JPH0895250A - フォトレジストフィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 蛍光体の分散不良を起こさず常時蛍光体の分
散安定性に優れたフォトレジスト層を供給すると共に１
０μｍ以上の硬化レジスト層を形成し、パターン形成精
度にも優れ、更にはガラス等の基板への密着性にも優れ
たフォトレジストフィルムを提供すること。 【構成】 エポキシシラン、アミノシラン、クロロプロ
ピルシランから選ばれる少なくとも１種のシラン系化合
物及び蛍光体を含有せしめた感光性樹脂組成物をベース
フイルムに積層してなるフォトレジストフィルム。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、蛍光体及びシラン系化
合物を含有した感光性樹脂組成物を用いたフォトレジス
トフィルムに関し、更に詳しくは、プラズマディスプレ
イパネル（ＰＤＰ）、液晶表示装置、蛍光表示装置、混
成集積回路等の蛍光表示体の製造時に有用なフォトレジ
ストフィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】最近、各種平板ディスプレイの開発が盛
んに行われており、中でもＰＤＰが注目を浴びており、
今後ラップトップ型パソコンの表示画面から、各種電光
掲示板、更には、いわゆる「壁掛けテレビ」へとその用
途は拡大しつつある。そして、このＰＤＰの表示パネル
のセル内には、色表示のための蛍光体が塗布されてお
り、加電圧によりセル内の封入ガスで発生した紫外線で
該蛍光体が発色するのである。この蛍光体の塗布方法と
しては、各色蛍光体を分散させたフォトレジストのスラ
リー液をスクリーン印刷により塗工する方法（特開平１
−１１５０２７号公報、特開平１−１２４９２８号公
報）やセルの内部に該スラリー液を流し込む方法（特開
平２−１５５１４２号公報）等が試みられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記方
法は、いずれも液状のフォトレジストを使用しているた
め、塗工前には必ず蛍光体の分散状態を確認する必要が
あり、蛍光体の沈殿等の分散不良が生じた場合には再分
散処理をしなければならない。また、該液状フォトレジ
ストを長期保存した場合にも暗反応の促進等が原因で保
存安定性に欠けるのが実情で、いずれにしても最終パタ
ーンに輝度のバラツキを生じ易くその商品価値を損なう
難点がある。さらに、液状のフォトレジストでは、塗工
厚みも通常はせいぜい２０μ程度で、それ以上蛍光体を
多量に塗布して発色効果を向上させることは不可能であ
り、スクリーン印刷の場合にも、該フォトレジストの印
刷を繰り返さなければならず、形成精度にも劣るという
欠点も有するのである。

【０００４】

【問題を解決するための手段】本発明者等は、かかる問
題点を解決すべく鋭意研究をした結果、蛍光体及びシラ
ン系化合物を含有せしめた感光性樹脂組成物をベースフ
イルムに積層してなるフォトレジストフィルムが、蛍光
体の分散不良を起こさず常時蛍光体の分散安定性に優れ
たフォトレジスト層を供給することができるので輝度の
バラツキのない安定したパターンの形成が可能で、かつ
１０μ以上の硬化レジスト層の形成が可能で、パターン
形成精度も従来法より優れ、又ガラス等の基板への密着
性にも優れており、更には蛍光体の含有量が感光性樹脂
組成物中のベースポリマーとエチレン性不飽和化合物の
総量１００重量部に対して１〜５０重量部で、シラン系
化合物の含有量が０．１〜３重量部である時、本発明の
効果を最大限発揮できることを見いだし、本発明を完成
するに至った。以下に、本発明を詳細に述べる。

【０００５】本発明に用いられる感光性樹脂組成物は、
ベースポリマー（Ａ）、エチレン性不飽和化合物
（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）からなり、ベースポリマー
（Ａ）としては、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹
脂、ポリウレタン系樹脂などが用いられる。これらの中
では、（メタ）アクリレートを主成分とし、必要に応じ
てエチレン性不飽和カルボン酸や他の共重合可能なモノ
マーを共重合したアクリル系共重合体が重要である。ア
セトアセチル基含有アクリル系共重合体を用いることも
できる。

【０００６】ここで（メタ）アクリル酸エステルとして
は、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アク
リレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メ
タ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、２
−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシ
ル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレー
ト、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ヒド
ロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピ
ル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレ
ートなどが例示される。

