と接続されている。蒸着室/4tの圧力は真空計3
3により測定される。本発明において強磁性薄膜表面へ
の単位面積あたりのグロー放電印加エネルギー(G)と
は、RF放電コイルに印加されるノセワー火E (W)
とし、グロー放電の印加されるテープ状非磁性基体/7
の幅をw(cm)とし、テープ状非磁性基体/2の回転
キャン/りに沿っての搬送速度なり(cmのである。本
発明者等はグロー放電印加エネルギ性(:てグロー放電
処理を施した場合に耐錆性および表面摩擦係数において
顕著な改良が得られることを見出したものである。
さらに本発明における圧力上昇Δp/とは酸化性ガスの
ノズルλ♂および導入管3Qからの導入なしでの蒸着し
た場合の蒸着室の圧力をpoとし、ノズル2rのみから
の酸化性ガス導入で蒸着した場合の蒸着室の圧力をp/
とする時Δpi=pi−poで与えられ、さらに圧力上
昇Δp、2とはノズル2/に加えてガス導入パイプ30
からも酸化性ガスを導入して蒸着した時の蒸着室の圧力
pλとする時Δp2=p、2−p/ を指す。本発明者
等はグロー放電印加エネルギー(G)が7.0だ磁気記
録媒体は耐錆性がさらに改良されることを見出したもの
である。
ノズルλ♂および導入管3Qからの導入なしでの蒸着し
た場合の蒸着室の圧力をpoとし、ノズル2rのみから
の酸化性ガス導入で蒸着した場合の蒸着室の圧力をp/
とする時Δpi=pi−poで与えられ、さらに圧力上
昇Δp、2とはノズル2/に加えてガス導入パイプ30
からも酸化性ガスを導入して蒸着した時の蒸着室の圧力
pλとする時Δp2=p、2−p/ を指す。本発明者
等はグロー放電印加エネルギー(G)が7.0だ磁気記
録媒体は耐錆性がさらに改良されることを見出したもの
である。
本発明における蒸着とは、上記米国特許第33412t
32号の明細書等に述べられている通常の真空蒸着の他
、電界、磁界あるいは電子ビーム照゛ 射等により蒸気
、流のイオン化、加速化等を行って蒸発分子の平均自由
行程の大きい雰囲気にて支持基体上に薄膜を形成させる
方法をも含むものであって、例えば特開昭j/−/4t
?θθ?号明細書に示されているような電界蒸着法、特
公昭4t3−//!コ!号、特公昭グご一204t/4
を号、特公昭4t7−.24J−7り号、特公昭グター
グ64t39号、特開昭ダター33?り0号、特開昭り
9−34titrJ号、特開昭4t9−13J号公報ζ
二示されているようなイオン化蒸着法も本発明に用いら
れる。
32号の明細書等に述べられている通常の真空蒸着の他
、電界、磁界あるいは電子ビーム照゛ 射等により蒸気
、流のイオン化、加速化等を行って蒸発分子の平均自由
行程の大きい雰囲気にて支持基体上に薄膜を形成させる
方法をも含むものであって、例えば特開昭j/−/4t
?θθ?号明細書に示されているような電界蒸着法、特
公昭4t3−//!コ!号、特公昭グご一204t/4
を号、特公昭4t7−.24J−7り号、特公昭グター
グ64t39号、特開昭ダター33?り0号、特開昭り
9−34titrJ号、特開昭4t9−13J号公報ζ
二示されているようなイオン化蒸着法も本発明に用いら
れる。
本発明により製造される磁気記録媒体は、膜面に水平方
向(2磁化して記録する従来からの水平磁化記録媒体あ
るいは膜面に垂直方向に磁化して記録する垂直磁化記録
媒体いずれでも良く、前者の場合は第1図に示すような
Co−Ni系等磁性金属の斜方入射蒸着法が用いられ、
後者の場合にはCo−Cr系あるいはCo系等磁性金属
の垂直入射蒸着法が用いられる。
向(2磁化して記録する従来からの水平磁化記録媒体あ
るいは膜面に垂直方向に磁化して記録する垂直磁化記録
媒体いずれでも良く、前者の場合は第1図に示すような
Co−Ni系等磁性金属の斜方入射蒸着法が用いられ、
後者の場合にはCo−Cr系あるいはCo系等磁性金属
の垂直入射蒸着法が用いられる。
本発明において斜方入射蒸着法とは基体表面の法線に対
し膜形成金属材料の蒸気流をある入射角θで入射させ基
体表面上に蒸着薄膜を析出させる方法である。本発明に
おいては斜方入射蒸着法により磁性薄膜を形成せしめる
際、入射角θmaxlユて斜方入射蒸着を開始し、基体
の移動と共に入射角θを連続的(=減少させるよう(2
変化させて入射角θminにて磁性薄膜の析出を停止さ
せるものである。
し膜形成金属材料の蒸気流をある入射角θで入射させ基
体表面上に蒸着薄膜を析出させる方法である。本発明に
おいては斜方入射蒸着法により磁性薄膜を形成せしめる
際、入射角θmaxlユて斜方入射蒸着を開始し、基体
の移動と共に入射角θを連続的(=減少させるよう(2
変化させて入射角θminにて磁性薄膜の析出を停止さ
せるものである。
磁性金属蒸着膜コの膜厚は磁気記録媒体として充分な出
力を与え得る厚さおよび高密度記録の充分行える薄さを
必要とすることから約θ、0.2μmから!。θμm、
好ましくは0.02μmから2.0μmである。
力を与え得る厚さおよび高密度記録の充分行える薄さを
必要とすることから約θ、0.2μmから!。θμm、
好ましくは0.02μmから2.0μmである。
本発明に用いられる磁性金属材料としては、Fe、Co
、 Ni等の金属、あるいはl’e−Co、Fe−Ni
XCo−Ni、 Fe−Co−Ni。
、 Ni等の金属、あるいはl’e−Co、Fe−Ni
XCo−Ni、 Fe−Co−Ni。
Fe−Rh、Fe−Cu、Co−Cu、Co−Au、C
o−Y、Co−1,a、Co−pr、C。
o−Y、Co−1,a、Co−pr、C。
−Gd、Co−8m、Co−Pt、Ni−Cu%Fe−
CrXCo−Cr、Ni−Cr、Fe−Co−Cr、
Ni−Co−Cr、 Fe−Co−N i −Cr等の
強磁性合金である。
CrXCo−Cr、Ni−Cr、Fe−Co−Cr、
Ni−Co−Cr、 Fe−Co−N i −Cr等の
強磁性合金である。
本発明に用いられる基体としてはポリエチレンテレフタ
レート1.ポリイミド、ポリアミド、ポリ[化ビニル、
三酢酸セルロース、ポリカポネート、ポリエチレンナフ
タレートのようなシラスチック(−スが好ましい。
レート1.ポリイミド、ポリアミド、ポリ[化ビニル、
三酢酸セルロース、ポリカポネート、ポリエチレンナフ
タレートのようなシラスチック(−スが好ましい。
本発明の磁気記録媒体においては、必要に応じ潤滑剤層
あるいは支持体裏面にいわゆるバック層を設けてもよい
。
あるいは支持体裏面にいわゆるバック層を設けてもよい
。
また、磁性金属蒸着膜と支持体との間(二有機あるいは
無機物からなる層を設けてもよい。
無機物からなる層を設けてもよい。
次に実施例をもって本発明を具体的に説明するが、本発
明はこれらに限定されるものではない。
明はこれらに限定されるものではない。
実施例1
第1図(=示した巻取り式蒸着装置を用いて、り。
1μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上(:
斜方入射蒸着法によりCo−N1(NiJO重量%)蒸
着磁性薄膜を形成させて磁気テープを形成せしめた。フ
ィルム幅は300mmとし、搬送速度はグθm/分、θ
maxは90°、0m i nは3!0とし膜厚θ、/
夕μmとなるよう磁性薄膜を形成した。RFコイル3/
に印加されるパワーを種々変化させることにより磁性薄
膜表面への単位面積あたりのグロー放電印加エネルギー
CG)の変ったサンプルを作製した。同時にノズル2?
からの酸素ガス一定導入量3rOcc1分に対し、導入
管3θからの酸素ガスの導入量を変化させるルを作製し
た。ノズルコ♂からのみ酸素ガス3/QCC7分を導入
した時の蒸着室の圧力p/はハ/X10−4’l’or
rでΔp/)ttxlo−5’l’orrであった。こ
うして得られた磁気テープの耐錆性および表面摩擦係数
を測定した。耐錆性についてはJISZコ32/の塩水
噴霧テスト法に準拠し!チ濃度の塩水噴霧テストを72
時間実施後の錆の発生状況を!段階評価により調べた。
斜方入射蒸着法によりCo−N1(NiJO重量%)蒸
着磁性薄膜を形成させて磁気テープを形成せしめた。フ
ィルム幅は300mmとし、搬送速度はグθm/分、θ
maxは90°、0m i nは3!0とし膜厚θ、/
夕μmとなるよう磁性薄膜を形成した。RFコイル3/
に印加されるパワーを種々変化させることにより磁性薄
膜表面への単位面積あたりのグロー放電印加エネルギー
CG)の変ったサンプルを作製した。同時にノズル2?
からの酸素ガス一定導入量3rOcc1分に対し、導入
管3θからの酸素ガスの導入量を変化させるルを作製し
た。ノズルコ♂からのみ酸素ガス3/QCC7分を導入
した時の蒸着室の圧力p/はハ/X10−4’l’or
rでΔp/)ttxlo−5’l’orrであった。こ
うして得られた磁気テープの耐錆性および表面摩擦係数
を測定した。耐錆性についてはJISZコ32/の塩水
噴霧テスト法に準拠し!チ濃度の塩水噴霧テストを72
時間実施後の錆の発生状況を!段階評価により調べた。
表面摩擦係数については5USJθZの直径tmmの棒
に対する速度/gmm/secでの磁性薄膜面の動摩擦
係数を調べた。結果は表/のようである。
に対する速度/gmm/secでの磁性薄膜面の動摩擦
係数を調べた。結果は表/のようである。
実施例ユ
第7図に示した巻取り式蒸着装置を用いて/2゜!μm
厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に斜方入射
熱着法によりCoCr (Cr/を重量%)蒸着磁性薄
膜を形成させて磁気テープを作製した。フィルム幅はに
oommとしθmax は90°、0m i nはグθ
0とし膜厚は0.22μmとなるよう磁性薄膜を形成し
た。RFコイル3/に印加される。eワーはダ、θkW
とし、搬送速度を変化させることによって磁性薄膜表面
への単位面積あたりのグロー放電印加エネルギー(G)
の変化したサンプルを得た。ノズル2?からの酸素ガス
導入量をzooccy分とし導入管3θからの酸素ガス
導入量を変化させることにより種々のノズルλ?からの
み酸素ガス導入時の蒸着室の圧力p/はり×/θ−5’
l’orrでΔp/は@X1O−5TOrrであった。
厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上に斜方入射
熱着法によりCoCr (Cr/を重量%)蒸着磁性薄
膜を形成させて磁気テープを作製した。フィルム幅はに
oommとしθmax は90°、0m i nはグθ
0とし膜厚は0.22μmとなるよう磁性薄膜を形成し
た。RFコイル3/に印加される。eワーはダ、θkW
とし、搬送速度を変化させることによって磁性薄膜表面
への単位面積あたりのグロー放電印加エネルギー(G)
の変化したサンプルを得た。ノズル2?からの酸素ガス
導入量をzooccy分とし導入管3θからの酸素ガス
導入量を変化させることにより種々のノズルλ?からの
み酸素ガス導入時の蒸着室の圧力p/はり×/θ−5’
l’orrでΔp/は@X1O−5TOrrであった。
こうして得られた磁気テープの耐錆性、表面摩擦係数を
実施例/と同様にして測定したところ表コのようであっ
た。
実施例/と同様にして測定したところ表コのようであっ
た。
上の実施例から明らかなように強磁性薄膜表面への単位
面積あたりのグロー放電印加エネルギー(G)を1.θ
W−3ec/Cm2以上となる条件(:で作製した磁気
記録媒体はすぐれた耐錆性、および表面摩擦係数を示す
ものである。
面積あたりのグロー放電印加エネルギー(G)を1.θ
W−3ec/Cm2以上となる条件(:で作製した磁気
記録媒体はすぐれた耐錆性、および表面摩擦係数を示す
ものである。
このように本発明の製造方法によれば耐錆性および表面
摩擦係数の著しく改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
製造することができるもので、本方法による金属薄膜型
磁気記録媒体の実用上のメリットは大である。
摩擦係数の著しく改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
製造することができるもので、本方法による金属薄膜型
磁気記録媒体の実用上のメリットは大である。
第1図は本発明による磁気記録媒体の製造方法を実施す
るための装置の一例を概略的に示している。 //・・・・・・真空槽 /2・・・・・・隔壁 /3・・・・・・巻取室 /4t・・・・・・蒸着室 /J−、/l・・・・・・真空排気 /7・・・・・・テープ状非磁性基体 /l・・・・・・送出シロール /9・・・・・・回転キャン コθ・・・・・・巻取ロール 2/・・・・・・蒸発源ルツボ コ2・・・・・・磁性材料 λ3・・・・・・電子銃 24t・・・・・・電子ビーム 2!・・・・・・蒸気流 コ乙、27・・・・・・マスク コ♂・・・・・・ノズル 29・・・・・・フード 3θ・・・・・・ガス導入ノミイブ 3/・・・・・・RFコイル 3.2・・・・・・RF電源 33・・・・・・真空計
るための装置の一例を概略的に示している。 //・・・・・・真空槽 /2・・・・・・隔壁 /3・・・・・・巻取室 /4t・・・・・・蒸着室 /J−、/l・・・・・・真空排気 /7・・・・・・テープ状非磁性基体 /l・・・・・・送出シロール /9・・・・・・回転キャン コθ・・・・・・巻取ロール 2/・・・・・・蒸発源ルツボ コ2・・・・・・磁性材料 λ3・・・・・・電子銃 24t・・・・・・電子ビーム 2!・・・・・・蒸気流 コ乙、27・・・・・・マスク コ♂・・・・・・ノズル 29・・・・・・フード 3θ・・・・・・ガス導入ノミイブ 3/・・・・・・RFコイル 3.2・・・・・・RF電源 33・・・・・・真空計
Claims (3)
- (1)回転キヤンに沿つて移動する非磁性基体上に蒸着
により強磁性薄膜を形成後、該基体を同一キヤンに沿わ
せた状態で該強磁性薄膜表面近傍に酸化性ガスを導入し
且つ該酸化性ガスをグロー放電せしめて磁気記録媒体を
製造する方法において、該強磁性薄膜表面への単位面積
あたりのグロー放電印加エネルギーを1.0W・sec
/cm^2以上とすることを特徴とする磁気記録媒体の
製造方法。 - (2)回転キヤンに沿つて移動する非磁性基体上に、最
小入射角近傍に酸化性ガスを導入しつつ斜方入射蒸着法
により強磁性薄膜を形成することを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載の磁気記録媒体の製造方法。 - (3)最小入射角近傍への酸化性ガス導入による圧力上
昇をΔp1、蒸着後の強磁性薄膜表面近傍への酸化性ガ
ス導入による圧力上昇をΔp2とする時Δp2/Δp1
が5以上となるようにすることを特徴とする特許請求の
範囲第2項記載の磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60077303A JPH0685216B2 (ja) | 1985-04-11 | 1985-04-11 | 磁気記録媒体の製造方法 |
US06/850,309 US4652460A (en) | 1985-04-11 | 1986-04-10 | Process for preparing magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60077303A JPH0685216B2 (ja) | 1985-04-11 | 1985-04-11 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61236025A true JPS61236025A (ja) | 1986-10-21 |
JPH0685216B2 JPH0685216B2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=13630139
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60077303A Expired - Lifetime JPH0685216B2 (ja) | 1985-04-11 | 1985-04-11 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4652460A (ja) |
JP (1) | JPH0685216B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
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---|---|---|---|---|
JPS6154023A (ja) * | 1984-08-24 | 1986-03-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
JPS63282921A (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
DE4101195A1 (de) * | 1991-01-21 | 1992-07-23 | Basf Magnetics Gmbh | Verfahren zur herstellung eines magnetischen aufzeichnungstraegers |
JP2988188B2 (ja) * | 1992-09-09 | 1999-12-06 | 松下電器産業株式会社 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
DE4308632B4 (de) * | 1993-03-18 | 2007-10-04 | Applied Materials Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zum Nachbehandeln von Aluminium-beschichteten Kunststoff-Folien |
KR20180034771A (ko) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 조립체, 이를 포함하는 증착 장치, 및 마스크 조립체의 제조방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59119543A (ja) * | 1982-12-25 | 1984-07-10 | Tdk Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
JPS59124035A (ja) * | 1982-12-30 | 1984-07-18 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3232520A1 (de) * | 1981-09-03 | 1983-03-17 | Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara, Kanagawa | Verfahren zur herstellung eines magnetischen aufzeichnungstraegers |
JPS58130443A (ja) * | 1982-01-28 | 1983-08-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1985
- 1985-04-11 JP JP60077303A patent/JPH0685216B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-04-10 US US06/850,309 patent/US4652460A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59119543A (ja) * | 1982-12-25 | 1984-07-10 | Tdk Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
JPS59124035A (ja) * | 1982-12-30 | 1984-07-18 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0685216B2 (ja) | 1994-10-26 |
US4652460A (en) | 1987-03-24 |
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