JPS5814460A - 電子顕微鏡の焦点合わせ方法及びこの方法を応用した像撮影方法及び装置 - Google Patents
電子顕微鏡の焦点合わせ方法及びこの方法を応用した像撮影方法及び装置Info
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- JPS5814460A JPS5814460A JP56110888A JP11088881A JPS5814460A JP S5814460 A JPS5814460 A JP S5814460A JP 56110888 A JP56110888 A JP 56110888A JP 11088881 A JP11088881 A JP 11088881A JP S5814460 A JPS5814460 A JP S5814460A
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- Japan
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- electron microscope
- magnification
- image
- photographing
- objective lens
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/21—Means for adjusting the focus
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子顕微鏡の焦点合わせ方法、特忙中低倍率
域においてフォーカスのばらつきの大きさを、各撮影倍
率の許容範囲内に抑えることによって焦点合わせを自動
的に行い、その倍率による像の観察、及び撮影を極めて
容易かつ良好表状態で行い得る様にする技術に関するも
のである。
域においてフォーカスのばらつきの大きさを、各撮影倍
率の許容範囲内に抑えることによって焦点合わせを自動
的に行い、その倍率による像の観察、及び撮影を極めて
容易かつ良好表状態で行い得る様にする技術に関するも
のである。
透過型電子顕微鏡の写真撮影は、高度な技術が要求され
、かつ比較的わずられし一仕事である。特に、観察像の
焦点合わせは解像力の劣る螢光スクリーン上の像を見て
行うから、なかなか予定した良好な焦点合わせ社行−難
い。これは、スクリーン上の像の倍率はフィルム上の倍
率に比べ10乃至Iパーセントと低くなっており、さら
にフィルムの解像力は10乃至401Kn程度あるのに
対し、螢光スクリーンでは父乃至IQQgn程度しかな
く、スクリーン上ではシャープに見えていた像が写真に
するとボナた像になるという事が多々あるからである。
、かつ比較的わずられし一仕事である。特に、観察像の
焦点合わせは解像力の劣る螢光スクリーン上の像を見て
行うから、なかなか予定した良好な焦点合わせ社行−難
い。これは、スクリーン上の像の倍率はフィルム上の倍
率に比べ10乃至Iパーセントと低くなっており、さら
にフィルムの解像力は10乃至401Kn程度あるのに
対し、螢光スクリーンでは父乃至IQQgn程度しかな
く、スクリーン上ではシャープに見えていた像が写真に
するとボナた像になるという事が多々あるからである。
一方、生物試料は、電子11による損傷を太きく受は易
く、これ忙よって、試料の持つ本来の形態が破壊されて
しtc、試料内の情報が得られないということが起る。
く、これ忙よって、試料の持つ本来の形態が破壊されて
しtc、試料内の情報が得られないということが起る。
かかる不場合を避けるために、視野を選択する際には電
子線を著しく弱くして選択操作を行うようにしており、
また写真撮影は極めて短時間で終るから生物試料に損傷
を与えること社少な−。しかし、焦点合わせtする場合
には像の細部が見えないと合わせられな、いから、かな
り明るい、即ち電子線密度の大きな電子線束を比較的長
時間照射するため試料に与える損傷は著しいものとなる
。
子線を著しく弱くして選択操作を行うようにしており、
また写真撮影は極めて短時間で終るから生物試料に損傷
を与えること社少な−。しかし、焦点合わせtする場合
には像の細部が見えないと合わせられな、いから、かな
り明るい、即ち電子線密度の大きな電子線束を比較的長
時間照射するため試料に与える損傷は著しいものとなる
。
このように電子顕微鏡の焦点合わせが困難かつ手間がか
かること社また、電子顕微鏡の像撮影を自動化するため
の大きな妨けとなっている。 □すなわち、電子顕
微鏡の像撮影装置のうち、撮影機構に関しては、螢光板
上に達する電子線量を検出する高精度な露出計と、これ
に連動し適正露光を与えるシャッタ機構、更にフィルム
の自動送り、或は倍率やフィルム番号等のデータをフィ
ルムにプリントするデータプリント機構を含めた、撮影
機構の自動化は既に達成されて−る。また電子顕微鏡の
視野選択機構に関しては、モータ駆動される試料ステー
ジと、CPUとの結合により、観察点の記憶と呼出しが
可能な装置が開発されており、観察者が撮影を希望する
視野(観察点)を予め多数記憶させておき、後からその
視野を一区画毎に又は連続的に、選び出すことが出来る
ようになって−る。ところが、焦点合・わせについて社
、上記の如く、観察者による操作に額って−たため、こ
の焦点合わせに時間がかかり゛、迅速で完全な自動撮影
が出来なかった。かかる焦点合わ(を自動化するために
、像を電気信号におきかえて焦点合わ゛せ出来ているか
否かを検出する等の様々な方法が試みられて−るが、複
雑で高価な上に信号量の不足等か゛ら未だ実用化には程
遠いものであった。
かること社また、電子顕微鏡の像撮影を自動化するため
の大きな妨けとなっている。 □すなわち、電子顕
微鏡の像撮影装置のうち、撮影機構に関しては、螢光板
上に達する電子線量を検出する高精度な露出計と、これ
に連動し適正露光を与えるシャッタ機構、更にフィルム
の自動送り、或は倍率やフィルム番号等のデータをフィ
ルムにプリントするデータプリント機構を含めた、撮影
機構の自動化は既に達成されて−る。また電子顕微鏡の
視野選択機構に関しては、モータ駆動される試料ステー
ジと、CPUとの結合により、観察点の記憶と呼出しが
可能な装置が開発されており、観察者が撮影を希望する
視野(観察点)を予め多数記憶させておき、後からその
視野を一区画毎に又は連続的に、選び出すことが出来る
ようになって−る。ところが、焦点合・わせについて社
、上記の如く、観察者による操作に額って−たため、こ
