JPH11248607A - 湿度発生制御装置 - Google Patents
湿度発生制御装置Info
- Publication number
- JPH11248607A JPH11248607A JP5526998A JP5526998A JPH11248607A JP H11248607 A JPH11248607 A JP H11248607A JP 5526998 A JP5526998 A JP 5526998A JP 5526998 A JP5526998 A JP 5526998A JP H11248607 A JPH11248607 A JP H11248607A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- humidity
- chamber
- water
- temperature
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Abstract
(57)【要約】
【課題】安定して高い応答性の下にチャンバ内雰囲気の
湿度制御を可能にする。 【解決手段】空気をバブリングタンク4を通してチャン
バ2内に供給するように構成し、そのバブリングタンク
4を調温用タンク5の水中に浸漬させて間接的な加熱冷
却対象とする。そして、最終的な制御量であるチャンバ
2内の湿度を検出して調温用タンク5の水温調節手段6
を主制御系10Aによりフィードバック制御するように
構成した上で、その制御系中に時定数のより小さい2次
制御系10Bを設けて応答遅れや外乱による影響をいち
早く補償するようにした。
湿度制御を可能にする。 【解決手段】空気をバブリングタンク4を通してチャン
バ2内に供給するように構成し、そのバブリングタンク
4を調温用タンク5の水中に浸漬させて間接的な加熱冷
却対象とする。そして、最終的な制御量であるチャンバ
2内の湿度を検出して調温用タンク5の水温調節手段6
を主制御系10Aによりフィードバック制御するように
構成した上で、その制御系中に時定数のより小さい2次
制御系10Bを設けて応答遅れや外乱による影響をいち
早く補償するようにした。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高精度で安定した
湿度雰囲気の生成を可能にする湿度発生制御装置に関す
るものである。
湿度雰囲気の生成を可能にする湿度発生制御装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、微量のガスを検出する場合等の
ように、温度のみならず湿度をも一定条件下に保持した
雰囲気が要求される場合がある。このような湿度雰囲気
を作る場合、従来より、超音波加湿器やボイラ等を用い
ることが通常行われている。
ように、温度のみならず湿度をも一定条件下に保持した
雰囲気が要求される場合がある。このような湿度雰囲気
を作る場合、従来より、超音波加湿器やボイラ等を用い
ることが通常行われている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、超音波加湿
器は超音波振動子の作用によって周辺に存在する水等を
単に霧化させるに過ぎないものであるため、発生する気
体に含まれる水滴は粒径が大きく、また気体は実質的に
飽和状態に達しない場合が多い。一方、ボイラは熱源に
より水を加熱して蒸気を生成するものであり、飽和状態
は安定したものになる反面、その飽和気体には大量の熱
が持ち込まれるため、今度は制御対象である雰囲気の温
度制御等に悪影響が生じる恐れがある。
器は超音波振動子の作用によって周辺に存在する水等を
単に霧化させるに過ぎないものであるため、発生する気
体に含まれる水滴は粒径が大きく、また気体は実質的に
飽和状態に達しない場合が多い。一方、ボイラは熱源に
より水を加熱して蒸気を生成するものであり、飽和状態
は安定したものになる反面、その飽和気体には大量の熱
が持ち込まれるため、今度は制御対象である雰囲気の温
度制御等に悪影響が生じる恐れがある。
【0004】本発明は、このような不都合を好適に解消
した湿度発生制御装置を提供することを目的としてい
る。
した湿度発生制御装置を提供することを目的としてい
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、チャンバ内を一定湿度に保つために用
いられるものであって、前記チャンバ内に外部より気体
を導入するための導入路と、この導入路に介設され導入
前の気体を一旦水中に気泡状態で放出させるバブリング
タンクと、このバブリングタンクを液中に浸漬させてな
る調温用タンクと、この調温用タンク内の液温を調節す
る液温調節手段と、前記チャンバ内の湿度を検出しそれ
が設定値に維持されるように前記液温調節手段を制御す
る主制御系、並びに前記調温用タンク内の液温を検出し
その検出値に基づいて前記主制御系をより小さい時定数
で補償する2次制御系から成る制御手段とを具備してな
ることを特徴とする。
めに、本発明は、チャンバ内を一定湿度に保つために用
いられるものであって、前記チャンバ内に外部より気体
を導入するための導入路と、この導入路に介設され導入
前の気体を一旦水中に気泡状態で放出させるバブリング
タンクと、このバブリングタンクを液中に浸漬させてな
る調温用タンクと、この調温用タンク内の液温を調節す
る液温調節手段と、前記チャンバ内の湿度を検出しそれ
が設定値に維持されるように前記液温調節手段を制御す
る主制御系、並びに前記調温用タンク内の液温を検出し
その検出値に基づいて前記主制御系をより小さい時定数
で補償する2次制御系から成る制御手段とを具備してな
ることを特徴とする。
【0006】このような構成において、導入路より導入
される気体は、バブリングタンクからチャンバに向かっ
て露点温度に制御され、飽和気体となって供給される。
その際、バブリングタンク内の温度は調温用タンク内の
液温に連動しているため、チャンバに向かう気体中に含
まれる水蒸気の分圧、ひいてはチャンバ内の湿度は調温
用タンクの液温を制御することによって間接的に調節可
能となる。
される気体は、バブリングタンクからチャンバに向かっ
て露点温度に制御され、飽和気体となって供給される。
その際、バブリングタンク内の温度は調温用タンク内の
液温に連動しているため、チャンバに向かう気体中に含
まれる水蒸気の分圧、ひいてはチャンバ内の湿度は調温
用タンクの液温を制御することによって間接的に調節可
能となる。
【0007】しかも、導入路より導入される気体はバブ
リングタンク内を通過するときに飽和状態となるため、
単に超音波加湿器で霧化する場合に比べて粒径をより小
さくすることができ、また、ボイラのような直接加熱に
頼らないためチャンバ内への不当な熱の持ち込みも有効
に回避することができる。ところで、上述したようにチ
ャンバに導かれる飽和気体の量は調温用タンクの液温に
比例するため、チャンバ内の湿度のみを検出してこれが
一定となるように調温用タンクの液温を制御することも
可能である。しかしながら、最終的な制御目的である湿
度と直接の制御量である液温とでは物理的な特性が異な
る上に、液温変化よりも湿度変化は必ず遅れて起こり、
しかも途中に圧力変化や湿度変化等の外乱も生じる可能
性があるので、単に上記のように構成しただけでは、応
答遅れや外乱に起因してチャンバ内の湿度にオーバーシ
ュートやアンダーシュート等を生じることが予想され
る。これに対して、本発明は、最終的な制御量である湿
度を基準にして液温をフィードバック制御するように構
成した上で、その中に時定数のより小さい2次制御系を
設けて応答遅れや外乱による影響をいち早く補償するよ
うにしているので、主制御系自体は時定数の大きいもの
であっても、チャンバにおける湿度制御を安定かつ応答
性の高いものにすることができる。
リングタンク内を通過するときに飽和状態となるため、
単に超音波加湿器で霧化する場合に比べて粒径をより小
さくすることができ、また、ボイラのような直接加熱に
頼らないためチャンバ内への不当な熱の持ち込みも有効
に回避することができる。ところで、上述したようにチ
ャンバに導かれる飽和気体の量は調温用タンクの液温に
比例するため、チャンバ内の湿度のみを検出してこれが
一定となるように調温用タンクの液温を制御することも
可能である。しかしながら、最終的な制御目的である湿
度と直接の制御量である液温とでは物理的な特性が異な
る上に、液温変化よりも湿度変化は必ず遅れて起こり、
しかも途中に圧力変化や湿度変化等の外乱も生じる可能
性があるので、単に上記のように構成しただけでは、応
答遅れや外乱に起因してチャンバ内の湿度にオーバーシ
ュートやアンダーシュート等を生じることが予想され
る。これに対して、本発明は、最終的な制御量である湿
度を基準にして液温をフィードバック制御するように構
成した上で、その中に時定数のより小さい2次制御系を
設けて応答遅れや外乱による影響をいち早く補償するよ
うにしているので、主制御系自体は時定数の大きいもの
であっても、チャンバにおける湿度制御を安定かつ応答
性の高いものにすることができる。
【0008】本発明の好ましい実施の態様としては、バ
ブリングタンク内に外部より水を直接補給するための給
水路と、この給水路に介設され水位がバブリングタンク
の水位に連動するように該バブリングタンクに液密に接
続された給水タンクと、前記導入路に配設され外気を取
り込で浄化するとともに流量制御して前記バブリングタ
ンクに移送する移送手段とを付設してなるものが挙げら
れる。
ブリングタンク内に外部より水を直接補給するための給
水路と、この給水路に介設され水位がバブリングタンク
の水位に連動するように該バブリングタンクに液密に接
続された給水タンクと、前記導入路に配設され外気を取
り込で浄化するとともに流量制御して前記バブリングタ
ンクに移送する移送手段とを付設してなるものが挙げら
れる。
【0009】このように構成すれば、バブリングタンク
内へ導入される気体及び水の双方に対して異物混入の可
能性を低減することができ、バブリングタンクからチャ
ンバ内へ導入する気体をクリーンで安定なものにするこ
とができる。
内へ導入される気体及び水の双方に対して異物混入の可
能性を低減することができ、バブリングタンクからチャ
ンバ内へ導入する気体をクリーンで安定なものにするこ
とができる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図面を参照して
説明する。図1は、本発明の湿度発生制御装置1を適用
対象であるチャンバ2に接続した状態を示している。チ
ャンバ2は、筒状をなすチャンバ本体2aの両開口端に
開閉扉2bを有したもので、内周に有底筒状をなし底部
に孔を開口させた導風板2cが配設されており、この導
風板2cによって内部に循環系路が形成されている。こ
のチャンバ2には、前記導風板2cの孔に先端を臨ませ
てファン2dが配設され、このファン2dをチャンバ2
外のモータ2eで駆動することによって、導風板2cの
内側から吸い込んだ気体を導風板2cの外周とチャンバ
本体2aの周壁との間に形成される円環状の隙間に流通
させ、再び導風板2cの内側に導くという気体の循環サ
イクルを実現するようになっている。また、このチャン
バ2の外周には、前記円環状の隙間を流通する気体を加
熱するための温度制御用のヒータ(又は加熱源の蛇管、
ウォータジャケット)2fが配設してある。一方、この
実施例の湿度発生制御装置1は、前記チャンバ2内に外
部より気体を導入するための導入路3と、この導入路3
に介設されるバブリングタンク4と、このバブリングタ
ンク4を内部の水中に浸漬させてなる調温用タンク5
と、この調温用タンク5内の水温を調節する水温調節手
段6と、前記チャンバ2内の湿度及び調温用タンク5内
の水温に基づいて前記水温調節手段6を制御する制御手
段10とを具備してなる。
説明する。図1は、本発明の湿度発生制御装置1を適用
対象であるチャンバ2に接続した状態を示している。チ
ャンバ2は、筒状をなすチャンバ本体2aの両開口端に
開閉扉2bを有したもので、内周に有底筒状をなし底部
に孔を開口させた導風板2cが配設されており、この導
風板2cによって内部に循環系路が形成されている。こ
のチャンバ2には、前記導風板2cの孔に先端を臨ませ
てファン2dが配設され、このファン2dをチャンバ2
外のモータ2eで駆動することによって、導風板2cの
内側から吸い込んだ気体を導風板2cの外周とチャンバ
本体2aの周壁との間に形成される円環状の隙間に流通
させ、再び導風板2cの内側に導くという気体の循環サ
イクルを実現するようになっている。また、このチャン
バ2の外周には、前記円環状の隙間を流通する気体を加
熱するための温度制御用のヒータ(又は加熱源の蛇管、
ウォータジャケット)2fが配設してある。一方、この
実施例の湿度発生制御装置1は、前記チャンバ2内に外
部より気体を導入するための導入路3と、この導入路3
に介設されるバブリングタンク4と、このバブリングタ
ンク4を内部の水中に浸漬させてなる調温用タンク5
と、この調温用タンク5内の水温を調節する水温調節手
段6と、前記チャンバ2内の湿度及び調温用タンク5内
の水温に基づいて前記水温調節手段6を制御する制御手
段10とを具備してなる。
【0011】導入路3は、始端に設けた外気導入口3a
を大気中に開放し終端に設けた吹出口3bを前記チャン
バ本体2aを貫通してチャンバ内部に挿入するととも
に、始端近傍より下流に向かってエアポンプ7a、エア
フィルタ7b、吸塵フィルタ7c、脱臭フィルタ7d及
びマスフローコントローラ7eからなる移送手段7を配
置し、更にその下流にバブリングタンク4を配置して、
大気から取り込んだ空気を移送手段7を通じて浄化しか
つ流量制御した後にバブリングタンク4に導くようにし
ている。
を大気中に開放し終端に設けた吹出口3bを前記チャン
バ本体2aを貫通してチャンバ内部に挿入するととも
に、始端近傍より下流に向かってエアポンプ7a、エア
フィルタ7b、吸塵フィルタ7c、脱臭フィルタ7d及
びマスフローコントローラ7eからなる移送手段7を配
置し、更にその下流にバブリングタンク4を配置して、
大気から取り込んだ空気を移送手段7を通じて浄化しか
つ流量制御した後にバブリングタンク4に導くようにし
ている。
【0012】バブリングタンク4は、気密性を有したも
ので、超純水を充填したその内部に前記導入路3を引き
込んでいる。具体的には、導入路3はその一部が分断さ
れ、その分断部分の上流端3cは気体を気泡化するため
の要素3dを取り付けた状態でバブリングタンク4の液
相部4aに浸漬され、下流端はバブリングタンク4の気
相部4bに配設されて、導入前の空気を一旦水中に気泡
状態で放出させた後、チャンバ2に向かわせるようにし
ている。また、液相部4aと気相部4bの間は、調温用
タンク5外に配置した給水タンク8を介して接続され、
この給水タンク8にバルブ8aを有する給水路8bを通
じて外部から超純水が給水されるようにしてある。給水
タンク8の水位はバブリングタンク4の水位に連動して
おり、外部から水位の確認ができるようになっている。
ので、超純水を充填したその内部に前記導入路3を引き
込んでいる。具体的には、導入路3はその一部が分断さ
れ、その分断部分の上流端3cは気体を気泡化するため
の要素3dを取り付けた状態でバブリングタンク4の液
相部4aに浸漬され、下流端はバブリングタンク4の気
相部4bに配設されて、導入前の空気を一旦水中に気泡
状態で放出させた後、チャンバ2に向かわせるようにし
ている。また、液相部4aと気相部4bの間は、調温用
タンク5外に配置した給水タンク8を介して接続され、
この給水タンク8にバルブ8aを有する給水路8bを通
じて外部から超純水が給水されるようにしてある。給水
タンク8の水位はバブリングタンク4の水位に連動して
おり、外部から水位の確認ができるようになっている。
【0013】調温用タンク5は、前記バブリングタンク
4を内部に収容してなるもので、バブリングタンク4を
完全に浸漬させ得る量の水が充填されている。この調温
用タンク5には、水温を調節するための水温調節手段6
として、冷却コイル6aを備えた冷凍器6bと、ヒータ
6cとが付帯して設けてある。またこの調温用タンク5
の外部には、上層部と下層部の間を接続するようにして
ポンプ9aを有する循環系路9bが付設してあり、この
循環系路9bを通じて調温用タンク5内の水を常時均質
に攪拌するようにしている。
4を内部に収容してなるもので、バブリングタンク4を
完全に浸漬させ得る量の水が充填されている。この調温
用タンク5には、水温を調節するための水温調節手段6
として、冷却コイル6aを備えた冷凍器6bと、ヒータ
6cとが付帯して設けてある。またこの調温用タンク5
の外部には、上層部と下層部の間を接続するようにして
ポンプ9aを有する循環系路9bが付設してあり、この
循環系路9bを通じて調温用タンク5内の水を常時均質
に攪拌するようにしている。
【0014】制御手段10は、主制御系10A及び2次
制御系10Bから構成される。主制御系10Aは、チャ
ンバ2内の雰囲気に配置した湿度センサ10aと、この
湿度センサ10aからの信号S1を入力し予め定めた設
定値S0と比較してその偏差εに基づいて前記水温調節
手段6に制御信号S2を出力する主湿度調節計10bと
を具備してなるもので、チャンバ2内の湿度が設定値に
維持されるように前記水温調節手段6を制御するもので
ある。この水温調節手段6は、具体的には湿度を上げた
いときにはヒータ6cがONにされ、湿度を下げたいと
きにはヒータ6cがOFFにされて、このヒータ6cが
OFFにされたときに冷凍器6の冷熱によって水温が下
がるようになっている。また、2次制御系10Bは、前
記調温用タンク5内の水中に浸漬して配置した温度セン
サ10cと、この温度センサ10cからの信号S3を前
記主湿度調節計10bからの制御信号S2と共に入力し
て該制御信号S2に補償を加える副調節計10dとを具
備してなるもので、前記調温用タンク5内の水温を検出
しその検出値に基づいて前記制御信号S2を主制御系1
0Aよりも小さい時定数で補償し、新たな制御信号S4
として水温調節手段6に出力するものである。すなわ
ち、この2次制御系10Bはいわゆるカスケード制御系
として構成されたもので、調温用タンク5に対してチャ
ンバ2が離れた位置にあり且つ内容量が大きいこと、ま
た途中の配管類に結露や気体の圧力変動が生じ得ること
に起因し、調温用タンク5の水温変化に対してチャンバ
2内の湿度応答が遅れたり値が不正確になることを防止
するために、より時定数の小さい2次制御系10Bによ
ってチャンバ2内の湿度に応答遅れや不正確さが生じる
前にそれを是正する方向に主温度調節計10bからの制
御信号S2を補償するものである。
制御系10Bから構成される。主制御系10Aは、チャ
ンバ2内の雰囲気に配置した湿度センサ10aと、この
湿度センサ10aからの信号S1を入力し予め定めた設
定値S0と比較してその偏差εに基づいて前記水温調節
手段6に制御信号S2を出力する主湿度調節計10bと
を具備してなるもので、チャンバ2内の湿度が設定値に
維持されるように前記水温調節手段6を制御するもので
ある。この水温調節手段6は、具体的には湿度を上げた
いときにはヒータ6cがONにされ、湿度を下げたいと
きにはヒータ6cがOFFにされて、このヒータ6cが
OFFにされたときに冷凍器6の冷熱によって水温が下
がるようになっている。また、2次制御系10Bは、前
記調温用タンク5内の水中に浸漬して配置した温度セン
サ10cと、この温度センサ10cからの信号S3を前
記主湿度調節計10bからの制御信号S2と共に入力し
て該制御信号S2に補償を加える副調節計10dとを具
備してなるもので、前記調温用タンク5内の水温を検出
しその検出値に基づいて前記制御信号S2を主制御系1
0Aよりも小さい時定数で補償し、新たな制御信号S4
として水温調節手段6に出力するものである。すなわ
ち、この2次制御系10Bはいわゆるカスケード制御系
として構成されたもので、調温用タンク5に対してチャ
ンバ2が離れた位置にあり且つ内容量が大きいこと、ま
た途中の配管類に結露や気体の圧力変動が生じ得ること
に起因し、調温用タンク5の水温変化に対してチャンバ
2内の湿度応答が遅れたり値が不正確になることを防止
するために、より時定数の小さい2次制御系10Bによ
ってチャンバ2内の湿度に応答遅れや不正確さが生じる
前にそれを是正する方向に主温度調節計10bからの制
御信号S2を補償するものである。
【0015】なお、チャンバ2内の温度は図示しない制
御系を通じてチャンバに付帯して設けたヒータ(又は加
熱源の蛇管、ウォータジャケット)2fが別途にチャン
バ2内の温度を一定とするように制御される。また、チ
ャンバ2には、吹出口3bから離れた位置に排気口2g
が設けてあり、定常状態においてチャンバ2内に導入さ
れる空気の量とチャンバ2外から出ていく空気の量とが
釣り合うようになっている。以上のように構成される本
実施例の湿度発生制御装置1を稼働すると、導入路3を
介してバブリングタンク4内に導入されるクリーンな空
気は、気泡状態で超純水中を通過した後、その時の調温
用タンク5の水温に等しい露点温度の飽和空気となって
チャンバ2内に移送される。チャンバ2内にはファン2
dによって循環サイクルが形成されており、導入される
空気と排気される空気とが釣合いながらチャンバ2内は
常に新しい空気に代謝される。チャンバ2内の温度はヒ
ータ(又は加熱源の蛇管、ウォータジャケット)2fを
通じて一定に制御されており、また湿度は前述した主制
御系10A及び2次制御系10Bからなる制御手段10
の働きにより、調温用タンク5内の水温調節を通じて一
定に制御される。このため、例えばチャンバ2内に図示
しない建材を収容し、建材から出るホルムアルデヒドを
測定すると、その測定を高い精度で行うことができる。
御系を通じてチャンバに付帯して設けたヒータ(又は加
熱源の蛇管、ウォータジャケット)2fが別途にチャン
バ2内の温度を一定とするように制御される。また、チ
ャンバ2には、吹出口3bから離れた位置に排気口2g
が設けてあり、定常状態においてチャンバ2内に導入さ
れる空気の量とチャンバ2外から出ていく空気の量とが
釣り合うようになっている。以上のように構成される本
実施例の湿度発生制御装置1を稼働すると、導入路3を
介してバブリングタンク4内に導入されるクリーンな空
気は、気泡状態で超純水中を通過した後、その時の調温
用タンク5の水温に等しい露点温度の飽和空気となって
チャンバ2内に移送される。チャンバ2内にはファン2
dによって循環サイクルが形成されており、導入される
空気と排気される空気とが釣合いながらチャンバ2内は
常に新しい空気に代謝される。チャンバ2内の温度はヒ
ータ(又は加熱源の蛇管、ウォータジャケット)2fを
通じて一定に制御されており、また湿度は前述した主制
御系10A及び2次制御系10Bからなる制御手段10
の働きにより、調温用タンク5内の水温調節を通じて一
定に制御される。このため、例えばチャンバ2内に図示
しない建材を収容し、建材から出るホルムアルデヒドを
測定すると、その測定を高い精度で行うことができる。
【0016】以上のようにして、この実施例の湿度発生
制御装置1は、導入路3より導入される空気をバブリン
グタンク4内で確実な飽和空気にすることができるた
め、単に超音波加湿器で霧化する場合に比べて粒径をよ
