JPH11248637A - 欠陥検出装置 - Google Patents
欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPH11248637A JPH11248637A JP5524998A JP5524998A JPH11248637A JP H11248637 A JPH11248637 A JP H11248637A JP 5524998 A JP5524998 A JP 5524998A JP 5524998 A JP5524998 A JP 5524998A JP H11248637 A JPH11248637 A JP H11248637A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- defect
- light receiving
- unit
- blocks
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 140
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 47
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 84
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 description 21
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 19
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 3
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 2
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コストを抑えるとともに、欠陥の種類や位置
等に関係なく確実に、被検査物の欠陥を検出する。 【解決手段】 ランプ114(光源)から発した光は、
投光部116a,116b,116cに沿って伝送さ
れ、透明フィルム100(被検査物)に投光される。そ
して、透明フィルム100で反射した光の一部が受光部
106,108の光ファイバー104に入射する。こう
して入射した光は受光部106,108に沿って伝送さ
れ、順にそれぞれ光センサー112,110で光の強度
が測定される。受光部106,108に入射する光の強
度は、透明フィルム100に欠陥がないときはほぼ同じ
となり、欠陥があるときは異なる。そのため、光センサ
ー112,110で変換された電圧の大きさの差分値が
大きくなれば、透明フィルム100に欠陥があると判別
することができる。
等に関係なく確実に、被検査物の欠陥を検出する。 【解決手段】 ランプ114(光源)から発した光は、
投光部116a,116b,116cに沿って伝送さ
れ、透明フィルム100(被検査物)に投光される。そ
して、透明フィルム100で反射した光の一部が受光部
106,108の光ファイバー104に入射する。こう
して入射した光は受光部106,108に沿って伝送さ
れ、順にそれぞれ光センサー112,110で光の強度
が測定される。受光部106,108に入射する光の強
度は、透明フィルム100に欠陥がないときはほぼ同じ
となり、欠陥があるときは異なる。そのため、光センサ
ー112,110で変換された電圧の大きさの差分値が
大きくなれば、透明フィルム100に欠陥があると判別
することができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は被検査物の欠陥を検
出する欠陥検出装置に関し、その欠陥の種類や位置等に
関係なく確実に検出するための技術に関する。
出する欠陥検出装置に関し、その欠陥の種類や位置等に
関係なく確実に検出するための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】従来では、透過光検出方式によって被検
査物の欠陥を検出する欠陥検出装置が知られている。透
過光検出方式には、光変化測定法と差分測定法とがあ
る。まず、光変化測定法は、被検査物の一面上に受光部
を配置し、他面上に光源を配置する。その受光部は複数
の受光素子を列状に配置して構成されており、受けた光
の強さに応じて電気信号に変換して出力する。光源から
被検査物に向けて光を照射し、その被検査物を透過した
光を受光部で受ける。もし、被検査物に欠陥が存在する
場合には受光部で受ける光の強さが変化する。そのた
め、光の強さの変化を測定することにより、被検査物の
欠陥を検出することが可能となる。一方、差分測定法
は、被検査物の一面上に上記受光部をほぼ平行に2列配
置し、他面上に光源を配置する。光源から被検査物に向
けて光を照射し、その被検査物を透過した光を2列に配
置した受光部でそれぞれ受ける。こうして受けた光の強
さについて差分をとり、その差分の変化により被検査物
の欠陥を検出することが可能となる。
査物の欠陥を検出する欠陥検出装置が知られている。透
過光検出方式には、光変化測定法と差分測定法とがあ
る。まず、光変化測定法は、被検査物の一面上に受光部
を配置し、他面上に光源を配置する。その受光部は複数
の受光素子を列状に配置して構成されており、受けた光
の強さに応じて電気信号に変換して出力する。光源から
被検査物に向けて光を照射し、その被検査物を透過した
光を受光部で受ける。もし、被検査物に欠陥が存在する
場合には受光部で受ける光の強さが変化する。そのた
め、光の強さの変化を測定することにより、被検査物の
欠陥を検出することが可能となる。一方、差分測定法
は、被検査物の一面上に上記受光部をほぼ平行に2列配
置し、他面上に光源を配置する。光源から被検査物に向
けて光を照射し、その被検査物を透過した光を2列に配
置した受光部でそれぞれ受ける。こうして受けた光の強
さについて差分をとり、その差分の変化により被検査物
の欠陥を検出することが可能となる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、透過光検出方
式による従来の欠陥検出装置では、貫通するピンホール
を検出する場合を除き、被検査物の光透過性が良くなけ
ればならない。そのため、被検査物の種類はフィルムや
ガラス等に限られてしまう。また、従来の欠陥検出装置
は、受光部に複数の受光素子を配置している。それぞれ
の受光素子から出力される信号は、信号線を介して対応
する信号処理部に伝達される。受光素子から出力される
信号は微弱であり、しかも信号線の長さが長くなるほど
減衰するため、信号処理部は受光素子の近傍に設置する
必要がある。そのため、受光素子と信号処理部とをあわ
せた検出部も、受光素子の数だけ必要になる。例えば幅
の広い被検査物に対応する組数の検出部を設置しようと
すると大掛かりになり、その大きさや重量等を補強する
部材が必要になる。したがって、信号処理部の数や補強
のためにコストがかかりすぎて実用的でない。さらに、
2列に配置した受光部でそれぞれ受ける差分測定法で
は、その列方向と直交する方向に直線状に連続する欠陥
が被検査物に存在しても、差分をとると正常と判断され
てしまうことがある。同様に、隣接する受光素子の境界
部位を通過するような欠陥が被検査物に存在しても差分
が発生せず、その欠陥を検出できなかった。
式による従来の欠陥検出装置では、貫通するピンホール
を検出する場合を除き、被検査物の光透過性が良くなけ
ればならない。そのため、被検査物の種類はフィルムや
ガラス等に限られてしまう。また、従来の欠陥検出装置
は、受光部に複数の受光素子を配置している。それぞれ
の受光素子から出力される信号は、信号線を介して対応
する信号処理部に伝達される。受光素子から出力される
信号は微弱であり、しかも信号線の長さが長くなるほど
減衰するため、信号処理部は受光素子の近傍に設置する
必要がある。そのため、受光素子と信号処理部とをあわ
せた検出部も、受光素子の数だけ必要になる。例えば幅
の広い被検査物に対応する組数の検出部を設置しようと
すると大掛かりになり、その大きさや重量等を補強する
部材が必要になる。したがって、信号処理部の数や補強
のためにコストがかかりすぎて実用的でない。さらに、
2列に配置した受光部でそれぞれ受ける差分測定法で
は、その列方向と直交する方向に直線状に連続する欠陥
が被検査物に存在しても、差分をとると正常と判断され
てしまうことがある。同様に、隣接する受光素子の境界
部位を通過するような欠陥が被検査物に存在しても差分
が発生せず、その欠陥を検出できなかった。
【0004】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、コストを抑えるとともに、欠陥の種類や位置
等に関係なく確実に、被検査物の欠陥を検出する欠陥検
出装置を提供することを目的とする。
のであり、コストを抑えるとともに、欠陥の種類や位置
等に関係なく確実に、被検査物の欠陥を検出する欠陥検
出装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための第1の手段】請求項1に記載の
欠陥検出装置は、光を伝送する複数の光伝送部材を列状
に配置し、被検査物に向けて投光する投光部と、その複
数の光伝送部材を列状に配置し、その被検査物からの光
をそれぞれ受光する複数の受光部と、複数の受光部で受
光した光の強度を測定する光強度測定部と、光強度測定
部によって測定された光の強度の差分値に基づいて、被
検査物の欠陥を判別する欠陥判別部とを備えており、投
光部と複数の受光部とをほぼ平行状に配置し、複数の受
光部をそれぞれ複数のブロックに区分し、かつ列方向に
ずらし、光強度測定部を複数のブロックごとに対応して
設けている。
欠陥検出装置は、光を伝送する複数の光伝送部材を列状
に配置し、被検査物に向けて投光する投光部と、その複
数の光伝送部材を列状に配置し、その被検査物からの光
をそれぞれ受光する複数の受光部と、複数の受光部で受
光した光の強度を測定する光強度測定部と、光強度測定
部によって測定された光の強度の差分値に基づいて、被
検査物の欠陥を判別する欠陥判別部とを備えており、投
光部と複数の受光部とをほぼ平行状に配置し、複数の受
光部をそれぞれ複数のブロックに区分し、かつ列方向に
ずらし、光強度測定部を複数のブロックごとに対応して
設けている。
【0006】ここで、「光」は可視光のみならず、非可
視光(赤外線や紫外線等)を含む。「その被検査物から
の光」とは、投光部から出た光が被検査物で反射した光
や、被検査物を透過または通過した光のことである。
「被検査物」は金属箔,紙,フィルム,ガラス等の素材
や部材のほか、メッキ面,研磨面,蒸着面,切削面等の
検査面を含む。「欠陥」は、欠け,割れ,打痕,汚れ,
印刷や塗装のむら等のような正常でない状態である。
視光(赤外線や紫外線等)を含む。「その被検査物から
の光」とは、投光部から出た光が被検査物で反射した光
や、被検査物を透過または通過した光のことである。
「被検査物」は金属箔,紙,フィルム,ガラス等の素材
や部材のほか、メッキ面,研磨面,蒸着面,切削面等の
検査面を含む。「欠陥」は、欠け,割れ,打痕,汚れ,
印刷や塗装のむら等のような正常でない状態である。
【0007】請求項1に記載の欠陥検出装置によれば、
被検査物の面上には投光部と複数の受光部が配置され、
それらの投光部と複数の受光部は光を伝送する複数の光
伝送部材を列状に配置したものである。こうした光伝送
部材は、光ファイバー等のように軽量かつ柔軟性に優れ
たものを用いることにより、装置自体を小型化すること
が可能になる。したがって、軽量化によって補強が不要
になり、従来よりもコストを低く抑えることができる。
また、複数の受光部を列方向にずらしているので、その
列方向と直交する方向に直線状に連続する欠陥や、隣接
するブロックの境界部位を通過するような欠陥も、測定
するブロック間では光の強度について差分が生ずる。そ
のため、当該欠陥を確実に検出することができる。さら
に、被検査物の種類等に合わせて投光部と複数の受光部
とを適切に配置して反射光,透過光,通過光のいずれか
を測定することにより、欠陥の種類に関係なく確実にそ
の欠陥を検出することができる。
被検査物の面上には投光部と複数の受光部が配置され、
それらの投光部と複数の受光部は光を伝送する複数の光
伝送部材を列状に配置したものである。こうした光伝送
部材は、光ファイバー等のように軽量かつ柔軟性に優れ
たものを用いることにより、装置自体を小型化すること
が可能になる。したがって、軽量化によって補強が不要
になり、従来よりもコストを低く抑えることができる。
また、複数の受光部を列方向にずらしているので、その
列方向と直交する方向に直線状に連続する欠陥や、隣接
するブロックの境界部位を通過するような欠陥も、測定
するブロック間では光の強度について差分が生ずる。そ
のため、当該欠陥を確実に検出することができる。さら
に、被検査物の種類等に合わせて投光部と複数の受光部
とを適切に配置して反射光,透過光,通過光のいずれか
を測定することにより、欠陥の種類に関係なく確実にそ
の欠陥を検出することができる。
【0008】
【課題を解決するための第2の手段】請求項2に記載の
欠陥検出装置は、請求項1に記載の欠陥検出装置におい
て、投光部および/または複数の受光部について、被検
査物に対する角度を調整する角度調整部を備える。
欠陥検出装置は、請求項1に記載の欠陥検出装置におい
て、投光部および/または複数の受光部について、被検
査物に対する角度を調整する角度調整部を備える。
【0009】請求項2に記載の欠陥検出装置によれば、
投光部のみ、複数の受光部のみ、あるいは投光部と複数
の受光部との両方について、いずれかを被検査物に対す
る角度を調整する。こうすることによって、一定方向か
ら光を当てただけでは検出できない欠陥も検出すること
が可能になる。
投光部のみ、複数の受光部のみ、あるいは投光部と複数
の受光部との両方について、いずれかを被検査物に対す
る角度を調整する。こうすることによって、一定方向か
ら光を当てただけでは検出できない欠陥も検出すること
が可能になる。
【0010】
【課題を解決するための第3の手段】請求項3に記載の
欠陥検出装置は、請求項1または請求項2に記載の欠陥
検出装置において、複数のブロックに区分した受光部に
ついて、それぞれ連続する3つのブロックごとにグルー
プ化し、ある受光部のグループに含まれる少なくとも一
つのブロックが、列方向と直交する方向に位置しないブ
ロックを含む他の受光部のグループとをペアにし、その
ペアに含まれる各ブロックについて、ある受光部と他の
受光部との光の強度の差分値を求めて被検査物の欠陥を
検出する。
欠陥検出装置は、請求項1または請求項2に記載の欠陥
検出装置において、複数のブロックに区分した受光部に
ついて、それぞれ連続する3つのブロックごとにグルー
プ化し、ある受光部のグループに含まれる少なくとも一
つのブロックが、列方向と直交する方向に位置しないブ
ロックを含む他の受光部のグループとをペアにし、その
ペアに含まれる各ブロックについて、ある受光部と他の
受光部との光の強度の差分値を求めて被検査物の欠陥を
検出する。
【0011】請求項3に記載の欠陥検出装置によれば、
列方向にずらして配置した受光部について連続する3つ
のブロックごとにグループ化し、他の受光部も同様にグ
ループ化する。こうしてグループ化した3つブロックに
ついて、それぞれのブロックに対応して光の強度の差分
をとることにより、最小限の光強度測定部や欠陥判別部
で欠陥を検出することができる。したがって、必要な部
品数を最小限にすることができるので、欠陥検出装置の
製造コストを最小限に抑えることができる。
列方向にずらして配置した受光部について連続する3つ
のブロックごとにグループ化し、他の受光部も同様にグ
ループ化する。こうしてグループ化した3つブロックに
ついて、それぞれのブロックに対応して光の強度の差分
をとることにより、最小限の光強度測定部や欠陥判別部
で欠陥を検出することができる。したがって、必要な部
品数を最小限にすることができるので、欠陥検出装置の
製造コストを最小限に抑えることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明における実施の形態
を、図面に基づいて説明する。 〔実施の形態1〕まず、実施の形態1では、投光した被
検査物で反射した反射光を測定することによって欠陥を
検出する欠陥検出装置について本発明を適用する。この
実施の形態1では、図1〜図7を参照しながら説明す
る。ここで、図1,図2,図4には欠陥検出装置の外観
を示す。具体的には、図1に斜視図を、図2に側面図
を、図4は端面を示す底面図をそれぞれ示す。図3に
は、欠陥によって投光した光が散乱する様子を示す。図
5には、光強度測定部と欠陥判別部の構成例を示す。図
6には、線状傷の場合の検出波形を示す。図7には、実
際の検出波形の例を示す。なお、被検査物には、その一
例として透明フィルム100を用いる。また、これらの
図において同一の要素は同一の符号を付している。
を、図面に基づいて説明する。 〔実施の形態1〕まず、実施の形態1では、投光した被
検査物で反射した反射光を測定することによって欠陥を
検出する欠陥検出装置について本発明を適用する。この
実施の形態1では、図1〜図7を参照しながら説明す
る。ここで、図1,図2,図4には欠陥検出装置の外観
を示す。具体的には、図1に斜視図を、図2に側面図
を、図4は端面を示す底面図をそれぞれ示す。図3に
は、欠陥によって投光した光が散乱する様子を示す。図
5には、光強度測定部と欠陥判別部の構成例を示す。図
6には、線状傷の場合の検出波形を示す。図7には、実
際の検出波形の例を示す。なお、被検査物には、その一
例として透明フィルム100を用いる。また、これらの
図において同一の要素は同一の符号を付している。
【0013】まず、欠陥検出装置の構成や動作等につい
て、図1〜図4を参照しながら説明する。この欠陥検出
装置は、図1に示すように、検査ヘッド102、光セン
サー110,112、ランプ114、後述する光強度測
定部と欠陥判別部等によって構成されている。透明フィ
ルム100は、検査のために走行方向(図示する矢印D
2方向)に沿って移動可能になっている。この透明フィ
ルム100の片面側には、検査ヘッド102、光センサ
ー110,112、ランプ114等が配置されている。
検査ヘッド102は複数本の光ファイバー104(光伝
送部材に相当する)の端面を整えて束ねたものであっ
て、投光部116と受光部106,108とを備えてい
る。したがって、投光部116と受光部106,108
とは、いずれも複数本(同一本数とは限らない)の光フ
ァイバー104によって構成される。
て、図1〜図4を参照しながら説明する。この欠陥検出
装置は、図1に示すように、検査ヘッド102、光セン
サー110,112、ランプ114、後述する光強度測
定部と欠陥判別部等によって構成されている。透明フィ
ルム100は、検査のために走行方向(図示する矢印D
2方向)に沿って移動可能になっている。この透明フィ
ルム100の片面側には、検査ヘッド102、光センサ
ー110,112、ランプ114等が配置されている。
検査ヘッド102は複数本の光ファイバー104(光伝
送部材に相当する)の端面を整えて束ねたものであっ
て、投光部116と受光部106,108とを備えてい
る。したがって、投光部116と受光部106,108
とは、いずれも複数本(同一本数とは限らない)の光フ
ァイバー104によって構成される。
【0014】検査ヘッド102とは反対側端部の投光部
116には、光源に相当するランプ114が配置され
る。同様に、受光部106には複数本の光ファイバー1
04がまとめられて光センサー112が接続され、同様
に受光部108には複数本の光ファイバー104がまと
められて光センサー110がそれぞれ接続される。これ
らの光センサー110,112は、受光した光の強さを
測定する光強度測定部に相当する。
116には、光源に相当するランプ114が配置され
る。同様に、受光部106には複数本の光ファイバー1
04がまとめられて光センサー112が接続され、同様
に受光部108には複数本の光ファイバー104がまと
められて光センサー110がそれぞれ接続される。これ
らの光センサー110,112は、受光した光の強さを
測定する光強度測定部に相当する。
【0015】次に、検査ヘッド102の構成等について
説明する。例えば、図2に示す検査ヘッド102は光フ
ァイバー104を5列に整列させている。この例では、
図面左側から投光部116a,受光部108,投光部1
16c,受光部106,投光部116bとなっている。
ランプ114から発した可視光は、投光部116a,1
16b,116cに沿って伝送され、透明フィルム10
0に投光される。光ファイバー104内において、その
光は屈折を繰り返しながら伝送される。そのため、光フ
ァイバー104の端面から出る光は、ほぼ円錐形状範囲
内で広がる。すなわち、矢印D6で示す光の方向は、拡
散される光の一例にすぎない。
説明する。例えば、図2に示す検査ヘッド102は光フ
ァイバー104を5列に整列させている。この例では、
