JPS6081907U - 搬送ベルト - Google Patents
搬送ベルトInfo
- Publication number
- JPS6081907U JPS6081907U JP17249983U JP17249983U JPS6081907U JP S6081907 U JPS6081907 U JP S6081907U JP 17249983 U JP17249983 U JP 17249983U JP 17249983 U JP17249983 U JP 17249983U JP S6081907 U JPS6081907 U JP S6081907U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conveyor belt
- belt
- core material
- conveyor
- conveyed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Structure Of Belt Conveyors (AREA)
- Belt Conveyors (AREA)
- Advancing Webs (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は搬送ベルトの使用例を示す半導体ウェーハ移し
換え装置の概略側面図、第2図は第1図の搬癲ベルトの
一部拡大牛面図、第3図は本考案の一実施例を示す部分
平面図、第4図は第3図のX−X線に沿う拡大断面図、
第5図は第3図の搬送ベルトの部分断面拡大側面図、第
6図及び第7図は本考案の他の各実施例を示す部分断面
側面図である。 A、 B、 C・・・搬送ベルト、1・・・被搬送物(
半導体ウェーハ)、9,9′・・・ベルト芯材、10.
10・・・パイプ材(石英パイプ)。
換え装置の概略側面図、第2図は第1図の搬癲ベルトの
一部拡大牛面図、第3図は本考案の一実施例を示す部分
平面図、第4図は第3図のX−X線に沿う拡大断面図、
第5図は第3図の搬送ベルトの部分断面拡大側面図、第
6図及び第7図は本考案の他の各実施例を示す部分断面
側面図である。 A、 B、 C・・・搬送ベルト、1・・・被搬送物(
半導体ウェーハ)、9,9′・・・ベルト芯材、10.
10・・・パイプ材(石英パイプ)。
Claims (1)
- 被搬送物を載置して搬送する無端ベルト搬送機構におけ
る搬送ベルトであって、長尺な可撓性のベルト芯材に非
汚染材よりなる複数のチップ状パイプ材をベルト芯材の
変形が可能に且つ被搬送物がベルト芯材に当接しない間
隔で一連に装着したことを特徴とする搬送ベルト。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17249983U JPS6081907U (ja) | 1983-11-07 | 1983-11-07 | 搬送ベルト |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17249983U JPS6081907U (ja) | 1983-11-07 | 1983-11-07 | 搬送ベルト |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6081907U true JPS6081907U (ja) | 1985-06-06 |
JPS6330732Y2 JPS6330732Y2 (ja) | 1988-08-17 |
Family
ID=30376003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17249983U Granted JPS6081907U (ja) | 1983-11-07 | 1983-11-07 | 搬送ベルト |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6081907U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62281344A (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-07 | Sony Corp | 線状搬送手段 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5558509U (ja) * | 1978-10-16 | 1980-04-21 |
-
1983
- 1983-11-07 JP JP17249983U patent/JPS6081907U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5558509U (ja) * | 1978-10-16 | 1980-04-21 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62281344A (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-07 | Sony Corp | 線状搬送手段 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6330732Y2 (ja) | 1988-08-17 |
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