JPH07275771A - ペースト塗布機 - Google Patents
ペースト塗布機Info
- Publication number
- JPH07275771A JPH07275771A JP6072151A JP7215194A JPH07275771A JP H07275771 A JPH07275771 A JP H07275771A JP 6072151 A JP6072151 A JP 6072151A JP 7215194 A JP7215194 A JP 7215194A JP H07275771 A JPH07275771 A JP H07275771A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- paste
- substrate
- nozzle
- nozzles
- data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1241—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0208—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles
- B05C5/0212—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
水平方向に相対移動させる制御に対し独立させることに
より、基板上に所望形状の複数のペーストパターンを同
時に高精度に、しかも高速に塗布描画できるペースト塗
布機を提供する。 【構成】 ノズル1a,1bと、これら各ノズルの吐出
口と基板7の表面との対向間隔を個別に計測する光学式
距離計3a,3bと、主制御装置14aに制御されて各
ノズルと基板7とを水平方向に相対的に移動させるテー
ブル6,8と、この相対的移動時における各距離計3
a,3bのデ−タを用いて各ノズルの吐出口と基板7の
表面との対向間隔を個別に制御する副制御装置14bと
を備えた。
Description
基板上に複数のノズルからペ−ストを吐出させながら該
基板と該ノズルとを相対的に移動させることにより、該
基板上に所望形状の複数のペーストパターンを同時に塗
布描画するペースト塗布機に関する。
先端に固定されたノズルに、テーブル上に載置された基
板を対向させ、ノズルのペースト吐出口からペーストを
吐出させながら該ノズルと該基板の少なくともいずれか
一方を水平方向に移動させて相対位置関係を変化させる
ことにより、基板上に所望のパタ−ンでペ−ストを塗布
する吐出描画技術を用いたペースト塗布機の一例が、例
えば特開平2−52742号公報に記載されている。
と、このノズルや基板の位置を制御する制御装置とを備
えており、基板として使用する絶縁基板上にノズル先端
のペースト吐出口から抵抗ペ−ストを吐出させることに
より、この絶縁基板上に所望の抵抗ペーストパタ−ンを
形成していくというものである。
タ−ンを塗布描画しようとする基板表面には通常、僅か
なうねりがあるので、描画したペ−ストについて塗布箇
所のみならず塗布幅や塗布高さにも高い精度が要求され
る場合には、ノズルと基板を水平方向において相対的に
移動させつつ、ノズルと基板表面との対向間隔を計測し
て該間隔が所望の範囲に収まるように制御する必要があ
る。そして、従来技術ではこのような動作の全てを1台
の制御装置が管理しているが、制御が複雑なため描画速
度が遅く、量産工場ではかかるペ−スト描画工程で生産
速度や生産量が決定されてしまう傾向がある。したがっ
て、生産性を高めるためには複数のペースト塗布機を設
置しなければならないが、その場合、生産ラインが複雑
化し、また生産現場のスペース拡張も必要となるので、
イニシャルコストが嵩んで製品価格の上昇を余儀なくさ
れてしまう。
術の課題を解消し、基板上に所望形状の複数のペースト
パターンを同時に高精度に、しかも高速に塗布描画する
ことができるペースト塗布機を提供することにある。
に、本発明は、ノズルのペースト吐出口と対向するよう
に基板をテーブル上に載置し、ペースト収納筒に収納し
たペーストを上記吐出口から上記基板上へ吐出させなが
ら該ノズルと該基板との相対位置関係を変化させ、該基
板上に所望形状のペーストパターンを描画形成するペー
スト塗布機において、複数のノズルと、これら各ノズル
のペースト吐出口と上記基板の表面との対向間隔を個別
に計測する複数の計測手段と、上記各ノズルと上記基板
とを水平方向に相対的に移動させる移動手段と、この相
対的移動時における上記各計測手段の計測デ−タを用い
て上記各ノズルのペースト吐出口と上記基板の表面との
対向間隔を個別に制御する制御手段とを備える構成とし
た。
向に相対的に移動させる移動手段と、各ノズルのペース
ト吐出口と基板表面との対向間隔を個別に制御する制御
手段とが区別されていて、この対向間隔の制御を、水平
方向の相対的移動の制御に対して独立して処理すること
ができるので、各計測手段による計測周期を短くして計
測回数を多くすることにより対向間隔が高精度に制御で
き、そのため各ノズルをそれぞれ対向する基板表面のう
ねりに追従させながら該基板上にペーストを吐出してい
くことができて、所望形状の複数のペーストパターンが
同時に得られる。
る。
施例を示す概略斜視図であって、1a,1bはノズル、
2a,2bはペ−スト収納筒(またはシリンジ)、3
a,3bは光学式距離計、4a,4bはZ軸テ−ブル、
5はX軸テーブル、6はY軸テーブル、7はペーストパ
ターンが描画される基板、8はθ軸テーブル、9は架台
部、10はZ軸テーブル支持部、11a,11bは画像
認識カメラ、12a,12bはノズル支持具、13は基
板7を吸着固定している吸着台、14aは主制御装置、
14bは副制御装置、15は画像処理装置、16は外部
記憶装置、17は画像モニタ、18は両制御装置14
a,14bによる制御処理状況を表示するディスプレ
イ、19はキーボード、20a,20bはそれぞれ画像
認識カメラ11a,11bの鏡筒、21aおよび21c
〜21eはサーボモータ、22はカメラ支持部である。
なお、図面の煩雑化を避けるため、Z軸テーブル支持部
10に対するZ軸テ−ブル4a,4bのX軸テーブルお
よびY軸テーブルは図示省略してある。
5が固定され、このX軸テーブル5上にX軸方向に移動
可能にY軸テーブル6が搭載されている。そして、この
Y軸テーブル6上にY軸方向に移動可能かつ回動可能に
θ軸テーブル8が搭載され、このθ軸テーブル8上に吸
着台13が固定されている。この吸着台13上に基板7
が、例えばその各辺がX,Y各軸方向に平行となるよう
に、吸着されて固定される。
は、主制御装置14aの制御駆動により、X,Y各軸方
向に移動することができる。即ち、サーボモータ21a
が主制御装置14aにより駆動されると、Y軸テーブル
6がX軸方向に移動して基板7がX軸方向へ移動し、図
3に示すサーボモータ21bが主制御装置14aにより
駆動されると、θ軸テーブル8がY軸方向に移動して基
板7がY軸方向へ移動する。したがって、主制御装置1
4aによりY軸テーブル6とθ軸テーブル8とをそれぞ
れ任意の距離だけ移動させると、基板7は架台部9に平
行な面内で任意の方向に任意の距離だけ移動することに
なる。なお、θ軸テーブル8は、サーボモータ21eに
より、その中心位置を中心にθ方向に任意量だけ回動さ
せることができる。
10が設置されており、これにZ軸方向(上下方向)に
移動可能にZ軸テーブル4a,4bが取り付けられてい
る。そして、一方のZ軸テーブル4aにはノズル1aや
ペースト収納筒2aや光学式距離計3aが載置されてお
り、他方のZ軸テーブル4bにはノズル1bやペースト
収納筒2bや光学式距離計3bが載置されている。これ
らZ軸テーブル4a,4bのZ軸方向の制御駆動は、副
制御装置14bによって行なわれる。即ち、サーボモー
タ21c,21dが副制御装置14bにより駆動される
と、Z軸テーブル4a,4bがZ軸方向に移動し、これ
に伴ってノズル1a,1bやペースト収納筒2a,2b
や光学式距離計3a,3bがZ軸方向に移動する。な
お、ノズル1a,1bはそれぞれ、ペースト収納筒2
a,2bの先端に設けられているが、ノズル1a,1b
とペースト収納筒2a,2bの下端とはそれぞれ、連結
部を備えたノズル支持具12a,12bを介して僅かに
離れている。
ル1a,1bの先端(下端)であるペースト吐出口と基
板7の上面との間の距離を、非接触な三角測法によって
測定する。
同一構成なので一方の距離計3aについてのみ図2を参
照しつつ説明すると、光学式距離計3aの下端部は三角
状に切り込まれており、この切込み部分に対向する2つ
の斜面の一方に発光素子が、他方に受光素子が設けられ
ている。ノズル支持具12aはペースト収納筒2aの先
端に取り付けられて光学式距離計3aの上記切込み部の
下方まで延伸しており、その先端部の下面にノズル1a
が取り付けられている。光学式距離計3aの上記切込み
部に設けられた発光素子は、一点鎖線で示すようにノズ
ル1のペースト吐出口の真下近傍を照射し、そこからの
反射光を上記受光素子が受光するようになっている。そ
して、ノズル1aのペースト吐出口と該吐出口の下方に
配置された基板7(図1参照)との間の距離が所定の範
囲内である場合、発光素子からの光が受光素子に受光さ
れるように、ノズル1aと光学式距離計3aとの位置関
係が設定されていて、ノズル1aのペースト吐出口と基
板7との間の距離(対向間隔)が変化すると、該吐出口
の真下近傍において、発光素子からの光の基板7上での
照射点(以下、これを計測点という)の位置が変化し、
よって受光素子での受光状態が変化するので、ノズル1
aのペースト吐出口と基板7との間の距離を計測するこ
とができる。
移動してペーストパターンを形成しているとき、発光素
子からの光の基板7上での照射点(以下、これを計測点
という)が既に形成されたペーストパターンを横切る
と、光学式距離計3a(3b)によるノズル1a(1
b)のペースト吐出口と基板7の表面との間の距離の計
測値にペーストパターンの厚み分だけの誤差が生ずる。
そこで、計測点がペーストパターンをできるだけ横切ら
ないようにするため、ノズル1a(1b)から基板7上
へのペースト滴下点(以下、これを塗布点という)から
X,Y軸に対して斜め方向にずれた位置を計測点とする
と良い。
ーストが使い尽くされるとノズル交換が行われ、塗布点
が基板7上のペーストを塗布しようとするある設定位置
と一致するようにノズル1a(1b)が取り付けられる
が、ペースト収納筒2a(2b)やノズル支持具12a
(12b)、ノズル1a(1b)の取付け精度のばらつ
きなどによって、ノズル交換の前と後でノズル位置が変
わることがある。しかし、図2に示すように、塗布点が
設定位置を中心に予め設定された大きさの許容範囲(Δ
X,ΔY)内にあるとき、ノズル1a(1b)は正常に
取り付けられているものとする。但し、ΔXは許容範囲
のX軸方向の幅、ΔYは同じくY軸方向の幅である。そ
して、画像認識カメラ11a,11bはそれぞれ、ノズ
ル1a,1bの交換後の位置確認や、これらのノズル1
a,1bの間隔を計測することなどに使用される。
ぞれ、光学式距離計3a,3bや画像認識カメラ11
a,11bからのデータが供給されると、これに応じて
サーボモータ21a〜21eを駆動する。また、これら
のサーボモータに設けたエンコーダから、各モータ21
a〜21eの駆動状況についてのデータが両制御装置1
4a,14bにフィードバックされる。
が吸着台13上に置かれると、吸着台13は基板7を真
空吸着して固定保持する。そして、θ軸テーブル8を回
動させることにより、基板7の各辺がX軸とY軸のそれ
ぞれに平行となるように設定される。しかる後、光学式
距離計3a,3bの測定結果をもとにサーボモータ21
c,21dが駆動制御されることにより、Z軸テーブル
4a,4bが下方に移動し、ノズル1a,1bのペース
ト吐出口と基板7の表面との間の距離が規定の距離にな
るまで、これらのノズル1a,1bを基板7の上方から
下降させる。
ズル支持具12a,12bを介して供給されるペースト
がノズル1a,1bのペースト吐出口から基板7上へ吐
出され、これとともに、サーボモータ21a,21b
(図3参照)の駆動制御によってY軸テーブル6とθ軸
テーブル8が適宜移動し、これによって基板7上の2箇
所に同時に所望形状のパターンでペーストが塗布され
る。形成しようとするペーストパターンはX,Y各軸方
向の距離で換算できるので、所望形状のパターンを形成
するためのデータをキーボード19から入力すると、主
制御装置14aはこのデータをサーボモータ21a,2
1bに与えるパルス数に変換して命令を出力し、描画が
自動的に行われる。
4bの一具体例を示すブロック図であって、図1と対応
する部分には同一符号が付してある。
は、処理プログラムを格納しているROMや各種データ
を記憶するRAMや各種データの演算を行うCPUなど
を内蔵したマイクロコンピュータ、14a−2,14b
−2は、画像処理装置15あるいは光学式距離計3a,
3bといった外部装置が接続されるとともに両制御装置
14a,14b間を接続する外部インターフェース、1
4a−3,14b−3は各サーボモータ21a〜21e
のモータコントローラ、14a−4はサーボモータ21
aを駆動するX軸ドライバ、14a−5はサーボモータ
21bを駆動するY軸ドライバ、14a−6はサーボモ
ータ21eを駆動するθ軸ドライバ、14b−4,14
b−5はサーボモータ21c,21dを駆動するZ軸ド
ライバ、Eはエンコーダである。
ンやノズル交換などを示す各種デ−タや、光学式距離計
3a,3bで計測したデ−タや、マイクロコンピュ−タ
14a−1,14b−1の処理で生成された各種デ−タ
は、各マイクロコンピュ−タ14a−1,14b−1に
内蔵されたRAMに格納される。
装置14a,14bの処理動作について説明する。な
お、図4以降のフローチャートにおいて、図中の符号S
はステップを意味している。また、各図において処理の
流れが単流であるものは主制御装置14aにおいて実行
され、複流になっている場合には、左側の処理の流れは
主制御装置14aにおいて実行され、右側の処理の流れ
は副制御装置14bにおいて実行されるものである。
ップ100)、ペースト塗布機の初期設定が実行される
(ステップ200)。この初期設定は、図5に示すよう
に、Y軸テ−ブル6やθ軸テ−ブル8を予め決められた
原点位置に位置決めし(ステップ211)、ペ−ストパ
タ−ンについてのデ−タの設定、即ち、使用するノズル
のデ−タ(NZL−N)や、ペ−ストパタ−ンの高さに
関係するペ−ストの吐出圧力およびノズルの高さデ−タ
や、ペ−ストの吐出開始位置デ−タや、ペ−ストパタ−
ンと基板7の関係についての位置デ−タなどを設定し
て、これらのデータを主制御装置14a内蔵のRAMに
一旦格納する処理(ステップ212)を行い,ペ−スト
の吐出終了位置デ−タを設定し(ステップ213)、Z
軸テ−ブル4a,4bを予め決められた原点位置に位置
決めし(ステップ221)、ステップ212で設定され
たペ−ストパタ−ンについてのデ−タを主制御装置14
a内蔵のRAMから副制御装置14b内蔵のRAMに移
して格納する処理(ステップ222)を行うというもの
であり、これらの設定のためのデ−タ入力はキ−ボ−ド
19から行われる。なお、使用するノズルのデ−タNZ
L−Nが1の場合は、ノズル1aのみ使用し、ノズル1
bによるペーストパターンの塗布描画は行われない。
いて、ペーストパターンを描画するための基板7を吸着
台13上に搭載して吸着保持させ(ステップ300)、
基板位置決め処理(ステップ400)を行う。
ついて詳細に説明する。
れた基板7に予め付されている位置決め用マ−クを画像
認識カメラ11a,11bで撮影し(ステップ40
1)、画像認識カメラ11a,11bの視野内での位置
決め用マ−クの重心位置を画像処理で求める(ステップ
402)。そして、この視野の中心と位置決め用マーク
の重心位置とのずれ量を算出し(ステップ403)、こ
のずれ量を用いて、基板7を所望位置に移動させるため
に必要なY軸テ−ブル6およびθ軸テ−ブル8の移動量
を算出する(ステップ404)。そして、算出されたこ
れら移動量をサーボモータ21a,21b,21eの操
作量に換算し(ステップ405)、かかる操作量に応じ
てサーボモータ21a,21b,21eを駆動すること
により、各テーブル6,8が移動して基板7が所望位置
の方へ移動する(ステップ406)。
上の位置決め用マ−クを画像認識カメラ11a,11b
で撮影して、その視野内での位置決め用マ−クの中心
(重心位置)を計測し(ステップ407)、視野の中心
とマ−ク中心との偏差を求め、基板7の位置ずれ量とし
てマイクロコンピュータ14aのRAMに格納する(ス
テップ408)。そして、位置ずれ量が図2で説明した
許容範囲の例えば1/2以下の値の範囲内にあるか否か
を確認する(ステップ409)。この範囲内にあれば、
ステップ400の処理が終了したことになる。この範囲
外にあれば、ステップ404に戻って以上の一連の処理
を再び行い、基板7の位置ずれ量が上記値の範囲内に入
るまで繰り返す。
始しようとする所望の塗布点が、ノズル1a,1bのペ
ースト吐出口の真下より所定範囲を越えて外れることの
ないように、基板7が位置決めされたことになる。
が終了すると、次に、ステップ500のペ−スト膜形成
処理に移る。これを、以下、図7で説明する。
まず、塗布開始位置へ基板7を移動させる(ステップ5
11)。基板7は先に説明した基板位置決め処理(図4
のステップ400)で所望位置に位置決めされているの
で、このステップ511では基板7を精度良く塗布開始
位置に移動させることができる。一方、副制御装置14
b側では、ノズル1a,1bを設定された高さ位置に移
動する(ステップ521)。即ち、ノズル1a,1bの
ペースト吐出口から基板7の表面までの対向間隔が、形
成するペ−スト膜の厚みに等しくなるように設定する。
ノズル1a,1bの移動の完了通知(ステップ522)
を受けて、主制御装置14a側ではステップ512に移
り、塗布開始位置から基板のパターン移動を開始し、ノ
ズル1a,1bがペ−ストの吐出を開始するステップ5
13に移動する。同時に、副制御装置14b側では、光
学式距離計3a,3bによるノズル1a,1bのペース
ト吐出口と基板7との対向間隔の実測デ−タを入力して
該基板7の表面のうねりを測定し(ステップ523)、
また、この実測デ−タに基づいて、光学式距離計3a,
3bの前述した計測点がペ−スト膜上を横切っているか
否かの判定が行われる(ステップ524)。例えば、光
学式距離計3a,3bの実測デ−タが、設定した対向間
隔の許容値を外れたような場合には、計測点がペ−スト
膜上にあると判定される。
ト膜上にないとき、実測デ−タを基にZ軸テ−ブル4
a,4bを移動させるための補正デ−タを算出する(ス
テップ525)。そして、Z軸テ−ブル4a,4bを駆
動してノズル1a,1bの高さを個別に補正し、Z軸方
向でのノズル1a,1bの位置を設定値に維持する(ス
テップ526)。これに対し、計測点がペ−スト膜上を
通過中と判定された場合には、ノズル1a,1bの高さ
補正は行わず、判定前の高さに保持しておく。なお、僅
かな幅のペ−スト膜上を計測点が通過中のときには、基
板7のうねりには殆ど変化がないので、ノズル1a,1
bの高さ補正を行わなくともペ−ストの吐出形状に変化
はなく、所望の厚さのペ−ストパターンを描くことがで
きる。
ストの吐出を終了させるか否かを判定し(ステップ51
4)、吐出を終了させた場合(ステップ515)は、ス
テップ516において、部分パターンの形成が終了した
か否かを判定する。そして、部分パターンが完了してい
なければ、ペーストの吐出を開始させる処理(ステップ
513)へ戻るが、部分パターンが完了した場合は、ノ
ズル上昇通知が出されて(ステップ517)、副制御装
置14bはノズル上昇処理(ステップ528)を行う。
主制御装置14aではさらに、基板7上の全パタ−ンの
形成が終了したか否かの判定を行い(ステップ51
8)、まだ描画する必要があれば、基板7を塗布開始位
置へ移動させる処理(ステップ511)およびノズル1
a,1bの高さを設定する処理(ステップ521)へ戻
って以上の一連の工程を繰り返し、全パタ−ンが完了し
た場合は、このペ−スト膜形成工程(ステップ500)
を終了する。
て描画していたペーストパタ−ンの終了点に達したか否
かを判定する処理動作であって、これらの終了点は必ず
しも基板7に描画する所望形状全体のパターンの終了点
ではない。つまり、所望形状全体のパターンは複数の互
いに分かれた部分パターンからなる場合もあり、また部
分パターンが不連続なパターンからなる場合もあるの
で、それらをすべて含む全パターンの終了点に達したか
否かの判定はステップ518で行うようになっている。
一方、副制御装置14bでは、ノズル1a,1bを退避
位置まで上昇させるか否かの判断(ステップ527)が
常になされており、上昇させる必要がなければ基板表面
うねり計測処理(ステップ523)へ戻って上述した一
連の処理を繰り返すので、計測点がペ−スト膜上を通過
し終わればノズル高さの補正工程が再開される。
ップ500)における各処理について詳細に説明する。
処理について、図8を参照しつつ説明する。
てステップ222で副制御装置14bのRAMに格納済
みの使用ノズルに関するデ−タNZL−Nの値を比較判
定し(ステップ521a)、デ−タNZL−Nが2の場
合には、ノズル1b,1aを設定された高さに順次移動
させ(ステップ521b,ステップ521c)、デ−タ
NZL−Nが2でない場合には、ノズル1aのみの移動
を行う(ステップ521c)。
14aにおけるペ−スト吐出処理について、図9を参照
しつつ説明する。
ップ521aと同様に、使用ノズルに関するデ−タNZ
L−Nの値を比較判定し(ステップ512a)、デ−タ
NZL−Nが2の場合には、ノズル1b,1aそれぞれ
のペ−スト吐出口からペーストの吐出を順次開始し(ス
テップ512b,ステップ512c)、デ−タNZL−
Nが2でない場合には、ノズル1aのみからペ−ストの
吐出を開始する(ステップ512c)。
置14bにおける基板表面うねり計測処理について、図
10を参照しつつ説明する。
テップ512aと同様に、使用ノズルに関するデ−タN
ZL−Nの値を比較判定し(ステップ523a)、デ−
タNZL−Nが2の場合には、ノズル1b,1aと基板
7の表面との対向間隔をそれぞれ、光学式距離計3b,
3aによって順次計測し(ステップ523b,ステップ
523c)、デ−タNZL−Nが2でない場合には、ノ
ズル1aと基板7の表面との対向間隔のみを光学式距離
計3aにて計測する(ステップ523c)。この計測デ
−タは、図3に示したマイクロコンピュ−タ14b−1
内蔵のRAMに格納しておいて、引き続き行われるペ−
スト膜上か否かの判定処理(ステップ524)やZ軸補
正デ−タ算出処理(ステップ525)などに使用する。
上か否かの判定処理では、図11に示すように、まず、
光学式距離計3aによるノズル1a側の計測点が既に描
いたペ−スト膜上を通過中か否かを判定し(ステップ5
24a)、通過中ならフラグNZLF1に1を設定し
(ステップ524b)、通過中でなければフラグNZL
F1に0を設定する(ステップ524c)。次に、光学
式距離計3bによるノズル1b側の計測点が既に描いた
ペ−スト膜上を通過中か否かを判定し(ステップ524
d)、通過中ならフラグNZLF2に1を設定し(ステ
ップ524e)、通過中でなければフラグNZLF2に
0を設定する(ステップ524f)。この判定結果は、
後述するノズル高さ補正処理で使用する。
−タ算出処理では、図12に示すように、まず、使用ノ
ズルに関するデ−タNZL−Nの値を比較判定し(ステ
ップ525a)、デ−タNZL−Nが2の場合には、ノ
ズル1b,1aの補正デ−タを順次算出し(ステップ5
25b,ステップ525c)、デ−タNZL−Nが2で
ない場合には、ノズル1aだけについて補正デ−タを算
出する(ステップ525c)。この算出デ−タは、図3
に示したマイクロコンピュ−タ14b−1内蔵のRAM
に格納しておく。
さ補正処理について、図13を参照しつつ説明する。
ル1a側のフラグNZLF1が立っているかどうかを判
定し(ステップ526a)、フラグNZLF1がないと
き、つまり計測点がペ−スト膜上を通過していないとき
には、ステップ526bに進んで、ノズル1aの補正デ
−タ算出処理(図12のステップ525c)により求め
ておいた算出デ−タをマイクロコンピュ−タ14b−1
のRAMから読み出して該ノズル1aの高さ補正を行う
(ステップ526b)。また、フラグNZLF1が立て
られている場合は、計測点がペ−スト膜上を通過中なの
でステップ526cに飛び、よってノズル1aの高さは
補正されず通過前の高さが維持される。同様に、ステッ
プ526cでは、図11の判定処理で設定されたノズル
1b側のフラグNZLF2が立っているかどうかを判定
し、フラグNZLF2が0で計測点がペ−スト膜上を通
過中でないときにはステップ526dに進んで、ノズル
1bの補正デ−タ算出処理(図12のステップ525
b)により求めておいた算出デ−タを上記RAMから読
み出して該ノズル1bの高さ補正を行い、また、フラグ
NZLF2が1で計測点がペ−スト膜上を通過中のとき
は、ノズル1bの高さは補正せず通過前の高さを維持し
て終了する。
26)が終了したなら、図7のステップ527に進ん
で、ノズルを退避位置まで上昇させる指令があるか否か
を判定し、指令がなければペ−ストパターンを塗布描画
中ということなので、基板表面うねり計測処理(ステッ
プ523)に戻って同様の処理を繰り返す。
のペ−スト膜形成工程(ステップ500)が終了したな
ら、吸着台13に載置保持されている基板7についてペ
−ストの塗布描画が終了したことになるので、図4のス
テップ600に進んで該基板7を吸着台13から排出
し、次にステップ700で全ての処理を停止するかどう
かを判定する。即ち、複数枚の基板7に同じパタ−ンで
ペ−ストを塗布描画する場合は、ステップ300に戻っ
てステップ700までの一連の処理を繰返し実施すれ
ば、量産性が高まる。
ル1a,1bとの水平方向の相対位置関係を制御してペ
ーストパターンの描画位置を管理する主制御装置14a
と、ノズル1a,1bの高さを制御してペ−ストの塗布
高さを管理する副制御装置14bとを備えており、この
副制御装置14bは全体を統括する主制御装置14aと
機能を分離してはいるものの、両制御装置14a,14
b間でノズル昇降などに関する若干量のデ−タの授受を
行えば塗布描画の一連の工程を一体的に制御することが
できる。そして、副制御装置14bがノズル1a,1b
の高さ管理以外の処理を負担しないことから、この高さ
管理周期を短くすること、つまり光学式距離計3a,3
bによる計測デ−タと高さ補正の回数を多くすることが
できて、これにより、ノズル1a,1bの高さをそれぞ
れ基板7の表面のうねりに正確に追随させることができ
る。したがって、各ノズル1a,1bを用いて描かれた
ペ−ストパタ−ンの幅や高さは、いずれも所望のものに
なる。また、光学式距離計3a,3bによる計測データ
が副制御装置14bの記憶手段に格納されるようになっ
ているため、データの授受が高速に実行できて処理の遅
れは生じない。
光学式距離計3a,3bの測定結果などに基づくノズル
1a,1bの高さ補正の処理から解放されるので、エン
コ−ダEのデ−タを基にY,θ軸テ−ブル6,8を細か
く駆動させて微細なパタ−ンが描けるようになり、全体
を統括するための管理もこまめに実行できるようにな
る。
雑化が回避できるので、所望形状の複数のペーストパタ
ーンを同時に高精度に、しかも高速に描画することが可
能となっており、きめ細かな管理を実行して信頼性を高
めることも容易である。
14aと副制御装置14bの処理ソフトは独立したモジ
ュ−ルとすることができるので、開発が容易で、デバグ
作業も容易となり、処理ソフト面での高信頼性も確保で
きる。
近した開いた瓶の断面形状のペーストパターンを形成す
る場合、該パターンの始端と終端において、ペ−ストの
吐出圧力や、Y,θ軸テ−ブル6,8の位置や、両ノズ
ル1a,1bの高さなどを一致させる必要があるが、上
記実施例では、主および副制御装置14a,14bが自
律分散処理でこれらの制御を分担するので、始端および
終端の形状が乱れない所望のペ−ストパタ−ンを容易に
描くことができる。
0)での所要時間の短縮化を図るために、外部インタ−
フェ−ス14a−2に接続されてICカ−ドあるいはフ
ロッピディスクやハ−ドディスクなどの記憶手段が装填
される外部記憶装置16に、必要な各種データを前もっ
て格納しておき、これらのデ−タをマイクロコンピュ−
タ14a−1,14b−1のRAMに移すようにしても
良い。また、計測したデ−タを外部記憶装置16に格納
してマイクロコンピュ−タ14a−1,14b−1のR
AMの記憶容量拡大化を図ったり、判定結果についての
デ−タを外部記憶装置16に格納して後日利用できるよ
うにしても良い。
のペ−ストパタ−ンを描く場合について説明したが、吸
着台13に複数の基板を吸着保持せしめ、各基板に同時
に同様のペ−ストパタ−ンを描かせても良い。その際、
Z軸テ−ブル4a,4bの図示省略せるX,Y軸テ−ブ
ルを駆動制御すれば、各基板の位置合わせ対応において
好都合である。また、画像認識カメラ11a,11bが
X,Y軸テ−ブルを備えていると、大きさの異なる基板
の位置決め用マ−クに従ってこれらのテ−ブルを駆動制
御し、所定の場所に画像認識カメラ11a,11bを移
動させることができるので、各種の大きさの基板にペー
ストパターンを描画することができる。
スト塗布機は、ノズルと基板表面との対向間隔の制御
を、該ノズルと該基板との水平方向の相対位置制御に対
し独立して処理することができるので、複数のノズルを
それぞれ対向する基板表面のうねりに追従させながらペ
ーストパターンを形成することができ、そのため、基板
上に所望形状の複数のペーストパターンを同時に高精度
に、しかも高速に塗布描画することができる。したがっ
て、量産工場において、ラインの複雑化や現場スペース
の拡張を行わなくとも、容易に生産性を高めることがで
きて、製品価格を大幅に低減することが可能となる。
概略斜視図である。
を示す斜視図である。
図である。
る。
示すフローチャートである。
ャートである。
チャートである。
ートである。
ャートである。
フローチャートである。
すフローチャートである。
フローチャートである。
ーチャートである。
Claims (3)
- 【請求項1】 ノズルのペースト吐出口と対向するよう
に基板をテーブル上に載置し、ペースト収納筒に収納し
たペーストを上記吐出口から上記基板上へ吐出させなが
ら上記ノズルと該基板との相対位置関係を変化させ、該
基板上に所望形状のペーストパターンを描画形成するペ
ースト塗布機において、 複数のノズルと、これら各ノズルのペースト吐出口と上
記基板の表面との対向間隔を個別に計測する複数の計測
手段と、上記各ノズルと上記基板とを水平方向に相対的
に移動させる移動手段と、この相対的移動時における上
記各計測手段の計測デ−タを用いて上記各ノズルのペー
スト吐出口と上記基板の表面との対向間隔を個別に制御
する制御手段とを備えたことを特徴とするペースト塗布
機。 - 【請求項2】 請求項1の記載において、上記複数のノ
ズルが、上記テ−ブル上に載置した複数の基板に対して
個別にペーストを吐出するものであるとともに、上記移
動手段が、上記各ノズルと上記各基板との水平方向の相
対的移動を同量かつ同時に行わせるものであることを特
徴とするペースト塗布機。 - 【請求項3】 請求項1または2の記載において、上記
制御手段が、上記各計測手段の計測デ−タを記憶する記
憶手段を備えていることを特徴とするペースト塗布機。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6072151A JP2880642B2 (ja) | 1994-04-11 | 1994-04-11 | ペースト塗布機 |
KR1019950007696A KR0159421B1 (ko) | 1994-04-11 | 1995-04-03 | 페이스트 도포기 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6072151A JP2880642B2 (ja) | 1994-04-11 | 1994-04-11 | ペースト塗布機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07275771A true JPH07275771A (ja) | 1995-10-24 |
JP2880642B2 JP2880642B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=13480978
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6072151A Expired - Lifetime JP2880642B2 (ja) | 1994-04-11 | 1994-04-11 | ペースト塗布機 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2880642B2 (ja) |
KR (1) | KR0159421B1 (ja) |
Cited By (82)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09253550A (ja) * | 1996-03-22 | 1997-09-30 | Ricoh Co Ltd | ペースト塗布装置 |
JP2000317372A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-21 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | ペーストパターンの品質管理方法とペースト塗布機 |
JP2003031642A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-31 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板搬送装置、それを用いたペースト塗布装置、及びペースト塗布方法 |
JP2005028202A (ja) * | 2003-07-07 | 2005-02-03 | Hitachi Industries Co Ltd | テーブル平行度調整装置とそれを用いたディスペンサ |
KR100476287B1 (ko) * | 2001-05-25 | 2005-03-16 | 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈 | 페이스트 도포기 |
KR100495366B1 (ko) * | 2001-08-21 | 2005-06-14 | 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈 | 페이스트도포기와 페이스트도포방법 |
WO2006075354A1 (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 画像処理システム |
US7163033B2 (en) | 2003-06-30 | 2007-01-16 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Substrate bonding apparatus for liquid crystal display device panel |
US7230670B2 (en) | 2001-10-05 | 2007-06-12 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method for fabricating LCD |
KR100733254B1 (ko) * | 2005-10-07 | 2007-06-27 | 삼성전기주식회사 | 레지스트 패턴 형성 장치 및 이를 이용하는 레지스트 패턴형성 방법 |
US7237579B2 (en) | 2003-06-27 | 2007-07-03 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system |
US7240438B2 (en) | 2003-12-10 | 2007-07-10 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Aligning apparatus |
US7244160B2 (en) | 2002-03-23 | 2007-07-17 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display device bonding apparatus and method of using the same |
US7250989B2 (en) | 2002-03-15 | 2007-07-31 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Substrate bonding apparatus having alignment system with one end provided inside vacuum chamber for liquid crystal display device |
US7255147B2 (en) | 2002-03-16 | 2007-08-14 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Bonding device for fabricating liquid crystal display and substrate for fabricating liquid crystal display |
US7256859B2 (en) | 2001-11-30 | 2007-08-14 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display panel having dummy column spacer and UV sealant |
US7258894B2 (en) | 2002-03-23 | 2007-08-21 | L.G.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for dispensing liquid crystal material |
US7271904B2 (en) | 2002-11-13 | 2007-09-18 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Seal dispenser for fabricating liquid crystal display panel and method for detecting discontinuous portion of seal pattern using the same |
US7270587B2 (en) | 2002-03-05 | 2007-09-18 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display devices, method for using the apparatus, and device produced by the method |
US7275577B2 (en) | 2002-11-16 | 2007-10-02 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Substrate bonding machine for liquid crystal display device |
US7280180B2 (en) | 2002-03-19 | 2007-10-09 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display panel with first and second dummy UV sealants and method for fabricating the same |
US7294999B2 (en) | 2003-12-30 | 2007-11-13 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus for automatically displaying the grade of liquid crystal display device and operating method thereof |
US7300084B2 (en) | 2002-03-23 | 2007-11-27 | L.G.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus for conveying liquid crystal display panel |
US7306016B2 (en) | 2002-03-15 | 2007-12-11 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus having confirming function for remaining amount of liquid crystal and method for measuring the same |
US7310128B2 (en) | 2003-12-26 | 2007-12-18 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Manufacturing line of liquid crystal display device and fabricating method thereof |
US7314535B2 (en) | 2002-11-07 | 2008-01-01 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Structure for loading substrate in substrate bonding apparatus for fabricating liquid crystal display device |
US7316248B2 (en) | 2003-11-17 | 2008-01-08 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method of dispensing liquid crystal |
US7319503B2 (en) | 2002-03-09 | 2008-01-15 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method for cutting liquid crystal display panel |
US7322490B2 (en) | 2003-05-09 | 2008-01-29 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system and method of dispensing liquid crystal material using same |
US7324184B2 (en) | 2002-03-13 | 2008-01-29 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Indicator for deciding grinding amount of liquid crystal display panel and method for detecting grinding failure using the same |
US7329169B2 (en) | 2002-03-25 | 2008-02-12 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for fabricating liquid crystal display panel |
US7336337B2 (en) | 2001-12-22 | 2008-02-26 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd | Liquid crystal display device and method of fabricating the same |
US7340322B2 (en) | 2003-10-31 | 2008-03-04 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Rubbing apparatus for liquid crystal display panel and method thereof |
US7341641B2 (en) | 2002-03-20 | 2008-03-11 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Bonding device for manufacturing liquid crystal display device |
US7345734B2 (en) | 2003-12-30 | 2008-03-18 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Dispenser system for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
US7349060B2 (en) | 2003-12-02 | 2008-03-25 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Loader and bonding apparatus for fabricating liquid crystal display device and loading method thereof |
US7349050B2 (en) | 2002-02-07 | 2008-03-25 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Ultraviolet irradiating device and method of manufacturing liquid crystal display device using the same |
US7352430B2 (en) | 2002-02-04 | 2008-04-01 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing a liquid crystal display device, a method for using the apparatus, and a device produced by the method |
US7361240B2 (en) | 2003-12-13 | 2008-04-22 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for fabricating liquid crystal display |
US7363948B2 (en) | 2002-07-20 | 2008-04-29 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for dispensing liquid crystal |
US7365822B2 (en) | 2002-02-20 | 2008-04-29 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method for fabricating LCD |
US7364633B2 (en) | 2002-11-15 | 2008-04-29 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Device and method for fabricating liquid crystal display device |
US7369210B2 (en) | 2002-02-06 | 2008-05-06 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display device using unitary vacuum processing chamber |
US7372511B2 (en) | 2002-03-08 | 2008-05-13 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Device for controlling spreading of liquid crystal and method for fabricating an LCD |
US7370681B2 (en) | 2002-11-16 | 2008-05-13 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Substrate bonding apparatus for liquid crystal display device |
US7373958B2 (en) | 2003-06-25 | 2008-05-20 | Lg Displays Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus |
US7384485B2 (en) | 2003-06-24 | 2008-06-10 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system which can read information of liquid crystal container and method of dispensing liquid crystal material using same |
US7391494B2 (en) | 2002-02-27 | 2008-06-24 | Lg Display Co., Ltd. | Method of fabricating LCD |
US7405799B2 (en) | 2002-03-20 | 2008-07-29 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
US7405800B2 (en) | 2002-03-23 | 2008-07-29 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display panel device having compensation cell gap, method of fabricating the same and method of using the same |
US7408614B2 (en) | 2003-12-10 | 2008-08-05 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display panel having seal pattern for easy cut line separation minimizing liquid crystal contamination and method of manufacturing the same |
US7407553B2 (en) | 2003-06-02 | 2008-08-05 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for fabricating a liquid crystal display panel |
US7410109B2 (en) | 2002-02-07 | 2008-08-12 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus with nozzle protecting device |
US7416010B2 (en) | 2002-03-08 | 2008-08-26 | Lg Display Co., Ltd. | Bonding apparatus and system for fabricating liquid crystal display device |
US7419548B2 (en) | 2003-06-24 | 2008-09-02 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus having separable liquid crystal discharging pump |
US7418991B2 (en) | 2002-11-18 | 2008-09-02 | Lg Display Co., Ltd. | Substrate bonding apparatus for manufacturing liquid crystal display device |
US7426010B2 (en) | 2002-02-27 | 2008-09-16 | Lg Display Co., Ltd. | Method for fabricating LCD |
US7426951B2 (en) | 2002-03-25 | 2008-09-23 | Lg Display Co., Ltd. | LCD bonding machine and method for fabricating LCD by using the same |
US7433014B2 (en) | 2001-12-22 | 2008-10-07 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of fabricating the same |
US7528922B2 (en) | 2002-12-17 | 2009-05-05 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus and method for measuring ground amounts of liquid crystal display panel |
US7532301B2 (en) | 2002-03-07 | 2009-05-12 | Lg Display Co., Ltd. | Method for fabricating liquid crystal display panel including dummy sealant pattern |
US7592034B2 (en) | 2002-11-13 | 2009-09-22 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser system for liquid crystal display panel, dispensing method using the same, and method of fabricating liquid crystal display panel using dispenser system and dispensing method |
US7659963B2 (en) | 2002-02-20 | 2010-02-09 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus with nozzle cleaning device |
US7687101B2 (en) | 2002-11-13 | 2010-03-30 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
US7691432B2 (en) | 2002-11-13 | 2010-04-06 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and method for detecting residual quantity of dispensing material using the same |
US7692756B2 (en) | 2001-12-21 | 2010-04-06 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of fabricating the same |
US7698833B2 (en) | 2002-03-15 | 2010-04-20 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for hardening a sealant located between a pair bonded substrates of liquid crystal display device |
US7732004B2 (en) | 2003-11-25 | 2010-06-08 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
US7775244B2 (en) | 2003-12-17 | 2010-08-17 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system |
US7807214B2 (en) | 2003-11-22 | 2010-10-05 | Lg Display Co., Ltd. | Dispensing apparatus for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
US7950345B2 (en) | 2002-12-20 | 2011-05-31 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
US7969547B2 (en) | 2002-11-19 | 2011-06-28 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser system for liquid crystal display panel and method of using the same |
US8052013B2 (en) | 2002-02-20 | 2011-11-08 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus having integrated needle sheet |
US8074551B2 (en) | 2002-02-26 | 2011-12-13 | Lg Display Co., Ltd. | Cutting wheel for liquid crystal display panel |
US8113401B2 (en) | 2002-10-22 | 2012-02-14 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for cutting liquid crystal display panel |
US8146641B2 (en) | 2003-12-01 | 2012-04-03 | Lg Display Co., Ltd. | Sealant hardening apparatus of liquid crystal display panel and sealant hardening method thereof |
US8147645B2 (en) | 2003-06-02 | 2012-04-03 | Lg Display Co., Ltd. | Syringe for fabricating liquid crystal display panel |
US8203685B2 (en) | 2003-12-10 | 2012-06-19 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display panel having seal pattern for minimizing liquid crystal contamination and method of manufacturing the same |
US8322542B2 (en) | 2002-03-15 | 2012-12-04 | Lg Display Co., Ltd. | Cassette for receiving substrates |
US8747941B2 (en) | 2003-12-17 | 2014-06-10 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus |
USRE46146E1 (en) | 2002-02-20 | 2016-09-13 | Lg Display Co., Ltd | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
CN113710008A (zh) * | 2021-08-31 | 2021-11-26 | 东莞市黄江大顺电子有限公司 | 一种具有刷胶组件的软硬板外表面打糙装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101395698B1 (ko) * | 2012-07-11 | 2014-05-19 | 성균관대학교산학협력단 | 태양전지의 전면전극을 제조하는 제조장치 및 그 제조방법 |
-
1994
- 1994-04-11 JP JP6072151A patent/JP2880642B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-04-03 KR KR1019950007696A patent/KR0159421B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (100)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09253550A (ja) * | 1996-03-22 | 1997-09-30 | Ricoh Co Ltd | ペースト塗布装置 |
JP2000317372A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-21 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | ペーストパターンの品質管理方法とペースト塗布機 |
KR100476287B1 (ko) * | 2001-05-25 | 2005-03-16 | 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈 | 페이스트 도포기 |
JP2003031642A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-31 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板搬送装置、それを用いたペースト塗布装置、及びペースト塗布方法 |
KR100495366B1 (ko) * | 2001-08-21 | 2005-06-14 | 가부시키가이샤 히다치 인더스트리즈 | 페이스트도포기와 페이스트도포방법 |
US7230670B2 (en) | 2001-10-05 | 2007-06-12 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method for fabricating LCD |
US7256859B2 (en) | 2001-11-30 | 2007-08-14 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display panel having dummy column spacer and UV sealant |
US7692756B2 (en) | 2001-12-21 | 2010-04-06 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of fabricating the same |
US7999908B2 (en) | 2001-12-21 | 2011-08-16 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of fabricating the same |
US7433014B2 (en) | 2001-12-22 | 2008-10-07 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of fabricating the same |
US7349056B2 (en) | 2001-12-22 | 2008-03-25 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of fabricating the same |
US7336337B2 (en) | 2001-12-22 | 2008-02-26 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd | Liquid crystal display device and method of fabricating the same |
US7352430B2 (en) | 2002-02-04 | 2008-04-01 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing a liquid crystal display device, a method for using the apparatus, and a device produced by the method |
US7369210B2 (en) | 2002-02-06 | 2008-05-06 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display device using unitary vacuum processing chamber |
US7349050B2 (en) | 2002-02-07 | 2008-03-25 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Ultraviolet irradiating device and method of manufacturing liquid crystal display device using the same |
US7410109B2 (en) | 2002-02-07 | 2008-08-12 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus with nozzle protecting device |
US7659963B2 (en) | 2002-02-20 | 2010-02-09 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus with nozzle cleaning device |
US8052013B2 (en) | 2002-02-20 | 2011-11-08 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus having integrated needle sheet |
US7365822B2 (en) | 2002-02-20 | 2008-04-29 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method for fabricating LCD |
USRE46146E1 (en) | 2002-02-20 | 2016-09-13 | Lg Display Co., Ltd | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
US8074551B2 (en) | 2002-02-26 | 2011-12-13 | Lg Display Co., Ltd. | Cutting wheel for liquid crystal display panel |
US7426010B2 (en) | 2002-02-27 | 2008-09-16 | Lg Display Co., Ltd. | Method for fabricating LCD |
US7391494B2 (en) | 2002-02-27 | 2008-06-24 | Lg Display Co., Ltd. | Method of fabricating LCD |
US7270587B2 (en) | 2002-03-05 | 2007-09-18 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing liquid crystal display devices, method for using the apparatus, and device produced by the method |
US7532301B2 (en) | 2002-03-07 | 2009-05-12 | Lg Display Co., Ltd. | Method for fabricating liquid crystal display panel including dummy sealant pattern |
US7416010B2 (en) | 2002-03-08 | 2008-08-26 | Lg Display Co., Ltd. | Bonding apparatus and system for fabricating liquid crystal display device |
US7372511B2 (en) | 2002-03-08 | 2008-05-13 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Device for controlling spreading of liquid crystal and method for fabricating an LCD |
US7319503B2 (en) | 2002-03-09 | 2008-01-15 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method for cutting liquid crystal display panel |
US7324184B2 (en) | 2002-03-13 | 2008-01-29 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Indicator for deciding grinding amount of liquid crystal display panel and method for detecting grinding failure using the same |
US7698833B2 (en) | 2002-03-15 | 2010-04-20 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for hardening a sealant located between a pair bonded substrates of liquid crystal display device |
US8322542B2 (en) | 2002-03-15 | 2012-12-04 | Lg Display Co., Ltd. | Cassette for receiving substrates |
US7306016B2 (en) | 2002-03-15 | 2007-12-11 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus having confirming function for remaining amount of liquid crystal and method for measuring the same |
US7250989B2 (en) | 2002-03-15 | 2007-07-31 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Substrate bonding apparatus having alignment system with one end provided inside vacuum chamber for liquid crystal display device |
US7255147B2 (en) | 2002-03-16 | 2007-08-14 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Bonding device for fabricating liquid crystal display and substrate for fabricating liquid crystal display |
US7280180B2 (en) | 2002-03-19 | 2007-10-09 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display panel with first and second dummy UV sealants and method for fabricating the same |
US7341641B2 (en) | 2002-03-20 | 2008-03-11 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Bonding device for manufacturing liquid crystal display device |
US7578900B2 (en) | 2002-03-20 | 2009-08-25 | Lg Display Co., Ltd. | Bonding device for manufacturing liquid crystal display device |
US7405799B2 (en) | 2002-03-20 | 2008-07-29 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
US7616289B2 (en) | 2002-03-23 | 2009-11-10 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for conveying liquid crystal display panel |
US7258894B2 (en) | 2002-03-23 | 2007-08-21 | L.G.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for dispensing liquid crystal material |
US7690962B2 (en) | 2002-03-23 | 2010-04-06 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device bonding apparatus and method of using the same |
US7244160B2 (en) | 2002-03-23 | 2007-07-17 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display device bonding apparatus and method of using the same |
US7405800B2 (en) | 2002-03-23 | 2008-07-29 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display panel device having compensation cell gap, method of fabricating the same and method of using the same |
US7300084B2 (en) | 2002-03-23 | 2007-11-27 | L.G.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus for conveying liquid crystal display panel |
US8899175B2 (en) | 2002-03-23 | 2014-12-02 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus and method for dispensing liquid crystal material |
US7426951B2 (en) | 2002-03-25 | 2008-09-23 | Lg Display Co., Ltd. | LCD bonding machine and method for fabricating LCD by using the same |
US7329169B2 (en) | 2002-03-25 | 2008-02-12 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for fabricating liquid crystal display panel |
US7363948B2 (en) | 2002-07-20 | 2008-04-29 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for dispensing liquid crystal |
US8113401B2 (en) | 2002-10-22 | 2012-02-14 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus for cutting liquid crystal display panel |
US7314535B2 (en) | 2002-11-07 | 2008-01-01 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Structure for loading substrate in substrate bonding apparatus for fabricating liquid crystal display device |
US7836934B2 (en) | 2002-11-07 | 2010-11-23 | Lg Display Co., Ltd. | Structure for loading substrate in substrate bonding apparatus for fabricating liquid crystal display device |
US8225743B2 (en) | 2002-11-13 | 2012-07-24 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
US7687101B2 (en) | 2002-11-13 | 2010-03-30 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
US7592034B2 (en) | 2002-11-13 | 2009-09-22 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser system for liquid crystal display panel, dispensing method using the same, and method of fabricating liquid crystal display panel using dispenser system and dispensing method |
US7271904B2 (en) | 2002-11-13 | 2007-09-18 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Seal dispenser for fabricating liquid crystal display panel and method for detecting discontinuous portion of seal pattern using the same |
US7691432B2 (en) | 2002-11-13 | 2010-04-06 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and method for detecting residual quantity of dispensing material using the same |
US7364633B2 (en) | 2002-11-15 | 2008-04-29 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Device and method for fabricating liquid crystal display device |
US7370681B2 (en) | 2002-11-16 | 2008-05-13 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Substrate bonding apparatus for liquid crystal display device |
US7275577B2 (en) | 2002-11-16 | 2007-10-02 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Substrate bonding machine for liquid crystal display device |
US7886793B2 (en) | 2002-11-16 | 2011-02-15 | Lg Display Co., Ltd. | Substrate bonding machine for liquid crystal display device |
US7418991B2 (en) | 2002-11-18 | 2008-09-02 | Lg Display Co., Ltd. | Substrate bonding apparatus for manufacturing liquid crystal display device |
US8184258B2 (en) | 2002-11-19 | 2012-05-22 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser system for liquid crystal display panel and method of using the same |
US7969547B2 (en) | 2002-11-19 | 2011-06-28 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser system for liquid crystal display panel and method of using the same |
US7528922B2 (en) | 2002-12-17 | 2009-05-05 | Lg Display Co., Ltd. | Apparatus and method for measuring ground amounts of liquid crystal display panel |
US7950345B2 (en) | 2002-12-20 | 2011-05-31 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
US9285614B2 (en) | 2003-04-24 | 2016-03-15 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system and method of dispensing liquid crystal material using same |
US8714106B2 (en) | 2003-05-09 | 2014-05-06 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system and method of dispensing liquid crystal material using same |
US7785655B2 (en) | 2003-05-09 | 2010-08-31 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system and method of dispensing liquid crystal material using same |
US7322490B2 (en) | 2003-05-09 | 2008-01-29 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system and method of dispensing liquid crystal material using same |
US8147645B2 (en) | 2003-06-02 | 2012-04-03 | Lg Display Co., Ltd. | Syringe for fabricating liquid crystal display panel |
US7407553B2 (en) | 2003-06-02 | 2008-08-05 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for fabricating a liquid crystal display panel |
US7384485B2 (en) | 2003-06-24 | 2008-06-10 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system which can read information of liquid crystal container and method of dispensing liquid crystal material using same |
US7419548B2 (en) | 2003-06-24 | 2008-09-02 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus having separable liquid crystal discharging pump |
US7373958B2 (en) | 2003-06-25 | 2008-05-20 | Lg Displays Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus |
US7237579B2 (en) | 2003-06-27 | 2007-07-03 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system |
US7163033B2 (en) | 2003-06-30 | 2007-01-16 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Substrate bonding apparatus for liquid crystal display device panel |
JP2005028202A (ja) * | 2003-07-07 | 2005-02-03 | Hitachi Industries Co Ltd | テーブル平行度調整装置とそれを用いたディスペンサ |
US7340322B2 (en) | 2003-10-31 | 2008-03-04 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Rubbing apparatus for liquid crystal display panel and method thereof |
US7316248B2 (en) | 2003-11-17 | 2008-01-08 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method of dispensing liquid crystal |
US7807214B2 (en) | 2003-11-22 | 2010-10-05 | Lg Display Co., Ltd. | Dispensing apparatus for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
US7732004B2 (en) | 2003-11-25 | 2010-06-08 | Lg Display Co., Ltd. | Dispenser for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
US8146641B2 (en) | 2003-12-01 | 2012-04-03 | Lg Display Co., Ltd. | Sealant hardening apparatus of liquid crystal display panel and sealant hardening method thereof |
US7349060B2 (en) | 2003-12-02 | 2008-03-25 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Loader and bonding apparatus for fabricating liquid crystal display device and loading method thereof |
US7408614B2 (en) | 2003-12-10 | 2008-08-05 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display panel having seal pattern for easy cut line separation minimizing liquid crystal contamination and method of manufacturing the same |
US8203685B2 (en) | 2003-12-10 | 2012-06-19 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal display panel having seal pattern for minimizing liquid crystal contamination and method of manufacturing the same |
US7240438B2 (en) | 2003-12-10 | 2007-07-10 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Aligning apparatus |
US7361240B2 (en) | 2003-12-13 | 2008-04-22 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus and method for fabricating liquid crystal display |
US8747941B2 (en) | 2003-12-17 | 2014-06-10 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing apparatus |
US8176949B2 (en) | 2003-12-17 | 2012-05-15 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system |
US7775244B2 (en) | 2003-12-17 | 2010-08-17 | Lg Display Co., Ltd. | Liquid crystal dispensing system |
US7310128B2 (en) | 2003-12-26 | 2007-12-18 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Manufacturing line of liquid crystal display device and fabricating method thereof |
US7345734B2 (en) | 2003-12-30 | 2008-03-18 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Dispenser system for liquid crystal display panel and dispensing method using the same |
US7294999B2 (en) | 2003-12-30 | 2007-11-13 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Apparatus for automatically displaying the grade of liquid crystal display device and operating method thereof |
JP4661791B2 (ja) * | 2005-01-11 | 2011-03-30 | 三菱電機株式会社 | 画像処理システム |
US7760391B2 (en) | 2005-01-11 | 2010-07-20 | Mitsubishi Electric Corp. | Image processing system |
JPWO2006075354A1 (ja) * | 2005-01-11 | 2008-06-12 | 三菱電機株式会社 | 画像処理システム |
WO2006075354A1 (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 画像処理システム |
KR100733254B1 (ko) * | 2005-10-07 | 2007-06-27 | 삼성전기주식회사 | 레지스트 패턴 형성 장치 및 이를 이용하는 레지스트 패턴형성 방법 |
CN113710008A (zh) * | 2021-08-31 | 2021-11-26 | 东莞市黄江大顺电子有限公司 | 一种具有刷胶组件的软硬板外表面打糙装置 |
CN113710008B (zh) * | 2021-08-31 | 2022-06-07 | 东莞市黄江大顺电子有限公司 | 一种具有刷胶组件的软硬板外表面打糙装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR0159421B1 (ko) | 1998-11-16 |
JP2880642B2 (ja) | 1999-04-12 |
KR950031519A (ko) | 1995-12-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH07275771A (ja) | ペースト塗布機 | |
JP2809588B2 (ja) | ペースト塗布機 | |
US5932012A (en) | Paste applicator having positioning means | |
JP3492190B2 (ja) | ペースト塗布方法とペースト塗布機 | |
JPH091026A (ja) | ペースト塗布機 | |
JPH08173874A (ja) | ペースト塗布機 | |
JPH0994500A (ja) | ペースト塗布機 | |
JP3520205B2 (ja) | ペースト塗布方法とペースト塗布機 | |
KR100495366B1 (ko) | 페이스트도포기와 페이스트도포방법 | |
KR100646695B1 (ko) | 액정패널의 제조방법과 그 제조장치 및 페이스트 도포장치 | |
JP2752553B2 (ja) | ペースト塗布機 | |
JP3806661B2 (ja) | ペースト塗布方法とペースト塗布機 | |
JP4251793B2 (ja) | ペースト塗布機 | |
JP3811028B2 (ja) | ペースト塗布機とその制御方法 | |
JP3510124B2 (ja) | ペースト塗布方法及びペースト塗布機 | |
JP2849320B2 (ja) | ペースト塗布機 | |
JP3539891B2 (ja) | ペースト塗布機のノズル高さ位置決め方法 | |
JPH09323056A (ja) | ペースト塗布機 | |
JP3470060B2 (ja) | ペースト塗布方法とペースト塗布機 | |
JP2713687B2 (ja) | ペースト塗布機 | |
JPH09122554A (ja) | ペースト塗布機 | |
JP2003039001A (ja) | ペースト塗布機とパターン塗布方法 | |
JP3469991B2 (ja) | ペースト塗布機 | |
JP3507033B2 (ja) | ペースト塗布機 | |
KR100559751B1 (ko) | 페이스트 도포기의 제어방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080129 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090129 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090129 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100129 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110129 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110129 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120129 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130129 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140129 Year of fee payment: 15 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |