JPH0789079A - Nozzle plate of ink injection device and manufacture thereof - Google Patents
Nozzle plate of ink injection device and manufacture thereofInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、インク噴射装置のノズ
ルプレート製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a nozzle plate for an ink jet device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】インクを噴射するヘッドでは、ノズルの
周囲表面にインクの濡れができるとインク滴の飛翔方向
にズレが生じたり、さらに濡れがひどくなるとインク滴
が飛ばないといった問題がおきる。このような問題に対
して、特開昭５５−６５５６４号公報あるいは特開平２
−５５１４０号公報には、ノズルが形成されたノズルプ
レートの表面に撥インク性膜を設けて濡れが生じるのを
抑えるようにした技術が示されている。2. Description of the Related Art In a head for ejecting ink, there is a problem that when the ink is wetted on the peripheral surface of the nozzle, a deviation occurs in the flight direction of the ink droplet, and when the wetness becomes severe, the ink droplet does not fly. To solve such a problem, Japanese Patent Laid-Open No. 55-65564 or Japanese Patent Laid-Open No.
Japanese Patent Laid-Open No. 55140 discloses a technique in which an ink repellent film is provided on the surface of a nozzle plate on which nozzles are formed to prevent the occurrence of wetting.
【０００３】そして、インクのメニスカスは、撥インク
性膜との境界で形成されるため、この場合では、ノズル
のインク噴射側先端に形成される。このため、撥インク
性膜があってもメニスカスが壊れやすく、インクがノズ
ルプレートの表面に付着する事があった。Since the ink meniscus is formed at the boundary with the ink repellent film, it is formed at the tip of the nozzle on the ink ejection side in this case. Therefore, even if there is an ink repellent film, the meniscus is easily broken, and ink may adhere to the surface of the nozzle plate.
【０００４】そこで、ノズルプレートの表面及びノズル
内のインク噴射側の所定域に撥インク性膜を形成して、
メニスカスの変動によって、インクがノズルプレートの
表面に付かないようにする技術が提案されている。Therefore, an ink-repellent film is formed on the surface of the nozzle plate and a predetermined area on the ink ejection side in the nozzle,
Techniques have been proposed to prevent ink from adhering to the surface of the nozzle plate due to fluctuations in the meniscus.
【０００５】ところが、ノズルプレートにノズルを形成
した後、ノズルプレートの表面及びノズル内の所定域に
撥インク性膜を塗布することは非常に困難である。これ
は、ノズル内の所定域に撥インク性膜を塗布しようとし
ても、その一部がノズル内部に不均一に回り込んでしま
うためである。その結果、ノズルで形成されるインクの
メニスカスの位置がノズル毎に異なって、インクの噴射
タイミングにばらつきが生じるといった問題があった。However, after forming the nozzles on the nozzle plate, it is very difficult to apply the ink repellent film to the surface of the nozzle plate and a predetermined area in the nozzle. This is because even if an ink-repellent film is applied to a predetermined area inside the nozzle, a part of the ink-repellent film wraps around the inside of the nozzle unevenly. As a result, there is a problem in that the position of the ink meniscus formed by the nozzles differs from nozzle to nozzle, and the ink ejection timing varies.
【０００６】このような問題を解決するものとしては、
特開平５−１６２３１２号公報に記載されているものが
ある。それは、撥インク性材料で形成された撥インクプ
レートと、親インク性材料で形成された親インクプレー
トとを積層した後に、レーザによってノズル穴を形成し
たノズルプレートである。As a solution to such a problem,
There is one described in JP-A-5-162312. It is a nozzle plate in which nozzle holes are formed by laser after an ink repellent plate formed of an ink repellent material and an ink repellent plate formed of an ink repellent material are laminated.
【０００７】そして、特開平２−１２１８４２号公報に
は、エキシマレーザによって、ノズル穴を形成すること
が記載されている。このエキシマレーザ加工は、非熱加
工であるので、小さな穴の加工が寸法精度よく行われ、
ノズル集積度を向上することができる。Japanese Patent Laid-Open No. 2-121842 discloses forming a nozzle hole by using an excimer laser. Since this excimer laser processing is non-thermal processing, small holes are processed with high dimensional accuracy,
The nozzle integration degree can be improved.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、撥イン
ク性の良いフッ素系やシリコン系の撥インク材料で撥イ
ンクプレートが形成されていると、エキシマレーザ加工
性は著しく悪くなる。以下にその理由を記す。フッ素系
やシリコン系の材質の撥インク材料は、紫外線用レーザ
であるエキシマレーザ（例えば、ＡｒＦ＝１９８ｎｍ，
ＫｒＦ＝２４８ｎｍ，ＸｅＫｒ＝３０８ｎｍ）を吸収し
ないので、基本的にはエキシマレーザでは加工できな
い。但し、撥インクプレートと親インクプレートを積層
した後、エキシマレーザを照射すれば、親インクプレー
トの分子、原子の分解、飛散によるエネルギーによっ
て、撥インクプレートを加工することができる。しか
し、ノズルの形状は、インク噴射側の内径が、ヘッド内
側の内径より小さい方が好ましいので、前記親インクプ
レート側からエキシマレーザを照射する必要があるた
め、特開平２−１２１８４２号公報記載のノズルプレー
トでは、エキシマレーザでノズル穴を加工すると、前記
撥インクプレートに与える、親インクプレートの分子、
原子の分解、飛散によるエネルギーが小さくなると共
に、そのエネルギー損失にばらつきが生じて、撥インク
プレートの加工が良好に行なわれなく、ノズル形状、寸
法精度が悪く、インク滴の飛翔方向にばらつきが生じ
て、印字品質が悪くなるといった問題があった。However, if the ink-repellent plate is formed of a fluorine-based or silicon-based ink-repellent material having good ink repellency, excimer laser processability is significantly deteriorated. The reason is described below. An ink repellent material made of a fluorine-based material or a silicon-based material is an excimer laser (for example, ArF = 198 nm, which is a laser for ultraviolet rays).
Since it does not absorb KrF = 248 nm and XeKr = 308 nm), it cannot be basically processed by an excimer laser. However, if the excimer laser is irradiated after the ink repellent plate and the ink repellent plate are laminated, the ink repellent plate can be processed by the energy generated by the decomposition and scattering of the molecules and atoms of the ink repellent plate. However, since it is preferable that the inner diameter of the nozzle on the ink ejection side is smaller than the inner diameter on the inner side of the head, it is necessary to irradiate the excimer laser from the parent ink plate side. In the nozzle plate, when the nozzle hole is processed by the excimer laser, the molecule of the parent ink plate given to the ink repellent plate,
The energy due to atom decomposition and scattering becomes smaller, and the energy loss becomes uneven, so that the ink repellent plate is not processed well, the nozzle shape and dimensional accuracy are poor, and the ink droplet flying direction becomes uneven. However, there is a problem that the print quality becomes poor.
【０００９】また、撥インクプレートと親インクプレー
トとを積層したものに、エキシマレーザ以外の方法でノ
ズルを形成することができるが、ノズル集積度が低くな
るといった問題があった。Nozzles can be formed on a laminate of an ink-repellent plate and an ink-philic plate by a method other than the excimer laser, but there is a problem in that the degree of nozzle integration becomes low.
【００１０】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、エキシマレーザを用いて寸法精
度が良く、集積度の高いノズル穴を加工することがで
き、簡単に撥インク性膜を形成でき、メニスカスの破壊
がなく、インク滴の飛翔方向のばらつきを生じさせるこ
とがなく、印字品質のよいインク噴射装置のノズルプレ
ート及びその製造方法を提供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is possible to process a nozzle hole having good dimensional accuracy and a high degree of integration by using an excimer laser, and easily ink repelling property. It is an object of the present invention to provide a nozzle plate of an ink ejecting apparatus which is capable of forming a film, does not break a meniscus, does not cause variations in the flight direction of ink droplets, and has good printing quality, and a manufacturing method thereof.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１では、インクが噴射されるノズルが
形成されたノズルプレートと、前記ノズルに連通し、イ
ンクを噴射するためのエネルギーが与えられるインク室
とを有するインク噴射装置のノズルプレートにおいて、
前記ノズルプレートは、エキシマレーザを吸収する材料
で形成され、インク噴射側のノズル部となる開口部が形
成されたノズル前部部材と、エキシマレーザを吸収する
材料で形成され、前記インク室側のノズル部となる開口
部が形成されたノズル後部部材とを積層してなり、前記
ノズル前部部材の開口部内面及び噴射側の表面には、撥
インク層が形成されていることを特徴とする。In order to achieve this object, according to claim 1 of the present invention, a nozzle plate having nozzles for ejecting ink and a nozzle plate for communicating with the nozzle plate are provided. In a nozzle plate of an ink ejecting device having an ink chamber to which energy is applied,
The nozzle plate is formed of a material that absorbs excimer laser, and is formed of a material that absorbs excimer laser and a nozzle front member that has an opening that serves as a nozzle portion on the ink ejection side. A nozzle rear member having an opening serving as a nozzle portion is laminated, and an ink repellent layer is formed on the inner surface of the opening of the nozzle front member and the ejection side surface. .
【００１２】請求項２では、インクが噴射されるノズル
が形成されたノズルプレートと、前記ノズルに連通し、
インクを噴射するためのエネルギーが与えられるインク
室とを有するインク噴射装置のノズルプレート製造方法
において、前記ノズルプレートは、エキシマレーザを吸
収する材料で形成されたインク噴射側のノズル前部部材
とエキシマレーザを吸収する材料で形成された前記イン
ク室側のノズル後部部材とからなり、前記ノズル前部部
材に、インク噴射側のノズル部となる開口部をエキシマ
レーザによって形成し、前記ノズル後部部材に、前記イ
ンク室側のノズル部となる開口部をエキシマレーザによ
って形成する工程と、前記ノズル前部部材の開口部内面
及び噴射側の表面に撥インク層を形成する工程と、前記
ノズル前部部材と前記ノズル後部部材とを、それぞれの
開口部が一致するように積層する工程とからなることを
特徴とする。According to a second aspect of the present invention, a nozzle plate on which a nozzle for ejecting ink is formed and the nozzle plate communicates with the nozzle plate.
In a method for manufacturing a nozzle plate of an ink ejecting apparatus having an ink chamber to which energy for ejecting ink is applied, the nozzle plate includes an ink ejecting side nozzle front member and an excimer member formed of a material that absorbs excimer laser. It is composed of a nozzle rear member on the ink chamber side formed of a material that absorbs laser, the nozzle front member is formed with an excimer laser to form an opening serving as a nozzle portion on the ink ejection side, and the nozzle rear member is formed. A step of forming an opening to be a nozzle section on the ink chamber side by an excimer laser, a step of forming an ink repellent layer on the inner surface of the opening of the nozzle front member and a surface on the ejection side, and the nozzle front member And a step of stacking the nozzle rear member so that the respective openings are aligned with each other.
【００１３】請求項３では、前記ノズル前部部材の全表
面に撥インク層が形成され、その撥インク層の内、前記
ノズル後部部材側の撥インク層によって、前記ノズル前
部部材と前記後部部材とが接着されていることを特徴と
する。According to a third aspect of the present invention, an ink repellent layer is formed on the entire surface of the nozzle front member, and the ink repellent layer on the nozzle rear member side of the ink repellent layer forms the nozzle front member and the rear member. It is characterized in that it is adhered to a member.
【００１４】請求項４では、前記撥インク層は、フッ素
系またはシリコン系の材料で形成されたことを特徴とす
る。According to a fourth aspect of the invention, the ink repellent layer is formed of a fluorine-based or silicon-based material.
【００１５】請求項５では、前記ノズルは、前記ノズル
前部部材の内径が、前記ノズル後部部材側の内径より小
さくなるように形成されたことを特徴とする。According to a fifth aspect of the present invention, the nozzle is formed such that the inner diameter of the nozzle front member is smaller than the inner diameter of the nozzle rear member side.
【００１６】[0016]
【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１のインク
噴射装置のノズルプレートでは、エキシマレーザを吸収
する材料で形成された前記インク噴射側のノズル部とな
る開口部内面及び噴射側の表面に撥インク層が形成され
たノズル前部部材と、エキシマレーザを吸収する材料で
形成された前記インク室側のノズル部となる開口部が形
成されたノズル後部部材とが積層されている。In the nozzle plate of the ink ejecting apparatus according to claim 1 of the present invention having the above-mentioned structure, the inner surface of the opening and the surface of the ejecting side which are nozzles on the ink ejecting side and are formed of a material that absorbs excimer laser. A nozzle front member on which an ink repellent layer is formed and a nozzle rear member formed of an excimer laser absorbing material and having an opening serving as a nozzle portion on the ink chamber side are laminated.
【００１７】また、請求項２では、エキシマレーザを吸
収する材料で形成された前記ノズル前部部材に、インク
噴射側のノズル部となる開口部がエキシマレーザによっ
て形成され、エキシマレーザを吸収する材料で形成され
た前記ノズル後部部材に、前記インク室側のノズル部と
なる開口部エキシマレーザによってが形成され、前記ノ
ズル前部部材の開口部内面及び噴射側の表面に撥インク
層が形成され、前記ノズル前部部材と前記ノズル後部部
材とが、それぞれの開口部が一致するように積層され
て、ノズルプレートが製造される。According to a second aspect of the present invention, the nozzle front member formed of a material that absorbs excimer laser has an opening that serves as a nozzle portion on the ink ejecting side formed by the excimer laser and absorbs the excimer laser. In the nozzle rear member formed in, by the opening excimer laser to be the nozzle portion of the ink chamber side, an ink repellent layer is formed on the opening inner surface and the ejection side surface of the nozzle front member, The nozzle front member and the nozzle rear member are laminated so that their openings are aligned with each other, and a nozzle plate is manufactured.
【００１８】[0018]
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【００１９】図１は、まず加工位置にノズル前部基板１
を設置して加工した後に、次にノズル後部基板２を加工
位置に設置して加工する例を示す図である。エキシマレ
ーザを発するレーザ発振器１４より出たエキシマレーザ
ビーム１１を所望する加工形状と相似系のマスク１２を
通し、レンズ１３によりマスク形状をノズル前部基板１
およびノズル後部基板２上に結像させノズルとなる開口
部の加工をそれぞれ行う。ここで、本実施例において
は、エキシマレーザは２４８ｎｍの波長をもつＫｒＦエ
キシマレーザである。また、マスク１２およびレンズ１
３はノズル形状やレーザ加工条件等によって適切に設定
する。本実施例では、１／５の縮小レンズ１３を用い、
ノズル後部基板２の加工には直径３００μｍの穴を開け
たマスク１２を用い、ノズル前部基板１の加工には直径
２００μｍの穴を開けたマスク１２を用いた。FIG. 1 shows the nozzle front substrate 1 at the processing position.
FIG. 7 is a diagram showing an example in which the nozzle rear substrate 2 is installed at a processing position and then processed after installing and processing. An excimer laser beam 11 emitted from a laser oscillator 14 that emits an excimer laser is passed through a mask 12 having a similar processed shape to a desired processed shape, and a mask shape is formed by a lens 13 on the nozzle front substrate 1.
Then, an image is formed on the rear substrate 2 of the nozzle to process the opening to be the nozzle. Here, in this embodiment, the excimer laser is a KrF excimer laser having a wavelength of 248 nm. Also, the mask 12 and the lens 1
3 is appropriately set depending on the nozzle shape, laser processing conditions, and the like. In this embodiment, a 1/5 reduction lens 13 is used,
A mask 12 having a hole having a diameter of 300 μm was used for processing the nozzle rear substrate 2, and a mask 12 having a hole having a diameter of 200 μm was used for processing the nozzle front substrate 1.