り小さくすることができ、また、ボイラのような直接加
熱に頼らず間接加熱によっているため、チャンバ2内へ
の不当な熱の持ち込みも回避して該チャンバ2内におけ
る温度制御に悪影響が及ぶことも有効に防止することが
できる。
制御装置1は、導入路3より導入される空気をバブリン
グタンク4内で確実な飽和空気にすることができるた
め、単に超音波加湿器で霧化する場合に比べて粒径をよ
り小さくすることができ、また、ボイラのような直接加
熱に頼らず間接加熱によっているため、チャンバ2内へ
の不当な熱の持ち込みも回避して該チャンバ2内におけ
る温度制御に悪影響が及ぶことも有効に防止することが
できる。
【0017】ところで、この実施例において2次制御系
10Bがない構成を考えてみると、調温用タンク5内の
液温とチャンバ2内の湿度とは物理的な特性が異なる上
に、液温変化よりも湿度変化は必ず遅れて起こり、しか
も途中に圧力変化や湿度変化等の外乱も生じる可能性が
あるので、単に上記のように構成しただけでは、応答遅
れや外乱に起因してチャンバ2内の湿度にオーバーシュ
ートやアンダーシュート等を生じることが予想される。
これに対して、本実施例は、主制御系10Aを用いて最
終的な制御量である湿度を基準に水温をフィードバック
制御するように構成した上で、その中に時定数のより小
さい2次制御系10Bを設けて応答遅れや外乱による影
響をいち早く補償するようにしている。このため、主制
御系10A自体は時定数の大きいものであっても、チャ
ンバ2における湿度制御を安定で応答性の高いものにす
ることが可能となる。
10Bがない構成を考えてみると、調温用タンク5内の
液温とチャンバ2内の湿度とは物理的な特性が異なる上
に、液温変化よりも湿度変化は必ず遅れて起こり、しか
も途中に圧力変化や湿度変化等の外乱も生じる可能性が
あるので、単に上記のように構成しただけでは、応答遅
れや外乱に起因してチャンバ2内の湿度にオーバーシュ
ートやアンダーシュート等を生じることが予想される。
これに対して、本実施例は、主制御系10Aを用いて最
終的な制御量である湿度を基準に水温をフィードバック
制御するように構成した上で、その中に時定数のより小
さい2次制御系10Bを設けて応答遅れや外乱による影
響をいち早く補償するようにしている。このため、主制
御系10A自体は時定数の大きいものであっても、チャ
ンバ2における湿度制御を安定で応答性の高いものにす
ることが可能となる。
【0018】また、本実施例は給水路8bから液密な状
態を保ってバブリングタンク4に超純水を導入するよう
にしており、また、導入路3から浄化した空気をバブリ
ングタンク4に流量制御して移送するようにしているの
で、バブリングタンク4内へ導入する空気及び水の双方
に対して異物混入の可能性を低減することができ、バブ
リングタンク4からチャンバ内へ導入する気体をクリー
ンで安定したものにすることができる。
態を保ってバブリングタンク4に超純水を導入するよう
にしており、また、導入路3から浄化した空気をバブリ
ングタンク4に流量制御して移送するようにしているの
で、バブリングタンク4内へ導入する空気及び水の双方
に対して異物混入の可能性を低減することができ、バブ
リングタンク4からチャンバ内へ導入する気体をクリー
ンで安定したものにすることができる。
【0019】さらに、本実施例はポンプ9aによって調
温用タンク5内の水を上層部と下層部の間でむらのない
ように攪拌しているので、上記の制御の確度を更に高め
ることが可能となる。なお、各部の具体的な構成は、図
示実施例のものに限定されるものではなく、本発明の趣
旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
温用タンク5内の水を上層部と下層部の間でむらのない
ように攪拌しているので、上記の制御の確度を更に高め
ることが可能となる。なお、各部の具体的な構成は、図
示実施例のものに限定されるものではなく、本発明の趣
旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【0020】
【発明の効果】本発明は、以上説明した構成であるか
ら、チャンバ内の湿度制御を、他の温度制御等の妨げに
ならないようにしながらクリーン、高精度かつ安定的に
行うことができる。このため、ガス分析等の用途に用い
た場合に、バックグランドに悪影響の出ない良質な測定
雰囲気を作ることが可能となる。
ら、チャンバ内の湿度制御を、他の温度制御等の妨げに
ならないようにしながらクリーン、高精度かつ安定的に
行うことができる。このため、ガス分析等の用途に用い
た場合に、バックグランドに悪影響の出ない良質な測定
雰囲気を作ることが可能となる。
