JPH0936176A - ボンデイング装置 - Google Patents
ボンデイング装置Info
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000002788 crimping Methods 0.000 claims 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 1
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- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K20/002—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating specially adapted for particular articles or work
- B23K20/004—Wire welding
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ボンドステージの上昇位置の調整を迅速に行う
ことができ、また常に一定の調整を可能とする。 【構成】ボンドステージ8を上下動させる基準ストロー
ク用カム18と、基準ストローク用カム18の一端側を
回転自在に支承し、水平方向に移動可能に設けられたカ
ムホルダ17と、カムホルダ17を水平方向に駆動する
基準ストローク用エアシリンダ21と、基準ストローク
用カム18の他端側に設けられたローラ20と、ローラ
が接触する上限可変用リニアカム30と、ボンドステー
ジ8の上昇位置調整時に、上限可変用リニアカム30を
ローラ20との接触位置を変えるように移動させる上限
可変用モータ33とを備えている。
ことができ、また常に一定の調整を可能とする。 【構成】ボンドステージ8を上下動させる基準ストロー
ク用カム18と、基準ストローク用カム18の一端側を
回転自在に支承し、水平方向に移動可能に設けられたカ
ムホルダ17と、カムホルダ17を水平方向に駆動する
基準ストローク用エアシリンダ21と、基準ストローク
用カム18の他端側に設けられたローラ20と、ローラ
が接触する上限可変用リニアカム30と、ボンドステー
ジ8の上昇位置調整時に、上限可変用リニアカム30を
ローラ20との接触位置を変えるように移動させる上限
可変用モータ33とを備えている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ペレットを
リードフレームのリード又はフィルムキャリアに設けら
れたリードにボンデイングするボンデイング装置に係
り、特にボンドステージの上昇位置の調整装置に関す
る。
リードフレームのリード又はフィルムキャリアに設けら
れたリードにボンデイングするボンデイング装置に係
り、特にボンドステージの上昇位置の調整装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】フィルムキャリアに設けられたリードに
半導体ペレットをボンデイングするボンデイング装置と
して、例えば特開平5−259219号公報に示すもの
が知られている。この種のボンデイング装置において
は、品種変更の場合には半導体ペレットとリードとのク
リアランスを調整するために、半導体ペレットを載置し
たボンドステージの上昇位置を調整する必要がある。こ
のボンドステージの上昇位置の調整装置は、ボンドステ
ージを上下させる上下駆動手段に対するボンドステージ
の相対的な上下移動量を調整する調整手段と、この調整
手段によるボンドステージの上下移動量を検知する検知
手段とを備えている。
半導体ペレットをボンデイングするボンデイング装置と
して、例えば特開平5−259219号公報に示すもの
が知られている。この種のボンデイング装置において
は、品種変更の場合には半導体ペレットとリードとのク
リアランスを調整するために、半導体ペレットを載置し
たボンドステージの上昇位置を調整する必要がある。こ
のボンドステージの上昇位置の調整装置は、ボンドステ
ージを上下させる上下駆動手段に対するボンドステージ
の相対的な上下移動量を調整する調整手段と、この調整
手段によるボンドステージの上下移動量を検知する検知
手段とを備えている。
【0003】そこで、ボンドステージを上昇させた状態
で、調整手段によってボンドステージを上昇させてリー
ドに半導体ペレットのバンプを接触させ、この時の検知
手段による検出値を基準値とする。リードをバンプに接
触させた状態で、調整手段によってボンドステージを下
降させて検知手段による検出値が基準値より所定値にな
るように調整することにより、リードと半導体ペレット
のバンプのクリアランスを所定量に調整する。
で、調整手段によってボンドステージを上昇させてリー
ドに半導体ペレットのバンプを接触させ、この時の検知
手段による検出値を基準値とする。リードをバンプに接
触させた状態で、調整手段によってボンドステージを下
降させて検知手段による検出値が基準値より所定値にな
るように調整することにより、リードと半導体ペレット
のバンプのクリアランスを所定量に調整する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、調整
手段を手動操作してボンドステージを上昇させ、半導体
ペレットのバンプをリードに接触させる作業と、調整手
段を操作してボンドステージを下降させ、検知手段によ
る検出値が所定値になるように操作する作業を必要とす
る。またこれらの作業は品種変更の毎に行わなければな
らない。このため、品種変更に迅速に対応できない。ま
た半導体ペレットのバンプがリードに接触した状態の観
察は目視検査であり、この作業は品種変更の毎に行うの
で、個人差による調整のバラツキが生じ、一定品質のボ
ンデイングが得られない。
手段を手動操作してボンドステージを上昇させ、半導体
ペレットのバンプをリードに接触させる作業と、調整手
段を操作してボンドステージを下降させ、検知手段によ
る検出値が所定値になるように操作する作業を必要とす
る。またこれらの作業は品種変更の毎に行わなければな
らない。このため、品種変更に迅速に対応できない。ま
た半導体ペレットのバンプがリードに接触した状態の観
察は目視検査であり、この作業は品種変更の毎に行うの
で、個人差による調整のバラツキが生じ、一定品質のボ
ンデイングが得られない。
【0005】本発明の課題は、ボンドステージの上昇位
置の調整を迅速に行うことができ、また常に一定の調整
が可能なボンデイング装置を提供することにある。
置の調整を迅速に行うことができ、また常に一定の調整
が可能なボンデイング装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、半導体ペレットを載置して上下動可
能に設けられたボンドステージを有し、リードフレーム
のリード又はフィルムキャリアに設けられたリードと半
導体ペレットのバンプとを圧着させるボンデイング装置
において、前記ボンドステージを上下動させる基準スト
ローク用カムと、この基準ストローク用カムの一端側を
回転自在に支承し、水平方向に移動可能に設けられたカ
ムホルダと、このカムホルダを水平方向に駆動する基準
ストローク用駆動手段と、前記基準ストローク用カムの
他端側に設けられたローラと、このローラが接触する上
限可変用リニアカムと、前記ボンドステージの上昇位置
調整時に、前記上限可変用リニアカムを前記ローラとの
接触位置を変えるように移動させる上限可変用モータと
を備えたことを特徴とする。
の本発明の手段は、半導体ペレットを載置して上下動可
能に設けられたボンドステージを有し、リードフレーム
のリード又はフィルムキャリアに設けられたリードと半
導体ペレットのバンプとを圧着させるボンデイング装置
において、前記ボンドステージを上下動させる基準スト
ローク用カムと、この基準ストローク用カムの一端側を
回転自在に支承し、水平方向に移動可能に設けられたカ
ムホルダと、このカムホルダを水平方向に駆動する基準
ストローク用駆動手段と、前記基準ストローク用カムの
他端側に設けられたローラと、このローラが接触する上
限可変用リニアカムと、前記ボンドステージの上昇位置
調整時に、前記上限可変用リニアカムを前記ローラとの
接触位置を変えるように移動させる上限可変用モータと
を備えたことを特徴とする。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の最良の実施の形態
を図1及び図2により説明する。図示しない駆動手段で
XY方向に駆動される周知構造のXYテーブル1上に
は、支持ブロック2が固定されている。支持ブロック2
には、スライド軸受3を介して上下動ブロック4が上下
動自在に設けられており、上下動ブロック4の下端部に
はローラ5が回転自在に支承されている。上下動ブロッ
ク4上にはヒータ6を着脱可能に取付けたヒートブロッ
ク7が固定されており、ヒートブロック7上にはボンド
ステージ8が固定されている。ヒートブロック7及びボ
ンドステージ8には、半導体ペレット10を真空吸着す
る吸着孔(図示せず)が従来と同様に形成されている。
を図1及び図2により説明する。図示しない駆動手段で
XY方向に駆動される周知構造のXYテーブル1上に
は、支持ブロック2が固定されている。支持ブロック2
には、スライド軸受3を介して上下動ブロック4が上下
動自在に設けられており、上下動ブロック4の下端部に
はローラ5が回転自在に支承されている。上下動ブロッ
ク4上にはヒータ6を着脱可能に取付けたヒートブロッ
ク7が固定されており、ヒートブロック7上にはボンド
ステージ8が固定されている。ヒートブロック7及びボ
ンドステージ8には、半導体ペレット10を真空吸着す
る吸着孔(図示せず)が従来と同様に形成されている。
【0008】前記ローラ5の下方の前記XYテーブル1
上には、ガイドレール15が固定されており、ガイドレ
ール15にはガイドブロック16が摺動自在に嵌挿され
ている。ガイドブロック16には上方に伸びたカムホル
ダ17が固定されており、カムホルダ17には上面にカ
ム面を有する基準ストローク用カム18の一端側が支軸
19を介して回転自在に支承されている。基準ストロー
ク用カム18のカム面は前記ローラ5に当接しており、
基準ストローク用カム18の他端側にはローラ20が回
転自在に支承されている。前記XYテーブル1上には、
前記カムホルダ17に対向して基準ストローク用エアシ
リンダ21が固定されており、基準ストローク用エアシ
リンダ21の作動ロッド22はカムホルダ17に連結さ
れている。
上には、ガイドレール15が固定されており、ガイドレ
ール15にはガイドブロック16が摺動自在に嵌挿され
ている。ガイドブロック16には上方に伸びたカムホル
ダ17が固定されており、カムホルダ17には上面にカ
ム面を有する基準ストローク用カム18の一端側が支軸
19を介して回転自在に支承されている。基準ストロー
ク用カム18のカム面は前記ローラ5に当接しており、
基準ストローク用カム18の他端側にはローラ20が回
転自在に支承されている。前記XYテーブル1上には、
前記カムホルダ17に対向して基準ストローク用エアシ
リンダ21が固定されており、基準ストローク用エアシ
リンダ21の作動ロッド22はカムホルダ17に連結さ
れている。
【0009】前記XYテーブル1上には支持脚25を介
して支持板26が固定されており、支持板26上にはガ
イドレール27が固定されている。ガイドレール27に
はガイドブロック28が摺動自在に嵌挿されており、ガ
イドブロック28にはカムホルダ29が固定されてい
る。カムホルダ29には上面にカム面を有する上限可変
用リニアカム30が前記ローラ20に当接するように固
定されている。前記カムホルダ29の立ち上がり部には
雌ねじ31が固定されており、雌ねじ31にはねじ軸3
2が螺合している。ねじ軸32には上限可変用モータ3
3の出力軸が連結され、上限可変用モータ33はモータ
支持板34を介して前記支持板26に固定されている。
して支持板26が固定されており、支持板26上にはガ
イドレール27が固定されている。ガイドレール27に
はガイドブロック28が摺動自在に嵌挿されており、ガ
イドブロック28にはカムホルダ29が固定されてい
る。カムホルダ29には上面にカム面を有する上限可変
用リニアカム30が前記ローラ20に当接するように固
定されている。前記カムホルダ29の立ち上がり部には
雌ねじ31が固定されており、雌ねじ31にはねじ軸3
2が螺合している。ねじ軸32には上限可変用モータ3
3の出力軸が連結され、上限可変用モータ33はモータ
支持板34を介して前記支持板26に固定されている。
【0010】次にボンデイング動作を図1により説明す
る。ボンドステージ8が下降した実線で示す状態におい
て、ボンドステージ8上に半導体ペレット10が図示し
ない移載手段で載置されると、ボンドステージ8の吸着
孔より真空吸引されて半導体ペレット10はボンドステ
ージ8に保持される。次にXYテーブル1がXY方向に
駆動され、リード11に対する半導体ペレット10のX
Y方向の位置が補正される。次に基準ストローク用エア
シリンダ21が作動して作動ロッド22が突出する。こ
れにより、ガイドブロック16及びカムホルダ17はガ
イドレール15に沿って移動し、カムホルダ17及び基
準ストローク用カム18は2点鎖線で示す状態となる。
即ち、ボンデイングのためにボンドステージ8が上昇す
る。
る。ボンドステージ8が下降した実線で示す状態におい
て、ボンドステージ8上に半導体ペレット10が図示し
ない移載手段で載置されると、ボンドステージ8の吸着
孔より真空吸引されて半導体ペレット10はボンドステ
ージ8に保持される。次にXYテーブル1がXY方向に
駆動され、リード11に対する半導体ペレット10のX
Y方向の位置が補正される。次に基準ストローク用エア
シリンダ21が作動して作動ロッド22が突出する。こ
れにより、ガイドブロック16及びカムホルダ17はガ
イドレール15に沿って移動し、カムホルダ17及び基
準ストローク用カム18は2点鎖線で示す状態となる。
即ち、ボンデイングのためにボンドステージ8が上昇す
る。
【0011】この場合、ローラ20は上限可変用リニア
カム30のカム面30aに沿って動き、上限可変用リニ
アカム30のカム面によって押し上げられるので、基準
ストローク用カム18は支軸19を中心として若干反時
計方向に回動し、2点鎖線で示す状態となる。基準スト
ローク用カム18が2点鎖線で示すように移動すると、
該基準ストローク用カム18のカム面によってローラ
5、上下動ブロック4、ヒートブロック7及びボンドス
テージ8は押し上げられ、ボンドステージ8は上昇して
2点鎖線で示す状態となる。またボンデイングツール1
2が下降させられ、リード11を半導体ペレット10の
バンプに接合する。その後、ボンデイングツール12は
上昇、また基準ストローク用エアシリンダ21が前記と
逆方向に作動してボンドステージ8は下降して実線で示
す状態となる。
カム30のカム面30aに沿って動き、上限可変用リニ
アカム30のカム面によって押し上げられるので、基準
ストローク用カム18は支軸19を中心として若干反時
計方向に回動し、2点鎖線で示す状態となる。基準スト
ローク用カム18が2点鎖線で示すように移動すると、
該基準ストローク用カム18のカム面によってローラ
5、上下動ブロック4、ヒートブロック7及びボンドス
テージ8は押し上げられ、ボンドステージ8は上昇して
2点鎖線で示す状態となる。またボンデイングツール1
2が下降させられ、リード11を半導体ペレット10の
バンプに接合する。その後、ボンデイングツール12は
上昇、また基準ストローク用エアシリンダ21が前記と
逆方向に作動してボンドステージ8は下降して実線で示
す状態となる。
【0012】次にボンドステージ8の上昇位置の調整を
図2により説明する。品種が変更になった場合は、リー
ド11と半導体ペレット10のバンプとのクリアランス
を調整する必要がある。図2の実線で示す状態は、ボン
ドステージ8が上昇位置にある場合を示し、図1の2点
鎖線の状態を示す。上限可変用モータ33を回転させて
ねじ軸32を回転させると、ガイドブロック28及びカ
ムホルダ29はガイドレール27によって移動し、カム
ホルダ29及び上限可変用リニアカム30は2点鎖線で
示す状態となる。これにより、ローラ20が当接してい
る上限可変用リニアカム30のカム面30bが低くな
り、ローラ20は下降するので、基準ストローク用カム
18は支軸19を中心として時計方向に回動し、2点鎖
線で示す状態となる。基準ストローク用カム18が2点
鎖線で示す状態となると、ローラ5が当接している基準
ストローク用カム18のカム面も低くなるので、ローラ
5及びボンドステージ8は下降し、ボンドステージ8は
2点鎖線で示す状態となる。
図2により説明する。品種が変更になった場合は、リー
ド11と半導体ペレット10のバンプとのクリアランス
を調整する必要がある。図2の実線で示す状態は、ボン
ドステージ8が上昇位置にある場合を示し、図1の2点
鎖線の状態を示す。上限可変用モータ33を回転させて
ねじ軸32を回転させると、ガイドブロック28及びカ
ムホルダ29はガイドレール27によって移動し、カム
ホルダ29及び上限可変用リニアカム30は2点鎖線で
示す状態となる。これにより、ローラ20が当接してい
る上限可変用リニアカム30のカム面30bが低くな
り、ローラ20は下降するので、基準ストローク用カム
18は支軸19を中心として時計方向に回動し、2点鎖
線で示す状態となる。基準ストローク用カム18が2点
鎖線で示す状態となると、ローラ5が当接している基準
ストローク用カム18のカム面も低くなるので、ローラ
5及びボンドステージ8は下降し、ボンドステージ8は
2点鎖線で示す状態となる。
【0013】また上限可変用リニアカム30が実線で示
す状態にあり、この状態より上限可変用モータ33を前
記と逆方向に回転させると、前記と同じ作用により上限
可変用リニアカム30が実線で示す状態より右方向に動
き、ローラ20を押し上げる。これにより、基準ストロ
ーク用カム18は実線で示す状態より反時計方向に回動
し、基準ストローク用カム18のカム面によってローラ
5を押し上げる。従って、ボンドステージ8は実線で示
す状態より上昇した位置となる。
す状態にあり、この状態より上限可変用モータ33を前
記と逆方向に回転させると、前記と同じ作用により上限
可変用リニアカム30が実線で示す状態より右方向に動
き、ローラ20を押し上げる。これにより、基準ストロ
ーク用カム18は実線で示す状態より反時計方向に回動
し、基準ストローク用カム18のカム面によってローラ
5を押し上げる。従って、ボンドステージ8は実線で示
す状態より上昇した位置となる。
【0014】このように、上限可変用モータ33を駆動
して上限可変用リニアカム30の位置を変えると、ボン
ドステージ8が上昇位置になるように基準ストローク用
カム18を移動させた場合、基準ストローク用カム18
に設けられたローラ20が上限可変用リニアカム30の
カム面30aに接触する位置が変わる。即ち、上限可変
用リニアカム30のカム面30aの高さによって基準ス
トローク用カム18は回動し、該基準ストローク用カム
18のカム面が変化し、ボンドステージ8の上昇位置が
変わる。
して上限可変用リニアカム30の位置を変えると、ボン
ドステージ8が上昇位置になるように基準ストローク用
カム18を移動させた場合、基準ストローク用カム18
に設けられたローラ20が上限可変用リニアカム30の
カム面30aに接触する位置が変わる。即ち、上限可変
用リニアカム30のカム面30aの高さによって基準ス
トローク用カム18は回動し、該基準ストローク用カム
18のカム面が変化し、ボンドステージ8の上昇位置が
変わる。
【0015】従って、上限可変用モータ33を回転させ
ることによりボンドステージ8の上昇位置をその品種に
適合できるように調整できる。このボンドステージ8の
上昇位置の調整は、品種変更時にのみ行うものであり、
前記したボンデイング動作時には作動させる必要はな
い。このように、上限可変用モータ33の回転によって
ボンドステージ8の上昇位置を任意に調整できるので、
予め各品種に対応して上限可変用モータ33の回転位
置、即ち上限可変用リニアカム30の位置を調べてお
き、それを上限可変用モータ33の制御回路部に入力し
ておくことにより、品種変更時にはその品種のボタンを
押すのみで、該品種に適合できるように上限可変用モー
タ33を自動的に回転させることができる。即ち、ボン
ドステージ8の上昇位置が自動的に迅速に調整できる。
また一度ボンドステージ8の上昇位置を調整して調べて
おくのみでよいので、品種変更毎に調整作業を必要とし
なく、常に一定の調整が可能であり、ボンデイング品質
が安定する。
ることによりボンドステージ8の上昇位置をその品種に
適合できるように調整できる。このボンドステージ8の
上昇位置の調整は、品種変更時にのみ行うものであり、
前記したボンデイング動作時には作動させる必要はな
い。このように、上限可変用モータ33の回転によって
ボンドステージ8の上昇位置を任意に調整できるので、
予め各品種に対応して上限可変用モータ33の回転位
置、即ち上限可変用リニアカム30の位置を調べてお
き、それを上限可変用モータ33の制御回路部に入力し
ておくことにより、品種変更時にはその品種のボタンを
押すのみで、該品種に適合できるように上限可変用モー
タ33を自動的に回転させることができる。即ち、ボン
ドステージ8の上昇位置が自動的に迅速に調整できる。
また一度ボンドステージ8の上昇位置を調整して調べて
おくのみでよいので、品種変更毎に調整作業を必要とし
なく、常に一定の調整が可能であり、ボンデイング品質
が安定する。
【0016】なお、上記実施例においては、カムホルダ
17を基準ストローク用エアシリンダ21で駆動させた
が、カムホルダ17をモータで駆動させてもよい。
17を基準ストローク用エアシリンダ21で駆動させた
が、カムホルダ17をモータで駆動させてもよい。
【0017】
【発明の効果】本発明によれば、ボンドステージを上下
動させる基準ストローク用カムと、この基準ストローク
用カムの一端側を回転自在に支承し、水平方向に移動可
能に設けられたカムホルダと、このカムホルダを水平方
向に駆動する基準ストローク用駆動手段と、前記基準ス
トローク用カムの他端側に設けられたローラと、このロ
ーラが接触する上限可変用リニアカムと、前記ボンドス
テージの上昇位置調整時に、前記上限可変用リニアカム
を前記ローラとの接触位置を変えるように移動させる上
限可変用モータとを備えた構成よりなるので、ボンドス
テージの上昇位置の調整を迅速に行うことができ、また
常に一定の調整が可能である。
動させる基準ストローク用カムと、この基準ストローク
用カムの一端側を回転自在に支承し、水平方向に移動可
能に設けられたカムホルダと、このカムホルダを水平方
向に駆動する基準ストローク用駆動手段と、前記基準ス
トローク用カムの他端側に設けられたローラと、このロ
ーラが接触する上限可変用リニアカムと、前記ボンドス
テージの上昇位置調整時に、前記上限可変用リニアカム
を前記ローラとの接触位置を変えるように移動させる上
限可変用モータとを備えた構成よりなるので、ボンドス
テージの上昇位置の調整を迅速に行うことができ、また
常に一定の調整が可能である。
【図1】本発明のボンデイング装置の一実施の形態を示
す一部断面正面図である。
す一部断面正面図である。
【図2】ボンドステージが上昇位置にある状態を示す一
部断面要部正面図である。
部断面要部正面図である。
4 上下動ブロック 8 ボンドステージ 10 半導体ペレット 11 リード 12 ボンデイングツール 17 カムホルダ 18 基準ストローク用カム 20 ローラ 21 基準ストローク用エアシリンダ 29 カムホルダ 30 上限可変用リニアカム 33 上限可変用モータ
Claims (1)
- 【請求項1】 半導体ペレットを載置して上下動可能に
設けられたボンドステージを有し、リードフレームのリ
ード又はフィルムキャリアに設けられたリードと半導体
ペレットのバンプとを圧着させるボンデイング装置にお
いて、前記ボンドステージを上下動させる基準ストロー
ク用カムと、この基準ストローク用カムの一端側を回転
自在に支承し、水平方向に移動可能に設けられたカムホ
ルダと、このカムホルダを水平方向に駆動する基準スト
ローク用駆動手段と、前記基準ストローク用カムの他端
側に設けられたローラと、このローラが接触する上限可
変用リニアカムと、前記ボンドステージの上昇位置調整
時に、前記上限可変用リニアカムを前記ローラとの接触
位置を変えるように移動させる上限可変用モータとを備
えたことを特徴とするボンデイング装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07199310A JP3089392B2 (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | ボンデイング装置 |
TW085102523A TW292411B (en) | 1995-07-13 | 1996-02-29 | Bonding device |
KR1019960006984A KR100195798B1 (ko) | 1995-07-13 | 1996-03-15 | 본딩장치 |
US08/679,904 US5603446A (en) | 1995-07-13 | 1996-07-10 | Bonding apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07199310A JP3089392B2 (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | ボンデイング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0936176A true JPH0936176A (ja) | 1997-02-07 |
JP3089392B2 JP3089392B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=16405683
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP07199310A Expired - Fee Related JP3089392B2 (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | ボンデイング装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3089392B2 (ja) |
KR (1) | KR100195798B1 (ja) |
TW (1) | TW292411B (ja) |
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JP4522826B2 (ja) * | 2004-11-17 | 2010-08-11 | Juki株式会社 | 電子部品圧着装置 |
KR100686921B1 (ko) | 2005-05-24 | 2007-02-26 | 티아이씨덕흥 주식회사 | 연삭기 테이블의 스트로크 조정장치 |
KR20160048301A (ko) * | 2014-10-23 | 2016-05-04 | 삼성전자주식회사 | 본딩 장치 및 그를 포함하는 기판 제조 설비 |
DE102015220977B4 (de) * | 2015-10-27 | 2020-06-18 | Mahle International Gmbh | Vorrichtung zum Positionieren und Verfahren zum thermischen Fügen mehrerer Funktionselemente |
KR102290911B1 (ko) * | 2019-07-02 | 2021-08-19 | 세메스 주식회사 | 지지 유닛, 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
CN111250843B (zh) * | 2020-03-14 | 2024-07-09 | 江门市翔之辉金属制品有限公司 | 一种氩弧焊靠模直线自动焊机 |
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US3957185A (en) * | 1975-08-25 | 1976-05-18 | Western Electric Company, Inc. | Methods of and apparatus for thermocompression bonding with a compensating system |
JPH01177943A (ja) * | 1988-01-06 | 1989-07-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | リードフレーム搬送装置 |
JP2827060B2 (ja) * | 1991-05-20 | 1998-11-18 | 株式会社新川 | ボンデイング装置 |
JP2990553B2 (ja) * | 1992-03-12 | 1999-12-13 | 株式会社新川 | テープボンデイング装置 |
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1995
- 1995-07-13 JP JP07199310A patent/JP3089392B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-02-29 TW TW085102523A patent/TW292411B/zh active
- 1996-03-15 KR KR1019960006984A patent/KR100195798B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-07-10 US US08/679,904 patent/US5603446A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3089392B2 (ja) | 2000-09-18 |
TW292411B (en) | 1996-12-01 |
US5603446A (en) | 1997-02-18 |
KR100195798B1 (ko) | 1999-06-15 |
KR970008439A (ko) | 1997-02-24 |
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