【００２０】ここで、ノズル前部基板１およびノズル後
部基板２は、エキシマレーザビーム１１を吸収する材料
で形成されており、このましくは、使用インク成分中に
含まれる溶剤に対して耐溶剤性のある材質がよい。本実
施例においては、ノズル前部基板１は７．５μｍ、ノズ
ル後部基板２は５０μｍの厚さのポリイミドを用いた。Here, the nozzle front substrate 1 and the nozzle rear substrate 2 are formed of a material that absorbs the excimer laser beam 11, and preferably, the solvent is resistant to the solvent contained in the ink components used. A good material is preferable. In this embodiment, the nozzle front substrate 1 is made of polyimide having a thickness of 7.5 μm, and the nozzle rear substrate 2 is made of polyimide having a thickness of 50 μm.
【００２１】次に、図２に示すように、エキシマレーザ
で穴あけ加工を行ったノズル前部基板１を撥インク性の
処理溶液３に浸した後、必要な熱処理を行うことによっ
て、撥インク膜４をノズル前部基板１の全表面に作製し
た。本実施例においては、処理溶液３には、水に４フッ
化エチレン−６フッ化プロピレン共重合樹脂（ＦＥＰ樹
脂）を分散させたもの（ディスパージョン）を用い、３
００℃で１時間の熱処理を行った。その結果、ノズル前
部基板１の全表面に、約１μｍのＦＥＰ樹脂膜が作製さ
れた。Next, as shown in FIG. 2, after dipping the nozzle front substrate 1 that has been drilled with an excimer laser in the ink repellent treatment solution 3, the ink repellent film is subjected to necessary heat treatment. 4 was formed on the entire surface of the nozzle front substrate 1. In this embodiment, the treatment solution 3 is a dispersion (dispersion) of a tetrafluoroethylene-6-fluoropropylene copolymer resin (FEP resin) dispersed in water.
Heat treatment was performed at 00 ° C. for 1 hour. As a result, an FEP resin film of about 1 μm was formed on the entire surface of the nozzle front substrate 1.
【００２２】本実施例においては、このような材料を用
いたが、他に撥インク膜４としてはポリ４フッ化エチレ
ン樹脂（ＰＴＦＥ樹脂）、４フッ化エチレン−パーフル
オロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ樹脂）、３
フッ化塩化エチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ樹脂）、４フッ化
エチレン−エチレン共重合樹脂（ＥＴＦＥ樹脂）、フッ
化ビニリデン樹脂、フッ化ビニル樹脂等のフッ素系の樹
脂が上げられる。これらフッ素系の樹脂は特に、インク
溶剤に対する撥インク特性、耐溶剤性が優れている。ま
た、用いるインク溶剤によっては、シリコン樹脂等でも
問題無い。In this embodiment, such a material was used, but in addition, as the ink repellent film 4, polytetrafluoroethylene resin (PTFE resin), tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer resin ( PFA resin), 3
Fluorine-based resins such as fluorinated ethylene chloride resin (PCTFE resin), tetrafluoroethylene-ethylene copolymer resin (ETFE resin), vinylidene fluoride resin, and vinyl fluoride resin can be used. In particular, these fluorine-based resins have excellent ink repellency and solvent resistance against ink solvents. Further, depending on the ink solvent used, there is no problem even with silicone resin or the like.
【００２３】さらに、ノズル前部基板１およびノズル後
部基板２としては、本実施例においては、ポリイミド樹
脂を用いているが、熱硬化性樹脂や軟化温度が撥インク
膜４を作製するのに必要な温度より比較的高い樹脂であ
って、上記のエキシマレーザを吸収する材料であれば一
向に問題無い。Further, although polyimide resin is used as the nozzle front substrate 1 and the nozzle rear substrate 2 in this embodiment, a thermosetting resin and a softening temperature are necessary for forming the ink repellent film 4. There is no problem as long as it is a resin relatively higher than the above temperature and is a material that absorbs the excimer laser.
