JPS58112906U - X線膜厚装置 - Google Patents
X線膜厚装置Info
- Publication number
- JPS58112906U JPS58112906U JP1041582U JP1041582U JPS58112906U JP S58112906 U JPS58112906 U JP S58112906U JP 1041582 U JP1041582 U JP 1041582U JP 1041582 U JP1041582 U JP 1041582U JP S58112906 U JPS58112906 U JP S58112906U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film thickness
- ray
- sample
- ray film
- thickness device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は軸合せ用具図でaは上面図、bは正面図、第2
図はこの考案による螢光X線装置の構成図、第3図は軸
合せ用具のキャリブレーション要領図、第′4図は軸合
せ用具のキャリブレーション時の出力図、第5図は軸合
せ用具の軸合せ時の出力図である。 1・・・・・・X線受光素子アレー、2・・・・・・十
字線、3・・・・・・X線管、4・・・・・・コリメー
タ、5・・・・・・光学スコープ、6・・・・・・軸合
せ用具用スリット。
図はこの考案による螢光X線装置の構成図、第3図は軸
合せ用具のキャリブレーション要領図、第′4図は軸合
せ用具のキャリブレーション時の出力図、第5図は軸合
せ用具の軸合せ時の出力図である。 1・・・・・・X線受光素子アレー、2・・・・・・十
字線、3・・・・・・X線管、4・・・・・・コリメー
タ、5・・・・・・光学スコープ、6・・・・・・軸合
せ用具用スリット。
Claims (1)
- X線を試料に照射して発生した螢光X線を検出する事に
より試料の膜厚を測定する装置において、上端部に十字
線を形成したX線受光素子アレーの軸合せ用具を備え、
この軸合せ用具で、試料の測定点を決める光学スコープ
の光軸とX線管よりのX線軸を一致せしめるようにした
ことを特徴とするX線膜厚装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1041582U JPS58112906U (ja) | 1982-01-28 | 1982-01-28 | X線膜厚装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1041582U JPS58112906U (ja) | 1982-01-28 | 1982-01-28 | X線膜厚装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58112906U true JPS58112906U (ja) | 1983-08-02 |
Family
ID=30023064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1041582U Pending JPS58112906U (ja) | 1982-01-28 | 1982-01-28 | X線膜厚装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58112906U (ja) |
-
1982
- 1982-01-28 JP JP1041582U patent/JPS58112906U/ja active Pending
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