JPH07335689A - リードフレームクランプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】リードフレームのタイバーに対して段差を有し
た状態になったヘッダーとセカンドリードとを確実にク
ランプする。 【構成】ヘッダー保持機構６０およびワーク保持機構５
０が、昇降機構７０によって一体となって上昇された状
態で、位置決め機構３０によってリードフレームが位置
決めされる。このような状態で、昇降機構７０によって
ヘッダー保持機構６０およびワーク保持機構５０が、そ
れぞれ別個に下降され、片持ち状態のヘッダー押圧部が
リードフレームのヘッダーに当接して押圧するととも
に、ワーク保持機構５０の下降によって、片持ち状態の
セカンドリード押圧部がリードフレームのセカンドリー
ドに当接して押圧する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造工程
においてリードフレームをクランプするために使用され
るリードフレームクランプ装置に関し、特に、半導体チ
ップがマウントされるヘッダーと、ヘッダーの側方に配
置されて半導体チップとワイヤーボンディングされるリ
ードとが、タイバーに対して段差を有した状態になって
いるリードフレームをクランプするために使用されるリ
ードフレームクランプ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】発光素子、受光素子、ＩＣ、ＬＳＩ等の
半導体素子は、通常、リードフレームの島状になったヘ
ッダー上に半導体素子チップがマウントされて、ヘッダ
ーの側方に配置されたセカンドリードと半導体素子チッ
プとが、ボンディングワイヤーによってワイヤーボンデ
ィングされるようになっている。

【０００３】図６（ａ）および（ｂ）にＬＳＩの一例を
示す。このＬＳＩは、平坦になったリードフレーム８１
の島状のヘッダー８１ａ上にＬＳＩチップ８２がマウン
トされており、ヘッダー８１ａと同じ高さになったセカ
ンドリード８１ｂと、ヘッダー８１ａ上にマウントされ
たＬＳＩチップ８２上面とが、ボンディングワイヤー８
３によってワイヤーボンディングされている。

【０００４】図７（ａ）および（ｂ）は、このようなＬ
ＳＩのＬＳＩチップ８２とセカンドリード８１ｂとをワ
イヤーボンディングする際に、リードフレーム８１をク
ランプするリードフレームクランプ装置の一例を示して
いる。平坦になっているリードフレーム８１は、内部に
ヒーター８４ａが収容されたヒーターブロック８４の平
坦な上面に載置されて、位置決めピン８５によって位置
決めされている。ヒーターブロック８４上面に位置決め
されたリードフレーム８１は、クランプ板８６によって
固定されるようになっている。

【０００５】クランプ板８６は、支持ブロック８７に片
持ち状態で、ほぼ水平に支持されており、その先端部に
開口部８６ａが形成されている。この開口部８６ａ内に
は、リードフレーム８１の島状になったヘッダー８１ａ
が内部に収容されるようになっており、この開口部８６
ａの周縁部に、リードフレーム８１の各セカンドリード
８１ｂに対向するように、下方に突出したセカンドリー
ド押圧部８６ｂが設けられている。支持ブロック８７の
下降によってクランプ板８６が下降すると、押圧部８６
ｂはリードフレーム８１の各セカンドリード８１ｂ上面
に当接して、各セカンドリード８１ｂが押圧されるよう
になっている。

【０００６】クランプ板８６を支持する支持ブロック８
７は、支柱８８の上面に立設された支持軸８９に、ロッ
クビス８９ａによって、取り替え可能に固定されてい
る。

【０００７】このように、段差がなく平坦なリードフレ
ーム８１は、クランプ板８６の押圧部８６ａによって、
ヒーターブロック８４の平坦な上面に圧接されて、リー
ドフレーム８１は、ヒーターブロック８４から浮き上が
ることなく固定される。

【０００８】また、段差がなく平坦なリードフレーム８
１を、セカンドリード８１ｂのみならず、ヘッダー８１
ａの浮き上がりを防止して、リードフレーム８１を、一
層、確実に固定するために、図８（ａ）および（ｂ）に
示すように、クランプ板８６上にヘッダー押圧板８６ｃ
を取り付けることも行われている。このヘッダー押圧板
８６ｃは、開口部８１ａの対向する側縁に沿った一対の
アーム部８６ｇの先端が、開口部８１ａ内に進入するよ
うに、相互に接近する方向に延出したヘッダー押圧部８
６ｆになっており、各ヘッダー押圧部８６ｆの先端が下
方に突出した状態になっている。各ヘッダー押圧部８６
ｆの先端部は、リードフレーム８１のヘッダー８１ａに
接続された一対のタイバー８１ｄの上面に対向してい
る。

【０００９】このような構成では、クランプ板８６が下
降して、リードフレーム８１のセカンドリード８１ｂが
開口部８６ａ周縁部のセカンドリード押圧部８６ｂによ
って押圧されるとともに、各ヘッダー押圧部８６ｆは、
リードフレーム８１におけるヘッダー８１ａが接続され
たタイバー８１ｄの上面に圧接され、ヘッダー８１ａの
浮き上がりも確実に防止される。

【００１０】しかしながら、このように、段差がなく平
坦なリードフレームを使用したＬＳＩでは、ヘッダー８
１ａ上にＬＳＩチップ８２がマウントされて、ヘッダー
８１ａと同じ高さになった各セカンドリード８１ｂとＬ
ＳＩチップ８２上面とをボンディングワイヤー８３によ
ってワイヤーボンディングするために、セカンドリード
８１ｂ上面とＬＳＩチップ８２上面との間に大きな段差
が形成されている。その結果、図６（ａ）および（ｂ）
に二点鎖線で示すように、ボンディングワイヤー８３が
垂れて、ボンディングワイヤー８３とヘッダー８１ａと
が接触してショートしたり、隣接するワンディングワイ
ヤー８３同士が接触してショートするおそれがある。

【００１１】このような問題を解消するために、図９に
示すように、リードフレーム８１のヘッダー８１ａの中
央部に、段差によって全体が窪んだ凹部８１ｅを形成し
て、この凹部８１ｅ内にＬＳＩチップ８２をマウントす
ることも行われている。この場合には、ヘッダー８１ａ
の凹部８１ｅ内にマウントされたＬＳＩチップ８２上面
と、セカンドフレーム８１ｂ上面との段差が小さくな
り、ボンディングワイヤー８３のループを短くすること
ができる。従って、ボンディングワイヤー８３が垂れて
ヘッダー８１ａにショートしたり、隣接するボンディン
グワイヤー８３同士がショートすることを防止すること
ができる。

【００１２】このように、ヘッダー８１ａに凹部８１ｅ
が形成されたリードフレーム８１をクランプする場合に
は、図９に示すように、クランプ装置のヒーターブロッ
ク８４の上面には、ヘッダー８１ａの凹部８１ｅが嵌合
される凹部８４ｂが設けられる。このようなヒーターブ
ロック８４によって、クランプ板８６における開口部８
６ａの周縁部に形成されたセカンドリード押圧部８６ｂ
によって、リードフレーム８１は安定した状態で固定さ
れる。

【００１３】このように、半導体装置としてのＬＳＩ
は、リードフレーム８１のヘッダー８１ａ上に、１つの
ＬＳＩチップ８２をマウントして、ＬＳＩチップ８２上
面と多数のセカンドリード８１ｂとの間を、多数のボン
ディングワイヤー８３にてワイヤーボンディングする構
成であるが、発光素子、受光素子等の光学素子では、リ
ードフレームのヘッダー上にマウントされた１つの発光
素子チップ等が、１つのセカンドリードに対して１本の
ボンディングワイヤーによってワイヤーボンディングさ
れるようになっている。

【００１４】図１０（ａ）〜（ｃ）に、発光素子の一例
を示す。この発光素子は、リードフレーム１１のヘッダ
ー１１ａと、その側方に延出したセカンドフレーム１１
ｂとが、タイバー１１ｃによって連結された状態になっ
ている。ヘッダー１１ａおよびセカンドリード１１ｂの
先端部は、タイバー１１ｃに対して、段差が形成されて
下方に段落ちした状態になっており、段落ちしたヘッダ
ー１１ａとセカンドリード１１ｂの先端部とが同一平面
上に位置している。そして、ヘッダー１１ａ上に発光素
子チップ１２がマウントされており、発光素子チップ１
２上面と、ヘッダー１１ａの側方のセカンドリード１１
ｂとが、ボンディングワイヤー１４によってワイヤーボ
ンディングされている。

【００１５】このような発光素子では、例えば受光素子
と対向させてフォトカプラを構成する場合のように、発
光素子チップ１２の上方に適当な余裕がないときには、
図１０（ｃ）に示すように、ボンディングワイヤー１４
のループを高くすることができず、同図の二点鎖線で示
すように、ボンディンワイヤー１４が発光素子チップ１
２のエッジに接触してショートするおそれがある。

【００１６】このために、図１１（ａ）に示すように、
セカンドリード１１ｂの段落ち量を、ヘッダー１１ａの
段落ち量よりも小さくして、セカンドリード１１ｂがヘ
ッダー１１ａよりも上方に位置するリードフレーム１１
が使用される。このような構成のリードフレーム１１で
は、発光素子チップ１２と、セカンドリード１１ｂとの
段差が小さく、ボンディングワイヤー１４は、ループが
低くても発光素子チップ１２のエッジに接触するおそれ
がない。

【００１７】リードフレーム１１は、図１１（ｂ）およ
び（ｃ）に示すように、タイバー１１ｃによって複数が
連結された状態の連結リードフレーム体１０とされて、
各リードフレーム１１がそれぞれクランプされた状態
で、複数のリードフレーム１１における発光素子１２と
セカンドリード１１ｂとが、同時にワイヤーボンディン
グされるようになっている。

【００１８】図１１に示すリードフレーム１１のセカン
ドリード１１ｂは、先端がヘッダー１１の先端に達する
ように長く延出した状態になっているが、必要に応じ
て、図１２に示すように、ヘッダー１１ａに達しないよ
うに短く延出した状態とされる。図１２は、発光素子と
受光素子とを相互に対向させて構成されたフォトカプラ
を示している。このフォトカプラは、リードフレーム１
１に発光素子チップがマウントされた発光素子に対し
て、受光素子が対向して配置されている。受光素子は、
リードフレーム１１のヘッダー１１ａ上に受光素子チッ
プ１３がマウントされて受光素子チップ１３とセカンド
リード１１ｂとがボンディングワイヤー１４によってワ
イヤーボンディングされている。

【００１９】図１３は、図１１に示す連結リードフレー
ム体１０の各リードフレームをワイヤーボンディングす
る際に、連結リードフレーム体１０を固定するために使
用されるクランプ装置の要部の概略正面図、図１４はそ
の概略平面図、図１５はその全体を示す概略正面図であ
る。連結リードフレーム体１０は、ヒートコマ９１ｂの
所定位置に、各リードフレーム１１のヘッダー１１ａお
よびセカンドリード１１ｂが載置されるように、位置決
めピン９２によって位置決めされている。ヒートコマ９
１ｂは、内部にヒーター９１ｆが配置されたヒートブロ
ック９１ａ上に設けられている。

【００２０】ヒートブロック９１ａの側方には、支持ブ
ロック９６ｂに水平状態で支持されたクランプ板９５が
配置されており、このクランプ板９５に、各リードフレ
ーム１１のヘッダー１１ａを押圧するヘッダー押え板９
３が片持ち状態でほぼ水平に支持されるとともに、各リ
ードフレーム１１のセカンドリード１１ｂおよびタイバ
ー１１ｃを押圧するワーク押さえ板９４が片持ち状態で
ほぼ水平に支持されている。ヘッダー押え板９３の先端
部には、４つのヘッダー押圧部９３ａが延出している。
各ヘッダー押圧部９３ａの先端部は、リードフレーム１
１の各ヘッダー１１上にそれぞれ対向するように下方に
突出した状態になっている。

【００２１】ワーク押え板９４は、ヘッダー押え板９３
の両側に沿って水平状態で延出する一対のアーム部９４
ｄが、クランプ板９５上に、片持ち状態で支持されてい
る。そして、各アーム部９４ｄの先端部間には、各ヘッ
ダー押圧部９３ａ先端に対して若干の間隙をあけた状態
でワーク押圧部９４ｅが架設されている。ワーク押圧部
９４ｅは、ヘッダー押圧部９３ａの先端に対向した側縁
部に、４つのセカンドリード押圧部９４ａおよび４つの
タイバー押圧部９４ｂが、それぞれ切欠部を挟んで交互
に並んで配置されている。各セカンドリード押圧部９４
ａおよび各タイバー押圧部９４ｂの先端部は下方に突出
した状態になっており、その突出部によって、各リード
フレーム１１におけるセカンドリード１１ｂおよびタイ
バー１１ｃが押圧されるようになっている。

【００２２】クランプ板９５が取り付けられた支持ブロ
ック９６ａは、垂直状態になった支持軸９６ｂに嵌合さ
れて、ロックビス９６ｃによって、取り替え可能に固定
されている。支持軸９６ｂは、取付ブロック９６ｄ上に
垂直状態で支持されており、この取付ブロック９６ｄ
が、ベース板９６ｅ上に固定されている。ベース板９６
ｅの先端部には、高さ調整用ビス９６ｆが垂直状態で螺
合されて、ベース板９６ｅを貫通している。

【００２３】図１６（ａ）は、連結リードフレーム体１
０の各リードフレーム１１を支持するヒートコマ９１ｂ
の断面図、図１６（ｂ）は図１６（ａ）のＣ−Ｃ線にお
ける断面図である。ヒートコマ９１ｂは、連結リードフ
レーム体１０における各リードフレーム１１のヘッダー
１１ａが載置される第１ステージ９１ｃを有しており、
第１ステージ９１ｃ上には、各リードフレーム１１のセ
カンドリード１１ｂが載置される４つの第２ステージ９
１ｄが、それぞれ所定の間隔をあけて配置されている。

【００２４】図１５に示すように、ベース板９６ｅは、
上下方向に延びるスライドロッド９６ｋの上端部に水平
状態で支持されており、スライドロッド９６ｋは、架台
上に支持されたガイドブロック９６ｇに上下方向へのス
ライド可能に支持されている。スライドロッド９６ｋ
は、ガイドブロック９６ｇに対して引っ張りバネ９６ｈ
によって下方に付勢された状態になっている。ガイドブ
ロック９６ｇには、ベース板９６ｅの先端部に取り付け
られた高さ調整用ビス９６ｆの下端が当接するストッパ
ーブロック９６ｍが設けられている。

【００２５】スライドロッド９６ｋにはクランプ用カム
フォロア９６ｎが設けられており、このカムフォロア９
６ｎは、円板状のクランプ用カム９６ｐに上側から圧接
されている。クランプ用カム９６ｐは、モーター９７ａ
の回転が伝達されて回転されるようになっている。

【００２６】クランプ用カム９６ｐには、位置決め用カ
ム９７ｂが同軸状態で設けられており、この位置決め用
カム９７ｂに、位置決め用カムフォロア９７ｄが下側か
ら圧接されている。位置決め用カムフォロア９７ｄは、
位置決めピン９２を支持するスライドロッド９７ｃに一
体的に取り付けられている。スライドロッド９７ｃはガ
イドブロック９７ｆに上下方向へのスライド可能に支持
されている。スライドロッド９７ｃは、ガイドブロック
９７ｆに対して、引っ張りバネ９７ｅによって上方に付
勢されている。

【００２７】位置決めピン９２は、位置決め用カム９７
ｃの回転によって昇降し、連結リードフレーム体１０が
搬送された際に上昇して、連結リードフレーム体１０に
設けられた位置決め孔内に挿入される。これにより、連
結リードフレーム体１０は、各リードフレーム１１のヘ
ッダー１１ａおよびセカンドリード１１ｂがヒートコマ
９１ｂ上に載置された状態に位置決めされる。

【００２８】連結リードフレーム体１０がこのようにヒ
ートコマ９１ｂ上に位置決めされると、クランプ用カム
９６ｐの回転によって、スライドロッド９６ｋが引っ張
りバネ９６ｈの引っ張り力によって下降し、支持ブロッ
ク９６ａと一体となってクランプ板９５が下降する。こ
れにより、ヘッダー押え板９３およびワーク押え板９４
が一体となって下降して、各ヘッダー押圧部９３ａが各
リードフレーム１１のヘッダー１１ａ先端部を第１ステ
ージ９１ｃに押圧するとともに、各セカンドリード押圧
部９４ａが各リードフレーム１１のセカンドリード１１
ｂを第２ステージ９１ｄに押圧する。このとき、ワーク
押え板９４の各タイバー押圧部９４ｂは、各リードフレ
ーム１１のタイバー１１ｃに圧接されて、各タイバー１
１ｃを下方に押圧する。これにより、連結リードフレー
ム体１０の各リードフレーム１１は、ヒートコマ９１ｂ
上に所定の状態でクランプされる。各リードフレーム１
１のクランプ力は、引っ張りバネ９６ｈの引っ張り力に
よって決定される。

【００２９】このような状態で、ヒーターブロック９１
ａ内のヒーター９１ｆによってヒーターコマ９１ｂが２
８０℃に加熱されつつ、超音波振動が与えられて、ヘッ
ダー１１ａ上にマウントされた発光素子１２の上面とセ
カンドリード１１ｂとが、ボンディングワイヤー１４に
よってワイヤーボンディングされる。

