JPH0936139A - リードフレーム供給方法 - Google Patents
リードフレーム供給方法Info
- Publication number
- JPH0936139A JPH0936139A JP20386095A JP20386095A JPH0936139A JP H0936139 A JPH0936139 A JP H0936139A JP 20386095 A JP20386095 A JP 20386095A JP 20386095 A JP20386095 A JP 20386095A JP H0936139 A JPH0936139 A JP H0936139A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magazine
- lead frame
- claw
- chuck
- chuck part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- De-Stacking Of Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡易な構成よりなるチャック部を用いて、マ
ガジン内のリードフレームを確実にマガジン外に供給す
る。 【構成】 固定爪なる上爪27と可動爪なる下爪28と
を有するチャック部をマガジン16内に侵入させるにあ
たり、マガジン16内の供給されるリードフレーム11
が開状態にある前記チャック部の固定爪27と可動爪2
8のほぼ中央高さ位置に位置するように、前記マガジン
16を位置付ける。
ガジン内のリードフレームを確実にマガジン外に供給す
る。 【構成】 固定爪なる上爪27と可動爪なる下爪28と
を有するチャック部をマガジン16内に侵入させるにあ
たり、マガジン16内の供給されるリードフレーム11
が開状態にある前記チャック部の固定爪27と可動爪2
8のほぼ中央高さ位置に位置するように、前記マガジン
16を位置付ける。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤボンディング装
置等の半導体製造装置に用いて好適なリードフレームの
供給方法に関する。
置等の半導体製造装置に用いて好適なリードフレームの
供給方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、リードフレームの供給に関して
は、例えば特開平1−239944号公報に記載されて
いるように、リードフレームを上爪と下爪とからなるチ
ャック部にて挟持し、ガイドレールに供給する技術が知
られている。
は、例えば特開平1−239944号公報に記載されて
いるように、リードフレームを上爪と下爪とからなるチ
ャック部にて挟持し、ガイドレールに供給する技術が知
られている。
【0003】しかしながら、ここに記載された例による
と、上爪と下爪の両方を可動爪とし、両爪の開閉動作に
よりリードフレームを挟持するようにしているため、機
構が複雑で部品点数が多くなり、コスト高となる。
と、上爪と下爪の両方を可動爪とし、両爪の開閉動作に
よりリードフレームを挟持するようにしているため、機
構が複雑で部品点数が多くなり、コスト高となる。
【0004】そこで、チャック機構を簡素化するため、
上爪を固定爪とし、下爪のみを開閉動するように構成し
たものが提案されている。このチャック部を用いたリー
ドフレームの供給を、図12を用いて説明する。
上爪を固定爪とし、下爪のみを開閉動するように構成し
たものが提案されている。このチャック部を用いたリー
ドフレームの供給を、図12を用いて説明する。
【0005】まず、リードフレーム1を収納するマガジ
ン2を昇降動させ、リードフレーム1の下面を供給高さ
位置sに位置付ける。この供給高さ位置sは、リードフ
レーム1の供給先であるガイドレールの搬送面高さと同
一高さとされる。次に、固定爪なる上爪3aと可動爪な
る下爪3bからなるチャック部3が開状態でマガジン1
内に侵入した後、閉動作となりリードフレーム1を挟持
する。その後チャック部3は、このリードフレーム1を
挟持した状態のままガイドレールへ向けて移動する。こ
の結果、リードフレーム1は、チャック部3によりマガ
ジン2より引き出され、ガイドレールに供給される。
ン2を昇降動させ、リードフレーム1の下面を供給高さ
位置sに位置付ける。この供給高さ位置sは、リードフ
レーム1の供給先であるガイドレールの搬送面高さと同
一高さとされる。次に、固定爪なる上爪3aと可動爪な
る下爪3bからなるチャック部3が開状態でマガジン1
内に侵入した後、閉動作となりリードフレーム1を挟持
する。その後チャック部3は、このリードフレーム1を
挟持した状態のままガイドレールへ向けて移動する。こ
の結果、リードフレーム1は、チャック部3によりマガ
ジン2より引き出され、ガイドレールに供給される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、マガジン2
からリードフレーム1を良好に引き出すため、リードフ
レーム1を引き出す際、通常はリードフレーム1の下面
を供給高さ位置sよりほんの少し持上げる(持上げ量
h)ようにしている。そしてこれを実行するため、チャ
ック部3がマガジン2内に侵入した際、上爪3aの下面
が、供給高さ位置sに位置付けられたリードフレーム1
の上面より持上げ量hだけ上方に位置付けられるよう
に、その位置関係が設定される。
からリードフレーム1を良好に引き出すため、リードフ
レーム1を引き出す際、通常はリードフレーム1の下面
を供給高さ位置sよりほんの少し持上げる(持上げ量
h)ようにしている。そしてこれを実行するため、チャ
ック部3がマガジン2内に侵入した際、上爪3aの下面
が、供給高さ位置sに位置付けられたリードフレーム1
の上面より持上げ量hだけ上方に位置付けられるよう
に、その位置関係が設定される。
【0007】このため、チャック部3の侵入時に上爪3
aとリードフレーム1との間には、わずかな間隔(持上
げ量h)しか確保することができず、リードフレーム1
にそり等が生じていた場合には、マガジン2内に侵入し
たチャック部3の上爪3aがリードフレーム1と接触、
或いは衝突し、リードフレーム1を供給方向と反対方向
へ押し出してしまったり、リードフレーム1に損傷を与
えてしまい、リードフレーム1の供給ミスを生じるとい
う問題点があった。
aとリードフレーム1との間には、わずかな間隔(持上
げ量h)しか確保することができず、リードフレーム1
にそり等が生じていた場合には、マガジン2内に侵入し
たチャック部3の上爪3aがリードフレーム1と接触、
或いは衝突し、リードフレーム1を供給方向と反対方向
へ押し出してしまったり、リードフレーム1に損傷を与
えてしまい、リードフレーム1の供給ミスを生じるとい
う問題点があった。
【0008】本発明は、簡易な構成よりなるチャック部
を用いて、マガジン内のリードフレームを確実にマガジ
ン外に供給することを目的とする。
を用いて、マガジン内のリードフレームを確実にマガジ
ン外に供給することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の本発明
は、リードフレームを積層状態で収納するマガジン内に
固定爪と可動爪を有するチャック部を開状態で侵入さ
せ、侵入後このチャック部にて前記リードフレームを挟
持して1枚ずつマガジン外の所定位置に供給するリード
フレーム供給方法において、前記チャック部を前記マガ
ジン内に侵入させるにあたり、前記マガジン内の供給さ
れるリードフレームが開状態にある前記チャック部の固
定爪と可動爪のほぼ中央高さ位置に位置するように、前
記チャック部と前記マガジンとの相対位置を設定するこ
とを特徴とする。
は、リードフレームを積層状態で収納するマガジン内に
固定爪と可動爪を有するチャック部を開状態で侵入さ
せ、侵入後このチャック部にて前記リードフレームを挟
持して1枚ずつマガジン外の所定位置に供給するリード
フレーム供給方法において、前記チャック部を前記マガ
ジン内に侵入させるにあたり、前記マガジン内の供給さ
れるリードフレームが開状態にある前記チャック部の固
定爪と可動爪のほぼ中央高さ位置に位置するように、前
記チャック部と前記マガジンとの相対位置を設定するこ
とを特徴とする。
【0010】請求項2に記載の本発明は、リードフレー
ムを積層状態で収納するマガジン内に固定爪と可動爪を
有するチャック部を開状態で侵入させ、侵入後このチャ
ック部にて前記リードフレームを挟持して1枚ずつマガ
ジン外の所定位置に供給するリードフレーム供給方法に
おいて、前記チャック部を前記マガジン内に侵入させる
にあたり、前記マガジン内の供給されるリードフレーム
が開状態にある前記チャック部の固定爪と可動爪のほぼ
中央高さ位置に位置するように、前記マガジンを位置付
けることを特徴とする。
ムを積層状態で収納するマガジン内に固定爪と可動爪を
有するチャック部を開状態で侵入させ、侵入後このチャ
ック部にて前記リードフレームを挟持して1枚ずつマガ
ジン外の所定位置に供給するリードフレーム供給方法に
おいて、前記チャック部を前記マガジン内に侵入させる
にあたり、前記マガジン内の供給されるリードフレーム
が開状態にある前記チャック部の固定爪と可動爪のほぼ
中央高さ位置に位置するように、前記マガジンを位置付
けることを特徴とする。
【0011】請求項3に記載の本発明は、リードフレー
ムを積層状態で収納するマガジン内に固定爪と可動爪を
有するチャック部を開状態で侵入させ、侵入後このチャ
ック部にて前記リードフレームを挟持して1枚ずつマガ
ジン外の所定位置に供給するリードフレーム供給方法に
おいて、前記マガジン内の供給されるリードフレーム
を、前記チャック部が前記マガジン内に侵入する前段階
においては、開状態にある前記チャック部の固定爪と可
動爪のほぼ中央高さ位置に、また前記チャック部が前記
マガジン内へ侵入しかつその挟持動作する前段階におい
て前記所定位置の高さ位置に、それぞれ位置付けること
を特徴とする。
ムを積層状態で収納するマガジン内に固定爪と可動爪を
有するチャック部を開状態で侵入させ、侵入後このチャ
ック部にて前記リードフレームを挟持して1枚ずつマガ
ジン外の所定位置に供給するリードフレーム供給方法に
おいて、前記マガジン内の供給されるリードフレーム
を、前記チャック部が前記マガジン内に侵入する前段階
においては、開状態にある前記チャック部の固定爪と可
動爪のほぼ中央高さ位置に、また前記チャック部が前記
マガジン内へ侵入しかつその挟持動作する前段階におい
て前記所定位置の高さ位置に、それぞれ位置付けること
を特徴とする。
【0012】
【作用】本発明によれば、固定爪と可動爪を有するチャ
ック部をマガジン内に侵入させるにあたり、マガジン内
のこれから供給されようとするリードフレームが、開状
態にあるチャック部の固定爪と可動爪のほぼ中央高さ位
置に位置するように、前記チャック部と前記マガジンと
の相対位置が設定される。このため、チャック部をマガ
ジン内に侵入させたとき、両爪とリードフレームとの間
には、従来に比して充分な間隔を確保することができ
る。
ック部をマガジン内に侵入させるにあたり、マガジン内
のこれから供給されようとするリードフレームが、開状
態にあるチャック部の固定爪と可動爪のほぼ中央高さ位
置に位置するように、前記チャック部と前記マガジンと
の相対位置が設定される。このため、チャック部をマガ
ジン内に侵入させたとき、両爪とリードフレームとの間
には、従来に比して充分な間隔を確保することができ
る。
【0013】
【実施例】本発明の実施例を図面を用いて説明する。図
1は本発明が適用されたリードフレーム供給装置を示す
平面図、図2は図1のA−A断面図、図3は図1のB−
B断面図、図4乃至図11は図1に示すリードフレーム
供給装置の動作説明図である。
1は本発明が適用されたリードフレーム供給装置を示す
平面図、図2は図1のA−A断面図、図3は図1のB−
B断面図、図4乃至図11は図1に示すリードフレーム
供給装置の動作説明図である。
【0014】リードフレーム供給装置10は、リードフ
レーム11の搬送を案内する一対のガイドレール12、
13と、一方のガイドレール12に沿って移動し上下一
対の送り爪14を有する搬送装置15と、他方のガイド
レール13に沿って移動しリードフレーム11をマガジ
ン16からガイドレール12、13へ一枚ずつ供給する
供給装置17とを有する。
レーム11の搬送を案内する一対のガイドレール12、
13と、一方のガイドレール12に沿って移動し上下一
対の送り爪14を有する搬送装置15と、他方のガイド
レール13に沿って移動しリードフレーム11をマガジ
ン16からガイドレール12、13へ一枚ずつ供給する
供給装置17とを有する。
【0015】搬送装置15は、ガイドレール12に平行
して配置されたガイドロッド18に案内されながら、不
図示の駆動機構にて移動自在とされる。
して配置されたガイドロッド18に案内されながら、不
図示の駆動機構にて移動自在とされる。
【0016】マガジン16は、リードフレーム11を積
層状態で収納し、不図示の昇降手段にて昇降自在に支持
される。
層状態で収納し、不図示の昇降手段にて昇降自在に支持
される。
【0017】供給装置17は、図2に示されるように、
固定ブロック19と、この固定ブロック19に設置され
ガイドレール13と平行する案内レール20と、この案
内レール20に案内されて移動する移動ブロック21を
有する。
固定ブロック19と、この固定ブロック19に設置され
ガイドレール13と平行する案内レール20と、この案
内レール20に案内されて移動する移動ブロック21を
有する。
【0018】固定ブロック19には、ブラケット22を
介してモータ23が保持され、その回転軸には駆動プー
リ24が装着される。そして、図3に示されるように、
駆動プーリ24と固定ブロック19に軸支された2個の
従動プーリ25にベルト26が掛け渡され、ベルト26
の一部が移動ブロック21と一体化される。
介してモータ23が保持され、その回転軸には駆動プー
リ24が装着される。そして、図3に示されるように、
駆動プーリ24と固定ブロック19に軸支された2個の
従動プーリ25にベルト26が掛け渡され、ベルト26
の一部が移動ブロック21と一体化される。
【0019】移動ブロック21には、上爪27と下爪2
8を有するチャック部が支持される。
8を有するチャック部が支持される。
【0020】上爪27は、移動ブロック21に固定支持
された固定アーム29に装着される。そして、その挟持
部27aは、ガイドレール12、13におけるリードフ
レーム11の供給高さ位置sに対し、リードフレーム1
1の厚みtと、リードフレーム供給時の持上げ量hとを
加えた距離分だけ上方に位置付けられるように設定され
る。
された固定アーム29に装着される。そして、その挟持
部27aは、ガイドレール12、13におけるリードフ
レーム11の供給高さ位置sに対し、リードフレーム1
1の厚みtと、リードフレーム供給時の持上げ量hとを
加えた距離分だけ上方に位置付けられるように設定され
る。
【0021】移動ブロック21には支軸30を介して揺
動アーム31が支持され、この揺動アーム31の先端に
下爪28は装着される。揺動アーム31には、ピン32
が立設され、このピン32と、移動ブロック21に立設
されたピン33間にバネ34が掛けられることで、揺動
アーム31は下方に付勢される。また、移動ブロック2
1には、揺動アーム31と対向してエアシリンダ35が
装着され、その作動ロッド35aの伸長時、揺動アーム
31をバネ34の付勢力に抗してチャック閉方向に押上
げる。
動アーム31が支持され、この揺動アーム31の先端に
下爪28は装着される。揺動アーム31には、ピン32
が立設され、このピン32と、移動ブロック21に立設
されたピン33間にバネ34が掛けられることで、揺動
アーム31は下方に付勢される。また、移動ブロック2
1には、揺動アーム31と対向してエアシリンダ35が
装着され、その作動ロッド35aの伸長時、揺動アーム
31をバネ34の付勢力に抗してチャック閉方向に押上
げる。
【0022】次に、上記構成による作動について、図4
乃至図11を用いて説明する。
乃至図11を用いて説明する。
【0023】リードフレーム11の供給は、まず図4に
示すように、マガジン16内の最下位置に収納されてい
るリードフレーム11を、供給高さ位置sよりも下方
で、待機位置Pに位置付けられる開状態の上爪27と下
爪28のほぼ中央高さ位置cに位置付ける。
示すように、マガジン16内の最下位置に収納されてい
るリードフレーム11を、供給高さ位置sよりも下方
で、待機位置Pに位置付けられる開状態の上爪27と下
爪28のほぼ中央高さ位置cに位置付ける。
【0024】次に、モータ23を正転駆動させて移動ブ
ロック21をマガジン16に向けて移動させ、上爪2
7、下爪28をマガジン16内へ侵入させる(図5)。
これにより、両爪27、28間にリードフレーム11が
位置することになる。
ロック21をマガジン16に向けて移動させ、上爪2
7、下爪28をマガジン16内へ侵入させる(図5)。
これにより、両爪27、28間にリードフレーム11が
位置することになる。
【0025】次に、図6に示すように、マガジン16を
微小量上昇させ、両爪27、28間に位置するリードフ
レーム11の下面を供給高さ位置sに一致させる。この
時、リードフレーム11の上面と上爪27との間には持
上げ量h分に相当する間隙を有することになる。ここ
で、エアシリンダ35の作動ロッド35aを伸長させて
下爪28を上昇させ、図7に示すように、リードフレー
ム11を上爪27と下爪28とで挟持する。なお上爪2
7と下爪28とによる挟持時点で、このリードフレーム
11の下面は、供給高さ位置sより持上げ量hだけ上昇
させられることになる。
微小量上昇させ、両爪27、28間に位置するリードフ
レーム11の下面を供給高さ位置sに一致させる。この
時、リードフレーム11の上面と上爪27との間には持
上げ量h分に相当する間隙を有することになる。ここ
で、エアシリンダ35の作動ロッド35aを伸長させて
下爪28を上昇させ、図7に示すように、リードフレー
ム11を上爪27と下爪28とで挟持する。なお上爪2
7と下爪28とによる挟持時点で、このリードフレーム
11の下面は、供給高さ位置sより持上げ量hだけ上昇
させられることになる。
【0026】この後、モータ23は逆転し、図8に示さ
れるように、上爪27と下爪28とで挟持されたリード
フレーム11は、ガイドレール12、13の所定の位置
まで引き出される。
れるように、上爪27と下爪28とで挟持されたリード
フレーム11は、ガイドレール12、13の所定の位置
まで引き出される。
【0027】この引き出し動作が完了すると、エアシリ
ンダ35の作動ロッド35aが収縮し、下爪28はバネ
34の作用にて下降し、リードフレーム11の挟持を解
除する(図9)。その後は、図10に示すように、モー
タ23の正転により、両爪27、28は待機位置Pに戻
るとともに、ガイドレール12、13に供給されたリー
ドフレーム11は、搬送装置15の送り爪14にて挟持
されて、半導体製造装置等による加工位置へと搬送され
る。
ンダ35の作動ロッド35aが収縮し、下爪28はバネ
34の作用にて下降し、リードフレーム11の挟持を解
除する(図9)。その後は、図10に示すように、モー
タ23の正転により、両爪27、28は待機位置Pに戻
るとともに、ガイドレール12、13に供給されたリー
ドフレーム11は、搬送装置15の送り爪14にて挟持
されて、半導体製造装置等による加工位置へと搬送され
る。
【0028】マガジン16よりリードフレーム11が完
全に引き出された後、マガジン16は下動し、次に位置
するリードフレーム11が中央高さ位置cに位置付けら
れ(図11)、以後は上述の動作が繰り返される。
全に引き出された後、マガジン16は下動し、次に位置
するリードフレーム11が中央高さ位置cに位置付けら
れ(図11)、以後は上述の動作が繰り返される。
【0029】上記実施例によれば、上爪27を固定爪と
し、下爪28を可動爪とした供給装置17を用いてリー
ドフレーム11をマガジン16より供給するに際し、マ
ガジン16内におけるこれから供給しようとするリード
フレーム11を、開状態の上爪27と下爪28のほぼ中
央高さ位置cにまず位置決めし、その後、上爪27と下
爪28がマガジン16内に侵入するように移動制御して
いる。このため、両爪27、28、特に上爪27とリー
ドフレーム11との間には従来に比して充分な間隔を確
保することができ、この状態で両爪27、28をマガジ
ン16内に侵入させることができる。従って、リードフ
レーム11にそり等が生じていた場合でも、マガジン1
6内に侵入した両爪27、28がリードフレーム11に
接触、或いは衝突することなく、リードフレーム11の
供給ミスを防止することができる。
し、下爪28を可動爪とした供給装置17を用いてリー
ドフレーム11をマガジン16より供給するに際し、マ
ガジン16内におけるこれから供給しようとするリード
フレーム11を、開状態の上爪27と下爪28のほぼ中
央高さ位置cにまず位置決めし、その後、上爪27と下
爪28がマガジン16内に侵入するように移動制御して
いる。このため、両爪27、28、特に上爪27とリー
ドフレーム11との間には従来に比して充分な間隔を確
保することができ、この状態で両爪27、28をマガジ
ン16内に侵入させることができる。従って、リードフ
レーム11にそり等が生じていた場合でも、マガジン1
6内に侵入した両爪27、28がリードフレーム11に
接触、或いは衝突することなく、リードフレーム11の
供給ミスを防止することができる。
【0030】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲内において変
更可能であることはいうまでもない。例えば、可動爪な
る下爪28の駆動手段としては、エアシリンダ35に代
えてソレノイド等を駆動源とするものであっても良い。
のではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲内において変
更可能であることはいうまでもない。例えば、可動爪な
る下爪28の駆動手段としては、エアシリンダ35に代
えてソレノイド等を駆動源とするものであっても良い。
【0031】また上記実施例では、上爪27を固定爪と
したが、下爪28を固定爪とし、上爪27を可動爪とし
ても良い。この場合には、マガジン16の昇降動作は、
上記実施例と丁度反対に行なえば良い。
したが、下爪28を固定爪とし、上爪27を可動爪とし
ても良い。この場合には、マガジン16の昇降動作は、
上記実施例と丁度反対に行なえば良い。
【0032】
【発明の効果】本発明によれば、簡易な構成よりなるチ
ャック部を用いて、マガジン内のリードフレームを確実
にマガジン外に供給することができる。
ャック部を用いて、マガジン内のリードフレームを確実
にマガジン外に供給することができる。
【図1】本発明が適用されたリードフレームの供給装置
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図2】図1のA−A断面図である。
【図3】図1のB−B断面図である。
【図4】図1に示すリードフレーム供給装置の動作説明
図である。
図である。
【図5】図1に示すリードフレーム供給装置の動作説明
図である。
図である。
【図6】図1に示すリードフレーム供給装置の動作説明
図である。
図である。
【図7】図1に示すリードフレーム供給装置の動作説明
図である。
図である。
【図8】図1に示すリードフレーム供給装置の動作説明
図である。
図である。
【図9】図1に示すリードフレーム供給装置の動作説明
図である。
図である。
【図10】図1に示すリードフレーム供給装置の動作説
明図である。
明図である。
【図11】図1に示すリードフレーム供給装置の動作説
明図である。
明図である。
【図12】従来のリードフレーム供給装置の正面図であ
る。
る。
10 リードフレーム供給装置 11 リードフレーム 12 ガイドレール 13 ガイドレール 15 搬送装置 16 マガジン 17 供給装置 21 移動ブロック 27 上爪 28 下爪 29 固定アーム 30 支軸 31 揺動アーム s 供給高さ位置 h 持上げ量 t リードフレーム11の厚み c 中央高さ位置
Claims (3)
- 【請求項1】 リードフレームを積層状態で収納するマ
ガジン内に固定爪と可動爪を有するチャック部を開状態
で侵入させ、侵入後このチャック部にて前記リードフレ
ームを挟持して1枚ずつマガジン外の所定位置に供給す
るリードフレーム供給方法において、前記チャック部を
前記マガジン内に侵入させるにあたり、前記マガジン内
の供給されるリードフレームが開状態にある前記チャッ
ク部の固定爪と可動爪のほぼ中央高さ位置に位置するよ
うに、前記チャック部と前記マガジンとの相対位置を設
定することを特徴とするリードフレーム供給方法。 - 【請求項2】 リードフレームを積層状態で収納するマ
ガジン内に固定爪と可動爪を有するチャック部を開状態
で侵入させ、侵入後このチャック部にて前記リードフレ
ームを挟持して1枚ずつマガジン外の所定位置に供給す
るリードフレーム供給方法において、前記チャック部を
前記マガジン内に侵入させるにあたり、前記マガジン内
の供給されるリードフレームが開状態にある前記チャッ
ク部の固定爪と可動爪のほぼ中央高さ位置に位置するよ
うに、前記マガジンを位置付けることを特徴とするリー
ドフレーム供給方法。 - 【請求項3】 リードフレームを積層状態で収納するマ
ガジン内に固定爪と可動爪を有するチャック部を開状態
で侵入させ、侵入後このチャック部にて前記リードフレ
ームを挟持して1枚ずつマガジン外の所定位置に供給す
るリードフレーム供給方法において、前記マガジン内の
供給されるリードフレームを、前記チャック部が前記マ
ガジン内に侵入する前段階においては、開状態にある前
記チャック部の固定爪と可動爪のほぼ中央高さ位置に、
また前記チャック部が前記マガジン内へ侵入しかつその
挟持動作する前段階において前記所定位置の高さ位置
に、それぞれ位置付けることを特徴とするリードフレー
ム供給方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20386095A JPH0936139A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | リードフレーム供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20386095A JPH0936139A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | リードフレーム供給方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0936139A true JPH0936139A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16480903
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20386095A Pending JPH0936139A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | リードフレーム供給方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0936139A (ja) |
-
1995
- 1995-07-18 JP JP20386095A patent/JPH0936139A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101099247B1 (ko) | 로드 포트 및 로드 포트의 제어 방법 | |
US6062795A (en) | Wafer ring feeding apparatus | |
JP3198401B2 (ja) | ウェーハリングの供給・返送装置 | |
JPH0964148A (ja) | ウェーハリングの供給・返送装置 | |
JPS63153839A (ja) | 基板の回転保持装置 | |
US5143510A (en) | Lead frame separating device | |
JPH0936139A (ja) | リードフレーム供給方法 | |
JP2536982B2 (ja) | コンベア用反転装置 | |
US5755373A (en) | Die push-up device | |
CN114999979B (zh) | 晶圆装载*** | |
JPH0798588B2 (ja) | リ−ドフレ−ム分離装置 | |
US5217107A (en) | Apparatus for feeding plate-form parts | |
JP4063033B2 (ja) | 基板搬送下受け装置 | |
JP2890333B2 (ja) | リードフレームの搬送装置 | |
JP2853889B2 (ja) | 基板移載装置 | |
JP3015243B2 (ja) | 2以上のボンディングヘッドを有するボンディング装置 | |
JPS62268137A (ja) | ウエハキヤリア移載装置 | |
JPH09312325A (ja) | オリフラ整合装置 | |
JPS62268136A (ja) | ウエハキヤリア移載装置 | |
JP2001135655A (ja) | リードフレーム供給機構 | |
JPH0548336U (ja) | リードフレーム類の供給装置 | |
JP3176407B2 (ja) | リードフレームのピックアップ送込機構 | |
JPH01189930A (ja) | リードフレームの搬送装置 | |
JPH0625002Y2 (ja) | ワ−ク移送装置 | |
JP2817080B2 (ja) | ボンディング装置 |