JPH0544792Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 この考案は、真空保持構造に特徴を有する重力
計に関する。

(ロ) 従来の技術 重力計には、例えば振動する弦の横振動が張力
によつて変化する性質を利用して重力を測定する
弦振動型のものがある。この弦振動型の重力計は
弦が空気に接していると空気抵抗によつて機械的
Ｑ値が変化することになるため、センサを真空容
器内に設けて重力を検出するようにしている。ま
た、振動する弦は温度変化により伸縮するので、
温度検出外を真空容器内に設けて温度変化による
弦の伸縮を補正するように構成されている。

(ハ) 考案が解決しようとする問題点 上述した弦振動型の重力計において、センサを
真空容器内に設けているものの真空度の維持手段
が何ら設けられていないため、真空度の長期安定
を企てることができず、Ｑ値を高精度に維持する
ことができないという問題があり、重力計自体の
寿命が短かつた。また、温度検出素子を真空容器
内に設けているが、リード線等の高分子材料より
ガスが発生し、真空の劣化を速めていた。更にま
た、真空容器の真空排気を効率的に行うためには
ベーキング温度を上げる必要があるが、上述した
ようにセンサ等を設けているために加熱温度が低
く、排気効率が悪いという欠点があつた。

この考案は、斯かる点に鑑み、吸着剤を設けて
真空度の安定化と排気効率の向上を図るようにし
た真空容器を提供することを目的としている。

(ニ) 問題点を解決するための手段及び作用 この考案は、内部が真空状態に構成された容器
本体内に、重力センサを収納した熱遮蔽容器が設
けられる一方、前記容器本体に吸着剤が設けら
れ、この吸着剤が容器本体内のガスを吸着するよ
うにしている。

この重力計では、吸着剤で容器本体内のガスを
吸着することにより、真空度が保たれると共に、
排気効率を上げるために、加熱温度を上げても、
熱遮蔽容器に収納された重力センサに熱が伝えら
れないので、排気効率を上げることができる。

(ホ) 実施例 以下、この考案の実施例を図面に基づいて説明
する。

〈実施例 １〉 第１図に示すように、１は弦振動型の重力計で
あつて、真空容器２内に重力センサ３が設けられ
て構成されている。

この真空容器２は、容器本体４の内部が真空に
構成されて成り、この容器本体４はケース５ａの
上部に蓋体５ｂが密着固定されて構成されてい
る。このケース５ａにはパイプ６を介して真空ポ
ンプ７が連接され、この真空ポンプ７で真空排気
を行うように成つている。

前記ケース５ａ内の下部にはゼオライト８が収
納されており、このゼオライト８は分子ふるい作
用を備えた吸着剤であり、容器本体４内のガスを
吸着するように構成されている。そして、このゼ
オライト８は金網９で覆われている。

一方、前記重力センサ３は、図示しないが、弦
を備えており、この弦を振動させ、弦の横振動が
張力によつて変化する性質を利用して重力を検出
するように成つている。この重力センサ３は２つ
の熱遮蔽容器１０，１１内に設けられて真空容器
２内に支持されている。この外部熱遮蔽容器１０
は真空容器２の蓋体５ｂに、内部熱遮蔽容器１１
は外部熱遮蔽容器１０に、重力センサ３は支持板
１２に設置されて内部熱遮蔽容器１１にそれぞれ
連結材１３ａ，１３ｂ，１３ｃにより垂下支持さ
れている。

また、前記ケース５ａの下方にはヒータ１４が
設けられ、ヒータ１４がゼオライト８を加熱して
吸着促進を図るように構成されている。なお、ゼ
オライト８を加熱するためにヒータ１４に替えて
別途に用意するホツトプレートを用いてもよい。

またパイプ６は真空排気完了後に圧着接断して
シールされる。

次に、この重力計１の作用について説明する。
まず、真空容器２は真空ポンプ７を駆動して真空
排気を行い、内部を真空にする。その際、ゼオラ
イト８をヒータ１４で加熱して容器本体４内のガ
スを吸着し、真空排気を補助する。この真空排気
で重力センサ３が真空下に保持され、弦の振動に
より重力を検出する。この重力検出中においては
ゼオライト８の吸着作用により容器本体４内が中
真空（１〜10^-3Torr）領域に保持され、弦振動
のＱ値が維持される。

また、真空容器２内には、図示しないが温度検
出素子が設けられ、弦の伸縮を補正するようにな
つており、この温度検出素子のリード線等が発生
するガスもゼオライト８が吸着して真空度を保持
することになる。

〈実施例 ２〉 この実施例は、第２図に示し、容器本体４がメ
イン容器１５とサブ容器１６とより構成されたも
のである。

このメイン容器１５には重力センサ３が各熱遮
蔽容器１０，１１と共に収納され、サブ容器１６
にはゼオライト８が収納されている。そして、メ
イン容器１５はパイプ１７を介してサブ容器１６
に連通され、このサブ容器１６はパイプ１８を介
して真空ポンプ（図示省略）が連接されている。
このパイプ１８も真空排気完了後に圧着接断して
シールされる。

従つて、サブ容器１６をメイン容器１５より離
隔してヒータ１４でゼオライト８を加熱する。そ
の後、サブ容器１６をメイン容器１５の下部に設
置し、連結材１９で固定する。このゼオライト８
をメイン容器１５より離隔して加熱するので、重
力センサ３に熱の影響を皆無とすることができ
る。

その他の構成並びに作用は実施例１と同様であ
る。

尚、この各実施例においてはゼオライト８を用
いたが、他の吸着剤を用いてもよい。

(ヘ) 考案の効果 以上のように、この考案の重力計によれば、容
器本体に吸着剤を設けて容器本体内のガスを吸着
するようにしたために、容器本体内の真空度を長
期間安定して保持することができるので、例えば
重力計におけるＱ値を高精度に維持することがで
きるから、重力計自体を長寿命とすることができ
る。また、容器本体内に温度検出素子等を設けて
もリード線等の高分子材料より発するガスを吸着
するので、真空の劣化を確実に防止することがで
きる。

更にまた、真空排気を行う際、吸着剤の吸着が
排気作用となるので、ベーキング温度を低くする
ことができ、また、たとえ加熱温度を上げても、
重力センサは熱遮蔽容器に収納されているので、
重力センサへの熱影響もなく、効率の良い排気を
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の実施態様を例示し、第１図は
実施例１を示す重力計の断面図、第２図は実施例
２を示す同断面図である。 １……重力計、２……真空容器、３……重力セ
ンサ、４……容器本体、８……ゼオライト、１５
……メイン容器、１６……サブ容器。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 内部が真空状態に構成された容器本体内に、重
   力センサを収納した熱遮蔽容器が設けられる一
   方、前記容器本体に吸着剤が設けられ、この吸着
   剤が容器本体内のガスを吸着するようにしたこと
   を特徴とする重力計。