JPH10197225A - ３次元物体形状計測装置 - Google Patents
３次元物体形状計測装置Info
- Publication number
- JPH10197225A JPH10197225A JP9003892A JP389297A JPH10197225A JP H10197225 A JPH10197225 A JP H10197225A JP 9003892 A JP9003892 A JP 9003892A JP 389297 A JP389297 A JP 389297A JP H10197225 A JPH10197225 A JP H10197225A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- shape measuring
- dimensional
- pattern
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構成が簡易で、安全面を考慮に入れた３次元
物体形状計測装置を提供する。 【解決手段】 光源１から出射された光ビームは、コリ
メーティングレンズ２でコリメートされた後、２次元ス
キャナ３によって２次元的に走査され、ｆ・θレンズ４
によって物体５上に縞模様を描画する。物体５面上にで
きた縞模様は、ＴＶカメラ１０によって観測され、画像
処理装置１１に転送される。画像処理装置１１には、そ
れぞれの縞模様に対応する基準の縞状パタンが入力され
ており、物体面で変形した縞模様との間のモアレ縞を抽
出する。このモアレ縞を演算制御装置９によって解析す
ることによって、物体５の表面の等高線を求めることが
できる。方向とピッチの異なる縞模様を少なくとも２
回、物体に描画することによって、階段状の物体や任意
の大きさの物体の３次元形状を容易に計測する。
物体形状計測装置を提供する。 【解決手段】 光源１から出射された光ビームは、コリ
メーティングレンズ２でコリメートされた後、２次元ス
キャナ３によって２次元的に走査され、ｆ・θレンズ４
によって物体５上に縞模様を描画する。物体５面上にで
きた縞模様は、ＴＶカメラ１０によって観測され、画像
処理装置１１に転送される。画像処理装置１１には、そ
れぞれの縞模様に対応する基準の縞状パタンが入力され
ており、物体面で変形した縞模様との間のモアレ縞を抽
出する。このモアレ縞を演算制御装置９によって解析す
ることによって、物体５の表面の等高線を求めることが
できる。方向とピッチの異なる縞模様を少なくとも２
回、物体に描画することによって、階段状の物体や任意
の大きさの物体の３次元形状を容易に計測する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は形状計測装置に関
し、特に、モアレトポグラフィに代表されるような、縞
を利用した３次元物体形状計測装置に関する。
し、特に、モアレトポグラフィに代表されるような、縞
を利用した３次元物体形状計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、モアレトポグラフィと
は、物体面上に縞状パタンを投射し、物体の形状により
変形した縞模様と基準の縞模様とを重ね合わせ、それの
差周波数として生じる等高線を表わすモアレ縞を解析す
ることにより、物体の形状を測定する方法である。詳し
くは、例えば、雑誌「アプライド・オプティックス（Ap
lied Optics ）」、９巻、１９７０年、１６６７頁〜１
４７２頁に記載の論文「モアレ・トポグラフィ（Moire
Topography）」に述べられている。この方法には、図４
および図５に示す２つの型がある。
は、物体面上に縞状パタンを投射し、物体の形状により
変形した縞模様と基準の縞模様とを重ね合わせ、それの
差周波数として生じる等高線を表わすモアレ縞を解析す
ることにより、物体の形状を測定する方法である。詳し
くは、例えば、雑誌「アプライド・オプティックス（Ap
lied Optics ）」、９巻、１９７０年、１６６７頁〜１
４７２頁に記載の論文「モアレ・トポグラフィ（Moire
Topography）」に述べられている。この方法には、図４
および図５に示す２つの型がある。
【０００３】１つは、図４に示すように、物体２３の直
前に置いた格子２２を点光源２１によって照射する格子
照射型である。もう１つは、図５に示すように、格子２
４の像を物体面上に結像させる格子投影型である。両方
法を比較した場合、走査性において、後者の方に柔軟性
があり、応用範囲が広い。格子投影型モアレトポグラフ
ィについては、例えば雑誌「アプライド・オプティック
ス（Aplied Optics ）」、２２巻、１９８３年、８５０
頁〜８５５頁に記載の論文「自動３次元トポグラフィに
おける移動格子法を用いたモアレ投影法（Projection q
Morie with moving grating for autometed 3-D topog
raphy ）」に詳しく述べられている。
前に置いた格子２２を点光源２１によって照射する格子
照射型である。もう１つは、図５に示すように、格子２
４の像を物体面上に結像させる格子投影型である。両方
法を比較した場合、走査性において、後者の方に柔軟性
があり、応用範囲が広い。格子投影型モアレトポグラフ
ィについては、例えば雑誌「アプライド・オプティック
ス（Aplied Optics ）」、２２巻、１９８３年、８５０
頁〜８５５頁に記載の論文「自動３次元トポグラフィに
おける移動格子法を用いたモアレ投影法（Projection q
Morie with moving grating for autometed 3-D topog
raphy ）」に詳しく述べられている。
【０００４】上述した従来の３次元物体形状計測方法で
は、発生する格子の方向はいつも一定である。ところ
が、図２に示すような物体２３の形状を計測する場合に
は、物体が階段状になっている場所で、等高線モアレ縞
の次数を判断できなくなる。また、投影光学系と撮像系
によって、計測できる物体の大きさが決められている。
は、発生する格子の方向はいつも一定である。ところ
が、図２に示すような物体２３の形状を計測する場合に
は、物体が階段状になっている場所で、等高線モアレ縞
の次数を判断できなくなる。また、投影光学系と撮像系
によって、計測できる物体の大きさが決められている。
【０００５】これを解決するために、特開昭６１−２６
０１０７号公報（以下、先行技術文献と呼ぶ）には、縞
状パターンを縞の方向を変えて少なくとも２回被測定物
体に投影することにより、階段状の物体においても等高
線モアレ縞の次数を判断することを可能とした「３次元
計測方法および装置」が開示されている。この先行技術
文献では、ホログラフィックレーザスキャナの前置光学
系において、走査ビームが物体の面上で走査方向に収
束、副走査方向に発散する様に調整すれば、副走査方向
のビーム幅により、走査長として決められた長さを一面
に走査する。この時に、前置光学内部に光空間変調器を
置き、光透過率を０または１にすることにより、縞状の
パターンができる。これをスキャナで走査することによ
り、物体の面に縞模様を発生することができる。前述し
たように、モアレトポグラフィでは格子を用いて階段状
の物体に段差に平行な縞模様を投影すると、段差のある
位置で等高線が不連続となり、次数の判定ができなくな
る。しかし方向の異なる縞を少なくとも２回物体に投影
することにより、次数の判定が常に可能となり、物体の
形状を測定できる。
０１０７号公報（以下、先行技術文献と呼ぶ）には、縞
状パターンを縞の方向を変えて少なくとも２回被測定物
体に投影することにより、階段状の物体においても等高
線モアレ縞の次数を判断することを可能とした「３次元
計測方法および装置」が開示されている。この先行技術
文献では、ホログラフィックレーザスキャナの前置光学
系において、走査ビームが物体の面上で走査方向に収
束、副走査方向に発散する様に調整すれば、副走査方向
のビーム幅により、走査長として決められた長さを一面
に走査する。この時に、前置光学内部に光空間変調器を
置き、光透過率を０または１にすることにより、縞状の
パターンができる。これをスキャナで走査することによ
り、物体の面に縞模様を発生することができる。前述し
たように、モアレトポグラフィでは格子を用いて階段状
の物体に段差に平行な縞模様を投影すると、段差のある
位置で等高線が不連続となり、次数の判定ができなくな
る。しかし方向の異なる縞を少なくとも２回物体に投影
することにより、次数の判定が常に可能となり、物体の
形状を測定できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した先行技術で
は、光源から出射した光ビームを走査して物体面上に縞
模様のパタンを描画するためのスキャナ（走査手段）と
して、ホログラフィックレーザスキャナを採用してい
る。しかしながら、ホログラフィックレーザスキャナそ
れ自体は１次元スキャナであるため、物体面に縞模様を
発生するためには、ホログラフィックレーザスキャナの
前段に１次元光空間変調器を含む前置光学系を設ける必
要がある。従って、構成が複雑になるという欠点があ
る。また、光源として使用する半導体レーザとしては、
人間の目に対する安全面を考慮して選択するのが好まし
い。
は、光源から出射した光ビームを走査して物体面上に縞
模様のパタンを描画するためのスキャナ（走査手段）と
して、ホログラフィックレーザスキャナを採用してい
る。しかしながら、ホログラフィックレーザスキャナそ
れ自体は１次元スキャナであるため、物体面に縞模様を
発生するためには、ホログラフィックレーザスキャナの
前段に１次元光空間変調器を含む前置光学系を設ける必
要がある。従って、構成が複雑になるという欠点があ
る。また、光源として使用する半導体レーザとしては、
人間の目に対する安全面を考慮して選択するのが好まし
い。
【０００７】したがって、本発明の目的は、構成が簡易
な３次元物体形状計測装置を提供することにある。
な３次元物体形状計測装置を提供することにある。
【０００８】本発明の他の目的は、安全面を考慮に入れ
た３次元物体形状計測装置を提供することにある。
た３次元物体形状計測装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の３次元物体形状
計測装置は、光源と、前記光源から出射した光ビームを
２次元的に走査する走査手段と、前記走査手段によって
走査された光を集光するためのビーム集光手段と、物体
を撮像するための撮像手段と、前記撮像手段によって撮
像された画像を格納するための画像メモリを含み、画像
間の処理を行う画像処理手段と、を有することを特徴と
する。
計測装置は、光源と、前記光源から出射した光ビームを
２次元的に走査する走査手段と、前記走査手段によって
走査された光を集光するためのビーム集光手段と、物体
を撮像するための撮像手段と、前記撮像手段によって撮
像された画像を格納するための画像メモリを含み、画像
間の処理を行う画像処理手段と、を有することを特徴と
する。
【００１０】上記３次元物体形状計測装置において、前
記走査手段としては、例えば、ガルバノミラーを使用で
きる。また、前記光源から出射される光の波長は、１．
５５μｍ±０．１μｍであることが好ましい。さらに、
前記ビーム集光手段が、焦点距離可変のレンズから構成
されていることが望ましい。
記走査手段としては、例えば、ガルバノミラーを使用で
きる。また、前記光源から出射される光の波長は、１．
５５μｍ±０．１μｍであることが好ましい。さらに、
前記ビーム集光手段が、焦点距離可変のレンズから構成
されていることが望ましい。
【００１１】
【作用】ガルバノミラーに代表される２次元スキャナを
用いると、光源から出射した光ビームを２次元的に、自
由に走査することができる。この２次元スキャナを用い
て光ブームを走査することによって、物体上に任意のピ
ッチと方向とをもった縞模様のパタンを発生（描画）さ
せることができる。
用いると、光源から出射した光ビームを２次元的に、自
由に走査することができる。この２次元スキャナを用い
て光ブームを走査することによって、物体上に任意のピ
ッチと方向とをもった縞模様のパタンを発生（描画）さ
せることができる。
【００１２】モアレトポグラフィ法では、格子２２を用
いて、階段状の物体に図２に示すような方向の縞模様３
０を投影すると、段差のある位置で等高線が不連続とな
り、次数の判定ができなくなる。この際、図３に示すよ
うに、段差に平行でない縞３１を描画すると、等高線が
連続になるため、次数の判定が可能になる。また、描画
した縞模様のピッチによって、等高線の間隔が決まる。
大きな物体には荒い縞を、小さい物体や複雑な形状をも
つ物体には、細かい縞を描画することが望ましい。測定
前の段階では、段差の有無、段差の方向、物体の大きさ
などが不明である。しかしながら、方向の異なる比較的
荒い縞を、少なくとも２回物体に描画することにより、
それぞれの測定で等高線が不連続となる段差は、他の方
向の測定で段差にならない。また、物体の大きさや、複
雑な構造の有無を知ることもできる。この情報を元に、
縞模様のピッチや方向を変化させ、物体の詳細な形状を
測定することが可能である。
いて、階段状の物体に図２に示すような方向の縞模様３
０を投影すると、段差のある位置で等高線が不連続とな
り、次数の判定ができなくなる。この際、図３に示すよ
うに、段差に平行でない縞３１を描画すると、等高線が
連続になるため、次数の判定が可能になる。また、描画
した縞模様のピッチによって、等高線の間隔が決まる。
大きな物体には荒い縞を、小さい物体や複雑な形状をも
つ物体には、細かい縞を描画することが望ましい。測定
前の段階では、段差の有無、段差の方向、物体の大きさ
などが不明である。しかしながら、方向の異なる比較的
荒い縞を、少なくとも２回物体に描画することにより、
それぞれの測定で等高線が不連続となる段差は、他の方
向の測定で段差にならない。また、物体の大きさや、複
雑な構造の有無を知ることもできる。この情報を元に、
縞模様のピッチや方向を変化させ、物体の詳細な形状を
測定することが可能である。
【００１３】初めに行なう２回の測定では、第１回目の
測定において、例えば図２の方向の縞を物体に描画し、
第２回目の測定において、例えば図３のように、第１回
目の測定の締の方向から９０°異なる方向の縞を物体に
描画することで、一方の測定で不足している情報を、他
方で補うことができる。物体上で変形した縞模様は、画
像メモリ内部の計算機によって作製された仮想の縞模様
と重ね合わせ、画像演算によってノイズのないモアレ縞
を発生させることができる。このモアレ縞を解析して、
物体の形状を認識することができる。
測定において、例えば図２の方向の縞を物体に描画し、
第２回目の測定において、例えば図３のように、第１回
目の測定の締の方向から９０°異なる方向の縞を物体に
描画することで、一方の測定で不足している情報を、他
方で補うことができる。物体上で変形した縞模様は、画
像メモリ内部の計算機によって作製された仮想の縞模様
と重ね合わせ、画像演算によってノイズのないモアレ縞
を発生させることができる。このモアレ縞を解析して、
物体の形状を認識することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図１に本発明の一実
施の形態による３次元物体形状測定装置の構成を示す。
図示の３次元物体形状測定装置は、光源１と、コリメー
ティングレンズ２と、２次元スキャナ３と、ｆ・θレン
ズ４と、光源駆動装置６と、スキャナ制御装置７と、焦
点距離制御装置８と、演算制御装置９と、ＴＶカメラ１
０と、画像処理装置１１とを有する。
て図面を参照して詳細に説明する。図１に本発明の一実
施の形態による３次元物体形状測定装置の構成を示す。
図示の３次元物体形状測定装置は、光源１と、コリメー
ティングレンズ２と、２次元スキャナ３と、ｆ・θレン
ズ４と、光源駆動装置６と、スキャナ制御装置７と、焦
点距離制御装置８と、演算制御装置９と、ＴＶカメラ１
０と、画像処理装置１１とを有する。
【００１５】光源１は人間の目に対して安全な１．５５
μｍ帯の波長の光を発振する半導体レーザからなる。コ
リメーティングレンズ２は光源１から出射された光ビー
ムをコリメートする。２次元スキャナ３は例えばガルバ
ノミラーからなり、コリメーティングレンズ２でコリメ
ートされた光を２次元的に走査する。ｆ・θレンズ４は
焦点距離を変化させることができるレンズであって、２
次元スキャナ３で走査された光を集光して、物体５上に
縞模様を描画する。光源駆動装置６は光源１を駆動し、
スキャナ制御装置７は２次元スキャナ３を制御し、焦点
距離制御装置８はｆ・θレンズ４の焦点距離を変化させ
る。これら光源駆動装置６、スキャナ制御装置７および
焦点距離制御装置８はＧＰ−ＩＢ（general purpose in
terfacebus ）インタフェイスを有するファンクション
ジェネレータなどで構成できる。すなわち、光源駆動装
置６は光源１に印加する電圧でよって電源１のオン・オ
フを制御し、スキャナ制御装置７は２次元スキャナ３に
印加する電圧によって２次元スキャナ３を制御し、焦点
距離制御装置８はｆ・θレンズ４に印加する電圧によっ
て焦点距離を可変する。演算制御装置９はたとえばパー
ソナルコンピュータで構成され、光源駆動装置６、スキ
ャナ制御装置７および焦点距離制御装置８を制御する。
ＴＶカメラ１０は物体５上にできた縞模様のパタンを撮
像する。画像処理装置１１はＧＰ−ＩＢなどのインタフ
ェイス（図示せず）とＴＶカメラ１０によって撮像され
た画像を格納するための画像メモリ（図示せず）とを有
し、画像間の積算、加減算の機能をもつ。
μｍ帯の波長の光を発振する半導体レーザからなる。コ
リメーティングレンズ２は光源１から出射された光ビー
ムをコリメートする。２次元スキャナ３は例えばガルバ
ノミラーからなり、コリメーティングレンズ２でコリメ
ートされた光を２次元的に走査する。ｆ・θレンズ４は
焦点距離を変化させることができるレンズであって、２
次元スキャナ３で走査された光を集光して、物体５上に
縞模様を描画する。光源駆動装置６は光源１を駆動し、
スキャナ制御装置７は２次元スキャナ３を制御し、焦点
距離制御装置８はｆ・θレンズ４の焦点距離を変化させ
る。これら光源駆動装置６、スキャナ制御装置７および
焦点距離制御装置８はＧＰ−ＩＢ（general purpose in
terfacebus ）インタフェイスを有するファンクション
ジェネレータなどで構成できる。すなわち、光源駆動装
置６は光源１に印加する電圧でよって電源１のオン・オ
フを制御し、スキャナ制御装置７は２次元スキャナ３に
印加する電圧によって２次元スキャナ３を制御し、焦点
距離制御装置８はｆ・θレンズ４に印加する電圧によっ
て焦点距離を可変する。演算制御装置９はたとえばパー
ソナルコンピュータで構成され、光源駆動装置６、スキ
ャナ制御装置７および焦点距離制御装置８を制御する。
ＴＶカメラ１０は物体５上にできた縞模様のパタンを撮
像する。画像処理装置１１はＧＰ−ＩＢなどのインタフ
ェイス（図示せず）とＴＶカメラ１０によって撮像され
た画像を格納するための画像メモリ（図示せず）とを有
し、画像間の積算、加減算の機能をもつ。
【００１６】次に、図１に示した３次元物体形状測定装
置の動作について説明する。光源１から出射された光
は、コリメーティングレンズ２でコリメートされた後、
２次元スキャナ３によって２次元的に走査され、ｆ・θ
レンズ４によって物体５上に縞模様のパタンを描画す
る。物体５の面上にできた縞模様のパタンは、ＴＶカメ
ラ１０によって観測され、画像処理装置１１に転送され
る。画像処理装置１１には、あらかじめ演算制御装置９
により、それぞれの縞模様に対応する基準の縞状パタン
が入力されており、物体面で変形した縞模様との間のモ
アレ縞を抽出する。このモアレ縞を演算制御装置９によ
って解析することによって、物体５の表面の等高線を求
めることができる。
置の動作について説明する。光源１から出射された光
は、コリメーティングレンズ２でコリメートされた後、
２次元スキャナ３によって２次元的に走査され、ｆ・θ
レンズ４によって物体５上に縞模様のパタンを描画す
る。物体５の面上にできた縞模様のパタンは、ＴＶカメ
ラ１０によって観測され、画像処理装置１１に転送され
る。画像処理装置１１には、あらかじめ演算制御装置９
により、それぞれの縞模様に対応する基準の縞状パタン
が入力されており、物体面で変形した縞模様との間のモ
アレ縞を抽出する。このモアレ縞を演算制御装置９によ
って解析することによって、物体５の表面の等高線を求
めることができる。
【００１７】本発明は上述した実施形態に限定せず、本
発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の変更・変形が可
能である。
発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の変更・変形が可
能である。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、光源から
出射した光ビームを走査する走査手段として、例えばガ
ルバノミラーからなる２次元スキャナを用いているの
で、光ビームを２次元的に自由に走査することができ
る。すなわち、２次元スキャナを用いて光ビームを走査
することによって、物体上に任意のピッチと方向とをも
った縞模様のパタンを発生（描画）させることができ
る。また、走査手段が２次元スキャナなので、１次元ス
キャナよりも構成が簡易となる。さらに、方向とピッチ
の異なる縞模様のパタンを少なくとも２回、物体上に描
画すれば、階段状の物体や大きさを予測できなかった物
体においても、容易に３次元形状を計測することが可能
となる。
出射した光ビームを走査する走査手段として、例えばガ
ルバノミラーからなる２次元スキャナを用いているの
で、光ビームを２次元的に自由に走査することができ
る。すなわち、２次元スキャナを用いて光ビームを走査
することによって、物体上に任意のピッチと方向とをも
った縞模様のパタンを発生（描画）させることができ
る。また、走査手段が２次元スキャナなので、１次元ス
キャナよりも構成が簡易となる。さらに、方向とピッチ
の異なる縞模様のパタンを少なくとも２回、物体上に描
画すれば、階段状の物体や大きさを予測できなかった物
体においても、容易に３次元形状を計測することが可能
となる。
【図１】本発明の一実施の形態に係わる３次元物体形状
計測装置の構成を示すブロック図である。
計測装置の構成を示すブロック図である。
【図２】階段状物体における計測の不可能な格子の方向
例を示す図である。
例を示す図である。
【図３】階段状物体における計測の可能な格子の方向例
を示す図である。
を示す図である。
【図４】従来の格子照射型モアレトポグラフィを示す図
である。
である。
【図５】従来の格子投影型モアレトポグラフィを示す図
である。
である。
１ 光源 ２ コリメーティングレンズ ３ ２次元スキャナ ４ ｆ・θレンズ ５ 物体 ６ 光源駆動装置 ７ スキャナ制御装置 ８ 焦点距離制御装置 ９ 演算制御装置 １０ ＴＶカメラ １１ 画像処理装置
Claims (4)
- 【請求項１】 光源と、前記光源から出射した光ビーム
を２次元的に走査する走査手段と、前記走査手段によっ
て走査された光を集光するためのビーム集光手段と、物
体を撮像するための撮像手段と、前記撮像手段によって
撮像された画像を格納するための画像メモリを含み、画
像間の処理を行う画像処理手段と、を有することを特徴
とする３次元物体形状計測装置。 - 【請求項２】 前記走査手段がガルバノミラーである、
請求項１に記載の３次元物体形状計測装置。 - 【請求項３】 前記光源から出射される光の波長が、
１．５５μｍ±０．１μｍであることを特徴とする請求
項１に記載の３次元物体形状計測装置。 - 【請求項４】 前記ビーム集光手段が、焦点距離可変の
レンズから構成されている請求項１に記載の３次元物体
形状計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9003892A JP2939944B2 (ja) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | ３次元物体形状計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9003892A JP2939944B2 (ja) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | ３次元物体形状計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10197225A true JPH10197225A (ja) | 1998-07-31 |
| JP2939944B2 JP2939944B2 (ja) | 1999-08-25 |
Family
ID=11569846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9003892A Expired - Fee Related JP2939944B2 (ja) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | ３次元物体形状計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2939944B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000053779A (ko) * | 2000-04-10 | 2000-09-05 | 김성식 | 2차원 격자무늬를 이용한 3차원 형상측정시스템 |
| WO2002075245A1 (en) * | 2001-03-13 | 2002-09-26 | Solutionix Co., Ltd. | Apparatus and method for measuring three dimensional shape with multi-stripe patterns |
| KR100856466B1 (ko) | 2008-03-07 | 2008-09-04 | 에이티아이 주식회사 | 스케닝 모아레 측정장치 및 측정방법 |
-
1997
- 1997-01-13 JP JP9003892A patent/JP2939944B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000053779A (ko) * | 2000-04-10 | 2000-09-05 | 김성식 | 2차원 격자무늬를 이용한 3차원 형상측정시스템 |
| WO2002075245A1 (en) * | 2001-03-13 | 2002-09-26 | Solutionix Co., Ltd. | Apparatus and method for measuring three dimensional shape with multi-stripe patterns |
| US6914685B2 (en) | 2001-03-13 | 2005-07-05 | Solutionix Co., Ltd. | Apparatus and method for measuring the shape of a three dimensional object using projected multi-stripe patterns |
| KR100856466B1 (ko) | 2008-03-07 | 2008-09-04 | 에이티아이 주식회사 | 스케닝 모아레 측정장치 및 측정방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2939944B2 (ja) | 1999-08-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5621529A (en) | Apparatus and method for projecting laser pattern with reduced speckle noise | |
| US10809056B2 (en) | Structured light projector | |
| EP1266187B1 (en) | System for simultaneous projections of multiple phase-shifted patterns for the three-dimensional inspection of an object | |
| EP1643210B1 (en) | Method and apparatus for measuring shape of an object | |
| US6977732B2 (en) | Miniature three-dimensional contour scanner | |
| AU2004273957B2 (en) | High speed multiple line three-dimensional digitization | |
| JP7386185B2 (ja) | 共焦点カメラにおいて動的投影パターンを生成するための装置、方法、およびシステム | |
| DE112009001652T5 (de) | Mehrkanal-Erfassung | |
| JP2002213931A (ja) | ３次元形状計測装置および３次元形状計測方法 | |
| JP2006514739A5 (ja) | ||
| JP4718486B2 (ja) | 投影縞技法を用いた光学ナビゲーションのためのシステム及び方法 | |
| JP2001507133A (ja) | 高速３ｄイメージパラメータ表示装置および方法 | |
| JP2714152B2 (ja) | 物体形状測定方法 | |
| JP4024390B2 (ja) | 横形光学コヒーレンス断層写真法のための方法と配列 | |
| JP2005147715A (ja) | 迂曲面の光波干渉測定方法および迂曲面測定用の干渉計装置 | |
| JP2939944B2 (ja) | ３次元物体形状計測装置 | |
| JPH06249624A (ja) | ３次元表面形状測定装置 | |
| JP2006308452A (ja) | ３次元形状計測方法および装置 | |
| JPS61260108A (ja) | ３次元計測方法 | |
| JPH07218226A (ja) | 表面形状３次元計測装置 | |
| JPS61260107A (ja) | ３次元計測方法および装置 | |
| JPH0719824A (ja) | 形状計測装置 | |
| JP2005147870A (ja) | 迂曲面の光波干渉測定方法および迂曲面測定用の干渉計装置 | |
| JPS6395305A (ja) | モアレトポグラフイカメラ | |
| JP2751570B2 (ja) | 測距装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990519 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080618 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090618 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100618 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |