JPS59155734U - 位置合わせマ−ク - Google Patents

位置合わせマ−ク

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JPS59155734U
JPS59155734U JP2124283U JP2124283U JPS59155734U JP S59155734 U JPS59155734 U JP S59155734U JP 2124283 U JP2124283 U JP 2124283U JP 2124283 U JP2124283 U JP 2124283U JP S59155734 U JPS59155734 U JP S59155734U
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JP
Japan
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alignment mark
alignment
abstract
semiconductor wafer
manufacturing
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Application number
JP2124283U
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English (en)
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JPS6334266Y2 (ja
Inventor
仁 星野
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富士通株式会社
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Publication date
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Publication of JPS59155734U publication Critical patent/JPS59155734U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の半導体ウェーハ上の位置合わせマーク
、第２図はフォトマスク上の位置合わせパターン、第３
図は半導体ウェーハ上の位置合わせマークとフォトマス
ク上の位置合わせパターンとの位置合わせを説明する図
である。図において１・２・３は半導体ウェーハ上の位
置合わせマーク、４・５・６はフォトマスク上の位置合
わせパターンを示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体装置の製造方法において、半導体ウェーハ上に設
    ける位置合わせマークであって、各製造工程の位置合わ
    せマークのすべてが同−領域上に複数重ねとして設けら
    れたことを特徴とする位置合わせマーク。
JP2124283U 1983-02-15 1983-02-15 位置合わせマ−ク Granted JPS59155734U (ja)

Priority Applications (1)

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JP2124283U JPS59155734U (ja) 1983-02-15 1983-02-15 位置合わせマ−ク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2124283U JPS59155734U (ja) 1983-02-15 1983-02-15 位置合わせマ−ク

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59155734U true JPS59155734U (ja) 1984-10-19
JPS6334266Y2 JPS6334266Y2 (ja) 1988-09-12

Family

ID=30152369

Family Applications (1)

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JP2124283U Granted JPS59155734U (ja) 1983-02-15 1983-02-15 位置合わせマ−ク

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Publication number Publication date
JPS6334266Y2 (ja) 1988-09-12

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