JPH075664Y2 - 基板収納用具 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体関連のマスク原板，フォトマスク板，
ウエーハ，ハードディスクその他のディスク状媒体など
の基板を損傷，汚染から防いで安全に輸送又は保管する
ために用いられる基板支持構造の改良、特に運搬用ケー
ス内に安全に整理収容するマスクなどの基板を担持する
基板収納用具に関するものである。

〔従来の技術〕

一般に、半導体関連のマスク原板などの基板は、その取
扱いが極めてクリーンな状態で要求され、クリーンルー
ム内での取扱いが普通で、このマスクを損傷，汚染から
守るために取扱上、運搬用の密閉容器内に多数枚を安全
に配列保持収容することが知られている。

従来、この輸送用容器内では、多数枚の各マスクを互い
に接触しないように一定間隔をおいて個別に収容するの
に、マスク嵌合用の溝や弾性片を持ったマスク収納内箱
などにより弾性的に保持して、輸送中の振動によるマス
クの破損やガタつき摩擦接触によって生ずる微粉によっ
てマスクが汚染されないようにして使用されることが多
い。

〔考案が解決しようとする課題〕

ところが、従来の弾性部材のマスク収納容器は、多数の
収納溝をリブで箱内側に設けたり、多数の収納溝を形成
した内箱を用いたりしているが、この収納溝を箱状で一
体成形する際には抜き勾配が必要であるために収納され
るマスクなどの基板に対してはガタが生ずる結果とな
り、輸送中の振動によってマスクと絶えず滑りながら接
触し微粉を生ずるため、或いは蓋体開閉時の取扱いによ
る摩擦接触で微粉発生となるためマスクの汚染防止とい
う点では完全なものではなく、しかもマスクを個別に支
持するものであるため、それぞれは隣接する弾性片と所
定の間隙を保って独立していることが必要で、これが狭
すぎると成形時の金型の強度が維持しにくくなり、取扱
上煩雑となるなどの欠点があり、殊にマスクの収納枚数
の変更が不可能で20〜30枚収納用の容器を一体成形する
と成形用金型も割り高となるほか無駄なスペースとなる
こともあって、不経済かつコスト割り高となるなど問題
があった。

本考案では、これら従来の諸問題を解決しようとするも
ので、マスクなどの基板の安定した担時が可能で、収納
基板の枚数変更にも簡単にでき、しかもガタが少なく担
持させることができ取扱操作も簡便にできるマスク等用
収納用具を構成容易で安価に提供することを目的とした
ものである。

〔課題を解決するための手段〕

本考案は、マスクなどの基板Ｍを一定間隙を置いて挾持
しうるように略々Ｕ字形枠体２の両側内面にリブ１を突
設し、かつ枠体底部に支承突起部６を対向配備すると共
に、該枠体２の上端および底部両側に挿通孔３を設けた
り基板支承部材を多数並列して前記挿通孔３に支扞５を
挿入締結して一体化したことを特徴とするマスク等の基
板収納用具である。

〔作用〕

本考案のマスク等の基板収納用具では、Ｕ字形枠体２の
基板支承部材を多数並列して挿通孔３に支扞５を挿入締
結して一体化すると各部材の両側内面にあるリブ１間に
基板収納溝が形成され、該基板収納溝の上面に開放され
た開口から基板Ｍを嵌入して枠体底部の支承突起部６上
に載せると、基板Ｍの座りが良く担持され、容器内での
保持維持が適確で安定した状態で収納でき、しかも基板
Ｍは収納溝の隙間をおいてそれぞれ個別に支持されるた
め、輸送中における振動に充分に対応し、安全性が大幅
に高められ基板がリブから外れて他の部品と接触し微粉
を発生したり、損傷を受ける恐れがなく用いられるし、
基板支承部材を外容器に出入れでき洗浄したり基板の出
し入れや閉蓋などの取扱も簡便安全にできてマスクなど
の基板の取扱い並びに基板の収納，保管，運搬の各作業
に良好に用いられるものである。

〔実施例〕

本考案の詳細を第１〜５図に示す実施例に基づいて説明
すると、マスクなどの基板Ｍを一定間隙を置いて挾持し
うるように略々Ｕ字形枠体２の両側内面に断面山形の弾
性または剛性値の高いリブ１を突設し、かつ枠体底部に
支承突起部６を対向配備すると共に、該枠体２の上端お
よび底部両側に挿通孔３を設けた基板支承部材を多数並
列して前記挿通孔３に支扞５を挿入しナット８で締結し
て一体化して基板収納用具としたものである。

この場合、前記枠体２としては、その両外側上下位置に
取付部４を突設し、該取付部４に前記挿通孔３を形成し
底面に脚部７を突設してあり、第６図のように突設した
前記リブ１に代えて凹溝1₁を形成してもよい。

第７図の具体例では、前記枠体２としてその隣接される
枠体２の両接合面に片寄ったリブ１を間隔をおいて一対
配備しＶ字状凹溝1₁を形成した基板収納用具としたもの
である。

第８図の例では前記枠体２に前記リブ１を間隔をおいて
複数配列したものである。なお前記リブ１で形成される
マスク収納溝は内方に行くに従って広がるＶ形斜面とな
るように対向配置すると共に、マスク側面と接触する側
受面で基板Ｍを弾性的に保持し、輸送中の振動に備えて
いる。

この場合、前記弾性リブ１のある枠体２は合成樹脂材料
で一体成形されたものであって、前記枠体２のそれぞれ
対向する内側面は二つとも互いに櫛状に弾性リブ１を設
けて基板収納溝を形成し、基板Ｍの大小異なる寸法のも
のを選んで収納できるようにしてあり、かつ基板Ｍが常
に溝中央にセットされるように斜面のある山形リブが突
設されていて、基板Ｍが片寄って担持されることがない
ようにすることが配置されている。

第９図例では基板支承部材の弾性リブ１の一山を一単位
として枠体２同士の接合面に凹凸部11,12又は係止段部
を形成しておき重ね合わせ連結一体化したときのズレ防
止構造としたものである。

これらのいずれの実施例においても弾性リブ１の山を複
数備えたものを一単位とした基板支承部材としてもよ
い、これら複数山の一単位したものと、一山を一単位と
したものの組合せ結合して一体化し外箱内にセットする
こともできる。また枠体２の内面は略々Ｕ字状にしてあ
るが底面部分を円弧状にして円盤状のディスクの支承部
材としてもよい。

〔考案の効果〕

本考案は、マスクなどの基板を一定間隔を置いて挾持し
うるように略々Ｕ字形枠体の両側内面にリブを突設し、
かつ枠体底部に支承突起部を対向配備すると共に、該枠
体の上端および底部両側に挿通孔を設けた基板支承部材
を多数並列して前記挿通孔に支扞を挿入締結して一体化
したことにより基板支承部材の枚数を変更することで基
板の収納量を自由に変えることができ収納ケース構成が
迅速かつ容易で単純作業での多量処理を安全に行うこと
が可能となり、基板は常に支承部材内でガタなく支持さ
れて接触されるのは基板端縁の一部のみで担持ができ、
挿入時および挿入後の輸送中または保管中において、基
板が容器内の収納溝から外れたりすることなく、かつガ
タつかないで振動に耐え他の部品との接触による微粉発
生や損傷を受ける恐れがなく、しかも成形金型代の節減
が可能で大きな衝撃に対しても安全で基板の損傷を防
ぎ、容器との接触によって生ずる微粉発生も少なく容器
密閉維持も適確で汚染も可及的に減少でき、基板の容器
内における安定した担持ができ、精度を著しく向上で
き、担持させる取扱操作も簡便であるなどの実用上の効
果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示し、第１図は正面図、第２図
は平面図、第３図は側面図、第４図は第１図A-A線にお
ける縦断面図、第５図は使用状態の側面図、第６図乃至
第９図はそれぞれ他の実施例の平面図である。 Ｍ……基板、１……リブ、２……枠体、３……挿通孔、
４……取付部、５……支扞、６……支承突起部、７……
脚部、８……ナット。

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】マスクなどの基板（Ｍ）を一定間隙を置い
   て挾持しうるように略々Ｕ字形枠体（２）の両側内面に
   リブ（１）を突設し、かつ枠体底部に支承突起部（６）
   を対向配備すると共に、該枠体（２）の上端および底部
   両側に挿通孔（３）を設けた基板支承部材を多数並列し
   て前記挿通孔（３）に支扞（５）を挿入締結して一体化
   したことを特徴とする基板収納用具。
2. 【請求項２】前記枠体（２）が、その両外側上下位置に
   取付部（４）を突設し、該取付部（４）に前記挿通孔
   （３）を形成し、底面に脚部（７）を突設した請求項１
   記載の基板収納用具。
3. 【請求項３】前記枠体（２）が、前記リブ（１）を間隔
   をおいて複数配列した請求項１または２記載の基板収納
   用具。
4. 【請求項４】前記枠体（２）が、その隣接される枠体
   （２）の両接合面に片寄ったリブ（１）を間隔をおいて
   一対配備したＶ字状凹溝を形成した請求項１または２記
   載の基板収納用具。
5. 【請求項５】前記支承突起部（６）が弾性片で基板
   （Ｍ）を弾性的に受けるものである請求項1,2,3または
   ４記載の基板収納用具。