JPH06232681A - 弾性表面波装置およびその作成方法ならびにそれを用いた通信装置 - Google Patents
弾性表面波装置およびその作成方法ならびにそれを用いた通信装置Info
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- JPH06232681A JPH06232681A JP1535593A JP1535593A JPH06232681A JP H06232681 A JPH06232681 A JP H06232681A JP 1535593 A JP1535593 A JP 1535593A JP 1535593 A JP1535593 A JP 1535593A JP H06232681 A JPH06232681 A JP H06232681A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 すだれ状電極の最端交差部で発生する不要励
振の受側の電極における応答を等しくし、良好な群遅延
特性を有する弾性表面波装置を提供する。 【構成】 圧電基板１上に、所望の周波数特性の伝達関
数に鑑みて設計されたインパルス応答を形成する入力用
のすだれ状電極３および出力用のすだれ状電極２を配し
た弾性表面波装置において、すだれ状電極の最端交差部
１３，１４で発生する不要励振の受側の電極における応
答を等しくするための補助電極７を設けた。
振の受側の電極における応答を等しくし、良好な群遅延
特性を有する弾性表面波装置を提供する。 【構成】 圧電基板１上に、所望の周波数特性の伝達関
数に鑑みて設計されたインパルス応答を形成する入力用
のすだれ状電極３および出力用のすだれ状電極２を配し
た弾性表面波装置において、すだれ状電極の最端交差部
１３，１４で発生する不要励振の受側の電極における応
答を等しくするための補助電極７を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電基板上に所与の伝
達関数に対応するインパルス応答を形成する入力および
出力用のすだれ状電極を配した構成を有する弾性表面波
装置において、前記入力および出力用のすだれ状電極の
最端交差部で発生する不要励振の受側の電極における応
答を等しくし、特に、群遅延特性を向上するのに好適な
すだれ状電極の形状を有する弾性表面波装置に関する。
達関数に対応するインパルス応答を形成する入力および
出力用のすだれ状電極を配した構成を有する弾性表面波
装置において、前記入力および出力用のすだれ状電極の
最端交差部で発生する不要励振の受側の電極における応
答を等しくし、特に、群遅延特性を向上するのに好適な
すだれ状電極の形状を有する弾性表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、すだれ状電極の端部における
不要励振の存在に着目し、例えば、特公平３−１２４８
５号公報には、対向するすだれ状電極に近い側における
最端交差部を形成する電極指を弾性表面波の伝搬方向に
λ0／２の距離ずらせて折り曲げることによって電極端
部から送出される不要波を相殺する方法が、開示されて
いる。
不要励振の存在に着目し、例えば、特公平３−１２４８
５号公報には、対向するすだれ状電極に近い側における
最端交差部を形成する電極指を弾性表面波の伝搬方向に
λ0／２の距離ずらせて折り曲げることによって電極端
部から送出される不要波を相殺する方法が、開示されて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の技
術は、不要励振を表面波としており、また、その励振源
は、すだれ状電極の外縁であるとしているので、すだれ
状電極の外縁で反射しないすだれ状電極の電極最端交差
部で発生する不要励振に関しては対策がなされていな
い。そのため、該最端交差部における不要励振による周
波数振幅特性および群遅延特性の劣化を改善できないと
いう問題があった。本発明は、すだれ状電極の最端交差
部で発生する不要励振の受側の電極における応答を等し
くし、特に、良好な群遅延特性を有する弾性表面波装置
を提供することを目的としている。加えて、上記の弾性
表面波装置を提供する作成方法を提供することを目的と
する。さらに、上記弾性表面波装置を用いた通信装置を
提供することを目的とする。
術は、不要励振を表面波としており、また、その励振源
は、すだれ状電極の外縁であるとしているので、すだれ
状電極の外縁で反射しないすだれ状電極の電極最端交差
部で発生する不要励振に関しては対策がなされていな
い。そのため、該最端交差部における不要励振による周
波数振幅特性および群遅延特性の劣化を改善できないと
いう問題があった。本発明は、すだれ状電極の最端交差
部で発生する不要励振の受側の電極における応答を等し
くし、特に、良好な群遅延特性を有する弾性表面波装置
を提供することを目的としている。加えて、上記の弾性
表面波装置を提供する作成方法を提供することを目的と
する。さらに、上記弾性表面波装置を用いた通信装置を
提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、圧電基板上に所望の周波数特性
の伝達関数に鑑みて設計されたインパルス応答を形成す
る入力および出力用のすだれ状電極を配した構成を有す
る弾性表面波装置において、前記入力および出力用のす
だれ状電極の他に、すだれ状電極の最端交差部で発生す
る不要励振の受側の電極における応答を等しくするため
の補助電極を設けた。さらに、圧電基板上に所望の周波
数特性の伝達関数に鑑みて設計されたインパルス応答を
形成する入力および出力用のすだれ状電極を配した構成
を有する弾性表面波装置において、重み付け電極を有す
るすだれ状電極の両最端交差部のうち対向する受側の電
極から遠い方の最端電極を所望のインパルス比により決
定される交差長の４倍以下の範囲で長くした。加えて、
本発明においては、弾性表面波装置の表面を保護する保
護パターンを配置した後、個の保護マスクの上から吸収
剤を塗布する。また、本発明は、上記弾性表面波装置を
通信機器の中間周波フィルタとして使用する。
に、本発明においては、圧電基板上に所望の周波数特性
の伝達関数に鑑みて設計されたインパルス応答を形成す
る入力および出力用のすだれ状電極を配した構成を有す
る弾性表面波装置において、前記入力および出力用のす
だれ状電極の他に、すだれ状電極の最端交差部で発生す
る不要励振の受側の電極における応答を等しくするため
の補助電極を設けた。さらに、圧電基板上に所望の周波
数特性の伝達関数に鑑みて設計されたインパルス応答を
形成する入力および出力用のすだれ状電極を配した構成
を有する弾性表面波装置において、重み付け電極を有す
るすだれ状電極の両最端交差部のうち対向する受側の電
極から遠い方の最端電極を所望のインパルス比により決
定される交差長の４倍以下の範囲で長くした。加えて、
本発明においては、弾性表面波装置の表面を保護する保
護パターンを配置した後、個の保護マスクの上から吸収
剤を塗布する。また、本発明は、上記弾性表面波装置を
通信機器の中間周波フィルタとして使用する。
【０００５】
【作用】すだれ状電極の最端交差部において発生する不
要励振は、前記した補助電極によりその受側の電極にお
ける応答が等しくなる。このため、特に、群遅延特性の
平坦性を向上させる。さらに、この時、補助電極から励
振される弾性表面波は、吸音材により吸収されるので、
前記インパルス応答の形成に関与せず周波数特性の劣化
を防ぐことができる。
要励振は、前記した補助電極によりその受側の電極にお
ける応答が等しくなる。このため、特に、群遅延特性の
平坦性を向上させる。さらに、この時、補助電極から励
振される弾性表面波は、吸音材により吸収されるので、
前記インパルス応答の形成に関与せず周波数特性の劣化
を防ぐことができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照しつつ
説明する。図１は、本発明に係る弾性表面は装置の第１
実施例の構造を示す模式的平面図である。本発明の弾性
表面波装置は、１２８度回転Ｙ軸切断Ｘ軸伝搬のニオブ
酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）単結晶からなる圧電性基板
１上に、アルミニウム薄膜の正規型電極２と重み付け電
極３ならびに該正規電極と重み付け電極の間に設けたシ
ールド電極４が、フォトエッチング技術により設けられ
ている。さらに、圧電性基板１の一部には同様の手法に
よって補助電極７が設けられている。また、圧電性基板
１の端部付近には、端面反射を回避するための吸収剤を
塗布したアブソーバ５が設けられている。この構成によ
れば、重み付け電極３に電気信号が入力されると、重み
付け電極３によって弾性表面波に変換され、この弾性表
面波は圧電性基板１上を伝搬して電極指交差長の等しい
正規型電極２に到達し、再び電気信号に変換されてフィ
ルタ特性を実現する。重み付け電極３は、所望の周波数
特性の伝達関数に鑑みて設計されたインパルス応答を形
成する。本実施例では、群遅延特性は平坦に設計されて
おり、そのため、重み付け電極３の電極指交差は、弾性
表面波の伝搬方向に対して対称になっている。重み付け
電極３において、重み付け電極３に対向する正規型電極
２に遠い側の最端交差部１４および近い側の最端交差部
１３からは、弾性表面波だけではなく、基板の表面に沿
って伝搬するバルク波（Ｓｕｒｆａｃｅ Ｓｋｉｍｍｉ
ｎｇＢｕｌｋ Ｗａｖｅ；ＳＳＢＷ）（以下、端部不要
波と記す）が励振され、弾性表面波装置の特性を劣化さ
せる。
説明する。図１は、本発明に係る弾性表面は装置の第１
実施例の構造を示す模式的平面図である。本発明の弾性
表面波装置は、１２８度回転Ｙ軸切断Ｘ軸伝搬のニオブ
酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3）単結晶からなる圧電性基板
１上に、アルミニウム薄膜の正規型電極２と重み付け電
極３ならびに該正規電極と重み付け電極の間に設けたシ
ールド電極４が、フォトエッチング技術により設けられ
ている。さらに、圧電性基板１の一部には同様の手法に
よって補助電極７が設けられている。また、圧電性基板
１の端部付近には、端面反射を回避するための吸収剤を
塗布したアブソーバ５が設けられている。この構成によ
れば、重み付け電極３に電気信号が入力されると、重み
付け電極３によって弾性表面波に変換され、この弾性表
面波は圧電性基板１上を伝搬して電極指交差長の等しい
正規型電極２に到達し、再び電気信号に変換されてフィ
ルタ特性を実現する。重み付け電極３は、所望の周波数
特性の伝達関数に鑑みて設計されたインパルス応答を形
成する。本実施例では、群遅延特性は平坦に設計されて
おり、そのため、重み付け電極３の電極指交差は、弾性
表面波の伝搬方向に対して対称になっている。重み付け
電極３において、重み付け電極３に対向する正規型電極
２に遠い側の最端交差部１４および近い側の最端交差部
１３からは、弾性表面波だけではなく、基板の表面に沿
って伝搬するバルク波（Ｓｕｒｆａｃｅ Ｓｋｉｍｍｉ
ｎｇＢｕｌｋ Ｗａｖｅ；ＳＳＢＷ）（以下、端部不要
波と記す）が励振され、弾性表面波装置の特性を劣化さ
せる。
【０００７】この端部不要波の群遅延特性への影響につ
いて、信号応答強度の時間分布を表すタイムドメイン解
析を用いて説明する。図１４は、従来の技術によるタイ
ムドメイン特性を示す。前記の端部不要波は、タイムド
メイン特性８ａにおいて、ほぼ、弾性表面波の主信号の
到達時間の最小および最大の位置に表われる。即ち、図
１における最端交差部１４から送出される端部不要波
は、タイムドメイン特性８ａにおいて端部不要波応答１
０ａの位置に、また、最端交差部１３から送出される端
部不要波は、タイムドメイン特性８ａにおいて端部不要
波応答９ａの位置にその応答が表われる。この端部不要
波は、レイリーモードである弾性表面波（Ｓｕｒｆａｃ
ｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ；以下、ＳＡＷと記
す）とは異なり、基板の表面において境界条件を満足せ
ず、伝搬するに従って減衰するモ−ドである。そのた
め、最端交差部１４から送出される端部不要波は、最端
交差部１３から送出される端部不要波に比べて伝搬する
距離が長いため、減衰量が、最端交差部１３から送出さ
れる端部不要波よりも大きい。したがって、タイムドメ
イン特性８ａにおいて、端部不要波応答１０ａは、端部
不要波応答９ａよりも小さい応答として表われている。
よって、タイムドメインにおける応答強度が非対称とな
り、群遅延特性の平坦度の劣化をもたらしている。図１
５は従来の技術による群遅延特性であり、群遅延特性曲
線１１には波頭間隔で約３０ｎｓｅｃ ｐ−ｐのうねり
が生じている。
いて、信号応答強度の時間分布を表すタイムドメイン解
析を用いて説明する。図１４は、従来の技術によるタイ
ムドメイン特性を示す。前記の端部不要波は、タイムド
メイン特性８ａにおいて、ほぼ、弾性表面波の主信号の
到達時間の最小および最大の位置に表われる。即ち、図
１における最端交差部１４から送出される端部不要波
は、タイムドメイン特性８ａにおいて端部不要波応答１
０ａの位置に、また、最端交差部１３から送出される端
部不要波は、タイムドメイン特性８ａにおいて端部不要
波応答９ａの位置にその応答が表われる。この端部不要
波は、レイリーモードである弾性表面波（Ｓｕｒｆａｃ
ｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ；以下、ＳＡＷと記
す）とは異なり、基板の表面において境界条件を満足せ
ず、伝搬するに従って減衰するモ−ドである。そのた
め、最端交差部１４から送出される端部不要波は、最端
交差部１３から送出される端部不要波に比べて伝搬する
距離が長いため、減衰量が、最端交差部１３から送出さ
れる端部不要波よりも大きい。したがって、タイムドメ
イン特性８ａにおいて、端部不要波応答１０ａは、端部
不要波応答９ａよりも小さい応答として表われている。
よって、タイムドメインにおける応答強度が非対称とな
り、群遅延特性の平坦度の劣化をもたらしている。図１
５は従来の技術による群遅延特性であり、群遅延特性曲
線１１には波頭間隔で約３０ｎｓｅｃ ｐ−ｐのうねり
が生じている。
【０００８】図１に示された、本発明で用いられる補助
電極７は、この群遅延特性への影響を実質的になくす働
きをする。即ち、補助電極７は、一対の微小交差電極指
によりちょうど弾性表面波の伝搬方向に関して最端交差
部１４と同じ位置に開口が形成されているため、この補
助電極から送出される表面波は、図２のタイムドメイン
特性に示すように、タイムドメイン特性８ｂ上の端部不
要波応答１０ｂの位置に主信号に比べ非常に微小な応答
として現れる。この微弱な応答と重み付け電極３の最端
交差部１４の応答が足し合わされて、端部不要波応答１
０ｂは端部不要波応答９ｂと同じ強度とすることができ
る。
電極７は、この群遅延特性への影響を実質的になくす働
きをする。即ち、補助電極７は、一対の微小交差電極指
によりちょうど弾性表面波の伝搬方向に関して最端交差
部１４と同じ位置に開口が形成されているため、この補
助電極から送出される表面波は、図２のタイムドメイン
特性に示すように、タイムドメイン特性８ｂ上の端部不
要波応答１０ｂの位置に主信号に比べ非常に微小な応答
として現れる。この微弱な応答と重み付け電極３の最端
交差部１４の応答が足し合わされて、端部不要波応答１
０ｂは端部不要波応答９ｂと同じ強度とすることができ
る。
【０００９】図３は本発明の効果を表わす群遅延特性で
あり、図１５の群遅延特性曲線１１に見られたうねりが
抑圧され平坦な群遅延特性曲線１２が得られている。こ
の時、補助電極７による振幅特性への影響は、補助電極
７の開口長が微小でありその主信号に対する応答も無視
し得る程度に小さい。
あり、図１５の群遅延特性曲線１１に見られたうねりが
抑圧され平坦な群遅延特性曲線１２が得られている。こ
の時、補助電極７による振幅特性への影響は、補助電極
７の開口長が微小でありその主信号に対する応答も無視
し得る程度に小さい。
【００１０】図４は、本発明に係る弾性表面波装置の第
２実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示し
た符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示し、電極
自体の構成は、本発明の第１実施例と同様である。本実
施例においては、補助電極７と正規型電極２の間には吸
収剤を塗布したアブソーバ５が設けられているため、こ
の弾性表面波装置の周波数特性に影響を与えることがな
い。ところが、補助電極７から送出される端部不要波と
同じモードの波は、最端交差部１４から送出される端部
不要波と重畳されるので、本発明の第１実施例と同様の
群遅延特性を得ることができる。
２実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示し
た符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示し、電極
自体の構成は、本発明の第１実施例と同様である。本実
施例においては、補助電極７と正規型電極２の間には吸
収剤を塗布したアブソーバ５が設けられているため、こ
の弾性表面波装置の周波数特性に影響を与えることがな
い。ところが、補助電極７から送出される端部不要波と
同じモードの波は、最端交差部１４から送出される端部
不要波と重畳されるので、本発明の第１実施例と同様の
群遅延特性を得ることができる。
【００１１】図５は、本発明に係る弾性表面波装置の第
３実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示し
た符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本実
施例においても平坦な群遅延特性が要求されている。本
実施例では、受側から最も遠い最端交差部１４の開口長
ｌが、受側に最も近い所望のインパルスを与える開口長
ｄよりも大きく設定されている。この時、開口長ｌの大
きさを、開口長ｄの大きさの２倍としている。この開口
長ｌは開口長ｄの４倍以下であることが望ましい。この
ような重み付け電極を用いると、補助電極７を設けるこ
となく本発明第１実施例で記した同様の効果を群遅延特
性に与えることができる。また、この時、最端交差部１
４による振幅特性への影響は、その開口長ｌと所望のイ
ンパルスを与える開口長ｄとの差が微小であるので、最
端交差部１４の拡張分の主信号に対する応答も無視し得
る程度に小さい。
３実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示し
た符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本実
施例においても平坦な群遅延特性が要求されている。本
実施例では、受側から最も遠い最端交差部１４の開口長
ｌが、受側に最も近い所望のインパルスを与える開口長
ｄよりも大きく設定されている。この時、開口長ｌの大
きさを、開口長ｄの大きさの２倍としている。この開口
長ｌは開口長ｄの４倍以下であることが望ましい。この
ような重み付け電極を用いると、補助電極７を設けるこ
となく本発明第１実施例で記した同様の効果を群遅延特
性に与えることができる。また、この時、最端交差部１
４による振幅特性への影響は、その開口長ｌと所望のイ
ンパルスを与える開口長ｄとの差が微小であるので、最
端交差部１４の拡張分の主信号に対する応答も無視し得
る程度に小さい。
【００１２】図６は、本発明に係る弾性表面波装置の第
４実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示し
た符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本実
施例の電極構成は、重み付け電極１５以外は、本発明第
１実施例と同様である。本実施例において、重み付け電
極１５は交差を弾性表面波の伝播方向に対して非対称と
して所望の平坦でない群遅延特性を得ている。このよう
な弾性表面波装置においても、最端交差部１３と最端交
差部１４から送出される端部不要波の影響により群遅延
特性が劣化する。この場合においても、補助電極７を設
けることにより、本発明第１実施例と同様の作用によっ
て群遅延特性の劣化を防ぐことができる。
４実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示し
た符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本実
施例の電極構成は、重み付け電極１５以外は、本発明第
１実施例と同様である。本実施例において、重み付け電
極１５は交差を弾性表面波の伝播方向に対して非対称と
して所望の平坦でない群遅延特性を得ている。このよう
な弾性表面波装置においても、最端交差部１３と最端交
差部１４から送出される端部不要波の影響により群遅延
特性が劣化する。この場合においても、補助電極７を設
けることにより、本発明第１実施例と同様の作用によっ
て群遅延特性の劣化を防ぐことができる。
【００１３】図７は、本発明に係る弾性表面波装置の第
５実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示し
た符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本実
施例の電極構成は、補助電極７以外は、本発明の第１実
施例と同様である。本実施例において、補助電極７は、
正規型電極２の中心から距離Ｔ２を隔てて設けられてい
る。この時、重み付け電極３の中心と正規型電極２の中
心間の距離はＴ１であり、補助電極７と重み付け電極３
の中心から正規型電極２の中心間の距離差はＴ３（＝Ｔ
２−Ｔ１）である。このような電極構成によれば、タイ
ムドメイン特性上に主信号に対してＴ３／Ｖ（Ｖは、端
部不要波の速度）の位置に応答が現れるので、Ｖ／Ｔ３
の周期のうねりを故意に発生させることができる。その
ため、補助電極７の位置と交差幅を調整することによ
り、所望の非平坦群遅延特性を得ることができる。
５実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示し
た符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本実
施例の電極構成は、補助電極７以外は、本発明の第１実
施例と同様である。本実施例において、補助電極７は、
正規型電極２の中心から距離Ｔ２を隔てて設けられてい
る。この時、重み付け電極３の中心と正規型電極２の中
心間の距離はＴ１であり、補助電極７と重み付け電極３
の中心から正規型電極２の中心間の距離差はＴ３（＝Ｔ
２−Ｔ１）である。このような電極構成によれば、タイ
ムドメイン特性上に主信号に対してＴ３／Ｖ（Ｖは、端
部不要波の速度）の位置に応答が現れるので、Ｖ／Ｔ３
の周期のうねりを故意に発生させることができる。その
ため、補助電極７の位置と交差幅を調整することによ
り、所望の非平坦群遅延特性を得ることができる。
【００１４】図８は、本発明に係る弾性表面波装置の第
６実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示し
た符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本実
施例の電極構成は、補助電極７以外は、本発明第１実施
例と同様である。本実施例においては、所望の群遅延特
性は平坦に設定され、補助電極７は、重み付け電極３を
挟んで２つ弾性表面波の伝搬方向に対して最端交差部１
４と同じ位置に設けられている。この構成によれば、重
み付け電極３と正規型電極２の中心軸を一致させて、補
助電極７を設けることができるので、重み付け電極３と
正規型電極２の弾性表面波の伝搬方向と直角な方向に対
する強度分布の最大値を一致させることができ、より低
損失の振幅特性が得られる。
６実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示し
た符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本実
施例の電極構成は、補助電極７以外は、本発明第１実施
例と同様である。本実施例においては、所望の群遅延特
性は平坦に設定され、補助電極７は、重み付け電極３を
挟んで２つ弾性表面波の伝搬方向に対して最端交差部１
４と同じ位置に設けられている。この構成によれば、重
み付け電極３と正規型電極２の中心軸を一致させて、補
助電極７を設けることができるので、重み付け電極３と
正規型電極２の弾性表面波の伝搬方向と直角な方向に対
する強度分布の最大値を一致させることができ、より低
損失の振幅特性が得られる。
【００１５】図９は、本発明に係る弾性表面波装置の第
７実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示し
た符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本実
施例では、バルク波を抑圧するために、入出力用すだれ
状電極の間に公知の技術であるマルチストリップカプラ
１６を介在させている。さらに、本実施例では、入力お
よび出力電極双方に重み付け電極３を使用している。マ
ルチストリップカプラ１６を使用することにより、弾性
表面波の伝搬方向と直角な方向に対する強度分布が一様
となる。本実施例によれば、入力用すだれ状電極と出力
用すだれ状電極を弾性表面波の伝搬方向に直角な方向に
ずらして設けることによって、圧電性基板表面に沿って
伝搬する端部不要波以外のバルク波の影響を抑圧するこ
とができ、さらに、入力および出力電極双方に重み付け
電極３の弾性表面波の伝搬方向に対して最端交差部１４
と同じ位置に設けられた補助電極７により、群遅延特性
の劣化を防ぐことができる。
７実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示し
た符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本実
施例では、バルク波を抑圧するために、入出力用すだれ
状電極の間に公知の技術であるマルチストリップカプラ
１６を介在させている。さらに、本実施例では、入力お
よび出力電極双方に重み付け電極３を使用している。マ
ルチストリップカプラ１６を使用することにより、弾性
表面波の伝搬方向と直角な方向に対する強度分布が一様
となる。本実施例によれば、入力用すだれ状電極と出力
用すだれ状電極を弾性表面波の伝搬方向に直角な方向に
ずらして設けることによって、圧電性基板表面に沿って
伝搬する端部不要波以外のバルク波の影響を抑圧するこ
とができ、さらに、入力および出力電極双方に重み付け
電極３の弾性表面波の伝搬方向に対して最端交差部１４
と同じ位置に設けられた補助電極７により、群遅延特性
の劣化を防ぐことができる。
【００１６】図１０は、本発明に係る弾性表面波装置の
第８実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示
した符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本
実施例においては、電極指の交差位置に重み付けを施す
ことによって電極指の交差幅を一定にした、位相重み電
極１７を使用している。この位相重み電極１７の受側に
近い最端交差部１３および受側から遠い最端交差部１４
においても端部不要波が発生し、群遅延特性を劣化させ
る。本実施例においても、本発明の第１実施例と同様
に、補助電極７を設けることによって群遅延特性劣化を
防ぐことができる。
第８実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示
した符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本
実施例においては、電極指の交差位置に重み付けを施す
ことによって電極指の交差幅を一定にした、位相重み電
極１７を使用している。この位相重み電極１７の受側に
近い最端交差部１３および受側から遠い最端交差部１４
においても端部不要波が発生し、群遅延特性を劣化させ
る。本実施例においても、本発明の第１実施例と同様
に、補助電極７を設けることによって群遅延特性劣化を
防ぐことができる。
【００１７】図１１は、本発明に係る弾性表面波装置の
第９実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示
した符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本
実施例では、重み付け電極１９および正規型電極１８
に、公知の技術であるスプリットコネクト型の電極指を
用いている。このスプリットコネクト型の電極指は、λ
／８幅の電極指となるため、電極内で発生する反射の影
響を抑圧することができる。このスプリットコネクト型
の電極指を用いた重み電極１９の最端交差部１３および
１４においても、端部不要波が発生し群遅延特性を劣化
させる。本実施例においても、本発明の第１実施例と同
様に、補助電極７を設けることによって群遅延特性劣化
を防ぐことができる。
第９実施例の構造を示す模式的平面図であり、図１に示
した符号と同じ符号は図１と同様の構成要素を示す。本
実施例では、重み付け電極１９および正規型電極１８
に、公知の技術であるスプリットコネクト型の電極指を
用いている。このスプリットコネクト型の電極指は、λ
／８幅の電極指となるため、電極内で発生する反射の影
響を抑圧することができる。このスプリットコネクト型
の電極指を用いた重み電極１９の最端交差部１３および
１４においても、端部不要波が発生し群遅延特性を劣化
させる。本実施例においても、本発明の第１実施例と同
様に、補助電極７を設けることによって群遅延特性劣化
を防ぐことができる。
【００１８】図１２は、本発明に係る弾性表面波装置の
製作方法の一実施例を説明するための分解斜視図であ
る。本製作方法は、補助電極７で発生する弾性表面波お
よび圧電性基板の端部で発生する反射を吸収するために
設けられるアブソ−バ５の塗布方法に関するものであ
る。図１２（イ）に示すように、弾性表面波装置を構成
する所望の電極パターン２，６，４，５，７を作成する
とともにその表面上に位置合わせパターン２２ｂを設け
た圧電性基板１と、吸収剤を塗布する部分に対応させて
空隙２１が設けられたプラスチック製の保護マスク２０
を準備する。次いで同図（ロ）に示されるように、前記
マスク２０に設けられた位置合わせマ−カ２２ａを基板
１上に設けた位置合わせマーカ２２ｂに合わせて圧電性
基板１に保護マスク２０を接触させ、この上から通常の
手法によって吸収剤を塗布する。塗布後、保護マスク２
０を剥離することによって所望の個所に所望の形状のア
ブソバー５を正確にかつ容易に形成することができる。
製作方法の一実施例を説明するための分解斜視図であ
る。本製作方法は、補助電極７で発生する弾性表面波お
よび圧電性基板の端部で発生する反射を吸収するために
設けられるアブソ−バ５の塗布方法に関するものであ
る。図１２（イ）に示すように、弾性表面波装置を構成
する所望の電極パターン２，６，４，５，７を作成する
とともにその表面上に位置合わせパターン２２ｂを設け
た圧電性基板１と、吸収剤を塗布する部分に対応させて
空隙２１が設けられたプラスチック製の保護マスク２０
を準備する。次いで同図（ロ）に示されるように、前記
マスク２０に設けられた位置合わせマ−カ２２ａを基板
１上に設けた位置合わせマーカ２２ｂに合わせて圧電性
基板１に保護マスク２０を接触させ、この上から通常の
手法によって吸収剤を塗布する。塗布後、保護マスク２
０を剥離することによって所望の個所に所望の形状のア
ブソバー５を正確にかつ容易に形成することができる。
【００１９】図１３は、本発明に係る弾性表面波装置を
テレビジョン受信機の中間周波フィルタとして用いた第
１１実施例のシステムブロック図である。テレビジョン
の受信部の概要を示している。アンテナから入力された
信号は、チューナブロック２３で中間周波信号に変換さ
れ、中間周波フィルタ２４に送られる。中間周波フィル
タ２４は本発明に係る弾性表面波装置から構成されてお
りチューナブロック２３から送られてくる中間周波信号
から１チャンネル分の信号を抜き取り（フィルタリン
グ）、抜き取った信号を次段の検波ブロック２５へ送出
する。検波ブロックはこの信号を検波後、映像信号出力
端子２６と音声出力端子２７に出力する。このことによ
り、弾性フィルタを用いた簡単な構造で、帯域フィルタ
を得ることができ、通信装置の小型化が図れる。
テレビジョン受信機の中間周波フィルタとして用いた第
１１実施例のシステムブロック図である。テレビジョン
の受信部の概要を示している。アンテナから入力された
信号は、チューナブロック２３で中間周波信号に変換さ
れ、中間周波フィルタ２４に送られる。中間周波フィル
タ２４は本発明に係る弾性表面波装置から構成されてお
りチューナブロック２３から送られてくる中間周波信号
から１チャンネル分の信号を抜き取り（フィルタリン
グ）、抜き取った信号を次段の検波ブロック２５へ送出
する。検波ブロックはこの信号を検波後、映像信号出力
端子２６と音声出力端子２７に出力する。このことによ
り、弾性フィルタを用いた簡単な構造で、帯域フィルタ
を得ることができ、通信装置の小型化が図れる。
【００２０】なお、特に記述しなかったが、本発明に係
る弾性表面波装置の種々実施例は、それぞれ、組み合わ
せて適用することも可能である。さらに、実施例１から
実施例９では特に記述しなかったが、端部不要波応答９
ｂと端部不要波応答１０ｂを許容範囲内に等しくするた
めに、補助電極７の交差部に部分的に吸収剤を塗布して
アブソ−バ５設けることによって調整することができ
る。
る弾性表面波装置の種々実施例は、それぞれ、組み合わ
せて適用することも可能である。さらに、実施例１から
実施例９では特に記述しなかったが、端部不要波応答９
ｂと端部不要波応答１０ｂを許容範囲内に等しくするた
めに、補助電極７の交差部に部分的に吸収剤を塗布して
アブソ−バ５設けることによって調整することができ
る。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
上述のように補助電極によるダミー交差部を励振源とす
る励振により、弾性表面波装置のすだれ状電極の最端交
差部において発生する不要励振が補正されるので、元
来、所望の周波数特性の伝達関数に鑑みて設計されたイ
ンパルス応答を形成する入力および出力用のすだれ状電
極の交差部は、不要な励振を発生せず、さらに、この
時、ダミー交差部は、前記インパルス応答の形成に関与
せずに周波数特性の劣化を防ぐことができるという効果
を奏することができる。また、実施例についての測定結
果では、ピーク比で表わした帯域内の周波数振幅特性の
うねりの大きさが従来は０．８ｄＢであったのを、本発
明によれば、０．３ｄＢ以下に改善することができた。
すだれ状電極の最端交差部において発生する不要励振
は、補助電極により、その受側の電極における応答を等
しくすることができる。このことにより、群遅延特性の
平坦性を向上させることができる。さらに、補助電極か
ら励振される弾性表面波は、吸収剤等により吸収される
ため、前記インパルスレスポンスの形成に関与せず、周
波数特性の劣化を防ぐことができる。
上述のように補助電極によるダミー交差部を励振源とす
る励振により、弾性表面波装置のすだれ状電極の最端交
差部において発生する不要励振が補正されるので、元
来、所望の周波数特性の伝達関数に鑑みて設計されたイ
ンパルス応答を形成する入力および出力用のすだれ状電
極の交差部は、不要な励振を発生せず、さらに、この
時、ダミー交差部は、前記インパルス応答の形成に関与
せずに周波数特性の劣化を防ぐことができるという効果
を奏することができる。また、実施例についての測定結
果では、ピーク比で表わした帯域内の周波数振幅特性の
うねりの大きさが従来は０．８ｄＢであったのを、本発
明によれば、０．３ｄＢ以下に改善することができた。
すだれ状電極の最端交差部において発生する不要励振
は、補助電極により、その受側の電極における応答を等
しくすることができる。このことにより、群遅延特性の
平坦性を向上させることができる。さらに、補助電極か
ら励振される弾性表面波は、吸収剤等により吸収される
ため、前記インパルスレスポンスの形成に関与せず、周
波数特性の劣化を防ぐことができる。
【図１】本発明に係る弾性表面波装置の第１実施例の模
式的平面図。
式的平面図。
【図２】本発明に係る弾性表面波装置の効果を表すタイ
ムドメイン特性。
ムドメイン特性。
【図３】本発明に係る弾性表面波装置の効果を表す群遅
延特性。
延特性。
【図４】本発明に係る弾性表面波装置の第２実施例の模
式的平面図。
式的平面図。
【図５】本発明に係る弾性表面波装置の第３実施例の模
式的平面図。
式的平面図。
【図６】本発明に係る弾性表面波装置の第４実施例の模
式的平面図。
式的平面図。
【図７】本発明に係る弾性表面波装置の第５実施例の模
式的平面図。
式的平面図。
【図８】本発明に係る弾性表面波装置の第６実施例の模
式的平面図。
式的平面図。
【図９】本発明に係る弾性表面波装置の第７実施例の模
式的平面図。
式的平面図。
【図１０】本発明に係る弾性表面波装置の第８実施例の
模式的平面図。
模式的平面図。
【図１１】本発明に係る弾性表面波装置の第９実施例の
模式的平面図。
模式的平面図。
【図１２】本発明に係る弾性表面波装置の製造方法の一
実施例を説明する分解斜視図。
実施例を説明する分解斜視図。
【図１３】本発明に係る弾性表面波装置を中間周波フィ
ルタとして用いたテレビジョン受信機のシステムブロッ
ク図。
ルタとして用いたテレビジョン受信機のシステムブロッ
ク図。
【図１４】従来の技術によるタイムドメイン特性。
【図１５】従来の技術による群遅延特性。
１ 圧電性基板 ２ 正規型電極 ３，１５ 重み付け電極 ４ シ−ルド電極 ５ アブソ−バ ７ 補助電極 ８ａ 従来の技術によるタイムドメイン特性 ８ｂ 本発明の効果を表わすタイムドメイン特性 ９ａ，９ｂ，１０ａ，１０ｂ 端部不要波応答 １１ 従来の技術による群遅延特性 １２ 本発明第一実施例による群遅延特性 １３，１４ 最端交差部 １６ マルチストリップカプラ １７ 位相重み電極 １８ スプリットコネクト型正規型電極 １９ スプリットコネクト型重み付け電極 ２０ 保護マスク ２１ 空隙 ２２ａ，２２ｂ 位置合わせマ−カ ２３ チュ−ナブロック ２４ 中間周波フィルタ ２５ 検波ブロック ２６ 映像出力端子 ２７ 音声出力端子
Claims (12)
- 【請求項１】 圧電基板上に入力および出力用のすだれ
状の電極を少なくとも２つ以上配し、少なくとも一つの
すだれ状電極の異極の共通電極部から伸びる電極指の交
差によって所望の伝達関数に対応するインパルス応答を