【０００７】エチレン性不飽和カルボン酸としては、ア
クリル酸、メタクリル酸、クロトン酸などのモノカルボ
ン酸が好適に用いられ、そのほか、マレイン酸、フマー
ル酸、イタコン酸などのジカルボン酸、あるいはそれら
の無水物やハーフエステルも用いることができる。これ
らの中では、アクリル酸とメタクリル酸が特に好まし
い。稀アルカリ現像型とするときは、エチレン性不飽和
カルボン酸を１５〜３０重量％程度（酸価で１００〜２
００ｍｇKOH／ｇ程度）共重合することが必要である。
他の共重合可能モノマーとしては、アクリルアミド、メ
タクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリ
ル、スチレン、α−メチルスチレン、酢酸ビニル、アル
キルビニルエーテルなどが例示できる。

【０００８】エチレン性不飽和化合物（Ｂ）としては、
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレ
ングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ブチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）
アクリレート、１，６−ヘキサングリコールジ（メタ）
アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）ア
クリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、ペン
タエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリ
スリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリス
リトールペンタ（メタ）アクリレート、２，２−ビス
（４−（メタ）アクリロキシジエトキシフェニル）プロ
パン、２，２−ビス−（４−（メタ）アクリロキシポリ
エトキシフェニル）プロパン、２−ヒドロキシ−３−
（メタ）アクリロイルオキシプロピル（メタ）アクリレ
ート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ（メ
タ）アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジル
エーテルジ（メタ）アクリレート、フタル酸ジグリシジ
ルエステルジ（メタ）アクリレート、グリセリンポリグ
リシジルエーテルポリ（メタ）アクリレートなどの多官
能モノマーがあげられる。これらの多官能モノマーと共
に、単官能モノマーを適当量併用することもできる。

【０００９】単官能モノマーの例としては、２−ヒドロ
キシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロ
ピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メ
タ）アクリレート、２−フェノキシ−２−ヒドロキシプ
ロピル（メタ）アクリレート、２−（メタ）アクリロイ
ルオキシ−２−ヒドロキシプロピルフタレート、３−ク
ロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、
グリセリンモノ（メタ）アクリレート、２−（メタ）ア
クリロイルオキシエチルアシッドホスフェート、フタル
酸誘導体のハーフ（メタ）アクリレート、Ｎ−メチロー
ル（メタ）アクリルアミドなどがあげられる。

【００１０】ベースポリマー（Ａ）１００重量部に対す
るエチレン性不飽和化合物（Ｂ）の割合は、１０〜２０
０重量部、特に４０〜１００重量部の範囲から選ぶこと
が望ましい。エチレン性不飽和化合物（Ｂ）の過少は硬
化不良、可撓性の低下、現像速度の遅延を招き、エチレ
ン性不飽和化合物（Ｂ）の過多は粘着性の増大、コール
ドフロー、硬化レジストの剥離速度低下を招く。

【００１１】更に、光重合開始剤（Ｃ）としては、ベン
ゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチル
エーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイ
ンｎ−ブチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、
ベンジルジフェニルジスルフィド、ベンジルジメチルケ
タール、ジベンジル、ジアセチル、アントラキノン、ナ
フトキノン、３，３’−ジメチル−４−メトキシベンゾ
フェノン、ベンゾフェノン、ｐ，ｐ’−ビス（ジメチル
アミノ）ベンゾフェノン、ｐ，ｐ’−ビス（ジエチルア
ミノ）ベンゾフェノン、ｐ，ｐ’−ジエチルアミノベン
ゾフェノン、ピバロインエチルエーテル、１，１−ジク
ロロアセトフェノン、ｐ−ｔ−ブチルジクロロアセトフ
ェノン、ヘキサアリールイミダゾール二量体、２，２’
−ビス（ｏ−クロロフェニル）４，５，４’，５’−テ
トラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２−クロロ
チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２，４−
ジエチルチオキサントン、２，２’−ジエトキシアセト
フェノン、２，２’−ジメトキシ−２−フェニルアセト
フェノン、２，２’−ジクロロ−４−フェノキシアセト
フェノン、フェニルグリオキシレート、α−ヒドロキシ
イソブチルフェノン、ジベゾスパロン、１−（４−イソ
プロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチル−１
−プロパノン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェ
ニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、トリブロ
モフェニルスルホン、トリブロモメチルフェニルスルホ
ン、などが例示される。このときの、光重合開始剤
（Ｃ）の総配合割合は、ベースポリマー（Ａ）とエチレ
ン性不飽和化合物（Ｂ）との合計量１００重量部に対し
１〜２０重量部程度とするのが適当である。

【００１２】また、本発明で上記感光性樹脂組成物に含
有される蛍光体（Ｄ）としては、特に限定されないが、
希土類オキシハライド等を母体とし、この母体を付活剤
で付活したものが好ましく、例えば紫外線励起型蛍光体
としては、Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ、ＹＶＯ₄：Ｅｕ、（Ｙ，Ｇ
ｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ（以上赤色）、Ｚｎ₂ＧｅＯ₂：Ｍｎ、
ＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：Ｍｎ、Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ、ＬａＰＯ
₄：Ｔｂ（以上緑色）、Ｓｒ₅（ＰＯ₄）₃ＣＩ：Ｅｕ、Ｂ
ａＭｇＡｌ₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ₁₆Ｏ₂₇：Ｅｕ
（以上青色）等が挙げられ、その他の蛍光体としては、
Ｙ₂Ｏ₃Ｓ：Ｅｕ、γ−Ｚｎ₃（ＰＯ₄）₂：Ｍｎ、（Ｚｎ
Ｃｄ）Ｓ：Ａｇ＋Ｉｎ₂Ｏ₃（以上赤色）、ＺｎＳ：Ｃ
ｕ，Ａｌ、ＺｎＳ：Ａｕ，Ｃｕ，Ａｌ、（ＺｎＣｄ）
Ｓ：Ｃｕ，Ａｌ、Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ，Ａｓ，Ｙ₃Ａｌ₅
Ｏ₁₂：Ｃｅ、Ｇｄ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ、Ｙ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂：Ｔｂ、
ＺｎＯ：Ｚｎ（以上緑色）、ＺｎＳ：Ａｇ＋赤色顔料、
Ｙ₂ＳｉＯ₃：Ｃｅ（以上青色）等を使用することもでき
る。

【００１３】更に、本発明で上記感光性樹脂組成物に含
有されるエポキシシラン、アミノシラン、クロロプロピ
ルシランから選ばれる少なくとも１種のシラン系化合物
（Ｅ）としては、γ−グリシドキシプロピルトリメトキ
シシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラ
ン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラ
ン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラ
ン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシ）−エチルト
リメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキ
シ）−エチルトリエトキシシラン等のエポキシシランや
Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキ
シシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピル
トリエトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミ
ノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエ
チル）γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、γ
−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フェニル−
γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラ
ンやγ−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−クロ
ロプロピルトリエトキシシラン、γ−クロロプロピルメ
チルジメトキシシラン、γ−クロロプロピルメチルジエ
トキシシラン等のクロロプロピルシランが挙げられ、中
でもγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ
−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキ
シシランが好ましく、該シラン系化合物は２種以上併用
することも可能である。

【００１４】発明の感光性樹脂組成物に蛍光体（Ｄ）及
び該シラン系化合物（Ｅ）を含有させる方法としては、
特に限定されず公知の方法、例えば上記の感光性樹脂組
成物に所定量の蛍光体（Ｄ）及び該シラン系化合物
（Ｅ）を添加して、十分混合撹拌して蛍光体（Ｄ）及び
該シラン系化合物（Ｅ）を均一に分散させる方法等があ
る。この場合の蛍光体（Ｄ）の含有量は、感光性樹脂組
成物中のベースポリマー（Ａ）とエチレン性不飽和化合
物（Ｂ）の総量１００重量部に対して１〜５０重量部が
好ましく、より好ましくは１０〜３０重量部である。該
蛍光体（Ｄ）の含有量が、５０重量部を越えると、ドラ
イフィルム化が困難となり、逆に１重量部未満では、蛍
光発光強度（輝度）が低下する傾向にあり好ましくな
い。

【００１５】また、該シラン系化合物（Ｅ）の含有量
も、感光性樹脂組成物中のベースポリマー（Ａ）とエチ
レン性不飽和化合物（Ｂ）の総量１００重量部に対して
０．１〜３重量部が好ましく、より好ましくは、０．５
〜１重量部である。該化合物（Ｅ）の含有量が、３重量
部を越えると、蛍光体に密着性が低下し、逆に０．１重
量部未満では、添加の効果が少なく好ましくない。本発
明の蛍光体（Ｄ）及び該シラン系化合物（Ｅ）を含有し
た感光性樹脂組成物には、そのほか、染料（着色、発
色）、密着性付与剤、可塑剤、酸化防止剤、熱重合禁止
剤、溶剤、表面張力改質材、安定剤、連鎖移動剤、消泡
剤、難燃剤、などの添加剤を適宜添加することができ
る。本発明の蛍光体（Ｄ）及び該シラン系化合物（Ｅ）
を含有した感光性樹脂組成物を用いたドライフィルムレ
ジスト用積層体（フォトレジストフィルム）の製造及び
それを用いた蛍光体のパターン形成方法について説明す
る。

【００１６】（成層方法）上記の蛍光体（Ｄ）及び該シ
ラン系化合物（Ｅ）を含有した感光性樹脂組成物をポリ
エステルフイルム、ポリプロピレンフイルム、ポリスチ
レンフイルムなどのベースフイルム面に塗工した後、そ
の塗工面の上からポリエチレンフイルム、ポリビニルア
ルコール系フイルムなどの保護フイルムを被覆してドラ
イフイルムレジスト用積層体とする。この時の該感光性
樹脂組成物の膜厚は、蛍光体（Ｄ）及び該シラン系化合
物（Ｅ）の含有量やＰＤＰ等の構造によっても異なり一
概に言えないが、通常は１０〜２００μｍの中から好適
に選択される。

【００１７】（露光）ドライフイルムレジストによって
画像を形成させるにはベースフイルムと該感光性樹脂組
成物層との接着力及び保護フイルムと該感光性樹脂組成
物層との接着力を比較し、接着力の低い方のフイルムを
剥離してから該感光性樹脂組成物層の側を、例えば透過
型パネルを用いたＰＤＰの場合であれば、前面ガラスの
陽極固定面に貼り付けた後、他方のフイルム上にパター
ンマスクを密着させて露光する。この時必要に応じて、
該ドライフィルムレジストを２枚以上積層することも可
能である。また、該感光性樹脂組成物が粘着性を有しな
いときは、前記他方のフイルムを剥離してからパターン
マスクを該感光性樹脂組成物層に直接接触させて露光す
ることもできる。露光は、通常紫外線照射により行い、
その際の光源としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、カ
ーボンアーク灯、キセノン灯、メタルハライドランプ、
ケミカルランプなどが用いられる。紫外線照射後は、必
要に応じ加熱を行って、硬化の完全を図ることもでき
る。

【００１８】（現像）露光後は、レジスト上のフイルム
を剥離除去してから現像を行う。本発明の感光性樹脂組
成物は稀アルカリ現像型であるので、露光後の現像は、
炭酸ソーダ、炭酸カリウムなどのアルカリ１〜２重量％
程度の稀薄水溶液を用いて行う。 （焼成）上記処理後のセル形成基板を５００〜５５０℃
で焼成を行い、セル内部に蛍光体（Ｄ）を固定する。こ
のようにして、ガラス基板上に蛍光体（Ｄ）を固定する
ことができるのである。フルカラーのＰＤＰを形成する
ためには、赤色、青色、緑色のそれぞれの蛍光体（Ｄ）
を含有するフォトレジストフィルムを用いて上記の（露
光）〜（焼成）を繰り返し行うことで作製することがで
きる。

【００１９】また、予めガラス隔壁によってセルが形成
されたＰＤＰ用平面基板に、本発明のフォトレジストフ
ィルムを用いて蛍光体（Ｄ）を固定すること（反射型パ
ネル）も可能である。例えば、該ＰＤＰ用平面基板上に
本発明のフォトレジストフィルムを積層し、上部よりセ
ルの凹形状に合致する凸形状をもつ金型等で押圧してセ
ル形状に該フォトレジストフィルムを追従させた後に上
記の（露光）〜（焼成）工程により、セル内部に蛍光体
（Ｄ）を固定することができる。この時は、該フォトレ
ジストフィルムに柔軟性が要求されるためベースフィル
ムあるいは保護フィルムも柔軟性に富んだポリビニルア
ルコール、ナイロン、セルロース等のフィルムを用いる
ことが好ましい。

【００２０】

【作用】本発明のフォトレジストフィルムは、蛍光体及
びシラン系化合物を含有した感光性樹脂組成物用いてい
るため、蛍光体の分散不良を起こさず常時蛍光体の分散
安定性に優れたフォトレジスト層を供給することがで
き、かつ１０μｍ以上の硬化レジスト層を形成し、パタ
ーン形成精度も従来法よりも優れ、更にはガラス等の基
板への密着性にも優れており、ＰＤＰやＶＦＤ（蛍光表
示管）等の製造時の蛍光体パターン形成用途に大変有用
である。

【００２１】

【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明
する。なお、実施例中「％」、「部」とあるのは、断り
のない限り重量基準を意味する。 実施例１ （ドープの調製）下記のベースポリマー（Ａ）４６部、
下記のエチレン性不飽和化合物（Ｂ）５４部、下記処方
の光重量開始剤（Ｃ）８部、下記の蛍光体（Ｄ）２６部
及びシラン系化合物（Ｅ）０．７５部を混合して樹脂組
成物を調製した。ベースポリマー（Ａ） メチルメタクリレート／ｎ−ブチルメタクリレート／２
−エチルヘキシルアクリレート／メタクリル酸の共重合
割合が重量基準で５５／８／１５／２２である共重合体
（酸価１４３．３、ガラス転移点６６．３℃、重量平均
分子量８万）

【００２２】エチレン性不飽和化合物（Ｂ） トリメチロールプロパントリアクリレート／ポリエチレ
ングリコール（６００）ジメタクリレート／エチレンオ
キサイド変性フタル酸アクリレート（共栄社油脂工業株
式会社製）の重量比２０／１０／６の混合物光重合開始剤（Ｃ） ベンゾフェノン／ｐ，ｐ’−ジエチルアミノベンゾフェ
ノン／２，２−ビス（ｏ−クロロフェニル）４，５，
４’，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾー
ルの重量比８／０．１５／１の混合物蛍光体（Ｄ） （Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ／Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ／Ｂａ
ＭｇＡｌ₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ²⁺＝３３／５０／１７（重量比）
のブレンド物 （平均粒径；４±２μｍ）

【００２３】シラン系化合物（Ｅ） γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（分子
量：２３６．３、比重１．０７） （ドライフィルムの作製）上記のドープを、ギャップ４
ミルのアプリケーターを用いて厚さ２０μｍのポリエス
テルフイルム上に塗工し、室温で１分３０秒放置した
後、６０℃、９０℃、１１０℃のオーブンでそれぞれ３
分間ずつ乾燥して、レジスト厚２０μｍのドライフイル
ムとなした（ただし保護フイルムは設けていない）。 （ガラス基板へのラミネート）このドライフイルムを、
オーブンで６０℃に予熱したガラス基板（厚みが０．１
〜０．２μｍ程度の導電性回路が表面に形成されたＩＴ
Ｏ膜基板，２００ｍｍ×２００ｍｍ×２ｍｍ）上に、ラ
ミネートロール温度１００℃、同ロール圧３ｋｇ／ｃｍ
²、ラミネート速度１．５ｍ／ｓｅｃにてラミネートし
た。

【００２４】（露光，現像）ラミネート後、全面に２０
０μｍ角上下左右２６０μｍピッチの露光部分が形成さ
れるようにパターンをレジスト表面において、オーク製
作所製の露光機ＨＭＷ−５３２Ｄにて３ｋｗ超高圧水銀
灯で４０ｍｊの露光を行った。露光後１５分間のホール
ドタイムを取った後、２０℃において１％Ｎａ₂ＣＯ₃水
溶液を用いて、最少現像時間の１．５倍の時間で現像し
た。 （焼成）現像後に焼成炉内で、室温から５５０℃まで１
時間で上昇させ樹脂分を焼失させた。評価内容とその評
価基準を以下に示す。

