JPH07146142A - 傾斜角センサ - Google Patents
傾斜角センサInfo
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- JPH07146142A JPH07146142A JP31586393A JP31586393A JPH07146142A JP H07146142 A JPH07146142 A JP H07146142A JP 31586393 A JP31586393 A JP 31586393A JP 31586393 A JP31586393 A JP 31586393A JP H07146142 A JPH07146142 A JP H07146142A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
- G01C9/18—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids
- G01C9/24—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids in closed containers partially filled with liquid so as to leave a gas bubble
- G01C9/36—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids in closed containers partially filled with liquid so as to leave a gas bubble of the spherical type, i.e. for indicating the level in all directions
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- G01C9/02—Details
- G01C9/06—Electric or photoelectric indication or reading means
- G01C2009/062—Electric or photoelectric indication or reading means capacitive
-
- G—PHYSICS
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- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 傾斜角の検出において補正の必要がなく、ま
た耐久性の優れた傾斜角センサを得る。 【構成】 円筒部材１３の両端を天板１１と底板１２に
接着することにより密閉容器１４を形成し、この密閉容
器１４内に電解液Ａと気泡Ｂを密封する。天板１１の円
筒部材１３側の内壁面に上部電極２１、２２を、また底
板１２の円筒部材１３側の内壁面に下部電極２３をマス
キングを用いて形成する。下部電極２３を密閉容器１４
下部のほぼ全面にわたって形成しているため、傾斜角の
検出において補正の必要がない。更に下部電極２３と電
解液Ａの接触面積が大きいため電解液Ａの電気分解が少
ない。
た耐久性の優れた傾斜角センサを得る。 【構成】 円筒部材１３の両端を天板１１と底板１２に
接着することにより密閉容器１４を形成し、この密閉容
器１４内に電解液Ａと気泡Ｂを密封する。天板１１の円
筒部材１３側の内壁面に上部電極２１、２２を、また底
板１２の円筒部材１３側の内壁面に下部電極２３をマス
キングを用いて形成する。下部電極２３を密閉容器１４
下部のほぼ全面にわたって形成しているため、傾斜角の
検出において補正の必要がない。更に下部電極２３と電
解液Ａの接触面積が大きいため電解液Ａの電気分解が少
ない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水平に対する傾斜角を
検出する傾斜角センサに関する。
検出する傾斜角センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来傾斜角センサとして、電解液と気泡
が密封された密閉容器の上部内壁面に第１および第２の
上部電極が、また下部内壁面のほぼ中央に下部電極が設
けられ、第１の上部電極および下部電極の電流値と第２
の上部電極および下部電極の電流値との差に基いて、傾
斜角センサの水平に対する傾斜角を検出するものが知ら
れている。
が密封された密閉容器の上部内壁面に第１および第２の
上部電極が、また下部内壁面のほぼ中央に下部電極が設
けられ、第１の上部電極および下部電極の電流値と第２
の上部電極および下部電極の電流値との差に基いて、傾
斜角センサの水平に対する傾斜角を検出するものが知ら
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこの傾斜
角センサにおいて、傾斜角センサが水平に設置されてい
るとき、下部電極が各上部電極に対して同じ距離に位置
していないと、各上部電極と下部電極間の距離の差によ
り、抵抗値に差が生じるため、補正を行う必要がある。
また、下部電極の表面積が比較的小さいので、電解液の
電流密度が大きくなり、電解液の電気分解が起こり易い
ため、従来の傾斜角センサは充分ではなく、改良が望ま
れていた。
角センサにおいて、傾斜角センサが水平に設置されてい
るとき、下部電極が各上部電極に対して同じ距離に位置
していないと、各上部電極と下部電極間の距離の差によ
り、抵抗値に差が生じるため、補正を行う必要がある。
また、下部電極の表面積が比較的小さいので、電解液の
電流密度が大きくなり、電解液の電気分解が起こり易い
ため、従来の傾斜角センサは充分ではなく、改良が望ま
れていた。
【０００４】本発明は以上の課題を解決するものであ
り、傾斜角の検出において補正の必要がなく、また耐久
性の優れた傾斜角センサを得ることを目的としている。
り、傾斜角の検出において補正の必要がなく、また耐久
性の優れた傾斜角センサを得ることを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る傾斜角セン
サは、電解液と気泡が密封された密閉容器の上部内壁面
に少なくとも２つの上部電極が、また下部内壁面に下部
電極が設けられており、この下部電極が下部内壁面のほ
ぼ全面にわたって形成されていることを特徴としてい
る。
サは、電解液と気泡が密封された密閉容器の上部内壁面
に少なくとも２つの上部電極が、また下部内壁面に下部
電極が設けられており、この下部電極が下部内壁面のほ
ぼ全面にわたって形成されていることを特徴としてい
る。
【０００６】
【実施例】以下図示実施例により本発明を説明する。図
１は、本発明の第１実施例である傾斜角センサの断面図
であり、図２はこの傾斜角センサの下部電極を円筒部材
側から見たときの図である。図２において、傾斜角セン
サの角度検出方向はｘ軸の方向である。
１は、本発明の第１実施例である傾斜角センサの断面図
であり、図２はこの傾斜角センサの下部電極を円筒部材
側から見たときの図である。図２において、傾斜角セン
サの角度検出方向はｘ軸の方向である。
【０００７】傾斜角センサは相互にほぼ平行に設けられ
た円板状の天板１１、底板１２と、これらの天板１１、
底板１２との間に設けられ、その軸心がこれらの天板１
１、底板１２にほぼ垂直である円筒部材１３とを有して
いる。天板１１の内壁面１７は、中央部ほど高くなるよ
うに滑らかに湾曲している。円筒部材１３、天板１１、
底板１２は、鉛ガラス等の絶縁性の材料により形成さ
れ、円筒部材１３の外径は天板１１、底板１２の外径よ
りも小さい。円筒部材１３は、上部で天板１１に、また
下部で底板１２にガラスペースト等の接着剤により液密
を保って固着され、これにより密閉容器１４が構成され
ている。
た円板状の天板１１、底板１２と、これらの天板１１、
底板１２との間に設けられ、その軸心がこれらの天板１
１、底板１２にほぼ垂直である円筒部材１３とを有して
いる。天板１１の内壁面１７は、中央部ほど高くなるよ
うに滑らかに湾曲している。円筒部材１３、天板１１、
底板１２は、鉛ガラス等の絶縁性の材料により形成さ
れ、円筒部材１３の外径は天板１１、底板１２の外径よ
りも小さい。円筒部材１３は、上部で天板１１に、また
下部で底板１２にガラスペースト等の接着剤により液密
を保って固着され、これにより密閉容器１４が構成され
ている。
【０００８】円筒部材１３には、細いガラス管等で形成
された注入口１５が設けられ、注入口１５の一端は密閉
容器１４に開口している。傾斜角センサの製造工程にお
いて、この注入口１５の他端より密閉容器１４内に電解
液Ａが注入された後、この端部を閉じることにより、密
閉容器１４内に電解液Ａと気泡Ｂが密封される。電解液
Ａは、例えばヨウ化カリウムをメチルアルコールに溶解
した液である。気泡Ｂは天板１１の内壁面に接して浮か
んでいる。
された注入口１５が設けられ、注入口１５の一端は密閉
容器１４に開口している。傾斜角センサの製造工程にお
いて、この注入口１５の他端より密閉容器１４内に電解
液Ａが注入された後、この端部を閉じることにより、密
閉容器１４内に電解液Ａと気泡Ｂが密封される。電解液
Ａは、例えばヨウ化カリウムをメチルアルコールに溶解
した液である。気泡Ｂは天板１１の内壁面に接して浮か
んでいる。
【０００９】底板１２の内壁面１６は、例えば♯１００
０の研磨剤により適度な粗度を有する粗面に仕上げられ
ている。この内壁面１６に、従来公知のマスキングを用
いて、下部電極２３がコーティングにより薄膜状に形成
される。すなわち、この粗面に仕上げられた内壁面１６
のマスキングが施されていない部分（図２のハッチング
された部分）に、高周波スパッタにより薄膜状の白金膜
がコーティングされ、表面が粗面である下部電極２３が
形成される。この後、下部電極２３の白金膜は白金黒処
理される。下部電極２３は底板１２の内壁面１６のほぼ