形成する重み付け電極を用いた弾性表面波装置におい
て、 電極指の長さ方向と直行する方向である弾性表面波の伝
搬方向に関して、入力および出力用のすだれ状電極のう
ち少なくとも１つのすだれ状電極の弾性表面波の伝搬方
向に対し両最端交差部で発生する不要波の受側のすだれ
状電極における応答強度を等しくしたことを特徴とする
弾性表面波装置。 - 【請求項２】 重み付け電極は電極交差開口長に重み付
けを施した重み付け電極である請求項１記載の弾性表面
波装置。 - 【請求項３】 重み付け電極は電極指の交差幅には重み
付けを与えず弾性表面波の伝搬方向に対して交差位置に
重み付けを与えた位相重み付け電極とした請求項１記載
の弾性表面波装置。 - 【請求項４】 該重み付け電極の交差を非対称として所
望の平坦でない群遅延特性とした請求項２記載の弾性表
面波装置。 - 【請求項５】 重み付け電極の所望のインパルス応答を
形成するすだれ状電極の電極指交差部のうち、弾性表面
波の伝搬方向に対して最端部に位置する交差部である最
端交差部と弾性表面波の伝搬方向に対して同じ位置に補
助電極を設けた請求項１ないし請求項４のいずれかに記
載の弾性表面波装置。 - 【請求項６】 補助電極を複数個設けた請求項５記載の
弾性表面波装置。 - 【請求項７】 補助電極の位置をずらすことによって遅
延特性を所望のごとく曲げた請求項５または請求項６記
載の弾性表面波装置。 - 【請求項８】 重み付け電極を有するすだれ状電極の両
最端交差部のうち対向する受側の電極から遠い方の最端
電極を所望のインパルス比により決定される交差長の４
倍以下の範囲で長くした請求項１および請求項２ならび
に請求項４ないし請求項７のいずれかに記載の弾性表面
波装置。 - 【請求項９】 入力用すだれ状電極と出力用すだれ状電
極との間にマルチストリップカプラを設けた請求項１な
いし請求項８のいずれかに記載の弾性表面波装置。 - 【請求項１０】 電極にスプリットコネクトフィンガー
電極を使用した請求項１ないし請求項９のいずれかに記
載の弾性表面波装置。 - 【請求項１１】 吸収剤を塗布しない部分を保護マスク
でマスキングし、保護マスク上から吸収剤を基板表面お
よび保護マスク上に塗布した後、保護マスクを離脱する
ことにより、弾性表面波装置の所望個所にアブソーバを
設けることを特徴とする弾性表面波装置の製作方法。 - 【請求項１２】 圧電基板上に入力および出力用のすだ
れ状の電極を少なくとも２つ以上配し、少なくとも一つ
のすだれ状電極の異極の共通電極部から伸びる電極指の
交差によって所望の伝達関数に対応するインパルス応答
を形成する重み付け電極を用いた弾性表面波装置であっ
て、電極指の長さ方向と直行する方向である弾性表面波
の伝搬方向に関して、入力および出力用のすだれ状電極
のうち少なくとも１つのすだれ状電極の弾性表面波の伝
搬方向に対し両最端交差部で発生する不要波の受側のす
だれ状電極における応答強度を等しくした弾性表面波装
置を中間周波フィルタとして使用したことを特徴とする
通信装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1535593A JPH06232681A (ja) | 1993-02-02 | 1993-02-02 | 弾性表面波装置およびその作成方法ならびにそれを用いた通信装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1535593A JPH06232681A (ja) | 1993-02-02 | 1993-02-02 | 弾性表面波装置およびその作成方法ならびにそれを用いた通信装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06232681A true JPH06232681A (ja) | 1994-08-19 |
Family
ID=11886498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1535593A Pending JPH06232681A (ja) | 1993-02-02 | 1993-02-02 | 弾性表面波装置およびその作成方法ならびにそれを用いた通信装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06232681A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7154360B2 (en) | 2003-09-29 | 2006-12-26 | Fujitsu Media Devices Limited | Filter using piezoelectric material |
-
1993
- 1993-02-02 JP JP1535593A patent/JPH06232681A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7154360B2 (en) | 2003-09-29 | 2006-12-26 | Fujitsu Media Devices Limited | Filter using piezoelectric material |
| KR100693988B1 (ko) * | 2003-09-29 | 2007-03-13 | 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 | 압전체를 이용한 필터 |
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