JPH0775325A - リニア直流モータとそのモータを使用した搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 リニア直流モータとそのモータを使用した搬
送装置に関し、可動体の推力を向上して加速度の変動を
なくし、さらに、コイルの給電手段に係わる信頼性を向
上させる。 【構成】 整列する多数のコイル２と、コイル２を挟ん
でＮ極面が対向する一対の永久磁石３を装着した可動体
４とを具え、連通するコイル２の中心孔には、永久磁石
３の磁気力によって可動体４と共に移動する鉄心22を挿
入したリニア直流モータ。さらに、コイル整列方向に延
在する一対の導体レール29,30 と、コイル２の巻回端を
接続した端子26とを設け、永久磁石３の磁気力によって
可動体４と共に移動する鉄心22には、レール29,30 に接
触する接触子27,28 と、端子26に接触する接触子73,74
とを具えたリニア直流モータ。並びに、前記リニア直流
モータを使用し、可動体４を台車に装着した搬送装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はリニア直流モータとその
モータを使用した搬送装置、特に、駆動用永久磁石を可
動側に設けた可動磁石型リニア直流モータと、そのモー
タを使用した搬送装置に関する。

【０００２】現在、半導体産業における搬送装置には、
クリーン化や搬送効率向上の要求に伴って、高速・高性
能・低発塵の搬送方式が要求されている。このため、搬
送台車にはレール面との摩擦がない（台車の重量をレー
ルで受けない）磁気浮上台車が、その推進源には非接触
で高速搬送が可能なリニアモータが広く利用されてい
る。

【０００３】リニアモータにはいろいろな種類がある
が、中でもリニア直流モータ（以下ＬＤＭとする）は、
大推力，高効率であり小形かつ軽量のものが得やすい等
の特徴が有り、駆動，位置決めおよびその制御等に適し
ているため、各種搬送装置等に広く用いられている。

【０００４】ＬＤＭには可動コイル型と可動磁石型とが
ある。可動コイル型は、移動する台車側にコイルを，地
上（固定）側に永久磁石を具え、可動磁石型は、台車側
に永久磁石を，地上側にコイルを具えた構成である。

【０００５】このような可動コイル型，可動磁石型ＬＤ
Ｍにおいて、可動磁石型ＬＤＭはコイルへの電源供給が
容易であるため、磁気浮上台車を用いた搬送装置に用い
られている。

【０００６】

【従来の技術】大きく分けて可動磁石型ＬＤＭには、コ
イルの中心部に鉄心が貫通する有鉄心形と、コイルの中
心部に貫通する鉄心をもたない無鉄心形の二方式があ
る。

【０００７】無鉄心形ＬＤＭは、有鉄心形のものより軽
量化することができる反面、永久磁石からの磁束が発散
するためコイルの有効導体部の磁束密度が低下し、大推
力の確保が困難である。

【０００８】さらに、多数のコイルに順次所定電流を供
給する方式には、可動体に給電用接触子を具え可動体の
移動によって所定のコイルに順次給電する接触式と、接
触子を用いることなく制御装置から所定のコイルに順次
給電する非接触式がある。ブラシ等の接触子を用いて給
電すべき所定のコイルを自動的に選択し励起させる接触
式給電方式は、非接触式放電方式に比べ、ＬＤＭの構成
を簡易かつ小型とし安価にする。

【０００９】図１０は無鉄心・可動磁石型ＬＤＭの説明
図、図１１は有鉄心・可動磁石型ＬＤＭの説明図であ
る。図１０において、無鉄心・可動磁石型ＬＤＭ１は多
数（図は４個）の環状コイル２が整列し、コイル２を挟
むように一対の永久磁石３がホルダー（可動体）４に装
着された構成であり、所定のコイル２に所定電流を流す
と、コイル２と永久磁石３との間にはフレミングの左手
の法則に従って、コイル２の整列方向に永久磁石３を移
動させる推力が発生する。

【００１０】一対の永久磁石３は双方のＮ極面が対向し
ており、多数のコイル２に順次所定電流を流すとホルダ
ー４は、コイル２が発生する推力によりコイル列に沿っ
て移動する。

【００１１】このような無鉄心・可動磁石型ＬＤＭ１
は、有鉄心・可動磁石型ＬＤＭより軽量構成であるとい
う利点がある反面、永久磁石３からの磁束は図中に破線
矢印で示すように発散するため、コイル２の有効導体部
の磁束密度が低下し、大きい推力の確保が困難となる。

【００１２】図１１(イ),(ロ) において、有鉄心・可動磁
石型ＬＤＭ５は多数のコイル２が整列し、整列する多数
のコイル２の中心孔には軟磁性体鉄心６が貫通し、コイ
ル２を挟み双方のＮ極面が対向する一対の永久磁石３が
ホルダー４に装着された構成であり、コイル２に所定電
流を流すことによってホルダー４は、ＬＤＭ１のそれと
同様に移動する。

【００１３】このようなＬＤＭ５において、永久磁石３
からの磁束は図中に細線矢印で示す如く永久磁石３から
鉄心６に向けて直進し、永久磁石３と鉄心６との間に発
生する磁気吸引力Ｆが、ホルダー４の移動方向に対して
垂直方向に作用し、ホルダー４をその位置に拘束しよう
とする。

【００１４】一般に、ＬＤＭを用いた搬送装置におい
て、永久磁石３を装着したホルダー４は、台車の移動方
向に複数個（通常は２個）具備する構成である。従っ
て、図１１(ハ) に示す如く図の右方向に移動しようとす
る台車７に装着したホルダー４が、図中に実線で示す如
く鉄心６の左側に位置するとき、永久磁石（３）と鉄心
６との間に発生する吸引力Ｆ₁ は、台車７の移動を加速
されるように作用する反面、図中に一点鎖線で示すよう
に台車７に装着したホルダー４が鉄心６の右側に位置す
るとき、永久磁石（３）と鉄心６との間に発生する吸引
力Ｆ ₂ は、台車７の移動速度を減速させるように作用す
る。

【００１５】図１２は接触給電方式であるＬＤＭの説明
図である。前出図と共通部分に同一符号を使用した図１
２において、１１は固定台、１２は多数のコイル２を装
着するための板部材、１３は多数のコイル２の巻回端の
それぞれに接続したリード線、１４はコイル２の中間部
の切断端に接続する端子、１５は所定コイル２の一対の
端子１４を接続するためホルダー４に装着した接触子、
１６はホルダー４と接触子１５との間を電気的に隔離さ
せる絶縁部材である。

【００１６】リード線１２と端子１４および接触子１５
による給電手段を具えた無鉄心・可動磁石型ＬＤＭ１
は、ホルダー４の移動と共に所定のコイル２は通電状態
となり、そのことによってホルダー４をさらに移動（推
進）させるようになる。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来の無鉄心・可動磁石型ＬＤＭ１では、推力の効率が
有鉄心・可動磁石型ＬＤＭ５に比べて低く、推力を高め
ようとすると大型化するため、各種搬送装置への実用化
が難しいという問題点があった。

【００１８】ＬＤＭ１の前記問題点を解決する従来の有
鉄心・可動磁石型ＬＤＭ５は、鉄心６と永久磁石３との
間に磁気回路が形成され効率よく推力を得られる反面、
永久磁石３と鉄心６との間の磁気吸引力が台車の拘束力
として作用し、推力が低下したり、磁気浮上形において
は加速度の変動によって浮上制御への外乱が生ずる等の
問題点があった。

【００１９】さらに、従来の給電方式においては、接触
式，非接触式に係わらず多数のコイル２までのリード線
１２が必要であり、リード線１２は膨大な束となってそ
の接続等の取扱いが複雑になると共に、線抵抗やインダ
クタンスの増加を招き、発熱や応答遅れにより信頼度や
精度の低下が生じる等の問題点が発生していた。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、前記無
鉄心形と有鉄心形の長所を兼ね備え、軽量にして大推力
かつ吸引力による推力低下を抑える構成を持ったＬＤＭ
を提供し、さらに、簡易な給電手段を提供することであ
る。

【００２１】図１は本発明になるＬＤＭの基本構成図、
図２は図１(ロ) に示すＬＤＭの縦割り断面図である。図
１(イ) において、本発明による第１の基本的なＬＤＭ２
１は、一対の永久磁石３、非磁性材料にてなり一対の永
久磁石３を装着したコ字形断面のホルダー（可動体）
４、ホルダー４の移動方向に整列する多数（図は４個）
のコイル２、永久磁石３と同等幅でありコイル２の中心
孔内に挿入された鉄心２２を具え、一対の永久磁石３は
Ｎ極面がコイル２を挟んで対向する。

