JPS592733U - エアベアリング搬送装置 - Google Patents
エアベアリング搬送装置Info
- Publication number
- JPS592733U JPS592733U JP9572882U JP9572882U JPS592733U JP S592733 U JPS592733 U JP S592733U JP 9572882 U JP9572882 U JP 9572882U JP 9572882 U JP9572882 U JP 9572882U JP S592733 U JPS592733 U JP S592733U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- conveyance
- air bearing
- conveying
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の搬送装置を示す断面図、第2図−は本考
案−実施例を示す斜視図、第3図は実施例のガス吹出口
等とその供給装置との接続系続編示す系統図、第4図は
実施例の平面図、第5図は第4図の■−V線矢視の断面
図、第6図aないしCは切換弁の要部の作動説明図、第
7図は実施例のガス流れ状態を示した拡大部分断面図で
ある。
案−実施例を示す斜視図、第3図は実施例のガス吹出口
等とその供給装置との接続系続編示す系統図、第4図は
実施例の平面図、第5図は第4図の■−V線矢視の断面
図、第6図aないしCは切換弁の要部の作動説明図、第
7図は実施例のガス流れ状態を示した拡大部分断面図で
ある。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 搬送方向に向って斜にガスを吹き出す複数個のガス
吹出口を有する搬送プレートと、該搬送プレートの側壁
を形成するガイドプレートと、これ等を覆う搬送プレー
トカバーにより形成される搬送通路内に搬送物を挿入し
、該搬送物を搬送するエアベアリング搬送装置において
、上記搬送プレートに上記搬送通路に連通ずるガス吹出
口とガス吸入口を設け、上記ガイドプレートおよび搬送
プレートの上記ガス吹出口および・ ガス吸入口のそれ
ぞれに切換弁を介して接続するガス供給装置およびガス
吸入装置を設けたことを特徴とするエアベアリング搬送
装置。 2 上記切換弁が上記ガイドプレートおよび搬送゛
プレートの上記ガス吹出口およびガス吸入口に、上記ガ
ス供給装置およびガス吸入装置の内のいづれか一つの装
置を選択的に接続1得る切換手段を形成すると共に、上
記装置のいづれをも接続しない切換手段を形成したもの
であることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項
記載のエアベアリング搬送装置。 3 上記ガイドプレートに形成される上記ガス吹出口を
搬送方向に向って斜に形成すると共に、上記ガス吸入口
を上記ガス吹出口の近傍に、搬送方向に並べて設け、該
ガス吸入口の方向を上記ガス吹出口のガス吹出し方向と
逆向きに、かつ、ガス吹出口とガス吸入口を交互に配置
したことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記
載のエアベアリング搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9572882U JPS592733U (ja) | 1982-06-28 | 1982-06-28 | エアベアリング搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9572882U JPS592733U (ja) | 1982-06-28 | 1982-06-28 | エアベアリング搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS592733U true JPS592733U (ja) | 1984-01-09 |
Family
ID=30228466
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9572882U Pending JPS592733U (ja) | 1982-06-28 | 1982-06-28 | エアベアリング搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS592733U (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56139429U (ja) * | 1980-03-19 | 1981-10-21 | ||
JPS5786132U (ja) * | 1980-11-14 | 1982-05-27 | ||
JPH0338843U (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-15 | ||
WO2006093130A1 (ja) * | 2005-03-03 | 2006-09-08 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | 搬送物浮上ユニット、搬送物浮上装置、及びステージ装置 |
JP2014118221A (ja) * | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Toray Eng Co Ltd | 基板浮上装置 |
WO2018180651A1 (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-04 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造方法及びその製造装置 |
-
1982
- 1982-06-28 JP JP9572882U patent/JPS592733U/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56139429U (ja) * | 1980-03-19 | 1981-10-21 | ||
JPS6330358Y2 (ja) * | 1980-03-19 | 1988-08-15 | ||
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JPH0338843U (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-15 | ||
WO2006093130A1 (ja) * | 2005-03-03 | 2006-09-08 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | 搬送物浮上ユニット、搬送物浮上装置、及びステージ装置 |
JP2006273576A (ja) * | 2005-03-03 | 2006-10-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 搬送物浮上ユニット、搬送物浮上装置、及びステージ装置 |
JP4664117B2 (ja) * | 2005-03-03 | 2011-04-06 | 住友重機械工業株式会社 | 搬送物浮上ユニット、搬送物浮上装置、及びステージ装置 |
JP2014118221A (ja) * | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Toray Eng Co Ltd | 基板浮上装置 |
WO2018180651A1 (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-04 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造方法及びその製造装置 |
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