JPS5987610U - Ｘ線膜厚計 - Google Patents
Ｘ線膜厚計Info
- Publication number
- JPS5987610U JPS5987610U JP18333282U JP18333282U JPS5987610U JP S5987610 U JPS5987610 U JP S5987610U JP 18333282 U JP18333282 U JP 18333282U JP 18333282 U JP18333282 U JP 18333282U JP S5987610 U JPS5987610 U JP S5987610U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- light
- film thickness
- thickness meter
- ray film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案に関わるＸ線膜厚計の構成を示す側面ブロ
ック図である。 １・・・・・・Ｘ線管、２・・・・・・コリメータ、３
・・−試ｎ、４・・・・・・試料台、５・・・・・・放
射線検出器、６・・・・・・試料位置検出用発光器、７
・・・・・・試料位置検出用受光器、８・・・・・・Ｃ
ＰＵ、 ９・・・・・・モータードライバー、１゜・・
・・・・試料台駆動用モーター。
ック図である。 １・・・・・・Ｘ線管、２・・・・・・コリメータ、３
・・−試ｎ、４・・・・・・試料台、５・・・・・・放
射線検出器、６・・・・・・試料位置検出用発光器、７
・・・・・・試料位置検出用受光器、８・・・・・・Ｃ
ＰＵ、 ９・・・・・・モータードライバー、１゜・・
・・・・試料台駆動用モーター。
Claims (1)
- Ｘ線管と、このＸ線管からのＸ線が照射される試料を載
置するための試料台と、前記試料からの螢光Ｘ線を検出
する放射線検出器とからなるものにおいて、前記照射Ｘ
線の軸を含む平面上で角度θをもってそれぞれ対称とな
る位置に設けられた兇光器および該発光器からの光を前
記試料を介した反射光として受光する受光器と、この受
光器からの検出信号を入力するＣＴ）Ｕと、このＣＰＵ
により駆動され前記試料台を上下動するモータとを備え
、前記受光器が試料からの反射光を検出したときに前記
モータを停止する構成としたことを特徴とするＸ線膜厚
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18333282U JPS5987610U (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | Ｘ線膜厚計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18333282U JPS5987610U (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | Ｘ線膜厚計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5987610U true JPS5987610U (ja) | 1984-06-13 |
Family
ID=30396796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18333282U Pending JPS5987610U (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | Ｘ線膜厚計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5987610U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5616806A (en) * | 1979-07-20 | 1981-02-18 | Hitachi Ltd | Surface roughness measuring unit |
| JPS56128408A (en) * | 1980-03-13 | 1981-10-07 | Rigaku Denki Kogyo Kk | X-ray thickness gauge |
-
1982
- 1982-12-03 JP JP18333282U patent/JPS5987610U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5616806A (en) * | 1979-07-20 | 1981-02-18 | Hitachi Ltd | Surface roughness measuring unit |
| JPS56128408A (en) * | 1980-03-13 | 1981-10-07 | Rigaku Denki Kogyo Kk | X-ray thickness gauge |
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