JPH11178366A - Vibrating actuator, drive device thereof equipment using the same, and vibrating actuator device - Google Patents
Vibrating actuator, drive device thereof equipment using the same, and vibrating actuator deviceInfo
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- JPH11178366A JPH11178366A JP9343459A JP34345997A JPH11178366A JP H11178366 A JPH11178366 A JP H11178366A JP 9343459 A JP9343459 A JP 9343459A JP 34345997 A JP34345997 A JP 34345997A JP H11178366 A JPH11178366 A JP H11178366A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、振動体に振動波を
生じさせ、この振動体に接触する移動体を摩擦力により
相対移動させる振動型アクチュエータの駆動装置、振動
型アクチュエータを用いた機器および振動型アクチュエ
ータ装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a driving apparatus for a vibration type actuator which generates a vibration wave in a vibration body and relatively moves a moving body in contact with the vibration body by frictional force, a device using the vibration type actuator, and an apparatus using the vibration type actuator. The present invention relates to a vibration type actuator device.
【0002】[0002]
【従来の技術】振動型アクチュエータは、既によく知ら
れているように、圧電素子もしくは電歪素子などの電気
−機械エネルギー変換素子に交番電圧を印加することに
より該素子に高周波振動を発生させ、その振動エネルギ
ーを連続的な機械運動として取り出すように構成された
非電磁駆動式の新型モータである。2. Description of the Related Art As is well known, a vibration-type actuator generates a high-frequency vibration by applying an alternating voltage to an electro-mechanical energy conversion element such as a piezoelectric element or an electrostriction element. This is a new non-electromagnetic drive type motor configured to extract the vibration energy as continuous mechanical motion.
【0003】図9は従来の振動型アクチュエータの断面
構成図で、1は可撓性を有する例えばステンレスやリン
青銅からなるリング状の金属弾性体で、その一端面に、
複数個に分極された2群の駆動用圧電素子(A相圧電素
子,B相圧電素子)をリング状に形成した圧電素子群2
が同心円状に接着されている。また、弾性体1のもう一
方の端面に貼り合わされた樹脂、金属、セラミック等か
らできたスライダ材3の表面に進行波を生じさせるよう
に、圧電素子群2の両端面に電極が配置され、分極処理
が施されている。スライダ材3側の面は、モータ効率を
上げるために櫛歯状に複数の溝が周方向に規則的に形成
されている。上記弾性体1,圧電素子群2,スライダ材
3により振動体(ステータ)を構成している。FIG. 9 is a cross-sectional view of a conventional vibration type actuator. Reference numeral 1 denotes a ring-shaped metal elastic body made of, for example, stainless steel or phosphor bronze.
A piezoelectric element group 2 in which two driving piezoelectric elements (A-phase piezoelectric element and B-phase piezoelectric element) polarized in a plurality are formed in a ring shape.
Are concentrically adhered. Electrodes are arranged on both end faces of the piezoelectric element group 2 so as to generate a traveling wave on the surface of the slider member 3 made of resin, metal, ceramic, or the like bonded to the other end face of the elastic body 1, Polarization processing has been performed. On the surface on the slider material 3 side, a plurality of comb-shaped grooves are regularly formed in the circumferential direction to increase the motor efficiency. A vibrating body (stator) is constituted by the elastic body 1, the piezoelectric element group 2, and the slider member 3.
【0004】前記圧電素子群2の反対側の面には駆動信
号や、圧電素子に設けられたモータの振動状態を検知す
るセンサ部からの信号を取り出すためのフレキシブル基
板4が固定されている。また、弾性体1の内周部は薄肉
円盤状になっており、その内周側でベース部材5に接着
あるいはネジにより固定されている。スライダ材3の表
面には移動体6が防振ゴム7を介して板バネ8によって
弾性体1の同軸上に加圧接触されており、板バネ8の内
径部は シャフト10としまりかん合されたディスクフ
ランジ9によって固定されている。A flexible substrate 4 for taking out a drive signal and a signal from a sensor unit for detecting a vibration state of a motor provided on the piezoelectric element is fixed to a surface opposite to the piezoelectric element group 2. The inner peripheral portion of the elastic body 1 has a thin disk shape, and is fixed to the base member 5 on the inner peripheral side by bonding or screws. A moving body 6 is brought into pressure contact with the surface of the slider member 3 via a vibration isolating rubber 7 by a leaf spring 8 coaxially with the elastic body 1, and the inner diameter of the leaf spring 8 is tightly fitted with a shaft 10. It is fixed by a disc flange 9.
【0005】またシャフト10はベースにかん合された
軸受11及び軸受12にかん合、挿入し、止め輪13に
よって加圧力を保持している。なお、スペーサ14は軸
受11に予圧を与え、シャフトの振れ回り量を低減して
いる。The shaft 10 is engaged with and inserted into the bearings 11 and 12 engaged with the base, and retains the pressing force by the retaining ring 13. The spacer 14 applies a preload to the bearing 11 to reduce the amount of whirling of the shaft.
【0006】図10はこのような振動型アクチュエータ
を用いたときのマイクロコンピュータ使用の駆動回路を
示したものである。FIG. 10 shows a drive circuit using a microcomputer when such a vibration type actuator is used.
【0007】A相圧電素子およびB相圧電素子へ供給さ
れる駆動用のA相およびB相信号はフレキシブル基板4
を介して印加される。21はモータを駆動制御するため
のコントロール回路(以後制御用マイコンと称す)であ
る。The driving A-phase and B-phase signals supplied to the A-phase piezoelectric element and the B-phase piezoelectric element are
Is applied. Reference numeral 21 denotes a control circuit for driving and controlling the motor (hereinafter, referred to as a control microcomputer).
【0008】22は4相の交番電圧を発生する4相発振
器、23、24,25、26は、該発振器からの交番電
圧で電源電圧をスイッチングするスイッチング素子、2
7,28はモータとのインピーダンスを整合させるなが
ら電源電圧を昇圧するトランスである。40は電源の電
圧を平滑化するコンデンサ、41〜48はスイッチング
素子のドライブ電流をコントロールする抵抗素子であ
る。29はモータの速度を検出するための速度検出器
(例えばエンコーダ)で、30はその速度検出器29か
らの信号を速度信号に変換する速度検出回路である。Reference numeral 22 denotes a four-phase oscillator for generating a four-phase alternating voltage, and reference numerals 23, 24, 25, and 26 denote switching elements for switching a power supply voltage with the alternating voltage from the oscillator.