の焦点合わせに時間がかかり゛、迅速で完全な自動撮影
が出来なかった。かかる焦点合わ(を自動化するために
、像を電気信号におきかえて焦点合わ゛せ出来ているか
否かを検出する等の様々な方法が試みられて−るが、複
雑で高価な上に信号量の不足等か゛ら未だ実用化には程
遠いものであった。
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされた
もので、その主たる目的は、電子顕微鏡の各倍率に対応
して対物レンズの励磁電流値を、良好な像を得る焦点合
わせが出来る、−又は工具上の値に予め設定しておき、
電子顕微鏡の倍率を成る値に定めたとき、その倍率にお
ける焦点合わせを自動的に行い得るようにした、電子顕
微鏡の焦点合わせ方法を提供し、電子顕微鏡の操作を簡
易化すると共に、焦点合わせ時間の短縮化を図り、試料
の破損を最少限に抑え得る様にすることである。
もので、その主たる目的は、電子顕微鏡の各倍率に対応
して対物レンズの励磁電流値を、良好な像を得る焦点合
わせが出来る、−又は工具上の値に予め設定しておき、
電子顕微鏡の倍率を成る値に定めたとき、その倍率にお
ける焦点合わせを自動的に行い得るようにした、電子顕
微鏡の焦点合わせ方法を提供し、電子顕微鏡の操作を簡
易化すると共に、焦点合わせ時間の短縮化を図り、試料
の破損を最少限に抑え得る様にすることである。
また、本発明の他の一つの目的は、上記の如く電子顕微
鏡の焦点合わせを自動化し、当該自動化された焦点合わ
せ七自動化された撮影手段とを組合わせることkより、
像の撮影を完全に自動化した電子顕微鏡の撮影方法及び
その装置を提供し、迅速で確実な像撮影を可能にすると
共に1この撮影によって得られる像の品質向上を図るこ
とである。
鏡の焦点合わせを自動化し、当該自動化された焦点合わ
せ七自動化された撮影手段とを組合わせることkより、
像の撮影を完全に自動化した電子顕微鏡の撮影方法及び
その装置を提供し、迅速で確実な像撮影を可能にすると
共に1この撮影によって得られる像の品質向上を図るこ
とである。
本発明の実施例を添付の図面と参照して詳細に説明する
。
。
一般に電子顕微鏡による像観察にお−て、生物試料のよ
うな試料は、厚味がφ乃至80nm(ナノメートル)に
スライスされて観察されるのが普通であるが、このよう
に試料の厚味が極めて薄く、シかも5oooo倍よ染も
低−倍率域で試料を観察する場合には、電子顕微鏡の焦
点を、正焦点より社わずかに不足焦点気味にして像観察
を行う方が、よりコントラスFのはつきりした像が得ら
れることはよく知られている。これは、第11i!I■
に示すような試料1の構造の周縁が、第1図@に示すよ
うに、不足焦点側で現われるアンダーフリンジ(=7レ
ネ/!/フリンジに相当する)Kよって縁取りされ、そ
の試料1構造の境界を明1aK L、試料像1mをシャ
ープ忙見せるためである。このフリンジ幅(第1図(至
)における輪郭線の太さ)Dが小さ過ぎると縁取効果は
小さくなり、逆に大き過ぎると輪郭がだらけ試料像1a
がポケたものとなる。かかる試料像1aを写真撮影しプ
リントした場合、このプリントされた写真上で見て、肉
眼では明確に識別できないが縁取効果が現われていると
判断できる7リンジ輻りの値としてh、so乃至12o
lImが適切である。
うな試料は、厚味がφ乃至80nm(ナノメートル)に
スライスされて観察されるのが普通であるが、このよう
に試料の厚味が極めて薄く、シかも5oooo倍よ染も
低−倍率域で試料を観察する場合には、電子顕微鏡の焦
点を、正焦点より社わずかに不足焦点気味にして像観察
を行う方が、よりコントラスFのはつきりした像が得ら
れることはよく知られている。これは、第11i!I■
に示すような試料1の構造の周縁が、第1図@に示すよ
うに、不足焦点側で現われるアンダーフリンジ(=7レ
ネ/!/フリンジに相当する)Kよって縁取りされ、そ
の試料1構造の境界を明1aK L、試料像1mをシャ
ープ忙見せるためである。このフリンジ幅(第1図(至
)における輪郭線の太さ)Dが小さ過ぎると縁取効果は
小さくなり、逆に大き過ぎると輪郭がだらけ試料像1a
がポケたものとなる。かかる試料像1aを写真撮影しプ
リントした場合、このプリントされた写真上で見て、肉
眼では明確に識別できないが縁取効果が現われていると
判断できる7リンジ輻りの値としてh、so乃至12o
lImが適切である。
このフリンジ幅りと、対物レンズにおける正焦点からの
不足焦点量Δfとの関係は、電子線の波長をλ(加速電
圧によって決まる)、倍率をMとすると、 で表わされる。
不足焦点量Δfとの関係は、電子線の波長をλ(加速電
圧によって決まる)、倍率をMとすると、 で表わされる。
電子線の加速電圧t−100KVとした場合、プリント
された写真上で 50≦D≦x2o(am) となる不足焦点量Δfの倍率に対する範囲を表わすと、
第2図中の線ム及びBによって囲まれた部分になる。
された写真上で 50≦D≦x2o(am) となる不足焦点量Δfの倍率に対する範囲を表わすと、
第2図中の線ム及びBによって囲まれた部分になる。
一方、電子線が開き角をもっことによって生ずるばけI
/cMしては、第3[に示すように、対物レンズ3に入
射する電子!12の開き角(照射電子線の開き角か、試
料1かもの散乱角で決まる)をαとすると、このαと不
足焦点量Δfとによって決まるボケa#i、プリントさ
れた写真上の倍率をyとすると、 a=舅・Δf・α・・・・・・e*+e*++*s**
*+++・・・−(2)で与えられる。αは照射電子線
を充分に開−ても、試料1の散乱によってほぼ決まり、
通常、I X 10−’ radである。また、写真上
でδが識別できるかどうかの境界値として、100%と
すると、 δ≦1GO(−) とな9、且つ、アンダーフリンジの効果が得られる不足
焦点側のみに注目すると、不足焦点量Δfの倍率に対す
る範mu、第2m中lICより下側となる。
/cMしては、第3[に示すように、対物レンズ3に入
射する電子!12の開き角(照射電子線の開き角か、試
料1かもの散乱角で決まる)をαとすると、このαと不
足焦点量Δfとによって決まるボケa#i、プリントさ
れた写真上の倍率をyとすると、 a=舅・Δf・α・・・・・・e*+e*++*s**
*+++・・・−(2)で与えられる。αは照射電子線
を充分に開−ても、試料1の散乱によってほぼ決まり、
通常、I X 10−’ radである。また、写真上
でδが識別できるかどうかの境界値として、100%と
すると、 δ≦1GO(−) とな9、且つ、アンダーフリンジの効果が得られる不足
焦点側のみに注目すると、不足焦点量Δfの倍率に対す
る範mu、第2m中lICより下側となる。
つまり、第2WI中、線ム、B、0によって囲まれた領
域]!tKおける焦点合わせを行えば、常にシャープで
美しい観察像が得られることとなる。
域]!tKおける焦点合わせを行えば、常にシャープで
美しい観察像が得られることとなる。
したがって、電子顕微鏡の各倍率に応じて不足焦点量Δ
fを自動的に制御すれば、上記の様にシャープで美しい
観察像が得られるような焦点合わせが自動的に行−得る
ことになる。そこでΔfの制御について考えると、いま
第3図に示すレンズ系において、像面4に正焦点像を紡
ぶときの対物レンズ3の励磁電流値を1゜アンペアとす
ると、励磁電流の変化量Δ工と7オーカス変化量、即ち
不足焦点量Δfとの関係は、対物レンズ30色収差係数
を0とすれば、 l。
fを自動的に制御すれば、上記の様にシャープで美しい
観察像が得られるような焦点合わせが自動的に行−得る
ことになる。そこでΔfの制御について考えると、いま
第3図に示すレンズ系において、像面4に正焦点像を紡
ぶときの対物レンズ3の励磁電流値を1゜アンペアとす
ると、励磁電流の変化量Δ工と7オーカス変化量、即ち
不足焦点量Δfとの関係は、対物レンズ30色収差係数
を0とすれば、 l。
で与えられる。この第(3)式から明らかなように、■
を適宜変化させればΔfは任意に制御することができる
。lの制御lは、電気回路上、ごく微細且つ高精度に、
全く自由に出来る。一方、通常の電子顕微鏡の操作では
、撮影の都度慎重に焦点を合わせて−るが、このように
焦点を合わせなおさなければならない、つtb、焦点が
ばらつく原因状、主として次の理由によっていた。
を適宜変化させればΔfは任意に制御することができる
。lの制御lは、電気回路上、ごく微細且つ高精度に、
全く自由に出来る。一方、通常の電子顕微鏡の操作では
、撮影の都度慎重に焦点を合わせて−るが、このように
焦点を合わせなおさなければならない、つtb、焦点が
ばらつく原因状、主として次の理由によっていた。
(1) 対物レンズ3に対する光軸5に沿う方向でO
試料10位置にばらつきがある。
試料10位置にばらつきがある。
(1) 対物レンズ3におけるレンズ磁気−路のヒス
テリシスにばらつきがある。
テリシスにばらつきがある。
(2)倍率を変えたときに生じる中間レンズ物面、即ち
対物レンズ3像面の動きに伴う焦点の補正(対物レンズ
では物面には試料が置かれ、−面としては固定されてい
るから、像面位置が光軸方向に移動する場合、対物レン
ズの焦点距離を変えないと焦点が合わない。) かかる原因のうち、上記(I)に挙げた試料位置のばら
つきは、試料1の出し入れによる再現性の問題、及び試
料1自身の曲が9などに原因し、一般に10μ程度であ
る。そして試料1の出し入れを注意して行えば、又、こ
の点に留意して設計′された機構であれば、これより小
さくすることもできる。一方、上記(1)で述べたヒス
テリシスのばらつきは、通常0.1%′、例えば5■の
焦点距離のレンズで5p程度に抑えることができる。
対物レンズ3像面の動きに伴う焦点の補正(対物レンズ
では物面には試料が置かれ、−面としては固定されてい
るから、像面位置が光軸方向に移動する場合、対物レン
ズの焦点距離を変えないと焦点が合わない。) かかる原因のうち、上記(I)に挙げた試料位置のばら
つきは、試料1の出し入れによる再現性の問題、及び試
料1自身の曲が9などに原因し、一般に10μ程度であ
る。そして試料1の出し入れを注意して行えば、又、こ
の点に留意して設計′された機構であれば、これより小
さくすることもできる。一方、上記(1)で述べたヒス
テリシスのばらつきは、通常0.1%′、例えば5■の
焦点距離のレンズで5p程度に抑えることができる。
また、焦点合わせする直前に、最大励磁にするなどして
、常に同じヒステリシス曲線を描く様にして用いれば、
ヒステリシスのばらつきハホとんど皆無にすることがで
きる。また、上記(2)で述べた像面の移動社、レンズ
設計により、各倍率において物面が常に一定となるよう
な補正量を決め、これを倍率毎に予め加算しておけば、
ばらつきは生じ奄゛い。また、中間レンズの数を増せば
、対物レンズ像面を固定したまま倍率を大きくかえるこ
とも可能である。
、常に同じヒステリシス曲線を描く様にして用いれば、
ヒステリシスのばらつきハホとんど皆無にすることがで
きる。また、上記(2)で述べた像面の移動社、レンズ
設計により、各倍率において物面が常に一定となるよう
な補正量を決め、これを倍率毎に予め加算しておけば、
ばらつきは生じ奄゛い。また、中間レンズの数を増せば
、対物レンズ像面を固定したまま倍率を大きくかえるこ
とも可能である。
これらの事柄を考慮に入れると、焦点のばらつきは、全
体的に見てθ〜−15Itnと見積ることができる。こ
れを前提として不足焦点量Δfにつ−て検討を加えると
、1000倍の像では、第2図より、適切な不足焦点量
Δft!−200〜−1200師、2000倍では−5
0〜−3oO11mと幅が広く、1511m程−〇ばら
つきは無視できる。例えば倍率を!(6)倍としてΔf
が一6DOi囮、2000倍においてΔfが一150a
m &なるようΔ工を与える電流値In (In =
□l0−JI’)を予め設定しておけば、不足焦
点量のばらつきの範囲はそれぞれ、−(ホ)〜−015
1tn。
体的に見てθ〜−15Itnと見積ることができる。こ
れを前提として不足焦点量Δfにつ−て検討を加えると
、1000倍の像では、第2図より、適切な不足焦点量
Δft!−200〜−1200師、2000倍では−5
0〜−3oO11mと幅が広く、1511m程−〇ばら
つきは無視できる。例えば倍率を!(6)倍としてΔf
が一6DOi囮、2000倍においてΔfが一150a
m &なるようΔ工を与える電流値In (In =
□l0−JI’)を予め設定しておけば、不足焦
点量のばらつきの範囲はそれぞれ、−(ホ)〜−015
1tn。
−150〜−165岬とな9、像を見ながら焦点合わせ
しなくても常に適切なフォーカス像が与えられる。第2
図において、恥■倍の像でも、−3,2〜−19−の間
が適切な不足焦点量であるから、Δfが−4−となるA
を与えるinを予め設定しておけば、不足焦点量のばら
つきの範囲は−4〜−19xmの範IFIK納tb、常
に適切なフォーカス像が得られる。つtす、倍率霞倍程
度までの像であれば、各倍率に対して適当なΔfK対応
するAを一つだけ与えておけば、試料°を入れ換えたり
、倍率を変えたりして亀、像を見て焦点合わせすること