【００２２】推力を得るための磁束を発生させる一対の
永久磁石３の間には、所定電流を流すことによってホル
ダー４に推力を発生させる多数（図は４個）のコイル２
を配設し、コイル２の中心孔内に配設し必要に応じてコ
イル２の整列方向に直角な上下方向，左右方向に回動自
在な車輪を具えた鉄心２２は、コイル２の整列方向に無
拘束であり，永久磁石３から発生する磁束の発散を抑
え，推力発生に寄与するコイル２の有効導体部の磁束密
度を増加させる。

【００２３】かかるＬＤＭ２１において、多数のコイル
２に順次所定電流を流すと、所定電流が流れたコイル２
と永久磁石３との間に発生する推力によってホルダー４
が移動すると共に、コイル２の整列方向に無拘束である
鉄心２２は、永久磁石３の磁気力によってホルダー４と
一緒に移動するようになる。

【００２４】図１(ロ) および図２において、本発明によ
る給電手段を具えた第２の基本的なＬＤＭ２５は、推力
を得るための磁束を発生させる一対の永久磁石３が対向
し、その一対の永久磁石３はコ字形断面の非磁性体ホル
ダー４に装着し、ホルダー４を移動させるために整列す
る多数（図は４個）のコイル２の巻回端に接続した接触
子２６は、鉄心２２に設けた接触子２７または２８に接
触し、接触子２７，２８はコイル列の下に配設し対向す
る電源レール２９または３０に接触する。

【００２５】なお、図２において１１は固定基台、１２
はコイル２を装着するための板部材である。かかるＬＤ
Ｍ２５において、レール２９を電源装置のプラス端子に
接続したときレール３０は、電源装置のマイナス端子に
接続する。そして、一対の永久磁石３に挟まれたコイル
２には、レール２９と３０および接触子２７，２６，２
８，２６を介して所定電流が流れ、そのことによってホ
ルダー４を移動させる推力が発生するようになる。

【００２６】ホルダー４を逆行させるには、コイル２に
流す電流を逆にする必要があり、従って、レール２９，
３０と電源装置の接続端子のプラス，マイナスを切り替
えることになる。

【００２７】

【作用】以上説明したように、本発明によってコイル２
内に挿入し一対の永久磁石３によりホルダー４と共に移
動する鉄心２２は、従来の鉄心６と同様に永久磁石３か
ら発生する磁束の発散を抑制し、コイル２の有効導体部
の磁束を密にすると共に、従来の鉄心６とは異なってホ
ルダー４に対する抑止力を発生させない。従って、軽量
かつ小型で推力の大きいＬＤＭが可能になる。

【００２８】さらに、本発明による前記給電手段は、従
来技術で必要としたコイル２へのリード線を不要とし、
リード線による問題点を解決してＬＤＭをコンパクト化
するのみならず、信頼性・搬送効率を向上させる。

【００２９】

【実施例】以下に、図面を用いて本発明の実施例を説明
する。図３は本発明による第１のＬＤＭを用いた第１の
搬送装置の説明図、図４は本発明による第１のＬＤＭを
用いた第２の搬送装置の説明図、図５は本発明による第
１のＬＤＭを応用した他の搬送装置の説明図、図６は本
発明による第１のＬＤＭを応用したさらに他の搬送装置
の説明図、図７は本発明による第１のＬＤＭを用いた第
１の搬送装置の説明図、図８は図７に示す装置要部の拡
大図、図９は図８に示す接触子の実施例を示す断面図で
ある。

【００３０】図３(イ) の搬送装置３１において、図紙の
厚さ方向に長さを有する固定台３２は、幅方向の中央部
にＴ字形断面の台車案内用レール３３が突出し、レール
３３の一側（左側）にはコイル装着用の板部材１２を固
着し、部材１２には複数の環状コイル２が図紙の厚さ方
向に整列し装着されている。

【００３１】コイル２を挟み双方のＮ極面が対向する一
対の永久磁石３は、アルミニウム等の非磁性材料にてな
るホルダー４に固着され、ホルダー４は、レール３３の
上部を囲うように形成された搬送台車３５の下面に装着
されている。

【００３２】多数のコイル２の中心孔に貫通し固定され
たロ字形断面部材３６の内面には、永久磁石３と同程度
の幅（図紙厚さ方向の寸法）である鉄心２２に設けた回
転体（ボールベアリング）３７が回動自在に接触する。

【００３３】レール３３の他側（右側）には、多数のコ
イル２のそれぞれに対応する位置検出器（例えば光電セ
ンサやレーザ変位センサ）３８を設け、台車３５の下面
には台車３５が図紙の厚さ方向に移動したとき検出器３
８の上方を通過する被検体（例えば反射鏡）３９を設
け、コイル２と制御部４０とをリード線４１で接続する
と共に、検出器３８と制御部４０とをリード線４２で接
続する。

【００３４】図３(ロ) において、４３は回転体３７の回
転中心に貫通する軸であり、鉄心２２に固着された支持
部材４４が軸４３を支持する。順次所定のコイル２に通
電し台車３５が移動する搬送装置３１は、台車３５の移
動と共に、部材３６に案内されて鉄心２２が移動し、そ
の位置および移動速度は、検出器３８を介して検知し制
御される。

【００３５】図３と共通部分に同一符号を使用した図４
の搬送装置５１において、台車案内用レール３３が幅方
向の中心部に突出する固定台３２には、レール３３を挟
むような２列に多数のコイル２が整列し、多数のコイル
２は板部材１２を介して固定台３２に装着され、レール
３３の上面の幅方向中心部に搬送台車３５の位置および
移動速度を検出する検出器３８が配設されている。

【００３６】図示しない電磁石を具えその磁気力で浮上
するまたは、図示しないガイドレールと該ガイドレール
に接する車輪を有する搬送台車３５には、その移動方向
に対する前端部と後端部とにそれぞれ一対のホルダー４
が装着されており、各ホルダー４にはコイル２を挟み双
方のＮ極面が対向する一対の永久磁石３が装着され、同
じ列の多数のコイル２を貫通する部材３６の内面には、
永久磁石３と同程度の幅である鉄心２２が挿入される。
鉄心２２には部材３６の内面に沿って転動する回転体３
７が設けられているが、その図示は省略している。

【００３７】なお、図４においてコイル２は、搬送台車
３５の長さＬに合わせた複数個の群構成であり、検出器
３８はコイル２群の前端部と後端部に対応し配設され、
各検出器３８およびコイル２は、図示しないリード線に
よって制御部４０に接続されている。

【００３８】かかる搬送装置５１は、前記搬送装置３１
と同じく所定のコイル２に通電して搬送台車３５が移動
する。要部を示す図５の搬送装置５６において、図紙の
厚さ方向に長さを有する固定台３２にはコイル装着用板
部材１２を固着し、部材１２には多数の環状コイル２が
図紙の厚さ方向に整列し装着されており、コイル２を挟
むコ字形断面の軟磁性体５７は搬送台車３５の下面に装
着されており、コイル２の中心孔には、磁性体５７と同
程度幅（図紙厚さ方向の寸法）の一対の永久磁石５８，
５９が挿入されてなる。

【００３９】ただし、永久磁石５８と５９はＳ極面が背
中合わせに通常の手段によって接合されており、必要に
応じてコイル２の中心孔には、図３に示すロ字形断面部
材３６を装着すると共に永久磁石５８，５９には図３に
示す回転体３７を設け、永久磁石５８，５９が部材３６
の内面に沿って移動するように構成してもよい。

【００４０】かかる搬送装置５６において、永久磁石５
８および５９と磁性体５７との間には磁気吸引力が発生
し、その磁気吸引力によって永久磁石５８，５９は、コ
イル２に電流を流すことで移動する搬送台車３５と共に
移動するようになる。

【００４１】要部を示す図６の搬送装置６１において、
図紙の厚さ方向に長さを有する固定台３２にはコイル装
着用板部材１２を固着し、部材１２には多数の環状コイ
ル２が図紙の厚さ方向に整列し装着されており、コイル
２を挟み同じ極面（図はＮ極面）が対向する一対の永久
磁石３は、ホルダー４を介して搬送台車３５の下面に装
着され、コイル２の中心孔には、ホルダー４と同程度幅
（図紙厚さ方向の寸法）の一対の永久磁石５８，５９が
挿入されてなる。

【００４２】ただし、永久磁石５８と５９は通常の手段
によって同じ極面（図はＮ極面）が背中合わせに接合さ
れており、永久磁石３に対し異極面（図はＳ極面）が対
抗し、必要に応じてコイル２の中心孔には、図３に示す
ロ字形断面部材３６を装着すると共に永久磁石５８，５
９には図３に示す回転体３７を設け、永久磁石５８，５
９が部材３６の内面に沿って移動するように構成しても
よい。

【００４３】かかる搬送装置６１において、一対の永久
磁石３と永久磁石５８および５９との間には磁気吸引力
が発生し、その磁気吸引力によって永久磁石５８，５９
は、コイル２に電流を流すことで移動する搬送台車３５
と共に移動するようになる。

【００４４】図４の搬送装置５１と共通部分に同一符号
を使用した図７の搬送装置７１において、台車案内用レ
ール３３が幅方向の中心部に突出する固定台３２には、
レール３３を挟むような２列に多数のコイル２が整列
し、多数のコイル２は板部材１２を介して固定台３２に
装着され、レール３３の上面の幅方向中心部に搬送台車
３５の位置および移動速度を検出する検出器３８が配設
されている。

【００４５】搬送台車３５には、その移動方向に対する
前端部と後端部とにそれぞれ一対のホルダー４が装着さ
れており、各ホルダー４にはコイル２を挟みＮ極面が対
向する一対の永久磁石３が装着され、同じ列の多数のコ
イル２を貫通するロ字形断面の電気的絶縁部材７２の内
側底面には、図示しない電源装置のプラス端子に接続さ
れたレール２９と、電源装置のマイナス端子に接続され
たレール３０が配設され、部材３６には永久磁石３と同
程度幅であり部材３６の長さ方向に移動可能な鉄心２２
を挿入する。

【００４６】図７および図８において、鉄心２２に対し
て適当な電気的絶縁手段を講じ鉄心２２に装着された接
触子２７と２８がレール２９，３０に接触し、コイル２
の中間の切断端に接続した端子２６に接触する接触子７
３と７４は、鉄心２２の側面に装着されてなる。ただ
し、接触子２７と７３，２８と７４は、例えば鉄心２２
に埋め込まれた被覆線によって接続されている。

【００４７】かかる搬送装置７１において、駆動源とな
る所定のコイル２にはレール２９，３０を介して電流が
流れ、そのことによって発生した推力によって搬送台車
３５が移動し、その移動と共に鉄心２２も移動するよう
になる。

【００４８】接触子２７，２８，７３，７４の構成例を
示す図９において、鉄心２２には電気的絶縁性を有する
コ字形断面のブッシュ７６を固着し、ブッシュ７６に嵌
合しその嵌合方向に摺動可能なコ字形断面の接触子２
７，２８，７３，７４は、圧縮コイルばね７７によって
外方に付勢され、かつ、一端に接触子間接続用リード線
７８の一端が接続されてなる。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように本発明によるＬＤＭ
およびそのＬＤＭを用いた搬送装置は、可動体と共に移
動する鉄心を設けたことにより、従来の有鉄心ＬＤＭに
おける抑止力をなくし、軽量かつ小型化すると共に大き
い推力が得られるようにした効果があり、コイル内に配
設した導体レールを利用し各コイルに給電する構成で
は、該導体レールと接触子との接触に伴う塵がモータ外
に飛散しないという防塵効果がある。

【００５０】さらに、本発明による前記給電手段は、従
来技術で必要としたリード線による発熱や応答遅れをな
くし、ＬＤＭの信頼性および可動体の移動精度を向上さ
せることができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明になるＬＤＭの基本構成図

