JPS6081907U - 搬送ベルト - Google Patents

搬送ベルト

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Publication number
JPS6081907U
JPS6081907U JP17249983U JP17249983U JPS6081907U JP S6081907 U JPS6081907 U JP S6081907U JP 17249983 U JP17249983 U JP 17249983U JP 17249983 U JP17249983 U JP 17249983U JP S6081907 U JPS6081907 U JP S6081907U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conveyor belt
belt
core material
conveyor
conveyed
Prior art date
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Granted
Application number
JP17249983U
Other languages
English (en)
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JPS6330732Y2 (ja
Inventor
田中　克道
清野　寿也
長町　雅仁
Original Assignee
関西日本電気株式会社
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Publication date
Application filed by 関西日本電気株式会社 filed Critical 関西日本電気株式会社
Priority to JP17249983U priority Critical patent/JPS6081907U/ja
Publication of JPS6081907U publication Critical patent/JPS6081907U/ja
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Publication of JPS6330732Y2 publication Critical patent/JPS6330732Y2/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は搬送ベルトの使用例を示す半導体ウェーハ移し
換え装置の概略側面図、第２図は第１図の搬癲ベルトの
一部拡大牛面図、第３図は本考案の一実施例を示す部分
平面図、第４図は第３図のＸ−Ｘ線に沿う拡大断面図、
第５図は第３図の搬送ベルトの部分断面拡大側面図、第
６図及び第７図は本考案の他の各実施例を示す部分断面
側面図である。 Ａ、　Ｂ、　Ｃ・・・搬送ベルト、１・・・被搬送物（
半導体ウェーハ）、９，９′・・・ベルト芯材、１０．
１０・・・パイプ材（石英パイプ）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 被搬送物を載置して搬送する無端ベルト搬送機構におけ
    る搬送ベルトであって、長尺な可撓性のベルト芯材に非
    汚染材よりなる複数のチップ状パイプ材をベルト芯材の
    変形が可能に且つ被搬送物がベルト芯材に当接しない間
    隔で一連に装着したことを特徴とする搬送ベルト。
JP17249983U 1983-11-07 1983-11-07 搬送ベルト Granted JPS6081907U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17249983U JPS6081907U (ja) 1983-11-07 1983-11-07 搬送ベルト

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17249983U JPS6081907U (ja) 1983-11-07 1983-11-07 搬送ベルト

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6081907U true JPS6081907U (ja) 1985-06-06
JPS6330732Y2 JPS6330732Y2 (ja) 1988-08-17

Family

ID=30376003

Family Applications (1)

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JP17249983U Granted JPS6081907U (ja) 1983-11-07 1983-11-07 搬送ベルト

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6081907U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62281344A (ja) * 1986-05-29 1987-12-07 Sony Corp 線状搬送手段

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5558509U (ja) * 1978-10-16 1980-04-21

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5558509U (ja) * 1978-10-16 1980-04-21

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62281344A (ja) * 1986-05-29 1987-12-07 Sony Corp 線状搬送手段

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JPS6330732Y2 (ja) 1988-08-17

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