JPH09138410A - 液晶表示素子の配向膜形成方法 - Google Patents
液晶表示素子の配向膜形成方法Info
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- JPH09138410A JPH09138410A JP29445695A JP29445695A JPH09138410A JP H09138410 A JPH09138410 A JP H09138410A JP 29445695 A JP29445695 A JP 29445695A JP 29445695 A JP29445695 A JP 29445695A JP H09138410 A JPH09138410 A JP H09138410A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 均一な膜厚分布を有する配向膜を得ることを
可能にする。 【解決手段】 所定のピッチで各行に配列される複数の
噴出孔を有し、任意の行の噴出孔は隣接する行の噴出孔
の配列に対して前記ピッチの半分だけずれるように配置
されているエリア型のインクジェットノズルを用いて配
向膜溶液を基板に噴射塗布する工程を備えていることを
特徴とする。
可能にする。 【解決手段】 所定のピッチで各行に配列される複数の
噴出孔を有し、任意の行の噴出孔は隣接する行の噴出孔
の配列に対して前記ピッチの半分だけずれるように配置
されているエリア型のインクジェットノズルを用いて配
向膜溶液を基板に噴射塗布する工程を備えていることを
特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示素子の配向
膜形成方法に関する。
膜形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、薄型軽量、低消費電力という大き
な利点をもつ液晶表示素子は、日本語ワードプロセッサ
やデスクトップパーソナルコンピュータ等のパーソナル
ＯＡ機器の表示装置として積極的に用いられている。液
晶表示素子（以下ＬＣＤともいう）のほとんどは、捩れ
ネマティック液晶を用いており、表示方式としては、こ
の中でも旋光モードと複屈折モードとの２つの方式に大
別できる。
な利点をもつ液晶表示素子は、日本語ワードプロセッサ
やデスクトップパーソナルコンピュータ等のパーソナル
ＯＡ機器の表示装置として積極的に用いられている。液
晶表示素子（以下ＬＣＤともいう）のほとんどは、捩れ
ネマティック液晶を用いており、表示方式としては、こ
の中でも旋光モードと複屈折モードとの２つの方式に大
別できる。
【０００３】旋光モードのＬＣＤは、例えば９０度捩れ
た分子配列をもつツイステッドネマティック（ＴＮ）形
液晶であり、原理的に白黒表示で、高いコントラスト比
と良好な階調表示性を示す。また応答速度が速い（数十
ミリ秒）ことから、時計や電卓、単純マトリクス駆動
や、スイッチング素子を各画素毎に具備したアクティブ
マトリクス駆動で、また、カラーフィルタと組み合わせ
たフルカラーの表示の液晶テレビなど（ＴＦＴ（Thin F
ilm Transistor）−ＬＣＤやＭＩＭ（Metal Insulator
Metal)−ＬＣＤ）に応用されている。
た分子配列をもつツイステッドネマティック（ＴＮ）形
液晶であり、原理的に白黒表示で、高いコントラスト比
と良好な階調表示性を示す。また応答速度が速い（数十
ミリ秒）ことから、時計や電卓、単純マトリクス駆動
や、スイッチング素子を各画素毎に具備したアクティブ
マトリクス駆動で、また、カラーフィルタと組み合わせ
たフルカラーの表示の液晶テレビなど（ＴＦＴ（Thin F
ilm Transistor）−ＬＣＤやＭＩＭ（Metal Insulator
Metal)−ＬＣＤ）に応用されている。
【０００４】一方、複屈折モードの表示方式のＬＣＤ
は、一般に９０度以上捩れた分子配列をもつスーパーツ
イスト（ＳＴ）形液晶で、急唆な電気光学特性をもつた
め、各画素ごとにスイッチング素子（薄膜トランジスタ
やダイオード）がなくても単純なマトリクス状の電極構
造でも時分割駆動により容易に大容量表示が得られる。
これらの液晶表示素子の表示を均一に行うためには基板
表面全面に液晶分子を均一に配向させることが必要であ
る。
は、一般に９０度以上捩れた分子配列をもつスーパーツ
イスト（ＳＴ）形液晶で、急唆な電気光学特性をもつた
め、各画素ごとにスイッチング素子（薄膜トランジスタ
やダイオード）がなくても単純なマトリクス状の電極構
造でも時分割駆動により容易に大容量表示が得られる。
これらの液晶表示素子の表示を均一に行うためには基板
表面全面に液晶分子を均一に配向させることが必要であ
る。
【０００５】液晶表示素子は、２枚の基板の電極の間に
液晶組成物を挟持し、２枚の基板の電極から液晶組成物
に電圧を印加し表示を行うものであり、電圧を印加した
時に均一な表示を行うためには、液晶分子にプレチルト
角（液晶分子の分子軸と配向膜表面とのなす角）を予め
与えることが必要である。このように、配向膜はプレチ
ルト角を与えることも重要な役割として担っている。
液晶組成物を挟持し、２枚の基板の電極から液晶組成物
に電圧を印加し表示を行うものであり、電圧を印加した
時に均一な表示を行うためには、液晶分子にプレチルト
角（液晶分子の分子軸と配向膜表面とのなす角）を予め
与えることが必要である。このように、配向膜はプレチ
ルト角を与えることも重要な役割として担っている。
【０００６】従来、これらの液晶表示素子の配向膜の形
成は、電極等が形成された基板上に例えばポリイミド等
の有機高分子化合物からなる薄膜をオフセット印刷によ
り形成した後、布などで軽く摩擦すること（ラビング処
理）によって行うのが一般的である。
成は、電極等が形成された基板上に例えばポリイミド等
の有機高分子化合物からなる薄膜をオフセット印刷によ
り形成した後、布などで軽く摩擦すること（ラビング処
理）によって行うのが一般的である。
【０００７】オフセット印刷によって配向膜を形成する
方法は、図８に示すように、まずアニロックスローラ５
２上にノズル５０を介して配向膜材料、例えばポリイミ
ドを滴下し、ドクターローラ５１をアニロックスローラ
５２に押付けることによって上記滴下されたポリイミド
の厚さが均一となるように伸ばす。そしてこの均一とな
るように伸ばされたポリイミド膜を、版胴５３上に設け
られた印刷版５４上に転写し、印刷版５４上に転写され
たポリイミド膜を基板６０の表面に更に転写し、配向膜
６２を形成する。
方法は、図８に示すように、まずアニロックスローラ５
２上にノズル５０を介して配向膜材料、例えばポリイミ
ドを滴下し、ドクターローラ５１をアニロックスローラ
５２に押付けることによって上記滴下されたポリイミド
の厚さが均一となるように伸ばす。そしてこの均一とな
るように伸ばされたポリイミド膜を、版胴５３上に設け
られた印刷版５４上に転写し、印刷版５４上に転写され
たポリイミド膜を基板６０の表面に更に転写し、配向膜
６２を形成する。
【０００８】また、電極等が形成された基板表面に例え
ばポリイミド等の高分子化合物を直接に散布することに
よって配向膜を形成する方法も考えられている（特開昭
５４−２１８６２号公報、特開昭６３−１０６７２７号
公報参照）。
ばポリイミド等の高分子化合物を直接に散布することに
よって配向膜を形成する方法も考えられている（特開昭
５４−２１８６２号公報、特開昭６３−１０６７２７号
公報参照）。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】オフセット印刷によっ
て配向膜を形成する方法は、印刷版５４上に平坦化され
た配向膜材料の膜を基板表面に転写することにより配向
膜を形成するため、膜厚の均一性は良い。しかし、ドク
ターローラ５１とアニックスローラ５２に配向膜材料を
塗布する必要があるため、配向膜材料の使用効率が低い
という問題があった。
て配向膜を形成する方法は、印刷版５４上に平坦化され
た配向膜材料の膜を基板表面に転写することにより配向
膜を形成するため、膜厚の均一性は良い。しかし、ドク
ターローラ５１とアニックスローラ５２に配向膜材料を
塗布する必要があるため、配向膜材料の使用効率が低い
という問題があった。
【００１０】一方、配向膜材料を基板表面に散布するこ
とによって配向膜を形成する方法は、配向膜材料の使用
効率が良いが、オフセット印刷のように間接部材上で平
坦化させる工程がないため、均一な膜厚分布を得ること
が困難である。
とによって配向膜を形成する方法は、配向膜材料の使用
効率が良いが、オフセット印刷のように間接部材上で平
坦化させる工程がないため、均一な膜厚分布を得ること
が困難である。
【００１１】このように上述の方式では配向膜材料の使
用効率と膜厚の均一性がトレードオフの関係にあるとい
う問題がある。
用効率と膜厚の均一性がトレードオフの関係にあるとい
う問題がある。
【００１２】この問題を解決するために、図６に示すよ
うにライン型インクジェットノズル１２を用いて配向膜
を形成することが考えられている。このライン型インク
ジェットノズル１２はインク噴出孔１４が１列に配列さ
れているインクジェットノズルであって、供給口１３か
ら注入された配向膜材料の溶液（以下、配向膜溶液とも
いう）を噴射指令信号に基づいて基板４０に対して相対
的に移動しながら基板４０に噴射塗布するものである。
うにライン型インクジェットノズル１２を用いて配向膜
を形成することが考えられている。このライン型インク
ジェットノズル１２はインク噴出孔１４が１列に配列さ
れているインクジェットノズルであって、供給口１３か
ら注入された配向膜材料の溶液（以下、配向膜溶液とも
いう）を噴射指令信号に基づいて基板４０に対して相対
的に移動しながら基板４０に噴射塗布するものである。
【００１３】このライン型インクジェットノズルを用い
て配向膜を形成する方法においては、配向膜材料の使用
効率が高いが配向膜溶液の液滴は常に基板４０に対して
相対運動しているインクジェットノズル１２より噴出さ
れるため、インクジェットノズル１２の相対移動速度が
規定値よりずれた場合、または噴出のタイミングにずれ
が生じた場合に液滴の着弾点間に膜厚差が生じるという
問題がある。例えば、インクジェットノズル１２に対す
る基板４０の移動速度が規定値より遅い場合は、図７
（ａ）に示すように塗布された液滴３５のオーバーラッ
プ量が大きくなり、配向膜の膜厚が所望の値よりも大き
くなる。また配向膜の塗布された領域も所望の形状でな
くなり、印刷位置精度の悪化とともに配向不良領域が発
生する可能性がある。一方、インクジェットノズル１２
に対する基板４０の移動速度が規定値より速い場合は、
図７（ｂ）に示すように塗布された液滴３５のオーバー
ラップ量が小さくなり（場合によって液滴同士が離
れ）、配向膜の膜厚が小さくなる。また、インクジェッ
トノズル１２に対する基板４０の速度が小さいときと同
様に、印刷領域も所望の形状とは異なり、上述のような
配向不良などの表示欠陥が発生するおそれがある。
て配向膜を形成する方法においては、配向膜材料の使用
効率が高いが配向膜溶液の液滴は常に基板４０に対して
相対運動しているインクジェットノズル１２より噴出さ
れるため、インクジェットノズル１２の相対移動速度が
規定値よりずれた場合、または噴出のタイミングにずれ
が生じた場合に液滴の着弾点間に膜厚差が生じるという
問題がある。例えば、インクジェットノズル１２に対す
る基板４０の移動速度が規定値より遅い場合は、図７
（ａ）に示すように塗布された液滴３５のオーバーラッ
プ量が大きくなり、配向膜の膜厚が所望の値よりも大き
くなる。また配向膜の塗布された領域も所望の形状でな
くなり、印刷位置精度の悪化とともに配向不良領域が発
生する可能性がある。一方、インクジェットノズル１２
に対する基板４０の移動速度が規定値より速い場合は、
図７（ｂ）に示すように塗布された液滴３５のオーバー
ラップ量が小さくなり（場合によって液滴同士が離
れ）、配向膜の膜厚が小さくなる。また、インクジェッ
トノズル１２に対する基板４０の速度が小さいときと同
様に、印刷領域も所望の形状とは異なり、上述のような
配向不良などの表示欠陥が発生するおそれがある。
【００１４】本発明は上記事情を考慮してなされたもの
であって、膜厚分布が均一な配向膜を形成することので
きる液晶表示素子の配向膜形成方法を提供することを目
的とする。
であって、膜厚分布が均一な配向膜を形成することので
きる液晶表示素子の配向膜形成方法を提供することを目
的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明による液晶表示素
子の配向膜形成方法の第１の態様は、所定のピッチで各
行に配列される複数の噴出孔を有し、任意の行の噴出孔
は隣接する行の噴出孔の配列に対して前記ピッチの半分
だけずれるように配置されているエリア型のインクジェ
ットノズルを用いて配向膜溶液を基板に噴射塗布する工
程を備えていることを特徴とする。
子の配向膜形成方法の第１の態様は、所定のピッチで各
行に配列される複数の噴出孔を有し、任意の行の噴出孔
は隣接する行の噴出孔の配列に対して前記ピッチの半分
だけずれるように配置されているエリア型のインクジェ
ットノズルを用いて配向膜溶液を基板に噴射塗布する工
程を備えていることを特徴とする。
【００１６】また本発明による液晶表示素子の配向膜形
成方法の第２の態様は、所定のピッチで一列に配列され
る複数の噴出孔を有するライン型のインクジェットノズ
ルを用い、このインクジェットノズルからの配向膜溶液
の次回の噴射は前回の噴射位置よりも基板の進行方向と
ほぼ直交する方向に前記ピッチの半分だけずらした位置
で行うようにしたことを特徴とする。
成方法の第２の態様は、所定のピッチで一列に配列され
る複数の噴出孔を有するライン型のインクジェットノズ
ルを用い、このインクジェットノズルからの配向膜溶液
の次回の噴射は前回の噴射位置よりも基板の進行方向と
ほぼ直交する方向に前記ピッチの半分だけずらした位置
で行うようにしたことを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明による液晶表示素子の配向
膜形成方法の第１の実施の形態を図１を参照して説明す
る。図１は本実施の形態の配向膜形成方法に用いられる
インクジェットノズル２の構成図である。このインクジ
ェットノズル２はエリア型のインクジェットノズルであ
って、配向膜溶液を噴出する噴出孔４が図示しない基板
に対向する面に例えば２５００×２５００個設けられて
いる（図１（ｂ）参照）。噴出孔４の径は例えば５０μ
ｍであり、各行の噴出孔４のピッチｐは例えば１００μ
ｍである。そして、任意の行の噴出孔４は上記行に隣接
する行の噴出孔４の配列に対して半ピッチ（＝ｐ／２）
だけずれて配置される（図１（ｂ）参照）。
膜形成方法の第１の実施の形態を図１を参照して説明す
る。図１は本実施の形態の配向膜形成方法に用いられる
インクジェットノズル２の構成図である。このインクジ
ェットノズル２はエリア型のインクジェットノズルであ
って、配向膜溶液を噴出する噴出孔４が図示しない基板
に対向する面に例えば２５００×２５００個設けられて
いる（図１（ｂ）参照）。噴出孔４の径は例えば５０μ
ｍであり、各行の噴出孔４のピッチｐは例えば１００μ
ｍである。そして、任意の行の噴出孔４は上記行に隣接
する行の噴出孔４の配列に対して半ピッチ（＝ｐ／２）
だけずれて配置される（図１（ｂ）参照）。
【００１８】配向膜溶液は供給口３を介してインクジェ
ットノズル２に外部から送出され、噴射指令信号に基づ
いてインクジェットノズル２が動作することにより上記
噴出孔４から配向膜溶液が噴射される。なお、上記イン
クジェットノズル２は各噴出孔４からの噴射を独立に制
御することが可能な構成となっている。
ットノズル２に外部から送出され、噴射指令信号に基づ
いてインクジェットノズル２が動作することにより上記
噴出孔４から配向膜溶液が噴射される。なお、上記イン
クジェットノズル２は各噴出孔４からの噴射を独立に制
御することが可能な構成となっている。
【００１９】上述のインクジェットノズル２を用いて以
下のように配向膜を形成する。この実施の形態に使用さ
れるインクジェットノズル２は基板の配向膜形成領域を
全て網羅する大きさであるため、基板をインクジェット
ノズル２に対向配置した後は、図２に示すようにインク
ジェットノズル２と基板４０のいずれも移動させずに噴
射塗布を行う。このとき配向膜形成領域からはみ出てい
る噴出孔から配向膜溶液を噴射させないようにする。使
用した配向膜溶液は配向膜材料例えばＡＬ−１０５１
（商品名）の２．０重量％溶液である。配向膜溶液を基
板４０に噴射塗布した後は、基板４０を１００℃で１５
秒間乾燥させ、更に１８０℃で３０分間の加熱焼成を行
うことにより、塗布された配向膜溶液中の溶媒（例えば
γ−ブチルラクトン）を除去し、配向膜を形成する。
下のように配向膜を形成する。この実施の形態に使用さ
れるインクジェットノズル２は基板の配向膜形成領域を
全て網羅する大きさであるため、基板をインクジェット
ノズル２に対向配置した後は、図２に示すようにインク
ジェットノズル２と基板４０のいずれも移動させずに噴
射塗布を行う。このとき配向膜形成領域からはみ出てい
る噴出孔から配向膜溶液を噴射させないようにする。使
用した配向膜溶液は配向膜材料例えばＡＬ−１０５１
（商品名）の２．０重量％溶液である。配向膜溶液を基
板４０に噴射塗布した後は、基板４０を１００℃で１５
秒間乾燥させ、更に１８０℃で３０分間の加熱焼成を行
うことにより、塗布された配向膜溶液中の溶媒（例えば
γ−ブチルラクトン）を除去し、配向膜を形成する。
【００２０】このように第１の実施の形態の形成方法に
おいては、任意の行の噴出孔４が隣接する行の噴出孔４
の配列に対して半ピッチだけずれて配置されているエリ
ア型のインクジェットノズルを用いて行うので、従来の
ようにライン型のインクジェットノズルを用いてインク
ジェットノズルと基板の相対速度や塗布のタイミングを
取りながら塗布した場合に比べて液滴のオーバーラップ
量のばらつきによる膜厚むらが発生することがない。
おいては、任意の行の噴出孔４が隣接する行の噴出孔４
の配列に対して半ピッチだけずれて配置されているエリ
ア型のインクジェットノズルを用いて行うので、従来の
ようにライン型のインクジェットノズルを用いてインク
ジェットノズルと基板の相対速度や塗布のタイミングを
取りながら塗布した場合に比べて液滴のオーバーラップ
量のばらつきによる膜厚むらが発生することがない。
【００２１】なお、エリア型のインクジェットノズル２
の大きさが配向膜形成領域より小さい場合、例えば、噴
出孔４の個数が５００×５００個、噴出孔４の径が５０
μｍ、噴出孔４のピッチｐが１００μｍであるような場
合は、図３に示すようにインクジェットノズル２を基板
に対して複数回相対的に移動させ、所定の領域に配向膜
溶液を噴射塗布することになる。この場合も第１の実施
の形態の形成方法と同様に膜厚分布が均一な配向膜を形
成することができる。
の大きさが配向膜形成領域より小さい場合、例えば、噴
出孔４の個数が５００×５００個、噴出孔４の径が５０
μｍ、噴出孔４のピッチｐが１００μｍであるような場
合は、図３に示すようにインクジェットノズル２を基板
に対して複数回相対的に移動させ、所定の領域に配向膜
溶液を噴射塗布することになる。この場合も第１の実施
の形態の形成方法と同様に膜厚分布が均一な配向膜を形
成することができる。
【００２２】また、上記第１の実施の形態の形成方法に
おいては、任意の行の噴出孔４が隣接する行の噴出孔４
の配列に対して半ピッチ（ｐ／２）だけずれて配置され
たエリア型のインクジェットノズル２を用いたが、図４
に示すように噴出孔４がマトリクス状に配列されたエリ
ア型のインクジェットノズルを用いても、従来の場合よ
りも均一な膜厚分布を有する配向膜を形成することがで
きる。
おいては、任意の行の噴出孔４が隣接する行の噴出孔４
の配列に対して半ピッチ（ｐ／２）だけずれて配置され
たエリア型のインクジェットノズル２を用いたが、図４
に示すように噴出孔４がマトリクス状に配列されたエリ
ア型のインクジェットノズルを用いても、従来の場合よ
りも均一な膜厚分布を有する配向膜を形成することがで
きる。
【００２３】次に本発明による液晶表示素子の配向膜形
成方法の第２の実施の形態を図５を参照して説明する。
この実施の形態の形成方法は、図５に示すようにライン
型のインクジェットノズル１２を用いるものであって、
インクジェットノズル１２の次回の噴射位置を前回の噴
射位置よりも、基板（図示せず）の進行方向とほぼ直交
する方向に、噴出孔１４の配列ピッチｐの半分だけずら
し、上記次回の次の噴射位置を、上記次回の噴射位置か
ら半ピッチだけ逆方向に移動して噴射塗布を行うもので
ある。したがってインクジェットノズル１２の動きは図
５に示すようにジグザグに進むことになる。この場合、
基板とインクジェットノズル１２の相対速度を適切に選
択することにより第１の実施の形態と同様の効果を得る
ことが可能となる。
成方法の第２の実施の形態を図５を参照して説明する。
この実施の形態の形成方法は、図５に示すようにライン
型のインクジェットノズル１２を用いるものであって、
インクジェットノズル１２の次回の噴射位置を前回の噴
射位置よりも、基板（図示せず）の進行方向とほぼ直交
する方向に、噴出孔１４の配列ピッチｐの半分だけずら
し、上記次回の次の噴射位置を、上記次回の噴射位置か
ら半ピッチだけ逆方向に移動して噴射塗布を行うもので
ある。したがってインクジェットノズル１２の動きは図
５に示すようにジグザグに進むことになる。この場合、
基板とインクジェットノズル１２の相対速度を適切に選
択することにより第１の実施の形態と同様の効果を得る
ことが可能となる。
【００２４】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば膜厚
分布が均一な配向膜を形成することができる。
分布が均一な配向膜を形成することができる。
【図１】本発明による液晶表示素子の配向膜形成方法の
第１の実施の形態に使用されるインクジェットノズルの
構成図。
第１の実施の形態に使用されるインクジェットノズルの
構成図。
【図２】第１の実施の形態の形成方法を説明する説明
図。
図。
【図３】第１の実施の形態の形成方法の変形例を説明す
る説明図。
る説明図。
【図４】第１の実施の形態の形成方法の他の変形例に使
用されるインクジェットノズルの噴出孔の配置の模式
図。
用されるインクジェットノズルの噴出孔の配置の模式
図。
【図５】本発明による液晶表示素子の配向膜形成方法の
第２の実施の形態を説明する説明図。
第２の実施の形態を説明する説明図。
【図６】従来の配向膜形成方法を説明する説明図。
【図７】従来の配向膜形成方法の問題点を説明する説明
図。
図。
【図８】オフセット印刷方式による配向膜の形成を説明
する説明図。
する説明図。
２ エリア型のインクジェットノズル ３ 配向膜溶液供給口 ４，１４ 噴出孔 １２ ライン型のインクジェットノズル ３５ 配向膜溶液 ４０ 基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 秋 吉 宗 治 神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 上 埜 亜希子 神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地 株 式会社東芝横浜事業所内
Claims (2)
- 【請求項１】所定のピッチで各行に配列される複数の噴
出孔を有し、任意の行の噴出孔は隣接する行の噴出孔の
配列に対して前記ピッチの半分だけずれるように配置さ
れているエリア型のインクジェットノズルを用いて配向
膜溶液を基板に噴射塗布する工程を備えていることを特
徴とする液晶表示素子の配向膜形成方法。 - 【請求項２】所定のピッチで一列に配列される複数の噴
出孔を有するライン型のインクジェットノズルを用い、
このインクジェットノズルからの配向膜溶液の次回の噴
射は前回の噴射位置よりも基板の進行方向とほぼ直交す
る方向に前記ピッチの半分だけずらした位置で行うよう
にしたことを特徴とする液晶表示素子の配向膜形成方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29445695A JPH09138410A (ja) | 1995-11-13 | 1995-11-13 | 液晶表示素子の配向膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29445695A JPH09138410A (ja) | 1995-11-13 | 1995-11-13 | 液晶表示素子の配向膜形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09138410A true JPH09138410A (ja) | 1997-05-27 |
Family
ID=17808023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29445695A Pending JPH09138410A (ja) | 1995-11-13 | 1995-11-13 | 液晶表示素子の配向膜形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09138410A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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