なく適切なフォーカス像を得ることができる。
しなくても常に適切なフォーカス像が与えられる。第2
図において、恥■倍の像でも、−3,2〜−19−の間
が適切な不足焦点量であるから、Δfが−4−となるA
を与えるinを予め設定しておけば、不足焦点量のばら
つきの範囲は−4〜−19xmの範IFIK納tb、常
に適切なフォーカス像が得られる。つtす、倍率霞倍程
度までの像であれば、各倍率に対して適当なΔfK対応
するAを一つだけ与えておけば、試料°を入れ換えたり
、倍率を変えたりして亀、像を見て焦点合わせすること
なく適切なフォーカス像を得ることができる。
これに対して、 10000倍の像では、適切な不足焦
点量#i−2〜−12gnとな秒、0〜−15−のばら
つ、!!をカバーすることはできな−0そこで、予め設
定される不足焦点量Δfが¥2Jln、−8μmとなる
ようfk2点のAを与える和を予め設定しておき、各点
で一枚づつ、計2枚の写真を撮影すれば、2枚のうち少
なくとも一枚社適切な7オーカス像が含まれる。さらに
18000倍の像では適切な不足焦点量は0.7〜4μ
mとな9、予め設定される不足焦点量Δfが+1 、−
2 、−5、−8゜−114となる5点のAを与えるI
nを設定し、各点で1枚ずつ計5枚の写真を撮影すれば
5枚のうち少なくとも1枚は適切な7オーカス像が含ま
れるので、上記撮影した写真の中から適切な7オーカス
像を選び出すようにすればよψ。
点量#i−2〜−12gnとな秒、0〜−15−のばら
つ、!!をカバーすることはできな−0そこで、予め設
定される不足焦点量Δfが¥2Jln、−8μmとなる
ようfk2点のAを与える和を予め設定しておき、各点
で一枚づつ、計2枚の写真を撮影すれば、2枚のうち少
なくとも一枚社適切な7オーカス像が含まれる。さらに
18000倍の像では適切な不足焦点量は0.7〜4μ
mとな9、予め設定される不足焦点量Δfが+1 、−
2 、−5、−8゜−114となる5点のAを与えるI
nを設定し、各点で1枚ずつ計5枚の写真を撮影すれば
5枚のうち少なくとも1枚は適切な7オーカス像が含ま
れるので、上記撮影した写真の中から適切な7オーカス
像を選び出すようにすればよψ。
前述のように電子顕微鏡の焦点合わせは比較的困難なた
め、焦点を少しずつ変えながら5枚程度撮影して後から
適切なフォーカス像を選び出すことはよく行なわれるこ
とであり、このようなことは充分許容されることである
。なお、第2図に示された倍率はプリントされた写真上
における倍率であり、引伸しを含めた倍率を示している
。透過・型電子顕微鏡写真の引伸し倍率は、シー)フィ
ルムカメラで4倍前後、35ミリカメラで10倍前後で
あるから、使用するカメラでlを切換える。また、好み
の引伸し倍率に合わせてlを゛切換えられるようにして
おくこともできる。さらに、5ooo、倍以下の倍率に
対しても、微減のAに対して撮影しておき、後からダl
伸し倍率、に適したネガを選択することもできる。即ち
、電子顕微鏡による生物試料の写真の大半を占める18
000倍程度までの倍率の像であれば、像を見ながら焦
点を合わさなくても、撮影倍率に応じて予め定められた
値に設定する力感で適切な焦点合わせ像が自動的に得ら
れることが明らかになった。
め、焦点を少しずつ変えながら5枚程度撮影して後から
適切なフォーカス像を選び出すことはよく行なわれるこ
とであり、このようなことは充分許容されることである
。なお、第2図に示された倍率はプリントされた写真上
における倍率であり、引伸しを含めた倍率を示している
。透過・型電子顕微鏡写真の引伸し倍率は、シー)フィ
ルムカメラで4倍前後、35ミリカメラで10倍前後で
あるから、使用するカメラでlを切換える。また、好み
の引伸し倍率に合わせてlを゛切換えられるようにして
おくこともできる。さらに、5ooo、倍以下の倍率に
対しても、微減のAに対して撮影しておき、後からダl
伸し倍率、に適したネガを選択することもできる。即ち
、電子顕微鏡による生物試料の写真の大半を占める18
000倍程度までの倍率の像であれば、像を見ながら焦
点を合わさなくても、撮影倍率に応じて予め定められた
値に設定する力感で適切な焦点合わせ像が自動的に得ら
れることが明らかになった。
ここで、上記の説明では■。を固定して考えたが、焦点
深度の著しく浅くなる高倍率で一度焦点合わせを行い、
このときの励磁電流値をIoとし、各倍率に適するAを
与えれば、試料位置のばらつきは著しく小さく抑えられ
、より一層高倍率まで、その都度焦点合わせを行わずに
適切な7オーカス像が与えられる。また、試料面上の照
射面積及び電子流密度(明るさ)などの照射条件は、集
束レンズ励磁電流値によって自由に制御できる故、その
撮影倍率に連動して適切な電流値を予め設定しておけば
その都度条件を設定する必要がなく、操作をさらに易し
くする。
深度の著しく浅くなる高倍率で一度焦点合わせを行い、
このときの励磁電流値をIoとし、各倍率に適するAを
与えれば、試料位置のばらつきは著しく小さく抑えられ
、より一層高倍率まで、その都度焦点合わせを行わずに
適切な7オーカス像が与えられる。また、試料面上の照
射面積及び電子流密度(明るさ)などの照射条件は、集
束レンズ励磁電流値によって自由に制御できる故、その
撮影倍率に連動して適切な電流値を予め設定しておけば
その都度条件を設定する必要がなく、操作をさらに易し
くする。
第4図は、上記の如き電子顕微鏡の自動焦点合わせを行
う機構をシャッタ機構等と組み合わせる七共に、試料の
観察点(視野)の記憶及び呼出機能を持たせた、電子顕
微鏡の自動撮影装置を示す図である。
う機構をシャッタ機構等と組み合わせる七共に、試料の
観察点(視野)の記憶及び呼出機能を持たせた、電子顕
微鏡の自動撮影装置を示す図である。
図中、符号rは、本発明の実施に関連する操作盤を表わ
す。この操作盤は、左端部分において試料移動スイッチ
10を備え、この試料移動スイッチ10は試料をXの正
方向、Xの負方向、Yの正方向、Yの負方向へ移動させ
るためにモータを回転させる4個のスイッチ片から成る
。こO試料移動、スイッチ10の隣りに#i倍率切換え
スイッチ11が備えられ、仁の倍率切換えスイッチ11
を回転させることによって中間レンズや投影レンズ等や
結像し、ンズ詳の励磁電流が切換えられ、任意の倍率の
選択が出来る。この倍↑切換スイッチ11の隣りに社、
更に記憶ス1イツチ12と、 1呼出スイツチ1
3と、写真スイッチ14とが配設されて―る。
す。この操作盤は、左端部分において試料移動スイッチ
10を備え、この試料移動スイッチ10は試料をXの正
