JPH11166661A - Limiter device of pressure following apparatus - Google Patents
Limiter device of pressure following apparatusInfo
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- JPH11166661A JPH11166661A JP33732497A JP33732497A JPH11166661A JP H11166661 A JPH11166661 A JP H11166661A JP 33732497 A JP33732497 A JP 33732497A JP 33732497 A JP33732497 A JP 33732497A JP H11166661 A JPH11166661 A JP H11166661A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【技術分野】本発明は、可撓性材料によって構成される
圧力室内の圧力に応動して正逆に微動する移動体を有す
る圧力応動機器に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pressure responsive device having a moving body that finely moves in the forward and reverse directions in response to the pressure in a pressure chamber made of a flexible material.
【０００２】[0002]
【従来技術およびその問題点】このような圧力応動機器
の一種として、除振装置が知られている。この除振装置
は、ゴム等の可撓性材料、例えばベローズ、ダイアフラ
ム等によって構成された圧力室に、レギュレータを介し
て一定の圧力範囲に制御した加圧空気を供給することに
より、除振台（移動体）を浮動状態に支持し、除振台上
の被除振機器に振動が伝達されるのを防ぐ。2. Description of the Related Art A vibration isolator is known as a kind of such a pressure responsive device. The vibration isolator is configured to supply a pressurized air controlled in a certain pressure range through a regulator to a pressure chamber formed of a flexible material such as rubber, for example, a bellows, a diaphragm, or the like. The (moving body) is supported in a floating state to prevent the vibration from being transmitted to the vibration-isolated device on the vibration isolation table.
【０００３】この除振装置は、除振台の最大移動範囲を
規制する正方向と逆方向のストッパを備えているが、通
常の除振動作時に、このストッパに除振台が当接してし
まうと、ストッパの振動が直接除振台に伝達されてしま
うため除振作用が得られない。一方、除振性能を高める
には、極めて小さい圧力変化で除振台が正逆に移動する
ようにしなければならない。別言すると、ステッパ等の
極端に振動を嫌う装置では、その除振系（可撓性材料）
の固有振動数を小さくしなければならない。このため、
供給２次圧力を極めて小さい変動範囲に抑制できる高性
能なレギュレータが要求される。しかし、高性能レギュ
レータでも、２次圧力は、僅かと言えども変動し、その
変動の結果、固有振動数の小さい除振台は正逆に微動す
るため、ストッパに当接して除振作用が損なわれるおそ
れがある。[0003] This anti-vibration apparatus has a stopper in the forward and reverse directions that regulates the maximum movement range of the anti-vibration table, but the anti-vibration table comes into contact with this stopper during a normal anti-vibration operation. In this case, the vibration of the stopper is directly transmitted to the vibration isolation table, so that the vibration isolation function cannot be obtained. On the other hand, in order to enhance the vibration isolation performance, the vibration isolation table must be moved forward and backward with a very small pressure change. In other words, in a device that extremely dislikes vibration such as a stepper, its vibration isolation system (flexible material)
Must have a low natural frequency. For this reason,
A high-performance regulator capable of suppressing the supply secondary pressure to an extremely small fluctuation range is required. However, even with a high-performance regulator, the secondary pressure fluctuates, albeit slightly, and as a result, the vibration isolator having a small natural frequency slightly moves in the forward and reverse directions. May be
【０００４】[0004]
【発明の目的】本発明は、除振台のように固有振動数を
小さくすることを要求される圧力応動機器において、レ
ギュレータを介して圧力室に供給される圧力変動により
移動体が微動する場合に、移動体がストッパに当接する
ことを防止できる装置を得ることを目的とする。An object of the present invention is to provide a pressure-sensitive device, such as an anti-vibration table, which is required to have a small natural frequency, when a moving body is slightly moved by a fluctuation in pressure supplied to a pressure chamber via a regulator. Another object of the present invention is to provide a device capable of preventing a moving body from contacting a stopper.
【０００５】[0005]
【発明の概要】本発明は、可撓性材料によって構成され
る圧力室内の圧力に応動して正逆に微動する移動体と；
この移動体の両移動端を機械的に制限する正方向ストッ
パ及び逆方向ストッパと；圧力室に、一定の圧力範囲に
制御した加圧空気を供給するレギュレータと；を備え、
このレギュレータは、移動体が正方向に移動するときに
圧力が上昇し、逆方向に移動するときに圧力が減少する
パイロット圧室を有する圧力応動機器において、移動体
が正方向ストッパに当接する前に、パイロット圧室を大
気に連通させる正方向リミッタ弁と；移動体が逆方向ス
トッパに当接する前に、上記パイロット圧室と大気との
連通を断つ逆方向リミッタ弁と；を設けたことを特徴と
している。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, there is provided a moving body which finely moves forward and backward in response to the pressure in a pressure chamber formed of a flexible material;
A forward direction stopper and a reverse direction stopper mechanically restricting both moving ends of the moving body; and a regulator for supplying pressurized air controlled in a certain pressure range to the pressure chamber;
In a pressure-responsive device having a pilot pressure chamber in which the pressure increases when the moving body moves in the forward direction and decreases when the moving body moves in the reverse direction, the regulator is used before the moving body contacts the forward stopper. A forward direction limiter valve for communicating the pilot pressure chamber with the atmosphere; and a reverse direction limiter valve for cutting off the communication between the pilot pressure chamber and the atmosphere before the moving body contacts the reverse direction stopper. Features.
【０００６】このように正方向と逆方向のリミッタ弁を
設けると、移動体がストッパに当接する前に、パイロッ
ト圧室の圧力が反転され、その結果、移動体とストッパ
とが当接するのを防止することができる。When the limiter valve is provided in the opposite direction to the forward direction, the pressure in the pilot pressure chamber is reversed before the moving body comes into contact with the stopper, and as a result, the moving body comes into contact with the stopper. Can be prevented.
【０００７】パイロット圧室と正方向リミッタ弁の間、
及びパイロット圧室と逆方向リミッタ弁との間には、そ
れぞれ可変絞弁を設けることが好ましい。また、パイロ
ット圧室は、オリフィスを介して常時大気と連通させ、
このオリフィスを逆方向リミッタ弁を介して開閉するこ
とが好ましい。[0007] Between the pilot pressure chamber and the forward direction limiter valve,
It is preferable to provide a variable throttle valve between the pilot pressure chamber and the reverse direction limiter valve. Also, the pilot pressure chamber is always in communication with the atmosphere through the orifice,
Preferably, this orifice is opened and closed via a reverse limiter valve.
【０００８】レギュレータは、種々のタイプが知られて
いるが、少なくとも、圧力源に連なる１次圧力導入口
と；圧力室に連なる２次圧力取出口と；１次圧力導入口
と２次圧力取出口間を開閉する主弁と；２次圧力取出口
とパイロット圧室の圧力差に応じて移動し、主弁を開閉
する浮動ピストンと；２次圧力取出口に連通する制御室
内にあって、該２次圧力取出口の圧力に応動して拡縮す
るメジャリングカプセルと；このメジャリングカプセル
の拡縮に応じて、制御室とパイロット圧室との間の連通
面積を変化させるパイロット弁と；を有するタイプを用
いることができる。Various types of regulators are known, but at least a primary pressure inlet connected to a pressure source; a secondary pressure outlet connected to a pressure chamber; a primary pressure inlet and a secondary pressure inlet. A main valve that opens and closes between outlets; a floating piston that moves in accordance with a pressure difference between the secondary pressure outlet and the pilot pressure chamber to open and close the main valve; and a control chamber that communicates with the secondary pressure outlet. A measuring capsule that expands and contracts in response to the pressure of the secondary pressure outlet; and a pilot valve that changes a communication area between the control chamber and the pilot pressure chamber in accordance with expansion and contraction of the measuring capsule. Types can be used.
【０００９】移動体を有する圧力応動機器の種類は問わ
ないが、具体的には、除振装置の除振台に用いることが
できる。The type of the pressure responsive device having the moving body is not limited, but specifically, the pressure responsive device can be used for a vibration isolation table of a vibration isolation device.
【００１０】[0010]
【発明の実施形態】図１は、本発明を除振台に適用した
実施形態の全系の概念図である。ハウジング１とダイア
フラム２で画成された圧力室３には、圧力源４及びレギ
ュレータ１０を介して、圧力を一定範囲に制御された圧
縮空気が送られる。ダイアフラム２の上には、移動体
（除振台）５が載っており、この移動体５に一体に、正
方向移動端用ストッパドッグ（上ドッグ）５Ｕと、逆方
向移動端用ストッパドッグ（下ドッグ）５Ｄが設けられ
ている。この上ドッグ５Ｕと下ドッグ５Ｄは、それぞれ
固定部分に設けられた上ストッパ６Ｕと下ストッパ６Ｄ
に対応していて、移動体５は、上ドッグ５Ｕが上ストッ
パ６Ｕに当接する迄上昇移動でき、下ドッグ５Ｄが下ス
トッパ６Ｄに当接する迄下降移動できる。図では、移動
体５の微動方向を上下方向としているが、移動方向が水
平方向の場合もある。なお、図では移動体（除振台）５
を小さく描いている。FIG. 1 is a conceptual diagram of the entire system of an embodiment in which the present invention is applied to a vibration isolation table. Compressed air whose pressure is controlled within a certain range is sent to a pressure chamber 3 defined by the housing 1 and the diaphragm 2 via a pressure source 4 and a regulator 10. A moving body (anti-vibration table) 5 is mounted on the diaphragm 2. The moving body 5 is integrally provided with a forward direction moving end stopper dog (upper dog) 5 </ b> U and a reverse direction moving end stopper dog ( Lower dog) 5D is provided. The upper dog 5U and the lower dog 5D are respectively provided with an upper stopper 6U and a lower stopper 6D provided on a fixed portion.
The moving body 5 can move up until the upper dog 5U comes into contact with the upper stopper 6U, and can move down until the lower dog 5D comes into contact with the lower stopper 6D. In the figure, the fine movement direction of the moving body 5 is the vertical direction, but the moving direction may be horizontal. In the figure, the moving body (anti-vibration table) 5
Is drawn small.
【００１１】レギュレータ１０のハウジング１１は、図
２に拡大して示すように、図の上方から順に、符号１１
ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄを付した４部材から構成さ
れている。最下方のハウジング１１ｄには、圧力源４に
連なる１次圧力導入口１２、圧力室３に連なる２次圧力
取出口１３、２次圧力取出口１３に連通する２次圧力室
１４、及び１次圧力導入口１２と２次圧力取出口１３
（２次圧力室１４）を連通させる連通路１６が形成され
ている。この連通路１６は、主弁１７によって開閉され
るもので、常時は圧縮ばね１８の力により、この主弁１
７が連通路１６を閉じている。As shown in an enlarged view in FIG. 2, a housing 11 of the regulator 10 has a reference numeral 11 in order from the top of the figure.
a, 11b, 11c, and 11d. The lowermost housing 11d has a primary pressure inlet 12 connected to the pressure source 4, a secondary pressure outlet 13 connected to the pressure chamber 3, a secondary pressure chamber 14 connected to the secondary pressure outlet 13, and a primary pressure inlet 14. Pressure inlet 12 and secondary pressure outlet 13
A communication passage 16 for communicating the (secondary pressure chamber 14) is formed. The communication passage 16 is opened and closed by a main valve 17.
7 closes the communication path 16.
【００１２】最上方のハウジング１１ａと１１ｂは、連
通路１９を介して２次圧力室１４と連通する制御室２０
を形成し、この制御室２０内にメジャリングカプセル２
１が位置している。このメジャリングカプセル２１は、
弾性体からなる中空容器で、外部との圧力差に応じて、
その大きさを変化させる。The uppermost housings 11a and 11b are connected to a control chamber 20 communicating with the secondary pressure chamber 14 through a communication passage 19.
Is formed, and the measuring capsule 2 is provided in the control room 20.
1 is located. This measuring capsule 21
A hollow container made of an elastic material, depending on the pressure difference with the outside,
Change its size.
【００１３】このメジャリングカプセル２１の上部中央
には、昇降ねじ軸２２が固定され、この昇降ねじ軸２２
は、ハウジング１１ａに固定したガイド筒２３にねじ２
４で螺合されている。昇降ねじ軸２２の上端部には、調
整ノブ２５が設けられていて、この調整ノブ２５を回動
操作することにより、メジャリングカプセル２１が上下
に移動する。そして、メジャリングカプセル２１は、そ
の上下動により、パイロット弁３０を開閉させて浮動ピ
ストン３１を上下させ、浮動ピストン３１の上下動によ
り、さらに主弁１７を上下させて、１次圧力導入口１２
と２次圧力取出口１３の間を開閉する。An elevating screw shaft 22 is fixed to the upper center of the measuring capsule 21.
The screw 2 is attached to the guide cylinder 23 fixed to the housing 11a.
4 is screwed. An adjusting knob 25 is provided at the upper end of the elevating screw shaft 22. By rotating the adjusting knob 25, the measuring capsule 21 moves up and down. The vertical movement of the measuring capsule 21 causes the pilot valve 30 to open and close to move the floating piston 31 up and down, and the vertical movement of the floating piston 31 causes the main valve 17 to move up and down further.
And the secondary pressure outlet 13 is opened and closed.
【００１４】すなわち、ハウジング１１ｂと１１ｃの
間、およびハウジング１１ｃと１１ｄの間には、それぞ
れパイロットダイアフラム３３、およびコントロールダ
イフラム３４の周縁が挟着されており、ハウジング１１
ｂとパイロットダイアフラム３３によってパイロット圧
室３５が形成されている。またパイロットダイアフラム
３３とコントロールダイアフラム３４の中心部には、浮
動ピストン３１が支持されている。パイロットダイアフ
ラム３３の受圧面積は、コントロールダイアフラム３４
のそれより大きい。That is, the peripheral edges of the pilot diaphragm 33 and the control diaphragm 34 are sandwiched between the housings 11b and 11c and between the housings 11c and 11d, respectively.
A pilot pressure chamber 35 is formed by b and the pilot diaphragm 33. The floating piston 31 is supported at the center of the pilot diaphragm 33 and the control diaphragm 34. The pressure receiving area of the pilot diaphragm 33 is the same as the control diaphragm 34.
Greater than that of.
【００１５】パイロット弁３０は、その上端がメジャリ
ングカプセル２１の下面に当接し、その下端の弁部がハ
ウジング１１ｂの一体の弁座板３６に穿けた連通路３６
ａを介してパイロット圧室３５内に臨んでいる。パイロ
ット弁３０はその上端にボール体３７を有しており、こ
のボール体３７に板ばね３８の自由端部が作用して、ボ
ール体３７、つまりパイロット弁３０を常時メジャリン
グカプセル２１の下面に押し付けている。板ばね３８の
他端部は固定ねじ３９によってハウジング１１ｂに固定
されている。The pilot valve 30 has an upper end in contact with the lower surface of the measuring capsule 21 and a lower end having a communication passage 36 formed in an integral valve seat plate 36 of the housing 11b.
It faces the pilot pressure chamber 35 through a. The pilot valve 30 has a ball body 37 at the upper end thereof, and the free end of the leaf spring 38 acts on the ball body 37 so that the ball body 37, that is, the pilot valve 30 is always placed on the lower surface of the measuring capsule 21. I'm pushing. The other end of the leaf spring 38 is fixed to the housing 11b by a fixing screw 39.
【００１６】パイロット弁３０は、その上下位置に応
じ、連通路３６ａの流路面積、つまり制御室２０とパイ
ロット圧室３５間の流路面積を変化させる。パイロット
圧室３５はオリフィス（ブリード孔）４０を介して外部
と通じている。The pilot valve 30 changes the flow passage area of the communication passage 36a, that is, the flow passage area between the control chamber 20 and the pilot pressure chamber 35 according to the vertical position. The pilot pressure chamber 35 communicates with the outside through an orifice (bleed hole) 40.
【００１７】浮動ピストン３１は、パイロットダイアフ
ラム３３に沿うリテーナプレート４１、コントロールダ
イアフラム３４に沿うリテーナプレート４２、この両プ
レートに挟まれたセンタブロック４３、およびバランス
ウエイト４４を有し、センタブロック４３には、２次圧
力室１４側に開放した軸通路４５が穿けられている。そ
してこの軸通路４５は、半径方向通路４６を介し、パイ
ロットダイアフラム３３とコントロールダイアフラム３
４によって形成されたリリーフ室４７に連通し、リリー
フ室４７はさらにリリーフ孔４８を介して外気と連通し
ている。またこの軸通路４５の２次圧力室１４への開口
端は、リリーフ弁４９によって開閉されるもので、リリ
ーフ弁４９は、連結軸によって上記主弁１７と一体にさ
れている。The floating piston 31 has a retainer plate 41 along the pilot diaphragm 33, a retainer plate 42 along the control diaphragm 34, a center block 43 sandwiched between the two plates, and a balance weight 44. An open shaft passage 45 is formed in the secondary pressure chamber 14 side. The shaft passage 45 is connected to the pilot diaphragm 33 and the control diaphragm 3 via a radial passage 46.
The relief chamber 47 communicates with the outside air through a relief hole 48. The open end of the shaft passage 45 to the secondary pressure chamber 14 is opened and closed by a relief valve 49, and the relief valve 49 is integrated with the main valve 17 by a connecting shaft.
【００１８】パイロット圧室３５は、管路５１を介して
正方向リミッタ弁５２に連通し、また、パイロット圧室
３５のオリフィス４０は、管路６１を介して逆方向リミ
ッタ弁６２に連通している。正方向リミッタ弁５２と逆
方向リミッタ弁６２は、同一構造で、管路５１（６１）
を介してパイロット圧室３５に通じる室５３（６３）を
開閉弁５４（６４）が開閉する。開閉弁５４（６４）
は、板ばね５５（６５）により常時室５３（６３）の外
部連通孔５６（６６）を閉じる方向に付勢されている。
管路５１（管路６１）にはそれぞれ、可変絞弁５７（６
７）が設けられている。The pilot pressure chamber 35 communicates with a forward limiter valve 52 via a pipe 51, and the orifice 40 of the pilot pressure chamber 35 communicates with a reverse limiter valve 62 via a pipe 61. I have. The forward direction limiter valve 52 and the reverse direction limiter valve 62 have the same structure, and have a pipe 51 (61).
The opening / closing valve 54 (64) opens and closes the chamber 53 (63) communicating with the pilot pressure chamber 35 via. On-off valve 54 (64)
Is constantly urged by a leaf spring 55 (65) in a direction to close the external communication hole 56 (66) of the chamber 53 (63).
A variable throttle valve 57 (6) is provided in the pipe 51 (pipe 61), respectively.
7) is provided.
【００１９】移動体５の上ドッグ５Ｕは、常時は正方向
リミッタ弁５２の開閉弁５４に係合することがないが、
移動体５が上昇すると、上ドッグ５Ｕが上ストッパ６Ｕ
に当接する前に、開閉弁５４を板ばね５５の力に抗して
移動させ、室５３を大気に連通させる。これに対し、移
動体５の下ドッグ５Ｄは、常時は、逆方向リミッタ弁６
２の板ばね６５の力に抗して開閉弁６４を移動させ、室
６３を大気に連通させるが、移動体５が下降すると、下
ドッグ５Ｄが下ストッパ６Ｄに当接する前に、開閉弁６
４から離れる。すると、開閉弁６４は、板ばね６５の力
によって外部連通孔６６を閉塞する位置に移動する。Although the upper dog 5U of the moving body 5 does not always engage with the opening / closing valve 54 of the forward direction limiter valve 52,
When the moving body 5 rises, the upper dog 5U moves to the upper stopper 6U.
Prior to contact with, the on-off valve 54 is moved against the force of the leaf spring 55 to make the chamber 53 communicate with the atmosphere. On the other hand, the lower dog 5D of the mobile unit 5 always has the reverse direction limiter valve 6D.
The opening / closing valve 64 is moved against the force of the second leaf spring 65 to make the chamber 63 communicate with the atmosphere. However, when the moving body 5 is lowered, the opening / closing valve 6 is moved before the lower dog 5D comes into contact with the lower stopper 6D.
Move away from 4. Then, the on-off valve 64 moves to a position at which the external communication hole 66 is closed by the force of the leaf spring 65.
【００２０】パイロット圧室３５は、次に説明するよう
に、移動体５が上昇（正方向に移動）するときに圧力が
上昇し、下降（逆方向に移動）するときに圧力が減少す
る室であり、正方向リミッタ弁５２は、上ドッグ５Ｕが
上ストッパ６Ｕに当接する前に、パイロット圧室３５を
大気に連通させる弁として作用する。また逆方向リミッ
タ弁６２は、上ドッグ５Ｕが上ストッパ６Ｕに当接する
前に、パイロット圧室３５（オリフィス４０）と大気と
の連通を断つ弁として作用する。As described below, the pilot pressure chamber 35 is a chamber in which the pressure increases when the moving body 5 moves up (moves in the forward direction) and decreases when the moving body 5 moves down (moves in the reverse direction). The forward direction limiter valve 52 acts as a valve that allows the pilot pressure chamber 35 to communicate with the atmosphere before the upper dog 5U contacts the upper stopper 6U. Also, the reverse direction limiter valve 62 acts as a valve that cuts off communication between the pilot pressure chamber 35 (orifice 40) and the atmosphere before the upper dog 5U comes into contact with the upper stopper 6U.
【００２１】上記構成の本装置は、次のように作動す
る。いま圧力源４からの加圧空気が１次圧力導入口１
２、主弁１７、２次圧力室１３、２次圧力取出口１４を
介して、圧力室３に導かれ、移動体５が圧力室３の圧力
により浮動状態に保持されている状態を考える。この状
態において、何らかの原因で、２次圧力室１４内の圧力
が変動すると、連通路１９を介して２次圧力室１４と連
通している制御室２０内の圧力も変動する。いま制御室
２０内の圧力が下降すると、メジャリングカプセル２１
が内外の圧力差により拡大する。すると、メジャリング
カプセル２１によって押されたパイロット弁３０が下降
して連通路３６ａを開き、パイロット圧室３５内に高い
圧力の１次圧力空気を導入する。その結果、浮動ピスト
ン３１が下降し、主弁１７がそれに伴なって下降して、
連通路１６を開く。したがって２次圧力室１４と１次圧
力導入１２とが連通し、２次圧力室１４内、及び圧力室
３の圧力が上昇する。よって、移動体５は上昇する。こ
のように、パイロット圧室３５は、移動体５が上昇する
ときに、圧力が上昇する室である。The above-structured apparatus operates as follows. The pressurized air from the pressure source 4 is now in the primary pressure inlet 1
2. A state in which the moving body 5 is guided to the pressure chamber 3 via the main valve 17, the secondary pressure chamber 13, and the secondary pressure outlet 14 and is held in a floating state by the pressure of the pressure chamber 3 is considered. In this state, if the pressure in the secondary pressure chamber 14 fluctuates for some reason, the pressure in the control chamber 20 communicating with the secondary pressure chamber 14 via the communication path 19 also fluctuates. Now, when the pressure in the control room 20 decreases, the measuring capsule 21
Expand due to the pressure difference between the inside and outside. Then, the pilot valve 30 pushed by the measuring capsule 21 descends to open the communication passage 36 a, and introduces high-pressure primary pressure air into the pilot pressure chamber 35. As a result, the floating piston 31 descends, and the main valve 17 descends accordingly,
The communication passage 16 is opened. Therefore, the secondary pressure chamber 14 and the primary pressure introduction 12 communicate with each other, and the pressure in the secondary pressure chamber 14 and the pressure in the pressure chamber 3 increase. Therefore, the moving body 5 rises. Thus, the pilot pressure chamber 35 is a chamber in which the pressure increases when the moving body 5 rises.
【００２２】これに対し、制御室２０内の圧力が上昇す
ると、メジャリングカプセル２１が縮小する。すると、
メジャリングカプセル２１の拡縮に伴って移動するパイ
ロット弁３０が上昇して連通路３６ａを絞る。するとパ
イロット圧室３５内に流入する１次圧力空気の導入が制
限され、他方このパイロット圧室３５はオリフィス４０
を介して大気と連通しているためその内部圧力は低下し
ていく。その結果、浮動ピストン３１が上昇し、主弁１
７がそれに伴なって上昇して、連通路１６を閉じる。し
たがって２次圧力室１４と１次圧力導入１２の連通が断
たれ、２次圧力室１４、及び圧力室３内の圧力が下降
し、移動体５は下降する。このように、パイロット圧室
３５は、移動体５が下降するときに、圧力が下降する室
である。On the other hand, when the pressure in the control chamber 20 increases, the measuring capsule 21 contracts. Then
The pilot valve 30 that moves with the expansion and contraction of the measuring capsule 21 rises and narrows the communication passage 36a. Then, the introduction of the primary pressure air flowing into the pilot pressure chamber 35 is restricted, while the pilot pressure chamber 35 is
The internal pressure decreases because it is in communication with the atmosphere through the air. As a result, the floating piston 31 rises and the main valve 1
7 rises to close the communication passage 16. Accordingly, the communication between the secondary pressure chamber 14 and the primary pressure introduction 12 is cut off, the pressure in the secondary pressure chamber 14 and the pressure in the pressure chamber 3 decrease, and the moving body 5 descends. Thus, the pilot pressure chamber 35 is a chamber in which the pressure decreases when the moving body 5 descends.
【００２３】メジャリングカプセル２１の制御室２０内
での位置、つまりパイロット弁３０の位置は、調整ノブ
２５を介して昇降ねじ軸２２を回動させることで調整で
き、この調整により、圧力室３の調整圧力を微妙に変化
させることができる。The position of the measuring capsule 21 in the control chamber 20, that is, the position of the pilot valve 30 can be adjusted by rotating the lifting screw shaft 22 through the adjustment knob 25. Adjustment pressure can be slightly changed.
【００２４】なお、浮動ピストン３１は、レギュレータ
１０の運転初期のように、２次圧力室１４と制御室２０
の圧力が大きく変動するときには、２次圧力室１４とパ
イロット圧室３５の圧力差により昇降する。浮動ピスト
ン３１が昇降すると、その軸通路４５の端部により、リ
リーフ弁４９を押して、これと一体の主弁１７を昇降さ
せて連通路１６を開閉する作用をするが、一旦平衡状態
になると、浮動ピストン３１は殆ど移動しない。The floating piston 31 is connected to the secondary pressure chamber 14 and the control chamber 20 as in the initial stage of the operation of the regulator 10.
When the pressure fluctuates greatly, the pressure rises and falls due to the pressure difference between the secondary pressure chamber 14 and the pilot pressure chamber 35. When the floating piston 31 moves up and down, the relief valve 49 is pushed by the end of the shaft passage 45 to raise and lower the main valve 17 integrated therewith, thereby opening and closing the communication passage 16. The floating piston 31 hardly moves.
【００２５】以上の調圧動作によって、理想的には、移
動体５は、上ドッグ５Ｕと下ドッグ５Ｄが上ストッパ６
Ｕと下ストッパ６Ｄに当接しない範囲で移動制御され
る。しかし、何らかの原因で、上ドッグ５Ｕが上ストッ
パ６Ｕに、下ドッグ５Ｄが下ストッパ６Ｄに当接しよう
とすると、その前に、正方向リミッタ弁５２、逆方向リ
ミッタ弁６２がその当接を防止する。すなわち、移動体
５が上昇し、その上ドッグ５Ｕが上ストッパ６Ｕに当接
しようとすると、その直前に、上ドッグ５Ｕが開閉弁５
４を押して外部連通孔５６から離座させ、室５３を大気
に連通させる。すると、外部連通孔５６を介してパイロ
ット圧室３５が大気に連通する結果、パイロット圧室３
５内の圧力降下の速度が早まり、浮動ピストン３１の位
置バランスが崩れ、リリーフ弁４９が軸通路４５を開い
て２次圧力室１４の圧力が下降し、その結果、移動体５
のそれ以上の上昇が防止される。圧力降下速度は、管路
５１の流路面積を設定する可変絞弁５７によって設定で
きる。パイロット圧室３５の圧力が下降すると、今度は
逆に、移動体５が下降する。By the above-described pressure adjusting operation, ideally, the moving body 5 is configured such that the upper dog 5U and the lower dog 5D
The movement is controlled within a range that does not come into contact with U and the lower stopper 6D. However, if the upper dog 5U tries to contact the upper stopper 6U and the lower dog 5D tries to contact the lower stopper 6D for some reason, the forward limiter valve 52 and the reverse direction limiter valve 62 prevent the contact before that. I do. That is, when the moving body 5 rises and the upper dog 5U attempts to contact the upper stopper 6U, the upper dog 5U
4 is pushed away from the external communication hole 56 to make the chamber 53 communicate with the atmosphere. Then, as a result of the pilot pressure chamber 35 communicating with the atmosphere via the external communication hole 56, the pilot pressure chamber 3
5, the position balance of the floating piston 31 is lost, the relief valve 49 opens the shaft passage 45, and the pressure in the secondary pressure chamber 14 decreases.
Is prevented from further rising. The pressure drop speed can be set by a variable throttle valve 57 that sets the flow area of the conduit 51. When the pressure in the pilot pressure chamber 35 decreases, the moving body 5 decreases in reverse.
【００２６】逆に、移動体５が下降し、その下ドッグ５
Ｄが下ストッパ６Ｄに当接しようとすると、その直前
に、下ドッグ５Ｄが開閉弁６４から離れ、板ばね６５の
力により開閉弁６４が外部連通孔６６を塞ぐ。すると、
それまで外部連通孔６６を介して大気と連通していたパ
イロット圧室３５の大気との連通が断たれる結果、パイ
ロット圧室３５内の圧力下降は停止して圧力上昇に転
じ、浮動ピストン３１の位置バランスが崩れ、主弁１７
が下降して１次側より２次側に圧縮空気が流入して２次
圧が上昇し、その結果、移動体５のそれ以上の下降が防
止される。圧力上昇速度は、流路面積を設定する６７に
よって設定できる。パイロット圧室３５の圧力が上昇す
ると、今度は逆に、移動体５が上昇する。Conversely, the moving body 5 descends and the lower dog 5
Immediately before D tries to contact the lower stopper 6D, the lower dog 5D separates from the on-off valve 64, and the on-off valve 64 closes the external communication hole 66 by the force of the leaf spring 65. Then
As a result, the communication with the atmosphere in the pilot pressure chamber 35, which had been in communication with the atmosphere through the external communication holes 66, is cut off. As a result, the pressure in the pilot pressure chamber 35 stops decreasing and starts to increase. Of the main valve 17
And the compressed air flows from the primary side to the secondary side to increase the secondary pressure. As a result, the moving body 5 is prevented from further lowering. The pressure rise rate can be set by setting the flow path area 67. When the pressure in the pilot pressure chamber 35 rises, the moving body 5 rises conversely.
【００２７】図示実施形態の除振台は、原理的に示した
ものであって、実際には水平を出すための構成等が備え
られる。また、除振台は上下方向だけでなく、水平方向
にも圧力室を介して支持される構成が本出願人によって
提案されており、このような態様にも本発明は適用でき
る。The anti-vibration table of the illustrated embodiment is shown in principle, and is actually provided with a configuration or the like for achieving horizontality. The applicant has proposed a configuration in which the vibration isolation table is supported not only in the vertical direction but also in the horizontal direction via the pressure chamber, and the present invention is applicable to such an embodiment.
【００２８】[0028]
【発明の効果】本発明によれば、レギュレータを介して
圧力室に供給される圧力の変動により移動体が微動する
装置において、移動体がストッパに当接することを防止
できる。According to the present invention, it is possible to prevent the moving body from abutting on the stopper in the device in which the moving body finely moves due to the fluctuation of the pressure supplied to the pressure chamber via the regulator.
【図１】本発明による圧力応動機器のリミッタ装置を除
振台に適用した実施形態を示す、レギュレータを縦断面
として示す全系の接続概念図である。FIG. 1 is a connection conceptual diagram of a whole system showing a regulator as a longitudinal section, showing an embodiment in which a limiter device of a pressure responsive device according to the present invention is applied to a vibration isolation table.