【図1】本発明の一実施例を示す模式的な構成図。
1…湿度発生制御装置 2…チャンバ 3…導入路 4…バブリングタンク 5…調温用タンク 6…液温調節手段(水温調節手段) 7…移送手段 8…給水タンク 8b…給水路 10…制御手段 10A…主制御系 10B…2次制御系
Claims (2)
- 【請求項1】チャンバ内を一定湿度に保つために用いら
れるものであって、前記チャンバ内に外部より気体を導
入するための導入路と、この導入路に介設され導入前の
気体を一旦水中に気泡状態で放出させるバブリングタン
クと、このバブリングタンクを液中に浸漬させてなる調
温用タンクと、この調温用タンク内の液温を調節する液
温調節手段と、前記チャンバ内の湿度を検出しそれが設
定値に維持されるように前記液温調節手段を制御する主
制御系、並びに前記調温用タンク内の液温を検出しその
検出値に基づいて前記主制御系をより小さい時定数で補
償する2次制御系から成る制御手段とを具備してなるこ
とを特徴とする湿度発生制御装置。 - 【請求項2】バブリングタンク内に外部より水を直接補
給するための給水路と、この給水路に介設され水位がバ
ブリングタンクの水位に連動するように該バブリングタ
ンクに液密に接続された給水タンクと、前記導入路に配
設され外気を取り込で浄化するとともに流量制御して前
記バブリングタンクに移送する移送手段とを付設してな
ることを特徴とする請求項1記載の湿度発生制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5526998A JPH11248607A (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 湿度発生制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5526998A JPH11248607A (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 湿度発生制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11248607A true JPH11248607A (ja) | 1999-09-17 |
Family
ID=12993898
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5526998A Pending JPH11248607A (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 湿度発生制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11248607A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007123042A1 (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-01 | Olympus Corporation | 反応槽 |
JP2009229198A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Espec Corp | 揮発物測定装置 |
-
1998
- 1998-03-06 JP JP5526998A patent/JPH11248607A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007123042A1 (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-01 | Olympus Corporation | 反応槽 |
JP2007292494A (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-08 | Olympus Corp | 反応槽 |
CN101427122A (zh) * | 2006-04-21 | 2009-05-06 | 奥林巴斯株式会社 | 反应槽 |
US8241568B2 (en) | 2006-04-21 | 2012-08-14 | Beckman Coulter, Inc. | Reaction tank |
JP2009229198A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Espec Corp | 揮発物測定装置 |
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