方向、Xの負方向、Yの正方向、Yの負方向へ移動させ
るためにモータを回転させる4個のスイッチ片から成る
。こO試料移動、スイッチ10の隣りに#i倍率切換え
スイッチ11が備えられ、仁の倍率切換えスイッチ11
を回転させることによって中間レンズや投影レンズ等や
結像し、ンズ詳の励磁電流が切換えられ、任意の倍率の
選択が出来る。この倍↑切換スイッチ11の隣りに社、
更に記憶ス1イツチ12と、 1呼出スイツチ1
3と、写真スイッチ14とが配設されて―る。
記憶スイッチ12は、成る観察操作における観察データ
を記憶させるためのもので、メモリーGK接続されてこ
れをオン、オフさせる。したがって、この記憶スィッチ
12ftオン操作すると、その時光軸上にある試料の座
標値、即ち観察点と観察像の倍率をメモリー〇の所定の
アドレスに記憶させる。上記観察点の座標の座標値の記
憶は、例えば成る基準点からのモータの回路数をカラン
)させ、そのカウント値を・メモリーGk記憶させるヒ
とによって行う。また、アドレスの選択社、スイッチを
設けてマニユアルで行ってもよいし、自動的に順送シさ
せてもよ−。
を記憶させるためのもので、メモリーGK接続されてこ
れをオン、オフさせる。したがって、この記憶スィッチ
12ftオン操作すると、その時光軸上にある試料の座
標値、即ち観察点と観察像の倍率をメモリー〇の所定の
アドレスに記憶させる。上記観察点の座標の座標値の記
憶は、例えば成る基準点からのモータの回路数をカラン
)させ、そのカウント値を・メモリーGk記憶させるヒ
とによって行う。また、アドレスの選択社、スイッチを
設けてマニユアルで行ってもよいし、自動的に順送シさ
せてもよ−。
呼出スイッチ13は、メモリーGK記憶されたデータを
呼び出すためのもので、この呼出しにより呼び出された
データに基づ―て試料ステージが動き、試料の座標点を
再現させると共に、結像レンズ群の励磁電流を設定し、
倍率が合わせられる。
呼び出すためのもので、この呼出しにより呼び出された
データに基づ―て試料ステージが動き、試料の座標点を
再現させると共に、結像レンズ群の励磁電流を設定し、
倍率が合わせられる。
写真スイッチ14社、撮影装置に写真撮影を行わせるた
めのもので、上記呼出スィッチ13操作後又はこれと同
時に当該写真スイッチ14をオン操作することにより、
露出計が作動してシャッタ時間を決める一方、フィルム
が未撮影フィルムケースから光軸上に運ばれ、シャッタ
が開閉し、フィルムが撮影済フィルムケースに運ばれる
ことにより一連のIIIfI&鏡写真の撮影作業が行わ
れる。
めのもので、上記呼出スィッチ13操作後又はこれと同
時に当該写真スイッチ14をオン操作することにより、
露出計が作動してシャッタ時間を決める一方、フィルム
が未撮影フィルムケースから光軸上に運ばれ、シャッタ
が開閉し、フィルムが撮影済フィルムケースに運ばれる
ことにより一連のIIIfI&鏡写真の撮影作業が行わ
れる。
メモリー〇には書き換え自由のものが使用され、所定の
番地のメモリー容量をもち、各番地には試料の観察点の
X、Y座標値及び倍率を記憶させることができる。更に
また、各番地に・、引伸し倍率によるAの補正とか、そ
の倍率によって撮影すべき回数或岐フィルム枚数等を追
加的に記憶させてお−てもよ−0 さらに、メモリー〇と#iWK他のメモリーHが備え付
けられて≠る。このメモリーHIfi、電子顕微鏡の装
置によって決まるデータを記憶して−るメモリーで、各
倍率に適した対物レンズの励磁電流値をionとしたと
き、 ion = 工・−、fln となるよりなionを記憶している他、明るさ、照射面
積など、その倍率に適する集束レンズ群の励磁電流値、
或はその倍率で最低必要な撮影枚、数と−った各種デー
タが記憶されている。これらのデータ以外にも倍率を決
める結像レンズの励磁電流値をデータとして記憶させて
おいてもよい。
番地のメモリー容量をもち、各番地には試料の観察点の
X、Y座標値及び倍率を記憶させることができる。更に
また、各番地に・、引伸し倍率によるAの補正とか、そ
の倍率によって撮影すべき回数或岐フィルム枚数等を追
加的に記憶させてお−てもよ−0 さらに、メモリー〇と#iWK他のメモリーHが備え付
けられて≠る。このメモリーHIfi、電子顕微鏡の装
置によって決まるデータを記憶して−るメモリーで、各
倍率に適した対物レンズの励磁電流値をionとしたと
き、 ion = 工・−、fln となるよりなionを記憶している他、明るさ、照射面
積など、その倍率に適する集束レンズ群の励磁電流値、
或はその倍率で最低必要な撮影枚、数と−った各種デー
タが記憶されている。これらのデータ以外にも倍率を決
める結像レンズの励磁電流値をデータとして記憶させて
おいてもよい。
これらのメモリー〇、HK記憶された各データは、操作
盤!に設けた各作動スイッチ10,11゜12 、13
、14 F)信号により、第4図中符号Iで示される
、電子顕微鏡や撮影装置が所定の作動するよう予めプロ
グラムされたCPUへと送られ、このCPUによって、
電子顕微鏡又は電子顕微鏡の像撮影装置に接続されてこ
れらを作動させる電源回路J内の各種電源を制御する。
盤!に設けた各作動スイッチ10,11゜12 、13
、14 F)信号により、第4図中符号Iで示される
、電子顕微鏡や撮影装置が所定の作動するよう予めプロ
グラムされたCPUへと送られ、このCPUによって、
電子顕微鏡又は電子顕微鏡の像撮影装置に接続されてこ
れらを作動させる電源回路J内の各種電源を制御する。
電源回路Jは、電子顕微鏡Kに配設された集束レンズ2
6゜27に接続されてこれの励磁を行い電子銃すからの
電子線経路を必要に応じて変化さ□せる集束レンズ電源
15と、対物レンズnK液続されて当該対物レンズ四を
励磁する対物レンズ電源16と、中間レンズ(資)、3
1及び投影レンズ32に接続されてこれらの中間レンズ
(資)、31等を励磁する中間中投影レンズ電源17と
、対物レンズ29磁界内に配置した試料ステージ28に
連結し当該試料ステージnをそれぞれX方向及びY方向
へ摺動きせる駆動モータn、23を作動させるステージ
モータ電源18と、投影レンズ32とフィルム撮影面3
7との間に配設されたシャッタ羽を操作するリレー24
に接続されて制御するシャッタ電源19と、フィルム撮
影面37に照射する電子線の置を測定し適正露出を与え
る電出計回路冗と、−回の撮影ごとにフィルムを未撮影
フィルムケース35かも撮影済フィルムケース361で
送給する送りモータ蕊を作動させる送シモータ電源21
とから成る。
6゜27に接続されてこれの励磁を行い電子銃すからの
電子線経路を必要に応じて変化さ□せる集束レンズ電源
15と、対物レンズnK液続されて当該対物レンズ四を
励磁する対物レンズ電源16と、中間レンズ(資)、3
1及び投影レンズ32に接続されてこれらの中間レンズ
(資)、31等を励磁する中間中投影レンズ電源17と
、対物レンズ29磁界内に配置した試料ステージ28に
連結し当該試料ステージnをそれぞれX方向及びY方向
へ摺動きせる駆動モータn、23を作動させるステージ
モータ電源18と、投影レンズ32とフィルム撮影面3
7との間に配設されたシャッタ羽を操作するリレー24
に接続されて制御するシャッタ電源19と、フィルム撮
影面37に照射する電子線の置を測定し適正露出を与え
る電出計回路冗と、−回の撮影ごとにフィルムを未撮影
フィルムケース35かも撮影済フィルムケース361で
送給する送りモータ蕊を作動させる送シモータ電源21
とから成る。
このようガ装置を用いて観察者が像観察を行い、そのう
ちの成る視野を観察している時に記憶スイッチ12をオ
ンさせると、メモリー〇の〇。
ちの成る視野を観察している時に記憶スイッチ12をオ
ンさせると、メモリー〇の〇。
番地にその視Wに含まれる部位の座標点(X、。
yt )と、その時の倍率M、が記載される。同i領で
他の視野を選択し、その視野の観察時に記憶スイッチ1
2をオンさせると、メモリーGのn。
他の視野を選択し、その視野の観察時に記憶スイッチ1
2をオンさせると、メモリーGのn。
番地に上記と同様座標点(x、 、 右’)とそのとき
の倍率M、とが記憶され、以下層tic n、 、 n
4とすすみna番地まで記憶する。更Kn644番地以
降にもそれぞれの視tFKおける座標点と倍率のデータ
が自動的に入っているものとする。また一方、観察者社
未撮影フィルムケース蕊内K ml、枚又はそれ以上の
、撮影遂行上充分な量のフィルムを装填しておく。また
、この装填したフィルムの数も予め記憶させておき、メ
モリーGK記憶させて行く途中で、撮影しようと−う数
と装填したフィルム枚数とが一致したとき信号を発する
ようkしておくことも可能である。
の倍率M、とが記憶され、以下層tic n、 、 n
4とすすみna番地まで記憶する。更Kn644番地以
降にもそれぞれの視tFKおける座標点と倍率のデータ
が自動的に入っているものとする。また一方、観察者社
未撮影フィルムケース蕊内K ml、枚又はそれ以上の
、撮影遂行上充分な量のフィルムを装填しておく。また
、この装填したフィルムの数も予め記憶させておき、メ
モリーGK記憶させて行く途中で、撮影しようと−う数
と装填したフィルム枚数とが一致したとき信号を発する
ようkしておくことも可能である。
このように、撮影の準備が終った後、呼出スイッチ13
及び写真スイッチ14を同時に押すと、CPUはメモ′
リ−Gf)Kl、番地の内容に従って座標を再現し、指
定される各レンズの電流値がメモリー■から呼出され、
対物レンズ器、中間レンズ(資)、31、投影レンズ3
2の励磁設定をして倍率が再現される。そして集束レン
ズ冗、27の励磁設定tし、露出測定、フィルム運搬、
露光など、一連の撮影操作が実行される。次いでn6番
地のデータに基づく撮影、n3番地のデータに基づく撮
影と順次進行しn、番地まで撮影を実行する。
及び写真スイッチ14を同時に押すと、CPUはメモ′
リ−Gf)Kl、番地の内容に従って座標を再現し、指
定される各レンズの電流値がメモリー■から呼出され、
対物レンズ器、中間レンズ(資)、31、投影レンズ3
2の励磁設定をして倍率が再現される。そして集束レン
ズ冗、27の励磁設定tし、露出測定、フィルム運搬、
露光など、一連の撮影操作が実行される。次いでn6番
地のデータに基づく撮影、n3番地のデータに基づく撮
影と順次進行しn、番地まで撮影を実行する。
この撮影がn、+1番地まで進んだとき、このメモリ一
番地のデータが入力されていない場合にはCPUには指
定された撮影を終了したものと判断させ、その作動を停
止させる。或はまた、電子顕微鏡及びその撮影装置自体
を停止の状態、即ちこれらの装置に接続した高圧の電源
回路を切9、油拡散ポンプのスイッチを切や、しばらく
して装置が冷却されたら、冷却水バルブを閉じてメイン
スイッチをカットする方法を採用してもよ−0 なお、連続した広−視野を観察、撮影したいときに社、
メモリーGの内容を少し変更し、一つの倍率の値に固定
すると共に、試料移動の動きは、予め広い視野領域を指
定しておき、 CPUk移動の方向と量とを計算させて
撮影を実行すれば自動的に広−視野を撮影することがで
きる。
番地のデータが入力されていない場合にはCPUには指
定された撮影を終了したものと判断させ、その作動を停
止させる。或はまた、電子顕微鏡及びその撮影装置自体
を停止の状態、即ちこれらの装置に接続した高圧の電源
回路を切9、油拡散ポンプのスイッチを切や、しばらく
して装置が冷却されたら、冷却水バルブを閉じてメイン
スイッチをカットする方法を採用してもよ−0 なお、連続した広−視野を観察、撮影したいときに社、
メモリーGの内容を少し変更し、一つの倍率の値に固定
すると共に、試料移動の動きは、予め広い視野領域を指
定しておき、 CPUk移動の方向と量とを計算させて
撮影を実行すれば自動的に広−視野を撮影することがで
きる。
以上説明したように1本発明によれば、電子顕微鏡の対
物レンズ励磁を、撮影倍率に対応して予め設定された一
点又は複数点の値に自動的に設定し、その倍率における
最良の焦点合わせを行うようkしたため、電子顕微鏡の
焦点合わせを自動的に行うようKすることが可能となっ
た。また、このような自動焦点合わせと、シャッタ及び
フィルム送シの自動操作とを組合わせることkより電子
顕微鏡の像撮影操作にお≠て、視野及び倍率の選択と焦
点合わせ、更にはシャッタ操作及びフィルム送シ操作を
完全自動化させることが可能になる等、種々の効果が得
られる0
物レンズ励磁を、撮影倍率に対応して予め設定された一
点又は複数点の値に自動的に設定し、その倍率における
最良の焦点合わせを行うようkしたため、電子顕微鏡の
焦点合わせを自動的に行うようKすることが可能となっ
た。また、このような自動焦点合わせと、シャッタ及び
フィルム送シの自動操作とを組合わせることkより電子
顕微鏡の像撮影操作にお≠て、視野及び倍率の選択と焦
点合わせ、更にはシャッタ操作及びフィルム送シ操作を
完全自動化させることが可能になる等、種々の効果が得
られる0
第1図は、電子顕微鏡によって観察される試料及びこの
試料の観察像における縁取シ効果を示す図である。 第2図は、本発明の前提となる、電子顕微鏡の倍率に対
