JPH0942593A

JPH0942593A - トラップ

Info

Publication number: JPH0942593A
Application number: JP21521595A
Authority: JP
Inventors: Mitsuru Yahagi; 充矢作; Tatsuya Miura; 辰也三浦; Koji Shibayama; 浩司柴山; Kentaro Shimozaka; 健太郎下坂
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 1995-07-31
Filing date: 1995-07-31
Publication date: 1997-02-14

Abstract

(57)【要約】［課題］被凝縮ガスの凝縮物が内部に偏りなく固着す
るトラップを提供すること。［解決手段］ハウジング１１の底面に立てたセンター
シャフト１５に対して、それぞれ複数個のスペーサ１６
を介在させて凝縮板１７₁ 、１７₂ 、…、１７₉を取り
付ける。この時、ガス導入口１２からガス導出口１４に
至る間において、凝縮板１７の取り付け間隔を漸減さ
せ、かつ各凝縮板１７とハウジング１１の内壁との間に
形成される流路部分１８₁ 、１８₂ 、…、１８₉ の開口
面積を漸減させる。更にはガス導入口１２の近傍に冷却
ガス導入口２１を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は真空排気ラインに使用さ
れる凝縮ガスのトラップに関するものであり、更に詳し
くは、凝縮物が内部全体に偏りなく形成されるトラップ
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術及びその問題点】半導体製造プロセスのう
ち、例えばＳｉＨ₂ Ｃｌ₂ （ジクロロシラン）とＮＨ₃
（アンモニア）とを原料ガスとして減圧ＣＶＤでＳｉＮ
ｘ（窒化シリコン）膜を形成させる場合に副生するＮＨ
₄ Ｃｌ（塩化アンモニウム）ガスや、Ａｌ（アルミニウ
ム）膜を、Ｃｌを含むエッチングガスによって反応性イ
オンエッチングする場合に副生するＡｌＣｌ₃ （塩化ア
ルミニウム）ガスは何れも常温・常圧またはその近辺で
固化する性質を持っている。図１０は塩化アルミニウム
の蒸気圧曲線Ｓを示すが、蒸気圧曲線Ｓの右側、例えば
塩化アルミニウムはＡ点（３００℃、１０² Ｐａ）で生
成するとして生成時点では気相状態にあるが、これを外
部へ導く過程において蒸気圧曲線Ｓの左側、例えば常温
・常圧に近いＢ点（５０℃、１０⁵ Ｐａ）においては固
相状態となる。

【０００３】反応性イオンエッチングで副生される塩化
アルミニウム・ガスは通常は真空ポンプで排気され排ガ
ス処理設備へ送られるが、排ガス処理設備に至るまでの
真空ポンプを含む排気ラインの途中で温度が低下し固化
して排気ラインを閉塞させ易い。真空ポンプとして油類
を使用する一般的な真空ポンプに代え、油類を使用せ
ず、かつ塩化アルミニウム・ガスの温度を低下させない
ように工夫したドライ真空ポンプを使用することによっ
て、真空ポンプ内での固化閉塞を防ぎ得るが、なお、真
空ポンプ以降の排気ラインでの固化閉塞の問題は残る。

【０００４】従って、真空ポンプ、特に上記ドライ真空
ポンプの後段にトラップを設けて塩化アルミニウム・ガ
スを凝縮固化させ分離せんとする試みがある。図１１は
従来例のトラップ８０の縦断面図である。すなわち、有
底円筒状のハウジング８１の底面にガス導入口８２が設
けられ、上方の開口部にはガス導出口８４を設けた端面
板８３が気密に取り付けられている。また、底面に固定
したセンターシャフト８５には９枚の凝縮板８７が等間
隔に、かつ一端をハウジング８１に接し、他端とハウジ
ング８１の内壁との間に形成されるガスの流路部分８８
を交互に反対側になるように取り付けられており、ガス
はトラップ８０内を矢印で示すようにジグザグ状に流れ
上昇するようになっている。また、ハウジング８１の外
周には冷却水ジャケット８９が取り付けられており、ハ
ウジング８１の内壁、および凝縮板８７を冷却するよう
になっている。

【０００５】このトラップ８０を例えば塩化アルミニウ
ム・ガスの排気ラインに設置した場合、ガス導入口８２
からトラップ８０内に入ったガスは凝縮板８７およびハ
ウジング８１の内壁に衝突して冷却され固化するが、こ
の固化はガス導入口８２に最も近い凝縮板８７、および
ハウジング８１の内壁において集中的に発生して固着物
Ｃを生じる。図１１はその固着物Ｃの発生状況も示して
いる。そして、トラップ８０内が固着物Ｃで閉塞された
時点でトラップ８０は寿命となるので運転を停止し塩化
アルミニウムの固着物Ｃを取り出すことになるが、回収
できる固体の塩化アルミニウムの量はトラップ８０の容
積に比して極めて少量であり、寿命に至る迄の時間が予
定したより遥かに短いという問題がある。

【０００６】また、塩化アルミニウム・ガスが粘性流領
域にあって流速が大の場合には、凝縮板８７やハウジン
グ８１の内壁に衝突することなく素通りするガスを生じ
る。これに対処するために、凝縮板８７の面積を大にす
るとトラップ８０が大型化し、凝縮板８７の取り付け間
隔を狭くすると閉塞され易くなってトラップ８０の寿命
が一層短くなるという問題もある。

【０００７】

【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされ、常温・常圧またはその近辺で固化また
は液化され易い凝縮ガスによって閉塞され難く、かつ凝
縮ガスを素通りさせることのないトラップを提供するこ
とを目的とする。

【０００８】

【問題点を解決するための手段】以上の目的は、真空ポ
ンプの前段、後段の何れか又は両段に設置され、ハウジ
ング内に排気ガスの流路を形成して凝縮ガスを回収する
単数または複数の凝縮板が取り付けられているトラップ
において、前記ハウジングに設けたガス導入口からガス
導出口に至る間の前記流路の抵抗が傾向的に漸増されて
いることを特徴とするトラップ、によって達成される。

【０００９】

【作用】トラップ内のガスの流路抵抗をガス導入口から
ガス導出口に至る間で傾向的に漸増させているので、凝
縮ガスはトラップ内において均等に凝縮され、固着物が
トラップ内に偏りなく形成される。また、ガス導出口近
傍では流路抵抗が大きいので、凝縮ガスの素通りが抑制
される。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の実施例によるトラップについ
て図面を参照して説明する。

【００１１】図１は半導体製造プロセスにおいて副生す
る塩化アルミニウム・ガスを凝縮させるためのトラップ
１０の縦断面図であり、このトラップ１０は塩化アルミ
ニウム・ガスの温度を低下させず内部で凝縮固化させる
ことなく排気するドライ真空ポンプの後段に設置され
る。また、図２は図１における［２］−［２］線方向の
断面図である。すなわち、トラップ１０は有底円筒状の
ハウジング１１の底面にガス導入口１２が設けられ、上
方の開口部にはガス導出口１４を設けた端面板１３が気
密に取り付けられている。ハウジング１１内において、
底面に固定したセンターシャフト１５にそれぞれ所定の
個数のスペーサ１６を介在させて９枚の凝縮板、１７
₁ 、１７₂ 、１７₃ 、…、１７₉ がガス導入口１２側か
ら順に取り付けられており、センターシャフト１５の頂
部においてナット１９を螺着し緊締させている。なお、
凝縮板１７₁ の直下にもナット１９が挿入螺着されてい
る。

【００１２】上記において、ハウジング１１の底面から
上方の端面板１３までの間で、ハウジング１１の底面と
凝縮板１７₁ との間はスペーサ１６が約１１個分の間
隔、凝縮板１７₁ と凝縮板１７₂ との間はスペーサ１６
が８個分の間隔、凝縮板１７₂と凝縮板１７₃ との間は
スペーサ１６が３個、凝縮板１７₃ から凝縮板１７₇ ま
での間はそれぞれスペーサ１６が２個、凝縮板１７₇ か
ら凝縮板１７₉ までの間はそれぞれスペーサ１６が１
個、凝縮板１７₉ と端面板１３との間はスペーサ１６が
約２個分の間隔とされている。すなわち、凝縮板１７は
ハウジング１１の底面、端面板１３を含めてそれらの間
隔がガス導入口１２からガス導出口１４へかけて漸減傾
向になるように取り付けられている。換言すれば、塩化
アルミニウム・ガスが凝縮固化され、その分圧が低下す
るにつれて、凝縮板１７へ衝突する確率を大とするよう
に凝縮板１７の間隔を狭めて取り付けられている。

【００１３】また、図２を参照して、凝縮板１７₁ とハ
ウジング１１の内壁との間には半月形状の流路部分１８
₁ が形成されており、凝縮板１７₁ の縁部とハウジング
１１の内壁との間の半径方向の最大長さａ₁ 、および凝
縮板１７₂ 、１７₃ 、…、１７₉ について同様に規定さ
れるａ₂ 、ａ₃ 、…、ａ₉ はａ₁ ＞ａ₂ ＞ａ₃ ＝ａ₄ ＝
…＝ａ₉の関係を持たせて流路部分１８₁ 、１８₂ 、
…、１８₉ の開口面積を漸減させている。すなわちこの
ことによって塩化アルミニウム・ガスの流れに渦流を発
生させ乱流を生じ易くさせて、ガス導出口１４に近い側
において塩化アルミニウム・ガスが凝縮板１７へ衝突す
る確率を増大させ、ガスが凝縮板１７を素通りすること
を防いでいる。

【００１４】なお、請求項１における「流路の抵抗が傾
向的に漸増されている」とは、上述したように、凝縮板
１７₇ 、１７₈ 、１７₉ の間はスペーサ１６の１個分の
等間隔とし、その上のスペーサ１７₉ と端面板１３との
間はスペーサ１６の約２個分の間隔と増大させているこ
と、また各流路部分１８の開口面積に関し等面積の箇所
を設けていることなど、部分的には流路抵抗を同等と
し、または減少させている箇所もあるが、ガス導入口１
２からガス導出口１４に至る間において全体的には流路
抵抗が漸増されていることを意味する。請求項２、請求
項３における「傾向的に漸減されている」も同様な意味
である。

【００１５】更には、ガス導入口１２の近傍において、
ハウジング１１の側壁に冷却ガス導入口２１が設けられ
ており、Ｎ₂ （窒素）ガスなどの不活性ガスが冷却用に
導入される。

【００１６】実施例のトラップ１０は以上のように構成
されるが、次にその作用を説明する。

【００１７】ガス導入口１２から導入される高温の塩化
アルミニウム・ガスはガス導入口１２の内径より十分に
大きい内径のトラップ１０内へ導入されて減速され、同
時に冷却ガス導入口２１から冷却用のＮ₂ ガスが塩化ア
ルミニウム・ガスの数倍の流量で導入される。このＮ₂
ガスは塩化アルミニウム・ガス内へ直ちに拡散し、塩化
アルミニウム・ガスの温度を急速に低下させる。Ｎ₂ ガ
スの導入によって塩化アルミニウム・ガスの分圧は低下
するが、蒸気圧曲線Ｓが対数目盛で示されている図１０
を参照して理解されるように、この程度の量のＮ₂ ガス
を導入しても塩化アルミニウム・ガスの凝縮挙動は大き
くは影響されない。

【００１８】次いで、Ｎ₂ ガスと塩化アルミニウム・ガ
スとの混合ガスはガス導入口１２に最も近い凝縮板１７
₁ や、その近傍のハウジング１１の内壁に衝突し、この
うちの塩化アルミニウム・ガスは熱交換して温度低下し
凝縮されて凝縮板１７₁ やその近傍に固着する。更には
続いて各凝縮板１７、ハウジング１１の内壁への衝突、
熱交換による塩化アルミニウム・ガスの凝縮を生じなが
ら、矢印でしめすようにトラップ１０内を蛇行して上昇
するが、この間、各凝縮板１７とハウジング１１の内壁
との間の狭い半月形状の各流路部分１８を通過しては渦
流を発生させて流れが乱される。そして、このことによ
って凝縮板１７への衝突頻度が増大され塩化アルミニウ
ム・ガスは凝縮されて分圧を一層低下させながらガス導
出口１４へ近付く。

【００１９】ガス導出口１４へ近付くにつれ凝縮板１７
の間隔は更に狭められ、凝縮板１７とハウジング１１の
内壁との間に形成されている流路部分１８の開口面積も
小になることからガスの衝突頻度は更に高められ、分圧
の低下している塩化アルミニウム・ガスが更に凝縮され
た後、残ガスがガス導出口１４から排出される。

【００２０】その結果、図１に対応する断面図である図
３に示すように塩化アルミニウムの固着物Ｃがトラップ
１０のガス導入口１２からガス導出口１４にわたって満
遍なく形成される。そして、その固着量が大であること
は従来例のトラップ８０の場合を示す図１１と比較して
歴然としている。

【００２１】以上、本発明の実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれに限られることなく、本発明の
技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。

【００２２】例えば、本実施例においては塩化アルミニ
ウム・ガスを凝縮固化させる場合を例示したが、本発明
のトラップは塩化アルミニウム・ガス以外に塩化アンモ
ニウム、塩化ガリウム、臭化アルミニウム、その他の常
温・常圧またはその近辺で固化するガスについて適用さ
れるし、トラップ内で固着しないまでも常温・常圧また
はその近辺で液化して粘性の高い液体となる有機物のガ
ス、ないしは水蒸気のトラップとしても適用され得る。

【００２３】また、本実施例においては、凝縮板１７
₁ 、１７₂ 、…、１７₉ の間隔を介在させるスペーサ１
６の個数によって図１に示すように設定したが、これら
凝縮板１７の間隔は凝縮ガスの種類、冷却ガスの混合割
合、圧力、温度、流速等に応じて固着物Ｃが偏りなく形
成されるように試行錯誤的に適宜設定され、一概には規
定されない。

【００２４】また、本実施例においては、凝縮板１７
₁ 、１７₂ 、…、１７₉ とハウジング１１の内壁との間
に形成される流路部分１８₁ 、１８₂ 、…、１８₉ を半
月形状としたが、この形状は半月形状以外の如何なる形
状としてもよい。また、流路部分１８₁ 、１８₂ 、…、
１８₉ の開口面積を漸減させたが、その減少させる比率
は凝縮ガスの種類、冷却ガスの混合割合、圧力、温度、
流速等に応じて固着物Ｃが均等に偏りなく形成されるよ
うに適宜設定され、一概には規定されない。

【００２５】また、本実施例においては凝縮板１７₁ 、
１７₂ 、…、１７₉ の間隔を漸減させると同時に各凝縮
板１７とハウジング１１の内壁とで形成される流路部分
１８₁ 、１８₂ 、…、１８₉ の開口面積も漸減させた
が、何れか一方を漸減させるだけでもよい。

【００２６】また、センターシャフト２５、スペーサ２
６、凝縮板２７の取り付けの斜視図である図４を参照し
て、ガス導入口側となる下から１１枚目までの凝縮板２
７は実施例の凝縮板１７と同様の形状としているが、こ
れ以外にガス導出口に近い３枚の凝縮板２７’₁₂、２
７’₁₃、２７’₁₄のように円形状とし、それぞれに流路
部分２８’₁₂、２８’₁₃、２８’₁₄（２８’₁₂、２８’
₁₃は図示されていない）としての穴を設けたような凝縮
板も使用し得る。また、形状の異なる凝縮板を組み合わ
せて使用してもよい。図４に示す凝縮板２７’₁₂、２
７’₁₃、２７’₁₄の流路部分２８’₁₂、２８’₁₃、２
８’₁₄はセンターシャフト２５を中心として交互に反対
側に設けられるが、このような凝縮板２７’と流路部分
２８’とを設けることにより、ガスの流れは渦流を一層
発生して乱流状態となり、トラップ内で凝縮し分圧の低
下しているガスがなお凝縮板２７’と衝突し易くなるの
で、凝縮板２７’を素通りするガスの発生を効果的に防
ぎ得る。

【００２７】また、本実施例においては有底円筒状のハ
ウジング１１の底面にセンターシャフト１５を立てて凝
縮板１７を取り付けたが、凝縮板の取り付けの変形例の
縦断面図である図５に示すように、ハウジング３１の底
面を端面板３３で密閉する構造とし、端面板３３に固定
したセンターシャフト３５にスペーサ３６を介して凝縮
板３７を取り付けるような構造のトラップ３０としても
よい。ガス導入口３２、ガス導出口３４、冷却ガス導入
口３９はハウジング３１の図の位置に設けられる。トラ
ップ３０内が固着物で閉塞されれば、実線位置にある凝
縮板３７は端面板３３と共にハウジング３１から一点鎖
線で示すように引き出すことができるので、固着物の回
収、トラップ３０の再生が容易である。勿論、ハウジン
グ３１の上面側に端面板３３を設け、これにセンターシ
ャフト３５を固定して逆方向に引き出すようにしてもよ
い。

【００２８】また、本実施例においては、凝縮板１７を
センターシャフト１５に取り付けたが、ハウジング１１
の内壁に取り付けるようにしてもよい。また、本実施例
においては、凝縮板１７を円板状としたが、立体的な形
状、例えば筒状としてもよく、傘状としてもよい。

【００２９】また、本実施例においては凝縮板１７をト
ラップ１０内での下方から上方へのガスの全体な流れの
方向に直交する向きに配置したが、最適の固着状態が得
られるようにこれ以外の向きに配置してもよい。例えば
図６の概略縦断面図はトラップ４０のハウジング４１内
に凝縮板４７をガスの流れ方向に平行に配置した例を示
す。図７の概略縦断面図は全体的なガスの流れ方向に対
してガスがトラップ５０内で順方向と逆方向への流れを
繰り返すようにハウジング５１内に凝縮板５７を配置し
た例である。同じく図８の概略縦断面図はトラップ６０
のハウジング６１内で凝縮板６７が逆円錐面の一部とし
て存在するように配置した例を示し、ガス導入口６２か
ら導入されるガスは全体的なガスの流れ方向とは斜交し
て流れる。また図９の概略縦断面図はガスがトラップ７
０内でジグザグ状に流れるようにハウジング７１内に凝
縮板７７を配置した例である。図６から図９の何れの例
においても各凝縮板がガス導入口からガス導出口にかけ
て間隔を狭めて設けられており、流路抵抗を漸増させる
ようにしている。なお、図６〜図９における各ガス導入
口、ガス導出口は実施例のガス導入口１２、ガス導出口
１４と下一桁を同一とした符号を付しており、冷却ガス
導入口は記載を省略している。

【００３０】また、本実施例においては、トラップ１０
を縦置きとしてガスを下方から上方へ流したが、必要に
よっては上方から下方へ流すような構造としてもよい。
また、トラップ１０を横置きとしてもよい。更には、ト
ラップ１０を円筒形状としたが要すれば角筒形状として
もよい。

【００３１】また、本実施例のトラップ１０は常温・常
圧で固化する塩化アルミニウム・ガスを凝縮固化させる
ためのトラップとして、塩化アルミニウム・ガスを温度
低下させず内部で凝縮させることなく運転し得るドライ
真空ポンプの後段に設置する例を説明したが、凝縮され
難いガスの場合には一般的な真空ポンプの後段に設置し
てもよい。また真空ポンプの前段に設けてもよく、真空
ポンプの前段でガスを凝縮固化させて真空ポンプの負荷
を軽減させるような使い方も可能である。また、真空ポ
ンプの前段と後段との両方に設置してもよい。すなわ
ち、前段のトラップでガス成分の一種を凝縮固化させ分
離すると共にその分だけ真空ポンプの負荷を軽減し、後
段のトラップで他種のガス成分を凝縮固化させて回収す
るような使い方も可能である。

【００３２】また、本実施例のトラップ１０を２基並列
に設置することにより、一方が固着物で閉塞した時に他
方へ切り換えてラインを運転し、その間に閉塞したトラ
ップをクリーニングし再生させるような使い方ができ
る。

【００３３】また、本実施例ではトラップ１０の材質は
特に指定していないが、熱伝導性の良好なアルミニウ
ム、またはアルミニウム合金とすることは好ましい選択
である。

【００３４】また、本実施例においてはハウジング１１
の側壁部分に冷却ガス導入口２１を設けて凝縮させる塩
化アルミニウム・ガスを不活性な窒素ガスで冷却するよ
うにしたが、凝縮させるガスの種類によっては冷却ガス
を必要としない場合もある。

【００３５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の請求項１の
トラップによれば、凝縮ガスの固着物がトラップ内の全
体に均等に形成されるので、トラップ内が凝縮固着物で
閉塞されるに至るまでの寿命が長い。また、このトラッ
プを半導体製造プロセスの排気ラインにおけるドライ真
空ポンプの後段に設置することにより、真空ポンプと排
ガス処理設備までのラインにおいて凝縮物が固着し閉塞
することを防ぎ得る。

【００３６】また、請求項４のトラップによれば、スペ
ーサの個数を変えて凝縮板の取り付け間隔を調整し得る
し、形状の異なる凝縮板を組み合わせることができるの
で、トラップ内での偏りのない固着物の形成、高い凝縮
効率が得られる。

【００３７】また、請求項５のトラップによれば、凝縮
板の取り出し、装着が端面板を介して容易に行えるの
で、寿命に達したトラップからの凝縮物の回収、トラッ
プのクリーニング、再生を簡便に行い得る。

【００３８】また、請求項６のトラップによれば、冷却
ガスの導入によって、ガス導入口近傍で凝縮ガスの温度
が十分に低下するので、凝縮板やハウジング内壁の冷却
設備を不要とするか、または冷却設備の負荷を大幅に軽
減する。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例のトラップの縦断面図である。

【図２】図１における［２］−［２］線方向の断面図で
ある。

【図３】図１に対応する実施例のトラップの縦断面図で
あり、固着物の分布を示す。

【図４】形状の異なる凝縮板の取り付けを示す斜視図で
ある。

【図５】凝縮板の取り付けの変形例を示す縦断面図であ
る。

【図６】凝縮板の配置の変形例を示す概略縦断面図であ
る。

【図７】凝縮板の配置の変形例を示す概略縦断面図であ
る。

【図８】凝縮板の配置の変形例を示す概略縦断面図であ
る。

【図９】凝縮板の配置の変形例を示す概略縦断面図であ
る。

【図１０】塩化アルミニウムの蒸気圧曲線である。

【図１１】従来例のトラップの縦断面図であり、固着物
の分布を示す。

【符号の説明】

１０実施例のトラップ１１ハウジング１２ガス導入口１３端面板１４ガス導出口１５センターシャフト１６スペーサ１７凝縮板１８凝縮板とハウジング内壁との間に形成される流路
部分２１冷却ガス導入口Ｃ固着物

フロントページの続き (72)発明者下坂健太郎神奈川県茅ケ崎市萩園2500番地日本真空技術株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空ポンプの前段、後段の何れか又は両
段に設置され、ハウジング内に排気ガスの流路を形成し
て凝縮ガスを回収する単数または複数の凝縮板が取り付
けられているトラップにおいて、前記ハウジングに設け
たガス導入口からガス導出口に至る間の前記流路の抵抗
が傾向的に漸増されていることを特徴とするトラップ。
【請求項２】前記ガス導入口から前記ガス導出口に至
る間において、前記ハウジングのガス導入口側端面板、
前記単数または複数の凝縮板、および前記ハウジングの
ガス導出口側端面板の間隔が傾向的に漸減されている請
求項１に記載のトラップ。
【請求項３】前記ガス導入口から前記ガス導出口に至
る間において、前記凝縮板と前記ハウジングの内壁との
間に形成される流路部分、または前記凝縮板に穴状に形
成される流路部分の開口面積が傾向的に漸減されている
請求項１または請求項２に記載のトラップ。
【請求項４】前記凝縮板が複数個のスペーサを介在さ
せてシャフトに取り付けられており、前記凝縮板の取り
付け間隔の調整、または前記凝縮板の取り替えが可能と
されている請求項１から請求項３までの何れかに記載の
トラップ
【請求項５】前記凝縮板が前記ガス導入口側端面板ま
たは前記ガス導出口側端面板に固定された前記シャフト
に取り付けられており、前記凝縮板の前記ハウジング内
への装着および前記ハウジング内からの取り出しが前記
ガス導入口側端面板または前記ガス導出口側端面板を介
して行われる請求項１から請求項４までの何れかに記載
のトラップ。
【請求項６】前記ガス導入口の近傍において、前記ハ
ウジングに冷却ガス導入口が設けられている請求項１か
ら請求項５までの何れかに記載のトラップ。
【請求項７】前記真空ポンプが油類を使用しないドラ
イ真空ポンプである請求項１から請求項６までの何れか
に記載のトラップ。
【請求項８】前記凝縮ガスが塩化アルミニウム・ガ
ス、塩化アンモニウム・ガス、水蒸気の如き常温・常圧
またはその近辺で固化または液化するガスである請求項
１から請求項７までの何れかに記載のトラップ。