【図２】図１のレギュレータの縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the regulator of FIG. 1;
３ 圧力室 ４ 圧力源 ５ 移動体 ５Ｕ 上ドッグ ５Ｄ 下ドッグ ６Ｄ 上ストッパ ６Ｄ 下ストッパ １０ レギュレータ ２０ 制御室 ２１ メジャリングカプセル ３０ パイロット弁 ３１ 浮動ピストン ３５ パイロット圧室 ４０ オリフィス ５１ ６１ 管路 ５２ 正方向リミッタ弁 ５３ ６３ 室 ５４ ６４ 開閉弁 ５５ ６５ 板ばね ５６ ６６ 外部連通孔 ５７ ６７ 可変絞弁 ６２ 逆方向リミッタ弁 3 Pressure Chamber 4 Pressure Source 5 Moving Body 5U Upper Dog 5D Lower Dog 6D Upper Stopper 6D Lower Stopper 10 Regulator 20 Control Room 21 Measuring Capsule 30 Pilot Valve 31 Floating Piston 35 Pilot Pressure Chamber 40 Orifice 51 61 Pipe Line 52 Forward Limiter Valve 53 63 Chamber 54 64 On-off valve 55 65 Leaf spring 56 66 External communication hole 57 67 Variable throttle valve 62 Reverse limiter valve
Claims (5)
の圧力に応動して正逆に微動する移動体と；この移動体
の両移動端を機械的に制限する正方向ストッパ及び逆方
向ストッパと；上記圧力室に、一定の圧力範囲に制御し
た加圧空気を供給するレギュレータと；を備え、 上記レギュレータは、移動体が正方向に移動するときに
圧力が上昇し、逆方向に移動するときに圧力が減少する
パイロット圧室を有する圧力応動機器において、 上記移動体が正方向ストッパに当接する前に、上記パイ
ロット圧室を大気に連通させる正方向リミッタ弁と；上
記移動体が逆方向ストッパに当接する前に、上記パイロ
ット圧室と大気との連通を断つ逆方向リミッタ弁と；を
設けたことを特徴とする圧力応動機器のリミッタ装置。1. A moving body that finely moves in the forward and reverse directions in response to pressure in a pressure chamber formed of a flexible material; a forward stopper and a reverse stopper that mechanically limit both moving ends of the moving body. And a regulator for supplying pressurized air controlled to a certain pressure range to the pressure chamber. The regulator increases pressure when the moving body moves in the forward direction and moves in the reverse direction. A pressure responsive device having a pilot pressure chamber in which the pressure sometimes decreases, comprising: a forward limiter valve for communicating the pilot pressure chamber with the atmosphere before the moving body comes into contact with a forward stopper; A limiter valve for shutting off communication between the pilot pressure chamber and the atmosphere before contacting the stopper;
パイロット圧室と正方向リミッタ弁の間、及びパイロッ
ト圧室と逆方向リミッタ弁との間には、それぞれ可変絞
弁が備えられている圧力応動機器のリミッタ装置。2. The limiter device according to claim 1, wherein
A limiter device of a pressure-responsive device in which a variable throttle valve is provided between a pilot pressure chamber and a forward direction limiter valve and between a pilot pressure chamber and a reverse direction limiter valve.
おいて、上記パイロット圧室はオリフィスを介して常時
大気と連通しており、このオリフィスが逆方向リミッタ
弁を介して開閉される圧力応動機器のリミッタ装置。3. The limiter device according to claim 1, wherein the pilot pressure chamber is always in communication with the atmosphere via an orifice, and the orifice is opened and closed via a reverse direction limiter valve. Limiter device.
リミッタ装置において、上記レギュレータは、圧力源に
連なる１次圧力導入口と；上記圧力室に連なる２次圧力
取出口と；上記１次圧力導入口と２次圧力取出口間を開
閉する主弁と；上記２次圧力取出口とパイロット圧室の
圧力差に応じて移動し、上記主弁を開閉する浮動ピスト
ンと；上記２次圧力取出口に連通する制御室内にあっ
て、該２次圧力取出口の圧力に応動して拡縮するメジャ
リングカプセルと；このメジャリングカプセルの拡縮に
応じて、上記制御室とパイロット圧室との間の連通面積
を変化させるパイロット弁と；を有する圧力応動機器の
リミッタ装置。4. The limiter device according to claim 1, wherein the regulator has a primary pressure inlet connected to a pressure source; a secondary pressure outlet connected to the pressure chamber; A main valve that opens and closes between a secondary pressure inlet and a secondary pressure outlet; a floating piston that moves in accordance with a pressure difference between the secondary pressure outlet and a pilot pressure chamber and opens and closes the main valve; A measuring capsule, which is located in a control chamber communicating with the pressure outlet and expands / contracts in response to the pressure of the secondary pressure outlet; A pilot valve for changing a communication area between the limiter device and the pressure-responsive device.
リミッタ装置において、上記移動体は、除振装置の除振
台である圧力応動機器のリミッタ装置。5. The limiter device according to claim 1, wherein the movable body is a vibration isolation table of the vibration isolation device.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP33732497A JP4004609B2 (en) | 1997-12-08 | 1997-12-08 | Limiter device for pressure response devices |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33732497A JP4004609B2 (en) | 1997-12-08 | 1997-12-08 | Limiter device for pressure response devices |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11166661A true JPH11166661A (en) | 1999-06-22 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4004609B2 (en) |
-
1997
- 1997-12-08 JP JP33732497A patent/JP4004609B2/en not_active Expired - Fee Related
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