JPH0936176A - ボンデイング装置 - Google Patents

ボンデイング装置

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JPH0936176A JP7199310A JP19931095A JPH0936176A JP H0936176 A JPH0936176 A JP H0936176A JP 7199310 A JP7199310 A JP 7199310A JP 19931095 A JP19931095 A JP 19931095A JP H0936176 A JPH0936176 A JP H0936176A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ボンドステージの上昇位置の調整を迅速に行う
ことができ、また常に一定の調整を可能とする。 【構成】ボンドステージ８を上下動させる基準ストロー
ク用カム１８と、基準ストローク用カム１８の一端側を
回転自在に支承し、水平方向に移動可能に設けられたカ
ムホルダ１７と、カムホルダ１７を水平方向に駆動する
基準ストローク用エアシリンダ２１と、基準ストローク
用カム１８の他端側に設けられたローラ２０と、ローラ
が接触する上限可変用リニアカム３０と、ボンドステー
ジ８の上昇位置調整時に、上限可変用リニアカム３０を
ローラ２０との接触位置を変えるように移動させる上限
可変用モータ３３とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ペレットを
リードフレームのリード又はフィルムキャリアに設けら
れたリードにボンデイングするボンデイング装置に係
り、特にボンドステージの上昇位置の調整装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】フィルムキャリアに設けられたリードに
半導体ペレットをボンデイングするボンデイング装置と
して、例えば特開平５−２５９２１９号公報に示すもの
が知られている。この種のボンデイング装置において
は、品種変更の場合には半導体ペレットとリードとのク
リアランスを調整するために、半導体ペレットを載置し
たボンドステージの上昇位置を調整する必要がある。こ
のボンドステージの上昇位置の調整装置は、ボンドステ
ージを上下させる上下駆動手段に対するボンドステージ
の相対的な上下移動量を調整する調整手段と、この調整
手段によるボンドステージの上下移動量を検知する検知
手段とを備えている。
【０００３】そこで、ボンドステージを上昇させた状態
で、調整手段によってボンドステージを上昇させてリー
ドに半導体ペレットのバンプを接触させ、この時の検知
手段による検出値を基準値とする。リードをバンプに接
触させた状態で、調整手段によってボンドステージを下
降させて検知手段による検出値が基準値より所定値にな
るように調整することにより、リードと半導体ペレット
のバンプのクリアランスを所定量に調整する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、調整
手段を手動操作してボンドステージを上昇させ、半導体
ペレットのバンプをリードに接触させる作業と、調整手
段を操作してボンドステージを下降させ、検知手段によ
る検出値が所定値になるように操作する作業を必要とす
る。またこれらの作業は品種変更の毎に行わなければな
らない。このため、品種変更に迅速に対応できない。ま
た半導体ペレットのバンプがリードに接触した状態の観
察は目視検査であり、この作業は品種変更の毎に行うの
で、個人差による調整のバラツキが生じ、一定品質のボ
ンデイングが得られない。
【０００５】本発明の課題は、ボンドステージの上昇位
置の調整を迅速に行うことができ、また常に一定の調整
が可能なボンデイング装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、半導体ペレットを載置して上下動可
能に設けられたボンドステージを有し、リードフレーム
のリード又はフィルムキャリアに設けられたリードと半
導体ペレットのバンプとを圧着させるボンデイング装置
において、前記ボンドステージを上下動させる基準スト
ローク用カムと、この基準ストローク用カムの一端側を
回転自在に支承し、水平方向に移動可能に設けられたカ
ムホルダと、このカムホルダを水平方向に駆動する基準
ストローク用駆動手段と、前記基準ストローク用カムの
他端側に設けられたローラと、このローラが接触する上
限可変用リニアカムと、前記ボンドステージの上昇位置
調整時に、前記上限可変用リニアカムを前記ローラとの
接触位置を変えるように移動させる上限可変用モータと
を備えたことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の最良の実施の形態
を図１及び図２により説明する。図示しない駆動手段で
ＸＹ方向に駆動される周知構造のＸＹテーブル１上に
は、支持ブロック２が固定されている。支持ブロック２
には、スライド軸受３を介して上下動ブロック４が上下
動自在に設けられており、上下動ブロック４の下端部に
はローラ５が回転自在に支承されている。上下動ブロッ
ク４上にはヒータ６を着脱可能に取付けたヒートブロッ
ク７が固定されており、ヒートブロック７上にはボンド
ステージ８が固定されている。ヒートブロック７及びボ
ンドステージ８には、半導体ペレット１０を真空吸着す
る吸着孔（図示せず）が従来と同様に形成されている。
【０００８】前記ローラ５の下方の前記ＸＹテーブル１
上には、ガイドレール１５が固定されており、ガイドレ
ール１５にはガイドブロック１６が摺動自在に嵌挿され
ている。ガイドブロック１６には上方に伸びたカムホル
ダ１７が固定されており、カムホルダ１７には上面にカ
ム面を有する基準ストローク用カム１８の一端側が支軸
１９を介して回転自在に支承されている。基準ストロー
ク用カム１８のカム面は前記ローラ５に当接しており、
基準ストローク用カム１８の他端側にはローラ２０が回
転自在に支承されている。前記ＸＹテーブル１上には、
前記カムホルダ１７に対向して基準ストローク用エアシ
リンダ２１が固定されており、基準ストローク用エアシ
リンダ２１の作動ロッド２２はカムホルダ１７に連結さ
れている。
【０００９】前記ＸＹテーブル１上には支持脚２５を介
して支持板２６が固定されており、支持板２６上にはガ
イドレール２７が固定されている。ガイドレール２７に
はガイドブロック２８が摺動自在に嵌挿されており、ガ
イドブロック２８にはカムホルダ２９が固定されてい
る。カムホルダ２９には上面にカム面を有する上限可変
用リニアカム３０が前記ローラ２０に当接するように固
定されている。前記カムホルダ２９の立ち上がり部には
雌ねじ３１が固定されており、雌ねじ３１にはねじ軸３
２が螺合している。ねじ軸３２には上限可変用モータ３
３の出力軸が連結され、上限可変用モータ３３はモータ
支持板３４を介して前記支持板２６に固定されている。
【００１０】次にボンデイング動作を図１により説明す
る。ボンドステージ８が下降した実線で示す状態におい
て、ボンドステージ８上に半導体ペレット１０が図示し
ない移載手段で載置されると、ボンドステージ８の吸着
孔より真空吸引されて半導体ペレット１０はボンドステ
ージ８に保持される。次にＸＹテーブル１がＸＹ方向に
駆動され、リード１１に対する半導体ペレット１０のＸ
Ｙ方向の位置が補正される。次に基準ストローク用エア
シリンダ２１が作動して作動ロッド２２が突出する。こ
れにより、ガイドブロック１６及びカムホルダ１７はガ
イドレール１５に沿って移動し、カムホルダ１７及び基
準ストローク用カム１８は２点鎖線で示す状態となる。
即ち、ボンデイングのためにボンドステージ８が上昇す
る。
【００１１】この場合、ローラ２０は上限可変用リニア
カム３０のカム面３０ａに沿って動き、上限可変用リニ
アカム３０のカム面によって押し上げられるので、基準
ストローク用カム１８は支軸１９を中心として若干反時
計方向に回動し、２点鎖線で示す状態となる。基準スト
ローク用カム１８が２点鎖線で示すように移動すると、
該基準ストローク用カム１８のカム面によってローラ
５、上下動ブロック４、ヒートブロック７及びボンドス
テージ８は押し上げられ、ボンドステージ８は上昇して
２点鎖線で示す状態となる。またボンデイングツール１
２が下降させられ、リード１１を半導体ペレット１０の
バンプに接合する。その後、ボンデイングツール１２は
上昇、また基準ストローク用エアシリンダ２１が前記と
逆方向に作動してボンドステージ８は下降して実線で示
す状態となる。
【００１２】次にボンドステージ８の上昇位置の調整を
図２により説明する。品種が変更になった場合は、リー
ド１１と半導体ペレット１０のバンプとのクリアランス
を調整する必要がある。図２の実線で示す状態は、ボン
ドステージ８が上昇位置にある場合を示し、図１の２点
鎖線の状態を示す。上限可変用モータ３３を回転させて
ねじ軸３２を回転させると、ガイドブロック２８及びカ
ムホルダ２９はガイドレール２７によって移動し、カム
ホルダ２９及び上限可変用リニアカム３０は２点鎖線で
示す状態となる。これにより、ローラ２０が当接してい
る上限可変用リニアカム３０のカム面３０ｂが低くな
り、ローラ２０は下降するので、基準ストローク用カム
１８は支軸１９を中心として時計方向に回動し、２点鎖
線で示す状態となる。基準ストローク用カム１８が２点
鎖線で示す状態となると、ローラ５が当接している基準
ストローク用カム１８のカム面も低くなるので、ローラ
５及びボンドステージ８は下降し、ボンドステージ８は
２点鎖線で示す状態となる。
【００１３】また上限可変用リニアカム３０が実線で示
す状態にあり、この状態より上限可変用モータ３３を前
記と逆方向に回転させると、前記と同じ作用により上限
可変用リニアカム３０が実線で示す状態より右方向に動
き、ローラ２０を押し上げる。これにより、基準ストロ
ーク用カム１８は実線で示す状態より反時計方向に回動
し、基準ストローク用カム１８のカム面によってローラ
５を押し上げる。従って、ボンドステージ８は実線で示
す状態より上昇した位置となる。
【００１４】このように、上限可変用モータ３３を駆動
して上限可変用リニアカム３０の位置を変えると、ボン
ドステージ８が上昇位置になるように基準ストローク用
カム１８を移動させた場合、基準ストローク用カム１８
に設けられたローラ２０が上限可変用リニアカム３０の
カム面３０ａに接触する位置が変わる。即ち、上限可変
用リニアカム３０のカム面３０ａの高さによって基準ス
トローク用カム１８は回動し、該基準ストローク用カム
１８のカム面が変化し、ボンドステージ８の上昇位置が
変わる。
【００１５】従って、上限可変用モータ３３を回転させ
ることによりボンドステージ８の上昇位置をその品種に
適合できるように調整できる。このボンドステージ８の
上昇位置の調整は、品種変更時にのみ行うものであり、
前記したボンデイング動作時には作動させる必要はな
い。このように、上限可変用モータ３３の回転によって
ボンドステージ８の上昇位置を任意に調整できるので、
予め各品種に対応して上限可変用モータ３３の回転位
置、即ち上限可変用リニアカム３０の位置を調べてお
き、それを上限可変用モータ３３の制御回路部に入力し
ておくことにより、品種変更時にはその品種のボタンを
押すのみで、該品種に適合できるように上限可変用モー
タ３３を自動的に回転させることができる。即ち、ボン
ドステージ８の上昇位置が自動的に迅速に調整できる。
また一度ボンドステージ８の上昇位置を調整して調べて
おくのみでよいので、品種変更毎に調整作業を必要とし
なく、常に一定の調整が可能であり、ボンデイング品質
が安定する。
【００１６】なお、上記実施例においては、カムホルダ
１７を基準ストローク用エアシリンダ２１で駆動させた
が、カムホルダ１７をモータで駆動させてもよい。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、ボンドステージを上下
動させる基準ストローク用カムと、この基準ストローク
用カムの一端側を回転自在に支承し、水平方向に移動可
能に設けられたカムホルダと、このカムホルダを水平方
向に駆動する基準ストローク用駆動手段と、前記基準ス
トローク用カムの他端側に設けられたローラと、このロ
ーラが接触する上限可変用リニアカムと、前記ボンドス
テージの上昇位置調整時に、前記上限可変用リニアカム
を前記ローラとの接触位置を変えるように移動させる上
限可変用モータとを備えた構成よりなるので、ボンドス
テージの上昇位置の調整を迅速に行うことができ、また
常に一定の調整が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のボンデイング装置の一実施の形態を示
す一部断面正面図である。
【図２】ボンドステージが上昇位置にある状態を示す一
部断面要部正面図である。
【符号の説明】
４ 上下動ブロック ８ ボンドステージ １０ 半導体ペレット １１ リード １２ ボンデイングツール １７ カムホルダ １８ 基準ストローク用カム ２０ ローラ ２１ 基準ストローク用エアシリンダ ２９ カムホルダ ３０ 上限可変用リニアカム ３３ 上限可変用モータ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体ペレットを載置して上下動可能に
    設けられたボンドステージを有し、リードフレームのリ
    ード又はフィルムキャリアに設けられたリードと半導体
    ペレットのバンプとを圧着させるボンデイング装置にお
    いて、前記ボンドステージを上下動させる基準ストロー
    ク用カムと、この基準ストローク用カムの一端側を回転
    自在に支承し、水平方向に移動可能に設けられたカムホ
    ルダと、このカムホルダを水平方向に駆動する基準スト
    ローク用駆動手段と、前記基準ストローク用カムの他端
    側に設けられたローラと、このローラが接触する上限可
    変用リニアカムと、前記ボンドステージの上昇位置調整
    時に、前記上限可変用リニアカムを前記ローラとの接触
    位置を変えるように移動させる上限可変用モータとを備
    えたことを特徴とするボンデイング装置。
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