JPS59155734U - 位置合わせマ−ク - Google Patents
位置合わせマ−クInfo
- Publication number
- JPS59155734U JPS59155734U JP2124283U JP2124283U JPS59155734U JP S59155734 U JPS59155734 U JP S59155734U JP 2124283 U JP2124283 U JP 2124283U JP 2124283 U JP2124283 U JP 2124283U JP S59155734 U JPS59155734 U JP S59155734U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alignment mark
- alignment
- abstract
- semiconductor wafer
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の半導体ウェーハ上の位置合わせマーク
、第2図はフォトマスク上の位置合わせパターン、第3
図は半導体ウェーハ上の位置合わせマークとフォトマス
ク上の位置合わせパターンとの位置合わせを説明する図
である。図において1・2・3は半導体ウェーハ上の位
置合わせマーク、4・5・6はフォトマスク上の位置合
わせパターンを示す。
、第2図はフォトマスク上の位置合わせパターン、第3
図は半導体ウェーハ上の位置合わせマークとフォトマス
ク上の位置合わせパターンとの位置合わせを説明する図
である。図において1・2・3は半導体ウェーハ上の位
置合わせマーク、4・5・6はフォトマスク上の位置合
わせパターンを示す。
Claims (1)
- 半導体装置の製造方法において、半導体ウェーハ上に設
ける位置合わせマークであって、各製造工程の位置合わ
せマークのすべてが同−領域上に複数重ねとして設けら
れたことを特徴とする位置合わせマーク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2124283U JPS59155734U (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | 位置合わせマ−ク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2124283U JPS59155734U (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | 位置合わせマ−ク |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59155734U true JPS59155734U (ja) | 1984-10-19 |
JPS6334266Y2 JPS6334266Y2 (ja) | 1988-09-12 |
Family
ID=30152369
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2124283U Granted JPS59155734U (ja) | 1983-02-15 | 1983-02-15 | 位置合わせマ−ク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59155734U (ja) |
-
1983
- 1983-02-15 JP JP2124283U patent/JPS59155734U/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6334266Y2 (ja) | 1988-09-12 |
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