図面左側から投光部116a,受光部108,投光部1
16c,受光部106,投光部116bとなっている。
ランプ114から発した可視光は、投光部116a,1
16b,116cに沿って伝送され、透明フィルム10
0に投光される。光ファイバー104内において、その
光は屈折を繰り返しながら伝送される。そのため、光フ
ァイバー104の端面から出る光は、ほぼ円錐形状範囲
内で広がる。すなわち、矢印D6で示す光の方向は、拡
散される光の一例にすぎない。
【0016】そして、透明フィルム100で反射した光
の一部が矢印D8に示すように受光部106,108の
光ファイバー104に入射する。こうして入射した光は
受光部106,108に沿って伝送され、順にそれぞれ
光センサー112,110で光の強度が測定される。す
なわち、光センサー112,110では光電交換によっ
て電圧に変換されることから、その電圧の大きさが光の
強さに相当することになる。この場合、透明フィルム1
00に欠陥がない場合には、受光部106と受光部10
8とにほぼ均等に光が入射する。そのため、光センサー
112,110によって変換された電圧の大きさもほぼ
等しくなる。
の一部が矢印D8に示すように受光部106,108の
光ファイバー104に入射する。こうして入射した光は
受光部106,108に沿って伝送され、順にそれぞれ
光センサー112,110で光の強度が測定される。す
なわち、光センサー112,110では光電交換によっ
て電圧に変換されることから、その電圧の大きさが光の
強さに相当することになる。この場合、透明フィルム1
00に欠陥がない場合には、受光部106と受光部10
8とにほぼ均等に光が入射する。そのため、光センサー
112,110によって変換された電圧の大きさもほぼ
等しくなる。
【0017】ところで、透明フィルム100に欠けや割
れ等の欠陥が存在する場合には、光の反射が変化する。
このことを図3を参照しながら説明する。なお、投光部
116a,116b,116cのいずれでも同様である
ので、説明を簡単にするために投光部116cから投光
する光について行う。
れ等の欠陥が存在する場合には、光の反射が変化する。
このことを図3を参照しながら説明する。なお、投光部
116a,116b,116cのいずれでも同様である
ので、説明を簡単にするために投光部116cから投光
する光について行う。
【0018】図3に示す例では、透明フィルム100上
には点状傷120が存在しており、その点状傷120は
受光部106のほぼ真下に位置している。このとき、投
光部116から投光した光の一部は矢印D10で示すよ
うな光路に沿って進み、受光部108の光ファイバー1
04に入射する。一方、投光部116から投光した光の
他の一部は、矢印D14で示すような光路に沿って進
む。もし、点状傷120がなければ二点鎖線で示す矢印
D12で示すような光路に沿って進むため、受光部10
8の光ファイバー104に入射することになる。
には点状傷120が存在しており、その点状傷120は
受光部106のほぼ真下に位置している。このとき、投
光部116から投光した光の一部は矢印D10で示すよ
うな光路に沿って進み、受光部108の光ファイバー1
04に入射する。一方、投光部116から投光した光の
他の一部は、矢印D14で示すような光路に沿って進
む。もし、点状傷120がなければ二点鎖線で示す矢印
D12で示すような光路に沿って進むため、受光部10
8の光ファイバー104に入射することになる。
【0019】もし、点状傷120等のような欠陥がある
場合には、受光部108と受光部106とに入射する光
の量(すなわち光の強さ)が異なるため、光センサー1
10,112で測定される光の強さも異なる。そのた
め、光センサー110,112によって測定された光の
強さの差分値(以下「光差分値」と呼ぶ。)をとれば、
欠陥にない正常な状態のときには光差分値はほぼゼロと
なり、欠陥によって異常な状態のときには光差分値は所
定値範囲外の値になる。この所定値範囲は被検査物や欠
陥の種類に応じて異なる値の範囲であって、予め設定さ
れる。したがって、光差分値が所定値範囲外になったと
きは、透明フィルム100に欠陥があると判別すること
ができる。
場合には、受光部108と受光部106とに入射する光
の量(すなわち光の強さ)が異なるため、光センサー1
10,112で測定される光の強さも異なる。そのた
め、光センサー110,112によって測定された光の
強さの差分値(以下「光差分値」と呼ぶ。)をとれば、
欠陥にない正常な状態のときには光差分値はほぼゼロと
なり、欠陥によって異常な状態のときには光差分値は所
定値範囲外の値になる。この所定値範囲は被検査物や欠
陥の種類に応じて異なる値の範囲であって、予め設定さ
れる。したがって、光差分値が所定値範囲外になったと
きは、透明フィルム100に欠陥があると判別すること
ができる。
【0020】ところで、受光部108,106と光セン
サー110,112とを備えただけでは、図1に示す線
状傷118の場合には光の強さの差分値がほぼゼロとな
り、正常であると誤判別してしまう場合もある。この欠
陥を確実に検出するための方法について、図4,図5を
参照しながら説明する。なお、図4には、透明フィルム
100側における検査ヘッド102の端面(一部)を示
す。すなわち、図4(A)には光ファイバー104を俵
積みした検査ヘッド102の例を、図4(B)に光ファ
イバー104を整列積みした検査ヘッド102の例をそ
れぞれ示す。
サー110,112とを備えただけでは、図1に示す線
状傷118の場合には光の強さの差分値がほぼゼロとな
り、正常であると誤判別してしまう場合もある。この欠
陥を確実に検出するための方法について、図4,図5を
参照しながら説明する。なお、図4には、透明フィルム
100側における検査ヘッド102の端面(一部)を示
す。すなわち、図4(A)には光ファイバー104を俵
積みした検査ヘッド102の例を、図4(B)に光ファ
イバー104を整列積みした検査ヘッド102の例をそ
れぞれ示す。
【0021】図2との対比において、図4(A)に示す
検査ヘッド102は、上下5段に光ファイバー104を
並べて積層し、図面上側から順に投光部116b,受光
部106,投光部116c,受光部108,投光部11
6aに相当する。このように積層することによって、投
光部116(投光部116a,116b,116c)
と、受光部106,108との間は、ほぼ平行状に配置
されることになる。受光部106と受光部108とは、
それぞれ例えば4本の光ファイバー104ごとにブロッ
ク化し、区分している。すなわち、図4(A)に示す例
では、図面左側から順にブロックB10,B12,B1
4,B16,…に区分されている。受光部108も同様
に、図面左側から順にブロックB20,B22,B2
4,B26,…に区分されている。
検査ヘッド102は、上下5段に光ファイバー104を
並べて積層し、図面上側から順に投光部116b,受光
部106,投光部116c,受光部108,投光部11
6aに相当する。このように積層することによって、投
光部116(投光部116a,116b,116c)
と、受光部106,108との間は、ほぼ平行状に配置
されることになる。受光部106と受光部108とは、
それぞれ例えば4本の光ファイバー104ごとにブロッ
ク化し、区分している。すなわち、図4(A)に示す例
では、図面左側から順にブロックB10,B12,B1
4,B16,…に区分されている。受光部108も同様
に、図面左側から順にブロックB20,B22,B2
4,B26,…に区分されている。
【0022】なお、図4(B)に示すように、整列積み
した検査ヘッド102でも、俵積みした検査ヘッド10
2と同様に複数のブロックに区分することができる。こ
の様子を、図4(A)に示す符号と同一を符号を用いて
図4(B)に示す。また、光ファイバー104の積層方
法は、上記俵積みや整列積みに限らず、他の積み方でも
同様に適用可能である。この場合も、複数本の光ファイ
バー104ごとにブロック化し、区分することができ
る。
した検査ヘッド102でも、俵積みした検査ヘッド10
2と同様に複数のブロックに区分することができる。こ
の様子を、図4(A)に示す符号と同一を符号を用いて
図4(B)に示す。また、光ファイバー104の積層方
法は、上記俵積みや整列積みに限らず、他の積み方でも
同様に適用可能である。この場合も、複数本の光ファイ
バー104ごとにブロック化し、区分することができ
る。
【0023】上記のように区分されたブロックごとに、
受光した光の強度を測定し、さらには被検査物の欠陥を
判別するための手段について、図5を参照しながら説明
する。図5において、光強度測定部は、受光部106
a,106b,106c,108a,108b,108
c、光センサー110a,110b,110c,112
a,112b,112c、差動増幅器122a,122
b,122cによって構成されている。
受光した光の強度を測定し、さらには被検査物の欠陥を
判別するための手段について、図5を参照しながら説明
する。図5において、光強度測定部は、受光部106
a,106b,106c,108a,108b,108
c、光センサー110a,110b,110c,112
a,112b,112c、差動増幅器122a,122
b,122cによって構成されている。
【0024】受光部106aは、図4に示すブロックB
10の光ファイバー104を束ねてまとめたものであ
る。同様に、受光部106bはブロックB12、受光部
106cはブロックB14、受光部108aはブロック
B22、受光部108bはブロックB24、受光部10
8cはブロックB26の光ファイバー104をそれぞれ
束ねてまとめたものである。また、光センサー110a
は受光部108aで受光された光、すなわちブロックB
22内の光ファイバー104に入射した光の強さを電圧
に変換する。同様に、光センサー110bはブロックB
24、光センサー110cはブロックB26、光センサ
ー112aはブロックB10、光センサー112bはブ
ロックB12、光センサー112cはブロックB14内
のそれぞれの光ファイバー104に入射した光の強さを
電圧に変換する。
10の光ファイバー104を束ねてまとめたものであ
る。同様に、受光部106bはブロックB12、受光部
106cはブロックB14、受光部108aはブロック
B22、受光部108bはブロックB24、受光部10
8cはブロックB26の光ファイバー104をそれぞれ
束ねてまとめたものである。また、光センサー110a
は受光部108aで受光された光、すなわちブロックB
22内の光ファイバー104に入射した光の強さを電圧