【００３０】

【発明が解決しようとする課題】連結リードフレーム体
１０における各リードフレーム１１のヘッダー１１ａお
よびセカンドリード１１ｂは、タイバー１１ｃに対して
屈曲されて段落ちした状態になっている。このような構
造であるために、各リードフレーム１１のヘッダー１１
ａとセカンドリード１１ｂとが、所定の段差を有するよ
うに、正確に屈曲加工することは容易でなく、ヘッダー
１１ａとセカンドリード１１ｂとの段差にばらつきが生
じる。また、クランプ装置によってクランプされる４つ
のリードフレーム１１の全てのヘッダー１１ａが同一平
面内に位置するように、また、全てのセカンドリード１
１ｂも同一平面内に位置するように加工することも容易
ではない。

【００３１】クランプ装置におけるヘッダー押え板９３
とワーク押え板９４とは一体的に下降して各リードフレ
ーム１１をクランプするようになっている。このため
に、各リードフレーム１１のヘッダー１１ａとセカンド
リード１１ｂとの段差が正確に設定されている場合に
は、図１６に示すように、ヘッダー押圧部９３ａがヘッ
ダー１１ａに当接してヘッダー１１ａをヒートコマ９１
ｂの第１ステージ９１ｃ上に確実に押しつけることがで
きるとともに、セカンドリード押圧部９４ａがセカンド
リード１１ｂに当接してセカンドリード１１ｂを第２ス
テージ９１ｄ上に確実に押しつけることができる。その
結果、ヘッダー１１ａおよびセカンドリード１１ｂは、
第１ステージ９１ｃおよび第２ステージ９１ｄからの浮
き上がりが防止された状態で、ヒートコマ９１ｂによっ
て加熱されつつ、超音波振動が付与された状態で、ワイ
ヤーボンディングされる。

【００３２】しかし、図１７（ａ）および（ｂ）に示す
ように、ヘッダー１１ａとセカンドリード１１ｂとの間
の段差が、正規の寸法よりも小さい場合には、セカンド
リード１１ｂがヒートコマ９１ｂの第２ステージ９１ｄ
上に載置されると、ヘッダー１１ａは第１ステージ９１
ｃから浮き上がった状態になり、第１ステージ９１ｃか
ら浮き上がった状態のヘッダー１１ａにヘッダー押圧部
９３ａが当接する。ヘッダー押圧部９３ａは片持ち状態
で支持されたヘッダー押え板９３の先端部に設けられて
いるために、上下方向へのバネ性を有しており、浮き上
がった状態のヘッダー１１ａに当接することにより、若
干、ヘッダー１１ａを下降させることはできるが、ヘッ
ダー１１ａをヒートコマ９１ｂの第１ステージ９１ｃに
確実に押しつけることはできない。その結果、ヒートコ
マ９１ｂの超音波振動がヘッダー１１ａおよびセカンド
リード１１ｂに確実に伝達されず、ボンディングワイヤ
ーをボンディングすることができないおそれがある。

【００３３】また、図１７（ｃ）および（ｄ）に示すよ
うに、ヘッダー１１ａとセカンドリード１１ｂとの間の
段差が、正規の寸法よりも大きい場合には、ヘッダー１
１ａがヒートコマ９１ｂの第１ステージ９１ｃ上に載置
されると、セカンドリード１１ｂは第２ステージ９１ｄ
から浮き上がった状態になり、第２ステージ９１ｄから
浮き上がった状態のセカンドリード１１ｂにセカンドリ
ード押圧部９４ａが当接する。セカンドリード押圧部９
４ａはワーク押圧部９４ｅに対して片持ち状態で支持さ
れているために、上下方向へのバネ性を有しており、浮
き上がった状態のセカンドリード１１ｂに当接して、若
干、セカンドリード１１ｂを下降させることはできる
が、セカンドリード１１ｂをヒートコマ９１ｂの第２ス
テージ９１ｄに確実に押しつけることはできない。その
結果、ヒートコマ９１ｂの超音波振動がヘッダー１１ａ
およびセカンドリード１１ｂに確実に伝達されず、ボン
ディングワイヤーをボンディングすることができないお
それがある。

【００３４】さらに、連結リードフレーム体１０におけ
る４つのリードフレーム１１の全てのヘッダー１１ａお
よびセカンドリード１１ｂをヒートコマ９１ｂの第１ス
テージ９１ｃおよび第２ステージ９１ｄに確実に押しつ
けることも容易ではない。

【００３５】ヘッダー押え板９３の各ヘッダー押圧部９
３ａ、ワーク押え板９４の各セカンドリード押圧部９４
ａのバネ性を大きくすることにより、浮き上がった状態
のヘッダー１１ａおよびセカンドリード１１ｂを、ヒー
トコマ９１ｂに圧接することができるが、ワーク押え板
９４の側方には、位置決めピン９２が配置されているた
めに、ワーク押え板９４を長くして、セカンドリード押
圧部９４ａのバネ性を大きくすることはできない。

【００３６】さらに、このようなクランプ装置は、他の
異なる構造のリードフレームをクランプする場合には、
クランプ板９５を支持する支持ブロック９６ａを、支持
軸９６ｂから取り外して、新たに、リードフレーム形状
に対応した押圧部を有するヘッダー押え板およびワーク
押え板が取り付けられた支持ブロックに取り替える必要
がある。

【００３７】例えば図１８（ａ）および（ｂ）に示すよ
うに、リードフレーム１１として、ヘッダー１１ａの中
央部が全体にわたって凹状に窪んだ状態になって、その
凹状に窪んだ部分内に発光素子１２がマウントされるよ
うなものであって、また、セカンドリード１１ｂがヘッ
ダー１１ａのタイバー１１ｃ側の側方にまで延出してい
るような場合には、前記クランプ装置とほぼ同様の構成
になった、ヘッダー１１ａを押圧するヘッダー押圧部９
３ａを有するヘッダー押え板９３と、セカンドリード１
１ｂを押圧すセカンドリード押圧部９４ａおよびタイバ
ー１１ｃを押圧するタイバー押圧部９４ｂを有するワー
ク押え板９４が設けられた支持ブロック９６ａが、支持
軸９６ｂに装着される。

【００３８】また、図１９（ａ）および（ｂ）に示すよ
うに、リードフレーム１１として、ヘッダー１１ａの上
部に凹部が設けられており、その凹部内に発光素子１２
がマウントされたものであって、セカンドリード１１ｂ
の延出長さが短い場合には、ヘッダー１１ａが連結され
たタイバー１１ｃを押圧するタイバー押圧部９４ｂと、
セカンドリード１１ｂが連結されたタイバー１１ｃを押
圧するタイバー押圧部９４ｄが設けられたワーク押え板
９４と、ヘッダー１１ａを押圧するヘッダー押圧部９３
ａを有するヘッダー押え板９３とが設けられた支持ブロ
ック９６ａが支持軸９６ｂに装着される。

【００３９】さらに、図２０（ａ）および（ｂ）に示す
リードフレーム１１では、一対のヘッダー１１ａが隣接
して配置されて、各ヘッダー１１ａ上に発光素子チップ
１２がマウントされている。そして、各発光素子チップ
１２の上面と、隣接する各ヘッダー１１ａとが、ボンデ
ィングワイヤー１４によってワイヤーボンディングされ
ている。このリードフレーム１１では、一方のヘッダー
１１ａが、セカンドリードとして機能している。このよ
うなリードフレーム１１をクランプする場合には、各ヘ
ッダー１１ａの先端部をそれぞれ押圧する一対のヘッダ
ー押圧部９３ｄを有するヘッダー押え板９３と、各ヘッ
ダー１１ａの基端部を押圧する一対のヘッダー基端部押
圧部９４ｅを有するワーク押え板９４が設けられた支持
ブロック９６ａが支持軸９６ｂに装着される。

【００４０】このように、支持ブロック９６ａには、支
持軸９６ｂに対して取り替え可能になっるように、支持
軸９６ｂの直径よりも若干大きな直径の嵌合孔が形成さ
れている。従って、支持ブロック９６ａと支持軸９６ｂ
との間に若干の間隙が形成されており、その間隙のため
に、ヘッダー押圧部９３ａ、セカンドリード押圧部９４
ａ等が、大きくがたつくおそれがある。

【００４１】このために、支持ブロック９６ａを交換し
た場合には、ヘッダー押え板９３およびワーク押え板９
４とクランプ板９５との間にシムを介在させて調整する
必要がある。しかし、このような調整方法では、微調整
することが容易ではなく、微調整に長時間を要するとい
う問題がある。また、支持ブロック９６ａが、一旦、支
持軸９６ｂから取り外されると、再度、同じ支持ブロッ
ク９６ａを支持軸９６ｂに装着しても、支持ブロック９
６ａは前と同様の状態に再現されるものではなく、従っ
て、この場合にも同様の調整が必要になる。

【００４２】これに対して、ヘッダー押え板９３および
ワーク押え板９４を一体化すれば、組立誤差がなくなっ
て両者の寸法精度は向上するために、シムによる微調整
が不要になり、リードフレーム１１に対するクランプ性
は向上する。しかし、ヘッダー押え板９３およびワーク
押え板９４を一体化すると、ヘッダー押圧部９３ａおよ
びセカンドリード押圧部９４ａに、それぞれ個別にバネ
性を持たすことができなくなり、前述したように、各リ
ードフレーム１１のヘッダー１１ａとセカンドリード１
１ｂとの段差がばらついている場合には、リードフレー
ム１１を安定して固定することが、一層、困難になる。

【００４３】本発明は、このような問題を解決するもの
であり、その目的は、リードフレームのタイバーに対し
て段差を有した状態になったヘッダーとセカンドリード
とを確実にクランプすることができるリードフレームク
ランプ装置を提供することにある。

【００４４】本発明の他の目的は、異なる構造のリード
フレームに対しても、調整が容易であって容易に対応す
ることができるリードフレームクランプ装置を提供する
ことにある。

【００４５】

【課題を解決するための手段】本発明のリードフレーム
クランプ装置は、半導体チップがマウントされるヘッダ
ー、および、ヘッダー上にマウントされた半導体チップ
とワイヤーボンディングされるセカンドリードが、それ
ぞれタイバーに対して段差を有するリードフレームをク
ランプするリードフレームクランプ装置であって、前記
ヘッダーおよびリードがそれぞれ所定位置になるよう
に、リードフレームを位置決めする位置決め機構と、水
平状態になったヘッダー押え取付板に片持ち状態で支持
されたヘッダー押え板の先端部に、前記位置決め機構に
よって位置決めされたリードフレームのヘッダーの上面
に対向するヘッダー押圧部が配置されたヘッダー保持機
構と、前記ヘッダー押え取付板の両側に沿ってアーム部
が水平状態で延出するように片持ち状態で支持されたワ
ーク押え取付板の各アーム部間に、前記ヘッダー押圧部
に対して間隙を有した状態でワーク押え板が架設されて
おり、そのヘッダー押圧部に近接した部分に、前記位置
決め機構によって位置決めされたリードフレームのセカ
ンドリードの上面に対向するセカンドリード押圧部が配
置されたワーク保持機構と、前記ヘッダー保持機構のヘ
ッダー押え取付板およびワーク保持機構のワーク押え取
付板を一体となって上昇させるとともに、それぞれを個
別に下降させる昇降機構と、を具備することを特徴とす
るものであり、それにより上記目的が達成される。

【００４６】前記ヘッダー保持機構は、ヘッダー押圧部
が下方へ付勢されており、その付勢力が調整可能である
とともに、前記ワーク保持機構は、リード押圧部が下方
に付勢されており、それぞれの付勢力が調整可能であ
る。

【００４７】前記ヘッダー保持機構は、位置決め機構に
て位置決めされたリードフレームのヘッダーに対してヘ
ッダー押圧部の位置を調整することができるとともに、
前記ワーク保持機構は、位置決め機構にて位置決めされ
たリードフレームのセカンドリードに対してセカンドリ
ード押圧部の位置を調整することができる。

【００４８】

【作用】本発明のリードフレームクランプ装置では、ヘ
ッダー保持機構およびワーク保持機構が、昇降機構によ
って一体となって上昇された状態で、位置決め機構によ
ってリードフレームが位置決めされる。このような状態
で、昇降機構によってヘッダー保持機構およびワーク保
持機構が、それぞれ別個に下降される。ヘッダー保持機
構の下降によって、片持ち状態のヘッダー押圧部がリー
ドフレームのヘッダーに当接してヘッダーを押圧する。
ワーク保持機構の下降によって、片持ち状態のセカンド
リード押圧部がリードフレームのセカンドリードに当接
してセカンドリードを押圧する。ヘッダー押圧部および
セカンドリード押圧部は、それぞれ個別に下降されるこ
とにより、ヘッダーおよびセカンドリードとの段差が一
定していない場合であっても、ヘッダーおよびセカンド
リードそれぞれを確実に押圧することができる。

【００４９】ヘッダー押圧部およびセカンドリード押圧
部は、それぞれ下方への付勢力を調整することにより、
ヘッダーおよびセカンドリードに対する押圧力を調整す
ることができる。また、ヘッダー押圧部およびセカンド
リード押圧部は、ヘッダーおよびセカンドリードに対す
る位置調整が可能であり、異なる構成のリードフレーム
であっても、ヘッダー押圧部およびセカンドリード押圧
部の付勢力および位置を調整することによって、リード
フレームのヘッダーおよびセカンドリードを確実に押圧
することができる。

【００５０】

【実施例】以下、本発明の実施例を、図面に基づいて詳
細に説明する。

【００５１】図１は、本発明のリードフレームクランプ
装置の一例を示す概略正面図、図２はその平面の概略拡
大図である。このクランプ装置は、例えば、図１１に示
す連結リードフレーム体１０をクランプするために使用
される。この連結リードフレーム体１０は、全てのリー
ドフレーム１１のヘッダー１１ａ上に、発光素子チップ
１２がマウントされている。リードフレームクランプ装
置は、ガイドレール２１（図２参照）上を搬送される連
結リードフレーム体１０を、位置決めしてクランプする
ようになっており、クランプされた連結リードフレーム
体１０の各発光素子チップ１２とセカンドリード１１ｂ
とが、それぞれワイヤーボンディングされる。

【００５２】本発明のリードフレームクランプ装置は、
図１に示すように、連結リードフレーム体１０を位置決
めする位置決め機構３０と、この位置決め機構３０によ
って位置決めされた連結リードフレーム体１０における
４つのリードフレーム１１のタイバー１１ｃおよびセカ
ンドリード１１ｂをそれぞれ押圧するワーク保持機構５
０と、４つのリードフレーム１１の各ヘッダー１１ａを
それぞれ押圧するヘッダー保持機構６０と、これらワー
ク保持機構５０およびヘッダー保持機構６０を上下方向
に移動させる昇降機構４０と、位置決め機構３０および
昇降機構４０を昇降駆動する昇降駆動機構７０とを有し
ている。

【００５３】昇降駆動機構７０は、架台７５上に載置さ
れた駆動モーター７１を有しており、このモーター７１
の回転が、ベルト伝動機構７２によって、位置決め用カ
ム７３およびクランプ用カム７４に伝達されるようにな
っている。位置決め用カム７３およびクランプ用カム７
４は、同軸状態で一体的に回転するように駆動モーター
７１の側方に配置されており、両者は、駆動モーター７
１の回転が伝達されて一体となって回転するようになっ
ている。

【００５４】位置決め用カム７３には、位置決め機構３
０の位置決め用カムフォロア３１が下側から圧接されて
おり、また、クランプ用カム７４には、昇降機構４０の
クランプ用カムフォロア４１が上側から圧接されてい
る。

【００５５】位置決め用カムフォロア３１は、水平状態
になった支持ロッド３２に回転可能に支持されており、
支持ロッド３２の駆動モーター７１側の端部が、垂直状
態になった位置決め用スライドロッド３４の下端部に取
り付けられている。位置決め用スライドロッド３４は、
架台７５上に支持された支持ブロック３３に、ガイドロ
ーラー（図示せず）によって上下方向へのスライド可能
に支持されている。従って、位置決め用カム７３の回転
によって位置決め用カムフォロア３１が上下方向に移動
すると、垂直状態になった位置決め用スライドロッド３
４は、位置決め用カムフォロア３１の上下方向への移動
に追従して上下方向に移動する。

【００５６】位置決め用スライドロッド３４の上端部に
は、水平状態になったピン支持板３５が支持されてい
る。このピン支持板３５は、位置決め用スライドロッド
３４から位置決め用カム７３の上方に延出した状態にな
っており、その延出した先端部に位置決めピン３６が、
上方に垂直状態で突出するように支持されている。位置
決めピン３６は、図２に示すように、連結リードフレー
ム体１０を搬送するガイドレール２１間に位置してお
り、スライドロッド３４が上方に移動することによっ
て、位置決めピン３６は連結リードフレーム体１０に設
けられた位置決め孔１０ｄ内に挿入される。これによ
り、連結リードフレーム体１０は、各リードフレーム１
１のヘッダー１１ａが、位置決め用スライドロッド３４
の遠方側に位置した状態で、各ガイドレール２１間に位
置決めされる。

【００５７】図１に示すように、位置決めピン３６の側
方には、ピン支持板３５に隣接して、ヒーターブロック
３７が設けられている。図３は、ヒーターブロック３７
の拡大正面図である。このヒーターブロック３７内には
ヒーター３８が配置されており、また、ヒーターブロッ
ク３７の上面には、連結リードフレーム体１０の各リー
ドフレーム１１におけるヘッダー１１ａおよびセカンド
リード１１ｂを支持するヒーターコマ３９が設けられて
いる。