Reference numerals 7 and 28 denote transformers for boosting the power supply voltage while matching the impedance with the motor. 40 is a capacitor for smoothing the voltage of the power supply, and 41 to 48 are resistance elements for controlling the drive current of the switching elements. Reference numeral 29 denotes a speed detector (for example, an encoder) for detecting the speed of the motor, and reference numeral 30 denotes a speed detection circuit for converting a signal from the speed detector 29 into a speed signal.
【0009】上記した回路構成では、不図示のCPUか
ら起動開始、駆動停止、低速から高速等への速度変更等
の駆動状態の変更指令が命令され、目標速度となるよう
に駆動周波数、駆動信号の振幅あるいは駆動信号の位相
差を調定して駆動振動型アクチュエータの制御が行われ
る。In the above-described circuit configuration, a drive state change command such as start-up, drive stop, speed change from low speed to high speed, etc., is commanded from a CPU (not shown), and the drive frequency and the drive signal are adjusted so as to reach the target speed. The driving vibration type actuator is controlled by adjusting the amplitude or the phase difference of the driving signal.
【0010】一方、図11は振動型アクチュエータを比
例積分制御する制御ブロック図で、51は速度差検出器
であり、振動型アクチュエータ57の出力軸に接続され
ているロータリーエンコーダ58から得られるパルス情
報をもとに駆動速度と速度指令値の差を検出し出力す
る。52は速度差検出器51の検出結果にゲインを与え
る比例制御器,53は比例制御器の出力を積分する積分
器,54は加算器である。On the other hand, FIG. 11 is a control block diagram for performing proportional-integral control of a vibration type actuator. Reference numeral 51 denotes a speed difference detector, and pulse information obtained from a rotary encoder 58 connected to an output shaft of a vibration type actuator 57. And detects and outputs the difference between the drive speed and the speed command value. 52 is a proportional controller that gives a gain to the detection result of the speed difference detector 51, 53 is an integrator that integrates the output of the proportional controller, and 54 is an adder.
【0011】55はパルス発生器で、振動型アクチュエ
ータ57の速度を制御するための操作量として振動型ア
クチュエータ57に与える交流電圧の周波数を使用して
いる。56はパルス発生器55からのパルス信号を昇圧
する昇圧手段である。A pulse generator 55 uses the frequency of an AC voltage applied to the vibration type actuator 57 as an operation amount for controlling the speed of the vibration type actuator 57. 56 is a booster for boosting the pulse signal from the pulse generator 55.
【0012】上記した構成の比例積分制御により、振動
型アクチュエータは高い応答性をもって目標速度となる
ように速度制御される。With the above-described proportional-integral control, the speed of the vibration type actuator is controlled so as to reach the target speed with high responsiveness.
【0013】[0013]
【発明が解決しようとする課題】このような振動型アク
チュエータの駆動装置において、比例制御器52へ与え
る制御ゲインについては、起動時、停止時および速度変
更時等の駆動状態の変更を行う場合については考慮して
いない。In such a vibration type actuator driving apparatus, the control gain applied to the proportional controller 52 is such that the driving state is changed at the time of starting, stopping, and changing the speed. Is not considered.
【0014】そのため、図11の制御ループで振動型ア
クチュエータを駆動するときの起動時、停止時および速
度を変更する等の駆動状態の変更のときには、変更前の
状態(変更前の制御ゲイン)が残っており、変更後の駆
動開始時にはマッチングのとれない制御ゲインでの駆動
が行われるため、制御が不安定になってしまうという問
題があった。Therefore, when the vibration type actuator is driven in the control loop of FIG. 11 at the time of starting, at the time of stopping, and when the driving state is changed such as changing the speed, the state before the change (the control gain before the change) is changed. There is a problem that the control remains unstable because the drive is performed with a control gain that cannot be matched at the start of the drive after the change.
【0015】本出願に係る第1発明の目的は、振動型ア
クチュエータの起動時、停止時および速度を変更する等
の駆動状態の変更に伴う駆動制御を安定に行える振動型
アクチュエータの駆動装置を提供しようとするものであ
る。An object of a first invention according to the present application is to provide a driving apparatus for a vibration-type actuator which can stably perform drive control accompanying a change in a driving state such as starting, stopping, and changing the speed of the vibration-type actuator. What you want to do.
【0016】本出願に係る第2の発明の目的は、振動型
アクチュエータにより駆動される被駆動体の起動時、停
止時および速度を変更する等の駆動状態の変更に伴う駆
動制御を安定に行える振動型アクチュエータを用いた機
器を提供しようとするものである。An object of a second invention according to the present application is to stably perform drive control accompanying a change in a drive state, such as starting, stopping, and changing a speed of a driven body driven by a vibration type actuator. It is an object to provide a device using a vibration type actuator.
【0017】本出願に係わる第3の発明は、振動型アク
チュエータの起動時、停止時および速度を変更する等の
駆動状態の変更に伴う駆動制御を安定に行える振動型ア
クチュエー装置を提供しようとするものである。A third aspect of the present invention is to provide a vibration-type actuating device that can stably perform drive control in response to a change in driving state, such as starting, stopping, and changing the speed of the vibration-type actuator. Things.
【0018】[0018]
【課題を解決するための手段】本出願に係る第1の発明
の目的を実現する構成は、振動型アクチュエータの電気
−機械エネルギー変換素子に供給する交番信号を制御手
段の出力に応じて調定する振動型アクチュエータの駆動
装置において、前記制御手段は、振動型アクチュエータ
の制御パラメータの操作量を前記振動型アクチュエータ
の制御ゲインの変更時に、制御パラメータの操作量を一
定の値に保持した後に次の制御ゲインに変更するように
したものである。According to a first aspect of the present invention, an alternating signal to be supplied to an electromechanical energy conversion element of a vibration type actuator is adjusted according to an output of a control means. In the driving device for a vibration-type actuator, the control means controls the operation amount of the control parameter of the vibration-type actuator and, when changing the control gain of the vibration-type actuator, after holding the operation amount of the control parameter at a constant value, The control gain is changed.
【0019】前記制御手段は、指令値と駆動検出値との
差をゼロとする信号を出力することで、前記制御パラメ
ータの操作量を一定の値に保持する。The control means outputs a signal for setting the difference between the command value and the drive detection value to zero, thereby maintaining the operation amount of the control parameter at a constant value.
【0020】前記制御パラメータの操作量とは、周波
数、電圧、あるいは複数の駆動用電気−機械エネルギー
変換素子に印加する電圧の位相差である。The manipulated variable of the control parameter is a frequency, a voltage, or a phase difference between voltages applied to a plurality of driving electro-mechanical energy conversion elements.
【0021】前記制御パラメータの操作量は、速度指令
値と検出速度との速度差に応じた値である。The manipulated variable of the control parameter is a value corresponding to the speed difference between the speed command value and the detected speed.
【0022】前記制御手段は、速度差を演算する速度差
検出手部と、前記速度差検出手部の演算結果に対して制
御ゲインが与えられる比例制御部と、前記比例制御部の
値を積分する積分部と、前記比例制御部の出力と前記積
分部の積分値を加算する加算部により構成されている。The control means includes a speed difference detecting portion for calculating a speed difference, a proportional control portion for giving a control gain to the calculation result of the speed difference detecting portion, and an integrated value of the proportional control portion. And an adding unit for adding the output of the proportional control unit and the integrated value of the integrating unit.
【0023】前記制御手段はデジタル回路により構成さ
れている。The control means is constituted by a digital circuit.
【0024】前記制御手段の速度差検出部は、速度差を
カウントするカウンタの値を保持可能として出力するレ
ジスタの出力をゼロとすることにより、速度差ゼロ信号
を出力する。The speed difference detecting section of the control means outputs a zero speed difference signal by setting the output of a register for outputting the value of a counter for counting the speed difference to be held to zero.
【0025】前記制御手段は、速度差信号をゼロとする
と共に、積分値をある値に保持することにより、制御パ
ラメータの操作量を一定の値に保持する。The control means holds the operation amount of the control parameter at a constant value by setting the speed difference signal to zero and holding the integral value at a certain value.
【0026】前記制御ゲインの変更時とは、振動型アク
チュエータの起動、停止時および速度変更時である。The time when the control gain is changed is when the vibration type actuator is started, stopped, and when the speed is changed.
【0027】前記振動型アクチュエータを複数有し、前
記複数の各振動型アクチュエータ毎に駆動制御する。A plurality of the vibration type actuators are provided, and drive control is performed for each of the plurality of vibration type actuators.
【0028】本出願に係る第2の発明の目的を実現する
振動型アクチュエータを用いた機器の構成は、上記した
いずれか一つに記載の振動型アクチュエータの駆動装置
を1または複数有し、前記1または複数の振動型アクチ
ュエータを駆動源として1または複数の被駆動体を駆動
するようにしたものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided a device using a vibration type actuator for realizing the object of the second invention, comprising one or more of the vibration type actuator driving devices according to any one of the above. One or a plurality of driven bodies are driven using one or a plurality of vibration type actuators as a drive source.
【0029】本出願に係る第3の発明の目的を実現する
振動型アクチュエータ装置は、振動型アクチュエータの
電気−機械エネルギー変換素子に供給する交番信号を制
御手段の出力に応じて調定する振動型アクチュエータ装
置において、振動型アクチュエータ装置の駆動状態を表
す信号を出力する駆動状態検知手段からの出力信号と基
準値との差に応じた情報に対して所定のゲインを設定す
る比例制御部と、該比例制御部を介した前記差に応じた
情報を積分する積分部を前記制御手段に設け、該積分部
の出力に応じて前記交番信号を制御すると共に、前記ゲ
インの変更に際して、ゲインの変更中は前記積分部の出
力をゲイン変更前の出力状態に保持させ、ゲイン変更後
前記比例制御部を介した前記差に応じた情報により前記
積分部の出力状態を変更させたものである。A vibration-type actuator device for realizing the object of the third invention according to the present application is a vibration-type actuator device that adjusts an alternating signal supplied to an electro-mechanical energy conversion element of a vibration-type actuator in accordance with an output of a control means. In the actuator device, a proportional control unit that sets a predetermined gain for information corresponding to a difference between an output signal from a driving state detecting unit that outputs a signal indicating a driving state of the vibration type actuator device and a reference value; An integrating unit for integrating information according to the difference via the proportional control unit is provided in the control unit, and the alternating signal is controlled according to an output of the integrating unit. Holds the output of the integrator in the output state before the gain change, and outputs the output state of the integrator according to the information according to the difference via the proportional controller after the gain is changed. It is obtained by change.
【0030】[0030]
【発明の実施の形態】(第1の実施の形態)図1、図2
は本発明の第1の実施の形態を示す。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (First Embodiment) FIGS. 1 and 2
Shows a first embodiment of the present invention.
【0031】本実施の形態は、振動型アクチュエータの
駆動装置における制御系をマイクロコンピュータにより
行うようにしたもので、図1は振動型アクチュエータの
駆動装置のブロック図を示し、図2はその動作を示すフ
ローチャートである。なお、駆動装置における制御系を
デジタル回路により構成するようにしても良いことは勿
論である。In this embodiment, the control system in the driving device for the vibration type actuator is controlled by a microcomputer. FIG. 1 is a block diagram of the driving device for the vibration type actuator, and FIG. It is a flowchart shown. It is needless to say that the control system in the driving device may be constituted by a digital circuit.
【0032】図1は本発明の第1の実施の形態を示す振
動型アクチュエータを制御する駆動装置のブロック図で
ある。FIG. 1 is a block diagram of a driving device for controlling a vibration-type actuator according to a first embodiment of the present invention.
【0033】図1において、51は速度差検出器であ
り、振動型アクチュエータ57の出力軸に接続されてい
るロータリーエンコーダ58から得られるパルス情報を
もとに駆動速度と速度指令値の差を検出し出力する。In FIG. 1, reference numeral 51 denotes a speed difference detector which detects a difference between a drive speed and a speed command value based on pulse information obtained from a rotary encoder 58 connected to an output shaft of a vibration type actuator 57. And output.
【0034】速度差検出器51は時々刻々変化する速度
制御のための演算結果を出力することになるが、本実施
の形態では、時々刻々変化する速度制御のための演算結
果をそのまま比例制御器52へ出力する場合と、外部か
らのゼロの信号を比例制御器52に与える2通りの切換
を切換器59によって行っている。The speed difference detector 51 outputs a calculation result for the speed control that changes every moment. In this embodiment, however, the calculation result for the speed control that changes every moment is output directly to the proportional controller. The switch 59 performs two kinds of switching, that is, the case where the signal is output to the controller 52 and the case where an external signal of zero is supplied to the proportional controller 52.
【0035】52は速度差検出器51の検出結果にある
ゲインを与える比例制御器、53は比例制御器の出力を
積分する積分器、54は加算器である。55はパルス発
生器で、振動型アクチュエータ57の速度を制御するた
めの操作量として振動型アクチュエータ57に与える交
流電圧の周波数を使用している。56はパルス発生器5
5からのパルス信号を昇圧する昇圧手段である。Reference numeral 52 denotes a proportional controller for giving a certain gain to the detection result of the speed difference detector 51, 53 denotes an integrator for integrating the output of the proportional controller, and 54 denotes an adder. A pulse generator 55 uses the frequency of an AC voltage applied to the vibration type actuator 57 as an operation amount for controlling the speed of the vibration type actuator 57. 56 is a pulse generator 5
5 is a boosting means for boosting the pulse signal from 5.
【0036】上記した駆動装置の動作を図2に示すフロ
ーチャートに基づいて以下に説明する。The operation of the above driving device will be described below with reference to the flowchart shown in FIG.
【0037】(#01):起動時はある制御ゲインがあ
る値に設定され、振動型アクチュエータを起動する。(# 01): At the time of activation, a certain control gain is set to a certain value, and the vibration type actuator is activated.
【0038】(#02):目標速度(第1の目標速度)
に達したか否かを判断し、目標速度に達すると、(#0
3)に進む。ここで、第1の目標速度までのゲインは定
常速度に比べて十分小さなゲインに設定されている。(# 02): Target speed (first target speed)
It is determined whether the target speed has been reached.
Proceed to 3). Here, the gain up to the first target speed is set to a sufficiently smaller gain than the steady speed.
【0039】(#03):切換器59を切換えてゼロの
信号が比例制御器52に入力されるようにする。すなわ
ち、比例制御器52への入力を0信号として、速度差検
出器51からの出力が速度差ゼロとする状態を作り出
し、振動型アクチュエータはその時の速度を維持して駆
動されることになる。(# 03): The switch 59 is switched so that a zero signal is input to the proportional controller 52. That is, the input to the proportional controller 52 is set to a 0 signal, and a state is created in which the output from the speed difference detector 51 becomes zero, and the vibration type actuator is driven while maintaining the speed at that time.
【0040】(#04):定常速度を設定する。(# 04): A steady speed is set.
【0041】(#05):振動型アクチュエータが定速
で安定して動く制御ゲインに切換える(設定する)。こ
の制御ゲインは速度等に応じて複数用意しておき、これ
を適宜選択して切換えたり、特性線図等から設定するよ
うにしても良い。(# 05): Switching (setting) to a control gain in which the vibration type actuator moves stably at a constant speed. A plurality of control gains may be prepared in accordance with the speed and the like, and may be appropriately selected and switched, or may be set from a characteristic diagram or the like.
【0042】(#06):切換器59を速度差検出器5
1からの信号が比例制御器52に入力されるように切換
え、定常駆動状態になる。(# 06): The switch 59 is connected to the speed difference detector 5
Switching is performed so that the signal from 1 is input to the proportional controller 52, and a steady driving state is established.
【0043】これにより、振動型アクチュエータは、定
常速度にあった制御ゲインでの駆動制御が行われる。As a result, the drive of the vibration type actuator is controlled with the control gain corresponding to the steady speed.
【0044】(#07):制御ゲインを変更するか否か
を判断する。すなわち、速度を変更するか否かの指令の
有無を判断し、速度の変更、例えば低速の定常速度から
高速の定常速度への変更等の指令があると、(#03)
に戻り、同様の動作を行って新たな定常速度での駆動を
行う。(# 07): It is determined whether to change the control gain. That is, it is determined whether or not there is a command to change the speed, and if there is a command to change the speed, for example, from a low steady speed to a high steady speed, (# 03)
Then, the same operation is performed to drive at a new steady speed.
【0045】また、(#07)において速度の変更も行
わない場合には、(#08)において、停止するか否か
を判断し、停止しないのであれば速度の変更あるいは停
止の指令があるまで定常速度を維持するように振動型ア
クチュエータの駆動制御を行う。If the speed is not changed in (# 07), it is determined whether or not to stop in (# 08). The drive control of the vibration type actuator is performed so as to maintain the steady speed.
【0046】(#08)において停止命令を受けると、
(#9)において、切換器59を切換えてゼロの信号が
比例制御器52に入力されるようにする。すなわち、比
例制御器52への入力を0信号として、速度差検出器5
1からの出力が速度差ゼロとする状態を作り出し、振動
型アクチュエータはその時の速度を維持して駆動される
ことになる。When a stop command is received in (# 08),
In (# 9), the switch 59 is switched so that a zero signal is input to the proportional controller 52. That is, assuming that the input to the proportional controller 52 is 0 signal, the speed difference detector 5
The output from 1 creates a state where the speed difference is zero, and the vibration type actuator is driven while maintaining the speed at that time.
【0047】(#10):停止のための目標速度設定を
設定する。振動型アクチュエータは振動体と移動体との
摩擦力を利用して駆動力を発生させるようにしているの
で、駆動電圧を遮断すること等によって急激な停止を行
うと、振動体を構成する弾性体に駆動面に形成されてい
るスライダ材(摩擦材)を傷めたりするので、ある程度
段階的に減速する必要があり、また他の被駆動体との同
期を必要とする場合に徐々に減速する必要がある。(# 10): A target speed setting for stopping is set. Since the vibration type actuator generates a driving force by using the frictional force between the vibrating body and the moving body, when the driving voltage is suddenly stopped by cutting off the driving voltage or the like, the elastic body constituting the vibrating body is generated. Since the slider material (friction material) formed on the driving surface may be damaged, it is necessary to decelerate gradually to some extent, and it is necessary to gradually decelerate when synchronization with another driven body is required. There is.
【0048】(#11):振動型アクチュエータの減速
時の制御ゲインに設定する。(# 11): Set to the control gain at the time of deceleration of the vibration type actuator.
【0049】(#12):切換器59を速度差検出器5
1からの信号が比例制御器52に入力されるように切換
え、減速駆動のための設定速度状態になり、停止する
(#13)。(# 12): The switch 59 is connected to the speed difference detector 5
The signal is switched so that the signal from 1 is input to the proportional controller 52, the speed is set to the deceleration drive, and the operation is stopped (# 13).
【0050】これにより、振動型アクチュエータは、減
速のための速度にあった制御ゲインでの駆動制御が行わ
れる。すなわち、制御ゲインを適正な値とする場合に、
停止のための減速状態にあっても、比例制御器52には
速度差が0の信号が切換器59から入力されるので、新
しい制御ゲインでの速度制御時には、一定速度での駆動
状態から開始でき、安定な駆動制御によって停止させる
ことができる。Thus, the drive of the vibration type actuator is controlled with a control gain suitable for the speed for deceleration. That is, when the control gain is set to an appropriate value,
Even in the deceleration state for stopping, a signal with a speed difference of 0 is input to the proportional controller 52 from the switch 59, so that the speed control with a new control gain starts from the driving state at a constant speed. And can be stopped by stable drive control.
【0051】なお、本実施の形態では、1つの振動型ア
クチュエータを対象としているが、カラー画像形成装置
のように、記録紙等の転写材を給紙カセットから定着装
置に搬送する搬送経路の途中に、各色の(イエロウ、シ
アン、マゼンダ、ブラックの4色)の像担持体としての
感光ドラムを所定の間隔で配置し、前記各感光ドラムの
駆動源、及び前記転写材を搬送するための搬送手段の駆
動源にそれぞれ振動型アクチュエータをもちいるように
しても良く、この場合の制御ブロック図を図8に示す。
この制御ブロック図では、図1の駆動装置を各振動型ア
クチュエータ毎にそれぞれ有するもので、各振動型アク
チュエータを独立して駆動することができるようになっ
ている。この場合、複数の振動型アクチュエータが連動
して駆動している場合、制御ゲインを変更する際に、ま
ず無制御状態にして、全ての振動型アクチュエータに対
して制御ゲインを変更した後に、制御状態とすることに
より、全ての振動型アクチュエータを同じ様に駆動する
ことができる。In this embodiment, one vibration type actuator is targeted. However, as in a color image forming apparatus, a transfer material such as recording paper is transported from a paper feed cassette to a fixing device in the middle of a transport path. In addition, photosensitive drums as image carriers of four colors (yellow, cyan, magenta, and black) are arranged at predetermined intervals, and a driving source for the photosensitive drums and a transport for transporting the transfer material are provided. Vibration type actuators may be used as the driving sources of the means, and a control block diagram in this case is shown in FIG.
In this control block diagram, the driving device of FIG. 1 is provided for each vibration type actuator, and each vibration type actuator can be driven independently. In this case, when a plurality of vibration-type actuators are driven in conjunction with each other, when changing the control gain, the control gain is changed to the non-control state first, the control gain is changed for all the vibration-type actuators, and then the control state is changed. By doing so, all the vibration type actuators can be driven in the same manner.
【0052】(第2の実施の形態)図3は第2の実施の
形態を示す振動型アクチュエータを制御する制御ブロッ
ク図である。(Second Embodiment) FIG. 3 is a control block diagram for controlling a vibration-type actuator according to a second embodiment.
【0053】第1の実施の形態では、比例制御器52へ
の入力を切換器59により切換えて入れていたが、本実
施の形態では速度差検出器51’に0信号を入れること
で速度差検出器51’の出力を速度差ゼロにできるよう
な構成になっている。In the first embodiment, the input to the proportional controller 52 is switched by the switch 59, but in the present embodiment, the speed difference is detected by inputting a 0 signal to the speed difference detector 51 '. The configuration is such that the output of the detector 51 'can be set to zero speed difference.
【0054】図4は第2の実施の形態での制御ブロック
の中の出力をゼロにできる速度差検出器51’の回路例
を示す。FIG. 4 shows a circuit example of a speed difference detector 51 'which can make the output in the control block zero in the second embodiment.
【0055】図4のように速度差検出器は同期ロジック
回路により形成され、61および62はDフリップフロ
ップである。Dフリップフロップ62のD入力がハイレ
ベルでQ出力がローレベルのときに、エンコーダからの
入力パルスの立ち上がりエッジとして検出される。この
時、AND64からの出力がクロックの1周期の時間だ
けハイレベルとなる。As shown in FIG. 4, the speed difference detector is formed by a synchronous logic circuit, and 61 and 62 are D flip-flops. When the D input of the D flip-flop 62 is at a high level and the Q output is at a low level, it is detected as a rising edge of an input pulse from the encoder. At this time, the output from the AND 64 is at the high level for one clock period.
【0056】16ビットダウンカウンタ65では、AN
D64の出力がハイレベルの時、すなわちエンコーダの
立ち上がりエッジから1クロックサイクル後に目標速度
データがロードされ、それ以外のときはダウンカウント
を行う。目標速度データは目標速度で動作している時の
エンコーダのパルスの1周期をクロックでカウントした
ときのカウント数を設定する。目標速度データvは以下
の式によって求められる。In the 16-bit down counter 65, AN
When the output of D64 is at the high level, that is, one clock cycle after the rising edge of the encoder, the target speed data is loaded. Otherwise, the down-counting is performed. The target speed data sets the count number when one cycle of the pulse of the encoder when operating at the target speed is counted by the clock. The target speed data v is obtained by the following equation.
【0057】v =fc/(N×Ep)−1 ここでfcはクロックの周波数[Hz]、Nは目標回転
数[1/s] 、Epは1回転あたりのエンコーダの出力パル
ス数[P/R] である。例えば目標回転数1[1/s]でクロッ
クの周波数が10[MHz] 、モータ1回転で2000パル
ス出力されるエンコーダの場合、目標速度データは49
99となる。V = fc / (N × Ep) -1 where fc is the clock frequency [Hz], N is the target rotation speed [1 / s], and Ep is the number of encoder output pulses per rotation [P / R]. For example, in the case of an encoder that outputs a clock frequency of 10 [MHz] at a target rotation speed of 1 [1 / s] and 2,000 pulses per motor rotation, the target speed data is 49.
It will be 99.
【0058】16ビットレジスタ66は、エンコーダの
エッジが検出されてから1クロックサイクル後にカウン
タ65の値が書き込まれる。レジスタ66にデータが書
き込まれる瞬間はカウンタ65にはまだ目標速度はロー
ドされておらず、エンコーダエッジが検出される直前ま
でのカウント値が書き込まれることになる。レジスタ6
6の出力(バー)Qは、格納された値の反転データが出
力される。The value of the counter 65 is written to the 16-bit register 66 one clock cycle after the edge of the encoder is detected. At the moment data is written to the register 66, the target speed has not yet been loaded into the counter 65, and the count value until immediately before the encoder edge is detected is written. Register 6
The output (bar) Q of 6 outputs inverted data of the stored value.
【0059】以上のような動作により、エンコーダの立
ち上がりエッジから次の立ち上がりエッジまでの時間を
カウントし目標速度データを引いた値マイナス1、すな
わち Te×fc−v−1 がレジスタ66から出力されることになる。By the operation as described above, the time from the rising edge of the encoder to the next rising edge is counted, and the value obtained by subtracting the target speed data minus 1, ie, Te × fc-v−1, is output from the register 66. Will be.
【0060】ここでvは目標速度データ、Teはエンコ
ーダから出力されるパルスの周期[sec] 、fcはクロッ
クの周波数[Hz]である。Here, v is the target speed data, Te is the cycle [sec] of the pulse output from the encoder, and fc is the clock frequency [Hz].
【0061】以上のようにして定常状態のとき検出され
た速度差データは比例制御器51に入力される。The speed difference data detected in the steady state as described above is input to the proportional controller 51.
【0062】ここで、レジスタ66のクリア入力にロー
レベルの信号が入るとレジスタ66からの出力はゼロと
なり比例制御器52に入力される。このようにして比例
制御器52にゼロを入力することができる。Here, when a low level signal is input to the clear input of the register 66, the output from the register 66 becomes zero and is input to the proportional controller 52. In this manner, zero can be input to the proportional controller 52.
【0063】よって、制御ゲインを変更するときに、図
3および図4のように速度差検出器51’の出力をゼロ
(速度差ゼロ)にしておき、次の制御ゲインに切換え定
常状態に戻すような方法で変更することで安定状態を保
ちつつモータを駆動することが可能である。Therefore, when the control gain is changed, the output of the speed difference detector 51 'is set to zero (speed difference zero) as shown in FIGS. 3 and 4, and the control gain is switched to the next control gain to return to the steady state. It is possible to drive the motor while maintaining a stable state by changing in such a manner.
【0064】(第3の実施の形態)図5は第3の実施の
形態を示す振動型アクチュエータを制御する制御ブロッ
ク図である。(Third Embodiment) FIG. 5 is a control block diagram for controlling a vibration-type actuator according to a third embodiment.
【0065】第2の実施の形態では比例制御器52への
入力のみをゼロにできるようにしていたが、本実施の形
態では、積分器53’の積分結果もある値に保持するよ
うな構成になっている。In the second embodiment, only the input to the proportional controller 52 can be made zero, but in the present embodiment, the integration result of the integrator 53 'is held at a certain value. It has become.
【0066】制御アルゴリズムとしては、図2に示す第
1の実施の形態のフローチャートと同じであり、速度差
検出器51’の出力をゼロにする0信号を積分器53’
に入力し積分結果もある値に保持することができるよう
な回路構成にしている。The control algorithm is the same as the flowchart of the first embodiment shown in FIG. 2, and the 0 signal for setting the output of the speed difference detector 51 'to zero is integrated into the integrator 53'.
And the integration result can be held at a certain value.
【0067】図6は第3の実施の形態での制御ブロック
の中の出力をある値に保持することができる積分器5
3’の回路例を示す。FIG. 6 shows an integrator 5 capable of holding an output in a control block at a certain value in the third embodiment.
A circuit example of 3 'is shown.
【0068】図6において67は8ビットのダウンカウ
ンタである。ダウンカウンタ67のデータが0になる
と、キャリー出力Cがハイレベルとなる。この時、積分
時定数データがロードされ、その後ダウンカウントを行
う。以上の動作によりダウンカウンタ67は積分時定数
データを周期としたリングカウンタを構成する。出力C
はリングカウンタの1周期に1回クロックの1サイクル
の時間だけハイレベルとなるような信号を出力する。In FIG. 6, reference numeral 67 denotes an 8-bit down counter. When the data of the down counter 67 becomes 0, the carry output C goes high. At this time, the integration time constant data is loaded, and then the down count is performed. With the above operation, the down counter 67 constitutes a ring counter whose cycle is the integration time constant data. Output C
Outputs a signal which becomes high level only for one cycle of the clock once in one cycle of the ring counter.
【0069】68は16ビットのアダーである。アダー
68では16ビットの入力Aと入力Bのデータを加算
し、加算データを出力Sから出力する。出力されたデー
タは16ビットレジスタ69のデータ入力となる。Reference numeral 68 denotes a 16-bit adder. The adder 68 adds 16-bit input A and input B data and outputs the added data from an output S. The output data becomes the data input of the 16-bit register 69.
【0070】レジスタ69では、ダウンカウンタから出
力される積分時定数のタイミングで、データがロードさ
れる。その結果レジスタ6918のQ出力から積分時定
数に応じた積分データが出力されることになる。In the register 69, data is loaded at the timing of the integration time constant output from the down counter. As a result, integrated data corresponding to the integration time constant is output from the Q output of the register 6918.
【0071】ここで、本実施の形態ではレジスタ68の
内容を保持するためのイネーブル端子が設けられてお
り、イネーブル端子に0信号であるローレベルの信号が
入るとレジスタ69からの出力はそのまま保持された状
態となる。In this embodiment, an enable terminal for holding the contents of the register 68 is provided, and when a low-level signal, which is a 0 signal, is input to the enable terminal, the output from the register 69 is held as it is. It will be in the state that was done.
【0072】第1の実施の形態では、比例制御器52へ
の入力はゼロ(速度差ゼロ)になっていたが、積分器5
3からの出力は制御ゲインを変えるタイミングによって
は不安定な状態になるときがあり、その状態で制御を続
けると動作が不安定になりモータの速度を制御できなく
なってしまう場合があった。それに対し本実施の形態で
は図5,6のように積分器のイネーブル端子に0信号(
ローレベル) を入力することで、積分器53の値をある
値に保持することができ、制御ゲインを変更しても不安
定な動作をするようなことはなくなる。In the first embodiment, the input to the proportional controller 52 is zero (the speed difference is zero).
The output from 3 may become unstable depending on the timing of changing the control gain, and if control is continued in that state, the operation may become unstable and the speed of the motor may not be controlled. On the other hand, in this embodiment, as shown in FIGS.
By inputting (low level), the value of the integrator 53 can be held at a certain value, and unstable operation does not occur even if the control gain is changed.
【0073】(第4の実施の形態)図7は本発明の第4
の実施の形態を示す振動型アクチュエータを使用した紙
送り装置の概略図を示す。(Fourth Embodiment) FIG. 7 shows a fourth embodiment of the present invention.
1 is a schematic view of a paper feeder using a vibration type actuator according to an embodiment.
【0074】71は紙を送るためのローラでモータを結
合したのと反対側の端に適度な予圧をかけた軸受け72
を配置している。また、モータのローラと反対側にはモ
ータの回転スピードおよび回転角を検出するためのパル
ス板73,光学検出素子74および検出素子取り付け用
ケース75が設けられている。パルス板73は直接モー
タ軸に取り付けられているので精度が良い。Reference numeral 71 denotes a roller for feeding paper, and a bearing 72 having an appropriate preload applied to the end opposite to the side where the motor is connected.
Has been arranged. A pulse plate 73 for detecting the rotation speed and rotation angle of the motor, an optical detection element 74, and a detection element mounting case 75 are provided on the side opposite to the motor roller. Since the pulse plate 73 is directly attached to the motor shaft, the accuracy is good.
【0075】モータとローラの結合には、ローラに設け
た穴にモータ軸10を軽圧入し、さらに横から止めネジ
76で固定している。このような装置構成で本提案の制
御回路を用いることで回路効率の良い装置を提供でき
る。For coupling the motor and the roller, the motor shaft 10 is lightly pressed into a hole provided in the roller, and is fixed from the side with a set screw 76. By using the proposed control circuit with such a device configuration, a device with high circuit efficiency can be provided.
【0076】この場合、ローラに代えて前述した感光ド
ラムを駆動するようにすることもできる。In this case, the above-described photosensitive drum can be driven in place of the roller.
【0077】[0077]
【発明の効果】以上説明したように、第1、第3の発明
によれば、制御ゲインの変更の際には、制御パラメータ
の操作量を一定の値に保持するので、安定した状態から
振動型アクチの速度制御等の制御動作を行え、起動停
止、速度の変更等の場合に良好な応答性を維持して安定
な速度制御が実現できる。As described above, according to the first and third aspects of the present invention, when the control gain is changed, the operation amount of the control parameter is maintained at a constant value. Control operations such as speed control of the mold activator can be performed, and stable speed control can be realized while maintaining good responsiveness in the case of starting and stopping, changing the speed, and the like.
【0078】また、第2の発明によれば、1または複数
の被駆動体を起動停止、速度の変更等の場合に、良好な
応答性を維持して安定した速度制御が行える。According to the second aspect of the present invention, when one or a plurality of driven bodies are started and stopped, and the speed is changed, stable speed control can be performed while maintaining good responsiveness.
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す制御ブロック
図FIG. 1 is a control block diagram showing a first embodiment of the present invention.
【図2】図1の駆動アルゴリズムのフローチャートFIG. 2 is a flowchart of a driving algorithm of FIG. 1;
【図3】第2の実施の形態を示す制御ブロック図FIG. 3 is a control block diagram showing a second embodiment.
【図4】図3の速度差検出器51’の回路図FIG. 4 is a circuit diagram of a speed difference detector 51 'in FIG.
【図5】第3の実施の形態を示す制御ブロック図FIG. 5 is a control block diagram showing a third embodiment.
【図6】図5の積分器53’の回路図FIG. 6 is a circuit diagram of an integrator 53 'of FIG.
【図7】第4の実施の形態を示す断面図FIG. 7 is a cross-sectional view showing a fourth embodiment.
【図8】第1の実施の形態の変形例を示すブロック図FIG. 8 is a block diagram illustrating a modification of the first embodiment.
【図9】従来の振動型アクチュエータの略構成図。FIG. 9 is a schematic configuration diagram of a conventional vibration type actuator.
【図10】従来例の振動型アクチュエータの駆動装置の
回路ブロック図FIG. 10 is a circuit block diagram of a conventional vibration type actuator driving device.
【図11】従来の振動型アクチュエータを制御する制御
ブロック図FIG. 11 is a control block diagram for controlling a conventional vibration-type actuator.
1:弾性体 2:圧電素子群 3:スライダ材 4:フレキシブル基板 5:ベース 6:移動体 7:防振ゴム 8:板バネ 9:ディスクフランジ 10:シャフト 11,12:軸受 13:止め輪 14:スペーサ 21:マイコン 22:4相発振器 23,24,25,26:スイッチング素子 27,28:トランス 29:電流検出回路 30:電源電圧コントロール回路 40:コンデンサ 41〜48:抵抗素子 49:抵抗素子 51:速度差検出器 52:比例制御器 53:積分器 54:加算機 55:パルス発生器 56:昇圧手段 57:振動型アクチュエータ 58:エンコーダ 59:切換器 61、62:Dフリップフロップ 65:16ビットダウンカウンタ 66:レジスタ 67:8ビットダウンカウンタ 68:アダー 69:レジスタ 71:ローラ 72:軸受 73:パルス板 74:光学検出素子 75:検出素子取り付け用ケース 76:止めネジ 1: Elastic body 2: Piezoelectric element group 3: Slider material 4: Flexible substrate 5: Base 6: Moving body 7: Anti-vibration rubber 8: Leaf spring 9: Disk flange 10: Shaft 11, 12: Bearing 13: Retaining ring 14 : Spacer 21: Microcomputer 22: Four-phase oscillator 23, 24, 25, 26: Switching element 27, 28: Transformer 29: Current detection circuit 30: Power supply voltage control circuit 40: Capacitors 41 to 48: Resistance element 49: Resistance element 51 : Speed difference detector 52: proportional controller 53: integrator 54: adder 55: pulse generator 56: booster 57: vibration actuator 58: encoder 59: switch 61, 62: D flip-flop 65: 16 bit Down counter 66: Register 67: 8-bit down counter 68: Adder 69: Register 71: Roller 72: Bearing 73: Pulse plate 74: Optical detection element 75: Detection element mounting case 76: Set screw
フロントページの続き (72)発明者 片岡 健一 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 伊藤 潤 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内Continuing on the front page (72) Kenichi Kataoka, 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Jun Ito 3-30-2, Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc.
Claims (13)
ルギー変換素子に供給する交番信号を制御手段の出力に
応じて調定する振動型アクチュエータの駆動装置におい
て、 前記制御手段は、振動型アクチュエータの制御パラメー
タの操作量を前記振動型アクチュエータの制御ゲインの
変更時に、制御パラメータの操作量を一定の値に保持し
た後に次の制御ゲインに変更することを特徴とする振動
型アクチュエータの駆動装置。1. A driving apparatus for a vibration-type actuator, which adjusts an alternating signal to be supplied to an electro-mechanical energy conversion element of the vibration-type actuator in accordance with an output of a control means, wherein the control means includes a control parameter of the vibration-type actuator. A driving amount of the vibration-type actuator, wherein when the control amount of the vibration-type actuator is changed, the operation amount of the control parameter is held at a constant value and then changed to the next control gain.
の差をゼロとする信号を出力することで、前記制御パラ
メータの操作量を一定の値に保持することを特徴とする
請求項1記載の振動型アクチュエータの駆動装置。2. The control device according to claim 1, wherein the control unit outputs a signal for setting the difference between the command value and the drive detection value to zero, thereby maintaining the operation amount of the control parameter at a constant value. 2. The driving device for a vibration-type actuator according to claim 1.
数、電圧、あるいは複数の駆動用電気−機械エネルギー
変換素子に印加する電圧の位相差であることを特徴とす
る請求項1または2に記載の振動型アクチュエータの駆
動装置。3. The operation amount of the control parameter is a frequency, a voltage, or a phase difference between voltages applied to a plurality of driving electro-mechanical energy conversion elements. Drive device for vibration type actuator.
令値と検出速度との速度差に応じた値であることを特徴
とする請求項1、2または3に記載の振動型アクチュエ
ータの駆動装置。4. The driving device according to claim 1, wherein the operation amount of the control parameter is a value corresponding to a speed difference between a speed command value and a detected speed. .
差検出手部と、前記速度差検出手部の演算結果に対して
制御ゲインが与えられる比例制御部と、前記比例制御部
の値を積分する積分部と、前記比例制御部の出力と前記
積分部の積分値を加算する加算部により構成されている
ことを特徴とする請求項4に記載の振動型アクチュエー
タの制御装置。5. The control means includes: a speed difference detection hand for calculating a speed difference; a proportional control unit for giving a control gain to a calculation result of the speed difference detection hand; 5. The control device for a vibration-type actuator according to claim 4, comprising: an integration unit that integrates the integral value; and an addition unit that adds an output of the proportional control unit and an integration value of the integration unit.
されていることを特徴とする請求項5に記載の振動型ア
クチュエータの駆動装置。6. The driving device according to claim 5, wherein said control means is constituted by a digital circuit.
をカウントするカウンタの値を保持可能として出力する
レジスタの出力をゼロとすることにより、速度差ゼロ信
号を出力することを特徴とする請求項5または6に記載
の振動型アクチュエータの駆動装置。7. The speed difference detecting section of the control means outputs a zero speed difference signal by setting an output of a register which outputs a value of a counter for counting a speed difference as a holdable value to zero. The driving device for a vibration-type actuator according to claim 5.
ると共に、積分値をある値に保持することにより、制御
パラメータの操作量を一定の値に保持することを特徴と
する請求項5または6に記載の振動型アクチュエータの
駆動装置。8. The control device according to claim 5, wherein the control unit holds the operation amount of the control parameter at a constant value by setting the speed difference signal to zero and holding the integral value at a certain value. Or a driving device for a vibration-type actuator according to item 6.
クチュエータの起動、停止時および速度変更時であるこ
とを特徴とする請求項1に記載の振動型アクチュエータ
の駆動装置。9. The driving apparatus for a vibration-type actuator according to claim 1, wherein the time when the control gain is changed is a time when the vibration-type actuator is started, stopped, and when a speed is changed.
し、前記複数の各振動型アクチュエータ毎に前記駆動装
置を設けたことを特徴とする請求項1から9のいずれか
一つに記載の振動型アクチュエータの駆動装置。10. The vibration type actuator according to claim 1, wherein a plurality of said vibration type actuators are provided, and said driving device is provided for each of said plurality of vibration type actuators. Drive.
記載の振動型アクチュエータの駆動装置を1または複数
有し、前記1または複数の振動型アクチュエータを駆動
源として1または複数の被駆動体を駆動することを特徴
とする振動型アクチュエータを用いた機器。11. A driving device for a vibration-type actuator according to claim 1, wherein the driving device comprises one or more driven devices using the one or more vibration-type actuators as a driving source. A device using a vibration-type actuator characterized by driving an actuator.
ネルギー変換素子に供給する交番信号を制御手段の出力
に応じて調定する振動型アクチュエータ装置において、 振動型アクチュエータ装置の駆動状態を表す信号を出力
する駆動状態検知手段からの出力信号と基準値との差に
応じた情報に対して所定のゲインを設定する比例制御部
と、該比例制御部を介した前記差に応じた情報を積分す
る積分部を前記制御手段に設け、該積分部の出力に応じ
て前記交番信号を制御すると共に、前記ゲインの変更に
際して、ゲインの変更中は前記積分部の出力をゲイン変
更前の出力状態に保持させ、ゲイン変更後前記比例制御
部を介した前記差に応じた情報により前記積分部の出力
状態を変更させたことを特徴とする振動型アクチュエー
タ装置。12. A vibration type actuator device for adjusting an alternating signal supplied to an electro-mechanical energy conversion element of a vibration type actuator according to an output of a control means, wherein a signal representing a driving state of the vibration type actuator device is output. A proportional control unit that sets a predetermined gain for information corresponding to a difference between an output signal from the driving state detection unit and a reference value, and an integration unit that integrates the information corresponding to the difference via the proportional control unit Provided in the control means, while controlling the alternating signal in accordance with the output of the integration unit, when changing the gain, during the change of the gain, the output of the integration unit is held in the output state before the gain change, A vibration-type actuator device wherein the output state of the integration unit is changed by information according to the difference via the proportional control unit after the gain is changed.
への入力を禁止することを特徴とする請求項12に記載
の振動型アクチュエータ装置。13. The vibration-type actuator device according to claim 12, wherein an input to the integration unit is prohibited during a period during which the gain is being changed.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9343459A JPH11178366A (en) | 1997-12-12 | 1997-12-12 | Vibrating actuator, drive device thereof equipment using the same, and vibrating actuator device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9343459A JPH11178366A (en) | 1997-12-12 | 1997-12-12 | Vibrating actuator, drive device thereof equipment using the same, and vibrating actuator device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11178366A true JPH11178366A (en) | 1999-07-02 |
Family
ID=18361695
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9343459A Pending JPH11178366A (en) | 1997-12-12 | 1997-12-12 | Vibrating actuator, drive device thereof equipment using the same, and vibrating actuator device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11178366A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109245607A (en) * | 2018-10-08 | 2019-01-18 | 河南科技大学 | Supersonic motor method for controlling number of revolution and device based on variable-gain iterative learning |
-
1997
- 1997-12-12 JP JP9343459A patent/JPH11178366A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN109245607A (en) * | 2018-10-08 | 2019-01-18 | 河南科技大学 | Supersonic motor method for controlling number of revolution and device based on variable-gain iterative learning |
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