【００２４】次に、図３に示すように、撥インク膜処理
を行ったノズル前部基板１とノズル後部基板２との開口
部がそれぞれ重なるように、ノズル前部基板１とノズル
後部基板２とを重ね合わせ、撥インク膜４の熱融着性を
利用して、それぞれが離れない程度の相当荷重をかけて
熱融着処理を行って、ノズル前部基板１とノズル後部基
板２とを接着してノズルプレートを製造する。本実施例
においては、３００℃、１時間の処理を行った。この熱
融着処理の状態では、撥インク膜４は粘性が高い状態で
あり、撥インク性膜４がノズル内に侵入する恐れがな
い。また、接着剤を用いてノズル前部基板１とノズル後
部基板２を接着してもよい。撥インク性膜４によって、
ノズル前部基板１とノズル後部基板２とを接着する方法
では、接着剤を塗布する工程が必要でないため、組み立
て工程が簡略される。Next, as shown in FIG. 3, the nozzle front substrate 1 and the nozzle rear substrate 2 are so arranged that the openings of the nozzle front substrate 1 and the nozzle rear substrate 2 which have been subjected to the ink repellent film overlap, respectively. Are superposed on each other, and the thermal fusion bonding property of the ink repellent film 4 is utilized to carry out the thermal fusion treatment by applying a considerable load such that they are not separated from each other, so that the nozzle front substrate 1 and the nozzle rear substrate 2 are joined together. The nozzle plate is manufactured by bonding. In this example, the treatment was performed at 300 ° C. for 1 hour. In the state of this heat fusion treatment, the ink repellent film 4 has a high viscosity, and there is no possibility that the ink repellent film 4 enters the nozzle. Further, the nozzle front substrate 1 and the nozzle rear substrate 2 may be bonded using an adhesive. By the ink repellent film 4,
In the method of adhering the nozzle front substrate 1 and the nozzle rear substrate 2, the assembly process is simplified because the step of applying the adhesive is not necessary.
【００２５】これによって得られた、ノズルの噴射口付
近は図４（ａ）に示すように撥インク膜４がノズル前部
基板１の厚みを持つため、インクメニスカスがノズル前
部基板１とノズル後部基板２の融着部で保持され、イン
ク噴射時においては、図４（ｂ）に示すように、インク
滴がノズル前部基板１でしっかりと方向性を保たれるた
め、インク滴の飛翔方向にばらつきを生じることが無
い。また、エキシマレーザビーム１１によって、ノズル
前部基板１及びノズル後部基板２にノズル穴が加工され
るので、ノズル集積度が高い。更に、撥インク膜４が形
成される前に、ノズル前部基板１及びノズル後部基板２
にノズル穴が加工されるので、ノズル穴の寸法精度が良
い。Since the ink repellent film 4 has the thickness of the nozzle front substrate 1 in the vicinity of the ejection port of the nozzle obtained as described above, as shown in FIG. The ink droplets are held by the fusion-bonded portion of the rear substrate 2, and when ejecting ink, as shown in FIG. 4B, the ink droplets are firmly kept in the directionality on the front substrate 1 of the nozzle. There is no variation in direction. In addition, since the nozzle holes are formed in the nozzle front substrate 1 and the nozzle rear substrate 2 by the excimer laser beam 11, the degree of nozzle integration is high. Further, before the ink repellent film 4 is formed, the nozzle front substrate 1 and the nozzle rear substrate 2 are formed.
Since the nozzle hole is machined, the dimensional accuracy of the nozzle hole is good.
【００２６】このようにして得られたノズルプレートを
用いてインク噴射を行った結果、インク噴射時の不均一
なメニスカスの破壊がなく、またインク滴の飛翔方向に
ばらつきを生じないことが確認された。As a result of ejecting ink using the nozzle plate thus obtained, it was confirmed that there was no uneven destruction of the meniscus during ink ejection, and there was no variation in the flight direction of ink droplets. It was
【００２７】尚、本発明は上述した実施例にのみ限定さ
れるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において
種々の変更を加えても一向に差し支えない。例えば、本
実施例では、ノズル前部基板１とノズル後部基板２と
に、それぞれ穴の大きさの異なる別個のマスク１２を用
いて、それぞれの開口部を形成したが、ノズル前部基板
１とノズル後部基板２とを重ねた状態で、１つのマスク
でノズル穴となる開口部を形成してもよい。The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the invention. For example, in this embodiment, the openings are formed in the nozzle front substrate 1 and the nozzle rear substrate 2 by using different masks 12 having different hole sizes. In a state where the nozzle rear substrate 2 is overlapped with each other, an opening that serves as a nozzle hole may be formed with one mask.
【００２８】また、本実施例では、ノズル前部基板１を
撥インク性の処理溶液３に浸していたが、ノズル前部基
板１に処理溶液３を流してもよい。Further, in this embodiment, the nozzle front substrate 1 is dipped in the ink repellent treatment solution 3, but the treatment solution 3 may be poured into the nozzle front substrate 1.
【００２９】[0029]
【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明によれば、前記開口部内面及び噴射側の表面に撥イン
ク層が形成されたノズル前部部材と、前記インク室側の
開口部が形成されたノズル後部部材とが積層されたノズ
ルプレートが得られるので、インク噴射時のメニスカス
の破壊がない。このため、インク滴の飛翔方向にばらつ
きを生じさせなく、インク飛翔不良の無い高信頼度のイ
ンク噴射装置が得られる効果を奏する。また、ノズル前
部部材及びノズル後部部材がエキシマレーザを吸収する
材料で形成されているので、撥インク層を形成する前
に、エキシマレーザによって寸法精度が良く、集積度が
高いノズル穴を加工することができる。As is apparent from the above description, according to the present invention, the nozzle front member having the ink repellent layer formed on the inner surface of the opening and the surface on the ejection side, and the opening on the ink chamber side. Since the nozzle plate in which the nozzle rear member in which the ink is formed is laminated is obtained, there is no destruction of the meniscus during ink ejection. For this reason, there is an effect that a highly reliable ink jet device that does not cause defective ink flying can be obtained without causing variations in the flight direction of ink droplets. Further, since the nozzle front member and the nozzle rear member are formed of a material that absorbs the excimer laser, the nozzle holes having high dimensional accuracy and high integration degree are processed by the excimer laser before forming the ink repellent layer. be able to.
【図１】本発明の一実施例のノズル前部基板及びノズル
後部基板の加工を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing processing of a nozzle front substrate and a nozzle rear substrate according to an embodiment of the present invention.
【図２】前記実施例の撥インク膜の作製方法を示す説明
図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a method for producing an ink repellent film of the above-mentioned embodiment.
【図３】前記本実施例のノズルプレートを示す断面図で
ある。FIG. 3 is a sectional view showing a nozzle plate of the present embodiment.
【図４】前記本実施例のノズルプレートでのインクメニ
スカスの挙動を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing the behavior of an ink meniscus in the nozzle plate of the present embodiment.
１ ノズル前部基板 ２ ノズル後部基板 ３ 処理溶液 ４ 撥インク膜 １１ エキシマレーザビーム 1 Nozzle Front Substrate 2 Nozzle Rear Substrate 3 Processing Solution 4 Ink Repellent Film 11 Excimer Laser Beam
Claims (5)
ノズルプレートと、前記ノズルに連通し、インクを噴射
するためのエネルギーが与えられるインク室とを有する
インク噴射装置のノズルプレートにおいて、 前記ノズルプレートは、エキシマレーザを吸収する材料
で形成され、インク噴射側のノズル部となる開口部が形
成されたノズル前部部材と、エキシマレーザを吸収する
材料で形成され、前記インク室側のノズル部となる開口
部が形成されたノズル後部部材とを積層してなり、 前記ノズル前部部材の開口部内面及び噴射側の表面に
は、撥インク層が形成されていることを特徴とするイン
ク噴射装置のノズルプレート。1. A nozzle plate of an ink ejecting apparatus, comprising: a nozzle plate having nozzles for ejecting ink; and an ink chamber communicating with the nozzles and supplied with energy for ejecting ink, The plate is formed of a material that absorbs excimer laser, and is formed of a material that absorbs excimer laser and a nozzle front member that has an opening that serves as a nozzle portion on the ink ejection side. And an ink-repellent layer formed on the inner surface of the opening of the nozzle front member and on the ejection-side surface of the nozzle front member. Nozzle plate of the device.
ノズルプレートと、前記ノズルに連通し、インクを噴射
するためのエネルギーが与えられるインク室とを有する
インク噴射装置のノズルプレート製造方法において、 前記ノズルプレートは、エキシマレーザを吸収する材料
で形成されたインク噴射側のノズル前部部材とエキシマ
レーザを吸収する材料で形成された前記インク室側のノ
ズル後部部材とからなり、 前記ノズル前部部材に、インク噴射側のノズル部となる
開口部をエキシマレーザによって形成し、前記ノズル後
部部材に、前記インク室側のノズル部となる開口部をエ
キシマレーザによって形成する工程と、 前記ノズル前部部材の開口部内面及び噴射側の表面に撥
インク層を形成する工程と、 前記ノズル前部部材と前記ノズル後部部材とを、それぞ
れの開口部が一致するように積層する工程とからなるこ
とを特徴とするインク噴射装置のノズルプレート製造方
法。2. A method for manufacturing a nozzle plate of an ink ejecting apparatus, comprising: a nozzle plate having nozzles for ejecting ink; and an ink chamber communicating with the nozzles and supplied with energy for ejecting ink. The nozzle plate is composed of an ink jet side nozzle front member formed of an excimer laser absorbing material and an ink chamber side nozzle rear member formed of an excimer laser absorbing material. A step of forming an opening serving as a nozzle portion on the ink ejection side in the member by an excimer laser, and a step of forming an opening serving as the nozzle portion in the ink chamber side by an excimer laser in the nozzle rear member; A step of forming an ink repellent layer on the inner surface of the opening of the member and the surface on the ejection side, the nozzle front member and the nozzle A Department member, a nozzle plate manufacturing method of the ink jet apparatus characterized in that each of the openings and a step of laminating to match.
層が形成され、その撥インク層の内、前記ノズル後部部
材側の撥インク層によって、前記ノズル前部部材と前記
後部部材とが接着されていることを特徴とする請求項１
または請求項２記載のインク噴射装置のノズルプレート
またはその製造方法。3. An ink repellent layer is formed on the entire surface of the nozzle front member, and the ink repellent layer on the nozzle rear member side of the ink repellent layer separates the nozzle front member and the rear member. It is adhered, It is characterized by the above-mentioned.
Alternatively, the nozzle plate of the ink ejecting apparatus according to claim 2 or a manufacturing method thereof.
コン系の材料で形成されたことを特徴とする請求項１ま
たは請求項２記載のインク噴射装置のノズルプレートま
たはその製造方法。4. The nozzle plate of an ink ejecting apparatus according to claim 1, wherein the ink repellent layer is formed of a fluorine-based material or a silicon-based material, or a manufacturing method thereof.
径が、前記ノズル後部部材側の内径より小さくなるよう
に形成されたことを特徴とする請求項１または請求項２
記載のインク噴射装置のノズルプレートまたはその製造
方法。5. The nozzle is formed so that the inner diameter of the nozzle front member is smaller than the inner diameter of the nozzle rear member side.
A nozzle plate for an ink jetting device as described above or a method for manufacturing the same.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5240871A JPH0789079A (en) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | Nozzle plate of ink injection device and manufacture thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5240871A JPH0789079A (en) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | Nozzle plate of ink injection device and manufacture thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0789079A true JPH0789079A (en) | 1995-04-04 |
Family
ID=17065944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5240871A Pending JPH0789079A (en) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | Nozzle plate of ink injection device and manufacture thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0789079A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6660213B1 (en) * | 1998-07-27 | 2003-12-09 | Fujitsu Limited | Nozzle plate manufacturing method |
-
1993
- 1993-09-28 JP JP5240871A patent/JPH0789079A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6660213B1 (en) * | 1998-07-27 | 2003-12-09 | Fujitsu Limited | Nozzle plate manufacturing method |
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