JPS5939928U - 化学気相成長装置 - Google Patents
化学気相成長装置Info
- Publication number
- JPS5939928U JPS5939928U JP13540582U JP13540582U JPS5939928U JP S5939928 U JPS5939928 U JP S5939928U JP 13540582 U JP13540582 U JP 13540582U JP 13540582 U JP13540582 U JP 13540582U JP S5939928 U JPS5939928 U JP S5939928U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- chemical vapor
- pressure
- container
- deposition apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例である化学気相成長装置を示す
概略的構成図である。 ６・・・反応室、５・・・容器、９・・・排気管、７，
８・・・圧力逃し部。
概略的構成図である。 ６・・・反応室、５・・・容器、９・・・排気管、７，
８・・・圧力逃し部。
Claims (4)
- （１）反応室を構成する容器と、この容器に接続され前
記反応室内のガスを排気させる排気管と、この排気管も
しくは上記容器の一部に設けられ所定圧力を受けること
により開放して圧力を逃□がす圧力逃し部とを具備して
なることを特徴とする化学気相成長装置。 - （２）圧力逃し部は圧力破壊窓としたことを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第１項記載の化学気相成長装置
。 - （３） 圧力逃し部は圧力開閉窓としたことを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第１項記載の化学気相成長
装置。 - （４） 圧力逃し部は容器もしくは排気管の一部を他
の部分より耐圧強度を弱い構造としたことを特徴とする
実用新案登録請求の範囲第１項記載の化学気相成長装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13540582U JPS5939928U (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 化学気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13540582U JPS5939928U (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 化学気相成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5939928U true JPS5939928U (ja) | 1984-03-14 |
Family
ID=30304776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13540582U Pending JPS5939928U (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 化学気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5939928U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5998806U (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-04 | 吉田工業株式会社 | コンパクト容器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4955574A (ja) * | 1972-10-04 | 1974-05-29 |
-
1982
- 1982-09-07 JP JP13540582U patent/JPS5939928U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4955574A (ja) * | 1972-10-04 | 1974-05-29 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5998806U (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-04 | 吉田工業株式会社 | コンパクト容器 |
| JPS6239776Y2 (ja) * | 1982-12-24 | 1987-10-12 |
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