【００２５】ａ．輝度 上記のガラス基板を用いてＰＤＰパネルを作製し、この
パネルで四隅と中央の計５カ所の蛍光体部分の輝度をス
ポット輝度計にて測定して、そのバラツキ及び平均輝度
を調べた。ｂ．保存安定性 上記のドライフィルムを４０℃，６０％ＲＨの遮光下で
１カ月放置し、その後上記同様の（ガラス基板へのラミ
ネート）〜（焼成）を行い、同様に輝度のバラツキ及び
平均輝度を調べた。ｃ．密着性 焼成後の蛍光体パターン（２００μｍ角）をＳＥＭ（走
査電子顕微鏡）にて観察して、蛍光体パターン端部
（角）のガラス基材からの浮き上がり高さ（μｍ）を調
べた。 評価基準は以下の通り。 ◎ −−− 全く浮き上がりが認められず ○ −−− 浮き上がり高さが１０μｍ未満 × −−− 浮き上がり高さが１０μｍ以上

【００２６】実施例２、３ 実施例１において、γ−グリシドキシプロピルトリメト
キシシランの添加量を０．５部（実施例２）及び１部
（実施例３）に変化させて、実施例１と同様の評価を行
った。 実施例４ 実施例１において、γ−グリシドキシプロピルトリメト
キシシランに代えてγ−グリシドキシプロピルトリエト
キシシランを用いた以外は、実施例１と同様の評価を行
った。

【００２７】比較例１ 実施例１において、γ−グリシドキシプロピルトリメト
キシシランを添加しなかった以外は、実施例１と同様の
評価を行った。 比較例２〜５ 実施例１において、γ−グリシドキシプロピルトリメト
キシシランに代えてビニルエトキシシラン（比較例
２）、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン（比
較例３）、イソプロピルトリイソステアロイルチタネー
ト（比較例４）及びアセトアルコキシアルミニウムジイ
ソプロピレート（比較例５）を用いた以外は、実施例１
と同様の評価を行った。実施例及び比較例の評価結果を
表１に示す。

【００２８】

【表１】 ａ項目 ｂ項目 ｃ項目 バラツキ 平均 バラツキ 平均 実施例１ ３ ３０ ３ ３０ ◎ 実施例２ ３ ３０ ３ ２９ ○ 実施例３ ５ ２８ ４ ２９ ○ 実施例４ ４ ３０ ４ ２９ ◎ 比較例１ ５ ２５ ５ ２３ × 比較例２ １０ １４ ８ １０ × 比較例３ １３ １０ １３ １１ × 比較例４ 密着性が著しく悪く、輝度の測定が不能 × 比較例５ 密着性が著しく悪く、輝度の測定が不能 × 註）上記ａ、ｂ項目のバラツキとは、それぞれ５カ所の測定値の最大値と最小値 の差を、平均とは５カ所の測定値の平均値をそれぞれ表し、これらの単位は ｃｄ／ｍ²である。

【００２９】

【発明の効果】本発明のフォトレジストフィルムは、蛍
光体及び特定のシラン系化合物を含有した感光性樹脂組
成物を用いているため、蛍光体の分散不良を起こさず常
時蛍光体の分散安定性に優れたフォトレジスト層を供給
することができ、かつ蛍光体の密着性が優れ、更には硬
化レジストの厚みも１０〜２００μｍまで自由に設定で
きるため、ＰＤＰやＶＦＤ（蛍光表示管）等の製造時の
蛍光体パターン形成用途に大変有用である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/028 7/032 7/038 Ｈ０１Ｊ 9/227 Ｚ 17/04

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エポキシシラン、アミノシラン、クロロ
   プロピルシランから選ばれる少なくとも１種のシラン系
   化合物及び蛍光体を含有せしめた感光性樹脂組成物をベ
   ースフイルムに積層してなることを特徴とするフォトレ
   ジストフィルム。
2. 【請求項２】 蛍光体の含有量が感光性樹脂組成物中の
   ベースポリマーとエチレン性不飽和化合物の総量１００
   重量部に対して１〜５０重量部でかつ、シラン系化合物
   の含有量が０．１〜３重量部であることを特徴とする請
   求項１記載のフォトレジストフイルム。
3. 【請求項３】 蛍光表示体製造時における蛍光体のパタ
   ーン形成材料に用いることを特徴とする請求項１又は２
   記載のフォトレジストフイルム。