【００５８】ヒーターコマ３９は、位置決めピン３６に
て位置決めされた連結リードフレーム体１０における各
リードフレーム１１のダイバー１１ｃが上方を通過する
第１ステージ３９ａと、各リードフレーム１１のタイバ
ー１１ｃに対して段差によって段落ちしたヘッダー１１
ａをそれぞれ支持する第２ステージ３９ｂとを有してい
る。第１ステージ３９ａおよび第２ステージ３９ｂの各
上面は、ほぼ水平状態になっており、第２ステージ３９
ｂ上面が第１ステージ３９ａ上面よりも下側に位置して
いる。そして、第２ステージ３９ｂ上の第１ステージ３
９ａに近接した部分に、ヘッダー１１ａよりも若干上方
に段落ちしたセカンドリード１１ｂを支持する４つの第
３ステージ３９ｃが、各リードフレーム１１の並設方向
に所定の間隔をあけて配置されている。

【００５９】第２ステージ３９ｂおよび第３ステージ３
９ｃの上面は、リードフレーム１１のヘッダー１１ａお
よびセカンドリード１１ｂがそれぞれ確実に圧接されて
支持されるように、±０．００５ｍｍの精度で鏡面加工
されている。

【００６０】図１に示すように、クランプ用カム７４に
圧接された昇降機構４０のクランプ用カムフォロア４１
は、水平状態になった支持ロッド４２の先端部に回転可
能に支持されている。支持ロッド４２は、垂直状態にな
ったクランプ用スライドロッド４４に取り付けられてい
る。このクランプ用スライドロッド４４は、クランプ用
カム７４を挟んで位置決め機構３０の位置決め用スライ
ドロッド３４に対向して配置されており、架台７１上に
支持された支持ブロック４３に、ガイドローラー（図示
せず）によって上下方向へのスライド可能に支持されて
いる。従って、クランプ用カム７４の回転に追従してク
ランプ用カムフォロア４１が上下方向に移動すると、ク
ランプ用スライドロッド４４は、クランプ用カムフォロ
ア４１に追従して上下方向に移動する。

【００６１】支持ブロック４３の中程には、クランプ用
カム７４の遠方側に水平状態で延出する支持板４６が取
り付けられており、また、この支持板４６の下側には、
支持板４６の先端よりもさらにクランプ用カム７４の遠
方側に水平状態で延出した取付板４７が設けられてい
る。

【００６２】クランプ用スライドロッド４４の上端部に
は、ベース板４８が水平状態で支持されている。このベ
ース板４８は、支持板４６および取付板４７の上方に水
平状態で延出している。そして、このベース板４８に、
各リードフレーム１１におけるタイバー１１ｃおよびセ
カンドリード１１ｂをそれぞれ上側から押圧して保持す
るワーク保持機構５０、および、各リードフレーム１１
のヘッダー１１ａをそれぞれ上側から押圧して保持する
ヘッダー保持機構６０が、それぞれ設けられている。

【００６３】図４は、図１のＡ−Ａ線における断面図で
ある。図４に示すように、ベース板４８は、先端側部分
の幅方向中央部が切欠されて二股状になっており、この
切欠部内には、ヘッダー保持機構６０の垂直方向に長く
延びるガイドブロック６１が嵌合した状態で取り付けら
れている。連結リードフレーム体１０の遠方側に位置す
るこのガイドブロック６１の側部には、ベースブロック
６２が、ガイドローラー（図示せず）によって上下方向
へスライドし得る状態で支持されている。図１に示すよ
うに、ベースブロック６２は、上部がクランプ用スライ
ドロッド４４側に水平状態で延出した状態になってい
る。

【００６４】図１および図４に示すように、ベースブロ
ック６２上には、平板状の硬質材料によって構成された
スペーサー６３を介して、固定ブロック６４が配置され
ている。この固定ブロック６４は、埋め込みビス６５
（図４参照）によってベースブロック６２に固定されて
いる。この固定ブロック６４は、ベースブロック６２の
水平状態となった上部と同様の大きさの平板状になって
おり、その上面の幅方向中央部に、長手方向の全体にわ
たって上方に突出する嵌合凸部６４ａが設けられてい
る。

【００６５】固定ブロック６４上には、ヘッダー押え取
付板６６が取り付けられている。このヘッダー押え取付
板６６は、図１に示すように、ヒーターブロック３７側
の先端部が、固定ブロック６４よりもヒーターブロック
３７側に延出しており、図４に示すように、その下面に
は、固定ブロック６４の上面に設けられた嵌合凸部６４
ａに嵌合する嵌合凹部６６ａが設けられている。

【００６６】ヘッダー押え取付板６６は、図２に示すよ
うに、ヒーターブロック３７の遠方側の基端部が、固定
ブロック６４の上面に対して、一対の固定用ビス６６ｂ
によって固定されている。ヘッダー押え取付板６６に
は、各固定用ビス６６ｂが嵌合される一対の長孔６６ａ
が設けられている。各長孔６６ａは、ヘッダー押え取付
板６６の長手方向に沿ってそれぞれ長く延びている。

【００６７】また、ヘッダー押え取付板６６には、固定
ブロック６４の上面に対して、３本の傾き調整ビス６６
ｃがねじ込まれている。２本の傾き調節ビス６６ｃは、
固定ブロック６４の連結リードフレーム体１０に対する
遠方側の側部の各隅部にそれぞれねじ込まれているのに
対して、他の１本の傾き調整ビス６６ｃは、連結リード
フレーム体１０に近接した固定ブロック６４の側部の中
央部にねじ込まれている。各傾き調整ビス６６ｃは、固
定ブロック６４にねじ込まれることによって、そのねじ
込まれた部分を上下方向に微調整して、固定ブロック６
４全体の傾きを調整するようになっている。

【００６８】ベースブロック６２と固定ブロック６４と
の間に配置された硬質材料製のスペーサー６３は、固定
ブロック６４にねじ込まれた各傾き調整用ビス６６ｃの
先端によってベースブロック６２が傷つけられることを
防止している。

【００６９】ヒーターブロック３７上に位置される連結
リードフレーム体１０に近接したヘッダー押え取付板６
６の先端部には、ヘッダー押え板６９が取り付けられて
いる。このヘッダー押え板６９は、ヘッダー押え取付板
６６の先端部から、ヒーターブロック３７上に位置され
た連結リードフレーム体１０の各ヘッダー１１ａに向か
って延出する４本のヘッダー押圧部６９ａを有してい
る。ヘッダー押え板６９は、基端部が幅方向に沿って並
んだ一対の固定用ビス６９ｄによってヘッダー押え取付
板６６に固定されている。ヘッダー押え板６９には、各
固定用ビス６９ｄが挿通される一対の長孔６９ｅが設け
られている。各長孔６９ｅは、ヘッダー押え取付板６６
の幅方向に沿って長くなっている。

【００７０】図３に示すように、各ヘッダー押圧部６９
ａの先端部には、下方に突出した凸部６９ｂがそれぞれ
設けられている。この凸部６９ｂは、下面が平坦になっ
ており、その平坦になった下面が、ヒートコマ３９にお
ける第２ステージ３９ｂ上に配置された各リードフレー
ム１１のヘッダー１１ａの先端部上面に圧接されるよう
になっている。各凸部６９ｂの上面は、先端側になるに
つれて下方に向かって傾斜した状態になっている。

【００７１】図２および図４に示すように、連結リード
フレーム体１０から離れた側方に位置するベースブロッ
ク６２の上下方向に延びる側部の下端部には、調整ブロ
ック６７ａが取り付けられている。この調整ブロック６
７ａは、ベースブロック６２の幅方向の一方の側方に水
平状態で延出して、ベース板４８の下方を通過してい
る。調整ブロック６７ａの延出端部には、雌ねじ部６７
ｂ（図４）が垂直状態に形成されており、この雌ねじ部
６７ｂに、ヘッダー押え板６９における各ヘッダー押圧
部６９ａの上下方向位置を調節するヘッダー押圧部調整
ビス６７ｃがネジ結合されている。雌ねじ部６７ｂは二
つ割りになっており、各半体部同士がロックネジ６７ｄ
によって締めつけられるようになっている。そして、ロ
ックネジ６７ｄによって雌ねじ部６７ｂが締めつけられ
ることによって、ヘッダー押圧部調整ビス６７ｃが回転
不能に固定される。

【００７２】調整ブロック６７ａの雌ねじ部６７ｂの下
方には、水平状態になった当接板６７ｅが配置されてい
る。この当接板６７ｅは、調整ブロック６７ａの雌ねじ
部６７ｂの下方からスライドロッド４４側に広がってお
り、スライドロッド４４側の側部に、上下方向に延びる
垂直部が設けられていて、その垂直部の上端部が、ベー
ス板４８の側面にビス６７ｆによって取り付けられてい
る。

【００７３】図２および図４に示すように、調整ブロッ
ク６７ａの雌ねじ部６７ｂに近接したベースブロック６
２の側面とは反対側の側面には、バネ取付板６８ａが取
り付けられている。このバネ取付板６８ａは、ベースブ
ロック６２の側方に水平状態で延出しており、その先端
部には、バネ調整ビス６８ｂが垂直状態で貫通して、一
対の調整ナット６８ｃによってバネ取付板６８ａに固定
されている。そして、バネ調整ビス６８ｂの下端部に、
引っ張りバネ６８ｄの上端部が係止されている。引っ張
りバネ６８ｄの下端部は、水平状態になったピン６８ｅ
に係止されている。このピン６８ｅは、ベース板４８の
下面に取り付けられたブロック６８ｆに取り付けられて
いる。

