JPH10195610A - 結晶方位の制御されたfcc金属及びその製造方法 - Google Patents
結晶方位の制御されたfcc金属及びその製造方法Info
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- JPH10195610A JPH10195610A JP35817296A JP35817296A JPH10195610A JP H10195610 A JPH10195610 A JP H10195610A JP 35817296 A JP35817296 A JP 35817296A JP 35817296 A JP35817296 A JP 35817296A JP H10195610 A JPH10195610 A JP H10195610A
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Abstract
に制御されているほか、スパッタリングターゲット用材
料要求される諸特性兼備したFCC金属およびその製造
法の提供。 【解決手段】 スパッタリングターゲット用FCC金属
は指向性の確保が重視されるときは特に結晶方位が(1
10)優先方位を有していることが要求される。これら
FCC金属の中ではCuマトリックスを有するものがエ
レクトロマイグレーション性に優れ、Cuの純度は6N
以上が好ましいこと、また膜の均一性の点から平均粒径
は200μm以下がよいことが判明するとともに、この
ような(110)優先方位からなるFCC金属を製造す
るためには、最終熱処理は再結晶をともなわない歪み取
り焼鈍を施す必要があり、最終加工にはクロス圧延を施
すことが必要であり、特定の最終前加熱処理も必要であ
る等の製造条件が解明されている。
Description
材料等として好適な結晶方位の制御されたFCC金属及
びその製造法に関するものである。
ない、各種スパッタリングターゲット材料用についても
その使用量が増大するとともに、特性面でもより高特性
が望まれている。例えば、基板ウエハー上でのスパッタ
配線用材料として使用されるFCC金属においても以下
のような特性が要求されている。 (1) 結晶方位において(110)優先方位を有して
いること:スパッタリングを施されるFCC金属におい
ては指向性を確保するために、(110)優先方位を有
していることが望まれる場合がある。 (2) エレクトロマイグレーションに優れること:ス
パッタにより形成された基板ウエハー上での配線におい
ては配線幅の微細化により断線現象の一種であるエレク
トロマイグレーションが問題となっている。ここでこの
現象は、膜の組成に大きく影響されることが確認されて
いるので膜の組成をほぼ一義的に決定するスパッタリン
グターゲット用材料についてもエレクトロマイグレーシ
ョン性に優れていることが望まれる。 (3) 不純物が少ないこと:スパッタリング膜の配線
信頼性は膜の微細構造の影響を強く受けるが、この膜の
微細構造はガス成分を含めた不純物の影響が大きいこと
がわかっている。そこで、スパッタリングターゲット用
材料としても所定の成分以外の不純物が少ないことが望
まれる。 (4) 平均結晶粒径が細かいこと:スパッタリングレ
ート及びスパッタリング膜の均一性の向上のため、スパ
ッタリングターゲット用材料は平均結晶粒径が微細であ
ることが望まれている。スパッタリングターゲット用材
料としては以上のような諸特性が要求されている。
ッタ配線用材料としては従来、Al等が用いられてきた
が、要求される諸特性を十分に満たしているものではな
かった。したがって本発明の目的は、結晶方位が制御さ
れているほか、スパッタリングターゲット用材料に要求
される諸特性を兼備したFCC金属およびその製造方法
を提供することにある。
グターゲット用材料等に要求される上記のような諸特性
を兼備したFCC金属、特に各種スパッタリング特性を
向上させるためにその結晶方位の制御されたFCC金属
を開発すべく、鋭意研究の結果開発されたものであっ
て、下記のFCC金属及びその製造法を提供するもので
ある。
測定される結晶の(111)面の積分強度I(111) に対
する(220)面の積分強度I(220) の比が、式: I(220) /I(111) ≧2.0 の関係を満たす比の値を有していることを特徴とする
(110)優先方位を持つFCC金属;第2に上記FC
C金属がCuマトリックスを有することを特徴とする前
記第1記載のFCC金属;第3に上記Cuの純度が6N
以上であることを特徴とする前記第2記載のFCC金
属;第4に平均結晶粒径が200μm以下であることを
特徴とする前記第2記載のFCC金属;第5に純度6N
以上のCuマトリックスを有し、その平均結晶粒径が2
00μm以下であり、かつX線回折における(111)
面の積分強度I(111) に対する(220)面の積分強度
I(220)の比が、式: I(220) /I(111) ≧2.0 の関係を満たす比の値を有していることを特徴とする
(110)優先方位を持つFCC金属;第6に(11
0)優先方位を持つFCC金属製造方法であって、1パ
スの圧延ごとに15°以上圧延軸をずらせながら圧延
し、合計で90°以上圧延軸をずらせた、クロス圧延を
合計圧下率で20%以上施した後再結晶を伴わない歪み
取り焼鈍を施すことにより、X線回折法で測定される結
晶の(111)面の積分強度I(111) に対する(22
0)面の積分強度I(220) の比が、式:I(220) /I
(111) ≧2.0の関係を満たす比の値を有していること
を特徴とする(110)優先方位を持つFCC金属の製
造方法;第7にCuマトリックスを有する(110)優
先方位を持つFCC金属製造方法であって、1パスの圧
延ごとに15°以上圧延軸をずらせながら圧延し、合計
で90°以上圧延軸をずらせたクロス圧延を合計圧下率
で20%以上施した後348〜473Kで300〜36
000secの熱処理を行うことを特徴とした前記第6
記載のFCC金属の製造方法;第8にCuの純度が6N
以上である(110)優先方位を持つことを特徴とする
前記第7記載のFCC金属の製造方法;第9に平均結晶
粒径が200μm以下の(110)優先方位を持つFC
C金属製造方法であって、623〜873Kで加工率2
0%以上の熱間加工を施し、さらに加工率10%以上の
冷間加工と493〜823Kで60〜7200secの
熱処理を少なくとも2回以上繰り返し行い、かつ、1パ
スの圧延ごとに15°以上圧延軸をずらせながら圧延
し、合計で90°以上圧延軸をずらせたクロス圧延を合
計圧下率で20%以上施した後348〜473Kで30
0〜36000secの熱処理を行うことを特徴とした
前記第6記載のFCC金属の製造方法;第10に前記第
1〜第5のいずれかに記載の(110)優先方位FCC
金属からなるターゲット用素材;第11に前記第6〜第
9のいずれかの方法で製造された(110)優先方位F
CC金属からなるターゲット用素材をそれぞれ提供する
ものである。
切な加工熱処理を施し、その結晶方位を制御することに
よりスパッタリングターゲット用材料等として好適なF
CC金属を提供し得たことに基本的な特徴がある。次
に、本発明に係るFCC金属及びその製造方法を上記の
通りに限定した理由について説明する。
保するために、スパッタリングターゲット用FCC金属
において(110)優先方位を有することが望まれる場
合がある、その評価としてはX線回折における(11
1)面と(220)面の積分強度の比が用いられる。す
なわち(111)面の積分強度I(111) に対する(22
0)面の積分強度I(220) の比:I(220) /I(111) の
比の値が、2.0より小さいと(110)優先方位とは
言い難く、スパッタリングにおける指向性も劣化する。
そこで、X線回折における(111)面と(220)面
の積分強度の比がI(220) /I(111) ≧2.0となるよ
うにすることを判定基準として熱処理の方法を工夫した
ところ、この基準を満たすものは良好な(110)優先
方位を有するFCC金属であることが認められた。これ
は、X線回折法で結晶面の積分強度を測定するとき、
(111)面、(200)面および(220)面の積分
強度が最も強く現れるが、特に方位制御しない場合、各
方位の積分強度I(111) :I(200) :I(220) の比は通
常100:46:20となることに基づいている。すな
わち、I(220) /I(111) の比が通常の場合の10倍以
上となるように方位制御する熱処理条件について研究し
たのである。
Cuマトリックスを有するものがエレクトロマイグレー
ションに優れている。従って、上記FCC金属はCuマ
トリックスを有するものであることが好ましい。
きく影響を与えるが、その純度が6Nより劣化するとス
パッタリング膜の結晶性が劣化しエレクトロマイグレー
ション特性等にも悪影響を及ぼす。従って、上記Cuマ
トリックス純度は6N以上であることが望ましい。
と、スパッタリングレート、膜の均一性等が劣化してく
る。この現象は特に平均結晶粒径が200μmより大き
くなると顕著である。従って、平均結晶粒径は200μ
m以下であることが好ましい。
には、再結晶を伴なわないいわゆる歪み取り焼鈍を施す
必要がある。特にマトリックスがCuからなる場合には
熱処理温度が348K未満あるいは熱処理時間が300
sec未満では歪み取りが十分ではなく、熱処理温度が
473Kより高くあるいは熱処理時間が36000se
cを越えると経済的に不利になるばかりでなく再結晶も
生じてしまう。従って、熱処理条件は348〜473K
で300〜36000secとした。
には、クロス圧延を施す必要がある。ここで圧延軸のず
れを合計で90°未満とし、あるいは合計圧下率を20
%未満とすると、(110)面の集積度が弱くなってし
まう。また、1パス圧延ごとの圧延軸のずれを15%未
満とすると全体のパス回数が増え経済的に不利となる。
従って最終加工は、1パスの圧延ごとに15°以上圧延
軸をずらせながら圧延し、合計で90°以上圧延軸をず
らせた、いわゆるクロス圧延を合計圧下率で20%以上
施すこととした。
ては623〜873Kで加工率20%以上の熱間加工を
施し、さらに加工率10%以上の冷間加工と493〜8
23Kで60〜7200secの熱処理を少なくとも2
回以上繰り返し行う必要がある。これらの条件を外れる
といずれも最終組織は混粒となり、かつ平均結晶粒径を
200μm以下に制御することは、最終加工熱処理をい
かに行うとも困難である。以上のように結晶方位の制御
されたFCC金属は各種電気電子部品用材料として使用
されるのはもちろんのこと、各種スパッタリングターゲ
ット用素材として好適な材料である。次に本発明を実施
例により詳細に説明する。以下に示す製造方法によりス
パッタリングターゲット用材料を製造し、特性調査を行
った。
銅を用い723K熱間クロス圧延にて320×320×
42t mmに加工した。この時の合計圧下率は約30%
である。得られた熱延板の上下面を1mmずつ切削加工
を施し、320×320×40t mmに加工した。得ら
れた切削板を用い冷間一方向圧延にて380×320×
34t mmに加工した。この時の合計圧下率は約15%
である。得られた冷延板を用い673Kで3600se
cの熱処理を行った。得られた熱処理板を用い、一工程
前の冷間圧延とは圧延軸を90°ずらせて冷間一方向圧
延を行い380×380×29t mmに加工した。この
時の合計圧下率は約15%である。得られた冷延板を用
い673Kで3600secの熱処理を行った。得られ
た熱処理板を用い、冷間クロス圧延にて450×450
×20t mmに加工した。このとき1パスごとに90°
圧延軸を回転させて圧延しており、合計圧下率は約30
%である。得られた冷延板を用い373Kで3600s
ecの熱処理を行った。得られた熱処理板より切削加工
により、直径400φmm×15t mmのスパッタリン
グターゲット用材料を得た。
銅を用い723K熱間クロス圧延にて320×320×
42t mmに加工した。この時の合計圧下率は約30%
である。得られた熱延板の上下面を1mmずつ切削加工
を施し、320×320×40t mmに加工した。得ら
れた切削板を用い冷間一方向圧延にて380×320×
34t mmに加工した。この時の合計圧下率は約15%
である。得られた冷延板を用い673Kで3600se
cの熱処理を行った。得られた熱処理板を用い、一工程
前の冷間圧延とは圧延軸を90°ずらせて冷間一方向圧
延を行い380×380×29t mmに加工した。この
時の合計圧下率は約15%である。得られた冷延板を用
い673Kで3600secの熱処理を行った。得られ
た熱処理板を用い、冷間クロス圧延にて450×450
×20t mmに加工した。この時1パスごとに90°圧
延軸を回転させて圧延しており、合計圧下率は約30%
である。得られた冷延板を用い373Kで3600se
cの熱処理を行った。得られた熱処理板より切削加工に
より、直径400φmm×15t mmのスパッタリング
ターゲット用材料を得た。
銅を用い冷間一方向圧延にて380×265×42t m
mに加工した。この時の合計圧下率は約30%である。
得られた冷延板を用い、一工程前の冷間圧延とは圧延軸
を90°ずらせて冷間一方向圧延を行い380×320
×29t mmに加工した。この時の合計圧下率は約30
%である。得られた冷延板を用い673Kで3600s
ecの熱処理を行った。得られた熱処理板を用い、冷間
クロス圧延にて450×450×20t mmに加工し
た。この時1パスごとに90°圧延軸を回転させて圧延
しており、合計圧下率は約30%である。得られた冷延
板を用い373Kで3600secの熱処理を行った。
得られた熱処理板より切削加工により、直径400φm
m×15t mmのスパッタリングターゲット用材料を得
た。
銅を用い723K熱間クロス圧延にて320×320×
42t mmに加工した。この時の合計圧下率は約30%
である。得られた熱延板の上下面を1mmずつ切削加工
を施し、320×320×40t mmに加工した。得ら
れた切削板を用い冷間一方向圧延にて380×320×
34t mmに加工した。この時の合計圧下率は約15%
である。得られた冷延板を用い673Kで3600se
cの熱処理を行った。得られた熱処理板を用い、一工程
前の冷間圧延とは圧延軸を90°ずらせて冷間一方向圧
延を行い380×380×29t mmに加工した。この
時の合計圧下率は約15%である。得られた冷延板を用
い673Kで3600secの熱処理を行った。得られ
た熱処理板を用い、冷間一方向圧延にて450×380
×24t mmに加工した。この時合計圧下率は約17%
である。得られた冷延板を用い623Kで1200se
cの熱処理を行った。得られた熱処理板を用い、一工程
前の冷間圧延とは圧延軸を90°ずらせて冷間一方向圧
延を行い450×450×20t mmに加工した。この
時の合計圧下率は約15%である。得られた冷延板を用
い373Kで3600secの熱処理を行った。得られ
た熱処理板より切削加工により、直径400φmm×1
5t mmのスパッタリングターゲット用材料を得た。得
られたスパッタリングターゲット用材料について、純
度、結晶粒径、結晶方位について測定を行った。その結
果を表1に示す。
ターゲット用高純度銅と現在基板ウエハー上のスパッタ
配線材料として使用されているAlターゲットにて製造
した膜についてBEM(breakdown energy of metals)
法によりエレクロトマイグレーション評価の平均故障エ
ネルギー(MEF=mdeian energy to fail )を求めた
その結果を表2に示す。
スパッタリングターゲット用高純度銅は現在基板ウエハ
ー上のスパッタ配線材料として使用されているAlター
ゲットに比べてエレクトロマイグレーション特性に優れ
ており、また、純度、結晶方位、結晶粒度も最適であ
り、スパッタリングターゲット用材料として極めて優れ
ていることは明らかである。
明に係るFCC金属は適切な純度、結晶方位、結晶粒度
を有しており、各種用途に使用できることはもちろんで
あるが、特にスパッタリングターゲット用材料として使
用する時には、スパッタリングレート、膜の均一性、指
向性に優れ、製造した膜のエレクトロマイグレーション
性にも優れているものである。さらに、本発明では、そ
の適切な製造法も示したものである。
Claims (11)
- 【請求項1】 X線回折法で測定される結晶の(11
1)面の積分強度I(111) に対する(220)面の積分
強度I(220) の比が、式: I(220) /I(111) ≧2.0 の関係を満たす比の値を有していることを特徴とする
(110)優先方位を持つFCC金属。 - 【請求項2】 上記FCC金属がCuマトリックスを有
することを特徴とする請求項1記載のFCC金属。 - 【請求項3】 上記Cuの純度が6N以上であることを
特徴とする請求項2記載のFCC金属。 - 【請求項4】 平均結晶粒径が200μm以下であるこ
とを特徴とする請求項2記載のFCC金属。 - 【請求項5】 純度6N以上のCuマトリックスを有
し、その平均結晶粒径が200μm以下であり、かつX
線回折における(111)面の積分強度I(111) に対す
る(220)面の積分強度I(220) の比が、式: I(220) /I(111) ≧2.0 の関係を満たす比の値を有していることを特徴とする
(110)優先方位を持つFCC金属。 - 【請求項6】 (110)優先方位を持つFCC金属の
製造方法であって、1パスの圧延ごとに15°以上圧延
軸をずらせながら圧延し、合計で90°以上圧延軸をず
らせた、クロス圧延を合計圧下率で20%以上施した後
再結晶を伴わない歪み取り焼鈍を施すことにより、X線
回折法で測定される結晶の(111)面の積分強度I
(111) に対する(220)面の積分強度I(220) の比
が、式:I(220) /I(111) ≧2.0の関係を満たす比
の値を有していることを特徴とする(110)優先方位
を持つFCC金属の製造方法。 - 【請求項7】 Cuマトリックスを有する(110)優
先方位を持つFCC金属製造方法であって、1パスの圧
延ごとに15°以上圧延軸をずらせながら圧延し、合計
で90°以上圧延軸をずらせたクロス圧延を合計圧下率
で20%以上施した後348〜473Kで300〜36
000secの熱処理を行うことを特徴とした請求項6
記載のFCC金属の製造方法。 - 【請求項8】 Cuの純度が6N以上である(110)
優先方位を持つことを特徴とする請求項7記載のFCC
金属の製造方法。 - 【請求項9】 平均結晶粒径が200μm以下の(11
0)優先方位を持つFCC金属の製造方法であって、6
23〜873Kで加工率20%以上の熱間加工を施し、
さらに加工率10%以上の冷間加工と493〜823K
で60〜7200secの熱処理を少なくとも2回以上
繰り返し行い、かつ、1パスの圧延ごとに15°以上圧
延軸をずらせながら圧延し、合計で90°以上圧延軸を
ずらせたクロス圧延を合計圧下率で20%以上施した後
348〜473Kで300〜36000secの熱処理
を行うことを特徴とした請求項6記載のFCC金属の製
造方法。 - 【請求項10】 請求項1〜5のいずれかに記載の(1
10)優先方位FCC金属からなるターゲット用素材。 - 【請求項11】 請求項6〜9のいずれかの方法で製造
された(110)優先方位FCC金属からなるターゲッ
ト用素材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35817296A JPH10195610A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 結晶方位の制御されたfcc金属及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35817296A JPH10195610A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 結晶方位の制御されたfcc金属及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10195610A true JPH10195610A (ja) | 1998-07-28 |
Family
ID=18457920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35817296A Pending JPH10195610A (ja) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | 結晶方位の制御されたfcc金属及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10195610A (ja) |
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- 1996-12-27 JP JP35817296A patent/JPH10195610A/ja active Pending
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