JPH0798893A - Method for recording and reproduction - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To make the recording density the same and the highest in all recording areas of the rotating recording medium. CONSTITUTION:In the recording and reproducing controller which records and reproduces information by placing plural probes 403 opposite to a rotating disk recording medium 136, the recording medium 136 is divided into plural concentric circular recording areas around a rotating center 135 of the recording medium 401 and plural probes 403 correspond to each of the concentric circular recording area. Based on the control signal from a parallel/multiplexing processing electric circuit 410, a parallel/multiplexing processing electric circuit 404 makes the 2nd recording frequency of the 2nd recording control signal to be applied to the 2nd probe which performs recording on the 2nd recording area of the outer peripheral part higher than the 1st recording frequency of the 1st recording control signal to be applied on the 1st probe which performs recording on the 1st recording area of the inner peripheral part from among plural concentric circular recording areas.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、走査型プローブ顕微鏡
を応用して高密度記録再生を行う装置において、複数の
プローブと回転するディスク型記録媒体との間の記録再
生方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recording / reproducing method between a plurality of probes and a rotating disk type recording medium in an apparatus for high density recording / reproducing by applying a scanning probe microscope.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、米国特許第４３４３９９３号明細
書に記載されているようなナノメートル以下の分解能で
導電性物質表面を観察可能な走査型トンネル顕微鏡（以
下、ＳＴＭと略す）が開発され、金属・半導体表面の原
子配列、有機分子の配向等の観察が原子・分子スケール
でなされている。また、ＳＴＭ技術を発展させ、絶縁物
質等の表面をＳＴＭと同様な分解能で観察可能な原子間
力顕微鏡（以下、ＡＦＭと略す）も開発されている（米
国特許第４７２４３１８号明細書参照）。そこで、この
ＳＴＭ，ＡＦＭ等の走査型プローブ顕微鏡（以下、ＳＰ
Ｍと略す）の原理を応用し、記録媒体に対してプローブ
を原子、分子スケールでアクセスし、記録再生を行うこ
とにより、高密度メモリーを実現するという提案がなさ
れている（米国特許第４５７５８２２号明細書参照，日
本国特開昭６３−１６１５５２号公報参照，日本国特開
昭６３−１６１５５３号公報参照）。2. Description of the Related Art In recent years, a scanning tunneling microscope (hereinafter abbreviated as STM) capable of observing the surface of a conductive material with a resolution of nanometer or less has been developed as described in US Pat. No. 4,434,993, Observations of the atomic arrangement on the surface of metals and semiconductors and the orientation of organic molecules have been made on the atomic and molecular scale. Further, by developing the STM technology, an atomic force microscope (hereinafter, abbreviated as AFM) capable of observing the surface of an insulating material or the like with the same resolution as the STM has been developed (see US Pat. No. 4,724,318). Therefore, scanning probe microscopes such as STM and AFM (hereinafter, SP
It has been proposed to realize a high-density memory by applying the principle of (M) and accessing the recording medium with a probe on an atomic or molecular scale to perform recording / reproducing (US Pat. No. 4,575,822). See the specification, JP-A-63-161552, and JP-A-63-161535.

【０００３】ＳＰＭ応用の高密度メモリーにおいてアク
セスや記録再生の高速化を目的として、半導体プロセス
によって複数のプローブを基板上に形成し、これらを用
いて並列に記録再生動作を行う装置も提案されている
（日本国特開平０１−３５７４３号公報参照，日本国特
開平０１−３５７４４号公報参照，欧州特許公開ＥＰ０
第１１２４０１号明細書参照）。An apparatus has been proposed in which a plurality of probes are formed on a substrate by a semiconductor process and a recording / reproducing operation is performed in parallel by using a semiconductor process for the purpose of speeding up access and recording / reproducing in a high density memory for SPM application. (See Japanese Patent Laid-Open No. 01-35743, Japanese Patent Laid-Open No. 01-35744, European Patent Publication EP0
No. 112401).

【０００４】ＳＰＭ応用の高密度メモリーにおける記録
再生の際のプローブと記録媒体の相対走査法としては、
ＳＴＭ技術の延長上であるＸＹ方向に２次元走査を行う
ラスタースキャンが一般的である。一方、従来より実用
化されているハードディスク記録装置や光ディスク記録
装置における記録ヘッドと記録媒体の相対走査法である
回転スキャンにおいても、記録装置の高密度化及び小型
化をめざしたモーターや軸受けの高精度化、モーター回
転制御技術の高度化が進んでいる。As a relative scanning method between the probe and the recording medium at the time of recording / reproducing in the high density memory for SPM application,
Raster scanning, which is two-dimensional scanning in the XY directions, which is an extension of STM technology, is general. On the other hand, even in the rotary scan which is a relative scanning method between the recording head and the recording medium in the hard disk recording apparatus and the optical disk recording apparatus which have been practically used in the past, the height of the motor and the bearing aiming at the high density and downsizing of the recording apparatus. Advances in precision and motor rotation control technology are progressing.

【０００５】そこで、ＳＰＭ応用の高密度メモリーにお
いても記録媒体をディスクタイプとし、プローブと記録
媒体との相対走査を回転スキャンで行った記録再生装置
に関する提案もなされている（日本国特願平０２−０５
６６７５号明細書参照）。Therefore, a proposal has also been made for a recording / reproducing apparatus in which the recording medium is a disk type and the relative scanning between the probe and the recording medium is carried out by the rotary scan even in the high-density memory for SPM application (Japanese Patent Application No. 02/2002). -05
6675).

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、ディスクタ
イプの記録再生装置において、図５に示すように、高速
化のため単に複数のプローブ５０３を用いただけでは、
並列に記録再生動作を行うと次のような問題が生じる。
ディスク回転型の記録媒体５０１の回転角速度が一定の
時、複数のプローブ５０３のうち記録媒体５０１の回転
中心５０５に近い内周の記録領域に記録再生を行うプロ
ーブでは記録領域５０２との走査に関する相対速度が大
きく、逆に回転中心５０５から遠い外周の記録領域５０
２に記録再生を行うプローブでは相対速度が小さくな
る。したがって、複数のプローブ５０３で並列に記録を
行うとき、内周の記録領域と外周の記録領域では記録密
度が異なる。すなわち、外周の記録領域で最大記録密度
になるようにすると、内周の記録領域で隣合う記録ビッ
ト５０４が重なってしまう。内周の記録領域では最大記
録密度になるようにすると、外周の記録領域では記録ビ
ット５０４間の距離が大きくなり、記録密度が低下して
しまう。By the way, in the disk type recording / reproducing apparatus, as shown in FIG.
When the recording / reproducing operations are performed in parallel, the following problems occur.
When the rotational angular velocity of the disk-rotational recording medium 501 is constant, a probe that performs recording / reproduction in a recording area on the inner periphery of the plurality of probes 503 near the rotation center 505 of the recording medium 501 is relative to scanning with the recording area 502. The recording area 50 on the outer periphery, which has a high speed and is conversely far from the rotation center 505.
In the probe for recording / reproducing in No. 2, the relative speed becomes small. Therefore, when recording is performed in parallel with a plurality of probes 503, the recording density of the inner recording area and the outer recording area are different. That is, when the maximum recording density is set in the outer recording area, the adjacent recording bits 504 overlap in the inner recording area. If the maximum recording density is set in the inner recording area, the distance between the recording bits 504 becomes large in the outer recording area, which lowers the recording density.

【０００７】現状のハードディスク記録装置のように記
録再生ヘッドが１つの場合に、この問題を解決する方法
が特開平４−３６６４６２号公報に提案されている。こ
れは、磁気記録ディスクを回転させるスピンドルモータ
ーの回転数を制御して、記録再生用の磁気ヘッドでディ
スクの内周にあるときは回転速度を減少させ、ディスク
の外周にあるときは回転速度を増加させるようにするも
のである。ところが、複数のプローブで並列に記録再生
を行うときは、内周の記録領域で記録再生を行うプロー
ブと外周の記録領域で記録再生を行うプローブとが同時
に存在するため、上記のようにディスクを回転させるモ
ーターの回転数を制御する方法を用いることはできな
い。Japanese Patent Laid-Open No. 4-366462 proposes a method for solving this problem when the present hard disk recording apparatus has one recording / reproducing head. This controls the number of rotations of the spindle motor that rotates the magnetic recording disk, and reduces the rotation speed when the magnetic head for recording and reproduction is on the inner circumference of the disk, and the rotation speed when it is on the outer circumference of the disk. It is intended to increase. However, when recording / reproducing in parallel with a plurality of probes, a probe for recording / reproducing in an inner recording area and a probe for recording / reproducing in an outer recording area exist at the same time. It is not possible to use a method of controlling the rotation speed of a rotating motor.

【０００８】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、記録媒体のすべての記録領
域において、記録密度をほぼ同じでしかも最大に近い密
度とすることができ、記録容量を増大する記録再生方法
を提供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art. In all the recording areas of a recording medium, the recording density can be made substantially the same and close to the maximum density. It is an object to provide a recording / reproducing method for increasing the capacity.

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、回転型記録媒体に複数の記録再生プローブ
を対向させて、情報の記録再生を行う記録再生制御方法
において、前記回転型記録媒体が該回転型記録媒体の回
転中心を中心とする複数の同心円状記録領域に分割さ
れ、前記複数の記録再生プローブが前記複数の同心円状
記録領域のそれぞれに対応し、前記複数の同心円状記録
領域のうち、内周の第１の記録領域に記録を行う第１の
記録再生プローブに加える第１の記録制御信号の第１の
記録周波数よりも、外周の第２の記録領域に記録を行う
第２の記録再生プローブに加える第２の記録制御信号の
第２の記録周波数を高くする、ことを特徴とする記録再
生方法である。The present invention for achieving the above object provides a recording / reproducing control method for recording / reproducing information by causing a plurality of recording / reproducing probes to face a rotating recording medium. The recording medium is divided into a plurality of concentric recording areas centered on the rotation center of the rotary recording medium, the plurality of recording / reproducing probes correspond to the plurality of concentric recording areas, and the plurality of concentric recording areas are provided. In the recording area, recording is performed in the second recording area on the outer periphery than the first recording frequency of the first recording control signal applied to the first recording / reproducing probe for recording on the first recording area on the inner periphery. The recording / reproducing method is characterized in that the second recording frequency of the second recording control signal applied to the second recording / reproducing probe is increased.

【００１０】また、前記複数の同心円状記録領域に対応
する前記複数の記録再生プローブに加える記録制御信号
の記録周波数が、前記複数の同心円状記録領域と前記回
転中心とのそれぞれの距離に比例するものや、前記分割
された複数の同心円状記録領域が、内周から順に２のｎ
乗個、２の（ｎ−１）乗個、２の（ｎ−２）乗個、・・・
・、２の（ｍ＋２）乗個、２の（ｍ＋１）乗個、２のｍ
乗個（ただし、ｎ，ｍは正の整数、ｎ＞ｍとする）から
なる複数のグループに分かれ、前記２のｎ乗個、２の
（ｎ−１）乗個、２の（ｎ−２）乗個、・・・・、２の（ｍ
＋２）乗個、２の（ｍ＋１）乗個、２のｍ乗個の同心円
状記録領域からなる複数のグループに分かれた該複数の
同心円状記録領域に記録を行う該複数の記録再生プロー
ブに加える記録制御信号の記録周波数が、同一のグルー
プに属する該複数の同心円状記録領域に記録を行う記録
再生プローブでは等しく、かつ異なるグループの複数の
同心円状記録領域に記録を行う記録再生プローブでは、 比 １／（２のｎ乗）：１／｛２の（ｎ−１）乗｝１：
｛２の（ｎ−２）乗｝：・・・・：１／｛２の（ｍ＋２）
乗｝：１／｛２の（ｍ＋１）乗｝：１／｛２のｍ乗｝の
関係を満たすことを特徴とするものである。The recording frequency of the recording control signal applied to the plurality of recording / reproducing probes corresponding to the plurality of concentric recording areas is proportional to the distance between each of the plurality of concentric recording areas and the rotation center. The plurality of divided concentric recording areas are divided into n of 2 in order from the inner circumference.
Powers, 2 (n-1) powers, 2 (n-2) powers, ...
.2 (m + 2) powers, 2 (m + 1) powers, 2 m
It is divided into a plurality of groups of powers (where n and m are positive integers, and n> m), and the power of 2 is the power of 2, the power of (n-1), and the power of 2 (n-2). ) Multiplies ... 2 (m
+2) powers, 2 (m + 1) powers, 2 m powers added to the plurality of recording / reproducing probes for recording in the plurality of concentric recording areas divided into a plurality of groups. The recording frequency of the recording control signal is the same in the recording / reproducing probes that record in the plurality of concentric recording areas belonging to the same group, and in the recording / reproducing probes that record in the plurality of concentric recording areas of different groups, 1 / (2 to the nth power): 1 / {2 to the (n-1) th power} 1:
{2 to the power of (n-2)}: ...: 1 / {2 to (m + 2)
It is characterized by satisfying the relationship of {square root}: 1 / {2 to the (m + 1) th power}: 1 / {2 to the mth power}.

【００１１】さらに、他の本発明は、回転型記録媒体に
複数の記録再生プローブを対向させて、情報の記録再生
を行う記録再生方法において、前記回転型記録媒体が該
回転型記録媒体の回転中心を中心とする複数の同心円状
記録領域に分割され、前記複数の記録再生プローブが前
記複数の同心円状記録領域のそれぞれに対応し、前記複
数の同心円状記録領域のうち、内周の第１の記録領域か
ら再生を行う第１の記録再生プローブから得る第１の再
生信号の第１の再生周波数よりも、外周の第２の記録領
域から再生を行う第２の記録再生プローブから得る第２
の再生信号の第２の再生周波数が高い、ことを特徴とす
る記録再生方法である。Still another aspect of the present invention is a recording / reproducing method in which a plurality of recording / reproducing probes are opposed to a rotary recording medium to record / reproduce information, wherein the rotary recording medium rotates the rotary recording medium. The recording medium is divided into a plurality of concentric recording areas centered on the center, the plurality of recording / reproducing probes correspond to the plurality of concentric recording areas, and a first inner circumference of the plurality of concentric recording areas is provided. A second recording / reproducing probe for reproducing from a second recording area on the outer periphery of a first reproducing frequency of a first reproducing signal obtained from a first recording / reproducing probe for reproducing from a second recording area.
In the recording and reproducing method, the second reproduction frequency of the reproduction signal of is high.

【００１２】また、前記複数の同心円状記録領域に対応
する前記複数の記録再生プローブから得る再生信号の再
生周波数が、前記複数の同心円状記録領域と前記回転中
心とのそれぞれの距離に比例するものや、前記分割され
た複数の同心円状記録領域が、内周から順に２のｎ乗
個、２の（ｎ−１）乗個、２の（ｎ−２）乗個、・・・・、
２の（ｍ＋２）乗個、２の（ｍ＋１）乗個、２のｍ乗個
（ただし、ｎ，ｍは正の整数、ｎ＞ｍとする。）からな
る複数のグループに分かれ、前記２のｎ乗個、２の（ｎ
−１）乗個、２の（ｎ−２）乗個、・・・・、２の（ｍ＋
２）乗個、２の（ｍ＋１）乗個、２のｍ乗個の同心円状
記録領域からなる複数のグループに分かれた該複数の同
心円状記録領域から再生を行う該複数の記録再生プロー
ブから得る再生信号の再生周波数が、同一のグループに
属する該複数の同心円状記録領域から再生を行う記録再
生プローブでは等しく、かつ異なるグループの複数の同
心円状記録領域から再生を行う記録再生プローブでは、 比 １／（２のｎ乗）：１／｛２の（ｎ−１）乗｝１：
｛２の（ｎ−２）乗｝：・・・・：１／｛２の（ｍ＋２）
乗｝：１／｛２の（ｍ＋１）乗｝：１／｛２のｍ乗｝の
関係を満たすことを特徴とするものである。The reproduction frequency of the reproduction signal obtained from the plurality of recording / reproducing probes corresponding to the plurality of concentric recording areas is proportional to the distance between each of the plurality of concentric recording areas and the rotation center. Alternatively, the plurality of divided concentric recording areas are sequentially 2n-th power, 2 (n-1) -th power, 2 (n-2) -th power, ...
2 (m + 2) powers, 2 (m + 1) powers, 2 m powers (where n and m are positive integers, n> m) are divided into a plurality of groups, n-th power of 2 (n
-1) powers, 2 (n-2) powers, ..., 2 (m +)
2) Obtained from the plurality of recording / reproducing probes for reproducing from the plurality of concentric recording areas divided into a plurality of groups each consisting of a power of 2, a power of 2 (m + 1), and a power of 2 m. The reproduction frequency of the reproduction signal is the same for the recording / reproducing probes for reproducing from the plurality of concentric recording areas belonging to the same group, and the ratio is 1 for the recording / reproducing probes for reproducing from the plurality of concentric recording areas of different groups. / (2 to the nth power): 1 / {2 to the (n-1) th power} 1:
{2 to the power of (n-2)}: ...: 1 / {2 to (m + 2)
It is characterized by satisfying the relationship of {square root}: 1 / {2 to the (m + 1) th power}: 1 / {2 to the mth power}.

【００１３】[0013]

【作用】上記のとおりに構成された本発明では、各プロ
ーブに加えるビット記録信号の電圧パルスの時間間隔を
変化させることにより、すなわち、内周の第１の記録領
域に記録を行う第１の記録再生プローブに加える第１の
記録制御信号の第１の記録周波数よりも、外周の第２の
記録領域に記録を行う第２の記録再生プローブに加える
第２の記録制御信号の第２の記録周波数を高くすること
により、記録媒体の全ての記録領域において記録密度を
ほぼ同じで、しかも最大記録密度にすることができる。In the present invention configured as described above, by changing the time interval of the voltage pulse of the bit recording signal applied to each probe, that is, the first recording area on the inner circumference is recorded. Second recording of the second recording control signal applied to the second recording / reproducing probe for recording in the second recording area on the outer periphery than the first recording frequency of the first recording control signal applied to the recording / reproducing probe By increasing the frequency, the recording density can be made almost the same in all the recording areas of the recording medium, and the maximum recording density can be obtained.

【００１４】[0014]

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings.

【００１５】図１は本発明の記録再生方法の実施に使用
する記録再生装置の一実施例の概略構成図である。FIG. 1 is a schematic block diagram of an embodiment of a recording / reproducing apparatus used for implementing the recording / reproducing method of the present invention.

【００１６】図１に示すように、符号１３６はディスク
回転型の記録媒体を示し、この記録媒体１３６はモータ
４０２により回転駆動される。記録媒体４０１上の記録
領域に対向して、並列に記録再生を行う複数のプローブ
４０３と、この複数のプローブ４０３における記録再生
信号を並列化・多重化するための並列化・多重化電気回
路４０４と、複数のプローブ４０３での電流検出回路４
１３等の電気回路とが、マルチプローブチップ４０５基
板上に一体構成されている。記録媒体１３６には記録再
生用のバイアス電圧を印加するためのバイアス電圧印加
回路４０６が接続されている。As shown in FIG. 1, reference numeral 136 denotes a disk rotation type recording medium, and the recording medium 136 is rotationally driven by a motor 402. A plurality of probes 403 for recording / reproducing in parallel facing the recording area on the recording medium 401, and a parallelizing / multiplexing electric circuit 404 for parallelizing / multiplexing recording / reproducing signals from the plurality of probes 403. And the current detection circuit 4 in the plurality of probes 403
An electric circuit such as 13 is integrally formed on the multi-probe chip 405 substrate. A bias voltage application circuit 406 for applying a recording / reproducing bias voltage is connected to the recording medium 136.

【００１７】複数のプローブ４０３と記録媒体１３６と
の間の記録に関する記録制御信号は次に記述するように
やりとりされる。制御用コンピュータ４０７から記録制
御回路４０８に出力される制御信号に基づき、該記録制
御回路４０８から記録制御信号が、切り替え回路４０９
を通して並列化・多重化電気回路４０４に入力される。
さらに、制御用コンピュータ４０７から並列化・多重化
制御回路４１０に出力される制御信号に基づき、該並列
化・多重化制御回路４１０から並列化制御信号が、並列
化・多重化電気回路４０４に入力される。並列化・多重
化電気回路４０４では前記並列化制御信号に基づき、前
記記録制御信号の並列化が行われ、複数のプローブ４０
３に並列化された記録制御信号が印加される。以上のよ
うに、複数のプローブ４０３に記録制御信号の印加を行
うのは、記録制御回路４０８からの制御信号により、並
列化・多重化電気回路４０４が行い、並列化は、並列化
・多重化制御回路４１０からの制御信号により、並列化
・多重化電気回路４０４が行う。Recording control signals relating to recording between the plurality of probes 403 and the recording medium 136 are exchanged as described below. Based on the control signal output from the control computer 407 to the recording control circuit 408, the recording control signal from the recording control circuit 408 changes to the switching circuit 409.
Through the parallelization / multiplexing electric circuit 404.
Further, based on the control signal output from the control computer 407 to the parallelization / multiplexing control circuit 410, the parallelization / multiplexing control circuit 410 inputs the parallelization control signal to the parallelization / multiplexing electric circuit 404. To be done. The parallelization / multiplexing electric circuit 404 parallelizes the recording control signal based on the parallelization control signal, and the plurality of probes 40 are connected.
The recording control signal parallelized to 3 is applied. As described above, the recording control signal is applied to the plurality of probes 403 by the parallelization / multiplexing electric circuit 404 according to the control signal from the recording control circuit 408, and the parallelization is performed by the parallelization / multiplexing. The parallelization / multiplexing electric circuit 404 performs the control signal from the control circuit 410.

【００１８】複数のプローブ４０３と回転ディスク型の
記録媒体１３６との間の再生信号は次に記述するように
やりとりされる。先ず、複数のプローブ４０３から、並
列に複数の再生信号が並列化・多重化電気回路４０４に
入力される。さらに、制御用コンピュータ４０７から並
列化・多重化制御回路４１０に出力される制御信号に基
づき、該並列化・多重化制御回路４１０から多重化制御
信号が、並列化・多重化電気回路４０４に入力される。
並列化・多重化電気回路４０４では、前記多重化制御信
号に基づき、前記再生信号の多重化が行われる。多重化
された再生信号は切り替え回路４０９を通して、再生信
号回路４１１に送られる。複数のプローブ４０３から再
生信号の再生を行うのは、電流検出回路４１３である。
この電流検出回路に代えて、たわみ量検出回路を用いて
もよい。複数のプローブ４０３からの再生信号の多重化
を行うのは、並列化・多重化制御回路４１０からの制御
信号により、並列化・多重化電気回路４０４が行う。Reproduction signals between the plurality of probes 403 and the rotating disk type recording medium 136 are exchanged as described below. First, a plurality of reproduction signals are input in parallel from a plurality of probes 403 to a parallelization / multiplexing electric circuit 404. Further, based on the control signal output from the control computer 407 to the parallelization / multiplexing control circuit 410, the multiplexing control signal from the parallelization / multiplexing control circuit 410 is input to the parallelization / multiplexing electric circuit 404. To be done.
The parallelization / multiplexing electric circuit 404 multiplexes the reproduction signal based on the multiplexing control signal. The multiplexed reproduction signal is sent to the reproduction signal circuit 411 through the switching circuit 409. It is the current detection circuit 413 that reproduces the reproduction signal from the plurality of probes 403.
A deflection amount detection circuit may be used instead of the current detection circuit. The multiplexing of the reproduction signals from the plurality of probes 403 is performed by the parallelization / multiplexing electric circuit 404 according to the control signal from the parallelization / multiplexing control circuit 410.

【００１９】複数のプローブ４０３及びマルチプローブ
チップ４０５は、マイクロメカニクスと呼ばれる微細加
工技術（例えば、Peterson, “Silicon as a Mechanica
l Material”，Proceedings of the IEEE, 70 巻，420
頁，1982年参照）やＬＳＩ等を作成する際のマイクロエ
レクトリニクス技術を用いて、例えばＳｉ等の基板上に
作製される。具体的には、先ず、フォロリソグラフィー
により、複数のプローブの先端にそれぞれ設ける電圧印
加及び再生信号検出用の複数の導電性探針及び電気配線
パターンをＳｉウエハー上に作製し、カンチレバー形状
のパターニングを行う。同時に並列化・多重化電気回路
等の周辺電気回路もこのＳｉウエハー上のカンチレバー
の配線近傍に作製する。次に、ＫＯＨ溶液による異方性
エッチングを用いて、Ｓｉ基板上に複数のカンチレバー
を形成し、個々のマルチプローブチップに切断する。The plurality of probes 403 and the multi-probe chip 405 are formed by a microfabrication technique called micromechanics (for example, Peterson, “Silicon as a Mechanica”).
l Material ”, Proceedings of the IEEE, Volume 70, 420
Page, 1982) or using the microelectronics technology for producing LSI or the like, for example, it is produced on a substrate such as Si. Specifically, first, a plurality of conductive probes and electric wiring patterns for voltage application and reproduction signal detection, which are respectively provided at the tips of a plurality of probes, are formed on a Si wafer by holographic lithography, and cantilever-shaped patterning is performed. To do. At the same time, peripheral electric circuits such as parallel / multiplexed electric circuits are also formed in the vicinity of the cantilever wiring on the Si wafer. Next, anisotropic etching with a KOH solution is used to form a plurality of cantilevers on the Si substrate and cut into individual multi-probe chips.

【００２０】ディスク回転型の記録媒体１３６として
は、プローブからの電圧印加により、局所的に導電性が
変化するようなもの、あるいは、記録媒体表面形状が凸
や凹に変化するようなものを用いる。前者の例として
は、例えば、前述の日本国特開昭６３−１６１５５２公
報，同６３−１６１５５３号公報に開示されたような、
電気的スイッチングメモリー現象を有するＳＯＡＺ等の
有機分子からなるＬＢ膜がある。これは、ＳＴＭ構成の
装置において、探針からの電圧印加により、ＬＢ膜を構
成するＳＯＡＺ等の有機分子の導電率が局所的に、導電
率の高いＯＮ状態と導電率の低いＯＦＦ状態の間を可逆
的に遷移するというものである。As the disk rotation type recording medium 136, a recording medium whose conductivity is locally changed by applying a voltage from a probe or a recording medium whose surface shape is convex or concave is used. . Examples of the former include, for example, those disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Laid-Open Nos. 63-161552 and 63-161553.
There is an LB film made of an organic molecule such as SOAZ having an electric switching memory phenomenon. This is because, in an STM-configured device, the electrical conductivity of organic molecules such as SOAZ forming the LB film is locally changed between a high conductivity ON state and a low conductivity OFF state by applying a voltage from a probe. Is a reversible transition.

【００２１】また別の記録媒体の例として、結晶状態と
アモルファス状態とで導電率が異なるＳｉ等の相転移物
質を用いることができる。これも、探針と記録媒体との
間を流れる電流による熱により、局所的に表面構造が結
晶状態からアモルファス状態に相変化するものである。As another example of the recording medium, it is possible to use a phase transition material such as Si, which has different electrical conductivity between a crystalline state and an amorphous state. In this case as well, the surface structure locally changes from the crystalline state to the amorphous state due to the heat generated by the current flowing between the probe and the recording medium.

【００２２】後者の記録媒体の表面形状が凹凸に変化す
ることにより、記録を行うものの例として、例えば、探
針および記録媒体基板間の電圧印加の際の電界放射によ
る探針材料の基板への移動による凸ビット形成がある。
この場合に、基板として用いられるのは、例えば、Ａ
ｕ，Ａｇ，Ｐｔ等の貴金属基板やｎ−Ｓｉ，ｐ−Ｓｉ，
Ｇｅ，ＧａＡｓ，ＩｎＰ等の半導体基板である。探針材
料として用いられるには、例えば、Ａｕ，Ｐｔ，Ａｇ，
ｎ−Ｓｉ，ｐ−Ｓｉ等の比較的電界放射を起こす電界し
きい値が低いものである。As an example of recording by changing the surface shape of the latter recording medium into unevenness, for example, for example, when a voltage is applied between the probe and the recording medium substrate, the probe material is applied to the substrate by electric field emission. There is convex bit formation by movement.
In this case, the substrate used is, for example, A
Noble metal substrates such as u, Ag, Pt, n-Si, p-Si,
It is a semiconductor substrate of Ge, GaAs, InP or the like. To be used as a probe material, for example, Au, Pt, Ag,
It has a relatively low electric field threshold value such as n-Si or p-Si that causes field emission.

【００２３】記録媒体の表面形状が凹凸に変化すること
により、記録を行う別の記録例として、上記とは逆に、
探針からの電圧印加による記録媒体基板材料の電界蒸発
による凹ビット形成がある。この場合に、基板として用
いられるのは、例えば、Ａｕ，Ａｇ，Ｐｔ等の貴金属基
板やｎ−Ｓｉ，ｐ−Ｓｉ，ＭｏＳ₂，グラファイト等の
半導体・半金属基板であり、比較的電界蒸発を起こす電
界しきい値が低いものである。探針材料として用いられ
るのは、例えば、Ｗ，Ｉｒ，ＴｉＣ等の金属や半導体で
ある。As another recording example in which recording is performed by changing the surface shape of the recording medium to unevenness, contrary to the above,
There is formation of a concave bit by electric field evaporation of a recording medium substrate material by applying a voltage from a probe. In this case, the substrate used is, for example, a noble metal substrate such as Au, Ag, Pt or the like, or a semiconductor / semi-metal substrate such as n-Si, p-Si, MoS ₂ , graphite or the like, and relatively electric field evaporation is performed. It has a low electric field threshold. The probe material is, for example, a metal such as W, Ir, TiC or a semiconductor.

【００２４】プローブによる記録媒体からの再生方法と
して、上記記録媒体のうち、前者の導電率が変化するよ
うなものに対しては、ＳＴＭの原理を用い、バイアス電
圧印加回路により、プローブ先端の探針と記録媒体との
間に再生用の電圧を印加し、探針および記録媒体間に流
れる電流を検出することにより行う。As a reproducing method from a recording medium by a probe, among the recording mediums whose conductivity changes, the STM principle is used and a probe of the probe tip is searched by a bias voltage applying circuit. This is performed by applying a reproduction voltage between the needle and the recording medium and detecting the current flowing between the probe and the recording medium.

【００２５】また、記録媒体の表面形状が凹凸に変化す
るものに関する再生は、ＡＦＭの原理を用い、記録媒体
の表面との間に働く原子間力や分子間力により弾性変形
を生じるカンチレバーのたわみ量を検出することにより
行う。この場合、図１に示したマルチプローブチップ４
０５の構造が前述の説明とは異なり、複数のプローブの
たわみ量をそれぞれ検出するたわみ量検出手段を付加
し、このたわみ量検出手段からの出力を再生信号とす
る。複数のプローブのたわみ量をそれぞれ検出する手段
としては、例えば日本国特開平０４−３２１９５５号公
報に示されているような、光てこ方式のカンチレバー
（本実施例ではプローブにあたる）のたわみ量検出手段
において、たわみ量検出用の光ビームを複数のカンチレ
バーに対して走査し、複数のカンチレバーのたわみ量を
順次検出するものや、カンチレバーのたわみ量検出手
段を複数個集積化したものを用いることができる。For reproduction of a recording medium whose surface shape changes to irregularities, the AFM principle is used, and the bending of a cantilever which causes elastic deformation by an atomic force or an intermolecular force acting between the surface of the recording medium and the recording medium is used. This is done by detecting the amount. In this case, the multi-probe tip 4 shown in FIG.
The structure of 05 is different from the above description, and a deflection amount detecting means for detecting the deflection amounts of a plurality of probes is added, and the output from the deflection amount detecting means is used as a reproduction signal. As means for detecting the deflection amounts of a plurality of probes, for example, deflection amount detecting means of an optical lever type cantilever (corresponding to the probe in this embodiment) as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 04-321955 is used. In the above, it is possible to use one that scans a plurality of cantilevers with a deflection amount detection light beam to sequentially detect the deflection amounts of the plurality of cantilevers, or one that integrates a plurality of cantilever deflection amount detection means. .

【００２６】次に、図１６を参照して、マルチプローブ
チップ上の複数のプローブ５０３とこれらに対応するデ
ィスク回転型の記録媒体５０１上の複数の記録領域の配
置について説明する。記録媒体５０１上で記録領域は、
記録媒体５０１の回転中心５０５を中心とする同心円状
の複数の記録領域５０２に分割され、それぞれの記録領
域５０２に対応して、複数のプローブ５０３が配置され
ている。図２では、マルチプローブチップ４０５の作製
上の利点から、複数のプローブ５０３は回転中心５０５
を通る一直線上に並んでいるが、必ずしも一直線上に並
んでいる必要はなく、配線領域全体にわたって配置され
ていてもよい。Next, with reference to FIG. 16, the arrangement of the plurality of probes 503 on the multi-probe chip and the plurality of recording areas on the disk rotation type recording medium 501 corresponding thereto will be described. The recording area on the recording medium 501 is
The recording medium 501 is divided into a plurality of concentric recording areas 502 around a rotation center 505, and a plurality of probes 503 are arranged corresponding to the respective recording areas 502. In FIG. 2, a plurality of probes 503 are arranged at the center of rotation 505 because of an advantage in manufacturing the multi-probe tip 405.
Although they are arranged in a straight line passing through, it is not always necessary to arrange them in a straight line, and they may be arranged over the entire wiring region.

【００２７】各プローブ５０３が記録再生を行う各記録
領域はさらに複数のトラックから構成されている。この
トラックは記録媒体５０１の回転中心５０５を中心とす
る同心円状であり、各プローブ５０３は、各記録領域５
０２内のトラック間を移動して記録再生を行う。内周の
記録領域にて記録密度が最大記録密度になるようにする
と、外周の記録領域では記録ビット５０４間の距離が大
きくなり、記録密度が低下してしまう。後述する本実施
例はこの問題点を解決するものである。Each recording area in which each probe 503 records and reproduces is further composed of a plurality of tracks. This track is a concentric circle centered on the rotation center 505 of the recording medium 501, and each probe 503 is connected to each recording area 5.
Recording and reproduction are performed by moving between tracks in 02. If the recording density is set to the maximum recording density in the inner recording area, the distance between the recording bits 504 becomes large in the outer recording area, which lowers the recording density. This embodiment, which will be described later, solves this problem.

【００２８】以上のディスク型情報記録再生装置の記録
容量・記録再生速度等の諸元例は次のとおりである。The specifications of the recording capacity and recording / reproducing speed of the above-mentioned disc type information recording / reproducing apparatus are as follows.

【００２９】記録媒体の外径 ４２ｍｍ 最内周記録領域の半径（＝回転中心５０５からの距離）
２．５ｍｍ 最外周記録領域の半径 ２０．５ｍｍ 記録領域数＝プローブ数 １２０個 記録領域幅＝プローブ間隔 １５０μｍ プローブ形状 幅：７５μｍ，長さ：１００μｍ 一記録領域中のトラック数 ７５０個 トラック幅 ０．２μｍ ビット径 ０．１μｍ 一トラック中の記録容量 ７５ｋｂｉｔ 一記録領域中の記録容量 ５９Ｍｂｉｔ 全記録容量 ７Ｇｂｉｔ 記録媒体回転速度 ７６ｒｐｍ 一プローブの記録再生レート １００ｋｂｉｔ／秒 装置記録再生レート １２Ｍｂｉｔ／秒 さて、本発明の、回転ディスク型の記録媒体への記録再
生方法の詳細について説明する。図２は、回転ディスク
型の記録媒体の記録領域分割及び各記録領域への複数の
プローブのアクセスの様子を示す図である。ただし、説
明の簡略化のため、プローブや記録領域の数を少数とし
て以後の説明を行う。記録領域は例えば１５個に分割さ
れ（内側より記録領域１０１，１０２，１０３，・・・・，
１１５とする。）、それぞれの記録領域に１本ずつのプ
ローブが対応して、計１５本のプローブ（内側よりプロ
ーブ１１６，１１７，・・・・，１３０とする。）が配置さ
れている。各記録領域１０１，・・・・，１１５は、内周よ
り８個の記録領域１０１，・・・・，１０８からなるブロッ
クＡ（１３１）、４個の記録領域１０９，・・・・，１１２
からなるブロックＢ（１３２）、２個の記録領域１１
３，１１４からなるブロックＣ（１３３）、１個の記録
領域１１５からなるブロックＤ（１３４）に４分割され
ている。Outer diameter of recording medium 42 mm Radius of innermost recording area (= distance from rotation center 505)
2.5 mm Radius of outermost recording area 20.5 mm Number of recording areas = number of probes 120 Recording area width = probe spacing 150 μm Probe shape Width: 75 μm, length: 100 μm Number of tracks in one recording area 750 Track width 0. 2 μm Bit diameter 0.1 μm Recording capacity in one track 75 kbit Recording capacity in one recording area 59 Mbit Total recording capacity 7 Gbit Recording medium rotation speed 76 rpm Recording / reproducing rate of one probe 100 kbit / sec Device recording / reproducing rate 12 Mbit / sec The present invention The method of recording / reproducing on / from the rotating disk type recording medium will be described in detail. FIG. 2 is a diagram showing a manner of dividing a recording area of a rotating disk type recording medium and accessing a plurality of probes to each recording area. However, for simplification of the description, the following description will be given with the number of probes and recording areas being small. The recording area is divided into, for example, 15 areas (recording areas 101, 102, 103, ...
115. ), One probe corresponds to each recording area, and a total of 15 probes (probe 116, 117, ..., 130 from the inside) are arranged. Each of the recording areas 101, ..., 115 has a block A (131) composed of eight recording areas 101 ,.
Block B (132) consisting of two recording areas 11
Block C (133) composed of 3,114 and block D (134) composed of one recording area 115 are divided into four.

【００３０】各プローブ１１６，・・・・，１３０による記
録制御方法について説明する。図３は各プローブ１１
６，・・・・，１３０と記録媒体との間に印加される記録用
信号電圧波形を説明するための図である。なお、実際の
記録信号波形は記録情報に応じて１，０，１，１，０の
ような１と０のビットとが並んだものであるが、ここで
は簡略のため１，１，１，１，１のようにすべて１のビ
ットが並んだものとして説明を行う。A recording control method by the probes 116, ..., 130 will be described. 3 shows each probe 11
6 is a diagram for explaining a recording signal voltage waveform applied between the recording medium and the recording medium. It should be noted that the actual recording signal waveform is formed by arranging 1 and 0 bits such as 1,0,1,1,0 according to the recording information, but here, for simplification, 1,1,1, The description will be made assuming that all 1's, such as 1, 1, are aligned.

【００３１】各プローブ１１６，１１７，・・・，１３
０へ印加する記録制御信号２０１，２０２，・・・・，２１
５はもとの情報記録信号２１６から並列化されてつくら
れる。もとの情報記録信号２１６は繰り返し周期Ｔ／４
のパルス列から成り立っており、これをまず繰り返し周
期Ｔのパルス列からなる４個の並列化信号Ｄ（２２
０），Ｂ（２１９），Ｃ（２１８），Ａ（２１７）に並
列化する。ここで、Ｔは図中時刻ｔｐとｔ（ｐ＋１）
（ｐ＝０，１，・・・・，８）との間隔である。Each probe 116, 117, ..., 13
Recording control signals 201, 202, ..., 21 applied to 0
5 is made by parallelizing the original information recording signal 216. The original information recording signal 216 has a repetition cycle T / 4.
Pulse train of four parallel signals D (22
0), B (219), C (218), and A (217). Here, T is time tp and t (p + 1) in the figure.
(P = 0, 1, ..., 8).

【００３２】並列化信号Ａ（２１７）は、さらに８個に
並列化し、これらを記録制御信号２０１，・・・・，２０８
とする。記録制御信号２０１，・・・・，２０８は時間幅Ｔ
／２パルスが周期８Ｔで並んで構成され、各記録制御信
号間は、パルスが時間Ｔだけずれたものとなっている。
各記録制御信号２０１，・・・・，２０８はそれぞれもとの
情報記録信号２１６のうち、図中数字で示した３２，２
８，・・・・，８，４の位置のパルスの情報を有している。The parallelized signal A (217) is further parallelized into eight signals, which are recorded as the recording control signals 201, ..., 208.
And The recording control signals 201, ..., 208 have a time width T.
/ 2 pulses are arranged side by side with a period of 8T, and the pulses are shifted by the time T between the respective recording control signals.
The recording control signals 201, ..., 208 are respectively the same as the original information recording signal 216, 32 and 2 indicated by numerals in the figure.
It has information on pulses at positions 8, ..., 8, 4.

【００３３】並列化信号Ｂ（２１９）は、さらに４個に
並列化し、これらを記録制御信号２０９，・・・・，２１２
とする。記録制御信号２０９，・・・・，２１２は時間幅Ｔ
／２パルスが周期４Ｔで並んで構成され、各記録制御信
号間は、パルスが時間Ｔだけずれたものとなっている。
各記録制御信号２０９，・・・・，２１２はそれぞれもとの
情報記録信号２１６のうち、図中数字で示した１４，３
０及び１０，２６及び６，２２及び２，１８の位置のパ
ルスの情報を有している。The parallelized signal B (219) is further parallelized into four signals, which are recorded as control signals 209, ..., 212.
And The recording control signals 209, ..., 212 have a time width T.
/ 2 pulses are arranged side by side with a period of 4T, and the pulses are shifted by the time T between the recording control signals.
Each of the recording control signals 209, ..., 212 is the same as the original information recording signal 216 shown by the numeral 14, 3 in the figure.
It has information on pulses at positions 0 and 10, 26 and 6, 22 and 2, 18.

【００３４】並列化信号Ｃ（２１８）は、さらに２個に
並列化し、これらを記録制御信号２１３，２１４とす
る。記録制御信号２１３，２１４は時間幅Ｔ／２パルス
が周期２Ｔで並んで構成され、各記録制御信号間は、パ
ルスが時間Ｔだけずれたものとなっている。各記録制御
信号２１３，２１４は、それぞれもとの情報記録信号２
１６のうち、図中数字で示した７，１５，２３，３１及
び３，１１，１９，２７の位置のパルスの情報を有して
いる。The parallelized signal C (218) is further parallelized into two, which are used as recording control signals 213 and 214. The recording control signals 213 and 214 are composed of time width T / 2 pulses arranged in a cycle of 2T, and the pulses are shifted by the time T between the respective recording control signals. The recording control signals 213 and 214 are the original information recording signals 2 respectively.
Of the sixteen, it has information on pulses at positions 7, 15, 23, 31 and 3, 11, 19, 27, which are shown by numerals in the figure.

【００３５】並列化信号Ｄ（２２０）は、そのまま記録
制御信号２１５とする。記録制御信号２１５は時間幅Ｔ
／２パルスが周期Ｔで並んで構成される。記録制御信号
２１５は、もとの情報記録信号２１６のうち、図中数字
で示した１，５，９，１３，１７，２１，２５，２９の
位置のパルスの情報を有している。The parallelization signal D (220) is used as it is as the recording control signal 215. The recording control signal 215 has a time width T
/ 2 pulses are arranged side by side with a period T. The recording control signal 215 has information of the pulses at the positions of 1, 5, 9, 13, 17, 17, 21, 25 and 29 shown by numerals in the figure in the original information recording signal 216.

【００３６】ここで、それぞれの記録制御信号２０１，
・・・・，２０８の周期の逆数をそれぞれの記録制御信号の
記録周波数とする。Here, each recording control signal 201,
The reciprocal of the period of 208 is the recording frequency of each recording control signal.

【００３７】ブロックＡ（１３１）に属する記録領域１
０１，・・・・，１０８に記録を行うプローブ１１６，・・・
・，１２３には、それぞれ記録制御信号２０１，・・・・，
２０８が印加される。ブロックＢ（１３２）に属する記
録領域１０９，・・・・，１１１に記録を行うプローブ１２
４，・・・・，１２７には、記録制御信号２０９，・・・・，２
１２が印加される。ブロックＣ（１３３）に属する記録
領域１１２，１１３に記録を行うプローブ１２８，１２
９には記録制御信号２１３，２１４が印加される。ブロ
ックＤ（１３４）に属する記録領域１１５に記録を行う
プローブ１３０には記録制御信号２１５が印加される。Recording area 1 belonging to block A (131)
01, ..., Probes 116 for recording on 108 ,.
Recording control signals 201, ...
208 is applied. The recording area 109, ..., 111 belonging to the block B (132) records on the probe 12
Recording control signals 209, ...
12 is applied. Probes 128 and 12 for recording in the recording areas 112 and 113 belonging to the block C (133)
Recording control signals 213 and 214 are applied to 9. A recording control signal 215 is applied to the probe 130 for recording in the recording area 115 belonging to the block D (134).

【００３８】ここで、各ブロックＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄにに属
する記録領域に記録を行う各プローブに印加する記録制
御信号の電圧パルスの時間間隔が異なるのは次の理由に
よる。The time interval of the voltage pulse of the recording control signal applied to each probe for recording in the recording area belonging to each block A, B, C, D is different for the following reason.

【００３９】図１および図２に示すように、回転ディス
ク型の記録媒体１３６の回転中、記録媒体１３６の回転
中心１３５に近いブロックＡから最も遠いブロックＤま
での間では、各プローブ４０３と各記録領域との相対速
度が異なる。記録ビットの径が同じであるから、仮に各
プローブ４０３において同じタイミングで記録を行うと
すると、最も中心に近い最内周の記録領域１０１ではビ
ット間隔が最小となる。記録領域１０１において隣合う
ビットが重ならないようにするためには、ビット径を
ｄ、記録領域１０１の半径（＝回転中心１３５から記録
領域１０１までの距離）をｒ１、記録媒体１３６の回転
角速度をωとすると、電圧パルスと電圧パルスとの時間
間隔はｄ／ｒ１・ωより大きくなければならない。この
とき、逆に中心から遠い記録領域、例えば最外周記録領
域１１５では隣合うビットの間隔がｒ２・ｄ／ｒ１より
も大きくなる。ここで、ｒ２は記録領域１１５の半径
（＝回転中心１３５から記録領域１１５までの距離）で
ある。すなわち、外周の記録領域ではビット間隔が大き
くなり、記録密度が低下してしまうという問題点が生じ
る。このような記録密度の低下の様子を図１６に示す。As shown in FIG. 1 and FIG. 2, during rotation of the rotary disk type recording medium 136, each probe 403 and each probe 403 are provided between a block A near the rotation center 135 of the recording medium 136 and a block D farthest from the rotation center 135. The relative speed to the recording area is different. Since the recording bits have the same diameter, assuming that recording is performed at the same timing in each probe 403, the bit interval becomes the smallest in the recording area 101 on the innermost circumference closest to the center. In order to prevent adjacent bits from overlapping in the recording area 101, the bit diameter is d, the radius of the recording area 101 (= the distance from the rotation center 135 to the recording area 101) is r1, and the rotational angular velocity of the recording medium 136 is If ω, the time interval between voltage pulses must be greater than d / r1 · ω. At this time, conversely, in the recording area far from the center, for example, the outermost recording area 115, the interval between adjacent bits becomes larger than r2 · d / r1. Here, r2 is the radius of the recording area 115 (= the distance from the rotation center 135 to the recording area 115). That is, in the outer recording area, the bit interval becomes large, and the recording density is reduced. FIG. 16 shows such a decrease in recording density.

【００４０】そこで、内周記録領域と外周記録領域とで
記録のための電圧パルスの時間間隔を違え、内周記録領
域においては電圧パルスの時間間隔を大きくして、ビッ
トの重なりを防止し、外周記録領域においては電圧パル
スの時間間隔を小さくして、記録密度を向上させるよう
にする。内周記録領域と外周記録領域と電圧パルスの時
間間隔の違え方としては、例えば時間間隔を各記録領域
の半径に比例するように変化させればよい。本実施例で
は別の違え方として、記録及び再生時における各プロー
ブに対する情報記録信号の並列化及び多重化を単純化す
るため、図１に示したように、記録領域を内周から８個
（＝２の３乗）、４個（＝２の２乗）、２個（＝２の１
乗）、１個（＝２の０乗）というように４つのブロック
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに分ける。同じブロックに属する記録領
域には同じ電圧パルス時間間隔を有する記録制御信号を
印加するので、各ブロックに時間間隔を違え、ブロック
Ａでは時間間隔を８Ｔ、ブロックＢでは４Ｔ、ブロック
Ｃでは２Ｔ、ブロックＤではＴの時間間隔を有する記録
制御信号とする。ここで、Ｔは前記と同様である。次
に、各プローブ１１６，・・・・，１３０による再生制御方
法について説明する。図３は各プローブ１１６，・・・・，
１３０から得られた再生信号電圧波形を説明する図であ
る。Therefore, the time interval of the voltage pulse for recording is made different between the inner recording area and the outer recording area, and the time interval of the voltage pulse is increased in the inner recording area to prevent bit overlap. In the outer recording area, the time interval of the voltage pulse is reduced to improve the recording density. The difference between the time intervals of the inner recording area, the outer recording area and the voltage pulse may be changed, for example, so as to be proportional to the radius of each recording area. In the present embodiment, as another difference, in order to simplify parallelization and multiplexing of information recording signals for each probe at the time of recording and reproducing, as shown in FIG. 1, eight recording areas from the inner circumference ( = 2 to the power of 3), 4 (= 2 to the power of 2), 2 (= 2 to 1)
Power), one (= 0 to the power of 2), and divided into four blocks A, B, C, and D. Since the recording control signals having the same voltage pulse time interval are applied to the recording areas belonging to the same block, the time intervals are different for each block, and the time interval is 8T in block A, 4T in block B, 2T in block C, and 2T in block C. In D, a recording control signal having a time interval of T is used. Here, T is the same as the above. Next, a reproduction control method by the probes 116, ..., 130 will be described. 3 shows each probe 116, ...
FIG. 6 is a diagram illustrating a reproduction signal voltage waveform obtained from 130.

【００４１】ブロックＡ（１３１）に属する記録領域１
０１，・・・・，１０８から再生を行うプローブ１１６，・・
・・，１２３からは、それぞれ図中点線で示すような再生
信号３０１，・・・・，３０８が得られる。ブロックＢ（１
３２）に属する記録領域１０９，・・・・，１１１から再生
を行うプローブ１２４，・・・・，１２７からは、それぞれ
図中点線で示すような再生信号３０９，・・・・，３１２が
得られる。ブロックＣ（１３３）に属する記録領域１１
２，１１３から再生を行うプローブ１２８，１２９から
はそれぞれ図中点線で示すような再生信号３１３，３１
４が得られる。ブロックＤ（１３４）に属する記録領域
１１５から再生を行うプローブ１３０から図中点線で示
すような再生信号３１５が得られる。ここで、それぞれ
の再生信号３０１，・・・・，３１５の周期の逆数をそれぞ
れの再生信号の再生周波数とする。Recording area 1 belonging to block A (131)
01, ..., Probe 116 for reproducing from 108, ...
The reproduction signals 301, ..., 308 as indicated by the dotted lines in the figure are obtained from .. Block B (1
32, the reproduction signals 309, ..., 312 as shown by the dotted lines in the drawing are obtained from the probes 124 ,. To be Recording area 11 belonging to block C (133)
From the probes 128 and 129 which perform reproduction from Nos. 2 and 113, reproduction signals 313 and 31 as shown by dotted lines in the figure, respectively
4 is obtained. A reproduction signal 315 as indicated by a dotted line in the drawing is obtained from the probe 130 which reproduces from the recording area 115 belonging to the block D (134). Here, the reciprocal of the cycle of each reproduction signal 301, ..., 315 is taken as the reproduction frequency of each reproduction signal.

【００４２】ここで、各ブロックＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄに属す
る記録領域から再生を行う各プローブから得られる再生
信号のビットを表す電圧パルスの時間幅が異なるのは次
の理由による。ブロックＡから最も遠いブロックＤまで
の間では、各プローブと各記録領域との相対速度が異な
る。記録ビットの径が同じであるから、各プローブの再
生信号波形において、例えば最も中心に近い最内周の記
録領域１０１では相対速度が最小であるためビット再生
時間幅が最大となる。逆に中心から遠い記録領域、例え
ば最外周記録領域１１５では相対速度が最大であるため
ビット再生時間幅が最小となる。なお、再生信号の電圧
パルスの時間間隔が異なるのは、前述のように記録制御
信号において電圧パルスの時間間隔を変えたためであ
る。The time width of the voltage pulse representing the bit of the reproduction signal obtained from each probe for reproducing from the recording area belonging to each of the blocks A, B, C and D is different for the following reason. Between the block A and the furthest block D, the relative speed between each probe and each recording area is different. Since the recording bits have the same diameter, in the reproduction signal waveform of each probe, for example, in the innermost recording area 101 closest to the center, the relative speed is the minimum and the bit reproduction time width is the maximum. On the contrary, in the recording area far from the center, for example, the outermost recording area 115, the relative speed is maximum, and the bit reproduction time width is minimum. The time interval of the voltage pulse of the reproduction signal is different because the time interval of the voltage pulse in the recording control signal is changed as described above.

【００４３】それぞれもとの情報記録信号２１６のう
ち、サンプリング回路４１２により図中数字で示した３
２，２８，・・・・，８，４の位置のパルスの情報を有して
いる各再生信号３０１，・・・・，３０８（点線で示されて
いる）の各位置に対応するタイミングでサンプリングを
行う。実線で示したような波形信号に変換する。同様
に、１４，３０及び１０，２６及び６，２２及び２，１
８の位置のパルスの情報を有している各再生信号３０
９，・・・・，３１２（点線で示されている）と、７，１
５，２３，３１及び３，１１，１９，２７の位置のパル
スの情報を有している各再生信号３１３，３１４（点線
で示されている）と、１，５，９，１３，１７，２１，
２５，２９の位置のパルスの情報を有している再生信号
３１５（点線で示されている）についても各位置に対応
するタイミングでサンプリングを行い、実線で示したよ
うな波形信号に変換する。サンプリングは、並列化・多
重化制御回路４１０よりタイミング信号を発生し、この
タイミング信号に基づいて行われる。Of the original information recording signal 216, 3 shown by the numbers in the figure by the sampling circuit 412.
At the timing corresponding to each position of each reproduction signal 301, ..., 308 (shown by the dotted line), which has pulse information at positions 2, 28 ,. Perform sampling. Convert to a waveform signal as shown by the solid line. Similarly, 14,30 and 10,26 and 6,22 and 2,1
Each reproduction signal 30 having the information of the pulse at the position of 8
, ..., 312 (shown by dotted lines) and 7, 1
5,23,31 and 3,11,19,27 reproduction signals 313, 314 (shown by dotted lines) having pulse information, 1, 5, 9, 13, 17, 21,
The reproduction signal 315 (indicated by the dotted line) having pulse information at the positions of 25 and 29 is also sampled at the timing corresponding to each position and converted into the waveform signal as shown by the solid line. Sampling generates a timing signal from the parallelization / multiplexing control circuit 410 and is performed based on this timing signal.

【００４４】情報再生信号３１６はこれらの再生信号３
０１，・・・・，３１５のサンプリング信号を多重化して構
成する。このようにして、情報再生信号３１６は繰り返
し周期Ｔ／４のパルス列から成り立つものと情報記録信
号２１６を再生することになる。The information reproduction signal 316 is the reproduction signal 3 of these.
.., 315 sampling signals are multiplexed. In this way, the information recording signal 216 is reproduced as the information reproducing signal 316 consisting of the pulse train of the repeating period T / 4.

【００４５】本実施例では、プローブ及び記録領域の数
を１２０個や１５個として説明を行ったが、本発明の概
念はこれに限定されるものでなく、記録再生装置の大容
量化のためには、前記数を増大さればよい。プローブ及
び記録領域の数は任意であるが、本実施例中で説明した
ように、実際は記録信号の並列化や再生信号の多重化が
必要である。この信号処理を簡単化するためには、プロ
ーブ及び記録領域の数は、２のｍ乗＋２の（ｍ＋１）＋
・・・・＋２の（ｎ−１）＋２のｎ乗（ここで、ｍ，ｎ＝０
または正の整数。ｍ＜ｎを満たす。）の式から算出され
る値にするとよい。ちなみに、ｍ＝０，ｎ＝３のとき、
プローブ及び記録領域の数は１５個であり、ｍ＝３，ｎ
＝６のとき、１２０個である。Although the number of probes and recording areas is 120 or 15 in this embodiment, the concept of the present invention is not limited to this, and the capacity of the recording / reproducing apparatus is increased. In order to increase the number, the number may be increased. The number of probes and recording areas is arbitrary, but as described in this embodiment, it is actually necessary to parallelize recording signals and multiplex reproducing signals. In order to simplify this signal processing, the number of probes and recording areas is 2 m to the power of 2+ (m + 1) +
... + 2 to (n-1) +2 to the nth power (here, m, n = 0
Or a positive integer. m <n is satisfied. ) The value calculated from the formula is preferable. By the way, when m = 0 and n = 3,
The number of probes and recording areas is 15, and m = 3, n
When = 6, the number is 120.

【００４６】以上説明したような記録再生制御を行うこ
とにより、ディスク記録媒体の各記録領域において記録
密度の低下を防ぐことが可能になる。したがって、全記
録領域において記録密度を最大にすることができる。こ
のことは、ディスク記録媒体の大きさ、記録ビット径を
同一にしたまま記録容量を増大させることにつながる。
前述の装置の諸元例（プローブ及び記録領域の数が１２
０個の場合）について、本発明の記録再生方法を用いる
と、次のようになる。By performing the recording / reproducing control as described above, it is possible to prevent the recording density from decreasing in each recording area of the disk recording medium. Therefore, the recording density can be maximized in the entire recording area. This leads to an increase in recording capacity while keeping the size of the disk recording medium and the recording bit diameter the same.
Specifications of the above-mentioned device (the number of probes and recording areas is 12
When the recording / reproducing method of the present invention is applied to the case (0 pieces), the following is obtained.

【００４７】複数の記録領域を分割するブロックを内周
から順にＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄとすると、各ブロックに属する
各記録領域における記録容量は、 ブロック プローブ数 一記録領域の記録容量 ブロック全記録容量 Ａ ６４個 ５７Ｍｂｉｔ ３．６Ｇｂｉｔ Ｂ ３２ １１４ ３．６ Ｃ １６ ２２７ ３．６ Ｄ ８ ４５５ ３．６ となり、全記録容量は７Ｇｂｉｔから１５Ｇｂｉｔに向
上する。Assuming that blocks dividing a plurality of recording areas are A, B, C and D sequentially from the inner circumference, the recording capacity in each recording area belonging to each block is the number of block probes, the recording capacity of the recording area Capacity A 64 57 Mbit 3.6 Gbit B 32 114 3.6 C 16 227 3.6 D 8 455 3.6 The total recording capacity is improved from 7 Gbit to 15 Gbit.

【００４８】複数の同心円状記録領域に対応する記録再
生プローブに加える記録制御信号の記録周波数を、前記
複数の同心円状記録領域と記録媒体の回転中心とのそれ
ぞれの距離に比例するようにしてもよい。The recording frequency of the recording control signal applied to the recording / reproducing probe corresponding to the plurality of concentric recording areas may be made proportional to the respective distances between the plurality of concentric recording areas and the rotation center of the recording medium. Good.

【００４９】上記各実施例において、記録または再生の
みの装置、および走査型プローブ顕微鏡装置について
も、本発明は適用可能であることは言うまでもない。It is needless to say that the present invention can be applied to the recording / reproducing only device and the scanning probe microscope device in each of the above embodiments.

【００５０】[0050]

【発明の効果】本発明は、以上説明したとおりに構成さ
れているので、以下に記載するような効果を奏する。Since the present invention is configured as described above, it has the following effects.

【００５１】回転型記録媒体に対して複数のプローブに
より並列に情報の記録再生を行う装置において、各プロ
ーブに加えるビット記録信号の電圧パルスの時間間隔を
変化させることにより、記録媒体における内周から外周
のすべての記録領域において、記録密度をほぼ同じでし
かも最大記録密度に近い値とすることができ、記録容量
を増大させることが可能となる。In an apparatus for recording / reproducing information in parallel with a rotary recording medium by a plurality of probes, by changing the time interval of the voltage pulse of the bit recording signal applied to each probe, the recording medium is read from the inner circumference of the recording medium. In all the recording areas on the outer circumference, the recording density can be made substantially the same and close to the maximum recording density, and the recording capacity can be increased.

【００５２】また、記録媒体上の記録領域及びこれらに
対応する複数のプローブを内周からそれぞれ、２のｎ乗
個、２の（ｎ−１）乗個、・・・・、２の（ｍ＋１）乗個、
２のｍ乗個（ただし、ｍ，ｎ＝０または正の整数。ｍ＜
ｎを満たす。）の複数のプローブに分割し、同じブロッ
クに属する記録領域には同じ電圧パルス時間間隔を有す
る記録制御信号を印加するが、各ブロックで時間間隔を
違える、例えばブロックＡでは時間間隔を８Ｔ（ここで
Ｔはある時間間隔）、ブロックＢでは４Ｔ、ブロックＣ
では２Ｔ、ブロックＤではＴの時間間隔を有する記録制
御信号とすることにより、記録再生信号の並列化や多重
化の記録再生制御が単純になる。Further, the recording areas on the recording medium and a plurality of probes corresponding to these recording areas are arranged from the inner circumference to 2 n powers, 2 (n-1) powers, ..., 2 (m + 1). ) Multiplier,
2 to the m-th power (where m, n = 0 or a positive integer. M <
satisfy n. ), A recording control signal having the same voltage pulse time interval is applied to recording areas belonging to the same block, but the time interval is different in each block, for example, in block A, the time interval is 8T (here T is a certain time interval), block B is 4T, block C
By setting the recording control signal having a time interval of 2T for block D and T for block D, recording / reproduction control for parallelization or multiplexing of recording / reproduction signals is simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の記録再生方法の実施に用いるディスク
回転型記録再生装置の一実施例の全体構成を説明するた
めの図である。FIG. 1 is a diagram for explaining an overall configuration of an embodiment of a disk rotation type recording / reproducing apparatus used for implementing a recording / reproducing method of the present invention.

【図２】図１のディスク回転型記録再生装置における、
記録媒体上の記録領域の複数のブロックへの分割の様子
を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing the disk rotation type recording / reproducing apparatus of FIG.
FIG. 6 is a diagram showing how a recording area on a recording medium is divided into a plurality of blocks.

【図３】記録信号の並列化制御を説明するための信号波
形図である。FIG. 3 is a signal waveform diagram for explaining parallelization control of recording signals.

【図４】再生信号の多重化制御を説明するための信号波
形図である。FIG. 4 is a signal waveform diagram for explaining reproduction signal multiplexing control.

【図５】従来のディスク回転型記録再生装置における記
録密度の低下の様子を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing how the recording density is reduced in a conventional disc rotation type recording / reproducing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１００ 記録ビット １０１〜１１５ 記録領域 １１６〜１３０ プローブ １３１ ブロックＡ １３２ ブロックＢ １３３ ブロックＣ １３４ ブロックＤ １３５ 回転中心 １３６ 記録媒体 ２００ 導電性探針 ２０１〜２１５ 記録制御信号 ２１６ もとの情報記録制御信号 ２１７ 並列化信号Ａ ２１８ 並列化信号Ｂ ２１９ 並列化信号Ｃ ２２０ 並列化信号Ｄ ３０１〜３１５ 再生信号 ３１６ 情報再生信号 ４０１ 記録媒体 ４０２ モータ ４０３ プローブ ４０４ 並列化・多重化電気回路 ４０５ マルチプローブチップ ４０６ バイアス電圧印加回路 ４０７ 制御用コンピュータ ４０８ 記録制御回路 ４０９ 切り替え回路 ４１０ 並列化・多重化制御回路 ４１１ 再生信号回路 ４１２ サンプリング回路 ４１３ 電流検出回路 ５０１ 記録媒体 ５０２ 複数の記録領域 ５０３ 複数のプローブ ５０４ 記録ビット ５０５ 回転中心 100 recording bit 101-115 recording area 116-130 probe 131 block A 132 block B 133 block C 134 block D 135 rotation center 136 recording medium 200 conductive probe 201-215 recording control signal 216 original information recording control signal 217 Parallelized signal A 218 Parallelized signal B 219 Parallelized signal C 220 Parallelized signal D 301 to 315 Playback signal 316 Information playback signal 401 Recording medium 402 Motor 403 Probe 404 Parallelization / multiplexing electric circuit 405 Multi-probe chip 406 Bias voltage Application circuit 407 Controlling computer 408 Recording control circuit 409 Switching circuit 410 Parallelization / multiplexing control circuit 411 Reproduction signal circuit 412 Sampling circuit 413 Current detection circuit 501 Recording medium 502 Complex Recording area 503 a plurality of probes 504 recording bit 505 the rotational center of the

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山野 明彦 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 紫藤 俊一 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 酒井 邦裕 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Akihiko Yamano 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Shunichi Shito 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Incorporated (72) Inventor Kunihiro Sakai 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 回転型記録媒体に複数の記録再生プロー
ブを対向させて、情報の記録再生を行う記録再生制御方
法において、 前記回転型記録媒体が該回転型記録媒体の回転中心を中
心とする複数の同心円状記録領域に分割され、 前記複数の記録再生プローブが前記複数の同心円状記録
領域のそれぞれに対応し、 前記複数の同心円状記録領域のうち、内周の第１の記録
領域に記録を行う第１の記録再生プローブに加える第１
の記録制御信号の第１の記録周波数よりも、外周の第２
の記録領域に記録を行う第２の記録再生プローブに加え
る第２の記録制御信号の第２の記録周波数を高くする、
ことを特徴とする記録再生方法。1. A recording / reproducing control method for recording / reproducing information by causing a plurality of recording / reproducing probes to face a rotatable recording medium, wherein the rotatable recording medium has a center of rotation of the rotatable recording medium as a center. Divided into a plurality of concentric recording areas, the plurality of recording / reproducing probes correspond to each of the plurality of concentric recording areas, and recording is performed in a first recording area on an inner circumference of the plurality of concentric recording areas. A first recording / reproducing probe for performing a first
Second recording frequency of the recording control signal of
To increase the second recording frequency of the second recording control signal applied to the second recording / reproducing probe for recording in the recording area of
A recording / reproducing method characterized by the above. 【請求項２】 前記複数の同心円状記録領域に対応する
前記複数の記録再生プローブに加える記録制御信号の記
録周波数が、前記複数の同心円状記録領域と前記回転中
心とのそれぞれの距離に比例することを特徴とする請求
項１に記載の記録再生方法。2. A recording frequency of a recording control signal applied to the plurality of recording / reproducing probes corresponding to the plurality of concentric recording areas is proportional to a distance between each of the plurality of concentric recording areas and the rotation center. The recording / reproducing method according to claim 1, wherein 【請求項３】 前記分割された複数の同心円状記録領域
が、内周から順に２のｎ乗個、２の（ｎ−１）乗個、２
の（ｎ−２）乗個、・・・・、２の（ｍ＋２）乗個、２の
（ｍ＋１）乗個、２のｍ乗個（ただし、ｎ，ｍは正の整
数、ｎ＞ｍとする）からなる複数のグループに分かれ、 前記２のｎ乗個、２の（ｎ−１）乗個、２の（ｎ−２）
乗個、・・・・、２の（ｍ＋２）乗個、２の（ｍ＋１）乗
個、２のｍ乗個の同心円状記録領域からなる複数のグル
ープに分かれた該複数の同心円状記録領域に記録を行う
該複数の記録再生プローブに加える記録制御信号の記録
周波数が、同一のグループに属する該複数の同心円状記
録領域に記録を行う記録再生プローブでは等しく、かつ
異なるグループの複数の同心円状記録領域に記録を行う
記録再生プローブでは、 比 １／（２のｎ乗）：１／｛２の（ｎ−１）乗｝１：
｛２の（ｎ−２）乗｝：・・・・：１／｛２の（ｍ＋２）
乗｝：１／｛２の（ｍ＋１）乗｝：１／｛２のｍ乗｝の
関係を満たすことを特徴とする請求項１に記載の記録再
生方法。3. A plurality of divided concentric recording areas are arranged in order from the inner circumference of 2 to the n-th power, 2 to the (n-1) -th power, and 2.
(N−2) th power, ..., 2 (m + 2) th power, 2 (m + 1) th power, 2mth power (where n and m are positive integers, and n> m Are divided into a plurality of groups, and the 2 n-th power, 2 (n-1) -th power, and 2 (n-2)
.., 2 (m + 2) powers, 2 (m + 1) powers, 2 m powers of concentric recording areas divided into a plurality of concentric recording areas The recording frequencies of the recording control signals applied to the plurality of recording / reproducing probes for recording are the same for the recording / reproducing probes for recording in the plurality of concentric recording areas belonging to the same group, and a plurality of concentric recordings of different groups are performed. In the recording / reproducing probe for recording in the area, the ratio 1 / (2 to the nth power): 1 / {2 to the (n-1) th power} 1:
{2 to the power of (n-2)}: ...: 1 / {2 to (m + 2)
The recording / reproducing method according to claim 1, wherein the following relationship is satisfied: {square root}} / 1 / {2 to the (m + 1) th power}: 1 / {2 to the m-th power}. 【請求項４】 回転型記録媒体に複数の記録再生プロー
ブを対向させて、情報の記録再生を行う記録再生方法に
おいて、 前記回転型記録媒体が該回転型記録媒体の回転中心を中
心とする複数の同心円状記録領域に分割され、 前記複数の記録再生プローブが前記複数の同心円状記録
領域のそれぞれに対応し、 前記複数の同心円状記録領域のうち、内周の第１の記録
領域から再生を行う第１の記録再生プローブから得る第
１の再生信号の第１の再生周波数よりも、外周の第２の
記録領域から再生を行う第２の記録再生プローブから得
る第２の再生信号の第２の再生周波数が高い、ことを特
徴とする記録再生方法。4. A recording / reproducing method for recording / reproducing information by causing a plurality of recording / reproducing probes to face a rotary recording medium, wherein the rotary recording medium has a plurality of centers about a rotation center of the rotary recording medium. Divided into concentric recording areas, the plurality of recording / reproducing probes correspond to each of the plurality of concentric recording areas, and reproduction is performed from the innermost first recording area of the plurality of concentric recording areas. The second reproduction signal obtained from the second recording / reproduction probe which reproduces from the second recording area on the outer circumference is higher than the first reproduction frequency of the first reproduction signal obtained from the first recording / reproduction probe. The recording / reproducing method is characterized in that the reproducing frequency is high. 【請求項５】 前記複数の同心円状記録領域に対応する
前記複数の記録再生プローブから得る再生信号の再生周
波数が、前記複数の同心円状記録領域と前記回転中心と
のそれぞれの距離に比例することを特徴とする請求項４
に記載の記録再生方法。5. A reproduction frequency of a reproduction signal obtained from the plurality of recording / reproducing probes corresponding to the plurality of concentric recording areas is proportional to respective distances between the plurality of concentric recording areas and the rotation center. 5. The method according to claim 4, wherein
The recording / playback method described in. 【請求項６】 前記分割された複数の同心円状記録領域
が、内周から順に２のｎ乗個、２の（ｎ−１）乗個、２
の（ｎ−２）乗個、・・・・、２の（ｍ＋２）乗個、２の
（ｍ＋１）乗個、２のｍ乗個（ただし、ｎ，ｍは正の整
数、ｎ＞ｍとする。）からなる複数のグループに分か
れ、 前記２のｎ乗個、２の（ｎ−１）乗個、２の（ｎ−２）
乗個、・・・・、２の（ｍ＋２）乗個、２の（ｍ＋１）乗
個、２のｍ乗個の同心円状記録領域からなる複数のグル
ープに分かれた該複数の同心円状記録領域から再生を行
う該複数の記録再生プローブから得る再生信号の再生周
波数が、同一のグループに属する該複数の同心円状記録
領域から再生を行う記録再生プローブでは等しく、かつ
異なるグループの複数の同心円状記録領域から再生を行
う記録再生プローブでは、 比 １／（２のｎ乗）：１／｛２の（ｎ−１）乗｝１：
｛２の（ｎ−２）乗｝：・・・・：１／｛２の（ｍ＋２）
乗｝：１／｛２の（ｍ＋１）乗｝：１／｛２のｍ乗｝の
関係を満たすことを特徴とする請求項４に記載の記録再
生方法。6. The plurality of divided concentric recording areas are 2n powers, 2 (n-1) powers, and 2 in order from the inner circumference.
(N−2) th power, ..., 2 (m + 2) th power, 2 (m + 1) th power, 2mth power (where n and m are positive integers, and n> m 2) to the n-th power, 2 (n-1) -th power, and 2 (n-2).
.., 2 (m + 2) powers, 2 (m + 1) powers, 2 m powers of concentric recording areas divided into a plurality of groups The reproduction frequencies of the reproduction signals obtained from the plurality of recording / reproducing probes for reproduction are the same in the recording / reproducing probes for reproducing from the plurality of concentric recording areas belonging to the same group, and a plurality of concentric recording areas of different groups. In the recording / reproducing probe that reproduces from, the ratio 1 / (2 to the nth power): 1 / {2 to the (n-1) th power} 1:
{2 to the power of (n-2)}: ...: 1 / {2 to (m + 2)
The recording / reproducing method according to claim 4, wherein the relationship of {square root}: 1 / {2 to the (m + 1) th power}: 1 / {2 to the m-th power} is satisfied.