【００７４】ベースブロック６２は、この引っ張りバネ
６８ｄによって下方に牽引された状態になっており、ベ
ースブロック６２を上下方向にスライド可能に支持する
ガイドブロック６１に対してベースブロック６２は下方
に付勢されている。従って、ベースブロック６２に取り
付けられた調整ブロック６７ａと、ベース板４８に取り
付けられた当接板６７ｅとは相互に接近するように付勢
されており、調整ブロック６７ａに取り付けられたヘッ
ダー押圧部調整ビス６７ｃの下端は、当接板６７ｅに当
接した状態になっている。

【００７５】図５は、図１のＢ−Ｂ線における矢視図で
ある。図１および図５に示すように、ヘッダー保持機構
６０を支持するベース板４８の二股状になった各先端部
上には、ワーク保持機構５０の固定ブロック５１が、架
設された状態で配置されている。この固定ブロック５１
は、埋め込みビス５２によってベース板４８に固定され
ている。

【００７６】固定ブロック５１上には、硬質の材料によ
って構成されたスペーサー５３を介して、ベースブロッ
ク５４が配置されている。このベースブロック５４も、
埋め込みビス５５によって固定ブロック５１に固定され
ている。ベースブロック５４の上面には、上方に突出す
る一対の嵌合凸部５４ａが、ベース板４８の延出方向に
沿って設けられている。

【００７７】ベースブロック５４上には、ワーク押え取
付板５６が取り付けられている。このワーク押え取付板
５６は、図２に示すように、ベースブロック５４の上面
をほぼ全体にわたって覆う本体部５６ａと、この本体部
５６ａから、ヘッダー保持機構６０のヘッダー押え取付
板６６を間に挟むように延出する一対のアーム部５６ｂ
とを有している。

【００７８】ワーク押え取付板５６は、図２に示すよう
に、本体部５６ａが、固定ブロック５４の上面に対し
て、一対の固定用ビス５６ｃによって固定されている。
ワーク押え取付板５６には、各固定用ビス５６ｃが嵌合
される一対の長孔５６ｄがそれぞれ設けられている。各
長孔５６ｄは、ヘッダー押え取付板６６のアーム部５６
ａの長手方向に沿ってそれぞれ長く延びている。

【００７９】また、ワーク押え取付板５６の本体部５６
ａには、固定ブロック５４の上面に対して、３本の傾き
調整ビス５６ｅがねじ込まれている。２本の傾き調節ビ
ス５６ｅは、ワーク押え取付板５６の本体部５６ａのア
ーム部５６ｂ延出側とは反対側の各側部における各隅部
にそれぞれねじ込まれているのに対して、他の１本の傾
き調整ビス５６ｅは、ワーク押え板５６におけるアーム
５６ｂに近接した本体部５６ａの側部中央部にねじ込ま
れている。各傾き調整ビス５６ｅは、ワーク押え板５６
にねじ込むことによって、そのねじ込まれたワーク押え
板５６部分を下方に押圧して、ワーク押え板５６全体の
傾きを調整するようになっている。

【００８０】固定ブロック５１とベースブロック５４と
の間に配置された硬質材料製のスペーサー５３は、ベー
スブロック６４にねじ込まれた各傾き調整ビス５６ｅの
先端によって固定ブロック５１が傷つけられることを防
止している。

【００８１】ワーク押え板５６における各アーム部５６
ｂは、ヘッダー保持機構６０のヘッダー押え取付板６６
の先端部近傍にまで延出しており、各アーム部５６ａの
先端部には、ワーク押え板５７が取り付けられている。
このワーク押え板５７は、各アーム部５６ａの先端部上
にそれぞれの一方の端部が支持されて各アーム部５６先
端からさらに水平状態で延出した一対の支持部５７ａ
と、ヘッダー押え板６９の各ヘッダー押圧部６９ａの先
方において各支持部５７ａの他方の端部間にわたって配
置された押圧本体部５７ｂとを有している。

【００８２】ワーク押え板５７の各支持部５７ａは、そ
の延出方向に沿って並んだ一対の固定用ビス５７ｃによ
ってワーク押え取付板５６の各アーム部５６ｂ先端部に
固定されている。ワーク押え板５７の各支持部５７ａに
は、各固定用ビス５７ｃが挿通される一対の長孔５７ｅ
が設けられている。各長孔５７ｅは、各支持部５７ａの
延出方向とは直交する方向に沿って長くなっている。

【００８３】ワーク押え板５７の押圧本体部５７ｂは、
ヘッダー押え板６９の各ヘッダー押圧部６９ａに対して
若干の間隙をあけた状態で配置されており、連結リード
フレーム体１０の各タイバー１１ｃをそれぞれ押圧する
４つのタイバー押圧部５７ｆが、各ヘッダー押圧部６９
ａに対して水平方向に対向して設けられている。そし
て、各タイバー押圧部５７ｆに隣接して、リードフレー
ム１１のセカンドリード１１ｂを押圧する４つのセカン
ドリード押圧部５７ｇが設けられている。

【００８４】図３に示すように、各タイバー押圧部５７
ｆは先端部が下方に突出して下面が平坦になっており、
その平坦になった下面が、ヒートコマ３９における第１
ステージ３９ａの上方に配置された各タイバー１１ｃ上
面に圧接されるようになっている。

【００８５】また、各セカンドリード押圧部５７ｇは、
先端部が各タイバー押圧部５７ｆの先端部よりも先に延
出して、その先端部が各タイバー押圧部５７ｆの先端部
よりも下方に突出して下面が平坦になっており、その平
坦になった下面が、ヒートコマ３９における第３ステー
ジ３９ｃ上に配置されたセカンドリード１１ｃの先端部
上面に圧接されて第３ステージ３９ｃ上面に押圧するよ
うになっている。

【００８６】図１および図５に示すように、ワーク保持
機構５０を支持するベース板４８の二股状になった各先
端部の下側には、高さ調整用ブロック５８ａの各端部が
埋め込みビス５８ｂによって、それぞれ取り付けられて
いる。高さ調整用ブロック５８ａは、ベース板４８の先
端部間の中央部に、雌ねじ部５８ｄが垂直状態で設けら
れており、この雌ねじ部５８ｄに、高さ調整用ビス５８
ｃがねじ結合している。高さ調整用ブロック５８ａの下
方には、ストッパーブロック５８ｅが配置されている。
このストッパーブロック５８ｅは、支持ブロック４３に
取り付けられた支持板４６上に固定されており、高さ調
整用ビス５８ｃの下端がストッパーブロック５８ｅに当
接されている。

【００８７】高さ調整用ブロック５８ｅが取り付けられ
たベース板４８の一方の外側面には、水平状態で側方に
延出したバネ取付板５９ａが取り付けられている。この
バネ取付板５９ａには、垂直状態になった調整ビス５９
ｃが貫通しており、この調整ビス５９ｃにねじ結合され
た一対のナット５９ｄによって調整ビス５９ｃがバネ取
付板５９ａに固定されている。調整ビス５９ｃの下端部
には、引っ張りバネ５９ｂの上端部が係止されている。
引っ張りバネ５９ｂの下端部は、水平な取付板４７に固
定されたピン５９ｅに係止されている。

【００８８】従って、高さ調整用ブロック５８ａに設け
られた高さ調整用ビス５８ｃの下端は、引っ張りバネ５
９ｂによって高さ調整用ブロック５８ａに接近するよう
に付勢されたストッパーブロック５８ｅに当接してお
り、高さ調整用ビス５８ｃを回動させることにより、高
さ調整用ビス５８ｃ下端が当接したストッパーブロック
５８ｅに対する高さ調整用ブロック５８ａの高さ位置が
調整されるようになっている。この高さ調整用ビス５８
ｃは、高さ調整用ブロック５８ａに水平状態でねじ結合
されたロック用ビス５８ｆによって回転不能にロックさ
れるようになっている。

【００８９】このような構成のリードフレームクランプ
装置の動作は次の通りである。昇降駆動機構７０のモー
ター７１が回転駆動されると、位置決め用カム７３およ
びクランプ用カム７４が一体となって回転される。位置
決め用カム７３およびクランプ用カム７４の各外周面
は、それぞれ、所定のカムチャートとなるように予め設
定されている。そして、位置決め用カム７３の回転によ
って、位置決め機構３０の位置決め用カムフォロア３１
が下方へと移動して、位置決め用スライドロッド３４
が、支持ブロック３３に対して下方へとスライドする。
これにより、位置決めピン３６は、下方の退避位置とさ
れる。

【００９０】このとき、クランプ用カム７４の回転によ
り、昇降機構４０のクランプ用カムフォロア４１は上方
へと移動して、クランプ用スライドロッド４４が支持ブ
ロック４３に対して上方へとスライドされる。これによ
り、クランプ用スライドロッド４４の上端部に取り付け
られたベース板４８が上昇し、ベース板４８に取り付け
られたヘッダー保持機構６０の当接板６７ｅおよびワー
ク保持機構５０の固定ブロック５１が一体となって上昇
する。

【００９１】ヘッダー保持機構６０の当接板６７ｅに
は、ヘッダー押圧部調整ネジ６７ｃの下端が当接されて
おり、当接板６７ｅの上昇によってヘッダー押圧部調整
ネジ６７ｃは上方へと押圧されて、ヘッダー押圧部調整
ネジ６７ｃが螺合された調整ブロックが上方へと押圧さ
れる。これにより、ベースブロック６２がガイドブロッ
ク６１に対して上方へとスライドし、ベースブロック６
２に取り付けられたヘッダー押え取付板６６、およびヘ
ッダー押え取付板６６に取り付けられたヘッダー押え板
６９が一体となって上昇する。

【００９２】同様に、ベース板４８の上昇によって、ワ
ーク保持機構５０の固定ブロック５１が上昇すると、ワ
ーク押え取付板５６およびワーク押え取付板５６に取り
付けられたワーク押え板５７が上昇する。

【００９３】このようにして、ヘッダー押え板６９およ
びワーク押え板５７が上昇すると、ヘッダー押え板６９
の先端部に設けられた各ヘッダー押圧部６９ａ、ワーク
押え板５７に設けられた各タイバー押圧部５７ｆおよび
各セカンドリード押圧部５７ｇが、それぞれ、ヒーター
コマ３９とは適当な間隔をあけて、ヒートコマ３９の上
方に位置される。

【００９４】このような状態で、ガイドレール２１に沿
って、連結リードフレーム体１０が搬送されてヒートコ
マ３９上に位置される。連結リードフレーム体１０がヒ
ートコマ３９上に搬送された状態になると、位置決め用
カム７３の回転によって、位置決め用スライドロッド３
４が上昇し、位置決めピン３６の先端部が、連結リード
フレーム体１０の位置決め孔１０ｄ内に挿入される。こ
れにより、連結リードフレーム体１０の４つのリードフ
レーム１１における各タイバー１１ｃが、ヒートコマ３
９の第１ステージ３９ａ上に配置されて各ヘッダー１１
ａが第２ステージ３９ｂ上に位置されるとともに、各セ
カンドリード１１ｃが第３ステージ３９ｃ上に位置され
る。

【００９５】このような状態になると、クランプ用カム
７４の回転により、クランプ用スライドロッド４４が下
降し、ヘッダー押え板６９およびワーク押え板５７が下
降される。これにより、ヘッダー押え板６９の先端部に
設けられた各ヘッダー押圧部６９ａと、ワーク押え板５
７に設けられた各タイバー押圧部５７ｆおよび各セカン
ドリード押圧部５７ｇとがそれぞれ下降されて、各ヘッ
ダー押圧部６９ａが各ヘッダー１１ａに当接した状態に
なるとともに、各タイバー押圧部５７ｆおよび各セカン
ドリード押圧部５７ｇが、各タイバー１１ｃおよび各セ
カンドリード１１ｂにそれぞれ当接した状態になる。

【００９６】このような状態で、さらに、ベース板４８
が下降されると、ヘッダー押え板６９の各ヘッダー押圧
部６９ａが、すでに、各ヘッダー１１ａに当接した状態
になっているために、ヘッダー押え板６９の下降が停止
し、ヘッダー押え板６９を支持するベースブロック６２
に取り付けられた調整ブロック６７ａのヘッダー押圧部
調整ネジ６７ｃと、ベース板４８との間に間隙が生じ
る。そして、このような状態で、各リードフレーム１１
のヘッダー１１ａが、ヘッダー押え板６９の各ヘッダー
押圧部６９ａによって押圧された状態になる。

【００９７】また、ベース板４８の下降によって、ベー
ス板４８と一体となったワーク押え板５７も下降し、ワ
ーク押え板５７の各タイバー押圧部５７ｆおよび各セカ
ンドリード押圧部５７ｇは、各リードフレームのタイバ
ー１１ｃおよび各セカンドリード１１ｂをそれぞれ押圧
する。

【００９８】このように、連結リードフレーム体１０の
各リードフレーム１１におけるヘッダー１１ａ、セカン
ドリード１１ｂ、およびタイバー１１ｃが、各ヘッダー
押圧部６９ａと、各タイバー押圧部５７ｆおよび各セカ
ンドリード押圧部５７ｇとによって押圧された状態にな
ると、ヒーターブロック３７がヒーター３８によって所
定の温度に加熱されるとともに、超音波振動が加えられ
た状態で、ヘッダー１１ａ上にマウントされた発光素子
チップ１２とセカンドフレーム１１ｂとが、ボンディン
グワイヤー１４によってワイヤーボンディングされる。

【００９９】このとき、連結リードフレーム体１０の各
リードフレーム１１におけるヘッダ１１ａと、タイバー
１１ｃおよびセカンドリード１１ｂとが、ヘッダー押え
板６９の各ヘッダー押圧部６９ａと、このヘッダー押え
板６９とは別体になったワーク押え板５７のタイバー押
圧部５７ｆおよびセカンドリード押圧部５７ｇによっ
て、それぞれが強固に押圧されてクランプされた状態に
なっているために、ヘッダー１１ａ上の発光素子チップ
１２とセカンドリード１１ｂとが、確実に、しかも、高
精度でボンディングワイヤー１４によってボンディング
される。

【０１００】ワイヤーボンディングが終了すると、作業
開始当初と同様に、クランプ用スライドロッド４４が上
昇して、ヘッダー押え板６９が上昇されるとともにワー
ク押え板５７が上昇され、また、位置決め用スライドロ
ッド３４が下降して位置決めピン３６が下降される。こ
れにより、連結リードフレーム体１０の各リードフレー
ム１１は、ヘッダー押え板６９の各ヘッダー押圧部６９
ａ、ワーク押え板５７の各タイバー押圧部５７ｆおよび
セカンドリード押圧部５７ｇによる押圧が解除されると
ともに、位置決めピン３６による位置決めも解除され
て、ガイドレール２１に沿って搬送される。以下、同様
の動作が繰り返されて、連結リードフレーム体１０にお
ける各リードフレーム１１に対して、ワイヤーボンディ
ングが実施される。

【０１０１】ヘッダー押え板６９のヘッダー押圧部６９
ａによる各リードフレーム１１のヘッダー１１ａの押圧
力は、ヘッダー押え板６９を支持するベースブロック６
２と、ベース板４８との間に介在された引っ張りバネ６
８ｄの引っ張り力を、バネ調整ビス６８ｂによって調整
することによって調整することができる。また、ヘッダ
ー押え取付板６６の水平状態に対する傾き角度を、傾き
調整ビス６６ｃによって調整することによって、ヘッダ
ー押え板６９の傾きが微調整されるために、ヘッダー押
圧部６９ａによる押圧力を調整することができる。固定
ブロック６４とベースブロック６２との間には、硬質材
料によって構成されたスペーサー６３が介在されている
ために、傾き調整ビス６６ｃの先端によって固定ブロッ
ク６４の下方のベースブロック６２が傷つくおそれがな
い。

【０１０２】ヘッダー押え板６９が取り付けられたヘッ
ダー押え取付板６６は、各固定用ビス６６ｂを緩めるこ
とによって、ヘッダー押え板６９の各ヘッダー押圧部６
９ａを連結リードフレーム体１０に接近および離隔させ
ることができ、また、ヘッダー押え板６９は、固定用ビ
ス６９ｄを緩めることによって、連結リードフレーム体
１０の各リードフレーム１１並設方向に移動させること
ができるために、各リードフレーム１１のヘッダー１１
ａに対するヘッダー押え板６９の各ヘッダー押圧部６９
ａによる押圧位置を微調整することができる。

【０１０３】ワーク押え板５７の各タイバー押圧部５７
ｆおよび各セカンドリード押圧部５７ｇによる各タイバ
ー１１ｃおよびセカンドリード１１ｂに対する押圧力
は、ベース板４８と取付板４７との間に介在された引っ
張りバネ５９ｂの引っ張り力を調整ビス５９ｃを操作し
て調整することにより調整することができる。また、ワ
ーク押え取付板５６の水平状態に対する傾き角度を、傾
き調整ビス５６ｅによって調整することによっても、ワ
ーク押え板５７の各タイバー押圧部５７ｆおよび各セカ
ンドリード押圧部５７ｇによる押圧力を微調整すること
ができる。ベースブロック５４と固定ブロック５３との
間に硬質材料によって構成されたスペーサー５３が介在
されているために、傾き調整ビス５６ｅの先端によって
ベースブロック５４の下方の固定ブロック５３が傷つか
ないようになっている。

【０１０４】ワーク押え板５７が取り付けられたヘッダ
ー押え取付板６６は、各固定用ビス５６ｃを緩めること
によって、ワーク押え板５７の各タイバー押圧部５７ｆ
および各セカンドリード５７ｇを、各リードフレーム１
１のセカンドフレーム１１ｂ延出方向に移動させること
ができ、また、ワーク押え板５７は、固定用ビス５７ｅ
を緩めることによって、連結リードフレーム体１０の各
リードフレーム１１並設方向に移動させることができる
ために、ワーク押え板５７の各タイバー押圧部５７ｆお
よび各セカンドリード押圧部５７ｇによる各リードフレ
ーム１１のタイバー１１ｃおよびセカンドリード１１ｂ
に対する押圧位置を微調整することができる。

【０１０５】ワーク押え板５７の各タイバー押圧部５７
ｆおよび各セカンドリード押圧部５７ｇの高さ位置は、
ベース板４８と一体となった調整ブロック５８ａと、そ
の下方の支持板４６との間隙を、調整ブロック５８ａに
螺合された調整ビス５８ｃを操作して調整することによ
って、微調整することができる。

【０１０６】

【発明の効果】本発明のリードフレームクランプ装置
は、このように、昇降機構によってヘッダー保持機構お
よびワーク保持機構が、それぞれ別個に下降されるよう
になっており、ヘッダー保持機構の下降によって、片持
ち状態のヘッダー押圧部がリードフレームのヘッダーに
当接してヘッダーを押圧するとともに、ワーク保持機構
の下降によって、片持ち状態のセカンドリード押圧部が
リードフレームのセカンドリードに当接してセカンドリ
ードを押圧するようになっている。従って、ヘッダー押
圧部およびセカンドリード押圧部は、それぞれ個別に下
降されることにより、ヘッダーおよびセカンドリードと
の段差が一定していない場合であっても、ヘッダーおよ
びセカンドリードそれぞれを確実に押圧することができ
る。

【０１０７】ヘッダー押圧部およびセカンドリード押圧
部は、それぞれ下方への付勢力を調整することにより、
ヘッダーおよびセカンドリードに対する押圧力を調整す
ることが可能であり、また、ヘッダー押圧部およびセカ
ンドリード押圧部は、ヘッダーおよびセカンドリードに
対する位置も調整が可能であるために、異なる構成のリ
ードフレームであっても、ヘッダー押圧部およびセカン
ドリード押圧部の付勢力および位置を調整することによ
って、リードフレームのヘッダーおよびセカンドリード
を確実にクランプすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のリードフレームクランプ装置の一例を
示す概略正面図である。

【図２】その平面図である。

【図３】その要部の拡大図である。

【図４】図１のＡ−Ａ線における断面図である。

【図５】図１のＢ−Ｂ線における矢視図である。

【図６】（ａ）はＬＳＩの一例を示す側面図、（ｂ）は
その平面図である。

【図７】（ａ）はそのＬＳＩのリードフレームをクラン
プしたリードフレームクランプ装置の一例を示す概略正
面図、（ｂ）はその平面図である。

【図８】（ａ）はＬＳＩのリードフレームをクランプし
たリードフレームクランプ装置のさらに他の例を示す概
略正面図、（ｂ）はその平面図である。

【図９】ＬＳＩのリードフレームをクランプしたリード
フレームクランプ装置の他の例を示す概略正面図であ
る。

【図１０】（ａ）は発光素子チップがマウントされたリ
ードフレームの一例を示す平面図、（ｂ）はその側面
図、（ｃ）はその正面図である。

【図１１】（ａ）は異なる構成のリードフレームが多数
連結された連結リードフレーム体の側面図、（ｂ）はそ
の平面図、（ｃ）はその正面図である。

【図１２】フォトカプラの一例を示す側面図である。

【図１３】発光素子のリードフレームをクランプする従
来のリードフレームクランプ装置の一例を示す要部の正
面図である。

【図１４】そのリードフレームクランプ装置の平面図で
ある。

【図１５】そのリードフレームクランプ装置の全体を示
す概略正面図である。

【図１６】（ａ）はそのリードフレームクランプ装置に
よるリードフレームのクランプ状態を示す要部の正面
図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線における断面図である。

【図１７】（ａ）はそのリードフレームクランプ装置に
よるリードフレームのクランプ状態の他の例を示す要部
の正面図、（ｂ）はその側面概略図、（ｃ）はそのリー
ドフレームクランプ装置によるリードフレームのクラン
プ状態のさらに他の例を示す正面図、（ｄ）はその側面
概略図である。

【図１８】（ａ）は異なる構成のリードフレームをクラ
ンプした状態を示す要部の正面図、（ｂ）はその平面図
である。

【図１９】（ａ）はさらに異なる構成のリードフレーム
をクランプした状態を示す要部の正面図、（ｂ）はその
平面図である。

【図２０】（ａ）はさらに異なる構成のリードフレーム
をクランプした状態を示す要部の正面図、（ｂ）はその
平面図である。

【符号の説明】

１０ 連結リードフレーム体 １１ リードフレーム １１ａ ヘッダー １１ｂ セカンドリード １１ｃ タイバー １２ 発光素子 １３ 受光素子 １４ ボンディングワイヤー ２１ ガイドレール ３０ 位置決め機構 ３１ 位置決め用カムフォロア ３２ 支持ロッド ３３ 支持ブロック ３４ 位置決め用スライドロッド ３５ ピン支持板 ３６ 位置決めピン ３７ ヒーターブロック ３８ ヒーター ３９ ヒーターコマ ３９ａ 第１ステージ ３９ｂ 第２ステージ ３９ｃ 第３ステージ ４０ 昇降機構 ４１ クランプ用カムフォロア ４２ 支持ロッド ４３ 支持ブロック ４４ クランプ用スライドロッド ４６ 支持板 ４７ 取付板 ４８ ベース板 ５０ ワーク保持機構 ５１ 固定ブロック ５３ スペーサー ５４ ベースブロック ５６ ワーク押え取付板 ５７ ワーク押え板 ５７ｆ タイバー押圧部 ５７ｇ セカンドリード押圧部 ５８ａ 高さ調整用ブロック ５８ｃ 高さ調整用ビス ５８ｅ ストッパーブロック ５９ｂ 引っ張りバネ ５９ｃ 調整ビス ６０ ヘッダー保持機構 ６１ ガイドブロック ６２ ベースブロック ６３ スペーサー ６４ 固定ブロック ６６ ヘッダー押え取付板 ６７ａ 調整ブロック ６７ｃ ヘッダー押圧部調整ビス ６８ｂ バネ調整ビス ６８ｄ 引っ張りバネ ６９ ヘッダー押え板 ６９ａ ヘッダー押圧部 ７０ 昇降駆動機構 ７１ モーター ７２ ベルト伝動機構 ７３ 位置決め用カム ７４ クランプ用カム

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体チップがマウントされるヘッダ
   ー、および、ヘッダー上にマウントされた半導体チップ
   とワイヤーボンディングされるセカンドリードが、それ
   ぞれタイバーに対して段差を有するリードフレームをク
   ランプするリードフレームクランプ装置であって、 前記ヘッダーおよびリードがそれぞれ所定位置になるよ
   うに、リードフレームを位置決めする位置決め機構と、 水平状態になったヘッダー押え取付板に片持ち状態で支
   持されたヘッダー押え板の先端部に、前記位置決め機構
   によって位置決めされたリードフレームのヘッダーの上
   面に対向するヘッダー押圧部が配置されたヘッダー保持
   機構と、 前記ヘッダー押え取付板の両側に沿ってアーム部が水平
   状態で延出するように片持ち状態で支持されたワーク押
   え取付板の各アーム部間に、前記ヘッダー押圧部に対し
   て間隙を有した状態でワーク押え板が架設されており、
   そのヘッダー押圧部に近接した部分に、前記位置決め機
   構によって位置決めされたリードフレームのセカンドリ
   ードの上面に対向するセカンドリード押圧部が配置され
   たワーク保持機構と、 前記ヘッダー保持機構のヘッダー押え取付板およびワー
   ク保持機構のワーク押え取付板を一体となって上昇させ
   るとともに、それぞれを個別に下降させる昇降機構と、 を具備することを特徴とするリードフレームクランプ装
   置。
2. 【請求項２】 前記ヘッダー保持機構は、ヘッダー押圧
   部が下方へ付勢されており、その付勢力が調整可能であ
   るとともに、前記ワーク保持機構は、リード押圧部が下
   方に付勢されており、それぞれの付勢力が調整可能であ
   る請求項１に記載のリードフレームクランプ装置。
3. 【請求項３】 前記ヘッダー保持機構は、位置決め機構
   にて位置決めされたリードフレームのヘッダーに対して
   ヘッダー押圧部の位置を調整することができるととも
   に、前記ワーク保持機構は、位置決め機構にて位置決め
   されたリードフレームのセカンドリードに対してセカン
   ドリード押圧部の位置を調整することができる請求項１
   に記載のリードフレームクランプ装置。