JPH0666374B2 - ウエ−ハ搬送装置 - Google Patents
ウエ−ハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH0666374B2 JPH0666374B2 JP344187A JP344187A JPH0666374B2 JP H0666374 B2 JPH0666374 B2 JP H0666374B2 JP 344187 A JP344187 A JP 344187A JP 344187 A JP344187 A JP 344187A JP H0666374 B2 JPH0666374 B2 JP H0666374B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- boat
- lid
- cover member
- container
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体ウエーハなどの処理ウエーハを搬送
するウエーハ搬送装置に関する。
するウエーハ搬送装置に関する。
たとえば、集積回路素子におけるウエーハの低温酸化
(VLTO)処理は、第8図に示すように、石英などで
半円筒状に形成されたボート2に複数のウエーハ4を載
せた後、矢印aで示すように、その上に石英などで半円
筒状に形成された蓋6を被せて所定の処理を行う。ボー
ト2および蓋6には、処理用気体を通過させるための複
数のスリット8、10が一定の間隔で形成され、ボート
2にはウエーハ4を支持するための凹部を形成した三本
の支持シャフト12が設けられている。そして、ボート
2は、第8図に示すように、複数組を縦列させて処理炉
に装填して所定の処理を行うのである。
(VLTO)処理は、第8図に示すように、石英などで
半円筒状に形成されたボート2に複数のウエーハ4を載
せた後、矢印aで示すように、その上に石英などで半円
筒状に形成された蓋6を被せて所定の処理を行う。ボー
ト2および蓋6には、処理用気体を通過させるための複
数のスリット8、10が一定の間隔で形成され、ボート
2にはウエーハ4を支持するための凹部を形成した三本
の支持シャフト12が設けられている。そして、ボート
2は、第8図に示すように、複数組を縦列させて処理炉
に装填して所定の処理を行うのである。
ボート2および蓋6は、第9図に示すように、両者を結
合した場合に断面円形を成し、ボート2に載置されたウ
エーハ4は、ボート2および蓋6のスリット8、10を
通して炉内に通じる。たとえば、蓋6の上方から下方に
向けて矢印bで示すようにシランガス(SiO4)を流
し、また、ボート2の下方から上方に向けて矢印cで示
すように酸素(O2)を流すと、両者はスリット8、1
0を通り抜けて、ウエーハ4の表面上で合流し、その合
流ガスによってウエーハ4に必要な処理が行われるので
ある。
合した場合に断面円形を成し、ボート2に載置されたウ
エーハ4は、ボート2および蓋6のスリット8、10を
通して炉内に通じる。たとえば、蓋6の上方から下方に
向けて矢印bで示すようにシランガス(SiO4)を流
し、また、ボート2の下方から上方に向けて矢印cで示
すように酸素(O2)を流すと、両者はスリット8、1
0を通り抜けて、ウエーハ4の表面上で合流し、その合
流ガスによってウエーハ4に必要な処理が行われるので
ある。
ところで、このような処理に用いられている従来のボー
ト2および蓋6は、第9図に示すように、円形の筒状体
を中心から2分割した形状を成している。そのため、第
10図に示すように、蓋6を取り、ボート2上のウエー
ハ4を矢印d、eで示すようにその中心に向かって把持
チャック14、16で挟もうとすると、把持チャック1
4、16がボート2の左右側面側の縁部に当たって挟む
ことができない。ボート2の縁部に当たらないように、
中心より上部側に把持チャック14、16を操作するこ
とは可能であるが、ウエーハ4が円形であるため、把持
チャック14、16の爪18との係合が困難である。ま
た、このようなボート2に把持チャック14、16でウ
エーハ4を装填しようとすると、把持チャック14、1
6がボート2に当たるので、ウエーハ4の装填も困難で
ある。
ト2および蓋6は、第9図に示すように、円形の筒状体
を中心から2分割した形状を成している。そのため、第
10図に示すように、蓋6を取り、ボート2上のウエー
ハ4を矢印d、eで示すようにその中心に向かって把持
チャック14、16で挟もうとすると、把持チャック1
4、16がボート2の左右側面側の縁部に当たって挟む
ことができない。ボート2の縁部に当たらないように、
中心より上部側に把持チャック14、16を操作するこ
とは可能であるが、ウエーハ4が円形であるため、把持
チャック14、16の爪18との係合が困難である。ま
た、このようなボート2に把持チャック14、16でウ
エーハ4を装填しようとすると、把持チャック14、1
6がボート2に当たるので、ウエーハ4の装填も困難で
ある。
このようなボート2を用いた場合、把持チャック14、
16によるウエーハ4の装填および取り出しを自動化す
ることは困難であったため、着脱作業は作業者の手で行
われ、ウエーハ4を1枚ごとに移し替える枚葉式の着脱
では、第9図および第10図のボート2の形状でも可能
であるが、着脱の作業時間が長くなり、ダストの発生も
多くなる。そして、このような操作を人的に行うと、ウ
エーハ付近でダストが発生し、歩留りを低下させる原因
になり、とりわけ、多段処理炉では、ローディングが複
雑であり、移し替えの回数が膨大になるので、作業量が
多く、作業時間も長くなるので、作業能率が悪い。
16によるウエーハ4の装填および取り出しを自動化す
ることは困難であったため、着脱作業は作業者の手で行
われ、ウエーハ4を1枚ごとに移し替える枚葉式の着脱
では、第9図および第10図のボート2の形状でも可能
であるが、着脱の作業時間が長くなり、ダストの発生も
多くなる。そして、このような操作を人的に行うと、ウ
エーハ付近でダストが発生し、歩留りを低下させる原因
になり、とりわけ、多段処理炉では、ローディングが複
雑であり、移し替えの回数が膨大になるので、作業量が
多く、作業時間も長くなるので、作業能率が悪い。
また、第8図に示したように、ボート2は300ミリメー
トル程度の長さのものが使用されているので、大量のウ
エーハ4を処理する場合には、数回に別けて行い、その
都度ウエーハ4の着脱を行わなければならず、作業が煩
雑化する欠点があった。
トル程度の長さのものが使用されているので、大量のウ
エーハ4を処理する場合には、数回に別けて行い、その
都度ウエーハ4の着脱を行わなければならず、作業が煩
雑化する欠点があった。
そこで、この発明は、ボートに覆部材を被せてVLTO
処理を行う場合に、ウエーハの搬送を自動化し、能率化
しようとするものである。
処理を行う場合に、ウエーハの搬送を自動化し、能率化
しようとするものである。
この発明のウエーハ搬送装置は、第1図に例示するよう
に、ウエーハを支持すべき支持部材を備えるとともに、
この支持部材に複数の凹部が形成され、各凹部に縁部を
挟み込ませて複数のウエーハをその厚み方向に縦列状態
で収納するウエーハ容器と、このウエーハ容器の上側に
設置されて、前記ウエーハの縦列方向に開口部を備え
て、前記ウエーハ容器内の前記ウエーハを覆う覆部材
と、この覆部材を支持するとともに上下方向に移動させ
る支持手段と、この支持手段に支持させた前記覆部材の
前記開口部から前記ウエーハ容器とともに前記ウエーハ
を前記覆部材の内外に往復動させることにより、前記覆
部材内に前記開口部を通して前記ウエーハ容器とともに
前記ウエーハを収納し、前記覆部材内の前記ウエーハを
前記ウエーハ容器とともに前記覆部材外に引き出す摺動
手段とを備えたことを特徴とする。
に、ウエーハを支持すべき支持部材を備えるとともに、
この支持部材に複数の凹部が形成され、各凹部に縁部を
挟み込ませて複数のウエーハをその厚み方向に縦列状態
で収納するウエーハ容器と、このウエーハ容器の上側に
設置されて、前記ウエーハの縦列方向に開口部を備え
て、前記ウエーハ容器内の前記ウエーハを覆う覆部材
と、この覆部材を支持するとともに上下方向に移動させ
る支持手段と、この支持手段に支持させた前記覆部材の
前記開口部から前記ウエーハ容器とともに前記ウエーハ
を前記覆部材の内外に往復動させることにより、前記覆
部材内に前記開口部を通して前記ウエーハ容器とともに
前記ウエーハを収納し、前記覆部材内の前記ウエーハを
前記ウエーハ容器とともに前記覆部材外に引き出す摺動
手段とを備えたことを特徴とする。
このように構成すると、ウエーハ容器(ボート20)と
覆部材(蓋22)とを結合した場合、円筒状の外装体を
成すが、ウエーハ容器(ボート20)はウエーハ4の側
面部を把持可能に露出させ、覆部材(蓋22)はウエー
ハ4の大半を覆う形態に設定する。
覆部材(蓋22)とを結合した場合、円筒状の外装体を
成すが、ウエーハ容器(ボート20)はウエーハ4の側
面部を把持可能に露出させ、覆部材(蓋22)はウエー
ハ4の大半を覆う形態に設定する。
そこで、ウエーハ容器(ボート20)は複数枚のウエー
ハ4を把持チャック14、16によって把持して着脱が
可能になる。そして、ウエーハ容器に対する覆部材の着
脱は、ウエーハ容器を覆部材の長手方向の端部から摺動
手段(摺動台26)によって摺動させて行う。その場
合、ウエーハ容器と覆部材との摩擦を避けるため、支持
手段(昇降シリンダ24)によって覆部材を上方に移動
させて保持する。そして、覆部材をウエーハ容器上に被
せる場合には、覆部材にウエーハ容器上のウエーハ4を
臨ませて覆部材とウエーハ容器とが合致する位置まで移
動させ、また、覆部材をボート20上から外す場合に
は、覆部材内にウエーハ用器上のウエーハ4を置いて覆
部材とウエーハ容器とが少なくとも外れる位置まで移動
させる。
ハ4を把持チャック14、16によって把持して着脱が
可能になる。そして、ウエーハ容器に対する覆部材の着
脱は、ウエーハ容器を覆部材の長手方向の端部から摺動
手段(摺動台26)によって摺動させて行う。その場
合、ウエーハ容器と覆部材との摩擦を避けるため、支持
手段(昇降シリンダ24)によって覆部材を上方に移動
させて保持する。そして、覆部材をウエーハ容器上に被
せる場合には、覆部材にウエーハ容器上のウエーハ4を
臨ませて覆部材とウエーハ容器とが合致する位置まで移
動させ、また、覆部材をボート20上から外す場合に
は、覆部材内にウエーハ用器上のウエーハ4を置いて覆
部材とウエーハ容器とが少なくとも外れる位置まで移動
させる。
第1図は、この発明のウエーハ搬送装置の実施例を示
す。
す。
このウエーハ搬送装置は、たとえば、VLTO処理用炉
の前面におけるスカベンジャ前部またはクリーンベンチ
部などに設置されており、その本体フレーム28の上面
の長手方向に軸受30、32を介してねじ軸34を設置
し、ねじ軸34の一端には駆動手段としてのモータ36
が取り付けられている。ねじ軸34には摺動手段として
の摺動台26が設けられ、この摺動台26にはウエーハ
4を載置した容器としてのボート20を載せて、駆動信
号VDによるモータ36の回転方向の制御により矢印f
で示す方向に摺動させることができる。
の前面におけるスカベンジャ前部またはクリーンベンチ
部などに設置されており、その本体フレーム28の上面
の長手方向に軸受30、32を介してねじ軸34を設置
し、ねじ軸34の一端には駆動手段としてのモータ36
が取り付けられている。ねじ軸34には摺動手段として
の摺動台26が設けられ、この摺動台26にはウエーハ
4を載置した容器としてのボート20を載せて、駆動信
号VDによるモータ36の回転方向の制御により矢印f
で示す方向に摺動させることができる。
ボート20は、たとえば、厚み方向に縦列状態を成して
整列させた複数のウエーハ4を載置して加熱炉にウエー
ハ4とともに導入可能なウエーハ処理用のウエーハ容器
であって、第2図に示すように、その上面を覆う覆部材
としての蓋22と一体化されてウエーハ4を支持しかつ
覆う円形の外装体を成すが、ボート20の形状は半円よ
り遥かに小さい皿状を成して、第3図に示すように、ウ
エーハ4を側部側から把持チャック14、16によって
把持可能とし、また、蓋22はウエーハ4の上部の大半
を覆う断面C字形を成し、ボート20を移動させるため
に両端および下面側を開口部としたものである。ボート
20および蓋22には、処理用気体を通過させるための
複数のスリット38、40が一定の間隔で形成され、ボ
ート20にはウエーハ4を支持するための複数の凹部が
形成された支持部材を成す支持シャフト42が設けられ
ている。また、ボート20は従来のものに比較して長く
形成し、ウエーハ移送手段の把持チャック14、16に
把持された多数のウエーハ4が装填される。
整列させた複数のウエーハ4を載置して加熱炉にウエー
ハ4とともに導入可能なウエーハ処理用のウエーハ容器
であって、第2図に示すように、その上面を覆う覆部材
としての蓋22と一体化されてウエーハ4を支持しかつ
覆う円形の外装体を成すが、ボート20の形状は半円よ
り遥かに小さい皿状を成して、第3図に示すように、ウ
エーハ4を側部側から把持チャック14、16によって
把持可能とし、また、蓋22はウエーハ4の上部の大半
を覆う断面C字形を成し、ボート20を移動させるため
に両端および下面側を開口部としたものである。ボート
20および蓋22には、処理用気体を通過させるための
複数のスリット38、40が一定の間隔で形成され、ボ
ート20にはウエーハ4を支持するための複数の凹部が
形成された支持部材を成す支持シャフト42が設けられ
ている。また、ボート20は従来のものに比較して長く
形成し、ウエーハ移送手段の把持チャック14、16に
把持された多数のウエーハ4が装填される。
そして、本体フレーム28には、ねじ軸34に跨がり、
しかも、摺動台26が非接触で移動可能な間隔を置い
て、駆動信号UDによって蓋22を昇降自在に支持する
支持手段として4本の昇降シリンダ24が設置されてい
る。昇降シリンダ24のプランジャ44の先端には、蓋
22を把持するL字型の把持部46が取り付けられてい
る。蓋22はウエーハ4と同心円上の筒体を成してお
り、その開口部は、直径部分より下方側になっているの
で、把持部46はその間隔を蓋22の形状に沿って狭め
ることにより、蓋22を容易に把持することができる。
しかも、摺動台26が非接触で移動可能な間隔を置い
て、駆動信号UDによって蓋22を昇降自在に支持する
支持手段として4本の昇降シリンダ24が設置されてい
る。昇降シリンダ24のプランジャ44の先端には、蓋
22を把持するL字型の把持部46が取り付けられてい
る。蓋22はウエーハ4と同心円上の筒体を成してお
り、その開口部は、直径部分より下方側になっているの
で、把持部46はその間隔を蓋22の形状に沿って狭め
ることにより、蓋22を容易に把持することができる。
そして、この蓋22の設置の有無は、その検出手段とし
て光学的な位置センサ48によって検出される。
て光学的な位置センサ48によって検出される。
このウエーハ搬送装置の駆動制御は、たとえば、第4図
に示すような搬送制御装置によって行われる。制御部5
0はコンピュータなどで構成され、起動信号STによっ
て駆動が開始される。位置センサ48からの位置検出信
号VPによって蓋22が所定の位置に支持されているこ
とを判別し、摺動台26上にボート20が載せられた
後、ウエーハ4の装填終了を待って、昇降シリンダ24
およびモータ36を駆動する。すなわち、昇降シリンダ
24は制御部50からの駆動命令に基づいて駆動部52
が出力する駆動信号UDによって駆動され、また、モー
タ36は摺動方向に対応して正逆転駆動部54が出力す
る駆動信号VDによって任意方向に駆動される。
に示すような搬送制御装置によって行われる。制御部5
0はコンピュータなどで構成され、起動信号STによっ
て駆動が開始される。位置センサ48からの位置検出信
号VPによって蓋22が所定の位置に支持されているこ
とを判別し、摺動台26上にボート20が載せられた
後、ウエーハ4の装填終了を待って、昇降シリンダ24
およびモータ36を駆動する。すなわち、昇降シリンダ
24は制御部50からの駆動命令に基づいて駆動部52
が出力する駆動信号UDによって駆動され、また、モー
タ36は摺動方向に対応して正逆転駆動部54が出力す
る駆動信号VDによって任意方向に駆動される。
そこで、昇降シリンダ24によって蓋22が所定位置に
支持されている場合、ボート20に所定のウエーハ4が
装填されると、第5図のAに示すように、蓋22を昇降
シリンダ24の駆動によって矢印gで示す方向に僅かに
上昇させる。この上昇幅は、蓋22の開口縁部にボート
20が接触しない程度で、ボート20上のウエーハ4が
蓋22に接触しない程度とする。
支持されている場合、ボート20に所定のウエーハ4が
装填されると、第5図のAに示すように、蓋22を昇降
シリンダ24の駆動によって矢印gで示す方向に僅かに
上昇させる。この上昇幅は、蓋22の開口縁部にボート
20が接触しない程度で、ボート20上のウエーハ4が
蓋22に接触しない程度とする。
次に、第5図のBに示すように、僅かに上昇させた蓋2
2に対して摺動台26の摺動により、矢印hで示すよう
にボート20を移動させ、第5図のCに示すように、蓋
22の内部にウエーハ4を入れて、蓋22の下側にウエ
ーハ4とともにボート20を置く。この状態をボート2
0および蓋22の側面側から見ると、第6図に示すよう
に、蓋22に非接触の状態でウエーハ4およびボート2
0が維持されている。
2に対して摺動台26の摺動により、矢印hで示すよう
にボート20を移動させ、第5図のCに示すように、蓋
22の内部にウエーハ4を入れて、蓋22の下側にウエ
ーハ4とともにボート20を置く。この状態をボート2
0および蓋22の側面側から見ると、第6図に示すよう
に、蓋22に非接触の状態でウエーハ4およびボート2
0が維持されている。
次に、第5図のCに示すように、矢印iで示す方向に昇
降シリンダ24を駆動して蓋22を下降し、第5図のD
に示すように、ボート20の上に蓋22を置き、第2図
に示すように、ウエーハ4をボート20および蓋22で
覆う。
降シリンダ24を駆動して蓋22を下降し、第5図のD
に示すように、ボート20の上に蓋22を置き、第2図
に示すように、ウエーハ4をボート20および蓋22で
覆う。
このような蓋22が被せられたウエーハ4は、ボート2
0とともに、矢印jで示す方向に元のボート20の位置
に摺動させた後、スカベンジャ前部またはクリーンベン
チ部などから処理炉内に昇降装置によって移送され、所
定の処理が行われる。
0とともに、矢印jで示す方向に元のボート20の位置
に摺動させた後、スカベンジャ前部またはクリーンベン
チ部などから処理炉内に昇降装置によって移送され、所
定の処理が行われる。
そして、処理を終了したウエーハ4は、ボート20とと
もに処理炉から摺動台26上に移された後、摺動台26
の摺動によって蓋22を支持するための昇降シリンダ2
4側に移送される。
もに処理炉から摺動台26上に移された後、摺動台26
の摺動によって蓋22を支持するための昇降シリンダ2
4側に移送される。
次に、第5図のCに示すように、蓋22が昇降シリンダ
24によって矢印mで示すように僅かにボート20上に
持ち上げられて、第6図に示すように、ボート20から
離間した位置に支持される。
24によって矢印mで示すように僅かにボート20上に
持ち上げられて、第6図に示すように、ボート20から
離間した位置に支持される。
次に、第5図のCに示すように、蓋22の位置からボー
ト20とともにウエーハ4が矢印nの方向に移送され、
第1図に示す位置に移動される。この状態でボート20
を停止させて、第3図に示すように、把持チャック1
4、16によって把持された複数のウエーハ4をボート
20から図示していないカセットに移す。
ト20とともにウエーハ4が矢印nの方向に移送され、
第1図に示す位置に移動される。この状態でボート20
を停止させて、第3図に示すように、把持チャック1
4、16によって把持された複数のウエーハ4をボート
20から図示していないカセットに移す。
なお、実施例では蓋22を昇降および支持させる手段と
して昇降シリンダ24を用いたが、第7図に示すよう
に、矢印o、p方向に開閉する一対の把持チャック5
6、58を備え、矢印rで示す方向に昇降させる昇降手
段を用いても同様の効果が期待できる。
して昇降シリンダ24を用いたが、第7図に示すよう
に、矢印o、p方向に開閉する一対の把持チャック5
6、58を備え、矢印rで示す方向に昇降させる昇降手
段を用いても同様の効果が期待できる。
また、実施例ではウエーハ容器を処理炉などにウエーハ
を載せて導入可能な石英ボートを例にとって説明した
が、ウエーハ容器としては一時的にウエーハを収容する
ウエーハカセットなどを用いてもよい。
を載せて導入可能な石英ボートを例にとって説明した
が、ウエーハ容器としては一時的にウエーハを収容する
ウエーハカセットなどを用いてもよい。
この発明によれば、ボートに覆部材を被せてVLTO処
理を行う場合に、ウエーハの搬送の自動化が可能にな
り、作業時間の短縮によって搬送処理が能率化でき、し
かも、ボートと覆部材との摩擦を生じさせないので、ダ
ストの発生がなく、歩留りの向上を図ることができる。
理を行う場合に、ウエーハの搬送の自動化が可能にな
り、作業時間の短縮によって搬送処理が能率化でき、し
かも、ボートと覆部材との摩擦を生じさせないので、ダ
ストの発生がなく、歩留りの向上を図ることができる。
第1図はこの発明のウエーハ搬送装置の実施例を示す斜
視図、第2図はウエーハを載せたボートおよびその蓋を
示す側面図、第3図はボート上のウエーハに対する把持
チャックの操作を示す図、第4図は第1図に示したウエ
ーハ搬送装置の駆動制御装置の概要を示すブロック図、
第5図はボートの移動および蓋の着脱を示す図、第6図
はボートに対する蓋の支持位置を示す図、第7図は覆部
材を支持および昇降させる支持手段の他の実施例を示す
斜視図、第8図は従来のボートおよびその蓋を示す斜視
図、第9図は従来のボート上のウエーハの処理を示す
図、第10図は従来のボート上のウエーハの取り出しを
示す図である。 4……ウエーハ、20……ボート(ウエーハ容器)、2
2……蓋(覆部材)、24……昇降シリンダ(支持手
段)、26……摺動台(摺動手段)。
視図、第2図はウエーハを載せたボートおよびその蓋を
示す側面図、第3図はボート上のウエーハに対する把持
チャックの操作を示す図、第4図は第1図に示したウエ
ーハ搬送装置の駆動制御装置の概要を示すブロック図、
第5図はボートの移動および蓋の着脱を示す図、第6図
はボートに対する蓋の支持位置を示す図、第7図は覆部
材を支持および昇降させる支持手段の他の実施例を示す
斜視図、第8図は従来のボートおよびその蓋を示す斜視
図、第9図は従来のボート上のウエーハの処理を示す
図、第10図は従来のボート上のウエーハの取り出しを
示す図である。 4……ウエーハ、20……ボート(ウエーハ容器)、2
2……蓋(覆部材)、24……昇降シリンダ(支持手
段)、26……摺動台(摺動手段)。
Claims (1)
- 【請求項1】ウエーハを支持すべき支持部材を備えると
ともに、この支持部材に複数の凹部が形成され、各凹部
に縁部を挟み込ませて複数のウエーハをその厚み方向に
縦列状態で収納するウエーハ容器と、 このウエーハ容器の上側に設置されて、前記ウエーハの
縦列方向に開口部を備えて、前記ウエーハ容器内の前記
ウエーハを覆う覆部材と、 この覆部材を支持するとともに上下方向に移動させる支
持手段と、 この支持手段に支持させた前記覆部材の前記開口部から
前記ウエーハ容器とともに前記ウエーハを前記覆部材の
内外に往復動させることにより、前記覆部材内に前記開
口部を通して前記ウエーハ容器とともに前記ウエーハを
収納し、前記覆部材内の前記ウエーハを前記ウエーハ容
器とともに前記覆部材外に引き出す摺動手段と、 を備えたことを特徴とするウエーハ搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP344187A JPH0666374B2 (ja) | 1987-01-10 | 1987-01-10 | ウエ−ハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP344187A JPH0666374B2 (ja) | 1987-01-10 | 1987-01-10 | ウエ−ハ搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63172438A JPS63172438A (ja) | 1988-07-16 |
JPH0666374B2 true JPH0666374B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=11557436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP344187A Expired - Lifetime JPH0666374B2 (ja) | 1987-01-10 | 1987-01-10 | ウエ−ハ搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0666374B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11053974B2 (en) | 2016-12-07 | 2021-07-06 | Eagle Industry Co., Ltd. | Sliding component |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4955590A (en) * | 1988-12-08 | 1990-09-11 | Tokyo Electron Limited | Plate-like member receiving apparatus |
US5065495A (en) * | 1987-06-10 | 1991-11-19 | Tokyo Electron Limited | Method for holding a plate-like member |
-
1987
- 1987-01-10 JP JP344187A patent/JPH0666374B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11053974B2 (en) | 2016-12-07 | 2021-07-06 | Eagle Industry Co., Ltd. | Sliding component |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63172438A (ja) | 1988-07-16 |
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