に変換する。同様に、光センサー110bはブロックB
24、光センサー110cはブロックB26、光センサ
ー112aはブロックB10、光センサー112bはブ
ロックB12、光センサー112cはブロックB14内
のそれぞれの光ファイバー104に入射した光の強さを
電圧に変換する。
【0025】さらに、光センサー110aと光センサー
112aとは互いに逆方向に接続されており、これらの
出力信号はともに差動増幅器122aに入力される。こ
の接続方式によって、光センサー110a,112aで
出力される電圧の差分をとることができる。光センサー
110bと光センサー112bとは逆方向に接続され、
差動増幅器122bに入力される。光センサー110c
と光センサー112cとは逆方向に接続され、差動増幅
器122cに入力される。そして、差動増幅器122
a,122b,122は、いずれも入力された信号の差
分をとって、差分信号として出力する。
112aとは互いに逆方向に接続されており、これらの
出力信号はともに差動増幅器122aに入力される。こ
の接続方式によって、光センサー110a,112aで
出力される電圧の差分をとることができる。光センサー
110bと光センサー112bとは逆方向に接続され、
差動増幅器122bに入力される。光センサー110c
と光センサー112cとは逆方向に接続され、差動増幅
器122cに入力される。そして、差動増幅器122
a,122b,122は、いずれも入力された信号の差
分をとって、差分信号として出力する。
【0026】上記の構成をなす光強度測定部によれば、
差動増幅器122aに入力される電圧は結局のところ、
図4におけるブロックB10とブロックB22とに入射
される光の強さである。同様に、差動増幅器122bに
入力される電圧は、ブロックB12とブロックB24と
に入射される光の強さである。また、差動増幅器122
cに入力される電圧は、ブロックB14とブロックB2
6とに入射される光の強さである。このように、複数の
ブロックに区分した受光部を列方向にずらしている。こ
の列方向は図4における左右方向であって、図1におけ
る矢印D4方向に相当する。こうすると、図1に示す線
状傷118が透明フィルム100にあった場合でも、確
実に欠陥を検出することができる。ここで、ブロックB
10とブロックB22、ブロックB12とブロックB2
4、ブロックB14とブロックB26は、いずれも対と
なる。また、3つのブロックごとに1つのグループを形
成する。すなわち、ブロックB10,B12,B14、
ブロックB20,B22,B24はそれぞれが1つのグ
ループである。
差動増幅器122aに入力される電圧は結局のところ、
図4におけるブロックB10とブロックB22とに入射
される光の強さである。同様に、差動増幅器122bに
入力される電圧は、ブロックB12とブロックB24と
に入射される光の強さである。また、差動増幅器122
cに入力される電圧は、ブロックB14とブロックB2
6とに入射される光の強さである。このように、複数の
ブロックに区分した受光部を列方向にずらしている。こ
の列方向は図4における左右方向であって、図1におけ
る矢印D4方向に相当する。こうすると、図1に示す線
状傷118が透明フィルム100にあった場合でも、確
実に欠陥を検出することができる。ここで、ブロックB
10とブロックB22、ブロックB12とブロックB2
4、ブロックB14とブロックB26は、いずれも対と
なる。また、3つのブロックごとに1つのグループを形
成する。すなわち、ブロックB10,B12,B14、
ブロックB20,B22,B24はそれぞれが1つのグ
ループである。
【0027】ここで、図1において、検査ヘッド102
を列方向(矢印D4方向)に移動させた場合について、
図6を参照しながら説明する。検査ヘッド102を列方
向に移動させると、その移動距離Xが増加するにつれて
端子124a,124b,124cの電圧が交互にほぼ
正弦波を描いて変化する。このことは、走行方向(矢印
D2方向)に透明フィルム100を移動させた場合でも
同様である。例えば、図3に示す点状傷120につい
て、同様に端子124aの実際の変化を見てみると、図
7に示すような変化になる。この例では、距離Xa付近
で電圧値が大きく変化しているので、その位置に欠陥が
あると判別できる。すなわち、走行方向に透明フィルム
100を移動させると、一方のブロックでは線状傷11
8によって光の入射が少なくなるが、他方のブロックで
は正常どおり光の入射がある。したがって、これらのブ
ロックの相互間では光差分値が大きくなり、線状傷11
8や点状傷120等の欠陥を検出することができる。
を列方向(矢印D4方向)に移動させた場合について、
図6を参照しながら説明する。検査ヘッド102を列方
向に移動させると、その移動距離Xが増加するにつれて
端子124a,124b,124cの電圧が交互にほぼ
正弦波を描いて変化する。このことは、走行方向(矢印
D2方向)に透明フィルム100を移動させた場合でも
同様である。例えば、図3に示す点状傷120につい
て、同様に端子124aの実際の変化を見てみると、図
7に示すような変化になる。この例では、距離Xa付近
で電圧値が大きく変化しているので、その位置に欠陥が
あると判別できる。すなわち、走行方向に透明フィルム
100を移動させると、一方のブロックでは線状傷11
8によって光の入射が少なくなるが、他方のブロックで
は正常どおり光の入射がある。したがって、これらのブ
ロックの相互間では光差分値が大きくなり、線状傷11
8や点状傷120等の欠陥を検出することができる。
【0028】図5に戻って、欠陥判別部は、比較器12
6a,126b,126c,136、論理和回路12
8、加算器134、検出ランプ132,140によって
構成されている。比較器126a,126b,126c
は、上記光強度測定部における差動増幅器122a,1
22b,122cにそれぞれ対応して設けられている。
これらの比較器126a,126b,126cは、順に
差動増幅器122a,122b,122cから出力され
た差分信号が基準電圧Vcc(しきい値)以上になった
場合にはハイレベル信号(以下「H信号」と呼ぶ。)
を、基準電圧Vcc未満の場合にはローレベル信号(以
下「L信号」と呼ぶ。)をそれぞれ出力する。論理和回
路128は比較器126a,126b,126cから出
力されたそれぞれ論理信号(H信号またはL信号)を受
けて、それらの論理信号の論理和をとって出力する。出
力された信号は、端子130を介して検出ランプ132
を駆動する。
6a,126b,126c,136、論理和回路12
8、加算器134、検出ランプ132,140によって
構成されている。比較器126a,126b,126c
は、上記光強度測定部における差動増幅器122a,1
22b,122cにそれぞれ対応して設けられている。
これらの比較器126a,126b,126cは、順に
差動増幅器122a,122b,122cから出力され
た差分信号が基準電圧Vcc(しきい値)以上になった
場合にはハイレベル信号(以下「H信号」と呼ぶ。)
を、基準電圧Vcc未満の場合にはローレベル信号(以
下「L信号」と呼ぶ。)をそれぞれ出力する。論理和回
路128は比較器126a,126b,126cから出
力されたそれぞれ論理信号(H信号またはL信号)を受
けて、それらの論理信号の論理和をとって出力する。出
力された信号は、端子130を介して検出ランプ132
を駆動する。
【0029】一方、加算器134は、差動増幅器122
a,122b,122cのそれぞれから出力された差分
信号を受けて、これらの差分信号を加算した加算信号を
出力する。比較器136は、加算器134から出力され
た加算信号が基準電圧Vcc以上になった場合にはH信
号を、基準電圧Vcc未満の場合にはL信号を出力す
る。出力された信号は、端子138を介して検出ランプ
140を駆動する。端子130に接続される検出ランプ
132は、論理和回路128から出力された信号がH信
号であれば点灯し、L信号であれば消灯する。同様に、
端子138に接続される検出ランプ140は、比較器1
36から出力された信号がH信号であれば点灯し、L信
号であれば消灯する。
a,122b,122cのそれぞれから出力された差分
信号を受けて、これらの差分信号を加算した加算信号を
出力する。比較器136は、加算器134から出力され
た加算信号が基準電圧Vcc以上になった場合にはH信
号を、基準電圧Vcc未満の場合にはL信号を出力す
る。出力された信号は、端子138を介して検出ランプ
140を駆動する。端子130に接続される検出ランプ
132は、論理和回路128から出力された信号がH信
号であれば点灯し、L信号であれば消灯する。同様に、
端子138に接続される検出ランプ140は、比較器1
36から出力された信号がH信号であれば点灯し、L信
号であれば消灯する。
【0030】なお、上記の例では端子130,138に
それぞれ検出ランプ132,140を接続したが、検査
員(操作員)に欠陥を知らせるための装置や機器等を接
続してもよい。例えば、コンピュータやブザーを接続し
てもよい。あるいは、論理和回路128や比較器136
から出力された信号がH信号のときには、透明フィルム
100を走行させる走行装置を停止させる装置を接続し
てもよい。また、グループを形成した3つのブロックご
とに対応して、光電変換した電圧を1つの差動増幅器に
入力するようにしてもよい。図8に示す例では、ブロッ
クB10,B12,B14に対応する受光部106a,
106b,106cに属するグループG2と、ブロック
B22,B24,B26に対応する受光部108a,1
08b,108cに属するグループG4とがある。同様
にして、グループG6,G8,G10,G12,…,G
m,Gnがある。これらのグループ間において、左側,
中側,右側の順に対応して光センサーを並列に接続し、
それぞれ差動増幅器122a,122b,122cに入
力する。こうすれば、差動増幅器や比較器等を最小限3
つずつに抑えることができる。したがって、欠陥検出装
置を製造コストを低く抑えることができる。
それぞれ検出ランプ132,140を接続したが、検査
員(操作員)に欠陥を知らせるための装置や機器等を接
続してもよい。例えば、コンピュータやブザーを接続し
てもよい。あるいは、論理和回路128や比較器136
から出力された信号がH信号のときには、透明フィルム
100を走行させる走行装置を停止させる装置を接続し
てもよい。また、グループを形成した3つのブロックご
とに対応して、光電変換した電圧を1つの差動増幅器に
入力するようにしてもよい。図8に示す例では、ブロッ
クB10,B12,B14に対応する受光部106a,
106b,106cに属するグループG2と、ブロック
B22,B24,B26に対応する受光部108a,1
08b,108cに属するグループG4とがある。同様
にして、グループG6,G8,G10,G12,…,G
m,Gnがある。これらのグループ間において、左側,
中側,右側の順に対応して光センサーを並列に接続し、
それぞれ差動増幅器122a,122b,122cに入
力する。こうすれば、差動増幅器や比較器等を最小限3
つずつに抑えることができる。したがって、欠陥検出装
置を製造コストを低く抑えることができる。
【0031】上記実施の形態1によれば、透明フィルム
100(被検査物)の面上には投光部116と複数の受
光部106,108が配置され、それらの投光部116
と複数の受光部106,108は光を伝送する複数の光
ファイバー104(光伝送部材)を列状に配置してい
る。光ファイバー104は軽量かつ柔軟性に優れている
ために、検査ヘッド102を小型化することが可能にな
る。したがって、軽量化によって補強が不要になり、従
来よりもコストを低く抑えることができる。また、図5
に示すように複数の受光部106,108を列方向にず
らしているので、その列方向と直交する方向に図1に示
すような線状傷118(直線状に連続する欠陥)や、隣
接するブロックの境界部位を通過するような欠陥も、測
定するブロック間では光の強度について差分が生ずる。
そのため、当該欠陥を確実に検出することができる。
100(被検査物)の面上には投光部116と複数の受
光部106,108が配置され、それらの投光部116
と複数の受光部106,108は光を伝送する複数の光
ファイバー104(光伝送部材)を列状に配置してい
る。光ファイバー104は軽量かつ柔軟性に優れている
ために、検査ヘッド102を小型化することが可能にな
る。したがって、軽量化によって補強が不要になり、従
来よりもコストを低く抑えることができる。また、図5
に示すように複数の受光部106,108を列方向にず
らしているので、その列方向と直交する方向に図1に示
すような線状傷118(直線状に連続する欠陥)や、隣
接するブロックの境界部位を通過するような欠陥も、測
定するブロック間では光の強度について差分が生ずる。
そのため、当該欠陥を確実に検出することができる。
【0032】さらに、列方向にずらして配置した複数の
受光部106,108について、それぞれ連続する3つ
のブロックごとにグループ化し、それぞれのブロックに
対応して光の強度の差分をとるように光センサーや差動
増幅器等を構成した(図8参照)。そのため、最小限の
光センサー110,112(光強度測定部)や差動増幅
器122(欠陥判別部)等で欠陥を確実に検出すること
ができる。したがって、必要な部品数を最小限にするこ
とができるので、欠陥検出装置の製造コストを最小限に
抑えることができる。
受光部106,108について、それぞれ連続する3つ
のブロックごとにグループ化し、それぞれのブロックに
対応して光の強度の差分をとるように光センサーや差動
増幅器等を構成した(図8参照)。そのため、最小限の
光センサー110,112(光強度測定部)や差動増幅
器122(欠陥判別部)等で欠陥を確実に検出すること
ができる。したがって、必要な部品数を最小限にするこ
とができるので、欠陥検出装置の製造コストを最小限に
抑えることができる。
【0033】そして、光伝送部材として光ファイバー1
04を用いたことによって、次のメリットを得ることが
できる。第1に、光ファイバー104は自由屈曲性を有
するので、検査ヘッド102の位置を自由に設置するこ
とができる。第2に、光ファイバー104は光伝送のロ
スが少ないので、投光部116や複数の受光部106,
108の長さを長くとることができる。そのため、光強
度測定部と欠陥判別部とを、検査ヘッド102から離れ
た位置に設置できる。検査ヘッド102の重量が軽減さ
れるので、補強部材等を必要としない。第3に、光ファ
イバー104の直径はほぼ1mm程度であるため、投光
部116と複数の受光部106,108とを検査ヘッド
102内に自由に配置して組み込むことができる。した
がって、検査ヘッド102の大きさを小さくすることが
できる。
04を用いたことによって、次のメリットを得ることが
できる。第1に、光ファイバー104は自由屈曲性を有
するので、検査ヘッド102の位置を自由に設置するこ
とができる。第2に、光ファイバー104は光伝送のロ
スが少ないので、投光部116や複数の受光部106,
108の長さを長くとることができる。そのため、光強
度測定部と欠陥判別部とを、検査ヘッド102から離れ
た位置に設置できる。検査ヘッド102の重量が軽減さ
れるので、補強部材等を必要としない。第3に、光ファ
イバー104の直径はほぼ1mm程度であるため、投光
部116と複数の受光部106,108とを検査ヘッド
102内に自由に配置して組み込むことができる。した
がって、検査ヘッド102の大きさを小さくすることが
できる。
【0034】その他、被検査物の幅(列方向の長さ)に
合わせて検査ヘッド102を形成することが容易にでき
る。例えば、1メートルを超える幅のような透明フィル
ム100に対しても、その幅に合う検査ヘッド102を
構成することができる。この場合も、光ファイバー10
4を用いて構成するので、重量を最小限に抑えることが
できる。したがって、補強部材を必要としないので、従
来の欠陥検出装置と比べて製造コストを低く抑えること
ができる。
合わせて検査ヘッド102を形成することが容易にでき
る。例えば、1メートルを超える幅のような透明フィル
ム100に対しても、その幅に合う検査ヘッド102を
構成することができる。この場合も、光ファイバー10
4を用いて構成するので、重量を最小限に抑えることが
できる。したがって、補強部材を必要としないので、従
来の欠陥検出装置と比べて製造コストを低く抑えること
ができる。
【0035】〔実施の形態2〕次に、実施の形態2で
は、被検査物に傾斜させて投光し、その被検査物で反射
した反射光を測定することによって欠陥を検出する欠陥
検出装置について本発明を適用する。この実施の形態2
は、図9〜図11を参照しながら説明する。なお、これ
らの図において、図1〜図7に示す要素と同一の要素に
は同一符号を付し、説明を省略する。また、説明を簡単
にするために、実施の形態2では実施の形態1と異なる
点について説明する。
は、被検査物に傾斜させて投光し、その被検査物で反射
した反射光を測定することによって欠陥を検出する欠陥
検出装置について本発明を適用する。この実施の形態2
は、図9〜図11を参照しながら説明する。なお、これ
らの図において、図1〜図7に示す要素と同一の要素に
は同一符号を付し、説明を省略する。また、説明を簡単
にするために、実施の形態2では実施の形態1と異なる
点について説明する。
【0036】図9において、図2に示す欠陥検出装置と
異なる点は、投光部116と複数の受光部106,10
8とを分離した点と、これらの投光部116と複数の受
光部106,108とを被検査物の面を基準として傾斜
させた点である。投光部116を投光ヘッド150に設
けるとともに、受光部106,108を受光ヘッド15
2に設ける。これらのヘッドの端面を図10に示す。す
なわち、図10(A)には投光ヘッド150の端面を、
図10(B)には受光ヘッド152の端面を示す。受光
ヘッド152において、受光部106と受光部108
は、図4に示す検査ヘッド102と同様にほぼ平行状に
配置されている。また、図示しないが、検査ヘッド10
2の場合と同様に、光ファイバー104のブロック化お
よびグループ化が行われる。
異なる点は、投光部116と複数の受光部106,10
8とを分離した点と、これらの投光部116と複数の受
光部106,108とを被検査物の面を基準として傾斜
させた点である。投光部116を投光ヘッド150に設
けるとともに、受光部106,108を受光ヘッド15
2に設ける。これらのヘッドの端面を図10に示す。す
なわち、図10(A)には投光ヘッド150の端面を、
図10(B)には受光ヘッド152の端面を示す。受光
ヘッド152において、受光部106と受光部108
は、図4に示す検査ヘッド102と同様にほぼ平行状に
配置されている。また、図示しないが、検査ヘッド10
2の場合と同様に、光ファイバー104のブロック化お
よびグループ化が行われる。
【0037】図2に示す検査ヘッド102のように、被
検査物の面を基準としてほぼ直角をなす位置に設置する
と、その被検査物の種類によっては光の反射率が悪いた
め等の理由によって、光差分値が所定値範囲外に達しな
い場合がある。あるいは、同じ欠陥でも正常と判別され
たり、異常と判別されたりする場合がある。そこで、図
9に示すように被検査物(透明フィルム100)の面を
基準として、所定の角度θ2に傾斜させる。こうする
と、反射率等が変化して的確に欠陥の検出ができるよう
になる。この角度θ2は予め実験等によって定められ
る。なお、傾斜させる部位は、ランプ114,投光ヘッ
ド150,受光ヘッド152、受光部106,受光部1
08等の全体でなくてもよい。すなわち、投光ヘッド1
50および/または受光ヘッド152だけ、あるいは投
光ヘッド150および/または受光ヘッド152の先端
部位だけを傾斜させるようにしてもよい。
検査物の面を基準としてほぼ直角をなす位置に設置する
と、その被検査物の種類によっては光の反射率が悪いた
め等の理由によって、光差分値が所定値範囲外に達しな
い場合がある。あるいは、同じ欠陥でも正常と判別され
たり、異常と判別されたりする場合がある。そこで、図
9に示すように被検査物(透明フィルム100)の面を
基準として、所定の角度θ2に傾斜させる。こうする
と、反射率等が変化して的確に欠陥の検出ができるよう
になる。この角度θ2は予め実験等によって定められ
る。なお、傾斜させる部位は、ランプ114,投光ヘッ
ド150,受光ヘッド152、受光部106,受光部1
08等の全体でなくてもよい。すなわち、投光ヘッド1
50および/または受光ヘッド152だけ、あるいは投
光ヘッド150および/または受光ヘッド152の先端
部位だけを傾斜させるようにしてもよい。
【0038】また、ランプ114や投光ヘッド150に
対して角度調整部を設けてもよい。この角度調整部は、
例えば投光ヘッド150にシャフトを取り付け、そのシ
ャフトをモータやシリンダ等の駆動装置によって動かし
て、被検査物の面を基準とする角度を調整する。図11
に示す例では、角度調整部によって受光ヘッド152が
角度θ6から角度θ4(θ6≦θ2≦θ4)までの範囲
で調整可能になる。こうすれば、被検査物に合わせて適