する、良好な像が得られる不足焦点量の範囲と、lケの
最大許容限度を与える不足焦点量の範囲を倍率に対して
表わした図である。 第3図は、像のほけの説明及び本発明における如く不足
焦点による像観察を行うレンズ系を示す図である。 第4図は、本発明による電子顕微鏡の像撮影装置の制御
、作動機構を示す図である。 1・・・試料 3・・・対物レンズ4・・・
像面 5・・・光軸特許出願人 株式会社
国際精工 第1図 (a) (B) 第2r!I 倍率 第3図 Δf
試料の観察像における縁取シ効果を示す図である。 第2図は、本発明の前提となる、電子顕微鏡の倍率に対
する、良好な像が得られる不足焦点量の範囲と、lケの
最大許容限度を与える不足焦点量の範囲を倍率に対して
表わした図である。 第3図は、像のほけの説明及び本発明における如く不足
焦点による像観察を行うレンズ系を示す図である。 第4図は、本発明による電子顕微鏡の像撮影装置の制御
、作動機構を示す図である。 1・・・試料 3・・・対物レンズ4・・・
像面 5・・・光軸特許出願人 株式会社
国際精工 第1図 (a) (B) 第2r!I 倍率 第3図 Δf
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)電子顕微鏡の焦点合わせ方法において、観察、また
は撮影倍率に応じて対物レンズの励磁電流値を予め一点
又は複数点の値に設定しておき、上記倍率での対物レン
ズの焦点合ゎせを行うようにしたことを特徴上する電子
顕微鏡の焦点合わせ方法。 2)電子顕微鏡の像撮影方法において、撮影倍率に応じ
て対物レンズの励磁電流値を予め一点又はII数点の値
に設°定し、焦点合すせをすると共に1論出及びシャッ
タ操作を自動的に行うようにしたことを特徴とする電子
顕微鏡の像撮影方法。 3)電子顕微鏡の撮影方決にお−て、撮影倍率に応じて
対物レンズの励磁電流値を予め一点又社複数点の値に設
定し、さらにその撮影に適した照射条件を与える集束レ
ンズ励磁電流値を予め設定すると共に、露出及びシャッ
タ操作を自動的に行うようにしたことを特徴とする電子
顕微鏡の像撮影方法。 4)試料上の一カ所又は数カ所に焦点合わせを行す、こ
の無点合わせに対応する対物レンズの励磁電流値を基準
とする一方、撮影倍率に対応して上記励磁電流値に対す
る所定の変化量を設定しておき、像撮影時にその倍率に
対応する電流の変化量を対物レンズに与え像の撮影をす
るようにした仁とを特徴とする電子顕微鏡の像撮影方法
。 5)フィルム送夛、シャッタの即閉、露出計算等を自動
的に行う自動撮影機構と、モータ駆動により移動可能な
試料ステージとを有する電子顕微鏡の像撮影装置におい
て、電子顕微鏡の倍率変換機構に連結され、撮影倍率に
応じて対物レンズの励磁電流値を一点又は複数点・の値
に設定する様子め記憶している記憶装置を備え、像を撮
影するとき、記憶装置からのデータによって対物レンズ
の励磁電流値を決定して撮影するようKしたことを特徴
とする電子顕微鏡の像撮影装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56110888A JPS5814460A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 電子顕微鏡の焦点合わせ方法及びこの方法を応用した像撮影方法及び装置 |
DE19823226914 DE3226914A1 (de) | 1981-07-17 | 1982-07-19 | Verfahren und vorrichtung zum scharfeinstellen eines elektronenmikroskops |
US06/848,021 US4724319A (en) | 1981-07-17 | 1986-04-03 | Image focusing method and apparatus for electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56110888A JPS5814460A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 電子顕微鏡の焦点合わせ方法及びこの方法を応用した像撮影方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5814460A true JPS5814460A (ja) | 1983-01-27 |
Family
ID=14547228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56110888A Pending JPS5814460A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 電子顕微鏡の焦点合わせ方法及びこの方法を応用した像撮影方法及び装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4724319A (ja) |
JP (1) | JPS5814460A (ja) |
DE (1) | DE3226914A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0654639B2 (ja) * | 1987-02-06 | 1994-07-20 | 株式会社日立製作所 | 透過形電子顕微鏡における電子線制御装置 |
JPS63231856A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-27 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡等の制御方法 |
US5216596A (en) * | 1987-04-30 | 1993-06-01 | Corabi International Telemetrics, Inc. | Telepathology diagnostic network |
JPH02174046A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-05 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡およびこれに用いる試料微動装置の制御方法 |
JPH0766770B2 (ja) * | 1989-03-10 | 1995-07-19 | 株式会社日立製作所 | 電子線照射装置 |
JP3153277B2 (ja) * | 1991-08-30 | 2001-04-03 | 株式会社日立製作所 | 透過形電子顕微鏡 |
DE4243488A1 (de) * | 1992-12-22 | 1994-06-23 | Zeiss Carl Fa | Operationsmikroskop |
JP3109785B2 (ja) * | 1993-12-21 | 2000-11-20 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ装置 |
CH693804A5 (de) * | 1994-10-13 | 2004-02-13 | Zeiss Carl Fa | Beleuchtungseinrichtung für ein Stereomikroskop. |
JPH11135046A (ja) * | 1997-10-30 | 1999-05-21 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
US6278114B1 (en) | 1997-12-19 | 2001-08-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and apparatus for measuring dimensions of a feature of a specimen |
JP2006078880A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Olympus Corp | 顕微鏡装置 |
US7378835B2 (en) * | 2006-06-07 | 2008-05-27 | National Instruments Corporation | Interleaved differential multiplexer |
JP5438937B2 (ja) * | 2008-09-05 | 2014-03-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子ビーム装置 |
US8760563B2 (en) | 2010-10-19 | 2014-06-24 | Hand Held Products, Inc. | Autofocusing optical imaging device |
US8692927B2 (en) | 2011-01-19 | 2014-04-08 | Hand Held Products, Inc. | Imaging terminal having focus control |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4922574A (ja) * | 1972-06-26 | 1974-02-28 | ||
JPS4964364A (ja) * | 1972-10-21 | 1974-06-21 | ||
JPS5569949A (en) * | 1978-11-22 | 1980-05-27 | Hitachi Ltd | Method of obtaining the proper focal point of electron microscope |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1564658B2 (de) * | 1966-07-13 | 1971-04-29 | Siemens AG, 1000 Berlin u 8000 München | Verfahren zur fokussierung der objektivlinse eines korpus kularstrahlmikroskops insbesondere eines elektronenmikros kops |
JPS4834347B1 (ja) * | 1969-08-11 | 1973-10-20 | ||
US3715582A (en) * | 1970-02-13 | 1973-02-06 | Hitachi Ltd | Method of and apparatus for attaining focusing following variation in magnification in electron microscope |
US3737617A (en) * | 1971-05-10 | 1973-06-05 | Sopelem | Exposure control apparatus for an electron microscope |
DE2149108C3 (de) * | 1971-09-28 | 1975-05-15 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Einrichtung zur VergröBerungseinstellung eines Elektronenmikroskops |
-
1981
- 1981-07-17 JP JP56110888A patent/JPS5814460A/ja active Pending
-
1982
- 1982-07-19 DE DE19823226914 patent/DE3226914A1/de not_active Ceased
-
1986
- 1986-04-03 US US06/848,021 patent/US4724319A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4922574A (ja) * | 1972-06-26 | 1974-02-28 | ||
JPS4964364A (ja) * | 1972-10-21 | 1974-06-21 | ||
JPS5569949A (en) * | 1978-11-22 | 1980-05-27 | Hitachi Ltd | Method of obtaining the proper focal point of electron microscope |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4724319A (en) | 1988-02-09 |
DE3226914A1 (de) | 1983-02-03 |
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