【図２】 図１(ロ) に示すＬＤＭの縦割り断面図

【図３】 本発明による第１のＬＤＭを用いた第１の搬
送装置の説明図

【図４】 本発明による第１のＬＤＭを用いた第２の搬
送装置の説明図

【図５】 本発明による第１のＬＤＭを応用した他の搬
送装置の説明図

【図６】 本発明による第１のＬＤＭを応用したさらに
他の搬送装置の説明図

【図７】 本発明による第１のＬＤＭを用いた第１の搬
送装置の説明図

【図８】 図７に示す装置要部の拡大図

【図９】 図８に示す接触子の実施例を示す断面図

【図10】 無鉄心・可動磁石型ＬＤＭの説明図

【図11】 有鉄心・可動磁石型ＬＤＭの説明図

【図12】 接触給電方式による従来のＬＤＭの説明図

【符号の説明】 ２はコイル 3,58,59 は永久磁石 ４はホルダー（可動体） 21,25 はリニア直流モータ 22は鉄心 26はコイル巻回端の外部接続用端子 27,28 は導体レールに接触する接触子 29,30 は導体レール 31,51,56,61,71は搬送装置 32は固定基台 35は搬送用台車 36は棒状非磁性部材 57は軟磁性体 73,74 はコイル端子に接触する接触子

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定体には可動体(4) の移動方向に整列
   し該可動体の移動に際して順次所定電流を流す多数の環
   状コイル(2) を具え、該可動体には同性極面が該コイル
   を挟んで対向する一対の永久磁石(3) を具え、整列し連
   通する該コイルの中心孔には該コイルの整列方向に該永
   久磁石の磁気力によって該可動体と共に移動する鉄心(2
   2)が挿入されてなること、を特徴とするリニア直流モー
   タ。
2. 【請求項２】 固定体には可動体(4) の移動方向に整列
   し該可動体の移動に際して順次所定電流を流す多数の環
   状コイル(2) を具え、該可動体には一対の垂片が該コイ
   ルを挟んで対向するコ字形断面の軟磁性体(57)を具え、
   整列し連通する該コイルの中心孔には、該軟磁性体の垂
   片に向けて磁束を発生し同性極面を背中合わせに接合し
   た一対の永久磁石(58,59) が、該コイルの整列方向へ該
   永久磁石の磁気力によって該可動体と共に移動可能に挿
   入されてなること、を特徴とするリニア直流モータ。
3. 【請求項３】 固定体には可動体(4) の移動方向に整列
   し該可動体の移動に際して順次所定電流を流す多数の環
   状コイル(2) を具え、該可動体には同性極面が該コイル
   を挟んで対向する一対の第１の永久磁石(3) を具え、整
   列し連通する該コイルの中心孔には、該第１の永久磁石
   に対し異性極面が対向するように接合した一対の第２の
   永久磁石(58,59) が、該コイルの整列方向へ該第１およ
   び第２の永久磁石の磁気力によって該可動体と共に移動
   可能に挿入されてなること、を特徴とするリニア直流モ
   ータ。
4. 【請求項４】 請求項１または請求項２または請求項３
   記載のリニア直流モータにおいて、整列し連通する前記
   多数のコイル(2) の中心孔にはロ字形断面の棒状非磁性
   部材(36)が貫通し、請求項１記載の鉄心(22)または請求
   項２記載の一対の永久磁石(58,59) または請求項３記載
   の一対の第２の永久磁石(58,59) には、該棒状非磁性部
   材の内面に沿って転動する回転体(37)を設けたこと、を
   特徴とするリニア直流モータ。
5. 【請求項５】 請求項４記載の回転体(37)がボールベア
   リングであること、を特徴とするリニア直流モータ。
6. 【請求項６】 固定体(32)には可動体(4) の移動方向に
   整列し該可動第の移動に際して順次所定電流を流す多数
   の環状コイル(2) と該コイルの整列方向に延在する一対
   の導体レール(29,30) とを具え、該コイルの巻回端には
   外部接続用端子(26)を設け、該可動体には同性極面が該
   コイルを挟んで対向する一対の永久磁石(3) を具え、整
   列し連通する該コイルの中心孔には該コイルの整列方向
   に該永久磁石の磁気力によって該可動体と共に移動する
   鉄心(22)を挿入し、該鉄心には該一対の導体レールにそ
   れぞれが接触する一対の第１の接触子(27,28) と該端子
   が接触する第２の接触子(73,74) とを具えてなること、
   を特徴とするリニア直流モータ。
7. 【請求項７】 請求項６記載のリニア直流モータにおい
   て、前記一対の導体レール(29,30) が整列し連通する前
   記コイルの中心孔内に配設されてなることを特徴とする
   搬送装置。
8. 【請求項８】 請求項１または請求項２または請求項３
   または請求項４または請求項５または請求項６記載の可
   動体(4) が、所望物体搬送用の台車(35)に装着されてな
   ること、を特徴とする搬送装置。