JPH10268203A

JPH10268203A - 顕微鏡

Info

Publication number: JPH10268203A
Application number: JP8726297A
Authority: JP
Inventors: Masakazu Shimada; 征和島田; Takashi Nagano; 隆長野
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1997-03-24
Filing date: 1997-03-24
Publication date: 1998-10-09

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な操作で標本厚さがわかり、ステージと対
物レンズが十分に離れた位置でステージの上限位置設定
を行うため、標本と対物レンズが接触するおそれがない
顕微鏡を得る。【解決手段】標本２を載置するステージ１を、電動機の
回転力を利用して上下動可能で、かつ前記標本のピント
合せが可能な電動焦準機構を有する顕微鏡において、結
像光学系の光路中に視野絞りが移動可能に配設され、前
記標本のピント合せが可能な視野絞り移動手段と、前記
視野絞りの移動量を検出する移動量検出手段と、前記ス
テージに標本を載置しないときのステージ上面を基準と
し、前記標本をステージに載置したときの前記標本の上
面に前記視野絞りを手動で移動させてピント合せしたと
きの前記移動量検出手段で検出される検出値に基づいて
前記標本の厚さを算出する標本厚さ算出手段を具備して
いる顕微鏡。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電動焦準機構を有
する顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】顕微鏡は医学、生物学をはじめ、工業系
分野においてはＩＣウエハや磁気ヘッドの検査、金属組
織等品質管理、新素材等の研究開発など種々の用途に用
いられる。顕微鏡のピント合わせ操作は、通常対物レン
ズと拡大観察の対象となる標本との相対的位置関係を調
節して行われ、ピント合わせ機構は対物レンズや標本を
載せるステージを焦準機構により対物レンズの光軸方向
に移動させて行う。

【０００３】最近の顕微鏡では，前記焦準機構をモータ
で電気駆動し、また、オートフォーカス（以下ＡＦ）セ
ンサを搭載し、該ＡＦセンサの画像情報を基に前記焦準
機構をモー夕で駆動することにより自動的にピント合わ
せを行う顕微鏡も開示されている。

【０００４】この種の顕微鏡の自動焦準方法は、電動ス
テージを可動範囲のほぼ全域にわたって移動させなが
ら、ＡＦセンサから得られる画像情報を基にして該電動
ステージを合焦位置まで移動させる方法であったため、
合焦動作時間が非常に長くなるという問題があった。

【０００５】この問題を解決するため、例えば、特公平
５−８７８０４号公報には、ＡＦセンサから得られる画
像情報を基にして電動ステージを合焦位置まで移動させ
るようにした顕微鏡用自動焦準方法において、特定の厚
さでその許容最大厚さに相当するスライドガラスの理論
的合焦に対応するステージの上面位置を合焦位置とし、
その合焦位置からさらに対物レンズよりも若干離れた位
置をステージの基準位置として設定し、予め設定された
前記基準位置からのステージの位置状態を検出する位置
検出手段を設け、合焦開始時のステージの初期位置で画
像情報が得られる場合は、そこで得られる画像情報に基
づいて合焦動作を行い、ステージの初期位置で画像情報
が得られない場合には、前記位置検出手段の検出信号に
基づいて一旦ステージを前記基準位置まで移動しこの基
準位置で画像に基づいて合焦動作を行い、前記ステージ
の基準位置で画像情報が得られない時には、ステージを
画像情報が得られる位置まで対物レンズによって決定さ
れる画像情報検出可能範囲の距離ずつ移動せしめ、そこ
で得られる画像情報に基づいて合焦動作を行うようにす
ることにより、合焦動作時間を大幅に短縮し得るように
した顕微鏡用自動焦点検出装置が開示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来技術の顕微鏡によ
れば、医学、生物学等の生物系分野て使用されるスライ
ドガラスのように許容最大厚さが既知であり、厚さが一
定しているような標本については一度標本の許容最大厚
さを入力しておけば、各種のスライドガラス標本を交換
しても常に合焦動作時間を短縮でき有効である。

【０００７】しかしながら、工業系分野で使用される金
属組織、鉱物、新素材等の標本は厚さがまちまちであ
り、標本を交換するたびに標本厚さを入力しなければ前
記効果は得られないばかりか、標本厚さを入力しなけれ
ば、厚さの厚い標本の場合、最悪対物レンズと標本とが
接触し、貴重な標本を破損してしまうおそれもある。

【０００８】また、従来技術の自動焦点検出装置の中に
は、対物レンズと標本との接触を防止するために、電動
焦準部のストローク（駆動範囲）を設定できるものもあ
るが、この操作は電動焦準部を使って一度標本にピント
合わせをする必要があり、操作が面倒であるばかりか、
操作を誤れば標本を破損してしまうおそれもある。さら
に、自動焦点検出を使用せずに手動または電動で焦準動
作を行う場合でも、操作を誤って標本と対物レンズを接
触させてしまうことがあり得る。

【０００９】そこで本発明は、以上従来技術で示した問
題点に鑑みなされたもので、簡単な操作で標本厚さがわ
かり、ステージと対物レンズが十分に離れた位置でステ
ージの上限位置設定を行うため、標本と対物レンズが接
触するおそれがない顕微鏡を提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１に対応する発明は、標本を載置するステー
ジを、電動機の回転力を利用して上下動可能で、かつ前
記標本のピント合せが可能な電動焦準機構を有する顕微
鏡において、結像光学系の光路中に移動可能に配設され
た視野絞りまたは指標を、前記標本上へピント合せ可能
にする移動手段と、前記視野絞りまたは指標の移動量を
検出する移動量検出手段と、前記ステージに標本を載置
しないときのステージ上面を基準とし、前記標本をステ
ージに載置したときの前記標本の上面に前記視野絞りま
たは指標を手動で移動させてピント合せしたときの前記
移動量検出手段で検出される検出値に基づいて前記標本
の厚さを算出する標本厚さ算出手段と、を具備している
顕微鏡である。

【００１１】前記目的を達成するため、請求項２に対応
する発明は、標本を載置するステージを、電動機の回転
力を利用して上下動可能で、かつ前記標本のピント合せ
が可能な電動焦準機構を有する顕微鏡において、結像光
学系の光路中に移動可能に配設された視野絞りまたは指
標を、前記標本上へピント合せ可能にする移動手段と、
前記視野絞りまたは指標の移動量を検出する移動量検出
手段と、前記ステージに標本を載置しないときのステー
ジ上面を基準とし、前記標本をステージに載置したとき
の前記標本の上面に前記視野絞りまたは指標を移動させ
てピント合せしたときの前記移動量検出手段で検出され
る検出値に基づいて前記標本の厚さを算出する標本厚さ
算出手段と、前記標本厚さ算出手段により算出した標本
の厚さに基づいて、対物レンズと前記標本との接触を回
避するための前記ステージの移動範囲の上限位置を算出
して設定する上限位置設定手段と、を具備している顕微
鏡である。

【００１２】請求項１または請求項２記載の発明によれ
ば、簡単な操作で標本厚さがわかり、ステージと対物レ
ンズが十分に離れた位置でステージの上限位置設定を行
うため、標本と対物レンズが接触するおそれがない顕微
鏡が可能となる。

【００１３】

【発明の実施の形態】

〔第１実施形態〕図１は本発明の第１実施形態で、顕微
鏡のステージ１には、標本２が載置されている。このス
テージ１は、モータドライバ３により矢印（イ）方向に
沿って上下方向へ移動自在となっている。この顕微鏡に
は、標本２を照明するための光学系、すなわち、光源４
から照射される照明光の光路上には、コレクタレンズ
５、リレーレンズ６、明るさ絞り７、視野絞り８及びリ
レーレンズ９、ハーフミラ−１０が配置されている。

【００１４】この光学系のうち視野絞り（ＦＳ）８は、
視野絞りコントローラ１１の操作により信号を視野絞り
ドライバ１３に送信し、視野絞りドライバ１３により、
矢印（ロ）方向に沿って光軸方向に移動自在となってい
る。視野絞りエンコーダ１２は、視野絞り８の位置をモ
ニター（検出）する機能を有する。

【００１５】ハーフミラ−１０の反射の方向、すなわち
ハーフミラ−１０により下方に向けられた照明光の光路
上には、対物レンズ１４が配置され、この対物レンズ１
４により標本２を照明するようになっている。標本２か
らの光束は再び対物レンズ１４、ハーフミラ−１０に入
射し、結像レンズ１５を介して接眼レンズ１６へ導くよ
うになっている。

【００１６】ステージ１の上下方向の移動は、焦準コン
トローラ１７の操作により信号をＣＰＵ１９へ送信し、
ＣＰＵ１９からの信号に基づき、モータドライバ３によ
りステージ１を移動させる。

【００１７】焦準エンコーダ１８はステッピングモータ
等のモータ自身又はＤＣモータにエンコーダを付属する
等からの信号を受けて、ステージ位置をモニター（検
出）している。ステージ基準ボタン２０は、モータドラ
イバ３によりステージ１を、図３に示すステージ基準位
置に移動させる。ステージ基準位置にはフォトセンサ等
の基準センサ２１が配置してあり、ステージ１が基準セ
ンサ２１の位置まで達すると基準センサ２１からＣＰＵ
１９に信号が送られ、ＣＰＵ１９からの信号に基づい
て、モータドライバ３を停止させるようになっている。
このステージ基準位置はステ一ジ１と対物レンズ１４が
十分離れた任意の位置とする。

【００１８】上限位置設定ボタン２２は、対物レンズ１
４と標本２との接触防止（標本破損防止）のための上限
位置を設定する。上限位置確認ボタン２３は、モータド
ライバ３によりに設定された上限位置までステージ１を
移動させる。

【００１９】表示装置２４は、モータドライバ３により
ステージ１が上限位置に達した時、ＣＰＵ１９より信号
が送信されることにより表示するようになっている。外
部コントローラ２５は、検鏡者が対物レンズ１４の倍率
等を入力することができる機能を有している。

【００２０】基準センサ２１の設置位置は、対物レンズ
標準ピント位置（例えば対物レンズ１４の取付位置から
４５ｍｍ）から一定距離であって対物レンズ１４から離
れる方向に機械的に決まった距離に設定してあり、その
対物レンズ標準ピント位置からステージ１の基準位置ま
での距離を基準ステージ距離とする。ステージ基準位置
は、視野絞り８が後述の基準視野絞り位置ａの時にステ
ージ１の上面に視野絞り像のピントが合う位置（外から
目視によりピント合せを行う）とし、基準センサ２１に
より決められる。

【００２１】標準の対物レンズ例えば倍率１０×の対物
レンズ１４を光路中に入れて、ステージ１の上面を標本
観察と同様に接眼レンズ１６で観察しながらステージ１
を移動させてピントを合わせ、この状態で視野絞り８を
移動してステージ１の上面にもピントを合わせ、この視
野絞り８の位置（図３の“ｃ”の位置）を標準視野絞り
位置として記憶装置２６に記憶する。

【００２２】更に、ステージ１を基準センサ２１の設置
位置すなわちステージ基準位置まで下げて、視野絞り８
を移動してステージ１の上面に横から目視により最もは
っきり見える即ちピントを合わせ、この視野絞り８の位
置を基準視野絞り位置（図３の“ａ”の位置）として記
憶装置２６に記憶する。以上は、実際の操作ステップ
（＃１〜）の準備段階で、出荷段階でも使用する前でも
よい。

【００２３】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて図２に示す動作手順を参照して説明する。ステッ
プ＃１において、ステージ基準ボタン２０を押し標本２
が載せられたステージ１を基準位置に移動させる。

【００２４】ステップ＃２において、標本の横から目視
により標本２上面に視野絞り像が標本２上面で最もはっ
きり見える、即ちピントが合うように視野絞りコントロ
ーラ１１の操作により、視野絞り８を移動させる（図３
の“ｂ”の位置）。

【００２５】ステップ＃３において、視野絞り８を移動
後に上限位置設定ボタン２２を押すと視野絞り８の位置
が視野絞りコントローラ１１または視野絞りエンコーダ
１２からＣＰＵ１９に送信され、ステージ１の上限位置
を算出する。

【００２６】図３は標本２の厚さを測定するための原理
を説明するための図である。

【００２７】鏡体の投影倍率（リレーレンズ９と対物レ
ンズ１４の視野絞りの標本側への投影倍率）Ｍと、視野
絞り８の移動量Ｘｆｓ（＝ｂ−ａ）より、標本２の厚さ
がわかる。これは、投影倍率Ｍと、視野絞り移動量Ｘfs
と、視野絞り像移動量Ｘobの間に、（１）式が成立する
からである。Ｘob＝（Ｍ²) ×（Ｘfs） …（１）故に、Ｘfs＝Ｘob／Ｍ²となる。

【００２８】視野絞り移動量Ｘfsは視野絞りエンコーダ
１２によりわかり、投影倍率Ｍは予め外部コントローラ
２５から入力された対物レンズ種別及び既知のリレーレ
ンズ９の焦点距離から求められるので、この（１）式に
より視野絞り像移動量Ｘob、即ち標本厚さが算出され
る。この標本厚さの算出は、ＣＰＵ１９により行われ
る。

【００２９】ステージ１に標本２が無いとき、対物レン
ズ１４のピント位置がステージ１の上面となる位置を標
準ピント位置とすると、標本２を載せたときのおおよそ
のピント位置は、｛（標準ピント位置）−（標本厚
さ）｝である。ここで、上方向を（＋）とする（以下全
て同様）。

【００３０】また、標本２と対物レンズ１４が接触する
位置は、｛（標準ピント位置）−（標本厚さ）＋（対物
レンズの作動距離ＷＤ）｝である。

【００３１】標本厚さを求めるときの視野絞り像ピント
合せの誤差を考え、ステージ上限位置は、例えば（標準
ピント位置）−（標本厚さ）＋（対物レンズのＷＤ／
２）｝と設定する。

【００３２】標準ピント位置又は基準ステージ距離は、
鏡体により決まっており、標本厚さは検鏡者が上記の手
順により求められるので、標本２と対物レンズ１４が十
分に離れた位置でステージ上限リミット位置を決めるこ
とができる。

【００３３】このとき、ステージ基準位置（基準センサ
位置）から上限リミット位置までは、（基準ステージ距離）−（標本厚さ）＋（ＷＤ／２）となる。

【００３４】このように基準視野絞り位置とステッブ＃
２で移動させた視野絞り８の位置の差（＝視野絞り移動
量）から、標本上に投影された視野絞り像の移動量、即
ち標本の厚さが算出できる。

【００３５】ステージ１の移動量は（図３の“ｚ”）、
次のようになる。

【００３６】〔基準ステージ距離〕−〔視野絞り像移動量＝標本厚さ〕＋〔Ａ〕 …（２）ここで〔Ａ〕：対物レンズの作動距離より小さな値前述
の説明では、Ａ＝（ＷＤ／２）としていることになる。

【００３７】となる。

【００３８】また、標本上面の上限位置は、結果として
〔対物レンズ標準ピント位置〕＋〔Ａ〕となる。

【００３９】ステップ＃４において、上限位置確認ボタ
ン２３を押すと、上式で算出された上限位置にステージ
１が移動するようにＣＰＵ１９からモータドライバ３に
信号が送られ、上限位置まで達するとＣＰＵ１９から信
号が送信され、表示装置２４が表示し、ステージ１は停
止する。

【００４０】ステップ＃５において、視野絞り８を通常
位置（標準視野絞り位置：図３の“ｃ”に戻すと、標本
２の観察を行うことができる。従って、簡単な操作で標
本厚さがわかり、ステージ１と対物レンズ１４が十分に
離れた位置でステージ１の上限設定を行うため、標本２
と対物レンズ１４が接触するおそれがない顕微鏡用焦準
機構が可能となる。

【００４１】モータドライバ３は、例えばステッピング
モータとそのドライバからなり、駆動パルスから焦準エ
ンコーダ１８にステージ位置を記憶する。焦準エンコー
ダ１８は焦準コントローラ１７内に設けたが、モータド
ライバ３に設けてもよく、ステージ位置が常時確認でき
ればよい。

【００４２】図３に示すように、標本厚さから標本２の
ピント面を対物レンズ１４の作動距離ＷＤ内に上限位置
確認ボタン２３で移動できるので、その後のピント合わ
せは標本を対物レンズ１４から離れる方向に移動するこ
とになり、標本２と対物レンズ１４が接触するおそれが
ない。

【００４３】また、自動焦点機構を備えてピント合わせ
を自動で行う場合、例えば本実施形態により設定される
上限位置に予めステージを移動させ、その後に自動焦点
検出動作を開始するようにすることにより、合焦点に近
い位置から焦点検出動作に入るようにできるため、標本
厚さが一定でない場合でも合焦動作時間を短縮すること
ができる。

【００４４】〔第２実施形態〕図４は本発明の第２実施
形態で、図１と同一部分には同符号を付している。顕微
鏡の光学系はモータドライバ３により、上下方向へ移動
可能なステージ１に載置された標本２を照明するため、
光源４で発生した照明光を、コレクタレンズ５、リレー
レンズ６、明るさ絞り７、視野絞り３０１、ハーフミラ
−３０２、リレーレンズ９を介して、ハーフミラ−１０
に入射し、ここでの反射により照明光からの光路を下方
へ向け、さらに対物レンズ１４に入射し、標本２を照明
するようにしている。標本２からの光束は再び対物レン
ズ１４、ハーフミラ−１０に入射し、結像レンズ１５を
介して接眼レンズ１６へ導かれる。

【００４５】一方、指標光源３０３を点灯させると、ハ
ーフミラ−３０２の反射により指標光路を左方へ向け、
リレーレンズ９、ハーフミラ−１０に入射し、ここでの
反射により指標光源からの光路を下方へ向け、さらに対
物レンズ１４に入射し、標本２を照明するようにしてい
る。ステージ１が基準位置付近の時に像が投影されるよ
うに指標板３０４を配置し、指標板エンコーダ３０６を
有する指標板コントローラ３０５の操作により、指標板
ドライバ３０７を介して矢印の方向に移動可能である。

【００４６】焦準コントローラ１７の操作により、信号
をＣＰＵ１９へ送信し、モータドライバ３は、ＣＰＵ１
９からの信号に基づいてステージ１を上下方向へ移動さ
せる。

【００４７】さらに、対物レンズ１４と標本２との接触
防止（標本破損防止）として、上限位置設定するために
ステージ１を基準位置（ステージ１と対物レンズ１４が
十分に離れた任意の位置）へ移動させるステージ基準ボ
タン２０、上限位置設定するための上限位置設定ボ夕ン
２２、設定された上限位置までステージ１を移動させる
上限位置確認ボタン２３、ステージ１が上限位置に達し
たことを表示する表示装置２４を配置されている。

【００４８】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて図６に示す動作手順を参照して説明する。ステップ
＃１´において、ステージ基準ボタン２０を押し、標本
２が載せられたステージ１を基準位置にステージ１を移
動させる。ステップ＃２´において、標本２上面に指標
像のピントが合うように、指標板コン卜ローラ３０５の
操作により、指標板３０４を移動させる。ステップ＃３
´において、指標板３０４を移動後に上限位置設定ボタ
ン２２を押すと、指標板３０４の位置が指標板コントロ
ーラ３０５からＣＰＵ１９に送信され、ステージ１の上
限位置を算出する。指標板３０４の位置より、標本２が
ない時（ステージ１上面に指標像のピントが合う位置、
この位置は標本２の厚さの影響がないので既知であ
る。）からの移動量がわかり標本２の厚さを算出するこ
とができる。標本厚さが算出されたら、この標本厚さを
基に第１の実施形態と同様にしてステージ上限位置が設
定される。

【００４９】ステップ＃４´において、上限位置確認ボ
タン２３を押すと、上式で算出された上限位置にステー
ジ１が移動するようにＣＰＵ１９からモータドライバ３
に信号が送られ上限位置まで達すると、表示装置２４が
表示され、ステージ１は停止する。

【００５０】このようにしても上述した第１実施形態と
同様な効果が得られる。

【００５１】〔第３実施形態〕図６は本発明の第３実施
形態で、図１と同一部分には同符号を付している。標本
２が透明な場合である。すなわち、指標光源３０３を点
灯させると、ハーフミラ−３０２の反射により指標光路
を左方へ向け、リレーレンズ９、ハーフミラ−１０に入
射し、ここでの反射により指標光源３０３からの光路を
下方へ向け、さらに対物レンズ１４に入射し、標本２を
照明するようにしている。

【００５２】ステージ１が基準位置付近の時に像が投影
されるように指標板３０４を配置し、指標板エンコーダ
３０６を有する指標板コントローラ３０５の操作によ
り、指標板ドライバ３０７を介して矢印の方向に移動可
能である。

【００５３】そして、光源２０１で発生した照明光を、
コレクタレンズ２０２、リレーレンズ２０３、視野絞り
２０４を介して反射鏡２０５に入射し、ここでの反射に
より照明光からの光路を上方へ向け、さらにリレーレン
ズ２０６、明るさ絞り２０７を介してコンデンサレンズ
２０８に入射し、このコンデンサレンズ２０８より標本
２を均一に照明するようにしている。

【００５４】標本２の上方には対物レンズ１４を対向配
置し、この対物レンズ１４に入射する標本からの光束
を、結像レンズ１５を介して接眼レンズ１６に導かれ
る。このようにしても上述した第１実施形態と同様な効
果が得られる。

【００５５】＜変形例＞本発明は以上述べた請求項に限
らず以下に述べる請求項も含むものである。

【００５６】標本を載置するステージを、電動機の回転
力を利用して上下動可能で、かつ前記標本のピント合せ
が可能な電動焦準機構を有する顕微鏡において、結像光
学系の光路中に移動可能に配設された視野絞りまたは指
標を、前記標本上へピント合せ可能にする移動手段と、
前記視野絞りまたは指標の移動量を検出する移動量検出
手段と、前記ステージに標本を載置しないときのステー
ジ上面を基準とし、前記標本をステージに載置したとき
の前記標本の上面に前記視野絞りまたは指標を手動で移
動させてピント合せしたときの前記移動量検出手段で検
出される検出値に基づいて前記標本の厚さを算出する標
本厚さ算出手段と、前記標本厚さ算出手段により算出し
た標本の厚さに基づいて、前記自動合焦機構による焦点
検出動作を開始するステージ位置を設定する焦点検出開
始位置設定手段とを備え、前記自動合焦機構は、ステー
ジを予め前記焦点検出開始位置設定手段により設定され
た位置に移動させた後に焦点検出動作を開始することを
特徴とする顕微鏡。

【００５７】この請求項によれば、ステージが予め焦点
検出開始位置に移動され、標本がピント位置付近にある
状態から焦点検出動作が開始されるので、標本厚さに関
係なく合焦時間が短縮される。

【００５８】前述の実施形態では、モータドライバ３と
焦準エンコーダ１８を別々に構成したものをあげたが、
焦準エンコーダ１８をモータドライバ３に一緒に組み込
むようにしてもよい。

【００５９】

【発明の効果】以上述べた本発明によれば、簡単な操作
で標本厚さがわかり、ステージと対物レンズが十分に離
れた位置でステージの上限位置設定を行うため、標本と
対物レンズが接触するおそれがない顕微鏡を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による顕微鏡の第１実施形態を説明する
ための概略構成図。

【図２】図１の実施形態の動作を説明するためのフロー
チャート。

【図３】図１の標本厚さを測定する原理を説明するため
の図。

【図４】本発明による顕微鏡の第２実施形態を説明する
ための概略構成図。

【図５】図４の実施形態の動作を説明するためのフロー
チャート。

【図６】本発明による顕微鏡の第３実施形態を説明する
ための概略構成図。

【符号の説明】

１…ステージ２…標本３…モータドライバ４…光源５…コレクタレンズ６…リレーレンズ７…明るさ絞り８…視野絞り９…リレーレンズ１０…ハーフミラ１１…視野絞りコントローラ１２…視野絞りエンコーダ１３…視野絞りドライバ１４…対物レンズ１５…結像レンズ１６…接眼レンズ１７…焦準コントローラ１８…焦準エンコーダ１９…ＣＰＵ２０…ステージ基準ボタン２１…基準センサ２２…上限位置設定ボタン２３…上限位置確認ボタン２４…表示装置２５…外部コントローラ２６…記憶装置３０１…視野絞り３０２…ハーフミラ３０３…指標光源３０４…指標板３０５…指標板コントローラ３０６…指標板エンコーダ３０７…指標板ドライバ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】標本を載置するステージを、電動機の回
転力を利用して上下動可能で、かつ前記標本のピント合
せが可能な電動焦準機構を有する顕微鏡において、結像光学系の光路中に移動可能に配設された視野絞りま
たは指標を、前記標本上へピント合せ可能にする移動手
段と、前記視野絞りまたは指標の移動量を検出する移動量検出
手段と、前記ステージに標本を載置しないときのステージ上面を
基準とし、前記標本をステージに載置したときの前記標
本の上面に前記視野絞りまたは指標を手動で移動させて
ピント合せしたときの前記移動量検出手段で検出される
検出値に基づいて前記標本の厚さを算出する標本厚さ算
出手段と、を具備している顕微鏡。
【請求項２】標本を載置するステージを、電動機の回
転力を利用して上下動可能で、かつ前記標本のピント合
せが可能な電動焦準機構を有する顕微鏡において、結像光学系の光路中に移動可能に配設された視野絞りま
たは指標を、前記標本上へピント合せ可能にする移動手
段と、前記視野絞りまたは指標の移動量を検出する移動量検出
手段と、前記ステージに標本を載置しないときのステージ上面を
基準とし、前記標本をステージに載置したときの前記標
本の上面に前記視野絞りまたは指標を移動させてピント
合せしたときの前記移動量検出手段で検出される検出値
に基づいて前記標本の厚さを算出する標本厚さ算出手段
と、前記標本厚さ算出手段により算出した標本の厚さに基づ
いて、対物レンズと前記標本との接触を回避するための
前記ステージの移動範囲の上限位置を算出して設定する
上限位置設定手段と、を具備している顕微鏡。