JPH08170947A - 画像欠陥判別処理装置 - Google Patents

画像欠陥判別処理装置

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JPH08170947A
JPH08170947A JP6314631A JP31463194A JPH08170947A JP H08170947 A JPH08170947 A JP H08170947A JP 6314631 A JP6314631 A JP 6314631A JP 31463194 A JP31463194 A JP 31463194A JP H08170947 A JPH08170947 A JP H08170947A
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Japan
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inspection
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JP6314631A
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English (en)
Inventor
Keisuke Matsunami
敬祐 松波
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 フルカラー印刷による検査を高精度に行い、
全ての種類の画像欠陥を検査する画像欠陥判別処理装置
を提供する。 【構成】 画像メモリ402は、カラー画像を取り込む
撮像手段により得られた画像欠陥の無い対象の基準画像
と判別対象の被検査画像を記憶する。比較画像生成手段
は、上記基準画像を基に複数の比較画像を生成する。画
像抽出手段404は、上記被検査画像と上記基準画像か
ら検査範囲の画像を各々抽出する。情報画像生成手段4
06は、上記画像抽出手段404により得られた検査範
囲の基準画像の全画素を1画素毎に所定の特性に対応し
た情報に置換した情報画像を生成する。決定手段408
は、上記複数の比較画像から上記情報画像に基いて比較
する画像を決定し、決定した比較画像と検査範囲内の被
検査画像とを比較して画素毎の相違度を求め、上記相違
度と任意に設定されたしきい値とを比較することにより
被検査画像の画像欠陥を判別する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、印刷物の生産工程で発
生する印刷の汚れや傷等の欠陥や、工業製品の製造にお
ける表面の汚れやむら等を画像処理技術を用いて自動検
査する画像欠陥判別処理装置に係わるものであり、特
に、カラー印刷された印刷物の検査に用いて好適な画像
欠陥判別処理装置に係わるものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、コンパクトディスク(以下、C
Dと言う。)の表面は、通常、アルミ蒸着と表面コーデ
ィングから鏡のようになるため、全反射すると共に薄い
膜厚から照明に対してモアレが発生する。このようなC
Dの表面には、CDの生産時に、信号が書き込まれると
共に、所定の位置にメーカ名やタイトル等のレーベルが
印刷される。そして、CDの表面に印刷された文字、絵
柄等のずれ、欠け、汚れ、しみ、ポックマーク等の検査
が行われる。
【0003】一般に、CD等の表面に印刷された状態を
検査する画像欠陥判別処理装置では、画像処理技術が用
いられおり、予めメモリに記憶されている基準画像と検
査すべき対象物の被検査画像とを比較する画像比較法に
より画像欠陥を判別して印刷状態の検査が行われる。
【0004】しかし、このような検査を行う際に、CD
表面の撮影は長方形画面のテレビジョン(以下、TVと
言う。)カメラによって行われていた。このため、CD
等のような円盤状で中心部が開口した対象物の場合、画
面の四隅及び中央部分が無効となり、画面の有効使用面
積が低下してしまっていた。その結果、1画素が大きく
なって画質が粗くなり、従って、解像力が低下してしま
うという問題があった。また、白黒のカメラで画像をと
らえた場合、例えば、黄色、空色、ピンク等の色は、モ
ノクロでのグレーレベルがほぼ同じとなり、多色印刷の
検査ができないという問題があった。
【0005】そこで、特願平2−332089号に開示
されているように、例えば、ラインセンサカメラを用い
た画像欠陥判別処理装置が提案されている。
【0006】即ち、上記画像欠陥判別処理装置は、例え
ば、CD等の円形体を固定し1回転だけ連続的に回転す
る回転体と、円形体上位に円形体の半径線に沿った部分
を撮影すべく設けられたラインセンサカメラを有する検
出部と、撮影された円形体の画像を予め同じラインセン
サカメラで撮影したリファレンスと比較照合して円形体
表面上の印刷の良否を判定する画像処理部と、円形体及
びリファレンスの画像を表示するモニタ部とを備えてお
り、ラインセンサカメラをカラーのラインセンサカメラ
としたものである。
【0007】このように、円形体を回転させ、ラインセ
ンサカメラにより半径線部分を撮影することにより、解
像度の高い画質を得ることができ、正確な検査を行うこ
とができる。また、ラインセンサカメラをカラーのライ
ンセンサカメラとすることにより、カラー印刷における
色の検査を正確に行うことができる。
【0008】しかし、上述のようなラインセンサカメラ
使用した場合は、円形体を回転させる回転体等を設けな
ければならず、直接印刷装置に画像欠陥判別処理装置を
組み込むことが大がかりになってしまうという問題、ま
た、印刷装置における高速な印刷サイクルに対応するこ
とができないという問題がある。
【0009】一方、特願平3−264442号に開示さ
れているように、画像欠陥の種類別の検出を可能とする
ことを目的とした画像欠陥判別処理装置が提案されてい
る。即ち、上記画像欠陥判別処理装置は、例えば、基準
画像と被検査画像との画素毎の相違度データをアドレス
対応に記憶する相違度画像データ記憶部と、記憶した相
違度データ対応アドレスを予め定められた小領域に分割
する小領域アドレス発生部と、この小領域毎に相違度デ
ータと第1のしきい値との比較を行い第1のしきい値を
超えた相違度データ数が予め任意に定めた第2のしきい
値を超えた場合に小領域の第1のしきい値を超えた相違
度データを画素欠陥として判定する相違度画素算出判定
部とを備えている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述したよう
な画像欠陥判別処理装置では、全ての種類の画像欠陥を
検査することができず、特に、CDの特徴的欠陥である
ポックマークを検査することができなかった。
【0011】そこで、本発明は、上述の如き従来の実情
に鑑みてなされたものであり、次のような目的を有する
ものである。
【0012】即ち、本発明の目的は、フルカラー印刷に
よる検査を高精度に行い、全ての種類の画像欠陥を検査
する画像欠陥判別処理装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、本発明に係る画像欠陥判別処理装置は、カラー画
像を取り込む撮像手段により得られた画像欠陥の無い対
象の基準画像を基に複数の比較画像を生成する比較画像
生成手段と、上記撮像手段により得られた判別対象の被
検査画像と上記基準画像から検査範囲の画像を各々抽出
する画像抽出手段と、上記画像抽出手段により得られた
検査範囲の基準画像の全画素を1画素毎に所定の特性に
対応した情報に置換した情報画像を生成する情報画像生
成手段と、上記比較画像生成手段により生成された複数
の比較画像から上記情報画像生成手段により生成された
情報画像に基いて比較画像を決定する決定手段と、上記
決定手段により決定された比較画像と上記画像抽出手段
により得られた検査範囲の被検査画像とを比較して画素
毎の相違度を求め、上記相違度と任意に設定されたしき
い値とを比較することにより被検査画像の画像欠陥を判
別する判別手段とを備えることを特徴とする。
【0014】
【作用】本発明に係る画像欠陥判別処理装置では、比較
画像生成手段は、カラー画像を取り込む撮像手段により
得られた画像欠陥の無い対象の基準画像を基に複数の比
較画像を生成する。画像抽出手段は、上記撮像手段によ
り得られた判別対象の被検査画像と上記基準画像から検
査範囲の画像を各々抽出する。情報画像生成手段は、上
記画像抽出手段により得られた検査範囲の基準画像の全
画素を1画素毎に所定の特性に対応した情報に置換した
情報画像を生成する。決定手段は、上記比較画像生成手
段により生成された複数の比較画像から上記情報画像生
成手段により生成された情報画像に基いて比較画像を決
定する。判別手段は、上記決定手段により決定された比
較画像と上記画像抽出手段により得られた検査範囲の被
検査画像とを比較して画素毎の相違度を求め、上記相違
度と任意に設定されたしきい値とを比較することにより
被検査画像の画像欠陥を判別する。
【0015】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。
【0016】本発明に係る画像欠陥判別処理装置は、例
えば、全自動検査システムでコンパクトディスク(以
下、CDと言う。)の表面のカラー印刷状態を検査する
ものであり、図1に示すように、CD搭載台11と、C
D搭載台11に設置された基準画像作成用CD或は被検
査CDの表面のカラー画像を取り込む撮像部12と、撮
像部12で得られたカラー画像データが供給される画像
入力部3と、画像入力部3で得られたRGB基準画像デ
ータ或はRGB被検査画像データが供給される画像処理
部4と、画像処理部4から検査結果が供給される画像出
力部5とを備えている。
【0017】CD搭載台11と撮像部12は、照明装置
1に設置されている。照明装置1は、例えば、CDのア
ルミ蒸着面によって他のノイズ的な映像が写り込まない
ようにした専用照明装置であり、図示していないが、カ
ラー印刷面の検査に適した斜め照明と垂直落射照明とを
有している。CD搭載台11には、図示していないCD
固定用トレイが搭載されており、CD固定用トレイの真
上に1台の撮像部12が設置されている。
【0018】撮像部12は、カメラレンズ121と、C
CD(Charge coupled device)
カラーカメラ122とから構成されている。ここで、単
板式のCCDカラーカメラでは映像の分解能が半減する
ため、本実施例では、CCDカラーカメラ122に3板
式のCCDカラーカメラを用いている。従って、CCD
カラーカメラ122は、RGB(赤緑青)分解のカラー
カメラとして、画像をRGBの3色に分けて処理するこ
とにより、カラー印刷の色の検査を行うことができる。
このようなCCDカラーカメラ122の下には、カメラ
レンズ121が取り付けられている。ここで、カメラレ
ンズ121の焦点距離は25mmとしている。
【0019】CD搭載台11には、画像欠陥の無いC
D、或は、被検査CDが設置されるものであり、検査時
には、CD搭載台11が回転することにより設置された
CDが順次自動的にCCDカラーカメラ122の真下に
搬送されるようになっている。また、検査完了後には、
自動的に送り出されるようになっている。
【0020】画像処理部4は、図2に示すように、画像
メモリ402と、Lab画像生成部403と、微分処理
部405と、検査範囲画像生成部404と、特性フラグ
画像生成部406と、補正処理部407と、画像比較演
算部408と、色度一致度計算部409と、欠陥画素抽
出部410と、検査判別部411とを備えている。画像
メモリ402には、画像入力部3から出力されるRGB
基準画像データ及びRGB被検査画像データが記憶され
る。また、画像メモリ402は、例えば、図示していな
い、システム全体を制御するメインCPU(centr
al processing unit)として機能す
るDSP(デジタルシグナルプロセッサ)、及び、画像
処理用大規模集積回路(LSI:Large Scal
e Integration)からアクセスすることが
できるものである。また、512画素×512画素×8
ビットの画像データを28画面分記憶する容量を有する
メモリである。従って、多くの基準画像データを画像メ
モリ402内に常設することができる。これにより、高
速高精度に検査することを可能にしている。28画面の
画像メモリの割り振りを、表1に示す。
【0021】
【表1】
【0022】Lab画像生成部403と微分処理部40
5には、画像入力部3から出力されるRGB基準画像デ
ータ及びRGB被検査画像データが供給される。検査範
囲画像生成部404は、画像メモリ402に記憶された
RGB基準画像データから検査範囲画像データを生成す
る。特性フラグ画像生成部406には、微分処理部40
5で得られたエッジ強調基準画像1データ或はエッジ強
調基準画像1データが供給される。
【0023】補正処理部407には、検査範囲画像生成
部404で得られた検査範囲画像データが供給される。
また、補正処理部407は、画像メモリ402に記憶さ
れたRGB基準画像データとRGB被検査画像データを
基に位置ずれ補正を行う。
【0024】画像比較演算部408には、検査範囲画像
生成部404で得られた検査範囲画像データ、微分処理
部405で得られたエッジ強調基準画像データとエッジ
強調被検査画像データ、及び、特性フラグ画像生成部4
06で得られた特性フラグ画像データが各々供給され
る。また、画像比較演算部408は、特性フラグ画像デ
ータに応じて、画像メモリ402に記憶されたRGB基
準画像データとRGB被検査画像データ、或は、エッジ
強調基準画像データとエッジ強調被検査画像データを使
用して比較処理を行う。
【0025】色度一致度計算部409には、Lab画像
生成部403で得られた後述するLab基準画像データ
とLab被検査画像データ、検査範囲画像生成部404
で得られた検査範囲画像データ、及び、画像比較演算部
408での比較結果が各々供給される。
【0026】欠陥画素抽出部410には、検査範囲画像
生成部404で得られた検査範囲画像データ、色度一致
度計算部409での計算結果が各々供給される。検査判
別部411には、欠陥画素抽出部410で得られた欠陥
画素情報が供給される。
【0027】ここで、図3は、上記図1、及び、上記図
2で示した画像欠陥判別処理装置における検査処理を示
す処理ブロック図である。尚、上記図3に示した各処理
ブロックに付した符号は、上記図1、図2に示した各構
成要素に付した符号に対応するものである。以下、上記
図1〜図3を用いて説明する。
【0028】以下、基準画像生成処理S1について説明
する。
【0029】画像欠陥の無いCDから生成する基準画像
は、CCDカラーカメラ122のRGB出力をそのまま
デジタル化した濃淡画像と、エッジ部分を微分強調した
微分画像と、RGB画像をルックアップテーブルで色度
座標に変換したLab(CIEのL***表色系)画
像から構成する。
【0030】具体的に言うと、基準画像は、カメラのR
信号のデジタル画像(512画素×512画素×8ビッ
ト)、カメラのG信号のデジタル画像(512画素×5
12画素×8ビット)、カメラのB信号のデジタル画像
(512画素×512画素×8ビット)、CIEのL*
**表色系のL*デジタル画像(512画素×512
画素×8ビット)、CIEのL***表色系のa*デジ
タル画像(512画素×512画素×8ビット)、CI
EのL***表色系のb*デジタル画像(512画素×
512画素×8ビット)、検査範囲画像(512画素×
512画素×1ビット)、特性フラグ画像(512画素
×512画素×3ビット)、エッジ強調画像1(512
画素×512画素×8ビット)、エッジ強調画像2(5
12画素×512画素×8ビット)から構成され、画像
の画素アドレス、即ち、座標は、全ての画面上において
同じ位置とする。
【0031】上述のような基準画像を生成する場合、C
D搭載台11に、基準画像作成用のCDを載せる。そし
て、基準画像作成用CD、即ち、画像欠陥の無いCDを
CCDカラーカメラ122の真下に設置する。カメラレ
ンズ121により、CDの表面に印刷されたカラー画像
がCCDカラーカメラ122に撮像される。CCDカラ
ーカメラ122により得られたカラー画像は、画像入力
部3に供給される。この時、基準画像生成用CDを撮影
する場合のカメラレンズ121の絞りは、被検査CDを
撮影する場合と異なり、少し開いて撮影する。これによ
り、デジタル化する画像を少し飽和させるようにする。
【0032】画像入力部3は、CCDカラーカメラ12
2により得られたカラー画像を、R信号のデジタル画
像、G信号のデジタル画像、及び、カメラのB信号のデ
ジタル画像(以下、RGB基準画像と言う。)に変換し
て、RGB基準画像データをLab画像生成部403と
微分処理部405に各々供給すると共に、画像メモリ4
02に出力する。画像メモリ402の基準画像用メモリ
402aは、画像入力部3から出力されたRGB基準画
像データを記憶する。
【0033】Lab画像生成部403は、L***
のルックアップテーブル(LUT)403aと、演算処
理部403bとで構成されており、画像入力部3からの
RGB基準画像データをCIEのL***表色系に変
換する。このL***表色系に変換する際に使用する
変換色は、一般的に使用されるCIE変換式ではなく、
NTSC変換式を使用する。
【0034】即ち、RGB基準画像データを、 X=0.6067R+0.1736G+0.2001B Y=0.2988R+0.5868G+0.1144B Z= 0.0661G+1.1150B なる演算式で測色する。
【0035】従って、X,Y,Zで測色した値を、完全
拡散反射面の三刺激値Xo,Yo,Zoを持って、 L*=116(Y/Yo)1/3−16 a*=500((X/Xo)1/3−(Y/Yo)1/3) b*=200((X/Xo)1/3−(Z/Zo)1/3) なる演算式によりCIEのL***表色系、即ち、L*
デジタル画像、a*デジタル画像、及び、b*デジタル画
像(以下、Lab基準画像と言う。)に変換する。 こ
こで、例えば、Y/Yo≦0.008856の場合は、 L*=903.25(Y/Yo)1/3 とする。
【0036】上述のような演算は、演算処理部403b
で行われる。また、各変換式の値は予めLUT402a
に代入され、基準画像作成時にリアルタイムでLab画
像を作成する。そして、このようにして生成したLab
画像データを、色度画像一致度計算部409に供給す
る。
【0037】検査範囲画像生成部304は、画像メモリ
402に記憶されたRGB基準画像データから検査範囲
の画像を抽出する。ここで、撮像部12は、上述したよ
うに、CD搭載台11上に載せられたCDを撮像する。
即ち、画像メモリ402に記憶されているRGB基準画
像データは、CDとCD搭載台11を一緒に映像化した
ものであり、CD部分以外の検査は行う必要がない。そ
こで、CDとCD搭載台11のコントラストは異なって
いることから、RGB基準画像データからCD部分を抽
出し、その重心位置を計算する。そして、計算して得ら
れた重心位置から、カラー印刷されている同心円状の範
囲を求める。このようにして求められた同心円状の範囲
は検査範囲画像データとして、補正処理部407、画像
比較演算部408、色度一致度計算部409、及び、欠
陥画素抽出部410に供給する。微分処理部405は、
図示していない積和演算器を有している。この積和演算
器で、画像入力部3からのRGB画像データのエッジ部
分を取り出すために微分強調処理を行って微分画像1
(以下、エッジ強調基準画像1と言う。)を生成し、エ
ッジ強調基準画像1を、画像比較演算部408と特性フ
ラグ画像生成部406に各々供給する。このエッジ強調
基準画像1は、細い線の印刷が密集している部分を度合
が高いと判断し、同じ色インクで大きな範囲で印刷され
ている部分を低いと判断する印刷状態の混雑度として使
用される。
【0038】ここで、例えば、CDのアルミ蒸着面の上
に細かい線が密集して印刷される場合、例えば、タイト
ル等の小さく細かい文字が印刷される場合がある。この
ように線が密集している部分の色検査は、線が密集して
いない場合と比較して、検査誤差が発生しやすくなる。
そこで、このような場合には、微分処理部405は、エ
ッジ強調基準画像1に対してしきい値を変化させたエッ
ジ強調基準画像2を生成し、エッジ強調基準画像2をエ
ッジ強調基準画像1として特性フラグ画像生成部406
に供給する。このように、密集度を使用して誤差の少な
い検査を行うようにするため、検査精度を向上させるこ
とができる。
【0039】特性フラグ画像生成部406は、微分処理
部405により得られたエッジ強調基準画像データ1に
対して、1画素毎に3種類の特性に分類する。
【0040】具体的に説明すると、まず、CD表面は、
通常アルミ蒸着と表面コーティングから鏡のようになり
全反射し、且つ、薄い膜厚から照明に対してモアレが発
生する。このようなモアレが発生する部分は、アルミ蒸
着面、即ち、カラー印刷されていない部分である。ここ
で、アルミ蒸着面に印刷インクのニジミ等が発生した場
合には、基準画像作成用CDと被検査CDとから得られ
たエッジ強調画像データの差にて簡単に欠陥が検出され
る。従って、アルミ蒸着された部分の検査処理は簡素化
されてもよい。そこで、アルミ蒸着された部分を撮影し
た画素を第1の特性とする。
【0041】また、アルミ蒸着面にモアレが発生する場
合と同様に、空間周期パターン、即ち、CCD画素のパ
ターンピッチによって、境界部には高次数の周波数が発
生するため、境界部での画像は、はっきりとした色が現
れない。即ち、境界部では、色印刷の検査はできない。
そこで、アルミ蒸着された部分と色インクで印刷された
部分の境界を撮影した画素を第2の特性とする。
【0042】さらに、色インクで印刷された部分を撮影
した画素を第3の特性とし、これら3種類の特性をフラ
グ情報で示す。
【0043】従って、エッジ強調基準画像の全画素につ
いて、1画素毎に対応する特性に分類してフラグ情報に
置換する。このようにして生成した特性フラグ画像デー
タを、画像比較演算部408に供給する。
【0044】上述のようにして、基準画像生成用CDに
ついての、R,G,B信号のデジタル画像データ(RG
B基準画像データ)、CIEのL***表色系のL*
*,b*デジタル画像データ(Lab基準画像データ)
と、検査範囲画像データ、特性フラグ画像データ、及
び、エッジ強調基準画像データ1が生成される。
【0045】次に、被検査画像生成処理S2について説
明する。
【0046】被検査CDから生成する被検査画像は、カ
メラのR信号のデジタル画像(512画素×512画素
×8ビット)、カメラのG信号のデジタル画像(512
画素×512画素×8ビット)、カメラのB信号のデジ
タル画像(512画素×512画素×8ビット)、CI
EのL***表色系のL*デジタル画像(512画素×
512画素×8ビット)、CIEのL***表色系の
*デジタル画像(512画素×512画素×8ビッ
ト)、CIEのL***表色系のb*デジタル画像(5
12画素×512画素×8ビット)、エッジ強調画像1
(512画素×512画素×8ビット)から構成され、
画像の画素アドレス、即ち、座標は、全ての画面上にお
いて同じ位置とする。
【0047】上述のような被検査画像を生成する場合、
CD搭載台11に、被検査CDを載せる。このCD搭載
台11は回転し、CD搭載台11に載せられた被検査C
Dは、順次自動的にCCDカラーカメラ122の真下に
搬送される。
【0048】基準画像作成処理1の場合と同様に、CC
Dカラーカメラ122により得られたカラー画像は、画
像入力部3に供給される。
【0049】画像入力部3は、CCDカラーカメラ12
2により得られたカラー画像を、R信号のデジタル画
像、G信号のデジタル画像、及び、カメラのB信号のデ
ジタル画像(以下、RGB被検査画像と言う。)に変換
して、RGB被検査画像データをLab画像生成部40
3と微分処理部405に各々供給すると共に、画像メモ
リ402に出力する。画像メモリ402の被検査画像用
メモリ402bは、画像入力部3から出力されたRGB
被検査画像データを記憶する。
【0050】Lab画像生成部403は、基準画像作成
処理1の場合と同様にして、画像入力部3からのRGB
被検査画像データをL*d,a*d,b*dデジタル画像デー
タ(以下、Lab被検査画像データと言う。)に変換
し、Lab画像データを色度画像一致度計算部409に
供給する。
【0051】微分処理部405は、基準画像作成処理1
の場合と同様にして、画像入力部3からのRGB被検査
画像データのエッジ部分を取り出すために微分処理を行
ってエッジ強調被検査画像1を生成し、エッジ強調被検
査画像1を画像比較演算部408に供給する。
【0052】上述のようにして、被検査CDについて
の、R,G,B信号のデジタル画像データ(RGB被検
査画像データ)、CIEのL***表色系のL*d,a
*d,b*dデジタル画像データ(Lab被検査画像デー
タ)、及び、エッジ強調被検査画像1データが生成され
る。
【0053】次に、上述のようにして得られた基準画像
と被検査画像により印刷状態を検査する処理について説
明する。
【0054】まず、機械で自動搬送されるCDは、検査
時におけるCCDカラーカメラ122下の位置が縦軸、
横軸、回転方向共にずれてしまう。このように位置ずれ
を含んだ状態で基準画像と被検査画像とを比較すると、
位置ずれにより生じる画像の違いを誤って欠陥であると
判別してしまう問題が発生する。そこで、補正処理部4
07は、被検査CDがCCDカラーカメラ122下に搬
送され、被検査CDのRGB被検査画像データが画像メ
モリ402に取り込まれた時に、相互の位置ずれ量を算
出して補正を行う。
【0055】即ち、補正処理部407には、検査範囲画
像生成部404から検査範囲画像データが供給される。
補正処理部407は、画像メモリ402に記憶されたR
GB基準画像データとRGB被検査画像データを正規化
相互相関し、検査範囲画像データで示された検査範囲内
で一致度が一番高い場所を検出する。その検出場所とR
GB基準画像データとを比較して、相互の位置ずれ量を
算出する。算出された位置ずれ量は、例えば、図示して
いない画像移動処理部に供給され、画像移動処理部は、
補正処理部407からの位置ずれ量に基いて画像を移動
させる。
【0056】画像比較演算部408は、検査範囲画像生
成部404からの検査範囲画像データで示された検査範
囲内で、基準画像と被検査画像の相互の画素を比較し、
全画素について、正常であると判断される画素、疑わし
き画素、及び、欠陥であると判断される画素に分類す
る。
【0057】まず、特性フラグ画像生成部406からの
特性フラグ画像データを基に、各画素に振り分けられた
フラグ情報により基準画像のどの画像データを使用して
比較するかを決定する。
【0058】例えば、対象画素のフラグ情報が、アルミ
蒸着された部分を撮影した画素であることを示している
場合、微分処理部405からのエッジ強調基準画像1デ
ータとエッジ強調被検査画像1データを使用する。この
エッジ強調基準画像1データとエッジ強調被検査画像1
データとを比較する際に、比較ゲインを画像データの濃
度で変化させるようにし、エッジ強調基準画像1データ
M、エッジ強調被検査画像1データTとすると、比較演
算式は、 Z=|M−T|−(M−T)/k−γ となる。この比較演算式において、第1項はエッジ強調
基準画像1データMとエッジ強調被検査画像1データT
との差異を示しており、第2項及び第3項はゲインを変
化させる関数を示している。この比較演算式により求め
られた比較結果Zとエッジ強調基準画像1データMの相
関度から個々の画素を正常であるか否かを判断する。
【0059】対象画素のフラグ情報が、色インクで印刷
された部分を撮影した画素であることを示している場
合、画像メモリ402に記憶されたRGB基準画像デー
タとRGB被検査画像データを使用する。そして、個々
の画素毎に、RGB基準画像データとRGB被検査画像
データの差を計算し、その差のレベルに応じて正常な画
素であるか否かを判断する。ここで、色と色の境界は、
全て疑わしき画素と判断する。また、印刷むら、順次濃
淡階調が下がる印刷にも対応することができるように、
一致度が相当高くない限り正常な画素とは判断しないも
のとする。
【0060】対象画素のフラグ情報が、アルミ蒸着され
た部分と色インクで印刷された部分の境界を撮影した画
素であることを示している場合、エッジ強調基準画像1
データとエッジ強調被検査画像1データを使用する。こ
の場合の比較演算式は、上述したアルミ蒸着された部分
を撮影した画素であることを示している場合と同様であ
るが、総合的な判断を行う際に使用する個々の画素の正
常度の重みずけ係数をアルミ蒸着された部分を撮影した
画素であることを示している場合よりも低くする。これ
により、境界部の検査の影響を少なくする。
【0061】上述のようにして、1画素毎にフラグ情報
に基いた画像データを使用して比較し、正常な画素であ
るか否か判断した結果を、色度一致度計算部409に供
給する。
【0062】色度一致度計算部409は、検査範囲画像
生成部404からの検査範囲画像データで示される検査
範囲内で、画像比較演算部408からの比較結果に応じ
て、対象画素が、色インクで印刷された部分を撮影した
画素であり、且つ、比較結果が疑わしき画素であると判
断された全画素について、色情報の比較を行う。
【0063】即ち、Lab画像生成部403からのLa
b基準画像データ(=L*,a*,b*)とLab被検査
画像データ(=L*d,a*d,b*d)を持って、基準画像
と被検査画像の空間距離差ΔEの差を、 ΔEab*=((ΔL*2+(Δa*2+(Δb*21/2 ΔL*=L*d−L* Δa*=a*d−a* Δb*=b*d−b* なる演算式で求める。
【0064】また、色のにじみ等を考慮した検査を行う
ために、対象画素の周辺8連結方向の色差に各々任意の
係数を掛け合わせ、それらの合計値を対象画素の色差情
報とする。このようにして求めた色差情報の大小によ
り、対象画素を、正常であると判別される画素と欠陥で
あると判別される画素に分類する。
【0065】上述のようにして、疑わしき画素であると
判断された対象画素の周辺画素にも多くの疑わしき画素
が存在するか否かを判別し、疑わしき画素が多く存在す
る場合には欠陥画素とする。このようにして比較した結
果を、欠陥画素抽出部410に供給する。
【0066】欠陥画素抽出部410は、検査範囲画像生
成部404からの検査範囲画像データで示された検査範
囲内で、色度一致度計算部409からの比較結果に基い
て、欠陥であると判断された画素のみを2値化画像のハ
イレベルに置き換える。そして、その画像をラベリング
して欠陥画像を小領域に分別し、ラベリングした小領域
毎に、欠陥画素数、即ち、欠陥面積と、欠陥係数を求め
る。
【0067】ここで、画像データは、フラグ情報により
3種類の特性に分類されており、欠陥であると判断され
た画素には、各々異なった係数が与えられている。その
係数を小領域内で加算し、加算した結果を欠陥係数とす
る。このようにして求めた欠陥画素数と欠陥係数を、検
査判別部411に供給する。
【0068】検査判別部411は、欠陥画素抽出部41
0からの欠陥画素数と欠陥係数に基いて、被検査CDの
印刷状態が正常であるか否かを判断する。そして、この
判断結果を、上記図1に示した画像出力部5に供給す
る。
【0069】上述のように、本実施例では、1画素毎の
特性に応じて比較する画像データを決定し、決定した画
像データを使用して印刷状態の検査を行うため、印刷の
しみ、汚れ、かすれ、ポックマーク等の全ての種類の欠
陥を検査することができる。尚、上述した画像欠陥判別
処理装置は、例えば、LSIの製造におけるマスクパタ
ーンの不良等を画像処理技術を用いて自動検査する装置
にも適用することができる。
【0070】
【発明の効果】本発明に係る画像欠陥判別処理装置で
は、比較画像生成手段は、カラー画像を取り込む撮像手
段により得られた画像欠陥の無い対象の基準画像を基に
複数の比較画像を生成する。画像抽出手段は、上記撮像
手段により得られた判別対象の被検査画像と上記基準画
像から検査範囲の画像を各々抽出する。情報画像生成手
段は、上記画像抽出手段により得られた検査範囲の基準
画像の全画素を1画素毎に所定の特性に対応した情報に
置換した情報画像を生成する。決定手段は、上記比較画
像生成手段により生成された複数の比較画像から上記情
報画像生成手段により生成された情報画像に基いて比較
画像を決定する。判別手段は、上記決定手段により決定
された比較画像と上記画像抽出手段により得られた検査
範囲の被検査画像とを比較して画素毎の相違度を求め、
上記相違度と任意に設定されたしきい値とを比較するこ
とにより被検査画像の画像欠陥を判別する。これによ
り、フルカラー印刷による検査を高精度に行うことがで
き、印刷のしみ、汚れ、かすれ、ポックマーク等、全て
の種類の画像欠陥を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る画像欠陥判別処理装置の構成を示
すブロック図である。
【図2】上記画像欠陥判別処理装置の画像処理部の構成
を示すブロック図である。
【図3】上記画像欠陥判別処理装置の処理を説明するた
めの処理ブロック図である。
【符号の説明】
1 照明装置 3 画像入力部 4 画像処理部 5 画像出力部 11 CD搭載台 12 撮像部 402 画像メモリ 403 Lab画像生成部 404 検査範囲画像生成部 405 微分処理部 406 特性フラグ画像生成部 407 補正処理部 408 画像比較演算部 409 色度一致度計算部 410 欠陥画素抽出部 411 検査判別部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 カラー画像を取り込む撮像手段により得
    られた画像欠陥の無い対象の基準画像を基に複数の比較
    画像を生成する比較画像生成手段と、 上記撮像手段により得られた判別対象の被検査画像と上
    記基準画像から検査範囲の画像を各々抽出する画像抽出
    手段と、 上記画像抽出手段により得られた検査範囲の基準画像の
    全画素を1画素毎に所定の特性に対応した情報に置換し
    た情報画像を生成する情報画像生成手段と、 上記比較画像生成手段により生成された複数の比較画像
    から上記情報画像生成手段により生成された情報画像に
    基いて比較画像を決定する決定手段と、 上記決定手段により決定された比較画像と上記画像抽出
    手段により得られた検査範囲の被検査画像とを比較して
    画素毎の相違度を求め、上記相違度と任意に設定された
    しきい値とを比較することにより被検査画像の画像欠陥
    を判別する判別手段とを備えることを特徴とする画像欠
    陥判別処理装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007074770A1 (ja) * 2005-12-26 2007-07-05 Nikon Corporation 画像解析によって欠陥検査を行う欠陥検査装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2007074770A1 (ja) * 2005-12-26 2007-07-05 Nikon Corporation 画像解析によって欠陥検査を行う欠陥検査装置
JP5228490B2 (ja) * 2005-12-26 2013-07-03 株式会社ニコン 画像解析によって欠陥検査を行う欠陥検査装置

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