JPH09186181A - ペレットピックアップ方法および装置 - Google Patents
ペレットピックアップ方法および装置Info
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- JPH09186181A JPH09186181A JP1294397A JP1294397A JPH09186181A JP H09186181 A JPH09186181 A JP H09186181A JP 1294397 A JP1294397 A JP 1294397A JP 1294397 A JP1294397 A JP 1294397A JP H09186181 A JPH09186181 A JP H09186181A
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- pellets
- pellet
- pickup
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハ上での一定の広さの領域内に存在する
複数個のペレットが同一グループとして順次ピックアッ
プされるようにしたペレットピックアップ方法および装
置を提供することを課題とする。 【解決手段】 縦横複数行複数列の格子状に並べられた
ペレット(P1,P2…)を順次ピックアップする方法
において、上記ペレットを、所定数の列毎に分割された
複数段に区分けし、各段(S1〜S3)において、1行
毎にジグザグ状にペレットをピックアップするととも
に、各段についての全体的なペレットピックアップの進
行方向が隣接する段どうしでジグザグ状に変更されるよ
うにしたことを特徴とする。
複数個のペレットが同一グループとして順次ピックアッ
プされるようにしたペレットピックアップ方法および装
置を提供することを課題とする。 【解決手段】 縦横複数行複数列の格子状に並べられた
ペレット(P1,P2…)を順次ピックアップする方法
において、上記ペレットを、所定数の列毎に分割された
複数段に区分けし、各段(S1〜S3)において、1行
毎にジグザグ状にペレットをピックアップするととも
に、各段についての全体的なペレットピックアップの進
行方向が隣接する段どうしでジグザグ状に変更されるよ
うにしたことを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、エキスパンドシート
上に縦横格子状に並んだ半導体ペレットを順次ピックア
ップするための方法および装置に関し、詳しくは、ほぼ
同一領域にある特性の揃ったペレットが順次ピックアッ
プされるように改良されたものに関する。
上に縦横格子状に並んだ半導体ペレットを順次ピックア
ップするための方法および装置に関し、詳しくは、ほぼ
同一領域にある特性の揃ったペレットが順次ピックアッ
プされるように改良されたものに関する。
【0002】
【従来の技術】ICやLSIあるいはLEDなどの半導
体装置は、一枚のウエハ上に多数個の半導体素子を一括
して作り込み、これを各単位半導体素子に分割したもの
(ペレット)を一個一個ピックアップしてリードフレー
ム上の所定のボンディング位置にボンディングするとい
う製造過程を経る。
体装置は、一枚のウエハ上に多数個の半導体素子を一括
して作り込み、これを各単位半導体素子に分割したもの
(ペレット)を一個一個ピックアップしてリードフレー
ム上の所定のボンディング位置にボンディングするとい
う製造過程を経る。
【0003】多数個の半導体素子を縦横格子状に密集さ
せて作り込まれたウエハは、伸縮性を有する粘着シート
上に仮接着された後、クラッキングにより個々のペレッ
トに分割され、さらにこのシートは加熱するなどしなが
ら所定量伸張(エキスパンド)させられる。このとき上
記各分割されたペレットの間隔は、その規則的な格子状
の関係を保持しながら広げられる。こうしてエキスパン
ドされたシートは、たとえば円形の枠にぴんと張られ、
そしてこの枠はペレットピックアップ装置のXYテーブ
ル上に装填される。ペレットピックアップ装置は、上記
の枠をXY方向に動かせながら各ペレットを所定のピッ
クアップ位置に誘導し、そしてエアピックアップがピッ
クアップ位置にあるペレットをペレットボンディング装
置またはその位置決め機構に搬送する。
せて作り込まれたウエハは、伸縮性を有する粘着シート
上に仮接着された後、クラッキングにより個々のペレッ
トに分割され、さらにこのシートは加熱するなどしなが
ら所定量伸張(エキスパンド)させられる。このとき上
記各分割されたペレットの間隔は、その規則的な格子状
の関係を保持しながら広げられる。こうしてエキスパン
ドされたシートは、たとえば円形の枠にぴんと張られ、
そしてこの枠はペレットピックアップ装置のXYテーブ
ル上に装填される。ペレットピックアップ装置は、上記
の枠をXY方向に動かせながら各ペレットを所定のピッ
クアップ位置に誘導し、そしてエアピックアップがピッ
クアップ位置にあるペレットをペレットボンディング装
置またはその位置決め機構に搬送する。
【0004】ところで、従来の一般的なペレットピック
アップ装置では、上記エキスパンドシート上に規則正し
い縦横格子状に担持されたペレットは普通、本願の図9
に矢印で示すように、一列毎にピックアップされるよう
になっている。
アップ装置では、上記エキスパンドシート上に規則正し
い縦横格子状に担持されたペレットは普通、本願の図9
に矢印で示すように、一列毎にピックアップされるよう
になっている。
【0005】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、上記
のような順序でペレットをピックアップする場合、特性
の異なるペレットが同一グループとして同一の製品に組
み込まれてしまうという問題がある。
のような順序でペレットをピックアップする場合、特性
の異なるペレットが同一グループとして同一の製品に組
み込まれてしまうという問題がある。
【0006】たとえば、LEDの場合、同一のウエハ上
に作られるとはいえ、すべてのペレットが全く同じ特性
となるとは限らない。すなわち、ウエハ上のどの部位に
作られたものであるかによって、その色調、輝度、寿命
等が微妙に異なってしまう。これは、ウエハ基板上に順
次拡散形成される層の組成あるいは厚み等がウエハ上の
すべての領域で一様とはなり難いことに起因する。たと
えば、図9において符号aで示すペレットと符号bで示
すペレットは遠く離れているため、その色調、輝度等が
異なっている可能性がある。しかしながらこれらは同一
列上に存在するので、同一グループとしてピックアップ
され、8セグメントLED表示装置がいくつか集合して
構成される同一の装置内に組み込まれてしまう可能性が
あるのである。同一のLED装置内に組み込まれるLE
Dは、その色調、輝度、および寿命等が揃ったものが使
用されることが好ましいが、従来の方法でピックアップ
されたペレットの微妙な色調の差を測定してグループ分
けする作業を自動的に行なうのは困難で、ましてや寿命
を揃えることは不可能に近い。
に作られるとはいえ、すべてのペレットが全く同じ特性
となるとは限らない。すなわち、ウエハ上のどの部位に
作られたものであるかによって、その色調、輝度、寿命
等が微妙に異なってしまう。これは、ウエハ基板上に順
次拡散形成される層の組成あるいは厚み等がウエハ上の
すべての領域で一様とはなり難いことに起因する。たと
えば、図9において符号aで示すペレットと符号bで示
すペレットは遠く離れているため、その色調、輝度等が
異なっている可能性がある。しかしながらこれらは同一
列上に存在するので、同一グループとしてピックアップ
され、8セグメントLED表示装置がいくつか集合して
構成される同一の装置内に組み込まれてしまう可能性が
あるのである。同一のLED装置内に組み込まれるLE
Dは、その色調、輝度、および寿命等が揃ったものが使
用されることが好ましいが、従来の方法でピックアップ
されたペレットの微妙な色調の差を測定してグループ分
けする作業を自動的に行なうのは困難で、ましてや寿命
を揃えることは不可能に近い。
【0007】一方、ウエハ上での比較的狭い領域内に存
在する、すなわち、たとえば図9に符号Gで示す領域内
に存在する複数個のペレットは、その特性が全く同一で
はないにせよ、かなり近似した特性をもち、その色調、
輝度、および寿命が比較的揃っているということは容易
に想像でき、かつ実際上そのように確認されている。
在する、すなわち、たとえば図9に符号Gで示す領域内
に存在する複数個のペレットは、その特性が全く同一で
はないにせよ、かなり近似した特性をもち、その色調、
輝度、および寿命が比較的揃っているということは容易
に想像でき、かつ実際上そのように確認されている。
【0008】本発明は、以上のような事情のもとで考え
出されたものであって、ウエハ上での一定の広さの領域
内に存在する複数個のペレットが同一グループとして順
次ピックアップされるようにしたペレットピックアップ
方法および装置を提供することをその課題とする。
出されたものであって、ウエハ上での一定の広さの領域
内に存在する複数個のペレットが同一グループとして順
次ピックアップされるようにしたペレットピックアップ
方法および装置を提供することをその課題とする。
【0009】
【問題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
め、本願の各発明では、次の技術的手段を講じている。
め、本願の各発明では、次の技術的手段を講じている。
【0010】すなわち、特許請求の範囲第1項に記載し
た発明は、縦横複数行複数列の格子状に並べられたペレ
ットを順次ピックアップする方法において、上記ペレッ
トを、所定数の列毎に分割された複数段に区分けし、各
段において、1行毎にジグザグ状にペレットをピックア
ップするとともに、各段についての全体的なペレットピ
ックアップの進行方向が隣接する段どうしでジグザグ状
に変更されるようにしたことを特徴としている。
た発明は、縦横複数行複数列の格子状に並べられたペレ
ットを順次ピックアップする方法において、上記ペレッ
トを、所定数の列毎に分割された複数段に区分けし、各
段において、1行毎にジグザグ状にペレットをピックア
ップするとともに、各段についての全体的なペレットピ
ックアップの進行方向が隣接する段どうしでジグザグ状
に変更されるようにしたことを特徴としている。
【0011】そして、特許請求の範囲第2項に記載した
発明は、縦横複数行複数列の格子状に並べられたペレッ
トを支持する支持台と、上記支持台をXY方向に移動さ
せるXYテーブルと、XYテーブルによってピックアッ
プ基準位置に誘導されたペレットをピックアップするピ
ックアップ手段と、ピックアップ基準位置に対して固定
された一定の領域をモニタ画面上に映し出す光学系と、
上記XYテーブルを制御する制御装置と、を備え、上記
格子状のペレットを所定数の列毎に分けられた複数の段
に分割し、各段毎に、各行のペレットを順次ピックアッ
プするペレットピックアップ装置であって、(a) 画面上
の所定の優先順位を与えられた所定のチェック領域にペ
レットが存在するかどうかを順次判定する判定手段、
(b) 上記判定手段が上記チェック領域にペレットが存在
すると判定したとき、このペレットがピックアップ基準
位置に誘導されるようにXYテーブルに対する制御指令
を発する第一の指令手段、(c) 上記ピックアップ手段に
よるペレットピックアップ後、または上記判定手段が上
記チェック領域にペレットが存在しないと判定したと
き、XYテーブルがペレットの間隔相当分行方向に移動
するように制御指令を発する第二の指令手段、(d) 画面
上のピックアップ基準位置が、各段におけるどの列に相
当する位置にあるかを計数する第一カウンタ、(e) チェ
ック領域にペレットが存在しない状態でXYテーブルが
行方向に移動した回数を計数する第二カウンタ、(f) チ
ェック領域にペレットが存在しない状態でXYテーブル
が移動した回数を計数する第三カウンタ、(g) 上記第一
カウンタが0または所定の数値となったとき、または、
上記第二カウンタが所定の数値となったとき、ピックア
ップすべき行および方向を転換するように制御指令を発
する第三の指令手段、および、(h) 上記第三カウンタが
所定の数値となったとき、ピックアップすべき段を変更
するように制御指令を発する第四の指令手段、を備えて
いる。
発明は、縦横複数行複数列の格子状に並べられたペレッ
トを支持する支持台と、上記支持台をXY方向に移動さ
せるXYテーブルと、XYテーブルによってピックアッ
プ基準位置に誘導されたペレットをピックアップするピ
ックアップ手段と、ピックアップ基準位置に対して固定
された一定の領域をモニタ画面上に映し出す光学系と、
上記XYテーブルを制御する制御装置と、を備え、上記
格子状のペレットを所定数の列毎に分けられた複数の段
に分割し、各段毎に、各行のペレットを順次ピックアッ
プするペレットピックアップ装置であって、(a) 画面上
の所定の優先順位を与えられた所定のチェック領域にペ
レットが存在するかどうかを順次判定する判定手段、
(b) 上記判定手段が上記チェック領域にペレットが存在
すると判定したとき、このペレットがピックアップ基準
位置に誘導されるようにXYテーブルに対する制御指令
を発する第一の指令手段、(c) 上記ピックアップ手段に
よるペレットピックアップ後、または上記判定手段が上
記チェック領域にペレットが存在しないと判定したと
き、XYテーブルがペレットの間隔相当分行方向に移動
するように制御指令を発する第二の指令手段、(d) 画面
上のピックアップ基準位置が、各段におけるどの列に相
当する位置にあるかを計数する第一カウンタ、(e) チェ
ック領域にペレットが存在しない状態でXYテーブルが
行方向に移動した回数を計数する第二カウンタ、(f) チ
ェック領域にペレットが存在しない状態でXYテーブル
が移動した回数を計数する第三カウンタ、(g) 上記第一
カウンタが0または所定の数値となったとき、または、
上記第二カウンタが所定の数値となったとき、ピックア
ップすべき行および方向を転換するように制御指令を発
する第三の指令手段、および、(h) 上記第三カウンタが
所定の数値となったとき、ピックアップすべき段を変更
するように制御指令を発する第四の指令手段、を備えて
いる。
【0012】
【作用】XYテーブルが初期設定された位置に移動する
と、光学系の画面上にピックアップ基準位置を含む一定
の範囲が映し出される。このとき写し出されるいくつか
のペレットは、いずれもピックアップ基準位置にあると
は限らないが、判定手段によって存在が確認されたペレ
ットは、そのピックアップ基準位置に対する相対的な位
置が自動的に計算され、このデータに基づいて第一の指
令手段が、上記ペレットがピックアップ基準位置に誘導
されるようにXYテーブルを制御する。
と、光学系の画面上にピックアップ基準位置を含む一定
の範囲が映し出される。このとき写し出されるいくつか
のペレットは、いずれもピックアップ基準位置にあると
は限らないが、判定手段によって存在が確認されたペレ
ットは、そのピックアップ基準位置に対する相対的な位
置が自動的に計算され、このデータに基づいて第一の指
令手段が、上記ペレットがピックアップ基準位置に誘導
されるようにXYテーブルを制御する。
【0013】上記ペレットがピックアップ基準位置に誘
導されると、ピックアップ手段がそのペレットをピック
アップする。その後第二の指令手段がXYテーブルをペ
レットの間隔相当分行方向に移動させる。このとき画面
上では次にピックアップされるペレットがたとえば上か
ら現れる。そしてこの次のペレットは、上記と同様に判
定手段によって判定された後、ピックアップ基準位置に
誘導され、ピックアップされる。行方向にペレットが並
んでいるかぎり、こうして行方向のペレットが順次ピッ
クアップされ、第一カウンタが「0」「1」「2」…と
歩進させられる。縦横格子状のペレットの分割された各
段が、たとえば6列で構成されるとすると、通常行方向
には6個のペレットが並んでいることになる。この場合
第一カウンタの設定値は「5」となっており、上記のよ
うに行方向にならぶ6個のペレットがすべてピックアッ
プされたとき、すなわち第一カウンタが「5」となった
とき、第三の指令手段が次の行のペレットを上記と逆方
向に順次ピックアップすべく、XYテーブルに制御指令
を送る。
導されると、ピックアップ手段がそのペレットをピック
アップする。その後第二の指令手段がXYテーブルをペ
レットの間隔相当分行方向に移動させる。このとき画面
上では次にピックアップされるペレットがたとえば上か
ら現れる。そしてこの次のペレットは、上記と同様に判
定手段によって判定された後、ピックアップ基準位置に
誘導され、ピックアップされる。行方向にペレットが並
んでいるかぎり、こうして行方向のペレットが順次ピッ
クアップされ、第一カウンタが「0」「1」「2」…と
歩進させられる。縦横格子状のペレットの分割された各
段が、たとえば6列で構成されるとすると、通常行方向
には6個のペレットが並んでいることになる。この場合
第一カウンタの設定値は「5」となっており、上記のよ
うに行方向にならぶ6個のペレットがすべてピックアッ
プされたとき、すなわち第一カウンタが「5」となった
とき、第三の指令手段が次の行のペレットを上記と逆方
向に順次ピックアップすべく、XYテーブルに制御指令
を送る。
【0014】そして第一カウンタが「5」から「0」に
戻ったとき、さらに第三の指令手段が次の行のペレット
を逆方向にピックアップすべく、XYテーブルに制御指
令を送る。このようにして当該6列からなる当該段のペ
レットが、順次ジグザグ状にピックアップされる。
戻ったとき、さらに第三の指令手段が次の行のペレット
を逆方向にピックアップすべく、XYテーブルに制御指
令を送る。このようにして当該6列からなる当該段のペ
レットが、順次ジグザグ状にピックアップされる。
【0015】当該段のペレットがすべてピックアップさ
れると、判定手段はペレットが存在しないと判定するこ
とになるが、その場合であっても第二の指令手段および
第三の指令手段によって所定回数XYテーブルが移動さ
せられる。このXYテーブルの移動回数は、行方向に関
するものは第二カウンタにより、行方向ないし行替えを
含むものは第三カウンタにより計数されている。
れると、判定手段はペレットが存在しないと判定するこ
とになるが、その場合であっても第二の指令手段および
第三の指令手段によって所定回数XYテーブルが移動さ
せられる。このXYテーブルの移動回数は、行方向に関
するものは第二カウンタにより、行方向ないし行替えを
含むものは第三カウンタにより計数されている。
【0016】このようなペレットが存在しない状態での
XYテーブルの移動回数が所定回数となると、すなわち
第三カウンタが所定の数値となると、当該段のすべての
ペレットがピックアップされたと判断され、第四の指令
手段が次の段のペレットのピックアップを開始すべく、
設定された次段の所定位置にXYテーブルを動かす。こ
の段においても、上記と同様、行方向に往復するように
ジグザグに順次ペレットがピックアップされる。なお、
このようにピックアップする段が変更されるとき、段全
体としてのピックアップの進行方向も、隣接する段どう
しでジグザグ状に変更される。
XYテーブルの移動回数が所定回数となると、すなわち
第三カウンタが所定の数値となると、当該段のすべての
ペレットがピックアップされたと判断され、第四の指令
手段が次の段のペレットのピックアップを開始すべく、
設定された次段の所定位置にXYテーブルを動かす。こ
の段においても、上記と同様、行方向に往復するように
ジグザグに順次ペレットがピックアップされる。なお、
このようにピックアップする段が変更されるとき、段全
体としてのピックアップの進行方向も、隣接する段どう
しでジグザグ状に変更される。
【0017】たとえば、こうしてピックアップされた連
続する36個のペレットは、6列6行の方形の領域から
採取されたことになる。
続する36個のペレットは、6列6行の方形の領域から
採取されたことになる。
【0018】
【効果】以上のことから、本発明によれば、ウエハ上に
おける互いに比較的近い位置にある複数個のペレットが
連続してピックアップされるので、一連にピックアップ
されるペレットは、ほぼ同一特性のものが続く。本発明
では、各段において、行ごとのペレットピックアップを
ジグザグ状に行うほか、段を変更する場合についても、
段全体としてのペレットピックアップの進行方向が隣合
う段どうしでジグザグ状に変更されるようにしているの
で、上記のように一連にピックアップされるペレットが
略同一特性となるという傾向は、各段内で一連にピック
アップされる場合に当てはまることはもちろん、段の変
更を介して一連にピックアップされる場合にも同様に当
てはまる。これにより、従来の一列ごとにピックアップ
する方法のように特性の異なるペレットが同一グループ
としてピックアップされるという問題は、大きく改善さ
れる。
おける互いに比較的近い位置にある複数個のペレットが
連続してピックアップされるので、一連にピックアップ
されるペレットは、ほぼ同一特性のものが続く。本発明
では、各段において、行ごとのペレットピックアップを
ジグザグ状に行うほか、段を変更する場合についても、
段全体としてのペレットピックアップの進行方向が隣合
う段どうしでジグザグ状に変更されるようにしているの
で、上記のように一連にピックアップされるペレットが
略同一特性となるという傾向は、各段内で一連にピック
アップされる場合に当てはまることはもちろん、段の変
更を介して一連にピックアップされる場合にも同様に当
てはまる。これにより、従来の一列ごとにピックアップ
する方法のように特性の異なるペレットが同一グループ
としてピックアップされるという問題は、大きく改善さ
れる。
【0019】
【実施例の説明】以下、本発明のペレットピックアップ
装置の実施例およびこれによるピックアップ方法を説明
する。
装置の実施例およびこれによるピックアップ方法を説明
する。
【0020】図1に本発明装置の全体構成を概略的に示
す。1はXYテーブルであり、X方向移動テーブル2
と、Y方向移動テーブル3とが組み合され、それぞれの
駆動装置4,5が後記する制御装置6からの制御信号に
よって制御・駆動される。Y方向移動テーブル3上に
は、ほぼコ字状をした支持台7が固定されており、その
上部に形成された環状の保持フレーム8には、ぴんと張
られたエキスパンドシート10上に縦横格子状に整列さ
せられた多数個の半導体ペレットP…を担持させた環状
の枠9が装着されるようになっいる。保持フレーム8の
下方には、エキスパンドシート10上のピックアップ位
置に誘導された所定のペレットを上記エキスパンドシー
ト10から剥離させるためのテープガイド11が固定状
に設けられている。このテープガイド11は、筒状の外
観を備え、その頂面の中央部にはバキュームホール12
が開けられている。そしてこのテープガイド11の内部
には、バキュームホール12からテープガイド頂面上に
出没しうるピックアップニードル13が配されている。
す。1はXYテーブルであり、X方向移動テーブル2
と、Y方向移動テーブル3とが組み合され、それぞれの
駆動装置4,5が後記する制御装置6からの制御信号に
よって制御・駆動される。Y方向移動テーブル3上に
は、ほぼコ字状をした支持台7が固定されており、その
上部に形成された環状の保持フレーム8には、ぴんと張
られたエキスパンドシート10上に縦横格子状に整列さ
せられた多数個の半導体ペレットP…を担持させた環状
の枠9が装着されるようになっいる。保持フレーム8の
下方には、エキスパンドシート10上のピックアップ位
置に誘導された所定のペレットを上記エキスパンドシー
ト10から剥離させるためのテープガイド11が固定状
に設けられている。このテープガイド11は、筒状の外
観を備え、その頂面の中央部にはバキュームホール12
が開けられている。そしてこのテープガイド11の内部
には、バキュームホール12からテープガイド頂面上に
出没しうるピックアップニードル13が配されている。
【0021】上記テープガイド11の頂面中央のバキュ
ームホール12と対応する位置がピックアップ基準位置
で、XYテーブルを駆動させることにより上記エキスパ
ンドシート10を平面的に動かせて所定のペレットをこ
のピックアップ基準位置に誘導し、そうして上記テープ
ガイド11でそのペレットをエキスパンドシート10か
ら剥離させた後、エアピックアップ14がこのペレット
を所定のボンディング位置に搬送するのである。なお、
このテープガイド11およびエアピックアップ14から
なるピックアップ手段15もまた、後記する制御装置6
によって制御・駆動される。
ームホール12と対応する位置がピックアップ基準位置
で、XYテーブルを駆動させることにより上記エキスパ
ンドシート10を平面的に動かせて所定のペレットをこ
のピックアップ基準位置に誘導し、そうして上記テープ
ガイド11でそのペレットをエキスパンドシート10か
ら剥離させた後、エアピックアップ14がこのペレット
を所定のボンディング位置に搬送するのである。なお、
このテープガイド11およびエアピックアップ14から
なるピックアップ手段15もまた、後記する制御装置6
によって制御・駆動される。
【0022】上記テープガイド11の上方には、上記ピ
ックアップ基準位置を含む、少なくとも方形に並ぶ4個
のペレットを写しうるTVカメラ16が配置されてお
り、モニタ表示装置17とともに光学系18を構成して
いる。なおこのTVカメラで撮影された画像は、普通2
値化処理されてモニタ表示装置17に表示されるように
なっている。このモニタ表示装置には、図5に示すよう
に、4個のペレットが映し出されるようになっており、
そして図6に示すように4分割されたチェック領域C
1,C2,C3,C4が設定される。なお、図4ないし
図5において破線で囲んだ領域Bは、画面上でのピック
アップ基準位置を示し、上記テープガイド11の頂面直
上と対応している。なお、この光学系18は、所定のチ
ェック領域にペレットが存在するかどうかを判定する判
定手段19に接続されている。この判定手段19および
後記するアルゴリズムにしたがった順序でペレットをピ
ックアップするようにXYテーブル1およびピックアッ
プ手段15を制御する制御装置6は、コンピュータによ
って構成される。
ックアップ基準位置を含む、少なくとも方形に並ぶ4個
のペレットを写しうるTVカメラ16が配置されてお
り、モニタ表示装置17とともに光学系18を構成して
いる。なおこのTVカメラで撮影された画像は、普通2
値化処理されてモニタ表示装置17に表示されるように
なっている。このモニタ表示装置には、図5に示すよう
に、4個のペレットが映し出されるようになっており、
そして図6に示すように4分割されたチェック領域C
1,C2,C3,C4が設定される。なお、図4ないし
図5において破線で囲んだ領域Bは、画面上でのピック
アップ基準位置を示し、上記テープガイド11の頂面直
上と対応している。なお、この光学系18は、所定のチ
ェック領域にペレットが存在するかどうかを判定する判
定手段19に接続されている。この判定手段19および
後記するアルゴリズムにしたがった順序でペレットをピ
ックアップするようにXYテーブル1およびピックアッ
プ手段15を制御する制御装置6は、コンピュータによ
って構成される。
【0023】本発明方法では、ウエハ上の多数個のペレ
ットP1,P2,P3…を、たとえば、図3に矢印で示
す順序でピックアップする。すなわち、縦横格子状(こ
のペレットの横方向の並びを列、縦方向の並びを行とい
う)に規則的に並べられたペレットをたとえば、図3に
示すように6列毎に上段S1、中段S2および下段S3
の複数段に分割し、これら各段について、行毎にピック
アップするのである。ピックアップ基準位置Bは固定さ
れた位置であるから、上記制御装置6により、XYテー
ブル1は、ピックアップ基準位置Bが相対的に図3に矢
印で示す軌跡で移動するように駆動されることになる。
ットP1,P2,P3…を、たとえば、図3に矢印で示
す順序でピックアップする。すなわち、縦横格子状(こ
のペレットの横方向の並びを列、縦方向の並びを行とい
う)に規則的に並べられたペレットをたとえば、図3に
示すように6列毎に上段S1、中段S2および下段S3
の複数段に分割し、これら各段について、行毎にピック
アップするのである。ピックアップ基準位置Bは固定さ
れた位置であるから、上記制御装置6により、XYテー
ブル1は、ピックアップ基準位置Bが相対的に図3に矢
印で示す軌跡で移動するように駆動されることになる。
【0024】図2に詳示するように、上記制御装置6内
には、まず、上記チェック領域C1,C2,C3,C4
内にペレットが存在すると判定されたときに、そのペレ
ットが、ピックアップ基準位置Bに誘導されるようにX
Yテーブル1の駆動装置4,5に制御指令を送る第一の
指令手段20を備える。この第一の指令手段20によっ
てピックアップ基準位置Bに誘導されたペレットは、ピ
ックアップ手段15によってピックアップされる。そし
て上記制御装置6はさらに、上記ピックアップ手段15
によるピックアップ後、または上記判定手段19が上記
チェック領域C1,C2,C3,C4にペレットが存在
しないと判定したときにXYテーブル1をペレットの間
隔相当分行方向に移動させる第二の指令手段21、モニ
タ画面上のピックアップ基準位置Bが、各段S1,S
2,S3のどの列に相当する位置にあるかを計数する第
一カウンタ22、チェック領域C1,C2,C3,C4
にペレットが存在しない状態でXYテーブル1が行方
向、すなわち上下方向に移動した回数を計数する第二カ
ウンタ23、チェック領域にペレットが存在しない状態
で、行方向および列方向をふくめてXYテーブル1が移
動した回数を計数する第三カウンタ24、上記第一カウ
ンタが「0」または所定の数値となったとき、すなわ
ち、本例では各段S1,S2は6列で構成されているか
ら「5」となったとき、ピックアップすべき行および方
向を転換するように制御指令を発する第三の指令手段2
5、および、上記第三カウンタ24が所定の数値となっ
たとき、ピックアップすべき段を次段に変更するように
制御指令を発する第四の指令手段26が形成される。
には、まず、上記チェック領域C1,C2,C3,C4
内にペレットが存在すると判定されたときに、そのペレ
ットが、ピックアップ基準位置Bに誘導されるようにX
Yテーブル1の駆動装置4,5に制御指令を送る第一の
指令手段20を備える。この第一の指令手段20によっ
てピックアップ基準位置Bに誘導されたペレットは、ピ
ックアップ手段15によってピックアップされる。そし
て上記制御装置6はさらに、上記ピックアップ手段15
によるピックアップ後、または上記判定手段19が上記
チェック領域C1,C2,C3,C4にペレットが存在
しないと判定したときにXYテーブル1をペレットの間
隔相当分行方向に移動させる第二の指令手段21、モニ
タ画面上のピックアップ基準位置Bが、各段S1,S
2,S3のどの列に相当する位置にあるかを計数する第
一カウンタ22、チェック領域C1,C2,C3,C4
にペレットが存在しない状態でXYテーブル1が行方
向、すなわち上下方向に移動した回数を計数する第二カ
ウンタ23、チェック領域にペレットが存在しない状態
で、行方向および列方向をふくめてXYテーブル1が移
動した回数を計数する第三カウンタ24、上記第一カウ
ンタが「0」または所定の数値となったとき、すなわ
ち、本例では各段S1,S2は6列で構成されているか
ら「5」となったとき、ピックアップすべき行および方
向を転換するように制御指令を発する第三の指令手段2
5、および、上記第三カウンタ24が所定の数値となっ
たとき、ピックアップすべき段を次段に変更するように
制御指令を発する第四の指令手段26が形成される。
【0025】次に、本例の装置の動作を、図7および図
8に示すフローチャートに沿って説明する。
8に示すフローチャートに沿って説明する。
【0026】なお、本例では、図3に示すように、第一
段S1については右方向にピックアップを進めてゆき、
第一段S1のピックアップ後第二段S2については方向
を転換して左方向にピックアップを進め、そして第三段
S3については再び方向を転換して右方向にピックアッ
プを進めるものとする。なお、右方向にピックアップを
進めるということは、実際上はXYテーブル1は、支持
台7を左方向に移動させるように制御されることを意味
するが、ここでは、説明の都合上、XYテーブルの移動
方向等は、縦列させられたペレットに対するXYテーブ
ル1ないしモニタ画面あるいはピックアップ基準位置の
相対的な移動方向として表現する。
段S1については右方向にピックアップを進めてゆき、
第一段S1のピックアップ後第二段S2については方向
を転換して左方向にピックアップを進め、そして第三段
S3については再び方向を転換して右方向にピックアッ
プを進めるものとする。なお、右方向にピックアップを
進めるということは、実際上はXYテーブル1は、支持
台7を左方向に移動させるように制御されることを意味
するが、ここでは、説明の都合上、XYテーブルの移動
方向等は、縦列させられたペレットに対するXYテーブ
ル1ないしモニタ画面あるいはピックアップ基準位置の
相対的な移動方向として表現する。
【0027】装置が始動すると、まず、ステップ101
により、XYテーブル1の初期位置、第一カウンタ2
2、第二カウンタ23、第三カウンタ24の設定値読み
込み、ないしリセット等の初期化が行なわれる。このと
き、XYテーブル1は、図3に破線a1で囲む領域がモ
ニタ画面上に映しだされる位置に移動させられる。そし
てステップ102で右方向移動か左方向移動か判断され
る。上述したように第一段S1は、右方向にペレットピ
ックアップを進めてゆくから、次のステップ104で右
方向用のチェック領域がセットされる。この場合のチェ
ック領域は、図6に示すように、左上、左下、右下、右
上の順に優先順位が与えられた4分割されたものとす
る。ピックアップ基準位置Bは、C3のチェック領域に
設定されているから、通常右方向にピックアップを進め
る場合、図4に示すようにC3,C4の領域にそれぞれ
ペレットP1,P2が存在することになる。もし、C
1,S2のチェック領域にペレットが存在する場合、そ
のペレットは取残しのペレットであり、この場合にはサ
ブルーチンを作ってその取残しのペレットを優先してピ
ックアップするようにすると好適である。
により、XYテーブル1の初期位置、第一カウンタ2
2、第二カウンタ23、第三カウンタ24の設定値読み
込み、ないしリセット等の初期化が行なわれる。このと
き、XYテーブル1は、図3に破線a1で囲む領域がモ
ニタ画面上に映しだされる位置に移動させられる。そし
てステップ102で右方向移動か左方向移動か判断され
る。上述したように第一段S1は、右方向にペレットピ
ックアップを進めてゆくから、次のステップ104で右
方向用のチェック領域がセットされる。この場合のチェ
ック領域は、図6に示すように、左上、左下、右下、右
上の順に優先順位が与えられた4分割されたものとす
る。ピックアップ基準位置Bは、C3のチェック領域に
設定されているから、通常右方向にピックアップを進め
る場合、図4に示すようにC3,C4の領域にそれぞれ
ペレットP1,P2が存在することになる。もし、C
1,S2のチェック領域にペレットが存在する場合、そ
のペレットは取残しのペレットであり、この場合にはサ
ブルーチンを作ってその取残しのペレットを優先してピ
ックアップするようにすると好適である。
【0028】この場合、ステップ105で判定手段19
がC3のチェック領域内にペレットP1が存在すると判
定する。始動時、このペレットP1はピックアップ基準
位置に正確に位置しているとは限らないが、ステップ1
06でこのペレットP1とピックアップ基準位置Bとの
相対的な位置のずれが自動的に計測され、そのデータに
基づいて第一の指令手段20がこのC3の領域にあるペ
レットP1を正確に上記ピックアップ基準位置B上に誘
導する。そしてステップ107でこのペレットP1がピ
ックアップ手段15によりピックアップされる。このこ
のとき、第一段S1の一列目のペレットをピックアップ
したので、第一カウンタ22は「0」となっている。
がC3のチェック領域内にペレットP1が存在すると判
定する。始動時、このペレットP1はピックアップ基準
位置に正確に位置しているとは限らないが、ステップ1
06でこのペレットP1とピックアップ基準位置Bとの
相対的な位置のずれが自動的に計測され、そのデータに
基づいて第一の指令手段20がこのC3の領域にあるペ
レットP1を正確に上記ピックアップ基準位置B上に誘
導する。そしてステップ107でこのペレットP1がピ
ックアップ手段15によりピックアップされる。このこ
のとき、第一段S1の一列目のペレットをピックアップ
したので、第一カウンタ22は「0」となっている。
【0029】さらにステップ108で、XYテーブル1
が行方向の上に移動しているか、下に移動しているかが
判定される。この場合上方向に移動しているので、ステ
ップ112に進み、第一カウンタが設定値、すなわち
「5」となっているかが判定される。いま、第一番目の
ペレットP1がピックアップされただけなので、ステッ
プ113で第二の指令手段21がXYテーブル1をY方
向上、すなわち、行方向の上方に1ステップ移動させる
とともに、ステップ114で第一カウンタ22に1が加
えられる。そしてステップ102に戻り、上記と同様に
第二番目のペレットP2がピックアップされる。
が行方向の上に移動しているか、下に移動しているかが
判定される。この場合上方向に移動しているので、ステ
ップ112に進み、第一カウンタが設定値、すなわち
「5」となっているかが判定される。いま、第一番目の
ペレットP1がピックアップされただけなので、ステッ
プ113で第二の指令手段21がXYテーブル1をY方
向上、すなわち、行方向の上方に1ステップ移動させる
とともに、ステップ114で第一カウンタ22に1が加
えられる。そしてステップ102に戻り、上記と同様に
第二番目のペレットP2がピックアップされる。
【0030】本例の場合、第一行目にはペレットは2個
しか存在しないから、XYテーブル1が2ステップ移動
した時点、すなわち第一カウンタ22が「2」となって
いるときには、チェック領域にはペレットが存在しなく
なる。この場合、ステップ105からステップ115、
ステップ116と進み、ペレットが存在しない状態での
XYテーブル1の行方向、すなわち上下方向の移動回数
を数える第二カウンタ23が所定値、たとえば「1」と
なるまでステップ117,ステップ127,ステップ1
28、ステップ129に沿って第二の指令手段21がX
Yテーブル1を上方向に動かす。ステップ116で第二
カウンタ23が「1」またはそれ以上となったと判定さ
れると、ステップ124、ステップ125、ステップ1
32、ステップ133により、第三の指令手段25がX
Yテーブル1をX方向、すなわち列方向右に1ステップ
移動させる。この時点で、XYテーブル1は、上移動モ
ードから下移動モードに転換される。すなわち、ここで
装置は一行目のペレットを上方向にピックアップしたこ
とに続き、二行目のペレットを下方向にピックアップす
る態勢となる。
しか存在しないから、XYテーブル1が2ステップ移動
した時点、すなわち第一カウンタ22が「2」となって
いるときには、チェック領域にはペレットが存在しなく
なる。この場合、ステップ105からステップ115、
ステップ116と進み、ペレットが存在しない状態での
XYテーブル1の行方向、すなわち上下方向の移動回数
を数える第二カウンタ23が所定値、たとえば「1」と
なるまでステップ117,ステップ127,ステップ1
28、ステップ129に沿って第二の指令手段21がX
Yテーブル1を上方向に動かす。ステップ116で第二
カウンタ23が「1」またはそれ以上となったと判定さ
れると、ステップ124、ステップ125、ステップ1
32、ステップ133により、第三の指令手段25がX
Yテーブル1をX方向、すなわち列方向右に1ステップ
移動させる。この時点で、XYテーブル1は、上移動モ
ードから下移動モードに転換される。すなわち、ここで
装置は一行目のペレットを上方向にピックアップしたこ
とに続き、二行目のペレットを下方向にピックアップす
る態勢となる。
【0031】この時点では、モニタ画面には、図3にお
いて破線a2で示す領域が映しだされている。この場
合、どのチェック領域にもペレットは存在しないから、
ステップ115,ステップ116、ステップ117、ス
テップ118、ステップ119、ステップ120および
ステップ121にそって、第二の指令手段21がXYテ
ーブル1を下方向に1ステップずつ移動させる。このと
きステップ121で第二カウンタ23がクリアされるの
で、XYテーブル1は、C3の領域にペレットが現れる
まで下方向に移動させられる。
いて破線a2で示す領域が映しだされている。この場
合、どのチェック領域にもペレットは存在しないから、
ステップ115,ステップ116、ステップ117、ス
テップ118、ステップ119、ステップ120および
ステップ121にそって、第二の指令手段21がXYテ
ーブル1を下方向に1ステップずつ移動させる。このと
きステップ121で第二カウンタ23がクリアされるの
で、XYテーブル1は、C3の領域にペレットが現れる
まで下方向に移動させられる。
【0032】やがてステップ105でC3の領域にペレ
ットP3が存在すると判定されると、ステップ106お
よびステップ107でペレットP3に対するピックアッ
プ基準位置の位置決めおよびピックアップが行なわれ
る。そしてステップ108では、下方向移動なのでステ
ップ109に進み、第一カウンタ22が「0」に戻った
かどうかが判定される。上記を繰り返して第二行の最下
列のペレットP5のピックアップが終わると、第一カウ
ンタ22が「0」となり、ステップ109からステップ
126、ステップ132およびステップ133に移り、
第三の指令手段25ががXYテーブル1をX方向、すな
わち列方向に1ステップ移動させる。この時点でXYテ
ーブル1は、下移動モードから再び1行目のピックアッ
プと同様、上移動モードに転換される。
ットP3が存在すると判定されると、ステップ106お
よびステップ107でペレットP3に対するピックアッ
プ基準位置の位置決めおよびピックアップが行なわれ
る。そしてステップ108では、下方向移動なのでステ
ップ109に進み、第一カウンタ22が「0」に戻った
かどうかが判定される。上記を繰り返して第二行の最下
列のペレットP5のピックアップが終わると、第一カウ
ンタ22が「0」となり、ステップ109からステップ
126、ステップ132およびステップ133に移り、
第三の指令手段25ががXYテーブル1をX方向、すな
わち列方向に1ステップ移動させる。この時点でXYテ
ーブル1は、下移動モードから再び1行目のピックアッ
プと同様、上移動モードに転換される。
【0033】以上のようにして、第一段のペレットは、
各行毎に、ジグザグに順次ピックアップされることにな
る。そして、第一段のすべてのペレットのピックアップ
後、自動的に第二段のピックアップに進むが、これは次
のようにして行なわれる。
各行毎に、ジグザグに順次ピックアップされることにな
る。そして、第一段のすべてのペレットのピックアップ
後、自動的に第二段のピックアップに進むが、これは次
のようにして行なわれる。
【0034】第一段S1の最後のペレットP9がピック
アップされた後は、チェック領域にペレットが存在しな
い状態で、続けて第二カウンタ23、第三の指令手段2
5、第一カウンタ22、第二の指令手段の作用により、
しばらく図3に矢印で示すようにXYテーブル1が移動
させられる。その間第三カウンタ24がペレットがモニ
タ画面上に存在しない状態でのXYテーブル1の左右方
向および上下方向の移動回数を計数しており、ステップ
115でこの第三カウンタ24が所定値、たとえば
「5」またはそれ以上となった時点でステップ122に
より、第四の指令手段26がXYテーブル1を第二段S
2についての初期設定位置、すなわちたとえば第二段S
2の右端における最初のペレットP11がモニタ画面上
のC3のチェック領域に映し出される位置(図3に破線
a3で囲む領域が映し出される位置)に移動させるとと
もに、ステップ123により第一カウンタ22,第二カ
ウンタ23および第三カウンタ24がクリヤされる。
アップされた後は、チェック領域にペレットが存在しな
い状態で、続けて第二カウンタ23、第三の指令手段2
5、第一カウンタ22、第二の指令手段の作用により、
しばらく図3に矢印で示すようにXYテーブル1が移動
させられる。その間第三カウンタ24がペレットがモニ
タ画面上に存在しない状態でのXYテーブル1の左右方
向および上下方向の移動回数を計数しており、ステップ
115でこの第三カウンタ24が所定値、たとえば
「5」またはそれ以上となった時点でステップ122に
より、第四の指令手段26がXYテーブル1を第二段S
2についての初期設定位置、すなわちたとえば第二段S
2の右端における最初のペレットP11がモニタ画面上
のC3のチェック領域に映し出される位置(図3に破線
a3で囲む領域が映し出される位置)に移動させるとと
もに、ステップ123により第一カウンタ22,第二カ
ウンタ23および第三カウンタ24がクリヤされる。
【0035】第二段S2では、XYテーブル1は左方向
に移行するので、ステップ103で左方向用のチェック
領域が設定される。左方向移動時は、図5に示すよう
に、C1およびC2のチェック領域に当然にピックアッ
プを待つ次行のペレットが映し出されるので、このC1
およびC2のチェック領域のチェックは行なわず、最初
からC3,C4の順でチェックを行なうようにしてい
る。したがって左方向移動時は、右方向移動の第一段S
1の場合のように取残しペレットの優先ピックアップは
行なわれない。この第二段S2についても、モニタ画面
上のC3およびC4のチェック領域にペレットが映し出
される限り、第一段S1と同様に行毎にジグザグに順次
ピックアップが行なわれる。
に移行するので、ステップ103で左方向用のチェック
領域が設定される。左方向移動時は、図5に示すよう
に、C1およびC2のチェック領域に当然にピックアッ
プを待つ次行のペレットが映し出されるので、このC1
およびC2のチェック領域のチェックは行なわず、最初
からC3,C4の順でチェックを行なうようにしてい
る。したがって左方向移動時は、右方向移動の第一段S
1の場合のように取残しペレットの優先ピックアップは
行なわれない。この第二段S2についても、モニタ画面
上のC3およびC4のチェック領域にペレットが映し出
される限り、第一段S1と同様に行毎にジグザグに順次
ピックアップが行なわれる。
【0036】第二段S2のすべてのペレットのピックア
ップ終了後は、第三段S3に移り、右方向にジグジグに
ピックアップが進められる。ただし、図7および図8の
フローチャートに示していないが、第三段S3のピック
アップでは、上記取残しペレットの優先ピックアップ機
能がその機能を発揮しながらピックアップが進められる
ことになる。
ップ終了後は、第三段S3に移り、右方向にジグジグに
ピックアップが進められる。ただし、図7および図8の
フローチャートに示していないが、第三段S3のピック
アップでは、上記取残しペレットの優先ピックアップ機
能がその機能を発揮しながらピックアップが進められる
ことになる。
【0037】以上のように本発明によるペレットピック
アップ方法では、いくつかの列ごとの複数段に分割され
た縦横格子状のペレットを、その各段について行毎にピ
ックアップを進めるので、たとえば列を6列に設定した
場合、6列6行の方形の領域にある、互いに距離的に近
い36個のペレットが連続してピックアップされるの
で、このように連続してピックアップされたペレットを
同一の装置に組み込んだ場合、その装置に使用される3
6個の半導体装置の特性がほぼ揃という顕著な効果があ
る。
アップ方法では、いくつかの列ごとの複数段に分割され
た縦横格子状のペレットを、その各段について行毎にピ
ックアップを進めるので、たとえば列を6列に設定した
場合、6列6行の方形の領域にある、互いに距離的に近
い36個のペレットが連続してピックアップされるの
で、このように連続してピックアップされたペレットを
同一の装置に組み込んだ場合、その装置に使用される3
6個の半導体装置の特性がほぼ揃という顕著な効果があ
る。
【0038】もちろん、本発明の範囲は上述し実施例に
限定されない。たとえば、図示例では、説明を簡単化す
るために、段を形成する列数を6列に設定し、上下3段
としているが、この列数および段数は、ウエハ上に形成
される半導体素子の数に応じて適宜決定すればよい。
限定されない。たとえば、図示例では、説明を簡単化す
るために、段を形成する列数を6列に設定し、上下3段
としているが、この列数および段数は、ウエハ上に形成
される半導体素子の数に応じて適宜決定すればよい。
【0039】また、ペレットの認識のときに、不良品と
良品を判別し、すなわちたとえばバッドマークの付いた
ペレットを飛ばしてピックアップする機能を付加するこ
とも、もちろん可能である。
良品を判別し、すなわちたとえばバッドマークの付いた
ペレットを飛ばしてピックアップする機能を付加するこ
とも、もちろん可能である。
【図1】本発明装置の実施例の全体構成図である。
【図2】制御装置を構成する各手段の関係を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図3】本発明方法によるピックアップの順序の例の説
明図である。
明図である。
【図4】右方向にピックアップを進める場合のモニタ画
面である。
面である。
【図5】左方向にピックアップを進める場合のモニタ画
面である。
面である。
【図6】モニタ画面のチェック領域およびピックアップ
基準位置の説明図である。
基準位置の説明図である。
【図7】本発明装置の動作フローチャート例である。
【図8】本発明装置の動作フローチャート例である。
【図9】従来のピックアップ方法の説明図である。
1 XYテーブル 6 制御装置 7 支持台 15 ピックアップ手段 17 モニタ表示装置 18 光学系 19 判定手段 20 第一の指令手段 21 第二の指令手段 22 第一カウンタ 23 第二カウンタ 24 第三カウンタ 25 第三の指令手段 26 第四の指令手段
Claims (2)
- 【請求項1】 縦横複数行複数列の格子状に並べられた
ペレットを順次ピックアップする方法において、上記ペ
レットを、所定数の列毎に分割された複数段に区分け
し、各段において、1行毎にジグザグ状にペレットをピ
ックアップするとともに、各段についての全体的なペレ
ットピックアップの進行方向が隣接する段どうしでジグ
ザグ状に変更されるようにしたことを特徴とする、ペレ
ットピックアップ方法。 - 【請求項2】 縦横複数行複数列の格子状に並べられた
ペレットを支持する支持台と、 上記支持台をXY方向に移動させるXYテーブルと、 XYテーブルによってピックアップ基準位置に誘導され
たペレットをピックアップするピックアップ手段と、 ピックアップ基準位置に対して固定された一定の領域を
モニタ画面上に映し出す光学系と、 上記XYテーブルを制御する制御装置と、を備え、上記
格子状のペレットを所定数の列毎に分けられた複数の段
に分割し、各段毎に、各行のペレットを順次ピックアッ
プするペレットピックアップ装置であって、(a) 画面
上の所定の優先順位を与えられた所定のチェック領域に
ペレットが存在するかどうかを順次判定する判定手段、
(b) 上記判定手段が上記チェック領域にペレットが存在
すると判定したとき、このペレットがピックアップ基準
位置に誘導されるようにXYテーブルに対する制御指令
を発する第一の指令手段、(c) 上記ピックアップ手段に
よるペレットピックアップ後、または上記判定手段が上
記チェック領域にペレットが存在しないと判定したと
き、XYテーブルがペレットの間隔相当分行方向に移動
するように制御指令を発する第二の指令手段、(d) 画面
上のピックアップ基準位置が、各段におけるどの列に相
当する位置にあるかを計数する第一カウンタ、(e) チェ
ック領域にペレットが存在しない状態でXYテーブルが
行方向に移動した回数を計数する第二カウンタ、(f) チ
ェック領域にペレットが存在しない状態でXYテーブル
が移動した回数を計数する第三カウンタ、(g) 上記第一
カウンタが0または所定の数値となったとき、または、
上記第二カウンタが所定の数値となったとき、ピックア
ップすべき行および方向を転換するように制御指令を発
する第三の指令手段、 および、(h) 上記第三カウンタが所定の数値となったと
き、ピックアップすべき段を変更するように制御指令を
発する第四の指令手段、 を備えることを特徴とする、ペレットピックアップ装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1294397A JPH09186181A (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | ペレットピックアップ方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1294397A JPH09186181A (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | ペレットピックアップ方法および装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60135736A Division JPH0810709B2 (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 | ペレツトピツクアツプ方法および装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09186181A true JPH09186181A (ja) | 1997-07-15 |
Family
ID=11819375
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1294397A Pending JPH09186181A (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | ペレットピックアップ方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09186181A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003077955A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Toshiba Corp | ボンディング方法及びボンディング装置 |
CN102595867A (zh) * | 2011-01-07 | 2012-07-18 | 富士机械制造株式会社 | 部件安装装置 |
Citations (6)
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JPS5586173A (en) * | 1978-12-22 | 1980-06-28 | Toshiba Corp | Manufacture of photo display device |
JPS59132138A (ja) * | 1983-01-18 | 1984-07-30 | Toshiba Corp | ペレツトマウント装置 |
JPS60258930A (ja) * | 1984-06-05 | 1985-12-20 | Toshiba Corp | 半導体ペレツトのマウント方法 |
JPH0810709A (ja) * | 1994-06-30 | 1996-01-16 | Toshiba Corp | 異物検知装置 |
-
1997
- 1997-01-27 JP JP1294397A patent/JPH09186181A/ja active Pending
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