全面にわたって形成されており、その外周縁部２３ａは
密閉容器１４の外面に露出している。
０の研磨剤により適度な粗度を有する粗面に仕上げられ
ている。この内壁面１６に、従来公知のマスキングを用
いて、下部電極２３がコーティングにより薄膜状に形成
される。すなわち、この粗面に仕上げられた内壁面１６
のマスキングが施されていない部分（図２のハッチング
された部分）に、高周波スパッタにより薄膜状の白金膜
がコーティングされ、表面が粗面である下部電極２３が
形成される。この後、下部電極２３の白金膜は白金黒処
理される。下部電極２３は底板１２の内壁面１６のほぼ
全面にわたって形成されており、その外周縁部２３ａは
密閉容器１４の外面に露出している。
【００１０】図３は第１実施例における天板１１を円筒
部材１３側から見たときの図である。天板１１の内壁面
１７は、公知の手法により、適度な粗度を有する凹面状
の粗面、例えば♯１０００の研磨剤でＲ３００の粗面に
仕上げられている。この天板１１の円筒部材１３側の内
壁面１７において、検出方向（図３のｘ軸方向）に沿っ
て延びる２つの棒状の部分（図３のハッチングされた部
分）以外の部分にマスキングが施され、下部電極２３と
同様な手法により、白金で形成された２つの薄膜状の上
部電極２１、２２が形成される。この後、上部電極２
１、２２の白金膜は白金黒処理される。上部電極２１、
２２の外端部２１ａ、２２ａは密閉容器１４の外面に露
出している。
部材１３側から見たときの図である。天板１１の内壁面
１７は、公知の手法により、適度な粗度を有する凹面状
の粗面、例えば♯１０００の研磨剤でＲ３００の粗面に
仕上げられている。この天板１１の円筒部材１３側の内
壁面１７において、検出方向（図３のｘ軸方向）に沿っ
て延びる２つの棒状の部分（図３のハッチングされた部
分）以外の部分にマスキングが施され、下部電極２３と
同様な手法により、白金で形成された２つの薄膜状の上
部電極２１、２２が形成される。この後、上部電極２
１、２２の白金膜は白金黒処理される。上部電極２１、
２２の外端部２１ａ、２２ａは密閉容器１４の外面に露
出している。
【００１１】この外端部２１ａ、２２ａおよび下部電極
２３の外周縁部２３ａには、図１に示すように導線２
４、２５、２６の一端がそれぞれハンダ付け等により接
続されており、これらの導線２４、２５、２６の他端は
図示しない検出回路に接続されている。
２３の外周縁部２３ａには、図１に示すように導線２
４、２５、２６の一端がそれぞれハンダ付け等により接
続されており、これらの導線２４、２５、２６の他端は
図示しない検出回路に接続されている。
【００１２】上部電極２１、２２は、傾斜角センサが水
平に置かれた状態において、気泡Ｂに同じ状態で接する
ように、すなわち電解液Ａに同じ面積で接触するように
配置されている。気泡Ｂが水平位置からの傾斜に応じて
傾斜角の検出方向に位置を変えると、電解液Ａと上部電
極２１、２２との接触面積が傾斜角に比例して変化し、
上部電極２１、２２と下部電極２３との間の電気抵抗値
が変化する。この電気抵抗値の変化が、電流の変化とし
て検出回路によって計測される。
平に置かれた状態において、気泡Ｂに同じ状態で接する
ように、すなわち電解液Ａに同じ面積で接触するように
配置されている。気泡Ｂが水平位置からの傾斜に応じて
傾斜角の検出方向に位置を変えると、電解液Ａと上部電
極２１、２２との接触面積が傾斜角に比例して変化し、
上部電極２１、２２と下部電極２３との間の電気抵抗値
が変化する。この電気抵抗値の変化が、電流の変化とし
て検出回路によって計測される。
【００１３】従来の傾斜角センサの製造では、電極を密
閉容器内に取付ける工程が必要であり、手間がかかっ
た。また各上部電極を左右対称で適性な位置に設けるこ
とが難しく、精度上問題があった。これに対し、本実施
例の傾斜角センサでは、密閉容器１４を天板１１、底板
１２、円筒部材１３の各部材により構成したため、加工
が容易である。また各電極２１、２２、２３がマスキン
グを用いて形成されているため、各電極２１、２２、２
３を適性な位置に形成することが容易であり、その形状
を任意の形に定めることが容易である。
閉容器内に取付ける工程が必要であり、手間がかかっ
た。また各上部電極を左右対称で適性な位置に設けるこ
とが難しく、精度上問題があった。これに対し、本実施
例の傾斜角センサでは、密閉容器１４を天板１１、底板
１２、円筒部材１３の各部材により構成したため、加工
が容易である。また各電極２１、２２、２３がマスキン
グを用いて形成されているため、各電極２１、２２、２
３を適性な位置に形成することが容易であり、その形状
を任意の形に定めることが容易である。
【００１４】さらに従来の傾斜角センサでは、たとえ各
上部電極が適正な位置に設けられていても、下部電極が
適性な位置に配設されていないと、例えば傾斜角センサ
が水平な位置にあるときに各抵抗値に差が生じないよう
に、後から適当に補正を行う必要があった。第１実施例
による傾斜角センサでは、下部電極２３が密閉容器１４
の下部全面にわたって形成されているため、上部電極２
１、２２が適性な位置に形成されていれば、傾斜角セン
サが水平な位置にあるときに各抵抗値がほぼ等しい値と
なるため、補正を行う必要がない。すなわち下部電極２
３を正確に配設するための調整が不要となる。
上部電極が適正な位置に設けられていても、下部電極が
適性な位置に配設されていないと、例えば傾斜角センサ
が水平な位置にあるときに各抵抗値に差が生じないよう
に、後から適当に補正を行う必要があった。第１実施例
による傾斜角センサでは、下部電極２３が密閉容器１４
の下部全面にわたって形成されているため、上部電極２
１、２２が適性な位置に形成されていれば、傾斜角セン
サが水平な位置にあるときに各抵抗値がほぼ等しい値と
なるため、補正を行う必要がない。すなわち下部電極２
３を正確に配設するための調整が不要となる。
【００１５】また、第１実施例の傾斜角センサでは、従
来のものに比べ下部電極２３の表面積が大きいために、
この電極２３と電解液Ａとの接触面積が大きくなる。ま
た各電極２１、２２および２３が、粗面に仕上げられた
内壁面１６、１７に薄膜状にコーティングされているた
めに、各電極２１、２２および２３の表面もまた粗面で
あり、その表面積が大きい。これらにより第１実施例の
傾斜角センサは、各電極２１、２２および２３における
電流密度が減少するため、電解液Ａの電気分解が抑えら
れ、耐久性に優れている。
来のものに比べ下部電極２３の表面積が大きいために、
この電極２３と電解液Ａとの接触面積が大きくなる。ま
た各電極２１、２２および２３が、粗面に仕上げられた
内壁面１６、１７に薄膜状にコーティングされているた
めに、各電極２１、２２および２３の表面もまた粗面で
あり、その表面積が大きい。これらにより第１実施例の
傾斜角センサは、各電極２１、２２および２３における
電流密度が減少するため、電解液Ａの電気分解が抑えら
れ、耐久性に優れている。
【００１６】さらに、各電極２１、２２、２３が密閉容
器１４の外部に露出しているために、導線２４、２５、
２６の結線等が容易である。
器１４の外部に露出しているために、導線２４、２５、
２６の結線等が容易である。
【００１７】なお、各電極２１、２２、２３が設けられ
る内壁面１６、１７は、多孔質であってもよい。
る内壁面１６、１７は、多孔質であってもよい。
【００１８】図４は第２実施例の上部電極２１、２２の
構成を示している。この図において、ハッチングされて
いない部分にマスキングが施された後、第１実施例と同
様の手法により、上部電極２１、２２が形成される。こ
れらの上部電極２１、２２は半円形を有しており、傾斜
角の検出方向と垂直な方向に一定の間隔を保って平行に
延びており、円筒部材１３の外部に露出している。すな
わち、上部電極２１、２２の間は帯状部１８によって隔
離されている。その他の構成は第１実施例と同様であ
る。
構成を示している。この図において、ハッチングされて
いない部分にマスキングが施された後、第１実施例と同
様の手法により、上部電極２１、２２が形成される。こ
れらの上部電極２１、２２は半円形を有しており、傾斜
角の検出方向と垂直な方向に一定の間隔を保って平行に
延びており、円筒部材１３の外部に露出している。すな
わち、上部電極２１、２２の間は帯状部１８によって隔
離されている。その他の構成は第１実施例と同様であ
る。
【００１９】傾斜角センサの設置場所によっては、検出
方向の垂直方向（ｙ軸方向）にも傾きが存在することが
多く、このような場合、従来、検出方向と垂直方向の２
方向にそれぞれ傾斜角センサを設置し、傾斜角センサに
垂直方向の傾きが発生しないようにしている。これに対
し、第２実施例の傾斜角センサでは、帯状部１８が垂直
方向に延びているために、気泡Ｂが垂直方向に移動して
も、上部電極２１、２２と電解液Ａとの接触面積に変化
はなく、気泡Ｂが検出方向に移動したときにのみ、上部
電極２１、２２と電解液Ａとの接触面積に変化が生じ
る。したがって、第２実施例の構成を有する傾斜角セン
サによれば、上述した第１実施例による効果が得られる
ことに加えて、傾斜角センサがいかなる方向に傾いて
も、検出方向の傾きを正確に計測することができる。
方向の垂直方向（ｙ軸方向）にも傾きが存在することが
多く、このような場合、従来、検出方向と垂直方向の２
方向にそれぞれ傾斜角センサを設置し、傾斜角センサに
垂直方向の傾きが発生しないようにしている。これに対
し、第２実施例の傾斜角センサでは、帯状部１８が垂直
方向に延びているために、気泡Ｂが垂直方向に移動して
も、上部電極２１、２２と電解液Ａとの接触面積に変化
はなく、気泡Ｂが検出方向に移動したときにのみ、上部
電極２１、２２と電解液Ａとの接触面積に変化が生じ
る。したがって、第２実施例の構成を有する傾斜角セン
サによれば、上述した第１実施例による効果が得られる
ことに加えて、傾斜角センサがいかなる方向に傾いて
も、検出方向の傾きを正確に計測することができる。
【００２０】図５は、第３実施例における上部電極２
１、２２を示している。この上部電極２１、２２は、第
２実施例に比べ、ｙ軸方向の両端部が削除されている。
通常、この種の高精度な傾斜角センサでは、傾きの検出
範囲が、０°の近くの数分程度の非常に狭い範囲の場合
が多いため、０°近辺の検出が特に重要である。すなわ
ち、数分程度の傾きでは、気泡Ｂの移動量は非常に少な
く、ほとんど動かない。したがってこのような場合、上
部電極２１、２２は第２実施例のように半円形を有して
いる必要はなく、気泡Ｂが移動する範囲内の幅を有して
いればよい。
１、２２を示している。この上部電極２１、２２は、第
２実施例に比べ、ｙ軸方向の両端部が削除されている。
通常、この種の高精度な傾斜角センサでは、傾きの検出
範囲が、０°の近くの数分程度の非常に狭い範囲の場合
が多いため、０°近辺の検出が特に重要である。すなわ
ち、数分程度の傾きでは、気泡Ｂの移動量は非常に少な
く、ほとんど動かない。したがってこのような場合、上
部電極２１、２２は第２実施例のように半円形を有して
いる必要はなく、気泡Ｂが移動する範囲内の幅を有して
いればよい。
【００２１】すなわち、第３実施例の傾斜角センサによ
って、第２実施例と同様な効果を得ることができる。
って、第２実施例と同様な効果を得ることができる。
【００２２】図６は第４実施例の上部電極２１、２２、
３１、３２を示している。すなわち第４実施例では、天
板１１の円筒部材１３側の内壁面１７に、第１実施例に
おけるｘ軸方向に沿って形成された一対の上部電極２
１、２２と同様に、ｙ軸方向にも一対の上部電極３１、
３２が形成されている。
３１、３２を示している。すなわち第４実施例では、天
板１１の円筒部材１３側の内壁面１７に、第１実施例に
おけるｘ軸方向に沿って形成された一対の上部電極２
１、２２と同様に、ｙ軸方向にも一対の上部電極３１、
３２が形成されている。
【００２３】このような構成を有する傾斜角センサによ
れば、第１実施例における効果に加えて、相互に直交す
る方向における傾斜角センサの傾きをそれぞれ独立して
検出をすることができる。
れば、第１実施例における効果に加えて、相互に直交す
る方向における傾斜角センサの傾きをそれぞれ独立して
検出をすることができる。
【００２４】なお本発明は、以上の構成のものに限定さ
れるものではなく、例えば底板１２と円筒部材１３とが
一体化さた傾斜角センサ等にも適用可能である。
れるものではなく、例えば底板１２と円筒部材１３とが
一体化さた傾斜角センサ等にも適用可能である。
【００２５】また、天板１１、底板１２と円筒部材１３
との接着に使用される接着剤は、電解液Ａおよび気泡Ｂ
に対して液密が保てればよく、無機系および有機系のも
のでもよい。
との接着に使用される接着剤は、電解液Ａおよび気泡Ｂ
に対して液密が保てればよく、無機系および有機系のも
のでもよい。
【００２６】さらに、各電極２１、２２、２３の材料
は、従来公知の金、貴金属合金等、電解液Ａに侵され難
いものであればよく、特に限定されない。
は、従来公知の金、貴金属合金等、電解液Ａに侵され難
いものであればよく、特に限定されない。
【００２７】また、各電極２１、２２、２３は、蒸着、
メッキ等の方法を用いて密閉容器１４に形成されていて
もよい。
メッキ等の方法を用いて密閉容器１４に形成されていて
もよい。
【００２８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、傾斜角の
検出において補正の必要がなく、また耐久性の優れた傾
斜角センサが得られる。
検出において補正の必要がなく、また耐久性の優れた傾
斜角センサが得られる。
【図１】本発明の第１実施例である傾斜角センサを示す
断面図である。
断面図である。
【図２】底板を円筒部材側から見た平面図である。
【図３】第１実施例の天板を円筒部材側から見た底面図
である。
である。
【図４】第２実施例の天板を円筒部材側から見た底面図
である。
である。
【図５】第３実施例の天板を円筒部材側から見た底面図
である。
である。
【図６】第４実施例の天板を円筒部材側から見た底面図
である。
である。
１１ 天板 １２ 底板 １３ 円筒部材 １４ 密閉容器 ２１、２２ 上部電極 ２３ 下部電極 １６、１７ 内壁面 Ａ 電解液 Ｂ 気泡
Claims (9)
- 【請求項１】 電解液と気泡が密封された密閉容器の上
部内壁面に少なくとも２つの上部電極が設けられ、下部
内壁面に下部電極が設けられた傾斜角センサにおいて、
下部電極が下部内壁面のほぼ全面にわたって形成されて
いることを特徴とする傾斜角センサ。 - 【請求項２】 前記密閉容器が、円筒部材と、この円筒
部材の一端に液密を保って固着され、上部電極が形成さ
れた天板と、前記円筒部材の他端に液密を保って固着さ
れ、下部電極が形成された底板とを備えたことを特徴と
する請求項１に記載の傾斜角センサ。 - 【請求項３】 上部電極の外端部が、密閉容器の外部に
露出していることを特徴とする請求項１に記載の傾斜角
センサ。 - 【請求項４】 下部電極の外周縁部が、密閉容器の外部
に露出していることを特徴とする請求項１に記載の傾斜
角センサ。 - 【請求項５】 上部電極および下部電極が薄膜状である
ことを特徴とする請求項１に記載の傾斜角センサ。 - 【請求項６】 上部電極および下部電極がマスキングを
用いて形成されていることを特徴とする請求項１に記載
の傾斜角センサ。 - 【請求項７】 天板および底板の内壁面が、粗面である
ことを特徴とする請求項１に記載の傾斜角センサ。 - 【請求項８】 天板および底板の円筒部材側の内壁面
が、多孔質であることを特徴とする請求項１に記載の傾
斜角センサ。 - 【請求項９】 上部電極が、傾斜角検出方向と垂直な方
向に一定の間隔を保って平行に延びていることを特徴と
する請求項１に記載の傾斜角センサ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31586393A JPH07146142A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 傾斜角センサ |
| DE19944441548 DE4441548A1 (de) | 1993-11-22 | 1994-11-22 | Neigungssensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31586393A JPH07146142A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 傾斜角センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07146142A true JPH07146142A (ja) | 1995-06-06 |
Family
ID=18070503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31586393A Pending JPH07146142A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 傾斜角センサ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07146142A (ja) |
| DE (1) | DE4441548A1 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5896362A (en) * | 1996-07-26 | 1999-04-20 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Lens Inclination Adjustment System |
| US5937528A (en) * | 1996-07-25 | 1999-08-17 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Tilt sensor, mask and coat holder |
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| CN105180901A (zh) * | 2015-10-07 | 2015-12-23 | 湖南科技学院 | 一种球面电容式平面水平检测传感器 |
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|---|---|---|---|---|
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| JPH10318747A (ja) * | 1997-05-16 | 1998-12-04 | Asahi Optical Co Ltd | 傾斜センサ |
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-
1993
- 1993-11-22 JP JP31586393A patent/JPH07146142A/ja active Pending
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1994
- 1994-11-22 DE DE19944441548 patent/DE4441548A1/de not_active Withdrawn
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Also Published As
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| DE4441548A1 (de) | 1995-05-24 |
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