切な角度に調整することができるので、より的確に欠陥
を検出することができるようになる。なお、角度調整部
は受光ヘッド152に対して設けてもよく、あるいは投
光ヘッド150および受光ヘッド152の両方に設けて
もよい。さらには、図1等に示す検査ヘッド102に対
して設けてもよい。これらの場合であっても、より的確
に欠陥を検出することができるようになる。
対して角度調整部を設けてもよい。この角度調整部は、
例えば投光ヘッド150にシャフトを取り付け、そのシ
ャフトをモータやシリンダ等の駆動装置によって動かし
て、被検査物の面を基準とする角度を調整する。図11
に示す例では、角度調整部によって受光ヘッド152が
角度θ6から角度θ4(θ6≦θ2≦θ4)までの範囲
で調整可能になる。こうすれば、被検査物に合わせて適
切な角度に調整することができるので、より的確に欠陥
を検出することができるようになる。なお、角度調整部
は受光ヘッド152に対して設けてもよく、あるいは投
光ヘッド150および受光ヘッド152の両方に設けて
もよい。さらには、図1等に示す検査ヘッド102に対
して設けてもよい。これらの場合であっても、より的確
に欠陥を検出することができるようになる。
【0039】上記実施の形態2によれば、投光部116
のみ、複数の受光部106,108のみ、あるいは投光
部116と複数の受光部106,108との両方につい
て、いずれかを被検査物に対する角度を調整する。こう
することによって、一定方向から光を当てただけでは検
出できない欠陥も検出することが可能になる。
のみ、複数の受光部106,108のみ、あるいは投光
部116と複数の受光部106,108との両方につい
て、いずれかを被検査物に対する角度を調整する。こう
することによって、一定方向から光を当てただけでは検
出できない欠陥も検出することが可能になる。
【0040】〔実施の形態3〕次に、実施の形態3で
は、投光した被検査物で透過または通過した光を測定す
ることによって欠陥を検出する欠陥検出装置について本
発明を適用する。この実施の形態3では、図12を参照
しながら説明する。なお、これらの図において、図1〜
図11に示す要素と同一の要素には同一符号を付し、説
明を省略する。また、説明を簡単にするために、実施の
形態3では実施の形態1および実施の形態2と異なる点
について説明する。
は、投光した被検査物で透過または通過した光を測定す
ることによって欠陥を検出する欠陥検出装置について本
発明を適用する。この実施の形態3では、図12を参照
しながら説明する。なお、これらの図において、図1〜
図11に示す要素と同一の要素には同一符号を付し、説
明を省略する。また、説明を簡単にするために、実施の
形態3では実施の形態1および実施の形態2と異なる点
について説明する。
【0041】図12において、図2に示す欠陥検出装置
と異なる点は、投光部116と複数の受光部106,1
08とを分離した点と、これらの投光部116と複数の
受光部106,108とを被検査物の異なる面上に対し
て配置させた点である。実施の形態1および実施の形態
2のように、投光した被検査物で反射した反射光を測定
することによって欠陥を検出すると、その被検査物の表
面や内部に発生している割れや歪み等の欠陥を検出でき
ない場合がある。そこで、図12に示すように、被検査
物に対して、一方の面側に投光ヘッド150を配置し、
他方の面側に受光ヘッド152を配置する。こうする
と、被検査物を透過または通過した光の強さに基づいて
欠陥を判別することになるため、被検査物の表面や内部
に発生している欠陥を検出することができるようにな
る。一般に、この方法は透明フィルム100等のように
透明または半透明の部材に対して適用することができ
る。なお、実施の形態2における角度調整部を投光ヘッ
ド150および/または受光ヘッド152に設けること
によって、より的確に被検査物の表面や内部に発生して
いる欠陥を検出することができるようになる。
と異なる点は、投光部116と複数の受光部106,1
08とを分離した点と、これらの投光部116と複数の
受光部106,108とを被検査物の異なる面上に対し
て配置させた点である。実施の形態1および実施の形態
2のように、投光した被検査物で反射した反射光を測定
することによって欠陥を検出すると、その被検査物の表
面や内部に発生している割れや歪み等の欠陥を検出でき
ない場合がある。そこで、図12に示すように、被検査
物に対して、一方の面側に投光ヘッド150を配置し、
他方の面側に受光ヘッド152を配置する。こうする
と、被検査物を透過または通過した光の強さに基づいて
欠陥を判別することになるため、被検査物の表面や内部
に発生している欠陥を検出することができるようにな
る。一般に、この方法は透明フィルム100等のように
透明または半透明の部材に対して適用することができ
る。なお、実施の形態2における角度調整部を投光ヘッ
ド150および/または受光ヘッド152に設けること
によって、より的確に被検査物の表面や内部に発生して
いる欠陥を検出することができるようになる。
【0042】上記実施の形態3によれば、被検査物を透
過または通過した光の強さに基づいて欠陥を判別するの
で、被検査物の表面や内部に発生している欠陥を検出す
ることができるようになる。こうした欠陥としては、例
えば貫通型ピンホール等がある。
過または通過した光の強さに基づいて欠陥を判別するの
で、被検査物の表面や内部に発生している欠陥を検出す
ることができるようになる。こうした欠陥としては、例
えば貫通型ピンホール等がある。
【0043】〔他の実施の形態〕上述した欠陥検出装置
において、他の部分の構造,形状,大きさ,材質,個
数,配置および動作条件等については、上記実施の形態
に限定されるものでない。例えば、上記実施の形態を応
用した次の各形態を実施することもできる。 (1)上記実施の形態では、光源としてランプ114を
適用した。この形態に代えて、非可視光(すなわち赤外
線や紫外線等)を発するランプ、あるいは太陽光を用い
てもよい。 (2)上記実施の形態では、図4に示すように、投光部
116a,受光部108,投光部116c,受光部10
6,投光部116bをそれぞれ1列として検査ヘッド1
02を構成した。この形態に代えて、受光部108,投
光部116c,受光部106をそれぞれ1列として検査
ヘッド102を構成してもよい。また、投光部116
a,受光部108,投光部116c,受光部106,投
光部116bは各1列でなく、任意数の列としてもよ
い。さらには、同一の列数でなく異なる列数としてもよ
い。
において、他の部分の構造,形状,大きさ,材質,個
数,配置および動作条件等については、上記実施の形態
に限定されるものでない。例えば、上記実施の形態を応
用した次の各形態を実施することもできる。 (1)上記実施の形態では、光源としてランプ114を
適用した。この形態に代えて、非可視光(すなわち赤外
線や紫外線等)を発するランプ、あるいは太陽光を用い
てもよい。 (2)上記実施の形態では、図4に示すように、投光部
116a,受光部108,投光部116c,受光部10
6,投光部116bをそれぞれ1列として検査ヘッド1
02を構成した。この形態に代えて、受光部108,投
光部116c,受光部106をそれぞれ1列として検査
ヘッド102を構成してもよい。また、投光部116
a,受光部108,投光部116c,受光部106,投
光部116bは各1列でなく、任意数の列としてもよ
い。さらには、同一の列数でなく異なる列数としてもよ
い。
【0044】(3)上記実施の形態では、被検査物とし
て透明フィルム100を適用した。他の被検査物として
は、金属箔,紙,フィルム,ガラス等の素材や部材のほ
か、メッキ面,研磨面,蒸着面,切削面等の検査面があ
る。また、欠陥には、欠け,割れ,打痕,汚れ,印刷や
塗装のむら等がある。本発明によれば、欠陥の種類や位
置等に関係なく確実に検出することができる。すなわ
ち、型によるぬき方向に直線状に残されたぬき跡、棒線
材の割れや欠け、打痕や汚れ等がある。 (4)上記実施の形態では、1つのグループを3つのブ
ロックで構成した。この形態に代えて、1つのグループ
を2つまたは4つ以上のブロックで構成してもよい。こ
の場合には、グループを構成するブロック数に応じた光
センサー110,112(光強度測定部)や差動増幅器
122(欠陥判別部)等が必要になる。こうすることに
よって、欠陥の検出をより確実に行うことができる。 (5)上記実施の形態では、図2や図4等に示すよう
に、受光部106と受光部108とを近接させて配置し
たが、密接させて配置してもよい。被検査物の種類によ
っては、欠陥をより精度よく検出することができる。
て透明フィルム100を適用した。他の被検査物として
は、金属箔,紙,フィルム,ガラス等の素材や部材のほ
か、メッキ面,研磨面,蒸着面,切削面等の検査面があ
る。また、欠陥には、欠け,割れ,打痕,汚れ,印刷や
塗装のむら等がある。本発明によれば、欠陥の種類や位
置等に関係なく確実に検出することができる。すなわ
ち、型によるぬき方向に直線状に残されたぬき跡、棒線
材の割れや欠け、打痕や汚れ等がある。 (4)上記実施の形態では、1つのグループを3つのブ
ロックで構成した。この形態に代えて、1つのグループ
を2つまたは4つ以上のブロックで構成してもよい。こ
の場合には、グループを構成するブロック数に応じた光
センサー110,112(光強度測定部)や差動増幅器
122(欠陥判別部)等が必要になる。こうすることに
よって、欠陥の検出をより確実に行うことができる。 (5)上記実施の形態では、図2や図4等に示すよう
に、受光部106と受光部108とを近接させて配置し
たが、密接させて配置してもよい。被検査物の種類によ
っては、欠陥をより精度よく検出することができる。
【0045】
【発明の効果】本発明の欠陥検出装置によれば、コスト
を抑えるとともに、欠陥の種類や位置等に関係なく確実
に、被検査物の欠陥を検出することができる。
を抑えるとともに、欠陥の種類や位置等に関係なく確実
に、被検査物の欠陥を検出することができる。
【図1】欠陥検出装置の外観を示す斜視図である。
【図2】検査ヘッドの外観を示す側面図である。
【図3】欠陥によって投光した光が散乱する様子を示す
図である。
図である。
【図4】検査ヘッドの外観を示す底面図である。
【図5】光強度測定部と欠陥判別部とを示す図である。
【図6】線状傷の場合の検出波形を示す図である。
【図7】実際の検出波形の例を示す図である。
【図8】光強度測定部の他の例を示す図である。
【図9】欠陥検出装置の外観を示す側面図である。
【図10】投光ヘッドと受光ヘッドとの端面を示す図で
ある。
ある。
【図11】投光ヘッドの角度を調整を行う例を示す図で
ある。
ある。
【図12】欠陥検出装置の外観を示す側面図である。
【符号の説明】 100 透明フィルム(被検査物) 102 検査ヘッド 104 光ファイバー(光伝送部材) 106,108 受光部 110,112 光センサー(光強度測定部) 114 ランプ(光源) 116 投光部 118 線状傷(欠陥) 120 点状傷(欠陥) 122a,122b,122c 差動増幅器 124a,124b,124c,130,138 端子 126a,126b,126c,136 比較器(欠陥
判別部) 128 論理和回路(欠陥判別部) 132,140 検出ランプ(欠陥判別部) 134 加算器 Vcc 基準電圧 150 投光ヘッド 152 受光ヘッド
判別部) 128 論理和回路(欠陥判別部) 132,140 検出ランプ(欠陥判別部) 134 加算器 Vcc 基準電圧 150 投光ヘッド 152 受光ヘッド
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成11年4月2日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0005
【補正方法】変更
【補正内容】
【0005】
【課題を解決するための第1の手段】請求項1に記載の
欠陥検出装置は、光を伝送する複数の投光用光伝送部材
を列状に配置し、被検査物に向けて投光する投光部と、
光を伝送する複数の受光用光伝送部材を列状に配置し、
前記被検査物からの光をそれぞれ受光する複数の受光部
と、前記複数の受光部で受光した光の強度を測定する光
強度測定部と、前記光強度測定部によって測定された光
の強度の差分値に基づいて、前記被検査物の欠陥を判別
する欠陥判別部とを備えており、前記投光部と前記複数
の受光部とをほぼ平行状に配置し、前記複数の受光部を
それぞれ複数のブロックに区分し、かつ列方向にずら
し、前記光強度測定部を複数のブロックごとに対応して
設けるとともに、複数のブロックに区分した受光部につ
いて、それぞれ連続する3つのブロックごとにグループ
化し、ある受光部のグループに含まれる少なくとも一つ
のブロックが、列方向と直交する方向に位置しないブロ
ックを含む他の受光部のグループとをペアにし、そのペ
アに含まれる各ブロックについて、ある受光部と他の受
光部との光の強度の差分値を求めて被検査物の欠陥を検
出する。
欠陥検出装置は、光を伝送する複数の投光用光伝送部材
を列状に配置し、被検査物に向けて投光する投光部と、
光を伝送する複数の受光用光伝送部材を列状に配置し、
前記被検査物からの光をそれぞれ受光する複数の受光部
と、前記複数の受光部で受光した光の強度を測定する光
強度測定部と、前記光強度測定部によって測定された光
の強度の差分値に基づいて、前記被検査物の欠陥を判別
する欠陥判別部とを備えており、前記投光部と前記複数
の受光部とをほぼ平行状に配置し、前記複数の受光部を
それぞれ複数のブロックに区分し、かつ列方向にずら
し、前記光強度測定部を複数のブロックごとに対応して
設けるとともに、複数のブロックに区分した受光部につ
いて、それぞれ連続する3つのブロックごとにグループ
化し、ある受光部のグループに含まれる少なくとも一つ
のブロックが、列方向と直交する方向に位置しないブロ
ックを含む他の受光部のグループとをペアにし、そのペ
アに含まれる各ブロックについて、ある受光部と他の受
光部との光の強度の差分値を求めて被検査物の欠陥を検
出する。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0007
【補正方法】変更
【補正内容】
【0007】請求項1に記載の欠陥検出装置によれば、
被検査物の面上には投光部と複数の受光部が配置され、
それらの投光部と複数の受光部は光を伝送する複数の光
伝送部材を列状に配置したものである。こうした光伝送
部材は、光ファイバー等のように軽量かつ柔軟性に優れ
たものを用いることにより、装置自体を小型化すること
が可能になる。したがって、軽量化によって補強が不要
になり、従来よりもコストを低く抑えることができる。
また、複数の受光部を列方向にずらしているので、その
列方向と直交する方向に直線状に連続する欠陥や、隣接
するブロックの境界部位を通過するような欠陥も、測定
するブロック間では光の強度について差分が生ずる。そ
のため、当該欠陥を確実に検出することができる。さら
に、被検査物の種類等に合わせて投光部と複数の受光部
とを適切に配置して反射光,透過光,通過光のいずれか
を測定することにより、欠陥の種類に関係なく確実にそ
の欠陥を検出することができる。そして、列方向にずら
して配置した受光部について連続する3つのブロックご
とにグループ化し、他の受光部も同様にグループ化す
る。こうしてグループ化した3つブロックについて、そ
れぞれのブロックに対応して光の強度の差分をとること
により、最小限の光強度測定部や欠陥判別部で欠陥を検
出することができる。したがって、必要な部品数を最小
限にすることができるので、欠陥検出装置の製造コスト
を最小限に抑えることができる。
被検査物の面上には投光部と複数の受光部が配置され、
それらの投光部と複数の受光部は光を伝送する複数の光
伝送部材を列状に配置したものである。こうした光伝送
部材は、光ファイバー等のように軽量かつ柔軟性に優れ
たものを用いることにより、装置自体を小型化すること
が可能になる。したがって、軽量化によって補強が不要
になり、従来よりもコストを低く抑えることができる。
また、複数の受光部を列方向にずらしているので、その
列方向と直交する方向に直線状に連続する欠陥や、隣接
するブロックの境界部位を通過するような欠陥も、測定
するブロック間では光の強度について差分が生ずる。そ
のため、当該欠陥を確実に検出することができる。さら
に、被検査物の種類等に合わせて投光部と複数の受光部
とを適切に配置して反射光,透過光,通過光のいずれか
を測定することにより、欠陥の種類に関係なく確実にそ
の欠陥を検出することができる。そして、列方向にずら
して配置した受光部について連続する3つのブロックご
とにグループ化し、他の受光部も同様にグループ化す
る。こうしてグループ化した3つブロックについて、そ
れぞれのブロックに対応して光の強度の差分をとること
により、最小限の光強度測定部や欠陥判別部で欠陥を検
出することができる。したがって、必要な部品数を最小
限にすることができるので、欠陥検出装置の製造コスト
を最小限に抑えることができる。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0010
【補正方法】削除
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0011
【補正方法】削除
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0013
【補正方法】変更
【補正内容】
【0013】まず、欠陥検出装置の構成や動作等につい
て、図1〜図4を参照しながら説明する。この欠陥検出
装置は、図1に示すように、検査ヘッド102、光セン
サー110,112、ランプ114、後述する光強度測
定部と欠陥判別部等によって構成されている。透明フィ
ルム100は、検査のために走行方向(図示する矢印D
2方向)に沿って移動可能になっている。この透明フィ
ルム100の片面側には、検査ヘッド102、光センサ
ー110,112、ランプ114等が配置されている。
検査ヘッド102は複数本の光ファイバー104(光伝
送部材に相当する)の端面を整えて束ねたものであっ
て、投光部116と受光部106,108とを備えてい
る。したがって、投光部116と受光部106,108
とは、いずれも複数本(同一本数とは限らない)の光フ
ァイバー104によって構成される。すなわち、図2,
図4(A),図4(B)にも示すように、投光部116
は複数本の投光用光ファイバー104からなり、受光部
106,108はそれぞれ複数本の受光用光ファイバー
104からなる。
て、図1〜図4を参照しながら説明する。この欠陥検出
装置は、図1に示すように、検査ヘッド102、光セン
サー110,112、ランプ114、後述する光強度測
定部と欠陥判別部等によって構成されている。透明フィ
ルム100は、検査のために走行方向(図示する矢印D
2方向)に沿って移動可能になっている。この透明フィ
ルム100の片面側には、検査ヘッド102、光センサ
ー110,112、ランプ114等が配置されている。
検査ヘッド102は複数本の光ファイバー104(光伝
送部材に相当する)の端面を整えて束ねたものであっ
て、投光部116と受光部106,108とを備えてい
る。したがって、投光部116と受光部106,108
とは、いずれも複数本(同一本数とは限らない)の光フ
ァイバー104によって構成される。すなわち、図2,
図4(A),図4(B)にも示すように、投光部116
は複数本の投光用光ファイバー104からなり、受光部
106,108はそれぞれ複数本の受光用光ファイバー
104からなる。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0045
【補正方法】変更
【補正内容】
【0045】
【発明の効果】本発明の欠陥検出装置によれば、コスト
を抑えるとともに、欠陥の種類や位置等に関係なく確実
に、被検査物の欠陥を検出することができる。また、必
要な部品数を最小限にすることができるので、欠陥検出
装置の製造コストを最小限に抑えることができる。
を抑えるとともに、欠陥の種類や位置等に関係なく確実
に、被検査物の欠陥を検出することができる。また、必
要な部品数を最小限にすることができるので、欠陥検出
装置の製造コストを最小限に抑えることができる。
Claims (3)
- 【請求項1】 光を伝送する複数の光伝送部材を列状に
配置し、被検査物に向けて投光する投光部と、 その複数の光伝送部材を列状に配置し、その被検査物か
らの光をそれぞれ受光する複数の受光部と、 複数の受光部で受光した光の強度を測定する光強度測定
部と、 光強度測定部によって測定された光の強度の差分値に基
づいて、被検査物の欠陥を判別する欠陥判別部とを備え
ており、 投光部と複数の受光部とをほぼ平行状に配置し、 複数の受光部をそれぞれ複数のブロックに区分し、かつ
列方向にずらし、 光強度測定部を複数のブロックごとに対応して設けた欠
陥検出装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の欠陥検出装置におい
て、 投光部および/または複数の受光部について、被検査物
に対する角度を調整する角度調整部を備えた欠陥検出装
置。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の欠陥検
出装置において、 複数のブロックに区分した受光部について、それぞれ連
続する3つのブロックごとにグループ化し、 ある受光部のグループに含まれる少なくとも一つのブロ
ックが、列方向と直交する方向に位置しないブロックを
含む他の受光部のグループとをペアにし、 そのペアに含まれる各ブロックについて、ある受光部と
他の受光部との光の強度の差分値を求めて被検査物の欠
陥を検出する欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10055249A JP3078524B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10055249A JP3078524B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 欠陥検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11248637A true JPH11248637A (ja) | 1999-09-17 |
JP3078524B2 JP3078524B2 (ja) | 2000-08-21 |
Family
ID=12993332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10055249A Expired - Fee Related JP3078524B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 欠陥検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3078524B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6989548B2 (en) | 2004-03-29 | 2006-01-24 | Jatco Ltd. | Inspection device for metal rings of a continuously variable transmission belt |
US7089801B2 (en) | 2004-04-27 | 2006-08-15 | Jatco Ltd | Metal ring inspection method and metal ring inspection device |
US7113872B2 (en) | 2004-03-29 | 2006-09-26 | Jatco Ltd | Metal surface inspection device for metal rings of a continuously variable transmission belt |
JP2007033284A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 筒状物品の検査方法およびその検査装置 |
US7298470B2 (en) | 2004-03-29 | 2007-11-20 | Jatco Ltd | Defect inspection device for metal ring end faces of a continuously variable transmission belt |
JP4921597B1 (ja) * | 2011-03-18 | 2012-04-25 | 日東電工株式会社 | 液晶表示パネルの連続製造システムおよび液晶表示パネルの連続製造方法、並びに、検査装置および検査方法 |
JP2014224700A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-04 | ウシオ電機株式会社 | 導光体および光源ユニット |
-
1998
- 1998-03-06 JP JP10055249A patent/JP3078524B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6989548B2 (en) | 2004-03-29 | 2006-01-24 | Jatco Ltd. | Inspection device for metal rings of a continuously variable transmission belt |
US7113872B2 (en) | 2004-03-29 | 2006-09-26 | Jatco Ltd | Metal surface inspection device for metal rings of a continuously variable transmission belt |
US7298470B2 (en) | 2004-03-29 | 2007-11-20 | Jatco Ltd | Defect inspection device for metal ring end faces of a continuously variable transmission belt |
DE102005014208B4 (de) * | 2004-03-29 | 2009-04-16 | Jatco Ltd, Fuji | Fehlerprüfvorrichtung für Metallringenden eines Riemens eines stufenlos einstellbaren Getriebes |
DE102005013860B4 (de) * | 2004-03-29 | 2011-02-03 | Jatco Ltd, Fuji | Metalloberflächen-Prüfvorrichtung für Metallringe für einen Riemen in einem kontinuierlich variablen Getriebe |
US7089801B2 (en) | 2004-04-27 | 2006-08-15 | Jatco Ltd | Metal ring inspection method and metal ring inspection device |
JP2007033284A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 筒状物品の検査方法およびその検査装置 |
JP4921597B1 (ja) * | 2011-03-18 | 2012-04-25 | 日東電工株式会社 | 液晶表示パネルの連続製造システムおよび液晶表示パネルの連続製造方法、並びに、検査装置および検査方法 |
US8540543B2 (en) | 2011-03-18 | 2013-09-24 | Nitto Denko Corporation | Method for continuously manufacturing liquid crystal display panel and inspection method |
JP2014224700A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-04 | ウシオ電機株式会社 | 導光体および光源ユニット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3078524B2 (ja) | 2000-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3814946A (en) | Method of detecting defects in transparent and semitransparent bodies | |
EP0072236B1 (en) | Apparatus for detecting tape on sheets | |
FI101750B (fi) | Menetelmä ja laite läpinäkyvän levyn optisen laadun määrittämiseksi | |
WO2010106584A1 (ja) | 光学検査装置 | |
WO1998012538A1 (en) | Windshield distortion measuring system | |
JP3078524B2 (ja) | 欠陥検出装置 | |
CN1232767A (zh) | 用于检查多个物体、材料层或类似物构成的组件的装置 | |
JP5393973B2 (ja) | ロッドレンズアレイ検査装置及び方法 | |
AU2003285457A1 (en) | Method and device for the detection of surface defects on the finish of a transparent or translucent rotating container | |
JPH08114421A (ja) | 透明材料からなる物体の厚さの非接触型測定装置 | |
JP2013205332A (ja) | 欠点検査装置および欠点検査方法 | |
JP2009008643A (ja) | 光走査式平面検査装置 | |
GB2126716A (en) | Automatic checking of surfaces | |
JP3007849B2 (ja) | 物体表面の形状検出方法及び形状検出装置 | |
JP3176878B2 (ja) | 欠陥検出装置 | |
TWI788786B (zh) | 光學檢測裝置及其檢測方法 | |
JPH07104131A (ja) | 光ファイバライン状ライトガイド | |
JP2003097924A (ja) | 形状測定装置および測定方法 | |
JPS6375545A (ja) | 外観検査装置 | |
JP3815628B2 (ja) | ワークの光学的検査装置 | |
JPS59142442A (ja) | 物体表面の異常検出方法および装置 | |
WO2023195845A1 (en) | System and method for conveying a tire component | |
JP2000019128A (ja) | 透明フィルムの異物検査装置 | |
JPH10300435A (ja) | 計測方法及び膜厚計測装置 | |
JPS622114A (ja) | 反射光による表面粗さ計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |